JPH03276675A

JPH03276675A - 固体撮像素子

Info

Publication number: JPH03276675A
Application number: JP2075898A
Authority: JP
Inventors: Masaharu Hamazaki; 浜崎　正治
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1990-03-26
Filing date: 1990-03-26
Publication date: 1991-12-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、複数の画素がマトリクス状に配列されてなる
固体撮像素子に関し、特に各画素内において光信号電荷
が増幅される内部増幅型の固体撮像素子に関する。

〔発明の概要〕

本発明は、複数の画素がマトリクス状に配列されてなる
固体撮像素子において、上記画素を、受光素子と、その
受光素子からの信号電荷を増幅する増幅手段と、その信
号電荷を行選択によりリセットするリセット手段と、上
記増幅手段と直列に接続され、行選択により上記増幅手
段からの増幅された信号電荷を信号線に供給する行選択
スイッチとを有するようになすと共に、上記リセット手
段の電源供給用配線と上記増幅手段の電源供給用配線と
が共用するように構成することにより、配線を増やすこ
とな（、行単位に独立にリセットが行なえるようにして
、感度の劣化を招来させることなく、フレーム読出し及
びフィールド読出しを可能にさせると共に、電子シャッ
ター機能をも持たせることができるようにしたものであ
る。

〔従来の技術〕

近時、撮像素子の高解像度化に伴ない、各画素毎に増幅
機能を有した内部増幅型の固体撮像素子の研究が行なわ
れており、このような技術につ（、Ｎては、例えば「増
幅型固体撮像素子Ａ　Ｍ　Ｉ　（Ａｍｐｌｉ−ｆｉｅｄ
　ＭＯＳ　Ｉｎｔｅｌｌｉｇｅｎｔ　Ｉｍａｇｅｒ）　
Ｊ、′テレビジョン学会誌”　１０７５〜１０８２頁、
Ｖｏｌ　４１．　Ｎｏ、１１．１９８７年″にその記載
がある。

ここで、簡単に増幅型面体撮像素子の一例（所謂ＡＭＩ
＞について説明すると、その素子の回路構成は、ＸＹア
ドレス方式とされ、素子は第５図に一部省略して示すよ
うに、マトリクス状に配列された面素（３１）を有し、
その各画素（３１）は、受光素子（Ｄ）、増幅用トラン
ジスタ（Ｔａ）、垂直スイッチングトランジスタ　（Ｔ
ｙ）、リセット用のリセットトランジスタ　（ＴＩ）よ
り構成される。このマトリクス状に配列された画素（３
１）からなるイメージ部（３２）の周囲には、垂直走査
のための垂直走査回路（３３）と、水平走査のための水
平走査回路（３４）が設けられている。水平走査回路（
３４）は、水平スイッチングトランジスタ　（ＴＸ）の
オン、オフを制御する回路であり、その水平スイッチン
グトランジスタ（Ｔｘ）は、ビデオラインＶＬと各垂直
信号線（βＸ）の接続を制御するように設けられている
。垂直走査回路（３３）は、選択線（βｙ）を介して例
えばｎ行の画素（３１（ｆｉ））　　における垂直スイ
ッチングトランジスタ（Ｔｙ）とｎ−］行の画素（３Ｌ
、−１１）におけるリセットトランジスタ　（Ｔりを同
時に制御するようになされている。尚、垂直走査回路（
３３）から水平方向に延びる配線（Ｙ）は、だにより形
成され、読出し中の画素に対しては、増幅用トランジス
タ（Ｔａ）及び垂直スイッチングトランジスタ　（ＴＶ
）のソースとして使用され、リセット中の画素に対して
は、リセットトランジスタ（Ｔ、）のリセットドレイン
として使用される。また、上記配線（Ｙ）とは別に垂直
走査回路（３３）から水平方向に延びる選択線（βｙ）
は、例えば多結晶ンリコン層で形成され、読出し中の画
素に対しては、垂直スイッチングトランジスタ　（Ｔｙ
）のゲート線として使用され、リセット中の画素に対し
ては、リセットトランジスタ　（Ｔ３）のゲート線とし
て使用される。また、垂直信号線（βＸ）は、Ｍで形成
され、増幅用トランジスタ　（Ｔａ）のドレイン配線と
して使用される。そして、画素の開口率を左右する配線
の数は、上記の如く、配線（Ｙ）、　　（βｙ）及び（
ｆｘ）の３本であり、１画素内に増幅用トランジスタ　
（Ｔａ）、垂直スイッチングトランジスタ（Ｔｙ）及び
リセットトランジスタ（Ｔ、）を有する割には、配線数
が少なく感度は良好となる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来の内部増幅型の固体撮像素子におい
ては、例えばｎ行の画素（３１（、、ＩＩ　）　　にお
ける垂直スイッチングトランジスタ　（Ｔｙ）のゲート
線とｎ−１行の画素（３１（。−１，）におけるリセッ
トトランジスタ（Ｔ、）のゲート線が共通の配線（選択
線（ｊ！ｙ））で接続されているため、例えばｎ行目の
画素（３１（−）　）　　を読み出すと、それと同時に
ｎ−１行目の画素（３１（、−１１）　　がリセットさ
れてしまう。従って、この場合の読出し方式は、企画素
読出しく以下、フレーム読出しと記す）のみであり、そ
の他の２画素同時読出しく以下、フィールド読出しと記
す）や所謂電子シャッターの機能を持たせることができ
ず、読出しの自由度がないという不都合がある。

本発明は、このような点に鑑み成されたもので、その目
的とするところは、配線を増やすことなく、行単位に独
立にリセットが行なえ、感度の劣化を招来させることな
く、読出しの自由度を向上させることができる固定撮像
素子を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、複数の画素（１）がマトリクス状に配列され
てなる固体撮像素子（Ａ）において、画素（１）を、受
光素子（Ｄ）と、その受光素子（Ｄ＞からの信号電荷を
増幅する増幅手段（Ｔａ）と、その信号電荷を行選択に
よりリセットするリセット手段（Ｔ、）と、増幅手段（
Ｔａ）と直列に接続され、行選択により増幅手段（Ｔａ
）からの増幅された信号電荷を信号線（ｊ！ｘ）に供給
する行選択スイッチ（Ｔｙ）とを有するようにな４Ｙ−
共に、リセット手段（ＴＲ）の電源供給用配線（１２）
と増幅手段（Ｔａ）の電源供給用配線（１２）とが共用
するように構成する。

〔作用〕

上述の本発明の構成によれば、リセツ）手段（Ｔ８）を
行単位で独立に制御するようにしたので、例えばｎ行目
の画５（１）を読出しているとき、ｎ−１行目の画素（
１）をリセットするということがなく、各行独立に読出
し又はリセットを行なうことができる。従って、フレー
ム読出しはもちろんのこと、フィールド読出し、更には
電子シャッターの機能をも持たせることが可能となる。

また、リセット手段（Ｔ２）の電源供給用配線（１２）
と増幅手段（Ｔａ）の電源供給用配線（１２）を共用さ
せたので、２つの垂直走査回路（３ａ）及び（３ｂ）の
設置並びに行単位で独立にリセットを制御するようにし
たことにもかかわらず、画素の開口率を左右する配線の
本数を今まで通り３本にとどめることができる。

即ち、本発明によれば感度の劣化を招来させることなく
、読出しの自由度を向上させることができる。

〔実施例〕

以下、第１図〜第４図を参照しながら本発明の詳細な説
明する。

第１図は、第１実施例に係る固体撮像素子、特に画素の
構造がフォトダイオードで発生した光信号電荷をＭＯＳ
　ＦＥＴ（ＭＯ３型電界効果トランジスタ）のゲートに
蓄積して電流増幅を行なうタイプの増幅型固体撮像素子
（Ａ１）を示す等価回路図である。

この固体撮像素子（Ａ１）の各画素（１）は、フォトダ
イオード（Ｄ）と、夫々ＭＯ３ＦＥＴで構成された増幅
用トランジスタ　（Ｔａ）、垂直スイッチングトランジ
スタ（ＴＶ）及びリセット用トランジスタ　（Ｔ、）と
を有して成り、これら画素（１〕がマトリクス状に配列
されて固体撮像素子（ＡＩ）のイメージ部（２）を構成
する。また、このイメージ部（２）の周辺には、垂直走
査のための第１垂直走査回路（３ａ）と、リセット用の
第２垂直走査回路（３ｂ）と、水平走査のための水平走
査回路（４）が設けられている。水平走査回路（４）は
、ＭＯＳＦＥＴで構成された水平スイッチングトランジ
スタ（ＴＸ）のオン、オフを制御する回路であり、この
水平スイッチングトランジスタ　（Ｔｘ）は、ビデオラ
インＶＬと各垂直信号線（１ｘ）の接続を制御するよう
に設けられている。第１垂直走査回路（３ａ）及び第２
垂直走査回路（３ｂ）は、夫々各行の垂直スイッチング
トランジスタ（Ｔｙ）及びリセット用トランジスタ（Ｔ
Ｒ）を制御する。そして、第１垂直走査回路（３ａ）か
らの信号φ９によって例えばｎ行が選択されているもの
とすると、水平走査回路（４）からの信号φ８に応じて
、水平スイッチングトランジスタ（ＴＸ）が順次オン、
オフし、それに順じて図示の例では、例えばｎ行ｍ列、
１行ｍ＋１列における画素（１）の出力電流がビデオラ
インＶＬに現われるようになされる。

次に、各画素（１）の構成を説明すると、各画素（１）
におけるフォトダイオード（Ｄ）の一端子は、増幅用ト
ランジスタ（Ｔａ）のゲートに接続され、フォトダイオ
ード（Ｄ）で発生した光信号電荷に基づく電位が増幅用
トランジスタ　（Ｔａ）のゲートに印加されるようにな
されている。また、増幅用トランジスタ（Ｔａ）には、
直列に垂直スイッチングトランジスタ　（Ｔｙ）が接続
されると共に、垂直スイッチングトランジスタ（Ｔｙ）
のゲートには、第１垂直走査回路（３ａ）からの行選択
線（βｙ）が接続され、更に、この垂直スイッチングト
ランジスタ（Ｔｙ）のドレインには水平スイッチングト
ランジスタ（ＴＸ）からの垂直信号線（βＸ）が接続さ
れる。

また、フォトダイオード（Ｄ）の一端子には、上記増幅
用トランジスタ（Ｔａ）のほか、リセット用トランジス
タ（Ｔｉ）にも接続されており、このリセット用トラン
ジスタ（Ｔｉ）のゲートには、第２垂直走査回路（３ｂ
）からのリセット線（Ａ　ｌ＞が接続される。そして、
増幅用トランジスタ　（Ｔａ）及びリセット用トランジ
スタ　（Ｔ、）の各ドレインには、全画素共通の電源電
圧Ｖｄｄが印加される。

この本例に係る各画素（１）の構成を断面で示すと第２
図の如く構成される。図示の例ではＮ型の基板（１１）
を使用した例を示す。即ち、Ｎ型の基板（１１）上にＮ
型の埋込み層（１２）とＰ型のウェル領域（１３）を形
成し、このＰ型のウェル領域（１３）内に増幅用トラン
ジスタ　（Ｔａ）、垂直スイッチングトランジスタ　（
Ｔｙ）及びリセット用トランジスタ（Ｔりを夫々形成す
る。これらトランジスタ（Ｔａ）、　（Ｔｙ）及び（Ｔ
、）のうち、リセット用トランジスタ　（Ｔ、）のソー
ス領域（１４）は、Ｐ型のウェル領域（１３）とのＰＮ
接合によって１つの受光素子となるフォトダイオード（
Ｄ）を構成し、増幅用トランジスタ（Ｔａ）のゲート電
極（１５）に配線（１６）を介して接続される。また、
リセット用トランジスタ（Ｔ、）のドレイン領域（１７
）と増幅用トランジスタ（Ｔａ）のドレイン領域（１７
）とは互いに共用とされ、この共用のドレイン領域（１
７）とＮ型の埋込み層（１２）とがＮ型の取出し領域（
１８）を介して接続される。また、増幅用トランジスタ
（Ｔａ）のソース領域（１９）と垂直スイッチングトラ
ンジスタ（ＴＶ）のソース領域（１９）とは互いに共用
となされて増幅用トランジスタ　（Ｔａ）と垂直スイッ
チングトランジスタ　（Ｔｙ）とが直列に接続されたか
たちとなり、更に垂直スイッチングトランジスタ　（Ｔ
ｙ）のドレイン領域（２０）に垂直信号線（ｊ！ｘ）が
接続されて本例に係る画素（１）が構成される。尚、Ｎ
型の基板（１１）には共通の電源電圧であるＶｄｄが印
加され、Ｐ型のウェル領域（１３）には接地電位Ｖｓｓ
が印加される。また、リセット用トランジスタ（Ｔｉ）
及び垂直スイッチングトランジスタ（Ｔｙ）の各ゲート
電極（２１）及び（２２）には夫々リセット線（ｌＩＩ
）及び行選択線（ｊ！ｙ）が接続される。

次に、この本例に係る固体Ｗｌ像素子（Ａ１）について
の動作を説明すると、まず、この固体撮像素子（Ａ、）
の初期状態において、各画素（１）のフォトダイオード
（Ｄ）には、リセット用トランジスタ（ＴＲ）を介して
初期値Ｖｄｄがセットされている。

続く受光期間において、入射光によって励起された電子
・正孔対は、電子がフォトダイオード（Ｄ）に、正孔が
Ｐ型のウェル領域（１３）に夫々吸収されるため、フォ
トダイオード（Ｄ）の電位が入射光に応じて減少する。

この電位を増幅用トランジスタ（Ｔａ）のゲートに印加
する。次に、第１垂直走査回路（３ａ）からの行選択及
び水平走査回路（４）からの列選択により、例えばｎ行
の垂直スイッチングトランジスタ（Ｔｙ）とｍ列の水平
スイッチングトランジスタ（Ｔｘ）がオンされると、４
行ｍ列の画素（１）が選択され、そのゲートに印加され
ている電位に応じた電流が増幅用トランジスタ（Ｔａ）
にて更に増幅され、出力電流として垂直信号線（１×）
に供給される。垂直信号線（１ｘ）に供給された出力電
流は、更にビデオラインＶＬに供給されたのち、このビ
デオラインＶＬＯ後端部に接続された増幅器（５）を通
して出力信号Ｓとして取出される。

尚、この固体撮像素子（Ａ１〉においては、暗状態で最
も出力電流が大きく、入射光が増すに従って、出力電流
が減少する所謂ネガ型の特性を有する。

次に、水平走査回路（４）にて次の列、即ちｍ千１列を
選択すると、今度は、１行ｍ＋１列における画素（１）
の出力電流がビデオラインＶＬに供給され、増幅器（５
）より出力信号Ｓとして取出される。そして、順次、水
平走査回路（４）にて全ての列を選択して１つの行の全
画素（１）における出力信号Ｓを取出すと、第１垂直走
査回路（３ａ）にて次の行（ｎ＋１行）を選択すると共
に、第２垂直走査回路（３ｂ）にて今続出した行（ｎ行
）の各画素に対しリセットの選択を行なう。即ち、リセ
ット線（β３）からのリセット信号によって、その行の
各画素におけるリセット用トランジスタ　（Ｔ１１）の
ゲートがオンし、それによりフォトダイオード（Ｄ）が
初期値Ｖｄｄにリセットされる。もちろん、読出す行の
選択とリセットする行の選択は、夫々第１垂直走査回路
（３ａ）と第２垂直走査回路（３ｂ）で行なうため、今
続出した行以外の行をリセットしてもよく、リセットす
る行は、読出す行とは独立に選択することができる。そ
して、この一連の動作を順次繰返してイメージ部（２）
で撮像した映像情報を順次、後段の信号処理系に供給す
る。

上記例は、第１垂直走査回路（３ａ）にて１行ずつ選択
して読出す所謂フレーム読出しの例を示したが、その他
、第１垂直走査回路（３ａ）にて同時に２行ずつ選択し
て２画素分の出力信号を得るようにした所謂フィールド
読出しを行なうようにしてもよい。この場合、更に感度
が向上すると共に、水平走査周波数も１／２に低減でき
る。

上述の如く、本例によれば、イメージ部（２）の周辺に
２つの垂直走査回路（３ａ）及び（３ｂ）を配し、その
うちの第２垂直走査回路（３ｂ）で各画素（１）のリセ
ット用トランジスタ（Ｔｔ）を行単位で独立に制御する
ようにしたので、読出しとリセットを夫々独立に行なう
ことができる。従って、フレーム読出しはもちろんのこ
と、フィールド読出し更にはフォーカルブレインシャッ
ターと同様に一定の行毎に読出して読出さない他の行を
リセットするという所謂電子シャッターの機能をも待た
せることができる。

また、リセット用トランジスタ（Ｔ、）及び増幅用トラ
ンジスタ（Ｔａ）のドレイン領域（１７）と、このドレ
イン領域り１７）に接続され、電源電圧Ｖｄｄが印加さ
れる配線（埋込み層（１２））を共用させたので、画素
（１）の開口率を左右する配線の本数を今まで通り３本
にとどめることができる。即ち、Ｍで構成される垂直信
号線（βＸ）、行選択線（βｙ）及びリセット線（βＲ
）の３本にとどめることができる。

従って、感度の劣化を招来させることなく、読出しの自
白度を向上させることができる。

次に、水平走査回路からの１つの選択で４画素分の信号
をパラレルに出力して水平走査周波数を低減するように
した第２実施例について第３図を参照しながら説明する
。尚、第１図と対応するものについては同符号を記す。

この第２実施例に係る固体撮像素子（Ａ２）は、上記第
１実施例と同様に、各画素（１）をマトリクス状に配列
してイメージ部（２）を構成し、このイメージ部（２）
の周辺に水平走査回路（４）、第１垂直走査回路（３ａ
）及び第２垂直走査回路（３ｂ）を配して成る。

また、各画素（１）の構成も上記第１実施例と同様に、
フォトダイオード（Ｄ＞　、増幅用トランジスタ（Ｔａ
）、垂直スイッチングトランジスタ（Ｔｙ）及びリセッ
ト用トランジスタ（Ｔ２）とを有して成る。

各トランジスタ間の接続は、上記第１実施例と同じであ
るため、その説明は省略する。

しかして、本例においては、４本のビデオラインＶＬ、
〜ＶＬ、を配置する。そして４本の垂直信号線（Ａｘ、
）〜（βＸ４）を１組とし、各組の各垂直信号線（ｊ’
ｘ＋）〜（ｌ　ｘ４）が夫々４つの水平スイッチングト
ランジスタ（Ｔ　Ｘ　Ｉ　）〜（ＴＸ、）を介して対応
するビデオラインＶＬ、−ＶＬ、に接続されるようにな
す。また、各組における水平スイッチングトランジスタ
（Ｔ　Ｘ　＋　）〜（ＴＸ４）の各ゲートをゲート線（
ｊ！ｇ）で接続し、水平走査回路（４）から列方向に並
ぶ各列選択線（１ｘ）を夫々各組のゲート線（１ｇ）に
接続する。このように構成することによって、水平走査
回路（４）からの１つの列選択信号で同時に４つの水平
スイッチングトランジスタ（Ｔｘ、）〜（ＴＸ４）を制
御するようになす。尚、各ビデオラインＶＬ、〜ＶＬ、
の後端部には、夫々増幅器（５ａ）〜（５ｄ）が接続さ
れる。また、水平走査回路（４）、第１垂直走査回路（
３ａ）及び第２垂直走査回路（３ｂ）からの各信号は、
その出力が維持されるように、夫々−旦バッファ（６）
、（７ａ）　　及び（７ｂ）を通してから夫々水平スイ
ッチングトランジスタ　（ＴＸ、）〜（Ｔ　Ｘ　４　）
並びにイメージＢ（２）に供給される。これらバフ　７
　ｙ　（６）、　（７ａ）　　及び（７ｂ）は例えばＮ
ＯＴ回路等にて構成される。

次に、この第２実施例に係る固体撮像素子（Ａ２）の動
作を第４図の波形図をも参照しながら説明する。

まず、初期状態において、各画素（１）のフォトダイオ
ード（Ｄ）は、リセット用トランジスタ（Ｔ、）を介し
て初期値Ｖｄｄがセットされている。続く受光期間にお
いて、第１垂直走査回路（３ａ）からの行選択信号φＶ
で例えばｎ行が選択され（第４図のφｖ、、参照）、更
に水平走査回路（４）からの組選択信号φＨで例えばｍ
組が選択されるとく第４図のφＨ１参照）、ｎ行の各画
素（１）における垂直スイッチングトランジスタ（Ｔｙ
＞がオンし、ｍｕの４つの水平スイッチングトランジス
タ　（Ｔｘ、）〜（ＴＸ４）　　がオンする。これらト
ランジスタのオンにより、ｎ行の各画素（１）のうち、
水平のｍ組に対応する４つの画素（１）からの各出力電
流が夫々４本の垂直信号線（βｘ、）〜（ｊｉｘ４）を
介して対応する４本のビデオラインＶＬ、〜ＶＬ、に夫
々供給される。ビデオラインＶＬ、〜ＶＬ、に供給され
た各出力電流（第４図の工、〜Ｉ、参照）は、対応する
増幅器（５ａ）〜（５ｄ）を介して夫々出力信号８１〜
Ｓ４としてパラレルに出力される。その後、これら出力
信号Ｓ、−Ｓ、を例えばマルチプレクサ（図示せず）に
てシリアル変換（順次を補正）したのち、後段の信号処
理系に供給する。次に、水平走査回路（４）にて次の組
、即ちｍ＋１組を選択すると（第４図のφＨ１゜１参照
）、今度は、ｎ行の各画素（１）のうち、水平のｍ＋１
組に対応する４つの画素（１）からの各出力電流（第４
図の１１〜■４参照）が夫々対応するビデオラインＶＬ
＋〜ＶＬ４　　に供給され、各増幅器（５ａ）〜（５ｄ
）より夫々出力信号８１〜Ｓ４として取出される。そし
て、順次、水平走査回路（４）にて全ての組を選択して
１つ行くｎ行）の全画素（１）における出力信号８１〜
Ｓ、を取出すと、第１垂直走査回路（３ａ）にて次の行
、即ちｎ＋１行を選択する（第４図のφＶ、、。１参照
）と共に、第２垂直走査回路（３ｂ）にて今読み出した
行（ｎ行）の各画素（１）に対しリセットを行なう。こ
の第２実施例の場合も上記第１実施例と同様に読出しと
リセットを独立に行なうことができる。この一連の動作
を順次繰返してイメージ部（２）で撮像した映像情報を
順次、後段の信号処理系に供給する。

上記例は、第１垂直走査回路（３ａ）にて１行ずつ選択
して読出すフレーム読出しの例を示したが、その他、第
１垂直走査回路（３ａ）にて同時に２行ずつ、例えばｎ
行とｎ＋１行を同時に選択して読出すようにしてもよい
。この場合、ｎ行とｎ−１行の２画素分の出力電流が１
つの垂直信号線（！×）に流れるため、フレーム読出し
の場合よりも感度が２倍になる。また、この２行同時読
出しくフィールド読出し）では、８画素分を同時に読出
すことができ、フィールド読出しに関する水平走査周波
数を１／４に低減させることができる。従って、高精細
度の撮像装置（ＨＤＶＳ）　　のような水平走査周波数
の高いものに有効となる。

このように、この第２実施例によれば、フレーム読出し
のほか、フィールド読出しが可能となり、水平走査周波
数も低減できることから、感度の向上を図ることができ
ると共に、高精細度のｍ　Ｒ装置への適用の際、水平走
査周波数の取扱いに関し、回路上余裕をもたせることが
可能となる。また、電子シャッターの機能をも持たせる
ことが可能となる。

また、イメージ部（２）への配線は、垂直信号線（１ｘ
）、行選択線（！ｙ）及びリセット線（β１１）の３本
で、今まで通りの本数で済むことから、開口率の劣化即
ち感度の劣化は生じない。

上記第１及び第２実施例は、垂直走査回路を２つに分割
して、第１垂直走査回路（３ａ）で読出しの行を選択し
、第２垂直走査回路（３ｂ）でリセットする行の選択を
行なうようにしたが、その他、垂直走査回路を１つにし
て、行選択線（βｙ）とリセット線＜１．）を交互に配
列し、夫々独立に読出しとリセットを行なうようにして
もよい。

〔発明の効果〕

本発明の固体撮像素子によれば、配線を増やすことなく
、行単位に独立にリセットが行なえ、その結果、感度の
劣化を招来させることなく、フレーム読出し及びフィー
ルド読出しを行なうことが可能となり、しかも電子シャ
ッターの機能をも持たせることができ、読出しの自由度
を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は第１実施例に係る固体撮像素子を示す等価回路
図、第２図は本例に係る画素の構成を示す断面図、第３
図は第２実施例に係る固体撮像素子を示す等価回路図、
第４図はその読出し動作の説明に供する波形図、第５図
は従来例に係る固体撮像素子を示す等価回路図である。（Ａｌｅ、　（Ａ２）は固体撮像素子、（１）は画素、
（２）はイメージ部、（３ａ〉は第１垂直走査回路、（
３ｂ）は第２垂直走査回路、（４）は水平走査回路、（
５）は増幅器、（Ｄ）はフォトダイオード、（Ｔａ）は
増幅用トランジスタ、（Ｔｙ）は垂直スイッチングトラ
ンジスタ、（Ｔ１１）はリセット用トランジスタ、（Ｔ
Ｘ）は水平スイッチングトランジスタ、（βＸ）は垂直
信号線、（βｙ）は行選択線、（Ｌ）はリセット線であ
る。１＆集 ■υ Ｔａ・−・４幅用トラ／ジスタＴｔ−−リセット用トラノ／゛ヌタＴ１−・・１ｉ直スイツチンク゛トランジズクｕｔ、ｔ
ｑ　・・・ソース剖ｉ政７ｊ、２ｆ、２２・・・ゲート置市１ＩＣ１・−己ｌ象１７．２０−・・ドレイ／４１ｓ！促１８−・・１Ｐぬし１１銭Ｄ・−フォトダイオード１ −ｆ−弐ｆ− −Ｆ−１Ｆ″− ２ −ｆ−−し一一一一 −ｆ−］Ｊ−− Ｉ −ｆ−−Ｗ−°−。 −ｆ−−ｕ′°−

Claims

【特許請求の範囲】　複数の画素がマトリクス状に配列されてなる固体撮像
素子において、上記画素は、受光素子と、その受光素子からの信号電荷
を増幅する増幅手段と、その信号電荷を行選択によりリ
セットするリセット手段と、上記増幅手段と直列に接続
され、行選択により上記増幅手段からの増幅された信号
電荷を信号線に供給する行選択スイッチとを有すると共
に、上記リセット手段の電源供給用配線と上記増幅手段
の電源供給用配線とが共用されていることを特徴とする
固体撮像素子。