JPH0678335U - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 作動制御用コードを効率よく収納して、コン
パクトな構成の基板搬送装置での昇降機構を提供する。 【構成】 昇降ガイド１２に案内されて昇降移動する昇
降作動体１３を筒体で形成する。昇降作動体１３の内部
空間１９内に基板保持作動具９の作動制御用コード１６
をカールコードの状態で収容する。これにより筒状昇降
作動体１３の内部空間内に作動制御用コード１６を絡ま
ることなく収容させることができ、昇降ガイド１２の外
部にコード必要長の変化を吸収するためのスペースやサ
ポート機構を形成しなくてもよい。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体基板や液晶用ガラス基板等の薄板状の被処理基板（以下単に 基板と称する）を移送する基板搬送装置に関し、特に、基板を保持した状態で昇 降する基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

基板を保持して搬送する基板搬送装置として、従来より、図３中の符号(７)で 示すものが知られている。 ここで、図３中の符号(１)は基板洗浄装置を示し、この基板洗浄装置(１)は基 板収容カセット(Ｃ)の搬入搬出部(２)と、カセット(Ｃ)から基板(Ｗ)を取出し又 はカセット(Ｃ)内へ基板(Ｗ)を装填する基板移載部(３)と、カセット(Ｃ)の搬入 搬出部(２)と基板移載部(３)との間でカセット(Ｃ)を移載するカセット移載ロボ ット(４)と、複数の基板を一括して洗浄する浸漬型基板洗浄処理部(５)と、基板 (Ｗ)の液切り基板乾燥部(６)と、基板移載部(３)でカセット(Ｃ)から取り出した 複数の基板(Ｗ)を一括保持して上記洗浄処理部(５)及び基板乾燥部(６)に搬送す る基板搬送ロボット(７)から構成される。

【０００３】 なお、カセット移載ロボット(４)は、図３で示すように、昇降移動及び回転自 在で、矢印Ａ方向に移動可能に構成され、搬入搬出部(２)に搬入されてきたカセ ット(Ｃ)を基板移載部(３)のテーブル(８)上に移載し、また、洗浄済み基板を収 容したカセット(Ｃ)を当該テーブル(８)から搬入搬出部(２)へ移載するように構 成されている。

【０００４】 上記基板搬送ロボット(７)は、図３に示すように、昇降移動可能かつ矢印Ｂ方 向に横移動可能に設けられ、基板移載部(３)のリフターから受け取った複数の基 板(Ｗ)を基板搬送ロボット(７)の基板支持アーム(９)で一括保持し、横移動部(1 0)に沿って洗浄処理部(５)内及び基板乾燥部(６)内へ順次搬送するように構成さ れている。

【０００５】 この基板搬送ロボット(７)の昇降機構は、図４で示すように、水平移動可能に 配置した本体台車(11)から立設した昇降ガイド(12)の内部に中実軸で構成した昇 降作動体(13)を配置して昇降ポスト(14)を形成し、昇降作動体(13)の上端に開閉 揺動作動可能な基板支持アーム(９)を固定配置するとともに、昇降作動体(13)を 本体台車(11)に垂直姿勢で配置したネジ式の昇降駆動機構(15)で昇降ガイド(12) に沿わせて垂直昇降可能に駆動し、昇降作動体(13)の上端部に配置した基板支持 アーム(９)を制御作動させるために必要な電線やエアチューブ等を収容してなる 作動制御用コード(16)を昇降作動体(13)の内部で貫通させるコード挿通孔(17)を 昇降作動体(13)に軸心に沿わせて透設した構成となっている。そして、昇降作動 体(13)の昇降移動に伴う作動制御用コード(16)の必要長さの変化に対応するため に、昇降作動体の下端から導出した部分をカールコードに形成して、このカール 部分を昇降ガイド(12)と平行に配置したサポートロッド(18)に巻回させた構成と なっている。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

ところがこの従来の昇降機構では、作動制御用コード(16)の余剰部分を配置す るためのスペースが必要であるうえ、その余剰部分が絡まないようにガイドする ためのサポートロッド(18)を昇降ポスト(14)の外側部分に配置しなければならな いことから、装置として大型化するうえ、横方向への移動時に作動制御用コード (16)が他の構成部品に接触しやすいという問題があった。 本考案は、このような点に着目してなされたもので、作動制御用コードを効率 よく収納して、コンパクトな構成の昇降機構を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上述の目的を達成するために本考案は、昇降作動体を筒体で形成し、この昇降 作動体の内部空間内に基板保持作動具の作動制御用コードを絡まることなく収容 するようにしたものである。そのために、請求項１の考案では、筒対で構成した 昇降作動体の内部空間に基板保持作動具の作動制御用コードをカールコード状態 で収容したこと特徴としている。

【０００８】 また、請求項２の考案では、筒体で構成した昇降作動体の内部空間に基板保持 作動具の作動制御用コードをフラットコードの状態で収容するとともに、昇降作 動体の内部空間に突入する状態で作動制御用コードのサポート板を本体から立設 し、このサポート板に上記作動制御用コードを折り返し状に支持させたたことを 特徴としている。 ここで筒体は丸筒や角筒の環状断面をなすものは勿論、周側壁に例えば縦長の 開口部を有するものも含む。

【０００９】

【作用】

本考案では、昇降作動体を筒体で構成し、この筒状昇降作動体の内部空間内に 基板保持作動具の作動制御用コードを絡まることなく収容するようにしてあるか ら、昇降作動体の昇降移動に伴う作動制御用コード必要長の変化を昇降作動体の 内部だけで処理することができる。

【００１０】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づき説明する。図１は本考案の昇降機構を基 板搬送ロボットに適用した場合の概略機構図である。 なお、上記基板搬送装置(１)は前記従来例のものと同様の基本構造を備えるの で、重複説明は省略する。

【００１１】 この基板搬送ロボットの昇降機構は、図１に示すように、水平移動可能に構成 した走行台車(11)に立設した昇降ガイド(12)とともに昇降ポスト(14)を構成する 昇降作動体(13)を筒体で形成し、この昇降作動体(13)の上端部に基板支持アーム (９)を固定配置し、昇降作動体(13)の内部空間(19)内に基板支持アーム(９)を制 御作動させるための電線やエアチューブ等を収容してなる作動制御用コード(16) をカールコードに形成して収容してある。

【００１２】 そして、この作動制御用コード(16)のカール部分は昇降作動体(13)の内部空間 (19)における上端寄り部分に配設してあり、昇降作動体(13)の昇降作動に伴う作 動制御用コード(16)の長さ変化を昇降作動体(13)の内部空間(19)内で吸収し、作 動制御用コード(16)の余剰部分が昇降ポスト(14)の下側内部に堆積しないように してある。なお、この実施例においては、昇降作動体(13)として開口部を有しな い筒体を使用し、その内部空間(19)に作動制御用コード(16)を収容しているので 、洗浄処理部(５)において薬液のミストが発生した場合でも、作動制御用コード (16)が腐食することはない。

【００１３】 図２は昇降機構の別実施例を示し、これは、昇降ガイド(12)の内部に走行台車 (11)からサポート板(20)を立設し、このサポート板(20)に被せ付ける状態で筒状 の昇降作動体(13)を昇降ガイド(12)の内部に配置し、昇降作動体(13)の内部空間 内に平帯状の作動制御用コード(16)が折り返し状に配置してある。つまり、この 作動制御用コード(16)はフラットコードで形成してあり、昇降作動体(13)の降下 時には、作動制御用コード(16)の余剰部分がサポート板(20)の上端で折り返され て昇降作動体(13)の内部空間(19)内に垂れ下がった状態で収容されるようになっ ている。これにより、昇降作動体(13)の昇降移動に伴って生じる作業装置と本体 部分との間の長さ変化を、作動制御用コード(16)の垂れ下がり部分の伸縮で吸収 することができ、作動制御用コード(16)の余剰部分をからませることなく昇降作 動体(13)の内部で処理することができる。なお、この実施例においても、昇降作 動体(13)として開口部を有さない筒体を使用しているため、作動制御用コード(1 6)の腐食を防止できる。

【００１４】 上記実施例では、昇降作動体(13)の上端に開閉揺動作動可能な基板支持アーム (９)を固定配置した基板搬送ロボット(７)での昇降機構について説明したが、昇 降作動体(13)の上端に作動具を回転可能に配置したカセット移載ロボット(４)の 昇降機構に使用することもできる。また、上記各実施例では昇降ポスト(14)を水 平移動可能な走行台車(11)に配置したものについて説明したが、固定台に昇降ポ スト(14)を配置した昇降作動装置の昇降機構にも適用することができる。

【００１５】

【考案の効果】

本考案では、昇降作動装置の昇降作動体を筒体で構成し、この筒状昇降作動体 の内部空間内に基板保持作動具の作動制御用コードを絡まることなく収容するよ うにしてあるので、次の効果がある。

【００１６】 (１) 昇降作動体と昇降ガイドとで構成した昇降ポストの外部に、昇降作動に 伴い生じる作動制御用コードの必要長の変化を吸収するためのスペースを省略で き、昇降機構を小スペースでコンパクトに形成することができ、また作動制御用 コードの他の部品への接触を防止できる。 (２) 特に、作動制御用コードをカールコードで形成したものでは、サポート 機構自体を省略することができるから、部品点数を削減できコストダウンを図る ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】昇降作動機構の概略構成図である。

【図２】昇降作動機構の別実施例を示す概略構成図であ
る。

【図３】浸漬型基板洗浄装置の概略斜視図である。

【図４】従来の昇降作動機構示す概略構成図である。

【符号の説明】

９…基板保持作動具、 １１…本体、１２
…昇降ガイド、 １３…昇降作動体、
１６…作動制御用コード、 １９…昇降作動
体の内部空間、２０…サポート板、
Ｗ…基板。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 本体に立設した昇降ガイドに昇降作動体
   を上下移動可能に装着し、この昇降作動体に基板保持作
   動具を配置することにより、基板を保持した状態で昇降
   移動させるように構成した基板搬送装置において、 昇降作動体を筒体で形成し、この昇降作動体の内部空間
   内に基板保持作動具の作動制御用コードをカールコード
   の状態で収容したことを特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 本体に立設した昇降ガイドに昇降作動体
   を上下移動可能に装着し、この昇降作動体に基板保持作
   動具を配置することにより、基板を保持した状態で昇降
   移動させるように構成した基板搬送装置において、 昇降作動体を筒体で形成し、この昇降作動体の内部空間
   内に基板保持作動具の作動制御用コードをフラットコー
   ドの状態で収容するとともに、昇降作動体の内部空間に
   突入する状態で作動制御用コードのサポート板を本体か
   ら立設し、このサポート板に上記作動制御用コードを折
   り返し状に支持させたことを特徴とする基板搬送装置。