JPS6256150A - インクジエツト記録ヘツド - Google Patents
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- JPS6256150A JPS6256150A JP19741385A JP19741385A JPS6256150A JP S6256150 A JPS6256150 A JP S6256150A JP 19741385 A JP19741385 A JP 19741385A JP 19741385 A JP19741385 A JP 19741385A JP S6256150 A JPS6256150 A JP S6256150A
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 5
- 230000008602 contraction Effects 0.000 abstract description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000011038 discontinuous diafiltration by volume reduction Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/01—Ink jet
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- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/1609—Production of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14379—Edge shooter
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、圧電効果を利用してインクキャビティ内のイ
ンクをインクノズルから液滴状に噴射させるマルチノズ
ル式インクジェット記録ヘッドに関する。
ンクをインクノズルから液滴状に噴射させるマルチノズ
ル式インクジェット記録ヘッドに関する。
圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクをイン
クノズルから液滴状に噴射させることは古くから知られ
ている。第１１図は特開昭５２−４９０３３号公報に記
載されている従来のマルチノズル式インクジェット記録
ヘッドの断面図である。図において、１は内部に液室２
を有する圧電素子円筒体である。液室２の一方はインク
供給路３、他方はインク通路４となっており、インク通
路４の先にはノズル５が形成されている。インクはイン
ク供給口６から供給されて共通供給室７に溜められてい
る。この記録ヘッドにおいては、圧電素子円筒体１はエ
ポキシ樹脂製本体８内に埋設されている。 しかして、圧電素子円筒体１を選択駆動することにより
、当該圧電素子円筒体１の液室２が体積を収縮されて、
その液室２内のインクがノズル５を介して噴射させられ
る。 ところで、この従来のインクジェット記録ヘッドにおい
ては、ノズル５の駆動手段として圧電素子円筒体１が用
いられているが、この圧電素子円筒体１は圧電材料から
成る円筒体と、この円筒体の内面および外面に設けられ
た内側電極および外側電極とから構成されている。イン
クジェット記録ヘッドを小形化するためには、それに応
じて、圧電素子円筒体１も小形化されなければならない
。 しかしてから、小形すなわち外径および内径が極端に小
さい圧電材料製円筒体を製作し、さらにその内面（内壁
面）に内側電極を形成することは、製作技術上非常に困
難である。たとえば、ノズル口を４０μｍ Ｘ ４３μ
ｍの大きさに形成しかつｌＵ間隔にて配置しようとする
場合、圧電素子円筒体１もそのような１ｆ１間隔にて配
置できる程小形に形成することは不可能に近い。つまり
、圧電素子円筒体１の外径は最大０．５鶴であり、内径
に至ってはそれよりも更に小さくなる。しかも、その内
壁面に内側電極を形成しなければならない。 このようなことは現在の製作技術をもってしても不可能
である。そのために、圧電素子円筒体１はある程度の大
きさに構成されるが、その結果、第１１図に示したよう
に、必要なノズル部の幅り。 に比較して本体８の幅Ｌ２が極めて大きくなってしまう
という欠点を有し゛ている。 さらに、エポキシ樹脂製本体８内に、小形の圧電素子円
筒体１を埋設すること、および、極細のインク供給路３
、インク通路４、ノズル５を形成することは、可能では
あるが、実際には非常に困難である。
クノズルから液滴状に噴射させることは古くから知られ
ている。第１１図は特開昭５２−４９０３３号公報に記
載されている従来のマルチノズル式インクジェット記録
ヘッドの断面図である。図において、１は内部に液室２
を有する圧電素子円筒体である。液室２の一方はインク
供給路３、他方はインク通路４となっており、インク通
路４の先にはノズル５が形成されている。インクはイン
ク供給口６から供給されて共通供給室７に溜められてい
る。この記録ヘッドにおいては、圧電素子円筒体１はエ
ポキシ樹脂製本体８内に埋設されている。 しかして、圧電素子円筒体１を選択駆動することにより
、当該圧電素子円筒体１の液室２が体積を収縮されて、
その液室２内のインクがノズル５を介して噴射させられ
る。 ところで、この従来のインクジェット記録ヘッドにおい
ては、ノズル５の駆動手段として圧電素子円筒体１が用
いられているが、この圧電素子円筒体１は圧電材料から
成る円筒体と、この円筒体の内面および外面に設けられ
た内側電極および外側電極とから構成されている。イン
クジェット記録ヘッドを小形化するためには、それに応
じて、圧電素子円筒体１も小形化されなければならない
。 しかしてから、小形すなわち外径および内径が極端に小
さい圧電材料製円筒体を製作し、さらにその内面（内壁
面）に内側電極を形成することは、製作技術上非常に困
難である。たとえば、ノズル口を４０μｍ Ｘ ４３μ
ｍの大きさに形成しかつｌＵ間隔にて配置しようとする
場合、圧電素子円筒体１もそのような１ｆ１間隔にて配
置できる程小形に形成することは不可能に近い。つまり
、圧電素子円筒体１の外径は最大０．５鶴であり、内径
に至ってはそれよりも更に小さくなる。しかも、その内
壁面に内側電極を形成しなければならない。 このようなことは現在の製作技術をもってしても不可能
である。そのために、圧電素子円筒体１はある程度の大
きさに構成されるが、その結果、第１１図に示したよう
に、必要なノズル部の幅り。 に比較して本体８の幅Ｌ２が極めて大きくなってしまう
という欠点を有し゛ている。 さらに、エポキシ樹脂製本体８内に、小形の圧電素子円
筒体１を埋設すること、および、極細のインク供給路３
、インク通路４、ノズル５を形成することは、可能では
あるが、実際には非常に困難である。
本発明は、このような点に鑑みてなされ、コンパクトに
構成できかつ製作が容易であるインクジェット記録ヘッ
ドを提供することを目的とする。
構成できかつ製作が容易であるインクジェット記録ヘッ
ドを提供することを目的とする。
このような目的を達成するために、本発明は、圧電材料
から成る圧電体プレート自身に、複数列のインクキャビ
ティ溝を形成し、その圧電体プレートにカバープレート
を接合して、前記インクキャビティ溝とで複数列のイン
クキャビティを構成することを特徴とする。
から成る圧電体プレート自身に、複数列のインクキャビ
ティ溝を形成し、その圧電体プレートにカバープレート
を接合して、前記インクキャビティ溝とで複数列のイン
クキャビティを構成することを特徴とする。
次に、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。 第１図は本発明の第１実施例を示し、同図（Ａ）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。第２図は
その実施例における圧電体プレートを示し、同図（Ａ）
はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、同図（Ｃ）
はその縦断面図である。第３図はその実施例の一部を断
面で示した斜視図である。 これらの図において、１０は圧電材料から成る一枚の平
板状に成形された圧電体プレートである。 この圧電体プレート１０には、第２図に詳細に示すよう
に、インクキャビティ溝１２およびこのインクキャビテ
ィ溝１２に連通ずるインク供給路溝２２およびインクノ
ズル溝２４が複数列形成されている。インクキャビティ
溝１２は２つの深溝部１６．１８および両法溝部１６．
１８間に設けられた浅溝部１４から成る。 再び第１図に戻って説明する。２６は圧電体プレー１−
１０のインクキャビティ溝およびインクノズル溝が形成
されている面に接着または融着もしくはその他の手段に
より接合されたカバープレートである。しかして、圧電
体プレート１０とカバープレート２６との間では、イン
クキャビティ溝１２からインクキャビティ１２Ａが、イ
ンクノズル溝２４からインクノズル２４Ａが、インク供
給路溝２２からインク供給路２２Ａがそれぞれ形成され
る。そして、インクキャビティ１２Ａにおいては、浅溝
部１４を形成する圧電体膨出部２０（第２図）に電圧印
加用電極２８がそれぞれ設けられ、その電極２日に対応
する圧電体プレート１０の下面に電極３０がそれぞれ設
けられている。 しかして、このように構成されたインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極２８．３０間に電圧を印加すると、
両電極２８．３０間の圧電体が膨張して、インクキャビ
ティ１２Ａ内の体積を減少させ、その結果インクキャビ
ティ１２Ａ内のインクが当該インクキャビティ１２Ａに
連通ずるインクノズル２４Ａから液滴状に噴射され、図
示していない記録担体上にもたらされる。このとき、イ
ンクキャビティ１２Ａの体積収縮は主として圧電体膨出
部２０によって惹起されるので、当該インクキャビティ
１２Ａの体積収縮運動が隣接のインクキャビティ１２Ａ
に影響することは回避される。 つまり、インクキャビティ間のクロストークが回避され
る。 第１図ないし第３図に示した実施例においては、第４図
に詳細に示すように、ノズル２４Ａの太きさは４０ ｉ
ＪｍＸ ４０ ｔｔｍ、ノズル２４Ａ、２４Ａの間隔Ｃ
はたとえば１ｆｉに形成されている。さらに、圧電体プ
レート１０の厚さＬは０． ５ｆｌ、インクキャビティ
１２Ａの幅Ｂ０は０．１ｍ、浅溝部１４つまり圧電体膨
出部２０の幅Ｂ＋は０． ６鶴、そして深溝部１６．１
８の幅Ｂ２は５０μｍに形成されている。このように非
常に微細なインクキャビティ１２Ａつまりインクキャビ
ティ溝１２は、たとえば、半導体ウェハの切断に使用さ
れているグイシングツ−を用いて形成することができる
。この種のグイシングツ−においては既に１５μｍの厚
さの切刃が開発されており、従ってこの種のダイシング
ソーを用いれば、インクキャビティ溝１２を充分に切削
可能である。 このように、本発明によるインクジェット記録ヘッドは
、たとえば、ノズル間隔が１鰭、そしてノズルはインク
キャビティ１２Ａの横幅のほぼ中心に置かれるので、イ
ンクキャビティ１２Ａの中心軸線間隔も同様に１ｆｌと
することができ、その結果極めてコンパクトに構成可能
である。 次に、第５図は本発明の第２実施例を示し、同図（Ａ）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。特
に第３図から理解できるように、本発明によるインクジ
ェット記録ヘッドは平板状に構成される。そこで、この
第５図に示した実施例にいては、第１図ないし第３図に
示したインクジェット記録ヘッド３２，３４．３６が多
段（３段）に積層されている。各インクジェット記録ヘ
ッド３２，３４．３６の相互結合は図示していない接着
剤によって行われている。 次に、第６図は本発明の第３実施例を示す断面図である
。４０は圧電材料から成る一枚の平板状に成形された圧
電体プレートである。この圧電体プレー）４０には、第
６Ａ図に詳細に示すように、一様な深さのインクキャビ
ティ溝４２およびこのインクキャビティ溝４２に連通ず
るインクノズル溝４６およびインク供給路溝４４が複数
列形成されている。さらに、圧電体プレート４０にはイ
ンクキャビティ溝４２間にスリット４８がそれぞれ設け
られている。そして、インクキャビティ溝４２の領域に
おける圧電体プレーｌ−４０の表面には電圧印加用電極
５４が設りられており、かつその電極に対応する圧電体
プレート４０の裏面にも電圧印加用電極５６が設けられ
ている。このような構造を有する圧電体プレー ト４０
にはカバープレート５０が接合される。それにより、第
１図ないし第３図に示した実施例と同様に、インクキャ
ビティ溝４２からインクキャビティ４２Ａが、インクノ
ズル溝４６からインクノズル４６Ａが、インク供給路溝
４４からインク供給路（図示していない）がそれぞれ形
成される。カバープレート５０に、第６Ｂ図に詳細に示
すように、圧電体プレー）４０のスリット４８に対応す
る位置に長孔５２が設けられている。その結果、インク
キャビティ４２Ａは独立的に収縮し易くなる。すなわち
、電極５４．５６間に電圧が印加されると、当該電極５
４．５６間に存在する圧電体が収縮してカバープレート
５０を引寄せ、それにより当該電極５４゜５６および当
該圧電体によって囲まれたインクキャビティ４２Ａが体
積収縮され、そのなかのインクがインクノズル４６Ａを
介して液滴状に噴射されるが、そのとき、スリット４８
および長孔５２の存在により、当該インクキャビティ４
２Ａの収縮運動は隣接するインクキャビティ４２Ａに影
響しない。つまり、インクキャビティ間のクロストーク
が回避される。 次に、第７図は本発明の第４実施例を示す断面図、第７
Ａ図はその実施例における圧電体プレートの平面図、第
７Ｂ図はその実施例におけるカバープレートの平面図で
ある。しかして、この実施例においては、圧電体プレー
ト６０には、第１図のインクキャビティ溝１２と同様に
してインクキャビティ溝６２およびインクノズル溝６４
．インク供給路溝６３が形成され、かつ第６図および第
６Ａ図のスリット４８と同様にしてスリット４８７８が
形成されている。さらに、第１図の電極２８．３０と同
様にしてインクキャビティ溝６２の圧電体膨出部７６を
挟むように電極７０．７２が設けられ、かつ、第６図の
電極５４．５６と同様にして圧電体プレート６００表面
および裏面に電極６６．６８が設けられている。そして
、カバープレート７４には、第６図および第６Ｂ図の長
孔５２と同様にして長孔８０が形成されている。このよ
うな圧電体プレート６０およびカバープレート７４を接
合することによって、インクキャビティ６２Ａが形成さ
れる。しかして、１つのインクキャビティ６２Ａの部分
において、電極６６．６８間と、電極７０．７２間とに
それぞれ異なった極性の電圧を印加すると、たとえば、
電極６６゜６８間に存在する圧電体は収縮し、一方電掻
７０゜７２間に存在する圧電体は膨張して、インクキャ
ビティ６２Ａの体積減少を生ぜしめる。この体積減少は
圧電体の膨張と収縮とが同時におこるので、第１図およ
び第６図の実施例に比較して大きく生じる。 第８図は本発明の第５実施例を示し、同、図（Ａ）はそ
の横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。この実
施例は圧電材料から成る一枚の平板状に成形された圧電
体プレート８２およびカバープレート８８から成り、そ
して第６図と同様に一様な深さのインクキャビティ８４
Ａと、このインクキャビティ８４Ａに連通ずるインクノ
ズル８６Ａ、インク供給路９４Ａとが形成されている。 インクキャビティ８４Ａの底部を挟んで、電極９０．９
２が設けられている。 第９図は本発明の第６実施例を示す断面図である。この
実施例は第１図の実施例の変形例であり、圧電体膨出部
２０の裏面に切欠部９６が設けられ、それにより圧電体
膨出部２０の膨張変形が大きくなるようにしたものであ
る。 以上の説明においては、圧電体プレートにはインクキャ
ビティ溝、インクノズル溝、インク供給路溝を一体に形
成して、インクキャビティ、インクノズルインク供給路
が一体となった実施例について述べたが、必要に応じて
、インクノズルおよびインク供給路はインクキャビティ
から構成的には分離することができる。第１０図はこの
ような考えに基づいて構成された本発明の第７実施例を
示す縦断面図である。圧電体プレート９８には基本的に
は第１図の実施例と同じに形成されたインクキャビティ
溝１０２が設けられ、そしてカバープレートｉｏｏが接
合されてインクキャビティ１０２Ａが構成される。この
とき、インクノズル１１０Ａはインクノズル板１０日に
形成されてお、一方インク供給路１１４Ａはインク供給
路板１１２に形成されている。これらのインクノズル板
１０８およびインク供給路板１１２が、圧電体プレート
９８およびカバープレート１００の接合体に両側から接
合される。それにより、外見的には第１図の記録ヘッド
と同じ記録ヘッドが構成される。 なお、１０４，１０６は電極２８．３０と同じ電極であ
る。
。 第１図は本発明の第１実施例を示し、同図（Ａ）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。第２図は
その実施例における圧電体プレートを示し、同図（Ａ）
はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、同図（Ｃ）
はその縦断面図である。第３図はその実施例の一部を断
面で示した斜視図である。 これらの図において、１０は圧電材料から成る一枚の平
板状に成形された圧電体プレートである。 この圧電体プレート１０には、第２図に詳細に示すよう
に、インクキャビティ溝１２およびこのインクキャビテ
ィ溝１２に連通ずるインク供給路溝２２およびインクノ
ズル溝２４が複数列形成されている。インクキャビティ
溝１２は２つの深溝部１６．１８および両法溝部１６．
１８間に設けられた浅溝部１４から成る。 再び第１図に戻って説明する。２６は圧電体プレー１−
１０のインクキャビティ溝およびインクノズル溝が形成
されている面に接着または融着もしくはその他の手段に
より接合されたカバープレートである。しかして、圧電
体プレート１０とカバープレート２６との間では、イン
クキャビティ溝１２からインクキャビティ１２Ａが、イ
ンクノズル溝２４からインクノズル２４Ａが、インク供
給路溝２２からインク供給路２２Ａがそれぞれ形成され
る。そして、インクキャビティ１２Ａにおいては、浅溝
部１４を形成する圧電体膨出部２０（第２図）に電圧印
加用電極２８がそれぞれ設けられ、その電極２日に対応
する圧電体プレート１０の下面に電極３０がそれぞれ設
けられている。 しかして、このように構成されたインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極２８．３０間に電圧を印加すると、
両電極２８．３０間の圧電体が膨張して、インクキャビ
ティ１２Ａ内の体積を減少させ、その結果インクキャビ
ティ１２Ａ内のインクが当該インクキャビティ１２Ａに
連通ずるインクノズル２４Ａから液滴状に噴射され、図
示していない記録担体上にもたらされる。このとき、イ
ンクキャビティ１２Ａの体積収縮は主として圧電体膨出
部２０によって惹起されるので、当該インクキャビティ
１２Ａの体積収縮運動が隣接のインクキャビティ１２Ａ
に影響することは回避される。 つまり、インクキャビティ間のクロストークが回避され
る。 第１図ないし第３図に示した実施例においては、第４図
に詳細に示すように、ノズル２４Ａの太きさは４０ ｉ
ＪｍＸ ４０ ｔｔｍ、ノズル２４Ａ、２４Ａの間隔Ｃ
はたとえば１ｆｉに形成されている。さらに、圧電体プ
レート１０の厚さＬは０． ５ｆｌ、インクキャビティ
１２Ａの幅Ｂ０は０．１ｍ、浅溝部１４つまり圧電体膨
出部２０の幅Ｂ＋は０． ６鶴、そして深溝部１６．１
８の幅Ｂ２は５０μｍに形成されている。このように非
常に微細なインクキャビティ１２Ａつまりインクキャビ
ティ溝１２は、たとえば、半導体ウェハの切断に使用さ
れているグイシングツ−を用いて形成することができる
。この種のグイシングツ−においては既に１５μｍの厚
さの切刃が開発されており、従ってこの種のダイシング
ソーを用いれば、インクキャビティ溝１２を充分に切削
可能である。 このように、本発明によるインクジェット記録ヘッドは
、たとえば、ノズル間隔が１鰭、そしてノズルはインク
キャビティ１２Ａの横幅のほぼ中心に置かれるので、イ
ンクキャビティ１２Ａの中心軸線間隔も同様に１ｆｌと
することができ、その結果極めてコンパクトに構成可能
である。 次に、第５図は本発明の第２実施例を示し、同図（Ａ）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。特
に第３図から理解できるように、本発明によるインクジ
ェット記録ヘッドは平板状に構成される。そこで、この
第５図に示した実施例にいては、第１図ないし第３図に
示したインクジェット記録ヘッド３２，３４．３６が多
段（３段）に積層されている。各インクジェット記録ヘ
ッド３２，３４．３６の相互結合は図示していない接着
剤によって行われている。 次に、第６図は本発明の第３実施例を示す断面図である
。４０は圧電材料から成る一枚の平板状に成形された圧
電体プレートである。この圧電体プレー）４０には、第
６Ａ図に詳細に示すように、一様な深さのインクキャビ
ティ溝４２およびこのインクキャビティ溝４２に連通ず
るインクノズル溝４６およびインク供給路溝４４が複数
列形成されている。さらに、圧電体プレート４０にはイ
ンクキャビティ溝４２間にスリット４８がそれぞれ設け
られている。そして、インクキャビティ溝４２の領域に
おける圧電体プレーｌ−４０の表面には電圧印加用電極
５４が設りられており、かつその電極に対応する圧電体
プレート４０の裏面にも電圧印加用電極５６が設けられ
ている。このような構造を有する圧電体プレー ト４０
にはカバープレート５０が接合される。それにより、第
１図ないし第３図に示した実施例と同様に、インクキャ
ビティ溝４２からインクキャビティ４２Ａが、インクノ
ズル溝４６からインクノズル４６Ａが、インク供給路溝
４４からインク供給路（図示していない）がそれぞれ形
成される。カバープレート５０に、第６Ｂ図に詳細に示
すように、圧電体プレー）４０のスリット４８に対応す
る位置に長孔５２が設けられている。その結果、インク
キャビティ４２Ａは独立的に収縮し易くなる。すなわち
、電極５４．５６間に電圧が印加されると、当該電極５
４．５６間に存在する圧電体が収縮してカバープレート
５０を引寄せ、それにより当該電極５４゜５６および当
該圧電体によって囲まれたインクキャビティ４２Ａが体
積収縮され、そのなかのインクがインクノズル４６Ａを
介して液滴状に噴射されるが、そのとき、スリット４８
および長孔５２の存在により、当該インクキャビティ４
２Ａの収縮運動は隣接するインクキャビティ４２Ａに影
響しない。つまり、インクキャビティ間のクロストーク
が回避される。 次に、第７図は本発明の第４実施例を示す断面図、第７
Ａ図はその実施例における圧電体プレートの平面図、第
７Ｂ図はその実施例におけるカバープレートの平面図で
ある。しかして、この実施例においては、圧電体プレー
ト６０には、第１図のインクキャビティ溝１２と同様に
してインクキャビティ溝６２およびインクノズル溝６４
．インク供給路溝６３が形成され、かつ第６図および第
６Ａ図のスリット４８と同様にしてスリット４８７８が
形成されている。さらに、第１図の電極２８．３０と同
様にしてインクキャビティ溝６２の圧電体膨出部７６を
挟むように電極７０．７２が設けられ、かつ、第６図の
電極５４．５６と同様にして圧電体プレート６００表面
および裏面に電極６６．６８が設けられている。そして
、カバープレート７４には、第６図および第６Ｂ図の長
孔５２と同様にして長孔８０が形成されている。このよ
うな圧電体プレート６０およびカバープレート７４を接
合することによって、インクキャビティ６２Ａが形成さ
れる。しかして、１つのインクキャビティ６２Ａの部分
において、電極６６．６８間と、電極７０．７２間とに
それぞれ異なった極性の電圧を印加すると、たとえば、
電極６６゜６８間に存在する圧電体は収縮し、一方電掻
７０゜７２間に存在する圧電体は膨張して、インクキャ
ビティ６２Ａの体積減少を生ぜしめる。この体積減少は
圧電体の膨張と収縮とが同時におこるので、第１図およ
び第６図の実施例に比較して大きく生じる。 第８図は本発明の第５実施例を示し、同、図（Ａ）はそ
の横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。この実
施例は圧電材料から成る一枚の平板状に成形された圧電
体プレート８２およびカバープレート８８から成り、そ
して第６図と同様に一様な深さのインクキャビティ８４
Ａと、このインクキャビティ８４Ａに連通ずるインクノ
ズル８６Ａ、インク供給路９４Ａとが形成されている。 インクキャビティ８４Ａの底部を挟んで、電極９０．９
２が設けられている。 第９図は本発明の第６実施例を示す断面図である。この
実施例は第１図の実施例の変形例であり、圧電体膨出部
２０の裏面に切欠部９６が設けられ、それにより圧電体
膨出部２０の膨張変形が大きくなるようにしたものであ
る。 以上の説明においては、圧電体プレートにはインクキャ
ビティ溝、インクノズル溝、インク供給路溝を一体に形
成して、インクキャビティ、インクノズルインク供給路
が一体となった実施例について述べたが、必要に応じて
、インクノズルおよびインク供給路はインクキャビティ
から構成的には分離することができる。第１０図はこの
ような考えに基づいて構成された本発明の第７実施例を
示す縦断面図である。圧電体プレート９８には基本的に
は第１図の実施例と同じに形成されたインクキャビティ
溝１０２が設けられ、そしてカバープレートｉｏｏが接
合されてインクキャビティ１０２Ａが構成される。この
とき、インクノズル１１０Ａはインクノズル板１０日に
形成されてお、一方インク供給路１１４Ａはインク供給
路板１１２に形成されている。これらのインクノズル板
１０８およびインク供給路板１１２が、圧電体プレート
９８およびカバープレート１００の接合体に両側から接
合される。それにより、外見的には第１図の記録ヘッド
と同じ記録ヘッドが構成される。 なお、１０４，１０６は電極２８．３０と同じ電極であ
る。
以上に説明したように、本発明においては、圧電材料か
ら成る圧電体プレート自身に、複数列のインクキャビテ
ィ溝を形成し、その圧電体プレートにカバープレートを
接合して、前記インクキャビティ溝とで複数列のインク
キャビティを構成するようにしたので、コンパクトに構
成できかつ製作が容易であるインクジェット記録ヘッド
を提供することが出来る。
ら成る圧電体プレート自身に、複数列のインクキャビテ
ィ溝を形成し、その圧電体プレートにカバープレートを
接合して、前記インクキャビティ溝とで複数列のインク
キャビティを構成するようにしたので、コンパクトに構
成できかつ製作が容易であるインクジェット記録ヘッド
を提供することが出来る。
第１図は本発明の第１実施例を示し、同図（Ａ）はその
横断面図、同図ＣＢ）はその縦断面図である。第２図は
その実施例における圧電体プレートを示し、同図（Ａ）
はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、同図（Ｃ）
はその縦断面図である。第３図はその実施例の一部を断
面で示した斜視図である。第４図はその実施例の一部拡
大断面図である。 第５図は本発明の第２実施例を示し、同図（Ａ）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第６図は本発明の第３実施例を示す断面図、第６Ａ図は
その実施例における圧電体プレートの平面図、第６Ｂ図
はその実施例におけるカバープレートの平面図である。 第７図は本発明の第４実施例を示す断面図、第７Ａ図は
その実施例における圧電体プレートの平面図、第７Ｂ図
はその実施例におけるカバープレートの平面図である。 第８図は本発明の第５実施例を示し、同図（Ａ）ばその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第９図は本発明の第６実施例を示す断面図である。 第１０図は本発明の第７実施例を示す縦断面図である。 第１１図は従来のマルチノズル式インクジェット記録へ
ラドの断面図である。 １０、４ｆｌ、 ６０．８２．９８ −・圧電体プレー
ト、１２）４２．６２．８４．．１０２・・−インクキ
ャビティ溝、１２Ａ、 ４２Ａ、 ６２Ａ、 ８４Ａ
−インクキャビティ、２４、４６．６４ ・−イン
クノズル溝、２４Ａ、 ４６Ａ、 ６４Ａ、８６Ａ、１
１ＯＡ 、−ｍ−インクノズル 、２６、５０．７４
．８８．１００ − カバープレート、２８、３０．５
４．５６．６６、６８． Ｔｏ、 ７２．９０．９２，
１０４゜１０６ −電極。 ヤを図 才百同 ？２図 才４閲 才３０
横断面図、同図ＣＢ）はその縦断面図である。第２図は
その実施例における圧電体プレートを示し、同図（Ａ）
はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、同図（Ｃ）
はその縦断面図である。第３図はその実施例の一部を断
面で示した斜視図である。第４図はその実施例の一部拡
大断面図である。 第５図は本発明の第２実施例を示し、同図（Ａ）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第６図は本発明の第３実施例を示す断面図、第６Ａ図は
その実施例における圧電体プレートの平面図、第６Ｂ図
はその実施例におけるカバープレートの平面図である。 第７図は本発明の第４実施例を示す断面図、第７Ａ図は
その実施例における圧電体プレートの平面図、第７Ｂ図
はその実施例におけるカバープレートの平面図である。 第８図は本発明の第５実施例を示し、同図（Ａ）ばその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第９図は本発明の第６実施例を示す断面図である。 第１０図は本発明の第７実施例を示す縦断面図である。 第１１図は従来のマルチノズル式インクジェット記録へ
ラドの断面図である。 １０、４ｆｌ、 ６０．８２．９８ −・圧電体プレー
ト、１２）４２．６２．８４．．１０２・・−インクキ
ャビティ溝、１２Ａ、 ４２Ａ、 ６２Ａ、 ８４Ａ
−インクキャビティ、２４、４６．６４ ・−イン
クノズル溝、２４Ａ、 ４６Ａ、 ６４Ａ、８６Ａ、１
１ＯＡ 、−ｍ−インクノズル 、２６、５０．７４
．８８．１００ − カバープレート、２８、３０．５
４．５６．６６、６８． Ｔｏ、 ７２．９０．９２，
１０４゜１０６ −電極。 ヤを図 才百同 ？２図 才４閲 才３０
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクを
インクノズルから液滴状に噴射させる記録ヘッドにおい
て、 圧電材料から成る圧電体プレート自身に、複数列のイン
クキャビティ溝を形成し、その圧電体プレートにカバー
プレートを接合して、前記インクキャビティ溝とで複数
列のインクキャビティを構成することを特徴とするイン
クジェット記録ヘッド。 ２）特許請求の範囲第１項記載の記録ヘッドにおいて、
前記圧電体プレートに形成されている複数列のインクキ
ャビティ溝は、それぞれ、このインクキャビティ溝の長
手方向に沿って形成された２つの深溝部と、この２つの
深溝部の間に設けられた浅溝部とから成り、前記浅溝部
を形成する圧電体膨出部に電圧印加用電極が設けられて
いることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 ３）特許請求の範囲第１項記載の記録ヘッドにおいて、
前記圧電体プレートに形成されている複数列のインクキ
ャビティ溝は、それぞれ、一様な深さに形成され、その
溝底部に電圧印加用電極が設けられていることを特徴と
するインクジェット記録ヘッド。 ４）特許請求の範囲第１項記載の記録ヘッドにおいて、
前記圧電体プレートに形成されている複数列のインクキ
ャビティ溝は、それぞれ、一様な深さに形成され、かつ
、前記圧電体プレートには各インクキャビティ溝間にそ
れぞれスリットが設けられ、そして前記インクキャビテ
ィ溝の領域における圧電体プレートの表面に電圧印加用
電極が設けられていることを特徴とするインクジェット
記録ヘッド。 ５）特許請求の範囲第１項記載の記録ヘッドにおいて、
前記圧電体プレートに形成されている複数列のインクキ
ャビティ溝は、それぞれ、このインクキャビティ溝の長
手方向に沿って形成された２つの深溝部と、この２つの
深溝部の間に設けられた浅溝部とから成り、前記浅溝部
を形成する圧電体膨出部に第１の電圧印加用電極が設け
られ、かつ、前記圧電体プレートには各インクキャビテ
ィ溝間にそれぞれスリットが設けられ、前記インクキャ
ビティ溝の領域における圧電体プレートの表面に第２の
電圧印加用電極が設けられ、前記第１の電圧印加用電極
および第２の電圧印加用電極には異なった極性の電圧が
印加されることを特徴とするインクジェット記録ヘッド
。 ６）特許請求の範囲第２項または第５項記載の記録ヘッ
ドにおいて、前記浅溝部を形成する圧電体膨出部には、
前記圧電体プレートの裏面から、切欠部が設けられてい
ることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 ７）特許請求の範囲第１項ないし第６項のいずれかの項
記載の記録ヘッドにおいて、前記圧電体プレートには前
記インクキャビティ溝に連通するインクノズル溝が一体
的に形成されていることを特徴とするインクジェット記
録ヘッド。 ８）特許請求の範囲第１項ないし第６項のいずれかの項
記載の記録ヘッドにおいて、前記圧電体プレートには前
記インクキャビティ溝に連通するインク供給路溝が一体
的に形成されていることを特徴とするインクジェット記
録ヘッド。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19741385A JPS6256150A (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | インクジエツト記録ヘツド |
| US06/903,789 US4752788A (en) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | Ink jet recording head |
| DE19863630206 DE3630206A1 (de) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | Tintenstrahldruckkopf |
| DE3645017A DE3645017C2 (ja) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | |
| US07/164,774 US4819014A (en) | 1985-09-06 | 1988-04-21 | Ink jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19741385A JPS6256150A (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | インクジエツト記録ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6256150A true JPS6256150A (ja) | 1987-03-11 |
Family
ID=16374098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19741385A Pending JPS6256150A (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | インクジエツト記録ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6256150A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04278357A (ja) * | 1991-03-07 | 1992-10-02 | Rohm Co Ltd | インクジェットプリントヘッド |
| US5260723A (en) * | 1989-05-12 | 1993-11-09 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid jet recording head |
| US5266965A (en) * | 1991-04-05 | 1993-11-30 | Ricoh Company, Ltd. | Method of driving ink jet type printing head |
| US5270740A (en) * | 1991-03-26 | 1993-12-14 | Ricoh Company, Ltd. | Ink jet head |
| EP0768181A1 (en) * | 1995-10-09 | 1997-04-16 | Nec Corporation | Ink jet recording device and method of producing the same |
| US6223405B1 (en) | 1996-12-17 | 2001-05-01 | Fujitsu Limited | Method of manufacturing ink jet head |
-
1985
- 1985-09-06 JP JP19741385A patent/JPS6256150A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5260723A (en) * | 1989-05-12 | 1993-11-09 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid jet recording head |
| JPH04278357A (ja) * | 1991-03-07 | 1992-10-02 | Rohm Co Ltd | インクジェットプリントヘッド |
| US5270740A (en) * | 1991-03-26 | 1993-12-14 | Ricoh Company, Ltd. | Ink jet head |
| US5266965A (en) * | 1991-04-05 | 1993-11-30 | Ricoh Company, Ltd. | Method of driving ink jet type printing head |
| EP0768181A1 (en) * | 1995-10-09 | 1997-04-16 | Nec Corporation | Ink jet recording device and method of producing the same |
| US6161926A (en) * | 1995-10-09 | 2000-12-19 | Nec Corporation | Ink jet recording device made of a dielectric polarized material |
| US6390609B1 (en) | 1995-10-09 | 2002-05-21 | Nec Corporation | Ink jet recording device and method of producing the same |
| US6223405B1 (en) | 1996-12-17 | 2001-05-01 | Fujitsu Limited | Method of manufacturing ink jet head |
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