JPH09104108A - インクジェット記録装置及びその製造方法 - Google Patents

インクジェット記録装置及びその製造方法

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JPH09104108A
JPH09104108A JP7261896A JP26189695A JPH09104108A JP H09104108 A JPH09104108 A JP H09104108A JP 7261896 A JP7261896 A JP 7261896A JP 26189695 A JP26189695 A JP 26189695A JP H09104108 A JPH09104108 A JP H09104108A
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electrode
ink
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幸治 重村
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 コストが安くて信頼性が高く、さらに高密度
で多ノズルすなわち小型で高速のインクジェット記録装
置及びその製造方法を提供する。 【構成】 圧力室１ａは、両側を圧電体の側壁２ａ、２
ｂで囲まれ、上側、下側、前方はそれぞれトッププレー
ト３、アンダプレート４、ノズルプレート５で囲まれて
いる。側壁２ａ、２ｂの上面及び下面は、電極８ａ、８
ｂ及び電極９ａ、９ｂを有しており、駆動回路と電気的
に接続されている。電極８ａ、８ｂ、９ａ、９ｂの圧力
室１ａ内に露出する部分は保護膜で覆われており、イン
クと電極が直接接触しないようになっている。側壁２
ａ、２ｂはその高さ方向（矢印Ｐ方向）に分極処理が施
されている。駆動時には、分極と同じ向きに電圧を印加
し、圧力室の容積を広げてから、電圧を元に戻すことに
より圧力室内のインクを加圧しインク滴を吐出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置及びその製造方法に関し、特に、プリンタ、ファクシ
ミリ、コピー装置等に用いる高密度かつ多ノズル配列可
能なインクジェット記録装置及びその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のインクジェット記録装置
は、インク吐出駆動源の点で大きく二つに分類すること
ができる。
【０００３】一つは、サーマルインクジェットまたはバ
ブルジェットと呼ばれる方式であり、例えば特公昭６１
−５９９１３号公報に開示されている。これは、複数の
サーマルエレメントが配列されたサーマルヘッド上に、
それぞれのサーマルエレメントに対応して圧力室が形成
され、その圧力室にはノズルとインク供給路が連通して
いる構造であり、印字時、サーマルエレメントに通電し
その上のインクを加熱して気泡を発生させ、その圧力に
よりインクをノズルから吐出させる方式である。
【０００４】このタイプは、駆動源となるサーマルヘッ
ドをフォトリソグラフィ技術により製作できるために、
高密度で多ノズルの印字ヘッドを作ることができ、小型
で高速のインクジェット記録装置が得られる。しかしな
がら、気泡を発生させるためにインクを３００℃以上に
加熱する必要があり、長時間吐出を行うとインク中の成
分がサーマルエレメント上に堆積し吐出不良を起こし、
また、熱応力やキャビテーションによる損傷、サーマル
エレメントの保護層のピンホールによるパッシベーショ
ン故障なども起き、長寿命の印字ヘッドを得ることは難
しい。
【０００５】一方、もう一つは圧電式と呼ばれる方式が
あり、例えば特公昭５３−１２１３８号公報に開示され
ている。これは、ノズルとインク供給路に連通する圧力
室とその圧力室に体積変化を生じさせる圧電素子とから
構成され、印字時に、圧電素子に電圧を印加し圧力室に
体積変化を発生させて加圧しインク滴をノズルから吐出
させる方式である。
【０００６】この方式は、インクを加熱しないためにイ
ンク選択の自由度が高く、また、長寿命であるが、高密
度に多数の圧電素子を配列することが難しく、小型で高
速のインクジェット記録装置を得るのは難しかった。
【０００７】そこでこのような問題点を解決するものと
して、特開昭６２−５６１５０号公報には図２８に示す
構造が開示されている。これは、圧電材料からなる一枚
の平板状に成形された圧電体プレート１４０に、一様な
深さのインクキャビティ溝１４２及びこのインクキャビ
ティ溝１４２に連通するインクノズル溝１４６及びイン
ク供給路溝が複数列形成されている。さらに、圧電体プ
レート１４０にはインクキャビティ溝１４２間にスリッ
ト１４８がそれぞれ設けられている。そして、インクキ
ャビティ溝１４２の領域における圧電体プレート１４０
の表面には電圧印加用電極１５４が設けられており、か
つその電極に対応する圧電体プレート１４０の裏面にも
電圧印加用電極１５６が設けられている。
【０００８】このような構造を有する圧電体プレート１
４０にはカバープレート１５０が接合されている。印字
時に、電圧印加用電極１５４と１５６の間に電圧を印加
すると電圧印加用電極１５４と１５６の間にある圧電材
料が変形しインクキャビティの容積が変化してインクが
加圧されインク滴を吐出することができる。
【０００９】また、特開昭６３−２５２７５０号公報に
は図２９に示す構造が開示されている。これは、各流路
２０２を構成する各側壁は底・天壁２２５・２２７の間
に挟まれ、また、各側壁は矢印２３３・２３５のように
互いに逆方向に分極された上部・下部壁２２９・２３１
からなり、剪断モードアクチュエータ２１５・２１７・
２１９・２２１・２２３を構成している。電極２３７・
２３９・２４１・２４３・２４５がそれぞれ対応する各
流路２０２の内壁を覆っている。印字時には、例えば、
アクチュエータ２２１・２１９間の流路２０２の電極２
４１に電圧を与えると、電極２４１の両側の流路２０２
の電極の２３９・２４３はアースされているので、アク
チュエータ２１９・２２１に逆方向の電界が印加され
る。各アクチュエータの上部・下部壁２２９・２３１が
逆方向に分極されているので、上部・下部壁２２９・２
３１は破線２４７・２４９で示すようにくの字形にその
間の流路２０２に向かって剪断変形する。その結果、ア
クチュエータ２１９と２２１との間の流路２０２内のイ
ンクに圧力が加えられ、ノズル２０６からインクを吐出
することができる。
【００１０】さらに、特開平５−３３８１４７号公報に
は図３０に示すような構造が開示されている。これは、
基板３０２と、圧電体３０３と、ポリイミド等の樹脂に
より成形された可撓性シートであるフイルム３０４とが
接合されている。圧電体３０３には、多数の溝３０５と
多数の側壁３０６とが平行に交互に配設されて形成され
ている。圧電体３０３は板厚方向に分極されている。換
言すれば、図３０に矢印をもって示すように、側壁３０
６は溝３０５の深さ方向に対して平行な方向に分極され
ている。そして、溝３０５の上面開口をフィルム３０４
によって閉口することにより多数の圧力室３０７が形成
されている。また、側壁３０６のフィルム３０４側の一
面には電極３０８が形成され、これらの電極３０８と対
をなす電極３０９が圧電体３０３の底面に形成されてい
る。圧力室３０７の先端はオリフィス３１０に接続され
ている。
【００１１】このような構成において、多数の圧力室３
０７のうち、特定の圧力室３０７ａのインクを吐出させ
る場合について説明する。ここで、インクを吐出させる
圧力室を３０７ａ、その両隣の圧力室を３０７ｂ、３０
７ｃとし、圧力室３０７ａの両側の電極を３０８ａ、３
０８ｂ、その両外側の電極を３０８ｃ、３０８ｄとして
区別すると、電極３０８ａ、３０８ｂに＋Ｖの電圧を印
加し、電極３０８ｃ、３０８ｄに−Ｖの電圧を印加する
と、圧力室３０７ａの両側の側壁３０６が上方に伸張
し、その外側の側壁３０６が縮小する。この時に、フィ
ルム３０４の一部は伸張する側壁３０６に押圧されて仮
想線で示すように上方に変形するために、インクを吐出
させるための圧力室３０７ａの体積は一旦広げられ、イ
ンク供給路からインクを吸い込む。
【００１２】次に、印加電圧を急激に切り、或いは、印
加電圧の極性を切り替えると、伸張状態の側壁３０６が
急激に基の長さに戻りあるいは急激に縮小するために、
意図する圧力室３０７の体積が急激に減少し、内圧が急
激に高められ、内部のインクがオリフィス３１０から飛
翔される。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、叙上の
従来におけるインクジェット記録装置では、次のような
課題があった。
【００１４】先づ、特開昭６２−５６１５０号公報に記
載された従来例においては、溝１４２の底面から圧電体
１４０の底面までの間の厚さの部分にも電界が印加さ
れ、この部分も変形する。この部分の変形はインク滴吐
出には寄与しなく無駄になっており、効率が悪い。例え
ば、溝１４２の底面から圧電体１４０の底面までの間の
部分の厚さが圧電体１４０の厚さの３０％とすると、印
加した電圧の３０％が全く無駄になることになり、それ
だけ高い電圧を印加しなければならなく、コストが高く
なる。また、インク滴吐出に必要な変位を得るために
は、圧力室の形状は大きくなってしまう。さらに、各圧
力室の間にはスリット１４８が設けられており、スリッ
ト１４８の部分の空間が高密度化の妨げになっている。
【００１５】また、特開昭６３−２５２７５０号公報に
開示された従来例においては、溝加工の前に圧電セラミ
クスシートの両面に電極を付着させ、両電極間に電圧を
印加し分極処理をし、その後にその電極を剥離しなけれ
ばならなく、製造プロセスが長くコスト高になる。さら
に、分極処理後に分極が消滅しないように製造プロセス
や使用材料や使用状態は制約を受ける。分極処理後に行
う電極形成、保護層形成、接着等の製造プロセスにおい
ては、分極を消滅させないために高温状態になることは
許されなく、プロセスそのものや接着剤等の材料そのも
のが制限される。
【００１６】例えば、電極形成や保護層形成のプロセス
においては、カバレッジ効果の高いＣＶＤ（ケミカル・
ベーパ・ディポジション）は高温になるために使用する
ことができない。また、多数の溝が形成された圧電セラ
ミクスシート同志を、おのおのの溝の頂点が一致するよ
うに接合することは、高密度化すればするほど困難にな
り、歩留まりが低下しコスト高になる。このように、安
く安定に製造することは困難である。
【００１７】さらにまた、特開平５−３３８１４７号公
報に記載された技術においては、極性の異なる電圧を印
加する電圧印加制御手段が必要であるために、コスト高
になる。さらに、分極とは逆向きにも電圧が印加される
ので、分極を反転させないために印加できる電界は大き
くできなく、大きな歪みは得られない。従って、インク
吐出に必要な変位を得るためには、圧力室の形状は大き
くなってしまう。また、前述の特開昭６２−５６１５０
号公報に開示された技術の場合と同様の課題、すなわち
高い電圧印加が必要でコストが高くなるという課題も有
している。
【００１８】本発明は従来の上記実情に鑑みてなされた
ものであり、従って本発明の目的は、従来の技術に内在
する上記諸課題を解決することを可能とした新規なイン
クジェット記録装置及びその製造方法を提供することに
ある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るインクジェット記録装置は、上面及び
下面に電極を有し上下方向に分極された圧電体の側壁で
両側が仕切られ上側が可撓性を有するトッププレ−トで
覆われた圧力室と、前記圧力室に連通するノズルと、前
記電極と電気的に接続され前記側壁の分極方向と同一方
向に電界を印加する電圧印加手段を含む制御系とを備え
ている。また、前記側壁は、前記圧力室の範囲内にあ
る。また、前記側壁は、隣接する前記圧力室の間で共有
されている。また、前記圧力室を構成する両側の前記側
壁を伸縮動作させてインク滴を前記圧力室に連通する前
記ノズルから吐出させる。
【００２０】また、前記制御系は、インク滴吐出臨界電
圧以上でその２倍以下の駆動電圧を前記側壁へ印加する
か、あるいは、前記側壁の変位速度がインク滴吐出臨界
変位速度以上でその２倍以下になる駆動電圧波形を前記
側壁へ印加するか、あるいは、インク滴吐出臨界エネル
ギ以上でその４倍以下の印加エネルギを前記側壁へ印加
する。
【００２１】また、前記ノズルは、ｎ（ｎは２以上の自
然数）個おきに同じ位置に配置され、ｎ個おきに同じタ
イミングで、前記ノズルに連通する前記圧力室を駆動す
るか、あるいは、ｎ（ｎは２以上の自然数）個おきに２
つづつ同じ位置に配置され、ｎ個おきに２つづつ同じタ
イミングで、前記ノズルに連通する前記圧力室を駆動す
るか、あるいは、ｎ（ｎは２以上の自然数）個おきに２
つづつ同じ位置に配置され、ｎ個おきに２つづつ同じタ
イミングで、前記ノズルに連通する前記圧力室を駆動す
るか、あるいは、２ｎ（ｎは２以上の自然数）個おきに
２つづつ同じ位置に配置され、２ｎ個おきに２つづつ同
じタイミングで、前記ノズルに連通する前記圧力室を駆
動する。
【００２２】また、前記制御系は、前記圧力室毎の印字
データを前記側壁毎に振り分けるデータ変換手段を有す
る。
【００２３】さらにまた、前記側壁と電気的に並列な抵
抗発生手段を有し、また、前記制御系は、吐出するイン
ク滴量に応じてパルス幅を可変し、それをドライバ回路
へ出力する制御手段を有する。
【００２４】また、前記制御系は、第１のパルスと第２
のパルスを発生し吐出するインク滴量に応じて前記第１
のパルスと前記第２のパルスの間の“オフ”時間を可変
する制御手段と、昇圧部分と降圧部分を有する電圧波形
を発生する波形発生手段と、前記電圧波形を前記第１の
パルスと前記第２のパルスが“オン”の間前記側壁に印
加するスイッチング手段とを有し、また、前記制御手段
は、インク滴吐出１サイクルにおいて、前記第１のパル
スは前記電圧波形の昇圧時に発生し、前記第１のパルス
が“オフ”の時点での電圧に等しい電圧に前記波形発生
回路の電圧が下がった時点で前記第２のパルスを発生
し、また、前記波形発生手段は、昇圧後の降圧時におい
て、時間の経過と共に降圧速度が速くなる降圧波形を発
生する。
【００２５】また、前記圧電体は、積層型でもよい。
【００２６】さらにまた、前記電極材料は、タンタル、
アルミニウム、チタン、マグネシウム、ニオブ、ジルコ
ニウムのいずれかであり、前記電極の保護層は前記電極
材料の酸化膜である。
【００２７】さらにまた、本発明に係るインクジェット
記録装置の製造方法は、前記保護層は前記電極材料を陽
極酸化して形成する。
【００２８】また、両面に電極を形成した圧電体とアン
ダプレートを接合する工程と、それを溝加工する工程と
を含むか、あるいは、上面に電極を形成した圧電体の下
面と、上面に電極を形成したアンダプレートの上面を接
合する工程と、それを溝加工する工程とを含む。
【００２９】
【実施例】次に、本発明をその好ましい各実施例につい
て図面を参照して具体的に説明す。
【００３０】図１は、本発明に係るインクジェット記録
装置の印字ヘッドの第１の実施例を示す正面方向斜視図
である。
【００３１】図１において、圧力室１ａ、１ｂ、１ｃ、
・・・・・は、両側を圧電体よりなる側壁２ａ、２ｂ、
２ｃ、２ｄ、・・・・・で囲まれ、上側、下側、前方は
それぞれトッププレート３、アンダプレート４、ノズル
プレート５で囲まれている。ノズルプレート５には、各
圧力室１ａ、１ｂ、１ｃ、・・・・・に連通するノズル
６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅ（６ａ〜６ｄは図示せ
ず）・・・・・が設けられている。圧力室１ａ、１ｂ、
１ｃ、・・・・・の後方にはインクプール７が連通して
いる。圧電体よりなる側壁２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、・
・・・・の上面と下面は、電極８ａ、８ｂ、８ｃ、８
ｄ、・・・・・と電極９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、・・・
・・をそれぞれ有しており、上面の電極８ａ、８ｂ、８
ｃ、８ｄ、・・・・・はパッド部１０ａ、１０ｂ、１０
ｃ、１０ｄ、・・・・・と電気的に接続し、下面の電極
９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、・・・・・は共通電極（図示
せず）と電気的に接続している。圧力室１ａ、１ｂ、１
ｃ、・・・・・、ノズル６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・・
・、インクプール７の中にはインク（図示せず）が充填
されている。
【００３２】電極８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、・・・・・
と電極９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、・・・・・の圧力室１
ａ、１ｂ、１ｃ、・・・・・内に露出する部分は保護層
（図示せず）で覆われており、インクと電極が直接接触
しないように形成されている。圧電体よりなる側壁２
ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、・・・・・はその高さ方向（矢
印Ｐ方向）に分極処理が施されている。また、トッププ
レ−ト３は、可撓性を有している。
【００３３】各構成要素の主な概略寸法は次の通りであ
る。圧力室１ａ、１ｂ、１ｃ、・・・・・の内側の幅は
６３．５μｍ、圧電体よりなる側壁２ａ、２ｂ、２ｃ、
２ｄ、・・・・・の高さは１００μｍで幅は６３．５μ
ｍ、ノズルプレート５の厚さは８０μｍ、ノズル６ａ、
６ｂ、６ｃ、・・・・・の直径は４０μｍ、側壁２ａ、
２ｂ、２ｃ、２ｄ、・・・・・のインクプール７までの
長さは１５ｍｍ、アンダプレート４の溝部の深さは１０
０μｍである。従って、圧力室として働く部分の寸法は
６３．５μｍ×２００μｍ×１５ｍｍとなり、ノズル６
ａ、６ｂ、６ｃ、・・・・・のピッチは１２７μｍであ
る。
【００３４】次に、図１に示されたインクジェット記録
装置の印字ヘッドの動作について、図１のＡ−Ａ′断面
図である図２（Ａ）〜（Ｃ）を参照して説明する。ま
ず、複数の圧力室１ａ、１ｂ、１ｃ、・・・・・のうち
のある特定の圧力室１ｂを駆動して、それに連通するノ
ズル６ｂ（図示せず）からインク滴を吐出する場合につ
いて説明する。
【００３５】ここで、圧力室を駆動するということは、
その圧力室を構成する両側の圧電体よりなる側壁を駆動
するという意味である。この場合、インク滴を吐出する
圧力室１ｂを囲む圧電体の側壁２ｂ、２ｃにそれぞれ電
極８ｂ、９ｂと電極８ｃ、９ｃから電圧を印加して矢印
Ｅ方向に電界を発生させると、分極方向（矢印Ｐ方向）
と電界方向（矢印Ｅ方向）（図２（Ｂ）参照）が同一の
ために、側壁２ｂ、２ｃは図２（Ｂ）に示すように電界
方向に伸張動作を惹起し、また電界方向と垂直方向には
縮む。その結果、圧力室１ｂの容積が増加して圧力が低
下するために、容積増加分だけインクがインクプール７
から圧力室１ｂへ供給される。
【００３６】次に、側壁２ｂ、２ｃの印加電圧すなわち
電界を０にすると、図２（Ｃ）に示すように側壁２ｂ、
２ｃはもとに戻り、圧力室１ｂの容積は減少して圧力が
上昇するために、インク滴がノズルから吐出される。
【００３７】ここで、図１に示された印字ヘッドを印字
用紙（図示せず）に対して相対的に動かしながら、上記
動作を所定の位置で印字タイミングに応じて行うことに
より、文字や図形等を小さなインク滴の集合体として印
字することができる。
【００３８】次に、図１のインクジェット記録装置の印
字ヘッドの駆動条件について、実験結果を参照して説明
する。
【００３９】駆動電圧波形を示す図３を参照するに、駆
動する圧力室を囲む圧電体の両側壁に、図３に示すよう
な、一定速度で昇圧後に一定電圧Ｖo を所定の時間だけ
維持し、そこから時間ｔo で０Ｖまで降圧する電圧を印
加した場合について、時間ｔ0 と電圧Ｖo を変えて実験
した結果を図４に示す。時間ｔo を一定にして電圧Ｖo
を大きくしていった場合に、電圧Ｖo が小さい間はイン
ク滴は吐出しなく、電圧Ｖo がある値Ｖth以上になると
インク滴が吐出し始め、さらに電圧Ｖo を大きくしてい
きある値Ｖif以上になると隣接ノズルからもインク滴が
吐出し始めるということが判明した。
【００４０】時間ｔo を変えてＶth及びＶifを求めた点
をそれぞれ結んだ線をそれぞれインク滴吐出臨界線、干
渉臨界線と呼ぶことにすると、インク滴吐出臨界線以下
はインク滴が吐出しない不吐出領域であり、干渉臨界線
以上は隣接ノズルからもインク滴が吐出する領域であ
り、インク滴吐出臨界線以上で干渉臨界線以下の範囲が
安定吐出領域であり、この領域で圧力室を駆動する。
【００４１】実験の結果、干渉臨界電圧Ｖifはインク滴
吐出臨界電圧Ｖthのほぼ２倍であることが分かった。従
って、駆動電圧Ｖo はインク滴吐出臨界電圧Ｖth以上で
かつインク滴吐出臨界電圧Ｖthの２倍以下にされる。
【００４２】不吐出領域が存在する理由は、次のように
考えられる。ノズル部のインク表面には表面張力が作用
しており、インク滴が吐出するためにはこの表面張力に
打ち勝つエネルギが必要なためと推定される。また、隣
接ノズル吐出領域が存在する理由は、次のように考えら
れる。駆動する圧力室の隣の圧力室は、片側の側壁が動
作するために、圧力変化が生じる。この隣接圧力室の圧
力変化は、駆動する圧力室の圧力変化の約１／２と考え
られるが、ノズル部のインク表面張力に打ち勝つ位大き
なものになると隣接ノズルからインク滴が吐出すると推
定される。
【００４３】一方、電圧の代わりに圧電体の側壁の変位
速度で規定しても全く同様のことが言える。すなわち、
インク滴が吐出し始める時の側壁の臨界変位速度をｖth
とすると、インク滴が安定して吐出する側壁の変位速度
ｖは、ｖth以上でかつ２×ｖth以下になる。また、圧力
室に印加するエネルギで規定すると次のようになる。イ
ンク滴が吐出し始める時の印加エネルギをＵthとする
と、インク滴が安定して吐出する時の印加エネルギＵ
は、Ｕth以上でかつ４×Ｕth以下になる。なお、上述の
臨界値Ｖth、ｖth、Ｕthは印字ヘッドの形状やインクの
物性に依存し、実験やシミュレーションにより求められ
る。
【００４４】次に、図１に示されたインクジェット記録
装置の印字ヘッドについて、複数の圧力室を駆動し、そ
れらの圧力室に連通するノズルからインク滴を吐出する
場合における第１の実施例について説明する。
【００４５】図５に複数の圧力室を駆動する第１の実施
例の各圧力室を駆動するタイミングチャートで示す。
【００４６】図５を参照するに、各圧力室は周期Ｔで駆
動され、隣の圧力室とはタイミングがＴ／３もしくは２
Ｔ／３ずれている。圧力室１ａ、１ｄ、・・・・・は同
じタイミングで駆動され、圧力室１ｂ、１ｅ、・・・・
・は同じタイミングで駆動され、圧力室１ｃ、１ｆ、・
・・・・は同じタイミングで駆動される。２つおきに同
じタイミングで駆動される。この場合のノズルプレート
５上の各ノズルの配置を図６に示す。
【００４７】図６を参照するに、各ノズル６ａ、６ｂ、
６ｃ、・・・・・は各圧力室１ａ、１ｂ、１ｃ、・・・
・・と連通している。印字ヘッドは印字用紙に対して矢
印の方向にｖh の速度で移動するものとすると、ノズル
６ａ、６ｄ、６ｇ、・・・・・とノズル６ｂ、６ｅ、６
ｈ、・・・・・とは速度ｖh の方向にｄ＝ｖh ・Ｔ／３
ずれており、ノズル６ｂ、６ｅ、６ｈ、・・・・・とノ
ズル６ｃ、６ｆ、・・・・・とは速度ｖh の方向にｄ＝
ｖh ・Ｔ／３ずれている。２つおきに同じ位置のノズル
が並んでいる。図６に示すようにノズルが配置された印
字ヘッドを矢印の方向に移動しながら図５に示すタイミ
ングで圧力室を駆動することにより、印字用紙上の仮想
の格子点にインク滴を付着すめことができる。同様にｎ
（ｎは３以上の自然数）個おきに同じ位置にノズルが配
置されたノズルプレートを使用し、ｎ個おきに同じタイ
ミングで駆動してもよい。
【００４８】次に、複数の圧力室を駆動し、それらの圧
力室に連通するノズルからインク滴を吐出する本発明に
よる第２の実施例について説明する。前述した第１の実
施例とは、駆動タイミングとノズルプレート上の各ノズ
ルの位置関係が異なる。図７に各圧力室を駆動するタイ
ミングチャートを示す。
【００４９】図７において、各圧力室は周期Ｔで駆動さ
れ、圧力室１ａ、１ｂ、１ｅ、１ｆ、・・・・・は同じ
タイミングで駆動され、圧力室１ｃ、１ｄ、・・・・・
は同じタイミングで駆動され、圧力室１ａ、１ｂ、１
ｅ、１ｆ、・・・・・とはタイミングがＴ／２ずれてい
る。２つおきに２つづつ同じタイミングで駆動される。
この場合におけるノズルプレート１１上の各ノズルの配
置を図８に示す。
【００５０】図８を参照するに、各ノズル１２ａ、１２
ｂ、１２ｃ、・・・・・は各圧力室１ａ、１ｂ、１ｃ、
・・・・・と連通している。印字ヘッドは印字用紙に対
して矢印の方向にｖh の速度で移動するものとすると、
ノズル１２ａ、１２ｂ、１２ｅ、１２ｆ、・・・・・と
ノズル１２ｃ、１２ｄ、１２ｇ、１２ｈ、・・・・・と
はｖh の方向にｅ＝ｖh ・Ｔ／２ずれている。２つおき
に２つづつ同じ位置にノズルが並んでいる。図８のよう
にノズルが配置された印字ヘッドを矢印の方向に移動し
ながら図７のタイミングで圧力室を駆動することによ
り、印字用紙上の仮想の格子点にインク滴を付着させる
ことができる。同様に、ｎ（ｎは３以上の自然数）個お
きに２つづつ同じ位置にノズルが配置されたノズルプレ
ートを使用し、ｎ個おきに２つづつ同じタイミングで駆
動してもよい。
【００５１】次に、複数の圧力室を駆動し、それらの圧
力室に連通するノズルからインク滴を吐出する第３の実
施例について説明する。前述した第１、第２の実施例と
は、駆動タイミングとノズルプレート上の各ノズルの位
置関係が異なる。図９に各圧力室を駆動するタイミング
チャートを示す。各圧力室は周期Ｔで駆動され、圧力室
１ａ、１ｂ、・・・・・は同じタイミングで駆動され、
圧力室１ｃ、１ｄ、・・・・・は同じタイミングで駆動
され、圧力室１ｅ、１ｆ、・・・・・は同じタイミング
で駆動される。圧力室１ａ、１ｂ、・・・・・と圧力室
１ｃ、１ｄ、・・・・・とはタイミングがＴ／３ずれて
おり、また、圧力室１ｃ、１ｄ、・・・・・と圧力室１
ｅ、１ｆ、・・・・・とはタイミングがＴ／３ずれてい
る。４つおきに２つづつ同じタイミングで駆動される。
この場合のノズルプレート１３上の各ノズルの配置を図
１０に示す。
【００５２】図１０において、各ノズル１４ａ、１４
ｂ、１４ｃ、・・・・・は各圧力室１ａ、１ｂ、１ｃ、
・・・・・と連通している。印字ヘッドは印字用紙に対
して矢印の方向にｖh の速度で移動するものとすると、
ノズル１４ａ、１４ｂ、１４ｇ、１４ｈ、・・・・・と
ノズル１４ｃ、１４ｄ、・・・・・とはｖh の方向にｄ
＝ｖh ・Ｔ／３ずれておりノズル１４ｃ、１４ｄ、・・
・・・とノズル１４ｅ、１４ｆ、・・・・・とはｖh の
方向にｄ＝ｖh ・Ｔ／３ずれている。４つおきに２つづ
つ同じ位置のノズルが並んでいる。図１０のようにノズ
ルが配置された印字ヘッドを矢印の方向に移動しながら
図９のタイミングで圧力室を駆動することにより、印字
用紙上の仮想の格子点にインク滴を付着させることがで
きる。同様に、２ｎ（ｎは３以上の自然数）個おきに２
つづつ同じ位置にノズルが配置されたノズルプレートを
使用し、２ｎ個おきに２つづつ同じタイミングで駆動し
てもよい。
【００５３】複数の圧力室を駆動する場合について、圧
力室の駆動タイミングとノズルの配置について第１、第
２、第３の３つの実施例について説明したが、実際は各
圧力室毎に印字指令に応じて駆動したりしなかったりす
る。従って実際にはタイミングチャートの“オン”の所
が“オフ”であったりする。また前述のタイミングチャ
ートにおいては矩形波で表したが、三角波や台形波やの
こぎり波またはその他の波形さらに正論理、負論理でも
同様である。
【００５４】次に、本発明に係るインクジェット記録装
置の制御系について説明する。
【００５５】本発明においては、前述したように、ある
一つのノズルからインク滴を吐出させるためには、その
ノズルに連通する圧力室を構成する二つの圧電素子（圧
電体よりなる側壁）を駆動させる。この制御系の一実施
例のブロック構成を図１１に示す。図１１において、各
ノズル毎に、インク滴を吐出するかしないかまたは吐出
インク滴量等の情報を有する印字データ４１が、データ
変換部４２に送られる。するとデータ変換部４２では各
ノズル毎の情報を各ノズルに連通する圧力室を構成する
二つの圧電素子毎のデータに変換する。例えば各ノズル
に端から順に１から番号を付け、各圧電素子にも端から
順に１から番号を付けると、番号ｉのノズルからインク
滴を吐出させる場合には、番号ｉと番号ｉ＋１の圧電素
子を駆動するというように変換する。データ変換された
情報は、制御回路４３に送られ、各圧電素子に与えられ
た情報に従い、例えば吐出インク滴量に応じてパルス幅
変調を行うなどして、ドライバ回路４４に送られる。ド
ライバ回路４４では印字ヘッド４５の各圧電素子に印字
データの情報に従って電力を供給する。
【００５６】次に、複数の圧電素子の中のある一つの圧
電素子に対応するドライバ回路４４の一実施例を図１２
に示す。
【００５７】図１２を参照するに、ドライバ回路４４は
図１２に示すような回路が圧電素子の数だけ集まったも
のである。ただし電源Ｖは共通に一つでよい。印字時に
制御回路４３からの印字信号がバッファ４６に入力され
ると、ＮＰＮトランジスタＱ１のベース電圧が“ハイ”
になり、ベース電流が流れ、ＮＰＮトランジスタＱ１が
“オン”になる。するとＰＮＰトランジスタＱ２のベー
ス電圧が“ロウ”に下がるためにベース電流が流れ、Ｐ
ＮＰトランジスタＱ２が“オン”になる。すると電源Ｖ
から電流がＰＮＰトランジスタＱ２と直列抵抗Ｒs を通
して圧電素子Ｃに流れ込み充電されていき、圧電素子Ｃ
の電圧は上昇して伸張動作を起こす。
【００５８】次に、制御回路４３からの印字信号が“オ
フ”になると、ＮＰＮトランジスタＱ１のベース電圧が
“ロウ”に下がるためにベース電流は遮断され、ＮＰＮ
トランジスタＱ１は“オフ”になる。するとＰＮＰトラ
ンジスタＱ２のベース電圧が“ハイ”になり、ベース電
流は遮断されてＰＮＰトランジスタＱ２が“オフ”にな
る。すると圧電素子Ｃに充電された電荷は電圧素子Ｃと
並列に挿入されている並列抵抗Ｒp を通して放電され、
圧電素子Ｃの電圧は下がって圧電素子Ｃの変位は元に戻
り、圧力室を圧縮してインク滴を吐出する。このように
ドライバ回路４４は直列抵抗Ｒs を通して圧電素子Ｃを
充電し、並列抵抗Ｒp を通して圧電素子Ｃの電荷を放電
するＣ・Ｒ充放電回路である。
【００５９】従来、圧電素子への充電と放電の両方にト
ランジスタ等のスイッチ素子を設けていたが、本発明の
ドライバ回路においては放電用のスイッチ素子は不用で
あり、回路が単純になって廉価になる。
【００６０】なお図１２の実施例においてはスイッチ素
子としてバイポーラ・トランジスタを用いた例を示した
が、ＦＥＴ（フィルド・イフェクト・トランジスタ；電
界効果トランジスタ）やサイリスタ等の他のスイッチ素
子を使用しても同様の効果が得られる。また、直列抵抗
Ｒs 及び並列抵抗Ｒp は抵抗発生手段であり、電源から
圧電素子までの内部抵抗や圧電素子自体の内部抵抗分に
より代用させるような設計も可能である。
【００６１】次に、印字するドット径を可変する場合に
ついて説明する。印字するドット径を可変するためには
吐出するインク滴量を可変させればよい。吐出インク滴
量を可変するには、図１２の実施例においては印字信号
のパルス幅を充電時の時定数よりも小さい範囲で可変す
ることにより可能である。小さいインク滴を吐出する場
合にはパルス幅を短くし、大きなインク滴を吐出する場
合にはパルス幅を長くする。するとパルス幅が短い場合
には、印加電圧が小さくなるために電圧素子の変位量が
小さく圧力室の体積変化は小さく、吐出インク滴量は小
さくなる。パルス幅が長い場合には、印加電圧が高くな
るために、圧電素子の変位量は大きく圧力室の体積変化
は大きく、吐出インク滴量は大きくなる。
【００６２】次に、本発明に係るインクジェット記録装
置の、吐出インク滴量を可変できる、制御系の他の実施
例のブロック構成を図１３（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示
し、各点での電圧波形を図１４に示す。
【００６３】図１３、図１４（Ａ）〜（Ｃ）を参照する
に、各ノズル毎に、吐出インク滴量の情報を有する印字
データ４１が、データ変換部４２に送られる。するとデ
ータ変換部４２では各ノズル毎の情報を各ノズルに連通
する圧力室を構成する二つの圧電素子毎のデータに変換
する。例えば各ノズルに端から順に１から番号を付け、
各圧電素子にも端から順に１から番号を付けると、番号
ｉのノズルからインク滴を吐出させる場合には、番号ｉ
と番号ｉ＋１の圧電素子を駆動するというように変換す
る。
【００６４】データ変換された情報は、制御回路５３に
送られ、図１４（Ａ）に示すように、一回の印字タイミ
ングに対して第１のパルスＰ１と第２のパルスＰ２を発
生させる。この時、第１のパルスＰ１の開始タイミング
ｔ1sと第２のパルスＰ２の終了タイミングｔ2eは印字タ
イミングに対して一定で、吐出インク滴量に応じて第１
のパルスＰ１の終了タイミングｔ1eと第２のパルスＰ２
の開始タイミングｔ2sを可変させる。言い換えると第１
のパルスＰ１と第２のパルスＰ２の間の休止時間ｔb ＝
ｔ2s−ｔ1eを可変させ吐出インク滴量を制御する。
【００６５】一方、波形発生回路５５においては、図１
４（Ｂ）に示すように、のこぎり波のような昇圧部分と
降圧部分を含む電圧波形を一定周期Ｔで発生させ、スイ
ッチング回路５４に入力する。スイッチング回路５４で
は制御回路５３からの制御パルスＴ１を受けて波形発生
回路５５の電圧を“オン・オフ”する。すると、印字ヘ
ッド４５の圧電素子には波形発生回路５５の電圧が第１
のパルスＰ１及び第２のパルスＰ２が“オン”の間印加
される。圧電素子は容量素子であるので第１のパルスＰ
１が印加されていない時間帯（ｔ1e〜ｔ2s）の間もｔ1e
時点での電圧が、自然放電による電圧降下はあるが、ほ
ぼ維持される。また、第２のパルスＰ２の開始タイミン
グｔ2sは波形発生回路５５の電圧波形及び第１のパルス
Ｐ１の終了タイミングｔ1eにより一義的に決まるように
する。すなわちｔ1e時点での電圧と等しい電圧に波形発
生回路５５の電圧が下降するタイミングをｔ2sとする。
のこぎり波の昇圧時間をｔ1 、降圧時間ｔ2 とすると第
１のパルスＰ１と第２のパルスＰ２の間の休止時間ｔb
は次式数１のようになる。
【数１】ｔb ＝ｔ1 ＋ｔ2 −（１＋ｔ2 ／ｔ1 ）×ｔa 従って、印字ヘッド４５の圧電素子に印加される電圧波
形は図１４（Ｃ）のようになる。吐出インク滴量を変え
る場合には第１のパルスＰ１のパルス幅ｔa を変え、第
２のパルスＰ２まで休止時間ｔb はｔa に応じて決まる
ようにしておく。大きなインク滴を得るにはパルス幅ｔ
a を長くする。すると図１４（Ｃ）の２番目の波形のよ
うになり、圧電素子に印加される電圧は大きくなり大き
なインク滴が得られる。
【００６６】このような構成にすると電圧の降下速度を
一定のまま電圧を変えられるので、圧電素子の速度が一
定のままで変位量を変えられ、吐出インク滴の速度を変
えずに吐出インク滴量を変えられる。
【００６７】しかしながら、印字ヘッドの構造・形状や
インクの物性等によっては必ずしもインク滴速度が一定
にならない場合がある。その場合には波形発生回路５５
の出力波形を変えることによって、例えば図１５のよう
にすることにより、インク滴速度を一定にしたまま吐出
インク滴量を可変することができる。この場合において
も、ｔ1e時点での電圧と等しい電圧に波形発生回路５５
の電圧が降下するタイミングをｔ2sとする。このように
波形発生回路５５の出力波形を印字ヘッドの特性に合わ
せることにより、インク吐出速度を一定に保ちながら吐
出インク滴量を制御することが容易にできる特徴があ
る。
【００６８】次に、図１に示されたインクジェット記録
装置の印字ヘッドの製造方法について、図１６の製造工
程を示すフローチャートと、各製造工程毎の印字ヘッド
の背面方向斜視図である図１７（Ａ）〜（Ｈ）を用いて
説明する。製造工程は、図１６に示すように、電極形
成、圧力室形成、保護層形成、実装の４つに分けること
ができる。
【００６９】図１６、図１７を参照するに、電極形成工
程においては、まず、図１７（Ａ）に示すように、ＰＺ
Ｔにペロブスカイト形複合酸化物を加えた三成分系ソフ
トセラミクスよりなる１００μｍの板厚を有する圧電体
２の上下面に、それぞれ、電極８及び電極９としてタン
タルをスパッタリングで０．５μｍ成膜する。その後、
図１７（Ｂ）に示すように、圧電体２上面の端部に金メ
ッキ処理を施してパッド部１０を形成する。
【００７０】次に、圧力室形成工程では、まず、図１７
（Ｃ）に示すように、この圧電体２と、３００μｍの板
厚を有し圧電体２と同じ材料のアンダプレート４を、エ
ポキシ樹脂系接着剤を用いて接合する。その後、図１７
（Ｄ）に示すように、カッテイングによって、幅が６
３．５μｍでピッチが１２７μｍの溝を複数形成する。
各溝は、圧力室として機能する深さ２００μｍの深い溝
と、電極８及びパッド部１０を分離して個別電極８ａ、
８ｂ、８ｃ、・・・・・とパッド部１０ａ、１０ｂ、１
０ｃ、・・・・・を形成する深さ１０μｍの浅い溝を有
する。圧電体２の下面は共通電極９となる。
【００７１】次に、保護膜形成工程では、０．１％燐酸
水溶液中で個別電極８ａ、８ｂ、８ｃ、・・・・・と共
通電極９を陽極として１５０Ｖ印加し、個別電極８ａ、
８ｂ、８ｃ、・・・・・の表面と共通電極９の圧力室へ
の露出面を陽極酸化し、五酸化タンタルの陽極酸化膜を
０．３μｍ形成する。この時、陽極酸化されなかったタ
ンタルの膜厚は０．３μｍとなる。
【００７２】次に、実装工程では、まず、図１７（Ｅ）
に示すように、厚さ８０μｍのポリイミドのノズルプレ
ート５上に１２７μｍピッチでエキシマレーザ加工によ
り複数形成された直径４０μｍのノズル６が、圧電体２
及びアンダプレート４に形成された１２７μｍピッチの
複数の溝と連通するように、圧電体２及びアンダプレー
ト４の端面にエポキシ樹脂系接着剤を用いてノズルプレ
ート５を接着する。そして、図１７（Ｆ）に示すよう
に、圧電体２及びアンダプレート４に形成した複数の溝
を覆うように圧電体２の上面にポリイミドのトッププレ
ート３とＰＥＳ（ポリエーテルサルフォン）のインクプ
ール７をエポキシ樹脂系接着剤を用いて接着する。
【００７３】次に、図１７（Ｇ）に示すように、アンダ
プレート４の底面にプリント基板１５を接合する。プリ
ント基板１５にはパッド部１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、・
・・・・と共通電極９を接続するリード端子部１６ａ、
１６ｂ、１６ｃ、・・・・・が形成されており、駆動回
路（図示せず）と電気的に接続される。パッド部１０
ａ、１０ｂ、。１０ｃ、・・・・・とリード端子部１６
ａ、１６ｂ、１６ｃ、・・・・・はワイヤボンディング
によって接続する。、ボンディングワイヤ１７の材料と
しては金を用いる。また、図１７（Ｈ）に示すように、
圧電体２の下面に形成された共通電極９とリード端子部
を導電性ペースト１８を用いて接続する。個別電極８
ａ、８ｂ、８ｃ、・・・・・と接しているインクプール
７の端部とボンディングされた箇所並びに導電性ペース
トを塗布した部分にはエポキシ系樹脂により樹脂封止
（図示せず）を行う。
【００７４】次に、本発明に係るインクジェット記録装
置の印字ヘッドの第２の実施例を、各製造工程毎の背面
方向傾斜図を示す図１８（Ａ）〜（Ｈ）を用いて説明す
る。
【００７５】図１８を参照するに、本発明に係る装置の
第２の実施例は、印字ヘッドの基本構成及び基本寸法、
動作、駆動条件、駆動方法は第１の実施例と同様であ
る。また、製造方法においては、電極形成工程及び圧力
室形成工程が第１の実施例と異なり、保護層形成工程及
び実装工程は第１の実施例と同様である。
【００７６】電極形成工程においては、まず、ＰＺＴに
ペロブスカイト形複合酸化物を加えた三成分系ソフトセ
ラミクスよりなる１００μｍの板厚を有する圧電体２の
上下面に、それぞれ、電極８及び電極９としてタンタル
をスパッタリングで０．５μｍ成膜する。その後、図１
８（Ａ）に示すように、上面のタンタルをフォトリソグ
ラフィ技術により所定のパターンにエッチングし個別電
極８ａ、８ｂ、８ｃ、・・・・・を形成する。そして、
図１８（Ｂ）に示すように、個別電極８ａ、８ｂ、８
ｃ、・・・・・の端部に金メッキ処理を施しパッド部１
０ａ、１０ｂ、１０ｃ、・・・・・を形成する。圧電体
２の下面は共通電極９となる。
【００７７】次に、圧力室形成工程では、まず、図１８
（Ｃ）に示すように、この圧電体２と、３００μｍの板
厚を有し圧電体２と同じ材料のアンダプレート４を、エ
ポキシ樹脂系接着剤を用いて接合する。その後、図１８
（Ｄ）に示すように、カッテイングによって、幅が６
３．５μｍでピッチが１２７μｍの溝を所定の長さ複数
形成する。各溝は、圧力室として機能する深さ２００μ
ｍの部分を所定の長さ有する。
【００７８】次に、保護層形成工程においては、前述し
た第１の実施例と同様に電極のタンタルの露出部表面を
陽極酸化し五酸化タンタルを形成する。次に、実装工程
においては、図１８（Ｅ）〜（Ｈ）に示すように、第１
の実施例と同様である。
【００７９】次に、本発明に係るインクジェット記録装
置の印字ヘッドの第３の実施例を、各製造工程毎の背面
方向斜視図を示す図１９（Ａ）〜（Ｇ）を用いて説明す
る。第３の実施例は、印字ヘッドの基本構成及び基本寸
法、動作、駆動条件、駆動方法は前記第１の実施例と同
様である。また、製造方法においては、圧力室形成工程
及び実装工程が第１の実施例と異なり、電極形成工程及
び保護層形成工程は第１の実施例と同様である。
【００８０】電極形成工程においては、図１９（Ａ）及
び（Ｂ）に示すように、第１の実施例と同様であり、次
に、圧力室形成工程では、まず、図１９（Ｃ）に示すよ
うに、端面に電極１９としてタンタルがスパッタリング
で０．５μｍ成膜され３００μｍの板厚を有し圧電体２
と同じ材料のアンダプレート４を、エポキシ樹脂系接着
剤を持いて圧電体２と接合する。そして、圧電体２の下
面の電極９とアンダプレート４の端面の電極１９を導電
性接着剤２０で電気的に接続する。その後、図１９
（Ｄ）に示すように、カッテイングによって、幅が６
３．５μｍ、ピッチが１２７μｍ、深さ２００μｍの溝
を圧電体２の全長に亙り複数形成し、電極８及びパッド
部１０を分離し個別電極８ａ、８ｂ、８ｃ、・・・・・
及びパッド部１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、・・・・・を形
成する。
【００８１】次に、保護層形成工程においては、第１の
実施例と同様に電極のタンタルの露出部表面を陽極酸化
し五酸化タンタルを形成する。次に、実装工程において
は、まず、図１９（Ｅ）に示すように、溝の後方を塞ぐ
ようにエンドプレート２１をエポキシ樹脂系接着剤で接
合する。そして、図１９（Ｆ）に示すように、厚さ８０
μｍのポリイミドのノズルプレート５上に１２７μｍピ
ッチでエキシマレーザ加工により複数形成された直径４
０μｍのノズル６が、圧電体２及びアンダプレート４に
形成された１２７μｍピッチの複数の溝と連通するよう
に、圧電体２及びアンダプレート４の端面にエポキシ樹
脂系接着剤を用いてノズルプレート５を接着する。ま
た、圧電体２に形成した複数の溝を覆うように圧電体２
の上面にポリイミドのトッププレート３とＰＥＳのイン
クプール７をエポキシ樹脂系接着剤を用いて接着する。
【００８２】次に、図１９（Ｇ）に示すように、アンダ
プレート４の底面にプリント基板１５を接合する。プリ
ント基板１５にはパッド部１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、・
・・・・と共通電極１９を接続するリード端子部１６
ａ、１６ｂ、１６ｃ、・・・・・が形成されており、駆
動回路（図示せず）と電気的に接続される。パッド部１
０ａ、１０ｂ、１０ｃ、・・・・・とリード端子部１６
ａ、１６ｂ、１６ｃ、・・・・・はワイヤボンディング
によって接続する。ボンディングワイヤ１７の材料とし
ては金を用いる。また、アンダプレート４の端面に形成
された共通電極１９とリード端子部を導電性ペースト１
８を用いて接続する。インクプール７の端からエンドプ
レート２１までの間の溝はエポキシ系樹脂（図示せず）
により埋める。さらに、ボンディングされた箇所並びに
導電性ペーストを塗布した部分はエポキシ系樹脂により
樹脂封止（図示せず）を行う。
【００８３】次に、本発明に係るインクジェット記録装
置の印字ヘッドの第４の実施例の各製造工程毎の背面方
向斜視図を図２０に示す。また、第５、第６の実施例の
背面方向斜視図を図２１、図２２にそれぞれ示す。
【００８４】第４、第５、第６の実施例は、印字ヘッド
の基本構成及び基本寸法、動作、駆動条件、駆動方法と
基本製造工程は第１、第２、第３の実施例とそれぞれ同
様であり、相違点は、アンダプレート４が圧電体２より
一まわり大きく、また、共通電極２２をアンダプレート
４の上面に形成し、共通電極２２とプリント基板１５上
のリード端子部の接続をワイヤボンディングにより行う
ことである。
【００８５】図２３は、本発明に係るインクジェット記
録装置の印字ヘッドの第７の実施例を示す正面断面図で
ある。
【００８６】図２３を参照するに、本発明による第７の
実施例は、基本構成及び基本寸法、動作、駆動条件、駆
動方法については第１の実施例と同様であり、相違点
は、電極８ａ、８ｂ、８ｃ、・・・・・、電極９ａ、９
ｂ、９ｃ、・・・・・の保護層として陽極酸化膜の代わ
りに保護膜２３を成膜することにより、電極８ａ、８
ｂ、８ｃ、・・・・・、電極９ａ、９ｂ、９ｃ、・・・
・・を圧力室１ａ、１ｂ、１ｃ、・・・・・内のインク
（図示せず）から保護する点である。保護膜２３は、ス
パッタリングにより窒化シリコンを成膜する。保護層形
成工程以外の電極形成工程、圧力室形成工程、実装工程
は第１の実施例と同様である。
【００８７】次に、本発明に係るインクジェット記録装
置の印字ヘッドの第８の実施例を、各製造工程毎の背面
方向斜視図を示す図２４（Ａ）〜（Ｇ）を用いて説明す
る。図２４（Ａ）〜（Ｇ）において、本発明による第８
の実施例においては、圧電体として積層型の圧電素子２
４を使用する。図２４（Ａ）において、積層型圧電素子
２４は、複数の内部電極２５が一つおきに互い違いに外
部電極２６と２７にそれぞれ電気的に接続される構造に
なっている。積層型圧電素子２４は層間が２０μｍで２
０層よりなり、厚さは４００μｍである。この積層型圧
電素子２４は外部電極２６の端部に、図２４（Ｂ）に示
すように、金を成膜しパッド部１０を形成する。
【００８８】次に、圧力室形成工程では、まず、図２４
（Ｃ）に示すように、端面に電極１９としてタンタルが
スパッタリングで０．５μｍ成膜され、５００μｍの板
厚を有し圧電材料よりなるアンダプレート４を、エポキ
シ樹脂系接着剤を用いて積層型圧電素子２４と接合す
る。そして、積層型圧電素子２４の端面の外部電極２７
とアンダプレート４の端面の電極１９を導電性接着剤２
０で電気的に接続する。その後、図１９（Ｄ）に示すよ
うに、カッテイングによって、幅が６３．５μｍ、ピッ
チが１２７μｍ、深さが５００μｍの溝を積層型圧電素
子２４の全長に亙り複数形成し、外部電極２６及びパッ
ド部１０を分離し、個別電極２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、
・・・・・及びパッド部１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、・・
・・・を形成する。
【００８９】次に、保護層形成工程においては、前述し
た第７の実施例と同様にスパッタリングにより窒化シリ
コンを成膜する。次に、実装工程においては、まず、図
２４（Ｅ）に示すように、溝の後方を防ぐようにエンド
プレート２１をエポキシ樹脂系接着剤で接合する。そし
て、図２４（Ｆ）に示すように、厚さ８０μｍのポリイ
ミドのノズルプレート５上に１２７μｍのピッチでエキ
シマレーザ加工により複数形成された直径４０μｍのノ
ズル６が、積層型圧電素子２４及びアンダプレート４に
形成された１２７μｍピッチの複数の溝と連通するよう
に、積層型圧電素子２４及びアンダプレート４の端面に
エポキシ樹脂系接着剤を用いてノズルプレート５を接着
する。また、積層型圧電素子２４に形成した複数の溝を
覆うように積層型圧電素子２４の上面にポリイミドのト
ッププレート３とＰＥＳのインクプール７をエポキシ樹
脂系接着剤を用いて接着する。
【００９０】次に、図２４（Ｇ）に示すように、アンダ
プレート４の底面にプリント基板１５を接合する。プリ
ント基板１５にはパッド部１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、・
・・・・と共通電極１９を接続するリード端子部１６
ａ、１６ｂ、１６ｃ、・・・・・が形成されており、駆
動回路（図示せず）と電気的に接続される。パッド部１
０ａ、１０ｂ、１０ｃ、・・・・・とリード端子部１６
ａ、１６ｂ、１６ｃ、・・・・・ワイヤボンディングに
よって接続する。ボンディングワイヤ１７の材料として
は金を用いる。
【００９１】また、アンダプレート４の端面に形成され
た共通電極１９とリード端子部を導電性ペースト１８を
用いて接続する。インクプール７の端からエンドプレー
ト２１までの間の溝はエポキシ系樹脂（図示せず）によ
り埋める。さらに、ボンディングされた箇所並びに導電
性ペーストを塗布した部分はエポキシ系樹脂により樹脂
封止（図示せず）を行う。
【００９２】前記第８の実施例の場合には、印字ヘッド
の動作、駆動方法は第１の実施例と同様であり、圧力室
として作用する部分の寸法は、６３．５μｍ×５００μ
ｍ×４ｍｍとなり、代表的な吐出安定領域の駆動電圧は
１５Ｖと低電圧駆動が可能となる。
【００９３】次に、本発明に係るインクジェット記録装
置の印字装置の印字ヘッドの第９の実施例の背面方向斜
視図を図２５に示す。
【００９４】図２５において、本発明による第９の実施
例は、印字ヘッドの基本構成及び基本寸法、動作、駆動
条件、駆動方法と基本製造工程は第１の実施例と同様で
あり、相違点は、トッププレート２８の一部の厚さを薄
くすることによりインクプール２９を形成している点で
ある。インクプール２９を形成するトッププレート２８
の材料としては、圧力室を形成する圧電体と同じ材料や
ＰＥＳやガラスを用いる。
【００９５】次に、本発明に係るインクジェット記録装
置の印字ヘッドの第１０の実施例の背面方向斜視図を図
２６に、側面図を図２７にそれぞれ示す。
【００９６】図２６、図２７を参照するに、本発明によ
る第１０の実施例は、印字ヘッドの基本構成及び基本寸
法、動作、駆動条件、駆動方法と基本製造工程は第１の
実施例と同様であり、相違点は、圧電体２の上面はトッ
ププレート３０が覆っており、インク供給はプリント基
板３１及びアンダプレート３２に開けて形成したインク
プール３３を通して行う点である。インクプール３３の
形成は、フライス等の機械加工やレーザ加工などで行う
ことができる。また、アンダプレートとしてシリコン基
板を用いた場合には、シリコンの異方性エッチングによ
りインクプールを形成することができる。
【００９７】以上説明した各実施例の他に、電極とし
て、第１の実施例から第６の実施例では、アルミニウ
ム、チタン、マグネシウム、ニオブ、ギルコニウムを、
スパッタリング、ＣＶＤ（ケミカル・ベーパ・ディポジ
ション）、蒸着等を用いて形成することもでき、第７及
び第８の実施例では、これらに加えて銀、銀パラジウ
ム、白金、ミッケル、金、ニクロムやこれらの合金を、
焼き付け、メッキ、蒸着、スパッタリング、ＣＶＤ等に
より形成することもできる。また、第７及び第８の実施
例では、保護層として、Ｓi Ｏ2 、Ｓi ３Ｎ4 、ＢＰＳ
Ｇ膜、ポリイミド、高分子材料を、スパッタリング、Ｃ
ＶＤ、ディッピング等により形成することもできる。ま
た、第３、第６、第８の実施例においては、溝の形成を
カッティングソーで行うほかにワイヤソーによる機械加
工やレーザアシストエッチングのような化学反応により
行うこともできる。
【００９８】さらに、全ての実施例において、パッド部
として、金、ニッケル、アルミニウムを、メッキやスパ
ッタリング等にて形成することもできる。また、アンダ
プレートとして、ＰＺＴ、アルミナ（Ａl ２０３）、Ｓ
i ３Ｎ4 、Ｓi Ｃ、ＢＮ、ＩＴＯ等のセラミクス材料、
ガラス（Ｓi ０2 ）、Ｓi 板、タンタル板、アルミニウ
ム板、チタン板、アグネシウム板、ニオブ板、ジルコニ
ウム板を用いることもできる。また、トッププレートと
して、圧力室を形成する圧電体と同じ材料やガラスやセ
ラミクスやＰＥＳを用いることもできる。また、ノズル
プレートとして、圧力室を形成する圧電体と同じ材料や
ガラスやセラミクスやミッケルを用いることもできる。
【００９９】なお、以上の説明においてノズルはノズル
プレート上に形成した例を示したが、ノズルプレートに
はノズルを設けなくてノズルをトッププレートに形成し
ても本発明の効果は同様に発揮される。
【０１００】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のインクジ
ェット記録装置によれば、圧電体の側壁に電圧を印加す
る２つの電極が圧力室の範囲内にある構造のために、イ
ンク滴の吐出に寄与しない部分への電界の印加はなく、
印加電圧が無駄になることはなく、低電圧駆動が可能で
あり、また、圧力室は小さくて済む利点が得られる。さ
らに、各圧力室の間にはスリットのような無駄な空間は
なく、形成した溝は全て圧力室になるめに、高密度で多
ノズルの印字ヘッドが得られる。その結果、コストが安
く、また、高密度で多ノズルすなわち小型で高速のイン
クジェット記録装置が得られる。
【０１０１】また本発明によれば、駆動電圧をインク滴
吐出臨界電圧以上でその２倍以下にするか、または圧電
素子の変位速度をインク滴吐出臨界変位速度以上でその
２倍以下にするか、または印加エネルギをインク滴吐出
臨界エネルギ以上でその４倍以下にすることにより、隣
接ノズルへの干渉は抑えられ、極性の異なる電圧印加手
段は不要となり、単一の極性の電源だけでよく、構成が
単純になりコストが安くなる。
【０１０２】本発明によればまた、電界の向きは分極の
向きと同じであるために、分極反転せずに高電界を印加
することができ、大きな変位を得ることが可能となり、
圧力室は小さくて済む利点が得られる。その結果、高密
度で多ノズルすなわち小型で高速のインクジェット記録
装置が得られる。
【０１０３】また、制御系のドライバ回路においては、
圧電素子と電気的に並列に抵抗を入れることにより、放
電用スイッチング素子が不要になり、回路構成が単純に
なってコストが安くなる。
【０１０４】本発明によればまた、もう一つの制御系に
おいては、波形発生回路が出力する昇圧部分と降圧部分
を有する電圧波形を、スイッチング回路で“オン・オ
フ”し圧電素子に印加する際に、昇圧時に第１のパルス
を発生し降圧時に第２のパルスを発生し、第１のパルス
が“オフ”の時点での電圧に等しい電圧に波形発生回路
の電圧が下がった時点で第２のパルスを発生し、第１の
パルスと第２のパルスの間の“オフ”時間を制御するこ
とにより、吐出インク滴量を可変することができる。こ
の場合、波形発生回路の出力電圧波形を印字ヘッドやイ
ンクの特性に合わせてマッチングさせることによリ、吐
出インク滴の速度を一定に保ったままで吐出インク滴量
を可変できるという特徴が得られる。
【０１０５】さらに、本発明に係るインクジェット記録
装置の製造方法においては、分極方向と電圧界方向が同
一のために、分極処理は印字ヘッド完成後に圧電体の側
壁の上下面に形成した電極を通じて電圧を印加すれば良
く、溝加工の前に分極用電極を形成して分極処理をし、
そして分極用電極を剥離するという工程が不要となり、
製造工程は短くコストが安くなる。
【０１０６】本発明によればまた、分極処理を事前に行
わなくても良いために接着やＣＶＤやスパッタリング等
の高温プロセスを使用することができ、信頼性が高くコ
ストの安い製造方法や材料を用いることができる。
【０１０７】また、圧力室の形成は複数の溝が形成され
た圧電体上面に平らなトッププレートを接合すればよ
く、溝の頂点同士を精度良く位置決めし接合するような
ことは不要であり、コストが安く安定に製造することが
できる。
【０１０８】また、電極の保護層を陽極酸化膜で形成す
るために、簡易な設備でコストが安くでき、さらに、こ
の陽極酸化膜は非常に緻密であり信頼性が高い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るインクジェット記録装置の印字ヘ
ッドの第１の実施例を示す概略斜視図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は本発明の動作を説明
する断面図である。
【図３】駆動電圧波形を示す説明図である。
【図４】駆動条件を示す説明図である。
【図５】複数の圧力室を駆動する方法の第１の実施例を
示すタイミングチャートである。
【図６】複数の圧力室を駆動する第１の実施例における
各ノズルの位置関係を示す説明図である。
【図７】複数の圧力室を駆動する方法の第２の実施例を
示すタイミングチャートである。
【図８】複数の圧力室を駆動する第２の実施例における
各ノズルの位置関係を示す説明図である。
【図９】複数の圧力室を駆動する方法の第３の実施例を
示すタイミングチャートである。
【図１０】複数の圧力室を駆動する第３の実施例におけ
る各ノズルの位置関係を示す説明図である。
【図１１】本発明に係るインクジェット記録装置におけ
る制御系の第１の実施例を示すブロック構成図である。
【図１２】図１１に示したドライバ回路の一具体例を示
す回路構成図である。
【図１３】本発明に係るインクジェット記録装置におけ
る制御系の第２の実施例を示すブロック構成図である。
【図１４】吐出インク滴量を可変する方法を示す説明図
である。
【図１５】図１３に示した波形発生回路の出力波形を示
す説明図である。
【図１６】（Ａ）〜（Ｇ）は本発明に係るインクジェッ
ト記録装置の印字ヘッドの第１の実施例の製造方法を示
す工程図である。
【図１７】（Ａ）〜（Ｈ）は本発明に係るインクジェッ
ト記録装置の印字ヘッドの第１の実施例の製造方法を示
す工程図である。
【図１８】（Ａ）〜（Ｈ）は本発明に係るインクジェッ
ト記録装置の印字ヘッドの第２の実施例の装置及び製造
方法を示す説明図（一部断面斜視図）である。
【図１９】（Ａ）〜（Ｇ）は本発明に係るインクジェッ
ト記録装置の印字ヘッドの第３の実施例の装置及び製造
方法を示す説明図（一部断面斜視図）である。
【図２０】（Ａ）〜（Ｇ）は本発明に係るインクジェッ
ト記録装置の印字ヘッドの第４の実施例の装置及び製造
方法を示す説明図（一部断面斜視図）である。
【図２１】本発明に係るインクジェット記録装置の印字
ヘッドの第５の実施例を示す一部断面斜視図である。
【図２２】本発明に係るインクジェット記録装置の印字
ヘッドの第６の実施例を示す一部断面斜視図である。
【図２３】本発明に係るインクジェット記録装置の印字
ヘッドの第７の実施例を示す断面図である。
【図２４】（Ａ）〜（Ｇ）は本発明に係るインクジェッ
ト記録装置の印字ヘッドの第８の実施例の装置及び製造
方法を示す説明図（一部断面斜視図）である。
【図２５】本発明に係るインクジェット記録装置の印字
ヘッドの第９の実施例を示す一部断面斜視図である。
【図２６】本発明に係るインクジェット記録装置の印字
ヘッドの第１０の実施例を示す一部断面斜視図である。
【図２７】本発明に係るインクジェット記録装置の印字
ヘッドの第１０の実施例を示す断面図である。
【図２８】従来例を示す説明図である。
【図２９】別の従来例を示す説明図である。
【図３０】さらに別の従来例を示す説明図である。
【符号の説明】
１ａ、１ｂ、１ｃ、・・・・・：圧力室 ２ａ、２ｂ、２ｃ、・・・・・：側壁 ３：トッププレート ４：アンダプレート ５、１１、１３：ノズルプレート ６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・・・：ノズル １２ａ、１２ｂ、１２ｃ、・・・・・：ノズル １４ａ、１４ｂ、１４ｃ、・・・・・：ノズル ７：インクプール ８ａ、８ｂ、８ｃ、・・・・・：電極 ９ａ、９ｂ、９ｃ、・・・・・：電極 １０ａ、１０ｂ、１０ｃ、・・・・・：パッド部 １５：プリント基板 １６ａ、１６ｂ、１６ｃ、・・・・・：リード端子部 １７：ボンディングワイヤ １８：導電性ペースト １９：電極 ２０：導電性接着剤 ２１：エンドプレート ２２：共通電極 ２３：保護膜 ２４：積層型圧電素子 ２５：内部電極 ２６、２７：外部電極 ２８、３０：トッププレート ２９、３３：インクプール ３１：プリント基板 ３２：アンダプレート ４１：印字データ ４２：データ変換部 ４３、５３：制御回路 ４４：ドライバ回路 ４５：印字ヘッド ４６：バッファ ５４：スイッチング回路 ５５：波形発生回路 １４０：圧電体プレート １４２：インクキャビティ溝 １４６：インクノズル溝 １４８：スリット １５０：カバープレート １５４、１５６：電極 ２０２：流路 ２０６：ノズル ２１５、２１７、２１９、２２１、２２３：剪断モード
アクチュエータ ２２５：底壁 ２２７：天壁 ２２９：上部壁 ２３１：下部壁 ２３３、２３５：分極方向 ２３７、２３９、２４１、２４３、２４５：電極 ２４７、２４９：変形時の位置 ３０２：基板 ３０３：圧電体 ３０４：フィルム ３０５：溝 ３０６：側壁 ３０７：圧力室 ３０８、３０９：電極 ３１０：オリフィス

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 上面及び下面に電極を有し上下方向に分
    極された圧電体の側壁で両側が仕切られた上側が可撓性
    を有するトッププレ−トで覆われた圧力室と、前記圧力
    室に連通するノズルと、前記電極と電気的に接続され前
    記側壁の分極方向と同一方向に電界を印加する電圧印加
    手段を含む制御系とを備えたことを特徴とするインクジ
    ェット記録装置。
  2. 【請求項２】 前記側壁は、前記圧力室の範囲内にある
    ことを更に特徴とする請求項１に記載のインクジェット
    記録装置。
  3. 【請求項３】 前記側壁は、隣接する前記圧力室の間で
    共有されていることを更に特徴とする請求項２に記載の
    インクジェット記録装置。
  4. 【請求項４】 前記圧力室を構成する両側の前記側壁を
    伸縮動作させてインク滴を前記圧力室に連通する前記ノ
    ズルから吐出させることを更に特徴とする請求項３に記
    載のインクジェット記録装置。
  5. 【請求項５】 前記制御系は、インク滴吐出臨界電圧以
    上でその２倍以下の駆動電圧を前記側壁へ印加すること
    を更に特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録
    装置。
  6. 【請求項６】 前記制御系は、前記側壁の変位速度がイ
    ンク滴吐出臨界変位速度以上でその２倍以下になる駆動
    電圧波形を前記側壁へ印加することを更に特徴とする請
    求項４に記載のインクジェット記録装置。
  7. 【請求項７】 前記制御系は、インク滴吐出臨界エネル
    ギ以上でその４倍以下の印加エネルギを前記側壁へ印加
    することを更に特徴とする請求項４に記載のインクジェ
    ット記録装置。
  8. 【請求項８】 前記ノズルは、ｎ（ｎは２以上の自然
    数）個おきに同じ位置に配置され、ｎ個おきに同じタイ
    ミングで、前記ノズルに連通する前記圧力室を駆動する
    ことを更に特徴とする請求項５、請求項６または請求項
    ７のいすれか一項に記載のインクジェット記録装置。
  9. 【請求項９】 前記ノズルは、ｎ（ｎは２以上の自然
    数）個おきに２つづつ同じ位置に配置され、ｎ個おきに
    ２つづつ同じタイミングで、前記ノズルに連通する前記
    圧力室を駆動することを更に特徴とする請求項５、請求
    項６または請求項７のいずれか一項に記載のインクジェ
    ット記録装置。
  10. 【請求項１０】 前記ノズルは、２ｎ（ｎは２以上の自
    然数）個おきに２つづつ同じ位置に配置され、２ｎ個お
    きに２つづつ同じタイミングで、前記ノズルに連通する
    前記圧力室を駆動することを更に特徴とする請求項５、
    請求項６または請求項７のいづれか一項に記載のインク
    ジェット記録装置。
  11. 【請求項１１】 前記制御系は、前記圧力室毎の印字デ
    ータを前記側壁毎に振り分けるデータ変換手段を有する
    ことを更に特徴とする請求項８、請求項９または請求項
    １０のいずれか一項に記載のインクジェット記録装置。
  12. 【請求項１２】 前記側壁と電気的に並列な抵抗発生手
    段を有することを更に特徴とする請求項１１に記載のイ
    ンクジェット記録装置。
  13. 【請求項１３】 前記制御系は、吐出するインク滴量に
    応じパルス幅を可変し、それをドライバ回路へ出力する
    制御手段を有することを更に特徴とする請求項１２に記
    載のインクジェット記録装置。
  14. 【請求項１４】 前記制御系は、第１のパルスと第２の
    パルスを発生し吐出するインク滴量に応じ前記第１のパ
    ルスと前記第２のパルスの間の“オフ”時間を可変する
    制御手段と、昇圧部分と降圧部分を有する電圧波形を発
    生する波形発生手段と、前記電圧波形を前記第１のパル
    スと前記第２のパルスが“オン”の間前記側壁に印加す
    るスイッチング手段とを有することを更に特徴とする請
    求項１１に記載のインクジェット記録装置。
  15. 【請求項１５】 前記制御手段は、インク滴吐出１サイ
    クルにおいて、前記第１のパルスは前記電圧波形の昇圧
    時に発生し、前記第１のパルスが“オフ”の時点での電
    圧に等しい電圧に前記波形発生回路の電圧が下がった時
    点で前記第２のパルスを発生することを更に特徴とする
    請求項１４に記載のインクジェット記録装置。
  16. 【請求項１６】 前記波形発生手段は、昇圧後の降圧時
    において、時間の経過とともに降圧速度が速くなる降圧
    波形を発生することを更に特徴とする請求項１５に記載
    のインクジェット記録装置。
  17. 【請求項１７】 前記圧電体は、積層型であることを更
    に特徴とする請求項１１、請求項１２、請求項１３、請
    求項１４、請求項１５または請求項１６のいずれか一項
    に記載のインクジェット記録装置。
  18. 【請求項１８】 前記電極材料は、タンタル、アルミニ
    ウム、チタン、マグネシウム、ニオブ、ジルコニウムの
    いずれかであり、前記電極の保護層は前記電極材料の酸
    化膜であることを更に特徴とする請求項１１、請求項１
    ２、請求項１３、請求項１４、請求項１５または請求項
    １６のいずれか一項に記載のインクジェット記録装置。
  19. 【請求項１９】 圧電体の上下面に電極を形成する工程
    と、前記圧電体とアンダプレートを接合する工程と、前
    記圧電体と前記アンダプレートを接合した部分を含む該
    圧電体と該アンダプレートの領域に溝を形成する工程
    と、前記溝を形成した後に前記電極の保護層を形成する
    工程と、前記保護層を形成した後にノズルプレート及び
    トッププレートを接合する工程とを含むことを特徴とす
    るインクジェット記録装置の製造方法。
  20. 【請求項２０】 圧電体の上面に電極をパターニングす
    る工程と、前記圧電体の下面に電極を形成する工程と、
    前記圧電体とアンダプレートを接合する工程と、前記圧
    電体と前記アンダプレートを接合した部分を含む該圧電
    体と該アンダプレートの領域に溝を形成する工程と、前
    記溝を形成した後に前記電極の保護層を形成する工程
    と、前記保護層を形成した後にノズルプレート及びトッ
    ププレートを接合する工程とを含むことを特徴とするイ
    ンクジェット記録装置の製造方法。
  21. 【請求項２１】 圧電体の上面に電極を形成する工程
    と、アンダプレートの上面に電極を形成する工程と、前
    記圧電体と前記アンダプレートを接合する工程と、前記
    圧電体と前記アンダプレートを接合した部分を含む該圧
    電体と該アンダプレートの領域に溝を形成する工程と、
    前記溝を形成した後に前記電極の保護層を形成する工程
    と、前記保護層を形成した後にノズルプレート及びトッ
    ププレートを接合する工程とを含むことを特徴とするイ
    ンクジェット記録装置の製造方法。
  22. 【請求項２２】 圧電体の上面に電極をパターニングす
    る工程と、アンダプレートの上面に電極を形成する工程
    と、前記圧電体と前記アンダプレートを接合する工程
    と、前記圧電体と前記アンダプレートを接合した部分を
    含む該圧電体と該アンダプレートの領域に溝を形成する
    工程と、前記溝を形成した後に前記電極の保護層を形成
    する工程と、前記保護層を形成した後にノズルプレート
    及びトッププレートを接合する工程とを含むことを特徴
    とするインクジェット記録装置の製造方法。
  23. 【請求項２３】 前記保護層は電極材料を陽極酸化して
    形成されたことを更に特徴とする請求項１９、請求項２
    ０、請求項２１または請求項２２のいずれか一項に記載
    のインクジェット記録装置の製造方法。
  24. 【請求項２４】 前記保護層は絶縁材料を成膜して形成
    されたことを更に特徴とする請求項１９、請求項２０、
    請求項２１または請求項２２のいずれか一項に記載のイ
    ンクジェット記録装置の製造方法。
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DE69606821T DE69606821T2 (de) 1995-10-09 1996-10-08 Tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung
EP96116106A EP0768181B1 (en) 1995-10-09 1996-10-08 Ink jet recording device
EP98100819A EP0839656B1 (en) 1995-10-09 1996-10-08 Method of producing an ink-jet recording device
DE69608900T DE69608900T2 (de) 1995-10-09 1996-10-08 Verfahren zur Herstellung einer Tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung
CA002187415A CA2187415C (en) 1995-10-09 1996-10-08 Ink jet recording device and method of producing the same
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KR1019960045603A KR100236149B1 (ko) 1995-10-09 1996-10-09 잉크젯 기록 장치 및 그 제조 방법(Ink jet recording device and method of producing the same)
AU68107/96A AU720415B2 (en) 1995-10-09 1996-10-09 Ink jet recording device and method of producing the same
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100761893B1 (ko) * 1998-11-14 2007-09-28 자아 테크날러쥐 리미티드 미세방울 침전 장치
KR100795212B1 (ko) * 1999-08-14 2008-01-16 자아 테크날러쥐 리미티드 미세방울 침전 장치
JP2012223936A (ja) * 2011-04-18 2012-11-15 Seiko Epson Corp 圧電素子駆動回路および流体噴射装置

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6095638A (en) * 1996-11-21 2000-08-01 Nec Corporation Elastic ink jet printing head and method for manufacturing head block thereof
JP3123468B2 (ja) * 1997-06-25 2001-01-09 日本電気株式会社 インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
GB0121619D0 (en) 2001-09-07 2001-10-31 Xaar Technology Ltd Droplet depostion apparatus
GB0121909D0 (en) 2001-09-11 2001-10-31 Xaar Technology Ltd Droplet deposition apparatus
DE60313233T2 (de) * 2002-02-21 2007-08-23 Brother Kogyo K.K., Nagoya Tintenstrahlkopf, Verfahren für dessen Herstellung, und Tintenstrahldrucker
US6942318B2 (en) * 2002-05-31 2005-09-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Chamber having a protective layer
US7025433B2 (en) * 2002-11-27 2006-04-11 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Changing drop-ejection velocity in an ink-jet pen
GB0414867D0 (en) * 2004-07-02 2004-08-04 Xaar Technology Ltd Droplet deposition apparatus
JP2006082396A (ja) * 2004-09-16 2006-03-30 Konica Minolta Holdings Inc インクジェットヘッド
JP4857934B2 (ja) 2005-08-23 2012-01-18 コニカミノルタホールディングス株式会社 インクジェットヘッド
KR100992475B1 (ko) 2008-11-14 2010-11-08 성균관대학교산학협력단 플러렌 박막층을 포함하는 소자 및 이를 제조하는 방법
JP5563354B2 (ja) * 2010-04-01 2014-07-30 エスアイアイ・プリンテック株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP5588230B2 (ja) * 2010-05-27 2014-09-10 エスアイアイ・プリンテック株式会社 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法
JP5689651B2 (ja) 2010-11-09 2015-03-25 エスアイアイ・プリンテック株式会社 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの駆動方法
DE102019122924B3 (de) * 2019-08-27 2020-10-29 Canon Production Printing Holding B.V. Verfahren zur Bestimmung des hochdynamischen Ablösungsverhaltens einer Tinte von einem Tintenstrahldruckkopf und Verwendung des Verfahrens
JP7478556B2 (ja) 2020-03-04 2024-05-07 東芝テック株式会社 液体吐出装置

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5912828B2 (ja) * 1976-07-19 1984-03-26 株式会社大林組 鉄筋コンクリ−ト構造骨組の柱・梁接合部
DE3280308D1 (de) * 1981-04-24 1991-04-04 Squibb & Sons Inc Verwendung von nadolol zur herstellung peroraler formen fuer die behandlung von glaukom.
JPS57182452A (en) * 1981-05-08 1982-11-10 Seiko Epson Corp Multinozzle head
JPS6159913A (ja) * 1984-08-30 1986-03-27 Shin Kobe Electric Mach Co Ltd Ａｄ変換回路
US4752788A (en) * 1985-09-06 1988-06-21 Fuji Electric Co., Ltd. Ink jet recording head
JPS6256150A (ja) * 1985-09-06 1987-03-11 Fuji Electric Co Ltd インクジエツト記録ヘツド
US4879568A (en) * 1987-01-10 1989-11-07 Am International, Inc. Droplet deposition apparatus
JP2744536B2 (ja) * 1991-10-04 1998-04-28 株式会社テック インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法
US5227813A (en) * 1991-08-16 1993-07-13 Compaq Computer Corporation Sidewall actuator for a high density ink jet printhead
US5543009A (en) * 1991-08-16 1996-08-06 Compaq Computer Corporation Method of manufacturing a sidewall actuator array for an ink jet printhead
JPH05338147A (ja) * 1992-06-11 1993-12-21 Tokyo Electric Co Ltd インクジェットプリンタ
EP0595654A3 (en) * 1992-10-30 1997-07-23 Citizen Watch Co Ltd Ink jet head
JPH06143588A (ja) * 1992-10-30 1994-05-24 Seiko Epson Corp インクジェット記録ヘッドの製造方法
JP3292223B2 (ja) * 1993-01-25 2002-06-17 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッドの駆動方法、及びその装置
JP3123298B2 (ja) * 1993-05-10 2001-01-09 ブラザー工業株式会社 インクジェットプリンタヘッドの製造方法
JPH06344550A (ja) * 1993-06-07 1994-12-20 Brother Ind Ltd インク噴射装置
JPH0747678A (ja) * 1993-08-09 1995-02-21 Tec Corp インクジェットプリンタヘッドの製造方法
JP3120638B2 (ja) * 1993-10-01 2000-12-25 ブラザー工業株式会社 インク噴射装置
JPH07171960A (ja) * 1993-10-29 1995-07-11 Citizen Watch Co Ltd インクジェットヘッドおよびその駆動方法
JP3183010B2 (ja) * 1993-12-24 2001-07-03 ブラザー工業株式会社 インク噴射装置
US5767878A (en) * 1994-09-30 1998-06-16 Compaq Computer Corporation Page-wide piezoelectric ink jet print engine with circumferentially poled piezoelectric material
JPH08192514A (ja) * 1995-01-19 1996-07-30 Brother Ind Ltd インクジェット記録装置
JP3299431B2 (ja) * 1995-01-31 2002-07-08 東芝テック株式会社 インクジェットプリンタヘッドの製造方法
US5997135A (en) * 1995-03-27 1999-12-07 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Two actuator shear mode type ink jet print head with dimensional relations

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100761893B1 (ko) * 1998-11-14 2007-09-28 자아 테크날러쥐 리미티드 미세방울 침전 장치
KR100795212B1 (ko) * 1999-08-14 2008-01-16 자아 테크날러쥐 리미티드 미세방울 침전 장치
JP2012223936A (ja) * 2011-04-18 2012-11-15 Seiko Epson Corp 圧電素子駆動回路および流体噴射装置

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Publication number Publication date
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AU6810796A (en) 1997-04-17
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