JP3199076B2 - インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録ヘッド用圧電ユニット - Google Patents
インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録ヘッド用圧電ユニットInfo
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- JP3199076B2 JP3199076B2 JP34534391A JP34534391A JP3199076B2 JP 3199076 B2 JP3199076 B2 JP 3199076B2 JP 34534391 A JP34534391 A JP 34534391A JP 34534391 A JP34534391 A JP 34534391A JP 3199076 B2 JP3199076 B2 JP 3199076B2
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- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- recording head
- ink jet
- jet recording
- unit
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッド、より詳細にはインク滴を吐出させる圧電素子
の位置決め構造に関するものである。
録ヘッド、より詳細にはインク滴を吐出させる圧電素子
の位置決め構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録ヘッドは、ノズルや
圧力室を形成する流路ユニットと、圧力室を加圧する圧
電素子とから構成されており、印字密度を向上させるた
めには、圧力室を加圧する圧電素子の配列密度を高める
ことが必要となる。このため、例えば特開平3-264360号
公報に見られるように圧電材料板を櫛歯状に歯割して多
数の圧電素子を形成した圧電ユニットが提案されてい
る。
圧力室を形成する流路ユニットと、圧力室を加圧する圧
電素子とから構成されており、印字密度を向上させるた
めには、圧力室を加圧する圧電素子の配列密度を高める
ことが必要となる。このため、例えば特開平3-264360号
公報に見られるように圧電材料板を櫛歯状に歯割して多
数の圧電素子を形成した圧電ユニットが提案されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しょうとする課題】この圧電ユニットによ
れば、圧電素子のそれぞれを圧力室に位置決めする場合
に比較して位置作業の簡素化を図ることができるもの
の、多数の片持梁状の圧電素子のそれぞれを各圧力室に
正確に位置決めするには困難が伴う。また、高密度化が
進むと、各圧電素子が細くなるため強度が低下し、位置
決め作業時に破損する虞がある。本発明は、このような
問題に鑑みてなされたものであって、その目的とすると
ころは圧電ユニットを構成する各圧電素子を流路ユニッ
トに正確に位置決めすることができるインクジェット記
録ヘッドを提供する事にある。また本発明の他の目的
は、上記インクジェット記録ヘッドに適した圧電ユニッ
トを提供することである。
れば、圧電素子のそれぞれを圧力室に位置決めする場合
に比較して位置作業の簡素化を図ることができるもの
の、多数の片持梁状の圧電素子のそれぞれを各圧力室に
正確に位置決めするには困難が伴う。また、高密度化が
進むと、各圧電素子が細くなるため強度が低下し、位置
決め作業時に破損する虞がある。本発明は、このような
問題に鑑みてなされたものであって、その目的とすると
ころは圧電ユニットを構成する各圧電素子を流路ユニッ
トに正確に位置決めすることができるインクジェット記
録ヘッドを提供する事にある。また本発明の他の目的
は、上記インクジェット記録ヘッドに適した圧電ユニッ
トを提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために本発明においては、軸方向に伸長変位する圧電
素子により圧力室の壁を変位させてノズルからインク滴
を吐出させるインクジェット記録ヘッドにおいて、前記
圧電素子をヘッド基板に列状に固定するとともに、前記
圧電素子の列設方向の両側に位置決め素子を固定して構
成された圧電ユニットと、前記圧電素子の変位を受けて
インク滴を吐出する流路ユニットと、該流路ユニットを
一端に固定し、前記圧電素子を前記圧力室の壁に当接さ
せた状態で保持するヘッド基板固定部材とからなり、前
記流路ユニット側で前記位置決め素子の側面位置を規定
するための壁を有し、かつ前記圧電ユニットを収容する
ための凹部が前記記録ヘッド基板固定部材に形成されて
いる。
るために本発明においては、軸方向に伸長変位する圧電
素子により圧力室の壁を変位させてノズルからインク滴
を吐出させるインクジェット記録ヘッドにおいて、前記
圧電素子をヘッド基板に列状に固定するとともに、前記
圧電素子の列設方向の両側に位置決め素子を固定して構
成された圧電ユニットと、前記圧電素子の変位を受けて
インク滴を吐出する流路ユニットと、該流路ユニットを
一端に固定し、前記圧電素子を前記圧力室の壁に当接さ
せた状態で保持するヘッド基板固定部材とからなり、前
記流路ユニット側で前記位置決め素子の側面位置を規定
するための壁を有し、かつ前記圧電ユニットを収容する
ための凹部が前記記録ヘッド基板固定部材に形成されて
いる。
【０００５】
【作用】圧電ユニットの挿入工程で位置決め素子がヘッ
ド基板固定部材の凹部の壁で位置規制を受け、圧電素子
が圧力室に対向する位置に正確に位置決めされる。
ド基板固定部材の凹部の壁で位置規制を受け、圧電素子
が圧力室に対向する位置に正確に位置決めされる。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１（ａ）乃至（ｃ）は、それぞ
れ本発明によるインクジェット記録ヘッドの一実施例を
示すものであって、複数の圧電素子１は、図３に示した
ように一半（図中、上半分）が自由端となるように他半
（図中、下半分）をヘッド基板２に固定され、また圧電
素子１の両側には、圧電素子１よりも幅が大きく構成さ
れた位置決め素子３、３が固定されて圧電ユニット４と
して構成されている。
れ本発明によるインクジェット記録ヘッドの一実施例を
示すものであって、複数の圧電素子１は、図３に示した
ように一半（図中、上半分）が自由端となるように他半
（図中、下半分）をヘッド基板２に固定され、また圧電
素子１の両側には、圧電素子１よりも幅が大きく構成さ
れた位置決め素子３、３が固定されて圧電ユニット４と
して構成されている。
【０００７】これら振動子１と位置決め素子３は、それ
ぞれの先端面１ａ、３ａが同一平面に位置するように形
成され、また位置決め素子３は、その両側面がヘッド基
板２の側面よりも内側に位置するように配置されてい
る。
ぞれの先端面１ａ、３ａが同一平面に位置するように形
成され、また位置決め素子３は、その両側面がヘッド基
板２の側面よりも内側に位置するように配置されてい
る。
【０００８】圧電ユニット４は、ヘッド基板２の表面に
圧電素子１に接続する薄膜電極５と、位置決め素子３に
接続する薄膜電極６が形成されている。圧電素子１は、
図３（ｂ）に示したように圧電材料を挟んで積層されて
いる内部電極の一方と先端１ａで接続する外部電極７
と、内部電極の他方の極と後端１ｂで接続する外部電極
８とが形成されている。各圧電素子１の外部電極７は導
電部材９により並列に接続されて薄膜電極６に、また外
部電極８は、薄膜電極５に接続されている。
圧電素子１に接続する薄膜電極５と、位置決め素子３に
接続する薄膜電極６が形成されている。圧電素子１は、
図３（ｂ）に示したように圧電材料を挟んで積層されて
いる内部電極の一方と先端１ａで接続する外部電極７
と、内部電極の他方の極と後端１ｂで接続する外部電極
８とが形成されている。各圧電素子１の外部電極７は導
電部材９により並列に接続されて薄膜電極６に、また外
部電極８は、薄膜電極５に接続されている。
【０００９】このような構成により、駆動すべき圧電素
子１の薄膜電極５と薄膜電極６との間に駆動信号を印加
することにより、圧電素子１が充電されて、矢印ｚ方向
に圧電素子１が収縮し、また電荷を放電すると圧電素子
１が伸長して充電前の状態に復帰する。
子１の薄膜電極５と薄膜電極６との間に駆動信号を印加
することにより、圧電素子１が充電されて、矢印ｚ方向
に圧電素子１が収縮し、また電荷を放電すると圧電素子
１が伸長して充電前の状態に復帰する。
【００１０】流路ユニット１０は、圧力室１１を形成す
る圧力室板１２と、圧力室１１の容積を変化させる壁１
３と、圧力室１１に連通するノズル１４を有するノズル
板１５とから構成されている。
る圧力室板１２と、圧力室１１の容積を変化させる壁１
３と、圧力室１１に連通するノズル１４を有するノズル
板１５とから構成されている。
【００１１】ヘッド基板固定部材２０は、両端に開口を
備えた筒胴状に形成されていて、一端に流路ユニット１
０の固定面２１が形成され、胴部にはヘッド基板２を収
容する凹部２２と、圧電素子１及び位置決め素子３を収
容する凹部２３とが形成されている。
備えた筒胴状に形成されていて、一端に流路ユニット１
０の固定面２１が形成され、胴部にはヘッド基板２を収
容する凹部２２と、圧電素子１及び位置決め素子３を収
容する凹部２３とが形成されている。
【００１２】ヘッド基板２を収容する凹部２２は、ヘッ
ド基板２との間に若干の間隙ｇを形成できる程度の長さ
に選択されている。一方、圧電素子１及び位置決め素子
３を収容する凹部２３は、固定面２１側の長さが、圧電
ユニット４の位置決め素子間の距離Ｌ１とほぼ一致する
ように設定され、また他端側の長さＬ２が距離Ｌ１より
も大きく構成され、流路ユニット固定面の手前で斜面２
４により接続されている。
ド基板２との間に若干の間隙ｇを形成できる程度の長さ
に選択されている。一方、圧電素子１及び位置決め素子
３を収容する凹部２３は、固定面２１側の長さが、圧電
ユニット４の位置決め素子間の距離Ｌ１とほぼ一致する
ように設定され、また他端側の長さＬ２が距離Ｌ１より
も大きく構成され、流路ユニット固定面の手前で斜面２
４により接続されている。
【００１３】流路ユニット１０を、これに形成された孔
１６をヘッド基板固定部材２０の固定面２１に形成され
た凸部２５により位置決め、接着等により固定した状態
で、ヘッド固定部材２０の後方から、圧電ユニット４の
ヘッド基板２を凹部２２に位置合わせして装入すると、
位置決め素子３、３の両側が凹部２２の斜面２４、２４
に案内されて凹部２３の側壁２３ａに一致して、つまり
図中符号ｙ方向の位置合わせを受けながら流路ユニット
１０の圧力壁１３に到達する。一方、凹部２２はヘッド
固定基板２の幅よりも若干大きく構成されているから、
位置決め素子３のｙ方向の移動に合わせてヘッド固定基
板２が追従して移動する。
１６をヘッド基板固定部材２０の固定面２１に形成され
た凸部２５により位置決め、接着等により固定した状態
で、ヘッド固定部材２０の後方から、圧電ユニット４の
ヘッド基板２を凹部２２に位置合わせして装入すると、
位置決め素子３、３の両側が凹部２２の斜面２４、２４
に案内されて凹部２３の側壁２３ａに一致して、つまり
図中符号ｙ方向の位置合わせを受けながら流路ユニット
１０の圧力壁１３に到達する。一方、凹部２２はヘッド
固定基板２の幅よりも若干大きく構成されているから、
位置決め素子３のｙ方向の移動に合わせてヘッド固定基
板２が追従して移動する。
【００１４】位置決め素子３は、その先端を図１（ｃ）
に示したように圧力室１１が形成されておらず比較的剛
性が高く、かつヘッド基板固定部材側の位置に当接して
図中ｚ方向の位置合わせを受けるため、前述のｙ方向の
位置合わせと相まって圧電素子１が各圧力室１１の領域
に壁１３を無用に押圧することなく圧力壁１３に当接す
る。
に示したように圧力室１１が形成されておらず比較的剛
性が高く、かつヘッド基板固定部材側の位置に当接して
図中ｚ方向の位置合わせを受けるため、前述のｙ方向の
位置合わせと相まって圧電素子１が各圧力室１１の領域
に壁１３を無用に押圧することなく圧力壁１３に当接す
る。
【００１５】このようにして３者の位置合わせが終了し
た段階で、ヘッド基板２とヘッド基板固定部材２０との
対向面を接着剤により固定することにより記録ヘッドが
完成する。
た段階で、ヘッド基板２とヘッド基板固定部材２０との
対向面を接着剤により固定することにより記録ヘッドが
完成する。
【００１６】このように、ヘッド基板固定部材２０には
ヘッド基板２を収容する凹部２３と圧電素子１及び位置
決め素子２を収容する凹部２２とが可及的に独立するよ
うに形成されているため、振動ユニット４の挿入工程に
おいては、ヘッド基板２は、その両端面がヘッド基板固
定部材４の凹部２３にガイドされ、また圧電素子１及び
位置決め素子３が凹部２２にガイドされるから、比較的
脆い積層圧電材料からなる圧電素子１が他部材と衝突す
るのを防止して、折損等の事故を防止することができ
る。
ヘッド基板２を収容する凹部２３と圧電素子１及び位置
決め素子２を収容する凹部２２とが可及的に独立するよ
うに形成されているため、振動ユニット４の挿入工程に
おいては、ヘッド基板２は、その両端面がヘッド基板固
定部材４の凹部２３にガイドされ、また圧電素子１及び
位置決め素子３が凹部２２にガイドされるから、比較的
脆い積層圧電材料からなる圧電素子１が他部材と衝突す
るのを防止して、折損等の事故を防止することができ
る。
【００１７】このように構成さえた記録ヘッドは、駆動
信号の印加を受けると、圧電素子１が収縮して圧力室１
１の容積が増加し、インクが圧力室１１を満たす。つい
で圧電素子１の電荷を放電させると、圧電素子１が初期
状態に伸長して圧力室１１が加圧され、ノズル１４から
インク滴が吐出する。
信号の印加を受けると、圧電素子１が収縮して圧力室１
１の容積が増加し、インクが圧力室１１を満たす。つい
で圧電素子１の電荷を放電させると、圧電素子１が初期
状態に伸長して圧力室１１が加圧され、ノズル１４から
インク滴が吐出する。
【００１８】図４は、上述した圧電ユニットの製造方法
の一実施例を示すものであって、表面に２ミクロンメー
トル以下の薄膜電極３０が形成された快削性セラミック
スからなるヘッド基板３１と、圧電特性を備えた積層圧
電素材３２とを用意する（図４（ａ））。積層圧電素材
３２は、その幅ｗが両側の位置決め素子３の両側の距離
Ｌ１よりも大きいものが選択されている。
の一実施例を示すものであって、表面に２ミクロンメー
トル以下の薄膜電極３０が形成された快削性セラミック
スからなるヘッド基板３１と、圧電特性を備えた積層圧
電素材３２とを用意する（図４（ａ））。積層圧電素材
３２は、その幅ｗが両側の位置決め素子３の両側の距離
Ｌ１よりも大きいものが選択されている。
【００１９】積層圧電素材３２の両側面３２ａが、形成
すべき位置決め素子３の両側よりも外側に位置するよう
に位置決めしてヘッド基板３１に接合する（図４
（ｂ））。形成すべき圧電素子１及び位置決め素子３に
合わせてスライシング機によって積層圧電素材３２を切
断する。この切断過程において切削深度を薄膜電極３０
よりも若干、ヘッド基板３１に食い込むように調整して
おくと、薄膜電極３０を圧電素子１及び位置決め素子３
に合わせて分離でき、それぞれにに接続する導電パター
ン３３、３４を形成できる（図４（ｃ））。
すべき位置決め素子３の両側よりも外側に位置するよう
に位置決めしてヘッド基板３１に接合する（図４
（ｂ））。形成すべき圧電素子１及び位置決め素子３に
合わせてスライシング機によって積層圧電素材３２を切
断する。この切断過程において切削深度を薄膜電極３０
よりも若干、ヘッド基板３１に食い込むように調整して
おくと、薄膜電極３０を圧電素子１及び位置決め素子３
に合わせて分離でき、それぞれにに接続する導電パター
ン３３、３４を形成できる（図４（ｃ））。
【００２０】このように一枚の積層圧電素材３２をヘッ
ド基板３１に固定してから、圧電素子１と位置決め素子
３とに切分けるため、それぞれの位置精度を切削精度で
管理することができ、位置決め素子３、複数の圧電素子
１を高い精度でヘッド基板２に作りつけることができ
る。
ド基板３１に固定してから、圧電素子１と位置決め素子
３とに切分けるため、それぞれの位置精度を切削精度で
管理することができ、位置決め素子３、複数の圧電素子
１を高い精度でヘッド基板２に作りつけることができ
る。
【００２１】最後に位置決め素子、及び圧電素子１の列
設方向に延びる共通電極板３５を取付け、端部を導電パ
ターン３４に接続することにより圧電ユニットが完成す
る（図４（ｄ））。
設方向に延びる共通電極板３５を取付け、端部を導電パ
ターン３４に接続することにより圧電ユニットが完成す
る（図４（ｄ））。
【００２２】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
圧電ユニットを装入するだけで特別な位置決め治具を必
要とすることなく、多数の圧電素子を圧力室と対向する
位置に、高い精度で位置決めすることができる。
圧電ユニットを装入するだけで特別な位置決め治具を必
要とすることなく、多数の圧電素子を圧力室と対向する
位置に、高い精度で位置決めすることができる。
【図１】図（ａ）乃至（ｃ）は、それぞれ本発明のイン
クジェット記録ヘッドの一実施例を、圧電素子の列設方
向に平行な断面での構造を示す図、圧電素子及び位置決
め素子の先端部近傍を拡大して示す断面図である。
クジェット記録ヘッドの一実施例を、圧電素子の列設方
向に平行な断面での構造を示す図、圧電素子及び位置決
め素子の先端部近傍を拡大して示す断面図である。
【図２】同上記録ヘッドを構成するヘッド基板固定部材
の一実施例を示す上面図である。
の一実施例を示す上面図である。
【図３】図（ａ）、（ｂ）は、それぞれ同上記録ヘッド
に使用する圧電ユニットの一実施例を示す斜視図と断面
図である。
に使用する圧電ユニットの一実施例を示す斜視図と断面
図である。
【図４】図（ａ）乃至（ｄ）は、それぞれ同上圧電ユニ
ットの製造方法を示す図である。
ットの製造方法を示す図である。
１ 圧電素子 ２ ヘッド基板 ３ 位置決め素子 ４ 圧電ユニット １０ 流路ユニット １１ 圧力室 １２ 圧力室板 ２０ ヘッド基板固定部材 ２１ 固定面 ２２、２３ 圧電ユニット収容用の凹部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 2/16
Claims (11)
- 【請求項１】 軸方向に伸長変位する圧電素子により圧
力室の壁を変位させてノズルからインク滴を吐出させる
インクジェット記録ヘッドにおいて、前記圧電素子をヘ
ッド基板に列状に固定するとともに、前記圧電素子の列
設方向の両側に位置決め素子を固定して構成された圧電
ユニットと、 前記圧電素子の変位を受けてインク滴を吐出する流路ユ
ニットと、該流路ユニットを一端に固定し、前記圧電素
子を前記圧力室の壁に当接させた状態で保持するヘッド
基板固定部材とからなり、 前記流路ユニット側で前記位置決め素子の側面位置を規
定するための壁を有し、かつ前記圧電ユニットを収容す
るための凹部が前記記録ヘッド基板固定部材に形成され
ているインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記ヘッド基板固定部材には前記ヘッド
基板を、前記圧電素子の変位方向に移動可能に収容する
凹部が形成されている請求項１に記載のインクジェット
記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記位置決め素子の先端が、前記流路ユ
ニットの圧力室非形成領域に当接している請求項１に記
載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記凹部の前記流路ユニット側に、先端
が前記圧電素子の列設方向の中心側に傾斜する斜面が形
成されている請求項１に記載のインクジェット記録ヘッ
ド。 - 【請求項５】 前記位置決め素子の、前記圧電素子の列
設方向の幅が、前記圧電素子の列設方向の幅よりも大き
く形成されている請求項１に記載のインクジェット記録
ヘッド。 - 【請求項６】 前記位置決め素子が、前記ヘッド基板よ
りも内側に位置する請求項１に記載のインクジェット記
録ヘッド。 - 【請求項７】 前記位置決め素子と前記圧電素子とが共
に同一の圧電板から切り出されて構成されている請求項
１に記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項８】 圧力室の壁を変位させてノズルからイン
ク滴を吐出させる圧電素子をヘッド基板に列状に固定す
るとともに、前記圧電素子の列設方向の両側に位置決め
素子を前記ヘッド基板に固定して構成したインクジェッ
ト記録ヘッド用圧電ユニット。 - 【請求項９】 前記位置決め素子の、前記圧電素子の列
設方向の幅が、前記圧電素子の列設方向の幅よりも大き
く形成されている請求項８に記載のインクジェット記録
ヘッド用圧電ユニット。 - 【請求項１０】 前記位置決め素子が、前記ヘッド基板
よりも内側に位置する請求項８に記載のインクジェット
記録ヘッド用圧電ユニット。 - 【請求項１１】 前記位置決め素子と前記圧電素子とが
共に同一の圧電板から切り出されて構成されいる請求項
８に記載のインクジェット記録ヘッド用圧電ユニット。
Priority Applications (12)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34534391A JP3199076B2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録ヘッド用圧電ユニット |
| SG1996008561A SG49270A1 (en) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Ink jet recording head and process for forming same |
| EP92121977A EP0550030B1 (en) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Ink jet recording head and process for forming same |
| DE69224975T DE69224975T2 (de) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Tintenstrahldruckkopf und sein Herstellungsverfahren |
| EP97108517A EP0795404B1 (en) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Ink jet recording head |
| DE69233523T DE69233523T2 (de) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Tintenstrahldruckkopf |
| US07/997,571 US5517225A (en) | 1991-12-26 | 1992-12-28 | Ink jet recording head |
| US08/471,230 US5630274A (en) | 1991-12-26 | 1995-06-06 | Method of making an ink jet recording head |
| US08/469,504 US5764257A (en) | 1991-12-26 | 1995-06-06 | Ink jet recording head |
| US09/070,766 US6286942B1 (en) | 1991-12-26 | 1998-05-01 | Ink jet recording head with mechanism for positioning head components |
| HK98110817A HK1010045A1 (en) | 1991-12-26 | 1998-09-22 | Ink jet recording head and process for forming same |
| JP2000322400A JP3427894B2 (ja) | 1991-12-26 | 2000-10-23 | インクジェット記録ヘッド用圧電ユニット、及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34534391A JP3199076B2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録ヘッド用圧電ユニット |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000322400A Division JP3427894B2 (ja) | 1991-12-26 | 2000-10-23 | インクジェット記録ヘッド用圧電ユニット、及びその製造方法 |
| JP2001009921A Division JP3362787B2 (ja) | 2001-01-18 | 2001-01-18 | インクジェット記録ヘッド用圧電ユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05169652A JPH05169652A (ja) | 1993-07-09 |
| JP3199076B2 true JP3199076B2 (ja) | 2001-08-13 |
Family
ID=18375954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34534391A Expired - Lifetime JP3199076B2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録ヘッド用圧電ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3199076B2 (ja) |
-
1991
- 1991-12-26 JP JP34534391A patent/JP3199076B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05169652A (ja) | 1993-07-09 |
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