JPS62238756A - インクジエツト記録ヘツド - Google Patents
インクジエツト記録ヘツドInfo
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- JPS62238756A JPS62238756A JP8167086A JP8167086A JPS62238756A JP S62238756 A JPS62238756 A JP S62238756A JP 8167086 A JP8167086 A JP 8167086A JP 8167086 A JP8167086 A JP 8167086A JP S62238756 A JPS62238756 A JP S62238756A
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- ink
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- piezoelectric
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- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 4
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
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- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、圧電効果を利用してインクキャビティ内のイ
ンクをインクノズルから液滴状に噴射させるマルチノズ
ル式インクジェット記録ヘッドに関する。
ンクをインクノズルから液滴状に噴射させるマルチノズ
ル式インクジェット記録ヘッドに関する。
圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクをイン
クノズルから液滴状に噴射させることは古くから知られ
ている。第２図は特開昭５２−４９０３３号公報に記載
されている従来のマルチノズル式インクジェット記録ヘ
ッドの断面図である。 図において、１は内部に液室２を有する圧電素子円筒体
である。液室２の一方はインク供給路３、他方はインク
通路４となっており、インク通路４の先にはノズル５が
形成されている。インクはインク供給口６から供給され
て共通供給室７に溜められている。この記録ヘッドにお
いては、圧電素子円筒体１はエポキシ樹脂製本体８内に
埋設されている。 しかして、圧電素子円筒体１を選択駆動することにより
、当該圧電素子円筒体１の液室２が体積を収縮されて、
その液室２内のインクがノズル５を介して噴射させられ
る。 ところで、この従来のインクジェット記録ヘッドにおい
ては、ノズル５の駆動手段として圧電素子円筒体１が用
いられているが、この圧電素子円筒体１は圧電材料から
成る円筒体と、この円筒体の内面および外面に設けられ
た内側電極および外側電極とから構成されている。イン
クジェット記録ヘッドを小形化するためには、それに応
じて、圧電素子円筒体１も小形化されなければならない
。 しかしながら、小形すなわち外径および内径が極端に小
さい圧電材料製円筒体を製作し、さらにその内面（内壁
面）に内側電極を形成することは、製作技術上非常に困
難である。たとえば、ノズル口を４０μｍ×４０μｍの
大きさに形成しかつ１龍間隔にて配置しようとする場合
、圧電素子円筒体１もそのようなｌ ｗ間隔にて配置で
きる程小形に形成することは不可能に近い。つまり、圧
電素子円筒体１の外径は最大０．５ｍであり、内径に至
ってはそれよりも更に小さくなる。しかも、その内壁面
に内側電極を形成しなければならない。このようなこと
は現在の製作技術をもってしても不可能である。そのた
めに、圧電素子円筒体１はある程度の大きさに構成され
るが、その結果、第６図に示したように、必要なノズル
部の幅り、に比較して本体８の幅Ｌ２が極めて大きくな
ってしまうという欠点を有している。 さらに、エポキシ樹脂製本体８内に、小形の圧電素子円
筒体１を埋設すること、および、極細のインク供給路３
、インク通路４、ノズル５を形成することは、可能では
あるが、実際には非常に困難である。 そこで、本件出願人により、このような欠点を解消して
、コンパクトに構成できかつ製作が容易であるインクジ
ェット記録ヘッドが提案された（特願昭６０−１９７４
１３号）。 第３図はこの既提案にかかる構成例を示し、同図（Ａ）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。第
４図はその構成例における圧電体プレートを示し、同図
（Ａ）はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、同図
（Ｃ）はその縦断面図である。 第５図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 これらの図において、１０は圧電材料から成る一枚の平
板状に成形された圧電体プレートである。 この圧電体プレート１０には、第４図に詳細に示すよう
に、インクキャビティ１２およびこのインクキャビティ
１２に連通ずるインク供給口２２およびインクノズル２
４が複数列形成されている。インクキャビティ１２は２
つの深溝部１６．１８および両深溝部１６゜１８間に設
けられた浅溝部１４から成る。 再び第３図に戻って説明する。２６は圧電体プレート１
０のインクキャビティ、インクノズルおよびインク供給
口が形成されている面に接着または融着もしくはその他
の手段により接合されたカバープレートである。そして
、インクキャビティ１２において、浅溝部１４を形成す
る圧電体膨出部２０（第４図）に電圧印加用電極２８が
それぞれ設けられ、その電極２８に対応する圧電体プレ
ート１０の下面に電極３０がそれぞれ設けられている。 しかして、このように構成されたインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極２８ 、３０間に電圧を印加すると
、両電極２８．３０間の圧電体が膨張して、インクキャ
ビティ１２内の体積を減少させ、その結果インクキャビ
ティ１２内のインクが当該インクキャビティ１２に連通
ずるインクノズル２４から液滴状に噴射され、図示して
いない記録担体上にもたらされる。このとき、インクキ
ャビティ１２の体積収縮は主として圧電体膨出部２０に
よって惹起されるので、当該インクキャビティ１２の体
積収縮運動が隣接のインクキャビティ１２に影響するこ
とは回避される。つまり、インクキャビティ間のクロス
トークが回避される。 第３図ないし第５図に示した構成例においては、第６図
に詳細に示すように、ノズル２４の大きさは４０μｍ×
４０μｍ、ノズル２４．２４の間隔Ｃはたとえば１龍に
形成されている。さらに、圧電体プレート１０の厚さＬ
は０．５＋＋ｎ、インクキャビティ１２の幅Ｂ０は０．
７ｍｍ、浅溝部１４つまり圧電体膨出部２０の幅Ｂ＋
は０．６鶴、そして深溝部１６．１８の幅Ｂ２は５０μ
ｍに形成されている。このように非常に微細なインクキ
ャビティ１２は、たとえば、半導体ウェハの切断に使用
されているグイシングツ−を用いて形成することができ
る。この種のグイシングツ−においては既に１５μｍの
厚さの切刃が開発されており、従ってこの種のダイシン
グソーを用いれば、インクキャビティ１２を充分に切削
可能である。 このように、既提案によるインクジェット記録ヘッドは
、たとえば、ノズル間隔がｌ ａｍ、そしてノズルはイ
ンクキャビティ１２の横幅のほぼ中心に置かれるので、
インクキャビティ１２の中心軸線間隔も同様にＩ Ｉｌ
ｌとすることができ、その結果極めてコンパクトに構成
可能である。 ところで、第３図ないし第６図に示した既提案の構成例
においては、圧電体プレート１０にインクキャビティ１
２とインク供給口２２とインクノズル２４とが形成され
ている。この場合、インクキャビティ１２の加工工程と
、インク供給口２２の加工工程と、インクノズル２４の
加工工程とが必要であり、加工が非常に頻雑であった。 さらに、インクノズル２２はインクキャビティ１２に連
通ずるように形成されるが、たとえばグイシングツ−に
よる切削加工の際隣接するノズル間のピンチを等間隔に
なるようにするのが非常に労力を要するという欠点があ
った。
クノズルから液滴状に噴射させることは古くから知られ
ている。第２図は特開昭５２−４９０３３号公報に記載
されている従来のマルチノズル式インクジェット記録ヘ
ッドの断面図である。 図において、１は内部に液室２を有する圧電素子円筒体
である。液室２の一方はインク供給路３、他方はインク
通路４となっており、インク通路４の先にはノズル５が
形成されている。インクはインク供給口６から供給され
て共通供給室７に溜められている。この記録ヘッドにお
いては、圧電素子円筒体１はエポキシ樹脂製本体８内に
埋設されている。 しかして、圧電素子円筒体１を選択駆動することにより
、当該圧電素子円筒体１の液室２が体積を収縮されて、
その液室２内のインクがノズル５を介して噴射させられ
る。 ところで、この従来のインクジェット記録ヘッドにおい
ては、ノズル５の駆動手段として圧電素子円筒体１が用
いられているが、この圧電素子円筒体１は圧電材料から
成る円筒体と、この円筒体の内面および外面に設けられ
た内側電極および外側電極とから構成されている。イン
クジェット記録ヘッドを小形化するためには、それに応
じて、圧電素子円筒体１も小形化されなければならない
。 しかしながら、小形すなわち外径および内径が極端に小
さい圧電材料製円筒体を製作し、さらにその内面（内壁
面）に内側電極を形成することは、製作技術上非常に困
難である。たとえば、ノズル口を４０μｍ×４０μｍの
大きさに形成しかつ１龍間隔にて配置しようとする場合
、圧電素子円筒体１もそのようなｌ ｗ間隔にて配置で
きる程小形に形成することは不可能に近い。つまり、圧
電素子円筒体１の外径は最大０．５ｍであり、内径に至
ってはそれよりも更に小さくなる。しかも、その内壁面
に内側電極を形成しなければならない。このようなこと
は現在の製作技術をもってしても不可能である。そのた
めに、圧電素子円筒体１はある程度の大きさに構成され
るが、その結果、第６図に示したように、必要なノズル
部の幅り、に比較して本体８の幅Ｌ２が極めて大きくな
ってしまうという欠点を有している。 さらに、エポキシ樹脂製本体８内に、小形の圧電素子円
筒体１を埋設すること、および、極細のインク供給路３
、インク通路４、ノズル５を形成することは、可能では
あるが、実際には非常に困難である。 そこで、本件出願人により、このような欠点を解消して
、コンパクトに構成できかつ製作が容易であるインクジ
ェット記録ヘッドが提案された（特願昭６０−１９７４
１３号）。 第３図はこの既提案にかかる構成例を示し、同図（Ａ）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。第
４図はその構成例における圧電体プレートを示し、同図
（Ａ）はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、同図
（Ｃ）はその縦断面図である。 第５図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 これらの図において、１０は圧電材料から成る一枚の平
板状に成形された圧電体プレートである。 この圧電体プレート１０には、第４図に詳細に示すよう
に、インクキャビティ１２およびこのインクキャビティ
１２に連通ずるインク供給口２２およびインクノズル２
４が複数列形成されている。インクキャビティ１２は２
つの深溝部１６．１８および両深溝部１６゜１８間に設
けられた浅溝部１４から成る。 再び第３図に戻って説明する。２６は圧電体プレート１
０のインクキャビティ、インクノズルおよびインク供給
口が形成されている面に接着または融着もしくはその他
の手段により接合されたカバープレートである。そして
、インクキャビティ１２において、浅溝部１４を形成す
る圧電体膨出部２０（第４図）に電圧印加用電極２８が
それぞれ設けられ、その電極２８に対応する圧電体プレ
ート１０の下面に電極３０がそれぞれ設けられている。 しかして、このように構成されたインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極２８ 、３０間に電圧を印加すると
、両電極２８．３０間の圧電体が膨張して、インクキャ
ビティ１２内の体積を減少させ、その結果インクキャビ
ティ１２内のインクが当該インクキャビティ１２に連通
ずるインクノズル２４から液滴状に噴射され、図示して
いない記録担体上にもたらされる。このとき、インクキ
ャビティ１２の体積収縮は主として圧電体膨出部２０に
よって惹起されるので、当該インクキャビティ１２の体
積収縮運動が隣接のインクキャビティ１２に影響するこ
とは回避される。つまり、インクキャビティ間のクロス
トークが回避される。 第３図ないし第５図に示した構成例においては、第６図
に詳細に示すように、ノズル２４の大きさは４０μｍ×
４０μｍ、ノズル２４．２４の間隔Ｃはたとえば１龍に
形成されている。さらに、圧電体プレート１０の厚さＬ
は０．５＋＋ｎ、インクキャビティ１２の幅Ｂ０は０．
７ｍｍ、浅溝部１４つまり圧電体膨出部２０の幅Ｂ＋
は０．６鶴、そして深溝部１６．１８の幅Ｂ２は５０μ
ｍに形成されている。このように非常に微細なインクキ
ャビティ１２は、たとえば、半導体ウェハの切断に使用
されているグイシングツ−を用いて形成することができ
る。この種のグイシングツ−においては既に１５μｍの
厚さの切刃が開発されており、従ってこの種のダイシン
グソーを用いれば、インクキャビティ１２を充分に切削
可能である。 このように、既提案によるインクジェット記録ヘッドは
、たとえば、ノズル間隔がｌ ａｍ、そしてノズルはイ
ンクキャビティ１２の横幅のほぼ中心に置かれるので、
インクキャビティ１２の中心軸線間隔も同様にＩ Ｉｌ
ｌとすることができ、その結果極めてコンパクトに構成
可能である。 ところで、第３図ないし第６図に示した既提案の構成例
においては、圧電体プレート１０にインクキャビティ１
２とインク供給口２２とインクノズル２４とが形成され
ている。この場合、インクキャビティ１２の加工工程と
、インク供給口２２の加工工程と、インクノズル２４の
加工工程とが必要であり、加工が非常に頻雑であった。 さらに、インクノズル２２はインクキャビティ１２に連
通ずるように形成されるが、たとえばグイシングツ−に
よる切削加工の際隣接するノズル間のピンチを等間隔に
なるようにするのが非常に労力を要するという欠点があ
った。
本発明は、このような点に迄みてなされ、加工が容易と
なるインクジェット記録ヘットを提供することを１］的
とする。
なるインクジェット記録ヘットを提供することを１］的
とする。
このような目的を達成するために、本発明は、圧電材料
から成る圧電体プレートの表面に複数列のインクキャビ
ティを設け、かつその圧電体プレートの表面にカバープ
レートを接合し、そして、圧電体プレートの一方の側面
に、各インクキャビティにそれぞれ連通する複数個のイ
ンクノズルを有するノズル板を取付けたことを特徴とす
る。 本発明においては、インクノズルはインクキャビティと
別体に形成され、従って圧電体プレートには少なくとも
インクキャビティをたとえばグイシンクソーによって設
ければよい。それゆえ、圧電体プレートの加工が非常に
容易になる。
から成る圧電体プレートの表面に複数列のインクキャビ
ティを設け、かつその圧電体プレートの表面にカバープ
レートを接合し、そして、圧電体プレートの一方の側面
に、各インクキャビティにそれぞれ連通する複数個のイ
ンクノズルを有するノズル板を取付けたことを特徴とす
る。 本発明においては、インクノズルはインクキャビティと
別体に形成され、従って圧電体プレートには少なくとも
インクキャビティをたとえばグイシンクソーによって設
ければよい。それゆえ、圧電体プレートの加工が非常に
容易になる。
次に本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。 第１図は本発明の一実施例を示し、同図（Ａ）はその横
断面図、同図（Ｂ）は一部を切欠いて示した斜視図であ
る。この実施例においては圧電体プレートは３段に積層
された例が示されている。第１図において、第３図ない
し第６図と同一部分には同一符号が付されている。 しかして、この第１図において、４０はノズル板であり
、このノズル板４０には各インクキャビティ１２に連通
ずる複数個のインクノズル４２が設けられている。ノズ
ル板４０は圧電体プレー） １０．１０．１０に接着に
よって取付けられる。 各インクノズル４２はノズル仮４０にたとえばエツチン
グ加工により形成される。従って、各インクノズル４２
は隣接するノズル間隔が等間隔になるようにすることが
できる。 そして、圧電体プレート１０にはインクキャビティ１２
とインク供給口２２とが形成されるだけであるから、イ
ンクノズルの分だけ圧電体プレートの加工工数を低減さ
せることができる。
。 第１図は本発明の一実施例を示し、同図（Ａ）はその横
断面図、同図（Ｂ）は一部を切欠いて示した斜視図であ
る。この実施例においては圧電体プレートは３段に積層
された例が示されている。第１図において、第３図ない
し第６図と同一部分には同一符号が付されている。 しかして、この第１図において、４０はノズル板であり
、このノズル板４０には各インクキャビティ１２に連通
ずる複数個のインクノズル４２が設けられている。ノズ
ル板４０は圧電体プレー） １０．１０．１０に接着に
よって取付けられる。 各インクノズル４２はノズル仮４０にたとえばエツチン
グ加工により形成される。従って、各インクノズル４２
は隣接するノズル間隔が等間隔になるようにすることが
できる。 そして、圧電体プレート１０にはインクキャビティ１２
とインク供給口２２とが形成されるだけであるから、イ
ンクノズルの分だけ圧電体プレートの加工工数を低減さ
せることができる。
以上に説明したように、本発明によれば、圧電体プレー
トとインクノズルとを別体に形成したので、圧電体プレ
ートの加工工数を低減することができる。 さらに、本発明においては、インクノズルはノズル仮に
たとえばエツチング加工数によって形成することができ
るので、各ノズル間の間隔を等間隔にすることができる
。
トとインクノズルとを別体に形成したので、圧電体プレ
ートの加工工数を低減することができる。 さらに、本発明においては、インクノズルはノズル仮に
たとえばエツチング加工数によって形成することができ
るので、各ノズル間の間隔を等間隔にすることができる
。
第１図は本発明の一実施例を示し、同図（八）はその横
断面図、同図（Ｂ）はその一部を切欠いて示した斜視図
である。 第２図は従来のマルチノズル式インクジェット記録ヘッ
ドの断面図である。 第３図は本件出願人によって既に提案されているマルチ
ノズル式インクジェット記録へソドを示し、同図（八）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第４図はその構成例における圧電体プレー１−を示し、
同図（八）はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、
同図（Ｃ）はその縦断面図である。 第５図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 第６図はその構成例の一部拡大断面図である。 ｌＯ：圧電体プレート、１２；インクキャビティ、２２
：インク供給口、２６：カバープレート、２８．３０
７電極、４０：ノズル板、４２：インクノズル。 ’Ｆバスｒ？、Ｔｋ１．ＩＩ 口 Ｉて才１図 第２図 常３図 ｆ５ 牙４図
断面図、同図（Ｂ）はその一部を切欠いて示した斜視図
である。 第２図は従来のマルチノズル式インクジェット記録ヘッ
ドの断面図である。 第３図は本件出願人によって既に提案されているマルチ
ノズル式インクジェット記録へソドを示し、同図（八）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第４図はその構成例における圧電体プレー１−を示し、
同図（八）はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、
同図（Ｃ）はその縦断面図である。 第５図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 第６図はその構成例の一部拡大断面図である。 ｌＯ：圧電体プレート、１２；インクキャビティ、２２
：インク供給口、２６：カバープレート、２８．３０
７電極、４０：ノズル板、４２：インクノズル。 ’Ｆバスｒ？、Ｔｋ１．ＩＩ 口 Ｉて才１図 第２図 常３図 ｆ５ 牙４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクを
インクノズルから液滴状に噴射させる記録ヘッドにおい
て、 圧電材料から成る圧電体プレートの表面に、複数列のイ
ンクキャビティを設け、かつその圧電体プレートの表面
にカバープレートを接合し、前記圧電体プレートの一方
の側面に、前記各インクキャビティにそれぞれ連通する
複数個のインクノズルを有するノズル板を取りつけた、 ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8167086A JPS62238756A (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 | インクジエツト記録ヘツド |
| DE19863630206 DE3630206A1 (de) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | Tintenstrahldruckkopf |
| DE3645017A DE3645017C2 (ja) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | |
| US06/903,789 US4752788A (en) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | Ink jet recording head |
| US07/164,774 US4819014A (en) | 1985-09-06 | 1988-04-21 | Ink jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8167086A JPS62238756A (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 | インクジエツト記録ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62238756A true JPS62238756A (ja) | 1987-10-19 |
Family
ID=13752777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8167086A Pending JPS62238756A (ja) | 1985-09-06 | 1986-04-09 | インクジエツト記録ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62238756A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0640028A (ja) * | 1992-07-27 | 1994-02-15 | Ricoh Co Ltd | プリンタ |
-
1986
- 1986-04-09 JP JP8167086A patent/JPS62238756A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0640028A (ja) * | 1992-07-27 | 1994-02-15 | Ricoh Co Ltd | プリンタ |
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