JPH08107193A - Ｓｏｉ基板の製造方法 - Google Patents
Ｓｏｉ基板の製造方法Info
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|---|---|---|---|---|
| JP2007535158A (ja) * | 2004-04-27 | 2007-11-29 | エス．オー．アイ．テック、シリコン、オン、インシュレター、テクノロジーズ | チップおよび関連する支持体を製作する方法 |
| JP2011524083A (ja) * | 2008-09-02 | 2011-08-25 | エス．オー．アイ．テック シリコン オン インシュレータ テクノロジーズ | 漸進トリミング法 |
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Also Published As
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