JP2568449Y2

JP2568449Y2 - 基板搬送装置

Info

Publication number: JP2568449Y2
Application number: JP1993025895U
Authority: JP
Inventors: 秀樹林; 賢司杉本
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1993-04-19
Filing date: 1993-04-19
Publication date: 1998-04-15
Anticipated expiration: 2008-04-15
Also published as: JPH0678335U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、半導体基板や液晶用ガ
ラス基板等の薄板状の被処理基板（以下単に基板と称す
る）を移送する基板搬送装置に関し、特に、基板を保持
した状態で昇降する基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】基板を保持して搬送する基板搬送装置と
して、従来より、図３中の符号(７)で示すものが知られ
ている。ここで、図３中の符号(１)は基板洗浄装置を示
し、この基板洗浄装置(１)は基板収容カセット(Ｃ)の搬
入搬出部(２)と、カセット(Ｃ)から基板(Ｗ)を取出し又
はカセット(Ｃ)内へ基板(Ｗ)を装填する基板移載部(３)
と、カセット(Ｃ)の搬入搬出部(２)と基板移載部(３)と
の間でカセット(Ｃ)を移載するカセット移載ロボット
(４)と、複数の基板を一括して洗浄する浸漬型基板洗浄
処理部(５)と、基板(Ｗ)の液切り基板乾燥部(６)と、基
板移載部(３)でカセット(Ｃ)から取り出した複数の基板
(Ｗ)を一括保持して上記洗浄処理部(５)及び基板乾燥部
(６)に搬送する基板搬送ロボット(７)から構成される。

【０００３】なお、カセット移載ロボット(４)は、図３
で示すように、昇降移動及び回転自在で、矢印Ａ方向に
移動可能に構成され、搬入搬出部(２)に搬入されてきた
カセット(Ｃ)を基板移載部(３)のテーブル(８)上に移載
し、また、洗浄済み基板を収容したカセット(Ｃ)を当該
テーブル(８)から搬入搬出部(２)へ移載するように構成
されている。

【０００４】上記基板搬送ロボット(７)は、図３に示す
ように、昇降移動可能かつ矢印Ｂ方向に横移動可能に設
けられ、基板移載部(３)のリフターから受け取った複数
の基板(Ｗ)を基板搬送ロボット(７)の基板支持アーム
(９)で一括保持し、横移動部(10)に沿って洗浄処理部
(５)内及び基板乾燥部(６)内へ順次搬送するように構成
されている。

【０００５】この基板搬送ロボット(７)の昇降機構は、
図４で示すように、水平移動可能に配置した本体台車(1
1)から立設した昇降ガイド(12)の内部に中実軸で構成し
た昇降作動体(13)を配置して昇降ポスト(14)を形成し、
昇降作動体(13)の上端に開閉揺動作動可能な基板支持ア
ーム(９)を固定配置するとともに、昇降作動体(13)を本
体台車(11)に垂直姿勢で配置したネジ式の昇降駆動機構
(15)で昇降ガイド(12)に沿わせて垂直昇降可能に駆動
し、昇降作動体(13)の上端部に配置した基板支持アーム
(９)を制御作動させるために必要な電線やエアチューブ
等を収容してなる作動制御用コード(16)を昇降作動体(1
3)の内部で貫通させるコード挿通孔(17)を昇降作動体(1
3)に軸心に沿わせて透設した構成となっている。そし
て、昇降作動体(13)の昇降移動に伴う作動制御用コード
(16)の必要長さの変化に対応するために、昇降作動体の
下端から導出した部分をカールコードに形成して、この
カール部分を昇降ガイド(12)と平行に配置したサポート
ロッド(18)に巻回させた構成となっている。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】ところがこの従来の昇
降機構では、作動制御用コード(16)の余剰部分を配置す
るためのスペースが必要であるうえ、その余剰部分が絡
まないようにガイドするためのサポートロッド(18)を昇
降ポスト(14)の外側部分に配置しなければならないこと
から、装置として大型化するうえ、横方向への移動時に
作動制御用コード(16)が他の構成部品に接触しやすいと
いう問題があった。本考案は、このような点に着目して
なされたもので、作動制御用コードを効率よく収納し
て、コンパクトな構成の昇降機構を提供することを目的
とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項１及び請求項２に記載の考案は、昇降作動
体を筒体で形成し、この昇降作動体の内部空間内に基板
保持作動具の作動制御用コードを絡まることなく収容す
るようにしたものである。そのために、請求項１の考案
では、下面を閉止した筒状の昇降ガイドに上面を閉止し
た筒状の昇降作動体を内嵌して内部空間を形成し、この
内部空間内に基板保持作動具の作動制御用コードをカー
ルコードの状態で収容するとともに、そのカール部分を
上記内部空間内の上端寄り部分に配設したこと特徴とし
ている。

【０００８】また、請求項２の考案では、筒体で構成し
た昇降作動体の内部空間に基板保持作動具の作動制御用
コードをフラットコードの状態で収容するとともに、昇
降作動体の内部空間に突入する状態で作動制御用コード
のサポート板を本体から立設し、このサポート板に上記
作動制御用コードを折り返し状に支持させたたことを特
徴としている。ここで筒体は丸筒や角筒の環状断面をな
すものは勿論、周側壁に例えば縦長の開口部を有するも
のも含む。

【０００９】

【作用】請求項１及び請求項２に記載の考案では、昇降
作動体を筒体で構成し、この筒状昇降作動体の内部空間
内に基板保持作動具の作動制御用コードを絡まることな
く収容するようにしてあるから、昇降作動体の昇降移動
に伴う作動制御用コードの必要長の変化を昇降作動体の
内部だけで処理することができる。特に請求項１に記載
の考案では、下面を閉止した筒状の昇降ガイドに上面を
閉止した筒状の昇降作動体を内嵌して内部空間を形成
し、この内部空間内に基板保持作動具の作動制御用コー
ドを収容しているので、洗浄処理部において薬液ミスト
が発生した場合でも上記内部空間内に薬液ミストが入り
込みにくい。また、作動制御用コードのカール部分を上
記内部空間内の上端寄り部分に配設したことから、昇降
作動体が下降しても作動制御用コードのカール部分が内
部空間内の下部に堆積することはない。

【００１０】

【実施例】以下、本考案の実施例を図面に基づき説明す
る。図１は本考案の昇降機構を基板搬送ロボットに適用
した場合の概略機構図である。なお、上記基板搬送装置
(１)は前記従来例のものと同様の基本構造を備えるの
で、重複説明は省略する。

【００１１】この基板搬送ロボットの昇降機構は、図１
に示すように、水平移動可能に構成した走行台車(11)に
立設した昇降ガイド(12)とともに昇降ポスト(14)を構成
する昇降作動体(13)を筒体で形成し、この昇降作動体(1
3)の上端部に基板支持アーム(９)を固定配置し、昇降作
動体(13)の内部空間(19)内に基板支持アーム(９)を制御
作動させるための電線やエアチューブ等を収容してなる
作動制御用コード(16)をカールコードに形成して収容し
てある。

【００１２】そして、この作動制御用コード(16)のカー
ル部分は昇降作動体(13)の内部空間(19)における上端寄
り部分に配設してあり、昇降作動体(13)の昇降作動に伴
う作動制御用コード(16)の長さ変化を昇降作動体(13)の
内部空間(19)内で吸収し、作動制御用コード(16)の余剰
部分が昇降ポスト(14)の下側内部に堆積しないようにし
てある。なお、この実施例においては、昇降作動体(13)
として開口部を有しない筒体を使用し、その内部空間(1
9)に作動制御用コード(16)を収容しているので、洗浄処
理部(５)において薬液のミストが発生した場合でも、作
動制御用コード(16)が腐食することはない。

【００１３】図２は昇降機構の別実施例を示し、これ
は、昇降ガイド(12)の内部に走行台車(11)からサポート
板(20)を立設し、このサポート板(20)に被せ付ける状態
で筒状の昇降作動体(13)を昇降ガイド(12)の内部に配置
し、昇降作動体(13)の内部空間内に平帯状の作動制御用
コード(16)が折り返し状に配置してある。つまり、この
作動制御用コード(16)はフラットコードで形成してあ
り、昇降作動体(13)の降下時には、作動制御用コード(1
6)の余剰部分がサポート板(20)の上端で折り返されて昇
降作動体(13)の内部空間(19)内に垂れ下がった状態で収
容されるようになっている。これにより、昇降作動体(1
3)の昇降移動に伴って生じる作業装置と本体部分との間
の長さ変化を、作動制御用コード(16)の垂れ下がり部分
の伸縮で吸収することができ、作動制御用コード(16)の
余剰部分をからませることなく昇降作動体(13)の内部で
処理することができる。なお、この実施例においても、
昇降作動体(13)として開口部を有さない筒体を使用して
いるため、作動制御用コード(16)の腐食を防止できる。

【００１４】上記実施例では、昇降作動体(13)の上端に
開閉揺動作動可能な基板支持アーム(９)を固定配置した
基板搬送ロボット(７)での昇降機構について説明した
が、昇降作動体(13)の上端に作動具を回転可能に配置し
たカセット移載ロボット(４)の昇降機構に使用すること
もできる。また、上記各実施例では昇降ポスト(14)を水
平移動可能な走行台車(11)に配置したものについて説明
したが、固定台に昇降ポスト(14)を配置した昇降作動装
置の昇降機構にも適用することができる。

【００１５】

【考案の効果】請求項１及び請求項２に記載の考案で
は、昇降作動装置の昇降作動体を筒体で構成し、この筒
状昇降作動体の内部空間内に基板保持作動具の作動制御
用コードを絡まることなく収容するようにしてあるの
で、次の効果がある。

【００１６】（１）昇降作動体と昇降ガイドとで構成した昇降ポスト
の外部に、昇降作動に伴い生じる作動制御用コードの必
要長の変化を吸収するためのスペースを省略でき、昇降
機構を小スペースでコンパクトに形成することができ、
また作動制御用コードの他の部品への接触を防止でき
る。（２）特に、請求項１に記載の考案では、作動制御用コ
ードをカールコードで形成したことから、サポート機構
自体を省略することができるので、部品点数を削減でき
コストダウンを図ることができる。（３）さらに請求項１に記載の考案では、下面を閉止し
た筒状の昇降ガイドに上面を閉止した筒状の昇降作動体
を内嵌して形成した内部空間内に作動制御用コードを収
容したことから、洗浄処理部において薬液ミストが発生
した場合でも上記内部空間内には薬液ミストが入り込み
にくいので、作動制御用コードの薬液ミストによる腐食
を防止することができる。（４）また、請求項１に記載の考案では、作動制御用コ
ードのカール部分を上記内部空間内の上端寄り部分に配
設したことから、昇降作動体が下降しても作動制御用コ
ードのカール部分が当該内部空間内の下部に堆積しない
ので、作動制御用コードの余剰部分が絡み付く虞れはな
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】昇降作動機構の概略構成図である。

【図２】昇降作動機構の別実施例を示す概略構成図であ
る。

【図３】浸漬型基板洗浄装置の概略斜視図である。

【図４】従来の昇降作動機構示す概略構成図である。

【符号の説明】

９…基板保持作動具、１１…本体、１２
…昇降ガイド、１３…昇降作動体、
１６…作動制御用コード、１９…昇降作動
体の内部空間、２０…サポート板、
Ｗ…基板。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＨ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】本体に立設した昇降ガイドに昇降作動体
を上下移動可能に装着し、この昇降作動体に基板保持作
動具を配置することにより、基板を保持した状態で昇降
移動させるように構成した基板搬送装置において、下面を閉止した筒状の昇降ガイドに上面を閉止した筒状
の昇降作動体を内嵌して内部空間を形成し、この内部空
間内に基板保持作動具の作動制御用コードをカールコー
ドの状態で収容するとともに、そのカール部分を上記内
部空間内の上端寄り部分に配設したことを特徴とする基
板搬送装置。
【請求項２】本体に立設した昇降ガイドに昇降作動体
を上下移動可能に装着し、この昇降作動体に基板保持作
動具を配置することにより、基板を保持した状態で昇降
移動させるように構成した基板搬送装置において、昇降作動体を筒体で形成し、この昇降作動体の内部空間
内に基板保持作動具の作動制御用コードをフラットコー
ドの状態で収容するとともに、昇降作動体の内部空間に
突入する状態で作動制御用コードのサポート板を本体か
ら立設し、このサポート板に上記作動制御用コードを折
り返し状に支持させたことを特徴とする基板搬送装置。