KR960703731A - 액적 데포지션 장치 및 그 제조방법(droplet deposition apparatus and method of manufacture) - Google Patents

Abstract

잉크 분사 프린터의 제조에 있어서의 한 단계로서, 마무리된 프린터내의 잉크 채널로서 사용되는 나란한 그루브(20)를 지니는 압전층(10)에 덮개(16)가 접착 본딩된다. 정합 표면이 준비되고, 과잉 접착제가 도포되며, 2개의 표면의 표면 말단부가 접촉을 이룰때까지 본드 압력이 가해져서, 2㎛ 이하의 본드 층을 형성한다. 과잉 접착제의 유동 거리가 본드 부위상에 균일하게 하도록, 그루브(32)는 상기 압전층의 마진(30)에서 절단된다.

Description

액적 데포지션 장치 및 그 제조방법(DROPLET DEPOSITION APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURE)

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 전단모드 작동기들을 합체한 잉크분사 프린트헤드의 한 형태의 분해사시도이다,

제2도는 조립 후 제1도에 도시된 프린트헤드의 잉크 채널에 수직인 단면도이다,

제3도는 본 발명이 해결하고자 하는 문제점들의 일례를 보여주는 제2도의 프린트헤드의 세부도이다,

제4도는 제3도의 문제점에 해결책을 제시하는 본 발명의 한 실시예를 도시한다,

제5도는 제2의 해결책을 제시하는 본 발명의 변형 실시예를 도시한다,

제6도 및 제7도는 세브론(chevron) 설계 형태인 전단 모드 벽작동기를 합체한 잉크분산 프린트헤드의 제조에 적당한 세개의 세라믹 층들을 포함하는 적층된 웨이퍼를 도시한다,

제8도는 세라믹층들 사이에 본드 콤폴라리언스를 줄이기위해 제6도 및 제7도의 적층된 웨이퍼의 형성에 어떠한 방식으로 본 발명에 적용되는지를 도시한다.

Claims (26)

1. 적어도 하나의 압전 재료층 및 덮개층을 포함하는 적층을 서로 본딩시키는 단계, 상기 덮개층에 의해 패쇄된 연속 액적 채널 사이에 압전 재료의 벽을 제공하도록 적어도 일부가 상기 압전 재료층을 통해 연장되어 있는 다수개의 나란한 그루브(groove)를 형성하는 단계, 및 전계가 상기 채널을 가로질러 상기 벽의 전단 모드 변위를 이루게 가해질 수 있도록 상기 벽에 대하여 전극을 배치시키는 단계를 임의 순서로 포함하는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법에 있어서, 상기 2개의 층을 서로 본딩시키는 단계는 조면(surface roughness)을 2㎛ 이하로 감소시키도록 상기 층의 각 정합 표면들을 준비하는 단계, 과잉의 접착제를 도포하고 상기 정합 표면이 일치하게 압력을 가함 평균 두께가 2㎛ 이하인 본드층을 형성하도록 각 정합 표면의 표면 말단부가 실질적으로 직접적인 접촉을 이룰때까지 접착제가 본딩 부위로 유동하게 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 채널 펄스 액적 대포지션 장치의 제조방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 본딩 부위에서 과잉 접착제의 유동 거리는 본딩 면 전반에 걸쳐 균일한 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
3. 제2항에 있어서, 상기 정합 표면 중 한 표면이 상기 나란히 그루브에 의해 균일한 폭의 표면 스트립 부분들로 액적 데포지션 장치의 제조방법.
4. 제3항에 있어서, 상기 한 정합 표면이 상기 표면 스트립 부분의 폭을 상당히 초과하는 폭의 하나 이상의 마진 부위를 지니고, 집착제 유동 형성체들이 상기 표면 스트립 부분의 폭과 실질적으로 동일한 간격으로 상기 부위에나 상기 부위에 대향하여 제공되는 다중 채널 액적 대포지션 장치의 제조방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 본딩 부위에서의 과잉 접착제의 최대 유동거리는 100㎛ 인 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
6. 제5항에 있어서, 상기 정합 표면들 중 하나의 정합 표면이 상기 나란한 그루브에 의해 폭이 100㎛이하인 표면 스크립 부분들로 분할되는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 한 정합 표면이 100㎛를 상당히 초과하는 폭의 하나 이상의 마진 부위를 지니고, 집착제 유동 형성체들이 100㎛ 이하의 간격으로 상기 부위에나 상기 부위에 대향하여 제공되는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
8. 제1항에 있어서, 과잉 접착제를 수용하도록 상기 정합 표면 중 적어도 하나의 정합 표면에 접착제 유동 형성체를 형성하는 단계를 부가적으로 포함하는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
9. 제8항에 있어서, 상기 접착제 유동 형성체는 상기 나란한 그루브와 동일한 간격으로 나란한 요부(recess)를 포함하는 다중 채널 펄스 액적 데표지션 장치의 제조방법.
10. 제8항 또는 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 접착제 유동 형성체 및 그 내부에 있는 과잉 접착제는 상기 나란한 그루브의 차후 형성으로 제거되는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
11. 제1항에 있어서, 상기 전해질 2개의 층은 동일한 재료나 1ppm으로나 그보다 양호하게 정합되는 각각의 열 팽창 계수를 지니는 서로 다른 재료로 형성되는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
12. 하나 이상의 압전재료층으로 베이스를 형성하는 단계, 연속 채널사이에 상기 압전재료의 벽을 제공하도록 적어도 일부가 상기 압전 재료층(들)을 통해 연장되어 있는 다수개의 나란한 그루브를 상기 베이스에 형성하는 단계, 전계가 상기 채널을 가로질러 상기 벽의 전단 모드 변위를 이루게 가해질 수 있도록 상기 벽에 대하여 전극을 배치시키는 단계, 및 상기 액적 채널을 폐쇄시키도록 상기 베이스에 덮개를 본딩시키는 단계를 포함하는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법에 있어서, 상기 본딩 단계는 조면을 2㎛ 이하로 감소 시키도록 상기 베이스 및 덮개의 각 정합표면을 준비하는 단계, 과잉 접착제를 도포하고 상기 정합면이 일치되게 압력을 가하며 평균 두께가 2㎛ 이하인 본드층을 형성하도록 각 정합표면의 표면 말단부가 상기 그루브로 유동하는 과잉 접착제와 실질적으로 직접적인 접촉을 이룰때까지 접착제가 상기 표면 사이에 유동하게 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
13. 제12항에 있어서, 상기 베이스 정합표면은 상기 그루브에 의해 한정된 나란한 스트립 부분을 포함하며, 적어도 한측면이 상기 스트립 부분의 폭보다 상당히 큰 폭인 양측면에 마진 부분이 있고, 접착제 유동 형성체는 상기 마진 부분에나 상기 마진 부분에 대향하여 제공되어 있는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
14. 제13항에 있어서, 상기 접착제 유동 형성체는 상기 나란한 그루브의 간격과 필적할한 만한 간격으로 나란한 요부를 포함하는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
15. 제12항에 있어서, 상기 베이스 및 상기 덮개는 동일한 재료 또는 1ppm으로나 그보다 양호하게 정합되는 각각의 열 팽창 계수를 지니는 서로 다른 재료로 형성되는 다중 채널 펄스 데포지션 장치의 제조방법.
16. 하나 이상의 압전 재료층으로 베이스를 형성하는 단계, 상기 압전재료의 벽으로서, 서로와 그리고 상기 베이스내의 그루브의 양측면에 있는 마지 부위와 공통인 부위에 놓인 각각의 상부 표면을 지니는 벽을 연속 채널 사이에 제공하도록 그루브의 적어도 일부가 상기 압전 재료층(들)을 통해 연장되어 있는 배열 방향으로 서로 이격된 다수개의 나란한 그루브를 상기 베이스내에 형성하는 단계, 전계가 상기 채널을 가로질러 상기 벽의 전단 모드 변위를 이루게 가해질수 있도록 상기 벽에 대하여 전극을 배치시크는 단계, 및 상기 액적 채널을 폐쇄시키도록 상기 마진 부위에 및 상기 벽의 상부표면에 덮개를 접착 본딩시키는 단계를 포함하는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법에 있어서, 상기 접착 본딩 단계는 상기 마진부위 및 상기 덮개의 계면에 접착제 유동 형성체를 형성하는 단계, 및 과잉 접착제의 도포 후, 과잉 접착제가 상기 채널로 및 상기 접착제 유동 형성체로 흐르게 하여 상기 공통 부위상에 균일한 두께의 본드를 제공하도록 상기 베이스 및 상기 덮개 사이에 압력을 가하는 단계를 포함하는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
17. 제16항에 있어서, 상기 접착제 유동 형성체는 상기 마진 부위에 제공되는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
18. 제17항에 있어서, 상기 접착제 유동 형성체는 상기 나란한 그루브와 동일한 조작으로 형성되는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
19. 적어도 하나의 압전 재료층을 포함하는 적층의 접착 본딩을 통해 적층된 베이스를 형성하는 단계, 연속 액적 채널 사이에 상기 압전재료의 벽을 제공하도록 적어도 일부가 상기 압전 재료층을 통해 연장되어 있는 다수개의 나란한 그루브를 상기 베이스에 형성하는 단계, 및 전계가 상기 채널을 가로질러 상기 벽의 전단 모드 변위를 이루게 가해질 수 있도록 상기 벽에 대하여 전극을 배치시키는 단계를 포함하는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법에 있어서, 상기 2개의 층을 서로 본딩시키는 단계는 상기 층의 각 정합표면을 준비하는 단계, 상기 정합 표면 중 하나의 표면에 접착제 유동 요부를 제공하는 단계, 및 과잉 접착제가 상기 요부로 유동하게 하도록 상기 2개의 층 사이에 압력을 가하는 단계를 포함하며, 상기 요부는 상기 요부 및 그 내부에 있는 과잉 접착제가 상기 그루브의 차후 형성으로 제거되도록 상기 나란한 그루브의 각 그루브의 최종적인 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
20. 제19항에 있어서, 상기 접착제 유동 요부는 본딩 부위에서의 과잉 접착제의 유동거리가 본딩 부위상에 균일하도록 배치되고 치수가 정해지는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
21. 제19항에 있어서, 상기 접착제 유동 형성체는 과잉 접착제의 최대 유동거리가 100㎛인 간격으로 제공되는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
22. 제19항에 있어서, 상기 2개의 층 사이에 압력을 가하는 단계은 상기 2개의 층의 표면 말단부가 실질적으로 직접적인 접촉을 이루게하는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
23. 제20항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 본드층은 2㎛ 이하의 평균두께로 형성되는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
24. 전기한 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 본드 층은 1㎛ 이하의 평균 두께로 형성되는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
25. 전기한 항 중 어느 한 항에 있어서, ㎛ 단위의 상기 본드 층의 평균 두께대 GPa 단위의 상기 본드 층의 탄성 계수의 비율은 0.4 10^-10mPa^-1이하인 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.
26. 전기한 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 압력을 가하는 단계는 대략 50 기압의 압력을 가하는 단계를 포함하는 다중 채널 펄스 액적 데포지션 장치의 제조방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.