JP3663447B2 - ウェハカセットエレベータ - Google Patents
ウェハカセットエレベータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3663447B2 JP3663447B2 JP4071396A JP4071396A JP3663447B2 JP 3663447 B2 JP3663447 B2 JP 3663447B2 JP 4071396 A JP4071396 A JP 4071396A JP 4071396 A JP4071396 A JP 4071396A JP 3663447 B2 JP3663447 B2 JP 3663447B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer cassette
- wafer
- attached
- elevator
- cassette elevator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造プロセスのカセット室に設けられウェハカセットを昇降させるウェハカセットエレベータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のウェハカセットエレベータは、図４に示すようにモータ１８を取付けた台座１９の両側面に支持枠２０を固定し、この支持枠２０の上面に支持板２１が取付けてある。２２はガイドシャフトで、その一端を台座１９の側面に固定した受け座２３に、他端を支持板２１の側面に固定した受け座２４に取付けてある。２５は昇降台で、両端に摺動穴を設け、この摺動穴にガイドシャフト２２を係合させてある。前記モータの軸には図示しないボールネジをガイドシャフト２２と平行に突設させ、前記ボールネジに係合するナット（図示せず）が昇降台２５に取付けてある。前記昇降台２５の側面には支え腕２６を突出させ、その上端にテーブル２７が取付けてある。
このように構成したウェハカセットエレベータを始動すると、前記モータ１８が回転してそのモータの軸と一体に回転するボールネジを介してテーブル２７が上昇する。このテーブル２７に載置したウェハカセットが所定の位置に達すると図示しないウェハ搬送ロボットのウェハ搬送フォークにウェハカセット内のウェハを１枚ずつ載置して搬出する。このようにしてウェハカセット内のウェハを順次搬出し、ウェハの搬出が完了するとテーブル２７が下降し、テーブル２７上にウェハカセットを載置しうる位置で停止する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のウェハカセットエレベータのテーブル２７にウェハを収納したウェハカセットを載置している。このようにウェハを水平にした状態でウェハカセットをエレベータのテーブル２７上に載置しているため、載置時の衝撃によりウェハカセットからウェハが飛び出す恐れがあった。
本発明は、ウェハカセットからウェハが飛び出すことなく、ウェハカセットをウェハカセットエレベータ上に載置することのできるウェハカセットエレベータを提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために、ウェハカセットを載せて昇降するウェハカセットエレベータにおいて、エレベータの支え腕に設けた基板と、前記基板に取付けた軸受と、前記軸受に取付け軸端にピニオンを取付けた回動軸と、前記回動軸に取付けたテーブルと、このテーブルに垂直に取付けたプレートと、エレベータの機枠に固定し前記ピニオンに係合するラックとを設けるようにしている。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明を図１、２、３に示す実施例について説明する。
図１は本発明の実施例を示すウェハカセットエレベータの要部の側断面図、図２は図１の要部を拡大した側断面図、図３は図１の要部を拡大した側断面図である。図４と同一のものには同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
１はカセット室の機枠で、機枠右側面にはウェハカセットを搬入する開口部２が設けられ、機枠左側面には搬送ロボットのアームに取付けた搬送フォーク（図示せず）を挿入しうる窓３が設けられている。４は支え腕２６の上端に固定した連結板、５は連結板４にカラー６を介して取付けた基板で、この基板の上面の一端側に軸受７が設けられ、他端側にストッパー８が設けられ、テーブル面が水平になるようにしてある。９は前記軸受に取付けた回動軸で、この回動軸にテーブル１０が取付けられ、軸端にピニオン１１が固定されている。前記テーブル１０の回動軸側にはＬ金具１２を介してテーブルに垂直なプレート１３が取付けてある。１４は機枠１に固定し、前記回動軸に固定したピニオン１１に係合するラック、１５は機枠１に取付けたストッパー、１６はプレート１３の背面に固定したストッパーで、基板５の端面に衝接してプレート１３を水平になるようにしてある。１７はウェハカセットで、側壁に複数の溝が設けられ、この溝にウェハＷの側部を載置してウェハカセット内にウェハＷを収納するようにしてある。
このように構成したウェハカセットエレベータの動作について説明すると、図１はウェハカセットエレベータのテーブル１０上にウェハＷを収納したウェハカセット載置した状態を示すもので、この状態からウェハカセットエレベータのモータを始動して、ウェハカセットテーブル上のウェハカセットの下方のウェハの高さが窓３の高さと合致するまでテーブル１０を上昇させる。この状態から図示しないウェハ搬送ロボットのウェハ搬送フォークにウェハカセット１７内のウェハＷを載置して搬出し、搬出が終わるとテーブルをウェハカセット１７内のウェハの積層ピッチ量だけ下降させ、取り出したウェハの次の上段のウェハを搬出する。このようにしてウェハカセット１７からウェハＷの搬出が完了すると、ウェハカセットエレベータのモータを始動してモータ軸に連結したボールネジを介してテーブル１０が下降する。前記テーブル１０が一定の位置に達すると、テーブル１０を固定した回動軸９のピニオン１１が機枠１に固定したラック１４に係合し、テーブル１０の下降にしたがってピニオン１１が回動して回動軸９を時計方向に回動する。この回動軸９に取付けたテーブル１０およびプレート１３が回動軸９と一体に時計方向に回動してプレート１３が水平になる位置に達すると、プレート１３に設けたストッパー１７が基板の端面に衝接しプレート１３を水平にした状態でモータが停止する。この状態でプレート１３上に載置してある空のウェハカセット１７を外部に取り出すとともに、外部から、ウェハＷを垂直に装填した状態のウェハカセット１７を搬入してプレート１３の上に載せる。この状態でウェハカセットエレベータのモータを逆回転方向に始動すると、モータ軸に連結したボールネジを介してテーブル１０が上昇して回動軸９のピニオン１１が機枠に固定したラック１４に係合し、テーブル１０の上昇とともにプレート１３およびテーブル１０を反時計方向に９０°回動する。その結果プレート１３上のウェハカセットが寝てウェハカセット内のウェハＷが水平になった状態でテーブル１０上にウェハカセットが載置されることになる。ウェハカセット１３内のウェハＷを下部から順に１枚ずつ取り出すごとにテーブル１０がウェハの積層ピッチ量ずつ下降してウェハカセットからウェハＷを取り出していく。
【０００６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明はウェハを収納するウェハカセットをウェハカセットエレベータのテーブル上に置くときは、ウェハカセット内のウェハを垂直になるようにウェハカセットを起こして搬入してテーブルに載置し、ウェハカセットを取り出側に回転移動させたあとはウェハが水平になるようにウェハカセットを寝かせるようにしたので、ウェハカセットをテーブル上に載置する際に、ウェハカセットからウェハが飛び出すことがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示すウェハカセットエレベータの要部の側断面図である。
【図２】本発明の実施例を示すウェハカセットエレベータの要部を拡大した側断面図である。
【図３】本発明の実施例を示すウェハカセットエレベータの要部を拡大した側断面図である。
【図４】従来例を示すウェハカセットエレベータの側断面図である。
【符号の説明】
１ 機枠、 ２ 開口部、 ３ 窓、 ４ 連結板、 ５ 基板、
６ カラー、 ７ 軸受、 ８ ストッパー、 ９ 回動軸、
１０ テーブル、 １１ ピニオン、 １２ Ｌ金具、 １３ プレート、
１４ ラック、 １５ ストッパー、 １６ ストッパー、
１７ ウェハカセット、 Ｗ ウェハ
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造プロセスのカセット室に設けられウェハカセットを昇降させるウェハカセットエレベータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のウェハカセットエレベータは、図４に示すようにモータ１８を取付けた台座１９の両側面に支持枠２０を固定し、この支持枠２０の上面に支持板２１が取付けてある。２２はガイドシャフトで、その一端を台座１９の側面に固定した受け座２３に、他端を支持板２１の側面に固定した受け座２４に取付けてある。２５は昇降台で、両端に摺動穴を設け、この摺動穴にガイドシャフト２２を係合させてある。前記モータの軸には図示しないボールネジをガイドシャフト２２と平行に突設させ、前記ボールネジに係合するナット（図示せず）が昇降台２５に取付けてある。前記昇降台２５の側面には支え腕２６を突出させ、その上端にテーブル２７が取付けてある。
このように構成したウェハカセットエレベータを始動すると、前記モータ１８が回転してそのモータの軸と一体に回転するボールネジを介してテーブル２７が上昇する。このテーブル２７に載置したウェハカセットが所定の位置に達すると図示しないウェハ搬送ロボットのウェハ搬送フォークにウェハカセット内のウェハを１枚ずつ載置して搬出する。このようにしてウェハカセット内のウェハを順次搬出し、ウェハの搬出が完了するとテーブル２７が下降し、テーブル２７上にウェハカセットを載置しうる位置で停止する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のウェハカセットエレベータのテーブル２７にウェハを収納したウェハカセットを載置している。このようにウェハを水平にした状態でウェハカセットをエレベータのテーブル２７上に載置しているため、載置時の衝撃によりウェハカセットからウェハが飛び出す恐れがあった。
本発明は、ウェハカセットからウェハが飛び出すことなく、ウェハカセットをウェハカセットエレベータ上に載置することのできるウェハカセットエレベータを提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために、ウェハカセットを載せて昇降するウェハカセットエレベータにおいて、エレベータの支え腕に設けた基板と、前記基板に取付けた軸受と、前記軸受に取付け軸端にピニオンを取付けた回動軸と、前記回動軸に取付けたテーブルと、このテーブルに垂直に取付けたプレートと、エレベータの機枠に固定し前記ピニオンに係合するラックとを設けるようにしている。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明を図１、２、３に示す実施例について説明する。
図１は本発明の実施例を示すウェハカセットエレベータの要部の側断面図、図２は図１の要部を拡大した側断面図、図３は図１の要部を拡大した側断面図である。図４と同一のものには同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
１はカセット室の機枠で、機枠右側面にはウェハカセットを搬入する開口部２が設けられ、機枠左側面には搬送ロボットのアームに取付けた搬送フォーク（図示せず）を挿入しうる窓３が設けられている。４は支え腕２６の上端に固定した連結板、５は連結板４にカラー６を介して取付けた基板で、この基板の上面の一端側に軸受７が設けられ、他端側にストッパー８が設けられ、テーブル面が水平になるようにしてある。９は前記軸受に取付けた回動軸で、この回動軸にテーブル１０が取付けられ、軸端にピニオン１１が固定されている。前記テーブル１０の回動軸側にはＬ金具１２を介してテーブルに垂直なプレート１３が取付けてある。１４は機枠１に固定し、前記回動軸に固定したピニオン１１に係合するラック、１５は機枠１に取付けたストッパー、１６はプレート１３の背面に固定したストッパーで、基板５の端面に衝接してプレート１３を水平になるようにしてある。１７はウェハカセットで、側壁に複数の溝が設けられ、この溝にウェハＷの側部を載置してウェハカセット内にウェハＷを収納するようにしてある。
このように構成したウェハカセットエレベータの動作について説明すると、図１はウェハカセットエレベータのテーブル１０上にウェハＷを収納したウェハカセット載置した状態を示すもので、この状態からウェハカセットエレベータのモータを始動して、ウェハカセットテーブル上のウェハカセットの下方のウェハの高さが窓３の高さと合致するまでテーブル１０を上昇させる。この状態から図示しないウェハ搬送ロボットのウェハ搬送フォークにウェハカセット１７内のウェハＷを載置して搬出し、搬出が終わるとテーブルをウェハカセット１７内のウェハの積層ピッチ量だけ下降させ、取り出したウェハの次の上段のウェハを搬出する。このようにしてウェハカセット１７からウェハＷの搬出が完了すると、ウェハカセットエレベータのモータを始動してモータ軸に連結したボールネジを介してテーブル１０が下降する。前記テーブル１０が一定の位置に達すると、テーブル１０を固定した回動軸９のピニオン１１が機枠１に固定したラック１４に係合し、テーブル１０の下降にしたがってピニオン１１が回動して回動軸９を時計方向に回動する。この回動軸９に取付けたテーブル１０およびプレート１３が回動軸９と一体に時計方向に回動してプレート１３が水平になる位置に達すると、プレート１３に設けたストッパー１７が基板の端面に衝接しプレート１３を水平にした状態でモータが停止する。この状態でプレート１３上に載置してある空のウェハカセット１７を外部に取り出すとともに、外部から、ウェハＷを垂直に装填した状態のウェハカセット１７を搬入してプレート１３の上に載せる。この状態でウェハカセットエレベータのモータを逆回転方向に始動すると、モータ軸に連結したボールネジを介してテーブル１０が上昇して回動軸９のピニオン１１が機枠に固定したラック１４に係合し、テーブル１０の上昇とともにプレート１３およびテーブル１０を反時計方向に９０°回動する。その結果プレート１３上のウェハカセットが寝てウェハカセット内のウェハＷが水平になった状態でテーブル１０上にウェハカセットが載置されることになる。ウェハカセット１３内のウェハＷを下部から順に１枚ずつ取り出すごとにテーブル１０がウェハの積層ピッチ量ずつ下降してウェハカセットからウェハＷを取り出していく。
【０００６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明はウェハを収納するウェハカセットをウェハカセットエレベータのテーブル上に置くときは、ウェハカセット内のウェハを垂直になるようにウェハカセットを起こして搬入してテーブルに載置し、ウェハカセットを取り出側に回転移動させたあとはウェハが水平になるようにウェハカセットを寝かせるようにしたので、ウェハカセットをテーブル上に載置する際に、ウェハカセットからウェハが飛び出すことがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示すウェハカセットエレベータの要部の側断面図である。
【図２】本発明の実施例を示すウェハカセットエレベータの要部を拡大した側断面図である。
【図３】本発明の実施例を示すウェハカセットエレベータの要部を拡大した側断面図である。
【図４】従来例を示すウェハカセットエレベータの側断面図である。
【符号の説明】
１ 機枠、 ２ 開口部、 ３ 窓、 ４ 連結板、 ５ 基板、
６ カラー、 ７ 軸受、 ８ ストッパー、 ９ 回動軸、
１０ テーブル、 １１ ピニオン、 １２ Ｌ金具、 １３ プレート、
１４ ラック、 １５ ストッパー、 １６ ストッパー、
１７ ウェハカセット、 Ｗ ウェハ
Claims (1)
- ウェハカセットを載せて昇降するウェハカセットエレベータにおいて、前記ウェハカセットエレベータの支え腕に設けた基板と、前記基板に取付けた軸受と、前記軸受に取付け軸端にピニオンを取付けた回動軸と、前記回動軸に取付けたテーブルと、前記テーブルに垂直に取付けたプレートと、前記ウェハカセットエレベータの機枠に固定し前記ピニオンに係合するラツクとを設けたことを特徴とするウェハカセットエレベータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4071396A JP3663447B2 (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | ウェハカセットエレベータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4071396A JP3663447B2 (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | ウェハカセットエレベータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09213767A JPH09213767A (ja) | 1997-08-15 |
| JP3663447B2 true JP3663447B2 (ja) | 2005-06-22 |
Family
ID=12588233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4071396A Expired - Fee Related JP3663447B2 (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | ウェハカセットエレベータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3663447B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5621451B2 (ja) * | 2010-09-17 | 2014-11-12 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | カセットアダプタ、及び着座センサ機構 |
-
1996
- 1996-02-02 JP JP4071396A patent/JP3663447B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09213767A (ja) | 1997-08-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4270434B2 (ja) | 基板移載装置並びに基板の取り出し方法および基板の収納方法 | |
| JP3190912B2 (ja) | モジュールｉｃハンドラーのエレベーター部でパレットを循環させる方法及びその装置 | |
| JPH10139159A (ja) | カセットチャンバ及びカセット搬入搬出機構 | |
| CN104620358A (zh) | 基板盒清洗装置 | |
| JPS61284357A (ja) | 被工作物のカセツト間移送方法と装置 | |
| JP3663447B2 (ja) | ウェハカセットエレベータ | |
| JP3570827B2 (ja) | 処理装置 | |
| JPH1012586A (ja) | 処理装置および処理方法 | |
| JPH05294410A (ja) | 荷保管設備 | |
| JPH1179388A (ja) | ガラス類枚葉処理装置 | |
| JP6077919B2 (ja) | 基板把持装置及びこれを用いた基板処理装置、並びに基板把持方法 | |
| JP3941359B2 (ja) | 被処理体の処理システム | |
| JPS6229335B2 (ja) | ||
| JP4261951B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JPH11214480A (ja) | ウエハカセット昇降装置 | |
| JPH06329209A (ja) | 半導体製造装置のウェーハカセット搬送装置 | |
| KR20000000248U (ko) | 반도체 웨이퍼 이송로봇 | |
| JP2002093892A (ja) | 基板処理装置 | |
| JPH06879Y2 (ja) | トレ−の搬送装置 | |
| JP3988809B2 (ja) | 基板ピッチ変換装置 | |
| JP3205525B2 (ja) | 基板の取出装置，搬入装置及び取出搬入装置 | |
| JP3601925B2 (ja) | カセット搬送台車 | |
| JP3522131B2 (ja) | 産業ロボット装置 | |
| JPH0547727A (ja) | 洗浄処理装置 | |
| JP2952566B2 (ja) | ワーク洗浄装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040610 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050222 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050307 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090408 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090408 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100408 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100408 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110408 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120408 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120408 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130408 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |