JPH0442480B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は特にクリーンルーム内で被めつき物を
めつき処理するに適した外部へのガス拡散の少な
いめつき装置に関するものである。

（従来の技術） 被めつき物を保持して移動させるキヤリアの走
行線に沿つて多数の処理槽を配置し、被めつき物
をキヤリアによつて自動的に各処理槽内に順次浸
漬させつつめつき処理を行わせるめつき装置は従
来から広く使用されているが、各処理槽から発生
するガスやミストが周囲の空気を汚染するという
問題があつた。このため、例えば実公昭60−
40593号公報に示すように各処理槽の上端部分に
は槽内から発生するガスやミストを吸引する排気
ダクトが設けられているが、ガスやミストを周囲
の大気とともに吸引する構造であるため大容量の
排気フアンを設けねばならず、そのランニングコ
ストも高くなるうえ、作業終了後に排気フアンを
停止しても処理槽内が完全に冷えるまでの間に引
続いてガスやミストが発生するため、周囲の大気
を汚染することは避けられなかつた。この問題は
特に最近の電子機器用部品のめつきに用いられる
クリーンルーム内のめつき装置においては重要で
あり、クリーンルーム内にガスやミストが飛散す
るおそれのないめつき装置が求められた。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明はこのような従来の問題点を解決して、
めつき作業中およびめつき作業終了後における処
理槽内のガスやミストの大気中への飛散を防止す
るとともに、排気フアンを小容量のものとしてラ
ンニングコストの低減を図ることもできるめつき
装置を目的として完成されたものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明は処理槽の上面をその長手方向に分割さ
れた多数の蓋板によつて覆うとともに、処理槽の
上方には被めつき物が装入される部分の蓋板の上
部のフツクと係合して蓋板を開く蓋開閉アームを
昇降及び横行自在に設けたことを特徴とするもの
である。

（実施例） 次に本発明を図示の実施例について詳細に説明
すると、１はめつき槽のような処理槽、２はその
側方に設けられたレール３にガイドされて処理槽
１に沿つて走行するキヤリアであつた、被めつき
物５０はこのキヤリア２のフツク４によつて吊上
げられて処理槽１へ順次搬入され、また所定時間
後には搬出されて行くことは従来と同様である。
５は処理槽１の上面を覆う多数の蓋板である。蓋
板５は図示のように処理槽１の長手方向に所定幅
に分割されたもので、その上面には逆Ｌ字状の左
右一対のフツク６，６が突設されている。これら
の蓋体５は処理槽１の上面両側に突設された支持
板７，７間に架け渡されて処理槽１の上面を覆う
ことができる構造になつている。

一方、処理槽１の上方には、上記のような蓋板
５を開閉するための蓋開閉アーム８が設けられて
いる。本実施例においては蓋開閉アーム８は被め
つき物５０を処理槽１へ搬入搬出するための前記
したキヤリア２に設けられたものである。即ち、
キヤリア２の基部にモータ９により送りねじ１０
を回転させてスライダ１１を水平方向に移動させ
る横行機構１２を取付けるとともに、このスライ
ダ１１上に同様の昇降機構１３を取付け、そのス
ライダ１４に蓋開閉アーム８の基部を支持させて
ある。また蓋開閉アーム８には前記した蓋板５の
逆Ｌ字状のフツク６に側方から係止できる左右一
対の蓋板保持片１５，１５が設けてあるので、蓋
開閉アーム８はキヤリア２とともに被めつき物５
０が処理槽１内に装入される位置まで走行し、そ
の部分の蓋板５を開閉することが可能となる。こ
の蓋開閉アーム８はキヤリア２とは別体に設けて
もよい。

なお１６は処理槽１の上部に設けられた被めつ
き物５０のラツク支持片、１７は処理槽１の上部
の支持板７の内側からガスやミストを吸引するた
めの排気ダクト、１８は処理槽１の所要部分に形
成された区画板であつて、この区画板１８には透
孔１９が形成されている。

（作用） このように構成されたものは、キヤリア２のフ
ツク４によつて被めつき物５０をそのラツク２０
とともに吊上げ、処理槽１の内部に順次浸漬させ
て一連のめつき処理を行わせることは従来と同様
であるが、本発明においては処理槽１の上面がそ
の長手方向に分割された多数の蓋板５によつて覆
われているため、処理槽１の内部から発生するガ
スやミストは外部へ飛散することがなく、排気ダ
クト１７を通じて比較的小容量の排気フアンによ
り効率良く排気されることとなる。このため、本
発明のめつき装置はクリーンルーム内等に設置す
るに適したものである。また本発明においては、
処理槽１の上方に蓋開閉アーム８を設けてあるの
で、被めつき物５０を処理槽１内へ装入するに先
立つて蓋開閉アーム８を作動させ、その蓋板保持
片１５を蓋板５のフツク６の下面に横方向から挿
入して係合させたうえで上方へ持上げ互いに横方
向へ移動させることにより蓋板５を自動的に開く
ことができる。この状態で被めつき物５０を処理
槽１内へ降下させてラツク２０を処理槽１のラツ
ク支持片１６，１６に支持させたのち、再び蓋開
閉アーム８により蓋板５を閉じればよく、このよ
うに蓋板５を開くのは被めつき物５０の出入れの
際だけでよいので、ガスやミストの外部への飛散
をほぼ完全に防止できる。なお蓋体５を開いてい
る間にも排気ダクト１７からの排気は継続的に行
われるので、蓋板５の開いた部分から外部へ逃げ
ようとするガスやミストは区画板１８の透孔１９
等を通じて吸引排気され、外部への飛散は最少限
に抑えられることとなる。

（発明の効果） 本発明は以上の説明からも明らかなように、処
理槽の上面を多数の蓋板により覆うことにより処
理槽の内部から発生するガスやミストの飛散を防
止し、また比較的小容量の排気フアンによつてガ
スやミストを排気できるようにしたものである。
しかも本発明においては、処理槽の上方に蓋開閉
アームを昇降及び横行自在に設けたので、被めつ
き物が装入される部分の蓋板を自動的に開閉する
ことができ、従来どおりの全自動的なめつき処理
を行わせることが可能である。よつて本発明は特
にクリーンルーム内に設置されるめつき装置とし
て好適なものであり、業界に寄与することろは極
めて大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す斜視図、第２図
はその側面図である。 １……処理槽、２……キヤリア、５……蓋板、
６……フツク、８……蓋開閉アーム、５０……被
めつき物。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 処理槽１の上面をその長手方向に分割された
   多数の蓋板５によつて覆うとともに、処理槽１の
   上方には被めつき物５０が装入される部分の蓋板
   ５の上部のフツク６と係合して蓋板５を開く蓋開
   閉アーム８を昇降及び横行自在に設けたことを特
   徴とするめつき装置。 ２ 蓋開閉アーム８が被めつき物５０を処理槽１
   内へ搬入搬出するキヤリア２に設けられたもので
   ある特許請求の範囲第１項記載のめつき装置。