JPH08213536A - パッケージの一面に露出した半導体ダイ取付けパッドを有するダウンセットされたリードフレームおよびその製造方法 - Google Patents

パッケージの一面に露出した半導体ダイ取付けパッドを有するダウンセットされたリードフレームおよびその製造方法

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JPH08213536A
JPH08213536A JP7292475A JP29247595A JPH08213536A JP H08213536 A JPH08213536 A JP H08213536A JP 7292475 A JP7292475 A JP 7292475A JP 29247595 A JP29247595 A JP 29247595A JP H08213536 A JPH08213536 A JP H08213536A
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Dennis D Davis
ディー ディヴィス デニス
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Jesse Clark
クラーク ジェーシー
Steven P Laverde
ピー ラヴァーデ スティーヴン
Hai Tran
トラン ハイ
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、現在の製造工程に用いることができ
る単一片の深くダウンセットされた露出したリードフレ
ーム(10)である。 【解決手段】単一のリードフレーム(10)は、半導体
ダイが取り付けられたダウンセットあるいはキャビティ
ーで形成されたダイ取付けパッド(12)を有してい
る。ウング(14,15,17,18)は半導体パッケ
ージ(21)にダイパッドをロックし、潜在的な湿気の
通路の長さを増加する。ダウンセットされたダイパッド
(12)は外部のヒートシンクにダイ取付けパッド(1
2)の直接的な熱接触を与え、パッケージの内部のヒー
ドスラックの必要性を除く。露出されたダイパッド(1
2)は、またRFの接地接続としてRF回路の接地面に
も用いることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置、半導
体装置のパケージ、およびより詳細には、パッケージの
一面に露出したダウンセットされた半導体ダイ取付けパ
ッドを有するリードフレームに関する。
【0002】
【従来技術】高電力を消費し、高周波電気通信に使用さ
れるパワー半導体装置や他のトランジスタ、および集積
回路装置は、一般に、半導体装置によって発生される熱
を消散するため、また装置に対してRF接地を与えるた
めにヒートシンク(またはヒートスラッグ)(heat sin
k (or heat slug)) でパッケージされる。このヒートス
ラッグは、半導体装置に隣接して、或いは半導体装置に
対して位置され、パッケージの封緘材料を通して露出さ
れたヒートスラッグの一表面のある半導体装置パッケー
ジ内に封緘される。リードフレームに沿うヒートスラッ
グの追加は、追加の組み立てテップ、追加の装置を必要
とし、パッケージのコストを増加する。またヒートスラ
ッグと半導体装置間の空間はパッケージの問題と装置の
故障の原因となる。大きな、薄い形状のパッケージは、
「ポップコーン・クラック」が半導体装置とプリント配
線基板(PWB:Printed Wiring Board) のはんだ付けをす
る間に起きないことを保証するために、「ドライパッキ
ング(dry packing) 」を必要とする。「ポップコーン・
クラック」は、一般に急速加熱、および大きなダイパッ
ドと半導体装置のパッケージの薄い底にあるプラスチッ
ク間に生じる湿気の広がりによって起きる。
【0003】パッケージにおけるヒートスラッグの使用
は、パッケージの全体の内部高さの大きな部分を必要と
し、このアプローチが、薄い形状のパッケージに用いら
れることを妨げる。薄い形状のパッケージは、ディスク
装置、ノート型コンピュータ、セルラー電話器、PCM
CIAカード、パーソナル・ディジタル・補助装置およ
びポータブルな消費者用の電子装置などの装置において
は、しばしば必要である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のニー
ズを満たすものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、半導体装置と
共に用いられるリードフレームに関する。このリードフ
レームは、第1の水平面にリードフレームの複数のリー
ドと前記第1の面から第2の面にダウンセットされたダ
イ取付けパッドを有し、前記ダウンセットされたダイ取
付けパッドの一部が封緘しているパッケージに、また封
緘しているパッケージを通して拡がっている。リードフ
レームの製造おいては、リードフレームのリードとダイ
取付けパッドを有するリードフレームが形成される。こ
のダイ取付けパッドは、リードフレームの面より下に、
水平な面にダウンセットされ、このダイ取付けパッドに
ウイングがダイ取付けパッドの面から上方で、かつ外側
に延びるように形成される。本発明のよる技術的利点
は、その目的と同様に、添付図面と特許請求の範囲に記
載された新規な特徴に関連して、本発明の好適な実施の
形態についての以下の記載から明らかになるであろう。
【0006】
【実施の形態】図1−図14に記載されたように、本発
明は、現在の製造工程および組み立て装置を基本にして
用いることができる、単一片の深くダウンセットされ
た、露出されたリードフレームに関する。単一のリード
フレームは、半導体ダイが取り付けられるダウンセット
あるいはキャビティーのあるダイ取付けパッドを有して
いる。これは外部の熱消散器および熱面にダイ取付けパ
ッドを直接接触し、内部の熱スラッグを除いている。半
導体ダイをダウンセットされた取付けパッドに取り付け
ることによって、標準の厚さのダイを用いることがで
き、薄いパッケージを提供することができる。他の利点
は、アップヒルボンディングの使用、大きな直径のボン
ドワイヤー、導電性の露出したRF接地面、パッケージ
高さの減少、および底のプラスチックがポップコーン・
クラックを形成しない、底にあるプラスチックの薄い層
の除去などを有している。リードフレームは、通常リー
ドフレームのマトリックスいおいて、一面にリードフレ
ームのリードと他の低い面に形成されたリードフレーム
のダイ取付けパッドを伴って形成される。取付けパッド
の端は、湿気の進入がないように、またダイ取付けパッ
ドの機械的強度を与えるために、且つプラスチックのモ
ールド・ロッキングをリードフレームに与えるために上
方に形成される。
【0007】図1は、リード11の面A(図3)より下
にダウンセットされているダイ取付けパッド12を有す
るダウンセットされたダイパッドのリードフレームの上
面図である。ダイパッド12は、図1の実施の形態にお
いては、リードフレーム11に向かって、上方と外方に
延びる、ダイパッドの向かい合った端に側面17と18
を有している。側面17と18は、以下ウイングと呼ば
れる。ダイパッド12は、またダイパッド12から上方
と外方に延びるウイング14と15を有し、リードフレ
ームのリード11と、或いはリード11に接続されてい
るか、接近している。図示されているように、11a,
11b,11c,11d,11eおよび11fで示され
るリードフレームのリードはそれぞれウイング14と1
5に接続されている。他のリードフレームのリード11
は、それがらダイパット12上に取付けられた半導体ダ
イ表面20a(図2)に分離されたワイヤーボンド接続
を行うために用いられるので、ダイパッド12には取り
付けられていない。リードフレームのリード11a−1
1fは、接地接続を与え、また適切な所にダイパッドを
保持するために用いることができる。パッケージ21の
アウトラインが示されている。
【0008】図2は、図1の2−2線に沿った断面図で
ある。ダイパッド12の面から外方に、そして上方に延
びているダイパッド12のウイング18と17が示され
ている。幾つかの実施の形態においては、ダイ20の上
面20aが、ウイング17と18の先端より下にあるこ
とを示す、半導体ダイ20のアウトラインが図示されて
いる。ダイパッド12の底面12aは、パッケージ21
の表面に露出されいて、ダイパッド12からパッケージ
21の外側に熱伝達のための、良好な熱結合点を与え
る。ウイング14と15ばかりでなく、ウイング17と
18は、外側のダイパッドとプラスチックの境界12b
から半導体ダイへ、(図5(b)に関して以下に述べら
れる)湿気の通路を増大し、高周波半導体装置用のRF
シールドを与える。図3は、図1の3−3線に沿った断
面図であるダイパッドのウイング14と15は、上方
に、そして外方に延び、ダイの外側のパッドとプラスチ
ック・パッケージとの境界からの湿気の通路を延ばして
いる。リードフレーム11eと11bは、それぞれ14
と15におけるダイパッドのウイングに接続されている
ことを示している。
【0009】図4は、ダウンセットされたリードフレー
ムの他の実施の形態である。リードフレーム30は、リ
ードフレームの両側にある複数のリード36を有するダ
ウンセットされたダイパッド31を有する。ダイパッド
31は、パッド面の両側から外方に、そして上方に延び
るウイング34と35と、ダイパッド31の両端部から
外方に、そして上方に延びるウイング32と33を有し
ている。リードフレームのリード36はダイパッド31
の側に沿っている。エンドリード37と38はダイパッ
ド31に接続され、接地接続として用いられる。リード
フレームのリード36に接続されたいろいろなコンタク
トパッドを有するダイパッド31に取付けられた半導体
ダイ39が示されている。例えば、ワイヤーボンド36
aはボンドパッド36bに接続されている。全体のパッ
ケージのアウトラインが40として示されている。図5
(a)は、図4のリードフレームとパッケージの5−5
線に沿った断面図である。上方に、そして外方に延びる
ウイング34と35を有するダイパッド31が示されて
いる。ウイング34と35は、アウトラインで示される
プラスチックパケージ40内にリードフレームのロック
を助ける。ダイ39に隣接し、パッケージ40を通して
延びるリードフレームのリード36が示されている。パ
ッケージのための温度通路を与える、パッケージの一表
面にあるダイパッド31の表面31aが示されている。
【0010】図5(b)は、ウイング、例えばウイング
34のまわりに延びる、外部からの湿気の進入を抑制す
る通路34aを示している。ウイング34はパッケージ
のプラスチックと取付けパッドとの境界31bに始まる
潜在的な湿気の通路を延ばしている。図6は、パッケー
ジ40の内部と外部を示す、図4のリードフレームとパ
ッケージを部分的に切り取った側面図である。ウイング
33に接続されているリードフィンガー38が示されて
いる。ダイ39はダウンセットされたダイパッド31に
取り付けられている。リード36はパッケージ40の外
へ延び、表面に対して装置の取付けを与えるように形成
されている。図7(a)は、深いダウンセットを達成す
るための、多段階にダウンセットするアプローチを示し
ている。第1段階は44に生じ、第2段階は45に生じ
る。パッケージのアウトラインはPで示されている。図
7(b)は、図7(a)のダウンセットされたリードフ
レームの7−7線に沿った断面図である。図8は、中央
のダウンセットされたダイパッドを示す、8−8線に沿
った断面図である。ダウンセットとそれに関連する部分
の構造は、図8には示されていない。図示を明瞭にする
ために、41,44および42で示す付加的なダウンセ
ットのみが示されている。第1のダウンセット44は標
準的なリードフレームと標準的なダイの厚さにマッチす
るようにセットされている。ダウンセット45は、パッ
ケージの底面にあるダイ取付けパッドを露出するために
必要な距離を変換するようにセットされる。二つのダウ
ンセット44,45は互いに90°の角度のあり、パッ
ケージのモールド中にキャビティーモールドの底に対し
てダイ取付けパッド41を保持するために力を与える。
リードフレームのレベル42は、(図示されていない)
半導体ダイへの任意のワイヤーボンドの接地を行うため
に用いることができる。
【0011】コーナー46は、湿気の通路を増加し、三
つの90°の方向転換あるいはコーナーを導入すること
により、湿気の浸透を抑制するために、スタンピング、
エッチング、あるいは同様な方法で形成される。これら
のコーナーは図7(c)により詳細に示されている。コ
ーナー56,57,および58は、湿気のパッケージへ
の進入を阻止するために、湿気の通路を増加する。ダイ
パッドとプラスチックの境界が55aに示されている。
湿気の通路55の増大した長さが、コーナー56,5
7,および58を示す矢印によって示されている。図9
は、パッケージの表面50で露出されたダウンセットさ
れたダイパッド52を有する半導体パッケージを示す。
リード51を有するパッケージ60は、パッケージ60
の底面50で露出されたダウンセットされたダイパッド
の底面52を有している。パッケージ60はヒートシン
ク表面に取付けられた底面52によって取り付けること
ができる。ダイパッドとパッケージの境界53は一般に
金属からプラスチックへの境界である。ヒートシンクの
境界(図示せず)への露出されたダイパッドは、標準的
な表面取付けはんだ技術あるいは熱伝導性化合物を使用
して達成することができる。露出されたパッド52とヒ
ートシンク間の空隙が増加した熱性能を除去するであろ
う。
【0012】図10(a)は、半導体装置の上部にダイ
パッドを配置するために形成された、リード70aのあ
るダウンセットされたダイパッドを有する本発明の第4
の実施の形態を示す。ダウンセットされたリードフレー
ム70は、ダウンセットされた(あるいは図示されるよ
うに、アップセットされた)ダイパッド71を有してい
る。パッケージのアウトラインは、74で示されてお
り、パッケージ74を通して延びるダイパッド71の底
面75を有している。図10(b)は、パッケージの上
部に取付けられたヒートシンク72を有す図10(a)
のパッケージを示す。パッケージの上部のヒートシング
で、半導体装置によって発生された熱が、通常の空気の
流通あるいはファンによる空気の流通によって、散らさ
れたり、奪われたりする。図10(c)は、熱ダイパッ
ドの露出した表面73に接触しているパッケージの上部
に接し、且つ上部を横切って延びる、熱消散チップある
いはフィンガーのある図10(a)の装置を示す。図1
1は、ヒートシンクに、プリント配線基板を通して熱伝
導性の通路を有するダウンセットされたダイパッド装置
とプリント配線基板の組み合わせを示す。ダウンセット
されたリードフレーム81は、リードフレーム上に取付
けられた半導体ダイ83のあるダイパッド82を有して
いる。半導体装置パッケージは79のアウトラインで示
されている。ダイ取付けパッド82はパッケージ79を
通して拡がる面82aを有している。パッケージ79
は、複数の熱伝導性の通路85上に、熱的に接触して取
付けられたダイパッド82の面82aのあるプリントさ
れた配線基板84上に取付けられる。良好な熱接触を保
証するために、例えばグリース、エポキシ或いは半だ8
7のような熱伝導性材料が、ダイパッド面82aと通路
85の端部の間に配置される。プリント回路基板84を
通して延びる任意の接地面89が示されている。
【0013】ヒートシンク86が通路85の下に、熱接
触して取付けられる。グリース88が、通路85とヒー
トシンク86の間の良好な熱接触を保証するために、プ
リント配線基板84とヒートシンク86の間に配置され
る。図11の形状は、パッケージに内部ヒートスラッグ
を持たずに、適切な熱伝達を保証するために、大きな露
出した熱伝導性領域を外部のヒートシンク86に与える
ている。図12は、図11に示されたような半導体装置
とプリント基板の組み合わせであるが、この実施の形態
においては、固体の熱消散器86aがプリント回路基板
84を通して、露出したダイパッド82の面82aに直
接接触している。この熱発散器86aは通路85より効
果的な熱通路を与え、プリント回路基板の貴重なスペー
スを無駄使いすることがない。図13は、半導体の取付
け領域86のそれぞれの側に大きな熱伝導性パッド81
と82のあるプリント配線基板80、および二つの大き
な領域を結合する半導体装置取付け領域86上に拡がる
熱伝導性パッド83を示している。プリント配線回路基
板の導体84と85が取付け領域86に隣接して示され
ている。図14は、プリント配線基板の導体84と85
に接続された半導体のリード87および熱伝導性パッド
83に接触して取り付けられているダウンセットされた
熱ダイパッドのあるダウンセットされたリードフレーム
装置87を有する図13のプリント配線基板80を示し
ている。大きな熱伝導性領域81と82は、半導体装置
87によって発生される熱を消散するための大きな表面
領域を与える。
【0014】以上の記載に関連して、以下の各項を開示
する。 (1)半導体装置と共に使用するリードフレームであっ
て、第1の水平面にあるリードフレームの複数のリード
と、前記第1の水平面から第2の面へダウンセットされ
たダイ取付けパッド、このダウンセットされたダイ取付
けパッドはベースと前記ベースから延びる複数のウイン
グを有することを特徴とするリードフレーム。 (2)前記リードフレームのリードの少なくともいくつ
かは前記ダウンセットされたダイ取付けパッドに取付け
らえていることを特徴とする前記(1)のリードフレー
ム。 (3)前記ダウンセットは多段階ダウンセットであるこ
とを特徴とする前記(1)のリードフレーム。 (4)半導体装置と共に使用するリードフレームであっ
て、第1の水平面にあるリードフレームの複数のリード
と、前記第1の水平面から第2の面へダウンセットされ
たベースを含み、前記ベースから外方に、且つ上方に延
びる複数のウイングを有するダイ取付けパッドと、ダウ
ンセットされたダイパッドに取付けられたリードフレー
ムの少なくとも一つのリードと、を有することを特徴と
するリードフレーム。 (5)半導体ダイ、リードフレームおよびプラスチック
封緘体を有する半導体装置であって、第1の水平面にあ
るリードフレームの複数のリードと、前記第1の水平面
から第2の面へダウンセットされたダイ取付けパッド
と、リードフレームのリードの一部、半導体ダイ、およ
びダウンセットされたダイ取付けパッドの一部を封緘す
る封緘パッケージを備え、前記ダウンセットされたダイ
取付けパッドは前記封緘パッケージに、かつ前記封緘パ
ッケージを通して延びていることを特徴とする半導体装
置。 (6)前記ダウンセットされたダイ取付けパッドは前記
半導体ダイに直接的な熱通路を与えることを特徴とする
前記(5)に記載の装置。 (7)前記ダウンセットされたダイ取付けパッドは前記
半導体ダイに対して熱電導面として働くことを特徴とす
る前記(5)に記載の装置。 (8)前記リードフレームのリードは、パッケージがプ
リント配線基板上に取付けられたとき、半導体装置パッ
ケージの上側を通して拡がるダイパッドを配置するため
に形成されていることを特徴とする前記(5)に記載の
装置。 (9)プリント回路基板とパッケージの上部にある露出
したダイパッドに接触している熱消散器を組み合わせた
ことを特徴とする前記(5)に記載の装置。 (10)半導体装置用のリードフレームを製造する方法
であって、ダイ取付けパッドとリードフレームのリード
を含むリードフレームを形成し、前記リードフレームの
リード面より下で、且つ水平な面にダイ取付けパッドを
ダウンセットし、且つ前記ダイ取付けパッドの面から上
方に延びるウイングを前記ダイ取付けパッドに形成する
方法。 (11)前記リードフレームはエッチングにより形成さ
れることを特徴とする前記(10)に記載の方法。 (12)前記リードフレームはスタンピングにより形成
されることを特徴とする前記(10)に記載の方法。 (13)ダイ取付けパッド上に第2のダウンセットを形
成するステップを含むことを特徴とする前記(10)に
記載の方法。 (14)前記ダウンセットされたダイパッドの周りに湿
気の浸透を抑制するコーナーを形成するステップを含む
ことを特徴とする前記(10)に記載の方法。 (15)前記ダイパッドとパッケージのプラスチック間
に積極的なロッキングを与えるために、外方に傾斜し
た、ダイ取付けパッドのウイングを形成するステップを
含むことを特徴とする前記(10)に記載の方法。 (16)湿気の通路を増加し、パッケージへの湿気の浸
透を妨げるために、外方に傾斜した、ダイ取付けパッド
のウイングを形成するステップを含むことを特徴とする
前記(10)に記載の方法。 (17)半導体装置用のリードフレームを製造する方法
であって、第1の水平面に複数のリードフレームのリー
ドを形成し、前記第1の水平面から第2の面へダウンセ
ットされたダイ取付けパッドを形成し、前記ダウンセッ
トされたダイ取付けパッド上に半導体ダイを取付け、且
つリードフレームのリードの一部、半導体ダイ、および
前記ダウンセットされたダイ取付けパッドの一部を封緘
し、前記ダウンセットされたダイ取付けパッドは前記包
んでいるパッケージにおよびパッケージを通して、延び
ていることを特徴とする方法。 (18)ダウンセットされたダイパッドの周りに湿気の
浸透を抑制するための、ダウンセットされたダイパッド
上に段付きコーナーを含むことを特徴とする前記(1)
に記載の半導体装置。 (19)半導体装置とプリント配線基板の組み合わせで
あって、半導体パッケージの第1の表面に、また表面を
通して延びるダウンセットされたダイ取付けパッドを含
む、第1の表面を有するパッケージされた半導体装置
と、第1と第2の面を有するプリント配線基板と、第1
と第2の面の間のプリント配線基板を通して延びる少な
くとも一つの熱伝導性通路と、前記熱伝導性通路に熱接
触するヒートシンクと、前記プリント配線基板の第1の
表面上の熱伝導性通路に熱接触する第1の面を通して延
びるダウンセットされたダイ取付けパッドのある前記プ
リント配線基板の第1の面上に取付けられたパックされ
た半導体装置、を有する組み合わせ。 (20)ダウンセットされたダイパッドと前記プリント
配線基板の第1の面の間に熱伝導性材料を含み、且つ前
記ヒートシンクと前記プリント配線基板の第2の面の間
に熱伝導性材料を含むことを特徴とする前記(19)に
記載の組み合わせ。 (21)半導体装置とプリント配線基板の組み合わせで
あって、プリント配線基板の一面上に第1と第2の熱伝
導性領域を有するプリント配線基板と、第1と第2の熱
伝導性領域の間にあって、それらを結合する第3の熱伝
導性領域と、前記第3の熱伝導性領域にわたって、前記
プリント配線基板に取付けられ、半導体パッケージの表
面を通して延びるダウンセットされた熱伝導性ダイ取付
けパッド、前記第3の熱伝導性領域と熱伝導接触してい
る前記熱伝導性ダイパッドを有する半導体装置と、を有
することを特徴とする組み合わせ。 (22)本発明は、現在の製造工程に用いることができ
る単一片の深くダウンセットされた露出したリードフレ
ーム(10)である。単一のリードフレーム(10)
は、半導体ダイが取り付けられたダウンセットあるいは
キャビティーで形成されたダイ取付けパッド(12)を
有している。ウング(14,15,17,18)は半導
体パッケージ(21)にダイパッドをロックし、潜在的
な湿気の通路(34a)の長さを増加する。ダウンセッ
トされたダイパッド(12)は外部のヒートシンクにダ
イ取付けパッド(12)の直接的な熱接触を与え、パッ
ケージの内部のヒードスラックの必要性を除く。露出さ
れたダイパッド(12)は、またRFの接地接続として
RF回路の接地面にも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態によるダウンセット
されたダイパッドリードフレームの上面図である。
【図2】図1のリードフレームの2−2線に沿った断面
図である。
【図3】図1のリードフレームの3−3線に沿った断面
図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態によるダウンセット
されたダイパッドリードフレームの上面図である。
【図5】(a)は図4のリードフレームの5−5線に沿
った断面図、(b)は湿気の進入を抑制するための図で
ある。
【図6】図4のリードフレームの部分断面図である。
【図7】(a)は多段階ダウンセットを有する本発明の
第3の実施の形態によるダウンセットされたリードフレ
ーム/ダイパッドの上面図、(b)は図7の7−7線に
沿った断面図、(c)はは湿気の進入を抑制するための
図を示す。
【図8】ダウンセットされたダイパッドの中央部分の部
分側面図を示す。
【図9】パッケージの底面上の熱伝導性と導電性のある
露出したダイ取付けパッドである。
【図10】(a)は本発明の第4の実施の形態によるパ
ッケージの上部にダイパッドを配置するために形成され
たリードのあるダウンセットされた熱ダイパッド、
(b)および(c)はダウンセットされた熱ダイパッド
に接触している熱消散器を有する図である。
【図11】プリント配線基板を通してヒートシンクへの
熱伝導性通路を有する、ダウンセットされたダイパッド
装置とプリント配線基板の組み合わせを示す。
【図12】ダウンセットされた熱ダイパッドに直接接触
しているプリント配線基板を通して拡がるヒートシンク
のある、図11の他の実施の形態を示す。
【図13】半導体取付け領域の各側上に大きな熱伝導性
パッド、および二つの大きな領域を結合する装置取付け
領域上に拡がる熱伝導性パッドのあるプリント配線基板
を示す。
【図14】プリント配線基板に取り付けられた装置を有
する図13のプリント配線基板を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 デニス ディー ディヴィス アメリカ合衆国 テキサス州 75040 ガ ーランド マーズ ドライヴ 2106 (72)発明者 ディヴィッド アール キー アメリカ合衆国 テキサス州 75208 リ チャードソン アンブルサイド 1513 (72)発明者 ジェーシー クラーク アメリカ合衆国 テキサス州 75234 フ ァーマーズ ブランチ エリック レーン 2943 (72)発明者 スティーヴン ピー ラヴァーデ アメリカ合衆国 テキサス州 75234 ダ ラスフォールカーク ドライヴ 16206 (72)発明者 ハイ トラン アメリカ合衆国 テキサス州 75243 ダ ラスオーデリア 11480 アパートメント 133

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】半導体装置と共に使用するリードフレーム
    であって、 第1の水平面にあるリードフレームの複数のリードと、 前記第1の水平面から第2の面へダウンセットされたダ
    イ取付けパッド、このダウンセットされたダイ取付けパ
    ッドはベースと前記ベースから延びる複数のウイングを
    有することを特徴とするリードフレーム。
  2. 【請求項2】半導体装置用のリードフレームを製造する
    方法であって、 ダイ取付けパッドとリードフレームのリードを含むリー
    ドフレームを形成し、 前記リードフレームのリード面より下で、且つ水平な面
    にダイ取付けパッドをダウンセットし、且つ前記ダイ取
    付けパッドの面から上方に延びるウイングを前記ダイ取
    付けパッドに形成する方法。
JP7292475A 1994-11-14 1995-11-10 パッケージの一面に露出した半導体ダイ取付けパッドを有するダウンセットされたリードフレームおよびその製造方法 Pending JPH08213536A (ja)

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Publications (1)

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