JPS6345057A - インクジエツト記録ヘツド - Google Patents
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- JPS6345057A JPS6345057A JP18985486A JP18985486A JPS6345057A JP S6345057 A JPS6345057 A JP S6345057A JP 18985486 A JP18985486 A JP 18985486A JP 18985486 A JP18985486 A JP 18985486A JP S6345057 A JPS6345057 A JP S6345057A
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- piezoelectric
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/1609—Production of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
- B41J2002/14225—Finger type piezoelectric element on only one side of the chamber
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、圧電効果を利用してインクキャビティ内のイ
ンクをインクノズルから液滴状に噴射させるマルチノズ
ル式インクジェット記録ヘッドに関する。
ンクをインクノズルから液滴状に噴射させるマルチノズ
ル式インクジェット記録ヘッドに関する。
圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクをイン
クノズルから液滴状に噴射させることは古（から知られ
ている。第４図は特開昭５２−４９０３３号公報に記載
されている従来のマルチノズル式インクジェット記録ヘ
ッドの断面図である。図において、１は内部に液室２を
有する圧電素子円筒体である。液室２の一方はインク供
給路３、他方はインク通路４となっており、インク通路
４の先にはノズル５が形成されている。インクはインク
供給口６から供給されて共通供給室７に溜められている
。この記録ヘッドにおいては、圧電素子円筒体１はエポ
キシ樹脂製本体８内に埋設されている。 しかして、圧電素子円筒体１を選択駆動することにより
、当該圧電素子円筒体１の液室２が体積を収縮されて、
その液室２内のインクがノズル５を介して噴射させられ
る。 ところで、この従来のインクジェット記録ヘッドにおい
ては、ノズル５の駆動手段として圧電素子円筒体１が用
いられているが、この圧電素子円筒体１は圧電材料から
成る円筒体と、この円筒体の内面および外面に設けられ
た内側電極および外側電極とから構成されている。イン
クジェット記録ヘッドを小形化するためには、それに応
じて、圧電素子円筒体１も小形化されなければならない
。 しかしながら、小形すなわち外径および内径が極端に小
さい圧電材料製円筒体を製作し、さらにその内面（内壁
面）に内側電極を形成することは、製作技術上非常に困
難である。たとえば、ノズル口を４０μｍ×４０μｍの
大きさに形成しかつ１ｍｍ間隔にて配置しようとする場
合、圧電素子円筒体１もそのような１ｍｏ＋間隔にて配
置できる程小形に形成することは不可能に近い。つまり
、圧電素子円筒体１の外径は最大０．５１１ＩＩ１１で
あり、内径に至ってはそれよりも更に小さくなる。しか
も、その内壁面に内側電極を形成しなければならない、
このようなことは現在の製作技術をもってしても不可能
である。そのために、圧電素子円筒体１はある程度の大
きさに構成されるが、その結果、第４図に示したように
、必要なノズル部の幅り、に比較して本体８の幅Ｌ２が
極めて大きくなってしまうという欠点を有している。 さらに、エポキシ樹脂製本体８内に、小形の圧電素子円
筒体１を埋設すること、および、極細のインク供給路３
、インク通路４、ノズル５を形成することは、可能では
あるが、実際には非常に困難である。 そこで、本件出願人により、このような欠点を解消して
、コンパクトに構成できかつ製作が容易であるインクジ
ェット記録ヘッドが提案された（特願昭６０−１９７４
１３号）。 第５図はこの既１ｚにかかる構成例を示し、同図（Ａ）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。第
６図はその構成例における圧電体プレートを示し、同図
（Ａ）はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、同図
（Ｃ）はその縦断面図である。 第７図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 これらの図において、１０は圧電材料から成る一枚の平
板状に成形された圧電体プレートである。 この圧電体プレート１０には、第６図に詳細に示すよう
に、インクキャビティ１２およびこのインクキャビティ
１２に連通ずるインク供給口２２およびインクノズル２
４が複数列形成されている。インクキャビティ１２は２
つの深溝部１６．１８および両温溝部１６゜１８間に設
けられた浅溝部１４から成る。 再び第５図に戻って説明する。２６は圧電体プレート１
０のインクキャビティ、インクノズルおよびインク供給
口が形成されている面に接着または融着もしくはその他
の手段により接合されたカバープレートである。そして
、インクキャビティ１２において、浅溝部１４を形成す
る圧電体膨出部２０（第６図）に電圧印加用電極２８が
それぞれ設けられ、その電極２８に対応する圧電体プレ
ー）１０の下面に電極３０がそれぞれ設けられている。 しかして、このように構成されたインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極２８．３０間に電圧を印加すると、
画電極２８．３０間の圧電体が膨張して、インクキャビ
ティ１２内の体積を減少させ、その結果インクキャビテ
ィ１２内のインクが当該インクキャビティ１２に連通ず
るインクノズル２４から液滴状に噴射され、図示してい
ない記録担体上にもたらされる。このとき、インクキャ
ビティ１２の体積収縮は主として圧電体膨出部２０によ
って惹起されるので、当該インクキャビティ１２の体積
収縮運動が隣接のインクキャビティ１２に影響すること
は回避される。つまり、インクキャビティ間のクロスト
ークが回避される。 第５図ないし第７図に示した構成例においては、第８図
に詳細に示すように、ノズル２４の大きさは４０μｍ×
４０μｍ１ノズル２４ 、２４の間隔Ｃはたとえば１ｍ
ｍに形成されている。さらに、圧電体プレート１０の厚
さＬは０．５ ｍｍ、インクキャビティ１２０幅Ｂ０は
０．７ ｍｍ、浅溝部１４つまり圧電体膨出部２０の幅
Ｂ１は０．６ ｍｍ、そして深溝部１６．１８の幅Ｂ２
は５０μｍに形成されている。このように非常に微細な
インクキャビティ１２は、たとえば、半導体ウェハの切
断に使用されているグイシングツ−を用いて形成するこ
とができる。この種のグイシングツ−においては既に１
５μｍの厚さの切刃が開発されており、従ってこの種の
グイシングツ−を用いれば、インクキャビティ１２を充
分に切削可能である。 このように、既提案によるインクジェット記録ヘッドは
、たとえば、ノズル間隔が１１、そしてノズルはインク
キャビティ１２の横幅のほぼ中心に置かれるので、イン
クキャビティ１２の中心軸線間隔も同様に１ｍ１ｌとす
ることができ、その結果極めてコンパクトに構成可能で
ある。 ところで、第５図ないし第８図に示した既提案の構成例
においては、圧電体プレート１０にインクキャビティ１
２とインク供給口２２とインクノズル２４とが形成さて
いる。この場合、インクキャビティ１２の加工工程と、
インク供給口２２の加工工程と、インクノズル２４の加
工工程とが必要であり、加工が非常に＠雑であった。さ
らに、インクノズル２２は、インクキャビティ１２に連
通ずるように切削加工の際、隣接するノズル間のピンチ
を等間隔になるようにするのが非常に労力を要するとい
う欠点があった。
クノズルから液滴状に噴射させることは古（から知られ
ている。第４図は特開昭５２−４９０３３号公報に記載
されている従来のマルチノズル式インクジェット記録ヘ
ッドの断面図である。図において、１は内部に液室２を
有する圧電素子円筒体である。液室２の一方はインク供
給路３、他方はインク通路４となっており、インク通路
４の先にはノズル５が形成されている。インクはインク
供給口６から供給されて共通供給室７に溜められている
。この記録ヘッドにおいては、圧電素子円筒体１はエポ
キシ樹脂製本体８内に埋設されている。 しかして、圧電素子円筒体１を選択駆動することにより
、当該圧電素子円筒体１の液室２が体積を収縮されて、
その液室２内のインクがノズル５を介して噴射させられ
る。 ところで、この従来のインクジェット記録ヘッドにおい
ては、ノズル５の駆動手段として圧電素子円筒体１が用
いられているが、この圧電素子円筒体１は圧電材料から
成る円筒体と、この円筒体の内面および外面に設けられ
た内側電極および外側電極とから構成されている。イン
クジェット記録ヘッドを小形化するためには、それに応
じて、圧電素子円筒体１も小形化されなければならない
。 しかしながら、小形すなわち外径および内径が極端に小
さい圧電材料製円筒体を製作し、さらにその内面（内壁
面）に内側電極を形成することは、製作技術上非常に困
難である。たとえば、ノズル口を４０μｍ×４０μｍの
大きさに形成しかつ１ｍｍ間隔にて配置しようとする場
合、圧電素子円筒体１もそのような１ｍｏ＋間隔にて配
置できる程小形に形成することは不可能に近い。つまり
、圧電素子円筒体１の外径は最大０．５１１ＩＩ１１で
あり、内径に至ってはそれよりも更に小さくなる。しか
も、その内壁面に内側電極を形成しなければならない、
このようなことは現在の製作技術をもってしても不可能
である。そのために、圧電素子円筒体１はある程度の大
きさに構成されるが、その結果、第４図に示したように
、必要なノズル部の幅り、に比較して本体８の幅Ｌ２が
極めて大きくなってしまうという欠点を有している。 さらに、エポキシ樹脂製本体８内に、小形の圧電素子円
筒体１を埋設すること、および、極細のインク供給路３
、インク通路４、ノズル５を形成することは、可能では
あるが、実際には非常に困難である。 そこで、本件出願人により、このような欠点を解消して
、コンパクトに構成できかつ製作が容易であるインクジ
ェット記録ヘッドが提案された（特願昭６０−１９７４
１３号）。 第５図はこの既１ｚにかかる構成例を示し、同図（Ａ）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。第
６図はその構成例における圧電体プレートを示し、同図
（Ａ）はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、同図
（Ｃ）はその縦断面図である。 第７図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 これらの図において、１０は圧電材料から成る一枚の平
板状に成形された圧電体プレートである。 この圧電体プレート１０には、第６図に詳細に示すよう
に、インクキャビティ１２およびこのインクキャビティ
１２に連通ずるインク供給口２２およびインクノズル２
４が複数列形成されている。インクキャビティ１２は２
つの深溝部１６．１８および両温溝部１６゜１８間に設
けられた浅溝部１４から成る。 再び第５図に戻って説明する。２６は圧電体プレート１
０のインクキャビティ、インクノズルおよびインク供給
口が形成されている面に接着または融着もしくはその他
の手段により接合されたカバープレートである。そして
、インクキャビティ１２において、浅溝部１４を形成す
る圧電体膨出部２０（第６図）に電圧印加用電極２８が
それぞれ設けられ、その電極２８に対応する圧電体プレ
ー）１０の下面に電極３０がそれぞれ設けられている。 しかして、このように構成されたインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極２８．３０間に電圧を印加すると、
画電極２８．３０間の圧電体が膨張して、インクキャビ
ティ１２内の体積を減少させ、その結果インクキャビテ
ィ１２内のインクが当該インクキャビティ１２に連通ず
るインクノズル２４から液滴状に噴射され、図示してい
ない記録担体上にもたらされる。このとき、インクキャ
ビティ１２の体積収縮は主として圧電体膨出部２０によ
って惹起されるので、当該インクキャビティ１２の体積
収縮運動が隣接のインクキャビティ１２に影響すること
は回避される。つまり、インクキャビティ間のクロスト
ークが回避される。 第５図ないし第７図に示した構成例においては、第８図
に詳細に示すように、ノズル２４の大きさは４０μｍ×
４０μｍ１ノズル２４ 、２４の間隔Ｃはたとえば１ｍ
ｍに形成されている。さらに、圧電体プレート１０の厚
さＬは０．５ ｍｍ、インクキャビティ１２０幅Ｂ０は
０．７ ｍｍ、浅溝部１４つまり圧電体膨出部２０の幅
Ｂ１は０．６ ｍｍ、そして深溝部１６．１８の幅Ｂ２
は５０μｍに形成されている。このように非常に微細な
インクキャビティ１２は、たとえば、半導体ウェハの切
断に使用されているグイシングツ−を用いて形成するこ
とができる。この種のグイシングツ−においては既に１
５μｍの厚さの切刃が開発されており、従ってこの種の
グイシングツ−を用いれば、インクキャビティ１２を充
分に切削可能である。 このように、既提案によるインクジェット記録ヘッドは
、たとえば、ノズル間隔が１１、そしてノズルはインク
キャビティ１２の横幅のほぼ中心に置かれるので、イン
クキャビティ１２の中心軸線間隔も同様に１ｍ１ｌとす
ることができ、その結果極めてコンパクトに構成可能で
ある。 ところで、第５図ないし第８図に示した既提案の構成例
においては、圧電体プレート１０にインクキャビティ１
２とインク供給口２２とインクノズル２４とが形成さて
いる。この場合、インクキャビティ１２の加工工程と、
インク供給口２２の加工工程と、インクノズル２４の加
工工程とが必要であり、加工が非常に＠雑であった。さ
らに、インクノズル２２は、インクキャビティ１２に連
通ずるように切削加工の際、隣接するノズル間のピンチ
を等間隔になるようにするのが非常に労力を要するとい
う欠点があった。
本発明は、このような点に鑑みてなされ、加工が容易と
なるインクジェット記録ヘッドを提供することを目的と
する。
なるインクジェット記録ヘッドを提供することを目的と
する。
このような目的を達成するために、本発明は、圧電材料
から成る圧電体プレートの表面に、複数列のインクキャ
ビティを設け、かつその圧電体プレートの表面に、その
インクキャビティにそれぞれ連通する複数個のインク供
給口を有するカバープレートを接合し、そして、このカ
バープレートの上には、前記インク供給口に連通するイ
ンク供給室を有するインク供給板を接合したことを特徴
とする。 本発明においては、インクキャビティへのインク供給手
段は圧電体プレートとは別体に形成され、従って圧電体
プレートには少なくともインクキャビティを、たとえば
ダイシングソーによって設ければよい。それゆえ、圧電
体プレートの加工が非常に而単になる。 本発明の一つの実施態様よおいては、圧電体プレートの
一方の側面には、各インクキャビティにそれぞれ連通す
る複数個のインクノズルを有するノズル板が取付けられ
る。 このような実施態様によれば、インクノズルも圧電体プ
レートと別体に形成され、従って圧電体プレートにはイ
ンクキャビティだけを設ければよい。それゆえ、圧電体
プレートの加工がより一層容易になる。
から成る圧電体プレートの表面に、複数列のインクキャ
ビティを設け、かつその圧電体プレートの表面に、その
インクキャビティにそれぞれ連通する複数個のインク供
給口を有するカバープレートを接合し、そして、このカ
バープレートの上には、前記インク供給口に連通するイ
ンク供給室を有するインク供給板を接合したことを特徴
とする。 本発明においては、インクキャビティへのインク供給手
段は圧電体プレートとは別体に形成され、従って圧電体
プレートには少なくともインクキャビティを、たとえば
ダイシングソーによって設ければよい。それゆえ、圧電
体プレートの加工が非常に而単になる。 本発明の一つの実施態様よおいては、圧電体プレートの
一方の側面には、各インクキャビティにそれぞれ連通す
る複数個のインクノズルを有するノズル板が取付けられ
る。 このような実施態様によれば、インクノズルも圧電体プ
レートと別体に形成され、従って圧電体プレートにはイ
ンクキャビティだけを設ければよい。それゆえ、圧電体
プレートの加工がより一層容易になる。
次に本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
第１図は本発明の第１実施例を示し、同図（Ａ）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 なお、第１図において、第５図ないし第８図の各部分と
同一機能を有する部分には同一符号が付されている。 しかして、第１図においては、３段に積層された３個の
記録ヘンドユニット４０．４２．４４から成る多段形マ
ルチノズル式インクジェット記録ヘッドが示されている
。各記録ヘッドユニット４０．４２．４４は、主として
、圧電体プレート１０．カバープレート３２およびイン
ク供給板３４から構成されている。この場合に、圧電体
プレート１０にはインクキャビティ１２が形成され、そ
して電極２８．３０が設けられていることは、上述した
のと同じである。しかしながら、本発明においては、イ
ンク供給口４８を有するカバープレート３２が圧電体プ
レート１０に接合されている。そして、このカバープレ
ート３２の上には、各インク供給口４８に連通ずるイン
ク供給室４６を有するインク供給板３４が接合されてい
る。なお、カバーフレート３２は金属薄板たとえばステ
ンレス板から成り、インク供給板３２は板ガラスから成
る。 第１図に示した実施例においては、インクキャビティ１
２は圧電体プレー）１０の全幅に亘って形成されており
、従って圧電体プレート１０にはインクキャビティ１２
だけが形成されている。そして、記録ヘンドユニソト４
０．４２．４４の背面には背面Ｆｉ５０が取付けられて
、インクキャビティ１２を塞ぎ、その前面にはノズル仮
３６が取付けられてインクキャビティ１２を塞いでいる
。ノズル板３６には、それぞれインクキャビティ１２に
連通ずる複数個のインクノズル３８が明けられている。 なお、インクキャビティ１２と、カバープレート３２の
インク供給口４８と、インク供給板３４のインク供給室
４６との関係は第２図に示す通りである。すなわち、イ
ンク供給室４６は複数例（この場合には５例）のインク
キャビティと交差するように細長く形成されてインクキ
ャビティ１２の上側に位置し、そしてインク供給室４６
とインクキャビティ１２との間にそれぞれインク供給口
４８が位置している。第２図において、４７はインク供
給室４６にインクを注入するための注入口であり、図示
していないインクチューブ等に結合される。 しかして、このように構成されたインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極２８．３０間に電圧を印加すると、
電極２８．３０間の圧電体が膨張して、インクキャビテ
ィ１２内の体積を減少させ、その結果インクキャビティ
１２内のインクが当該インクキャビティ１２に連通ずる
インクノズル３８から液適状に噴射され、図示されてい
ない記録坦体上にもたらされる。 その場合に、インクキャビティ１２内へのインクの補給
は、カバープレート３２のインク供給口４日を介してイ
ンク供給板３４のインク供給室４６によって行われる。 次に、第３図は本発明の第２実施例を示し、同図（Ａ）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。第
３図において、第１図および第２図と同一機能を有する
部分には同一符号が付されている。この第２実施例が第
１実施例と異なる点は、第１実施例においてはインクキ
ャビティ１２は圧電体プレート１０の全幅に亘って形成
され、そのために記録へ７ドユニフ）４０．４２．４４
の背面が背面板５０によって塞がれているが、第２実施
例においてはインクキャビティ１２は圧電体プレート１
０の背面側には途中まで形成され、その結果インクキャ
ビティ１２が圧電体プレート１０の背部５８によって閉
塞されている点である。５２，５４．５６はこのように
して構成された記録ヘッドユニットを示し、記録ヘンド
ユニット４０．４２．４４ （第１図）に対応している
。 なお、上述の説明では、記録ヘッドユニットは多段に積
層した例について述べたが、単段で用いることが出来る
ことは明らかである。
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 なお、第１図において、第５図ないし第８図の各部分と
同一機能を有する部分には同一符号が付されている。 しかして、第１図においては、３段に積層された３個の
記録ヘンドユニット４０．４２．４４から成る多段形マ
ルチノズル式インクジェット記録ヘッドが示されている
。各記録ヘッドユニット４０．４２．４４は、主として
、圧電体プレート１０．カバープレート３２およびイン
ク供給板３４から構成されている。この場合に、圧電体
プレート１０にはインクキャビティ１２が形成され、そ
して電極２８．３０が設けられていることは、上述した
のと同じである。しかしながら、本発明においては、イ
ンク供給口４８を有するカバープレート３２が圧電体プ
レート１０に接合されている。そして、このカバープレ
ート３２の上には、各インク供給口４８に連通ずるイン
ク供給室４６を有するインク供給板３４が接合されてい
る。なお、カバーフレート３２は金属薄板たとえばステ
ンレス板から成り、インク供給板３２は板ガラスから成
る。 第１図に示した実施例においては、インクキャビティ１
２は圧電体プレー）１０の全幅に亘って形成されており
、従って圧電体プレート１０にはインクキャビティ１２
だけが形成されている。そして、記録ヘンドユニソト４
０．４２．４４の背面には背面Ｆｉ５０が取付けられて
、インクキャビティ１２を塞ぎ、その前面にはノズル仮
３６が取付けられてインクキャビティ１２を塞いでいる
。ノズル板３６には、それぞれインクキャビティ１２に
連通ずる複数個のインクノズル３８が明けられている。 なお、インクキャビティ１２と、カバープレート３２の
インク供給口４８と、インク供給板３４のインク供給室
４６との関係は第２図に示す通りである。すなわち、イ
ンク供給室４６は複数例（この場合には５例）のインク
キャビティと交差するように細長く形成されてインクキ
ャビティ１２の上側に位置し、そしてインク供給室４６
とインクキャビティ１２との間にそれぞれインク供給口
４８が位置している。第２図において、４７はインク供
給室４６にインクを注入するための注入口であり、図示
していないインクチューブ等に結合される。 しかして、このように構成されたインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極２８．３０間に電圧を印加すると、
電極２８．３０間の圧電体が膨張して、インクキャビテ
ィ１２内の体積を減少させ、その結果インクキャビティ
１２内のインクが当該インクキャビティ１２に連通ずる
インクノズル３８から液適状に噴射され、図示されてい
ない記録坦体上にもたらされる。 その場合に、インクキャビティ１２内へのインクの補給
は、カバープレート３２のインク供給口４日を介してイ
ンク供給板３４のインク供給室４６によって行われる。 次に、第３図は本発明の第２実施例を示し、同図（Ａ）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。第
３図において、第１図および第２図と同一機能を有する
部分には同一符号が付されている。この第２実施例が第
１実施例と異なる点は、第１実施例においてはインクキ
ャビティ１２は圧電体プレート１０の全幅に亘って形成
され、そのために記録へ７ドユニフ）４０．４２．４４
の背面が背面板５０によって塞がれているが、第２実施
例においてはインクキャビティ１２は圧電体プレート１
０の背面側には途中まで形成され、その結果インクキャ
ビティ１２が圧電体プレート１０の背部５８によって閉
塞されている点である。５２，５４．５６はこのように
して構成された記録ヘッドユニットを示し、記録ヘンド
ユニット４０．４２．４４ （第１図）に対応している
。 なお、上述の説明では、記録ヘッドユニットは多段に積
層した例について述べたが、単段で用いることが出来る
ことは明らかである。
以上に説明したように、本発明においては、インクキャ
ビティへのインク供給手段は、圧電体プレートとは別体
に形成される。それゆえ、圧電体プレートの加工が非常
に簡単になる。なお、インクノズルを圧電体プレートと
別体に形成した場合には、圧電体プレートの加工がより
一層簡単になる。
ビティへのインク供給手段は、圧電体プレートとは別体
に形成される。それゆえ、圧電体プレートの加工が非常
に簡単になる。なお、インクノズルを圧電体プレートと
別体に形成した場合には、圧電体プレートの加工がより
一層簡単になる。
第１図は本発明の第１実施例を示し、同図（Ａ）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第２図はその実施例におけるインクキャビティとインク
供給口とインク供給室との関係を説明するための概略図
である。 第３図は本発明の第２実施例を示し、同図（Ａ）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第４図は従来のマルチノズル式インクジェット記録ヘッ
ドの断面図である。 第５図は本件出願人によって既に提案されているマルチ
ノズル式インクジェット記録ヘッドを示し、同図（Ａ）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第６図はその構成例における圧電体プレートを示し、同
図（Ａ）はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、同
図（Ｃ）はその縦断面図である。 第７図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 第８図はその構成例の一部拡大断面図である。 １０：圧電体プレート、１２：インクキャビティ、３２
：カバープレート、３４：インク供給板、３６二ノズル
手反、３８：インクノズル、４６：インク供給室、４８
：インク供給口。 第３母 晃４ツ 晃５図 吊７図
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第２図はその実施例におけるインクキャビティとインク
供給口とインク供給室との関係を説明するための概略図
である。 第３図は本発明の第２実施例を示し、同図（Ａ）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第４図は従来のマルチノズル式インクジェット記録ヘッ
ドの断面図である。 第５図は本件出願人によって既に提案されているマルチ
ノズル式インクジェット記録ヘッドを示し、同図（Ａ）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第６図はその構成例における圧電体プレートを示し、同
図（Ａ）はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、同
図（Ｃ）はその縦断面図である。 第７図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 第８図はその構成例の一部拡大断面図である。 １０：圧電体プレート、１２：インクキャビティ、３２
：カバープレート、３４：インク供給板、３６二ノズル
手反、３８：インクノズル、４６：インク供給室、４８
：インク供給口。 第３母 晃４ツ 晃５図 吊７図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクを
インクノズルから液滴状に噴射させる記録ヘッドにおい
て、 圧電材料から成る圧電体プレートの表面に複数列のイン
クキャビティを設け、かつその圧電体プレートの表面に
、そのインクキャビティにそれぞれ連通する複数個のイ
ンク供給口を有するカバープレートを接合し、さらに、
このカバープレートの上には、前記インク供給口に連通
するインク供給室を有するインク供給板を接合したこと
を特徴とするインクジェット記録ヘッド。 ２）特許請求の範囲第１項記載のヘッドにおいて、前記
圧電体プレートの一方の側面には、前記各インクキャビ
ティにそれぞれ連通する複数個のインクノズルを有する
ノズル板が取付けられていることを特徴とするインクジ
ェット記録ヘッド。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18985486A JPS6345057A (ja) | 1986-08-13 | 1986-08-13 | インクジエツト記録ヘツド |
| DE3645017A DE3645017C2 (ja) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | |
| DE19863630206 DE3630206A1 (de) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | Tintenstrahldruckkopf |
| US06/903,789 US4752788A (en) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | Ink jet recording head |
| US07/164,774 US4819014A (en) | 1985-09-06 | 1988-04-21 | Ink jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18985486A JPS6345057A (ja) | 1986-08-13 | 1986-08-13 | インクジエツト記録ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6345057A true JPS6345057A (ja) | 1988-02-26 |
Family
ID=16248293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18985486A Pending JPS6345057A (ja) | 1985-09-06 | 1986-08-13 | インクジエツト記録ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6345057A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014004716A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド |
-
1986
- 1986-08-13 JP JP18985486A patent/JPS6345057A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014004716A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド |
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