JP7433350B2 - レチクル保持システム - Google Patents
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Description
本出願は、ここで参照によって本明細書に取り込まれ、本明細書の一部となる2018年10月29日出願の米国特許仮出願第62/751736号の優先権を主張する。
本開示は、フォトマスク、レチクル(reticle)およびウエハなどの脆弱な物体の貯蔵、輸送、配送および加工のための容器に関し、特に、レチクルの貯蔵、輸送、配送および加工のための保持システムに関する。
(実施態様1)第一の識別構成要素を備えるレチクルを受け入れるように構成された内側ポッドであって、
一般にその幾何学的中心にあり、周縁領域に囲まれたレチクル格納領域を有する内側基体であって、前記第一の識別構成要素の観測を可能にするように対応して配置された、前記レチクル格納領域に画定された第一の観測可能区域を有する内側基体と、
前記内側基体の前記周縁領域との係合を確立し、それによって前記レチクルを格納するための内部を画定するように構成された内側カバーと
を含む内側ポッドと、
前記内側基体を受け入れるように構成された外側ポッドであって、
前記内側ポッドを受け入れると、前記内側ポッドの前記第一の観測可能区域と観測可能に位置合わせされる、その上に画定された第二の観測可能区域を有する外側基体と、
前記外側基体と係合し前記内側ポッドを覆うように構成された外側カバーと
を含む外側ポッドとを含むレチクル保持システム。
(実施態様2)前記内側ポッドは、前記第一の識別構成要素に近接して配置されたペリクルを有するレチクルを受け入れるようにさらに構成され、
前記内側基体の第一の観測可能区域は、前記第一の識別構成要素と前記ペリクルの一部との観測を可能にするように対応して配置された、実施態様1に記載のレチクル保持システム。
(実施態様3)前記内側基体は、前記第一の識別構成要素と前記ペリクルの前記一部との観測をそれぞれ可能にするように前記第一の観測可能区域に封止して埋め込まれた二つの内側光学部材を含み、
前記外側基体は、前記第二の観測区域に埋め込まれ前記二つの内側光学部材と観測可能に位置合わせされた外側光学部材を含む、実施態様2に記載のレチクル保持システム。
(実施態様4)前記内側ポッドは、前記第一の識別構成要素に近接するペリクルとそれらの間に配置されたペリクルフレームとを有するレチクルを受け入れるようにさらに構成され、
前記二つの内側光学部材の一方は、他方より大きな平面面積を提供され、前記ペリクルフレームの一部の観測を可能にするように構成され、
前記内側基体の前記レチクル格納領域は、その断面において前記周縁領域の厚さより小さな厚さを有する段差形を備える、実施態様3に記載のレチクル保持システム。
(実施態様5)前記ペリクルフレーム上に第二の識別構成要素が設置され、
より大きな平面面積を有する前記内側光学部材が前記第二の識別構成要素の観測を可能にするように配置される、実施態様4に記載のレチクル保持システム。
(実施態様6)前記内側基体は、第三の識別構成要素を含み、前記外側光学部材は、前記第三の識別構成要素の観測を可能にするように配置され、
前記外側光学部材は、長方形の平面形を有し、
前記第三の識別構成要素は、前記外側光学部材の長方形の長さ方向に沿って前記二つの内側光学部材の間に配置される、実施態様5に記載のレチクル保持システム。
(実施態様7)前記外側光学部材は、投影的に前記二つの内側光学部材と重なる、実施態様6に記載のレチクル保持システム。
(実施態様8)前記外側光学部材の平面面積は、前記二つの内側光学部材の平面面積より大きい、実施態様7に記載のレチクル保持システム。
(実施態様9)前記内側基体は、前記第一の観測可能区域の外部に配置された追加の内側光学部材をさらに含み、
前記外側基体は、前記第二の観測可能区域の外部に配置された追加の外側光学部材をさらに含み、
前記外側光学部材は、前記内側光学部材より少ない、実施態様3に記載のレチクル保持システム。
(実施態様10)前記外側基体は、実質的に平面の長方形を有し、
前記外側光学部材は、実質的に平面の長方形を有し、
前記外側光学部材の幾何学的中心から前記外側基体の対称軸までの距離は、前記外側基体の前記長方形の長さの30%より短い、実施態様1に記載のレチクル保持システム。
Claims (21)
- 第一の識別構成要素を備えるレチクルを内部に受け入れるように構成された内側ポッドであって、
周縁領域に囲まれたレチクル格納領域を有する内側基体であって、前記レチクル格納領域内に画定された第一の観測可能区域を有する前記内側基体と、
前記内側基体の前記周縁領域と係合して前記レチクルを格納するための内部を画定するように構成された内側カバーと
を含む前記内側ポッドと、
前記内側ポッドを内部に受け入れるように構成された外側ポッドであって、
前記内側ポッドを受け入れると、前記内側ポッドの前記第一の観測可能区域と観測可能に位置合わせされる第二の観測可能区域を有する外側基体と、
前記外側基体と係合し前記内側ポッドを覆うように構成された外側カバーと
を含む前記外側ポッドと
を含み、
前記第一の観測可能区域には二つの内側光学部材が前記第一の識別構成要素を外部から前記二つの内側光学部材の一方を通して観測可能にするように配置され、前記第一の識別構成要素を観測するための前記二つの内側光学部材の一方の面積が他方の面積より小さく、前記第二の観測可能区域には外部から前記内側ポッドを観測可能にするように前記二つの内側光学部材を覆う外側光学部材が配置され、前記外側光学部材は、その幾何学的中心が前記外側基体の幾何学的中心及び前記二つの内側光学部材の幾何学的中心から投影的に離れるように配置されており、前記二つの内側光学部材は、投影的に前記外側光学部材と重なり、前記外側光学部材の平面プロファイルには、一つまたは複数の円弧状の箇所が含まれる、
レチクル保持システム。 - 前記レチクルはペリクルを有し、前記第一の観測可能区域には前記二つの内側光学部材が前記第一の識別構成要素と前記ペリクルの一部との観測をそれぞれ可能にするように配置され、前記第二の観測可能区域には、前記外側光学部材が、その幾何学的中心が前記外側基体の幾何学的中心及び前記二つの内側光学部材の幾何学的中心のそれぞれから投影的に離れるように配置されており、前記二つの内側光学部材のいずれもが投影的に前記外側光学部材と重なる、
請求項1に記載のレチクル保持システム。 - 第一の識別構成要素を備えるレチクルを内部に受け入れるように構成された内側ポッドであって、
周縁領域に囲まれたレチクル格納領域を有する内側基体であって、前記レチクル格納領域内に画定された第一の観測可能区域を有する前記内側基体と、
前記内側基体の前記周縁領域と係合して前記レチクルを格納するための内部を画定するように構成された内側カバーと
を含む前記内側ポッドと、
前記内側ポッドを内部に受け入れるように構成された外側ポッドであって、
前記内側ポッドを受け入れると、前記内側ポッドの前記第一の観測可能区域と観測可能に位置合わせされる第二の観測可能区域を有する外側基体と、
前記外側基体と係合し前記内側ポッドを覆うように構成された外側カバーと
を含む前記外側ポッドと
を含み、
前記第一の観測可能区域には二つの内側光学部材が前記第一の識別構成要素を外部から前記二つの内側光学部材の一方を通して観測可能にするように配置され、前記第二の観測可能区域には外部から前記内側ポッドを観測可能にするように前記二つの内側光学部材を覆う外側光学部材が配置され、前記外側光学部材は、その幾何学的中心が前記外側基体の幾何学的中心及び前記二つの内側光学部材の幾何学的中心から投影的に離れるように配置されており、前記二つの内側光学部材は前記外側光学部材よりも面積が小さく構成されている、
レチクル保持システム。 - 前記レチクルはペリクルを有し、前記第一の観測可能区域には前記二つの内側光学部材が前記第一の識別構成要素と前記ペリクルの一部との観測をそれぞれ可能にするように配置され、前記第二の観測可能区域には、前記外側光学部材が、その幾何学的中心が前記外側基体の幾何学的中心及び前記二つの内側光学部材の幾何学的中心のそれぞれから投影的に離れるように配置されており、前記二つの内側光学部材は前記外側光学部材よりも総面積が小さく構成されている、
請求項3に記載のレチクル保持システム。 - 前記二つの内側光学部材は観測可能に前記外側光学部材に全体が覆われる、
請求項3または4に記載のレチクル保持システム。 - 第一の識別構成要素を備えるレチクルを内部に受け入れるように構成された内側ポッドであって、
周縁領域に囲まれたレチクル格納領域を有する内側基体であって、前記レチクル格納領域内に画定された第一の観測可能区域を有する前記内側基体と、
前記内側基体の前記周縁領域と係合して前記レチクルを格納するための内部を画定するように構成された内側カバーと
を含む前記内側ポッドと、
前記内側ポッドを内部に受け入れるように構成された外側ポッドであって、
前記内側ポッドを受け入れると、前記内側ポッドの前記第一の観測可能区域と観測可能に位置合わせされる第二の観測可能区域を有する外側基体と、
前記外側基体と係合し前記内側ポッドを覆うように構成された外側カバーと
を含む前記外側ポッドと
を含み、
前記第一の観測可能区域には二つの内側光学部材が前記第一の識別構成要素を外部から前記二つの内側光学部材の一方を通して観測可能にするように配置され、前記第一の識別構成要素を観測するための前記二つの内側光学部材の一方の面積が他方の面積より小さく、前記第二の観測可能区域には外部から前記内側ポッドを観測可能にするように前記二つの内側光学部材を覆う外側光学部材が配置され、前記外側光学部材は、その幾何学的中心が前記外側基体の幾何学的中心及び前記二つの内側光学部材の幾何学的中心から投影的に離れるように配置され、前記二つの内側光学部材は、投影的に前記外側光学部材と重なる、
レチクル保持システム。 - 前記レチクルはペリクルを有し、前記第一の観測可能区域には前記二つの内側光学部材が前記第一の識別構成要素と前記ペリクルの一部との観測をそれぞれ可能にするように配置され、前記第二の観測可能区域には、前記外側光学部材が、その幾何学的中心が前記外側基体の幾何学的中心及び前記二つの内側光学部材の幾何学的中心のそれぞれから投影的に離れるように配置されており、前記二つの内側光学部材のいずれもが投影的に前記外側光学部材と重なる、
請求項6に記載のレチクル保持システム。 - 第一の識別構成要素を備えるレチクルを内部に受け入れるように構成された内側ポッドであって、
周縁領域に囲まれたレチクル格納領域を有する内側基体であって、前記レチクル格納領域内に画定された第一の観測可能区域を有する前記内側基体と、
前記内側基体の前記周縁領域と係合して前記レチクルを格納するための内部を画定するように構成された内側カバーと
を含む前記内側ポッドと、
前記内側ポッドを内部に受け入れるように構成された外側ポッドであって、
前記内側ポッドを受け入れると、前記内側ポッドの前記第一の観測可能区域と観測可能に位置合わせされる第二の観測可能区域を有する外側基体と、
前記外側基体と係合し前記内側ポッドを覆うように構成された外側カバーと
を含む前記外側ポッドと
を含み、
前記第一の観測可能区域には二つの内側光学部材が前記第一の識別構成要素を外部から前記二つの内側光学部材の一方を通して観測可能にするように配置され、前記第二の観測可能区域には外部から前記内側ポッドを観測可能にするように前記二つの内側光学部材を覆う外側光学部材が配置され、前記二つの内側光学部材は投影的に前記外側光学部材と重なり、前記外側基体は対称軸を有し、前記外側光学部材の幾何学的中心から前記対称軸までの距離は、前記外側基体の長さ及び/又は幅の30%より小さく、前記レチクルにはペリクルが設けられており、前記ペリクルが第二の識別構成要素を有し、前記内側基体が第三の識別構成要素を有し、前記内側光学部材が前記第一の識別構成要素と前記第二の識別構成要素を覆い、前記外側光学部材が前記第一の識別構成要素、前記第二の識別構成要素及び前記第三の識別構成要素を覆う、
レチクル保持システム。 - 前記レチクルはペリクルを有し、前記第一の観測可能区域には前記二つの内側光学部材が前記第一の識別構成要素と前記ペリクルの一部との観測をそれぞれ可能にするように配置され、前記二つの内側光学部材のいずれもが投影的に前記外側光学部材と重なる、
請求項8に記載のレチクル保持システム。 - 第一の識別構成要素を備えるレチクルを内部に受け入れるように構成された内側ポッドであって、
周縁領域に囲まれたレチクル格納領域を有する内側基体であって、前記レチクル格納領域内に画定された第一の観測可能区域を有する前記内側基体と、
前記内側基体の前記周縁領域と係合して前記レチクルを格納するための内部を画定するように構成された内側カバーと
を含む前記内側ポッドと、
前記内側ポッドを内部に受け入れるように構成された外側ポッドであって、
前記内側ポッドを受け入れると、前記内側ポッドの前記第一の観測可能区域と観測可能に位置合わせされる第二の観測可能区域を有する外側基体と、
前記外側基体と係合し前記内側ポッドを覆うように構成された外側カバーと
を含む前記外側ポッドと
を含み、
前記第一の観測可能区域には二つの内側光学部材が前記第一の識別構成要素を外部から前記二つの内側光学部材の一方を通して観測可能にするように配置され、前記第二の観測可能区域には外部から前記内側ポッドを観測可能にするように前記二つの内側光学部材を覆う外側光学部材が配置され、前記二つの内側光学部材は投影的に前記外側光学部材と重なり、前記外側基体は対称軸を有し、前記外側光学部材の幾何学的中心から前記対称軸までの距離は、前記外側基体の長さ及び/又は幅の10%より大きく、前記レチクルにはペリクルが設けられており、前記ペリクルが第二の識別構成要素を有し、前記内側基体が第三の識別構成要素を有し、前記内側光学部材が前記第一の識別構成要素と前記第二の識別構成要素を覆い、前記外側光学部材が前記第一の識別構成要素、前記第二の識別構成要素及び前記第三の識別構成要素を覆う、
レチクル保持システム。 - 前記レチクルはペリクルを有し、前記第一の観測可能区域には前記二つの内側光学部材が前記第一の識別構成要素と前記ペリクルの一部との観測をそれぞれ可能にするように配置され、前記二つの内側光学部材のいずれもが投影的に前記外側光学部材と重なる、
請求項10に記載のレチクル保持システム。 - 第一の識別構成要素を備えるレチクルを内部に受け入れるように構成された内側ポッドであって、
周縁領域に囲まれたレチクル格納領域を有する内側基体であって、前記レチクル格納領域内に画定された第一の観測可能区域を有する前記内側基体と、
前記内側基体の前記周縁領域と係合して前記レチクルを格納するための内部を画定するように構成された内側カバーと
を含む前記内側ポッドと、
前記内側ポッドを内部に受け入れるように構成された外側ポッドであって、
前記内側ポッドを受け入れると、前記内側ポッドの前記第一の観測可能区域と観測可能に位置合わせされる第二の観測可能区域を有する外側基体と、
前記外側基体と係合し前記内側ポッドを覆うように構成された外側カバーと
を含む前記外側ポッドと
を含み、
前記第一の観測可能区域には二つの内側光学部材が配置され、前記第二の観測可能区域には前記二つの内側光学部材を覆う外側光学部材が配置され、前記レチクルの前記第一の識別構成要素は前記外側光学部材と前記二つの内側光学部材の一方を通る光走査によって確認可能であり、前記レチクルにはペリクルが設けられており、前記ペリクルが第二の識別構成要素を有し、前記内側基体が第三の識別構成要素を有し、前記内側光学部材が前記第一の識別構成要素と前記第二の識別構成要素を覆い、前記外側光学部材が前記第一の識別構成要素、前記第二の識別構成要素及び前記第三の識別構成要素を覆う、
レチクル保持システム。 - 前記レチクルはペリクルを有し、前記第一の観測可能区域には前記二つの内側光学部材が配置され、前記第二の観測可能区域には前記外側光学部材が配置され、前記レチクルの前記第一の識別構成要素と前記ペリクルの一部が前記外側光学部材と前記二つの内側光学部材を通る光走査によって確認可能である、
請求項12に記載のレチクル保持システム。 - 前記第二の観測可能区域は前記第一の観測可能区域と観測可能に位置合わせされ、前記レチクルの前記第一の識別構成要素は前記外側光学部材と前記二つの内側光学部材の一方を通る光走査によって確認可能である、
請求項1、3、6、8、10のいずれか一項に記載のレチクル保持システム。 - 前記内側基体の底側に第三の識別構成要素が設けられ、前記内側基体の第三の識別構成要素は前記外側光学部材を通る光走査によって確認可能である、
請求項1、3、6、8、10、12のいずれか一項に記載のレチクル保持システム。 - 前記第二の観測可能区域は前記第一の観測可能区域と観測可能に位置合わせされ、前記レチクルの前記第一の識別構成要素と前記ペリクルの一部は前記外側光学部材と前記二つの内側光学部材を通る光走査によって確認可能である、
請求項2、4、7、9、11のいずれか一項に記載のレチクル保持システム。 - 前記レチクルは第二の識別構成要素を更に有し、前記内側光学部材は前記第二の識別構成要素と前記ペリクルを観測可能にするように配置され、前記第二の観測可能区域は前記第一の観測可能区域と観測可能に位置合わせされ、前記レチクルの前記第一の識別構成要素と前記第二の識別構成要素は前記外側光学部材と前記二つの内側光学部材を通る光走査によって確認可能である、
請求項2、4、7、9、11、13のいずれか一項に記載のレチクル保持システム。 - 前記レチクルは第二の識別構成要素を更に有し、前記二つの内側光学部材のうち面積の大きい方は、これを通して前記ペリクルの一部と前記第二の識別構成要素を観測可能に構成されており、前記第二の観測可能区域は前記第一の観測可能区域と観測可能に位置合わせされ、前記レチクルの前記ペリクルの一部と前記第二の識別構成要素は前記外側光学部材と前記二つの内側光学部材のうち面積の大きい方を通る光走査によって確認可能である、
請求項2、4、7、9、11、13のいずれか一項に記載のレチクル保持システム。 - 前記内側光学部材は、600nmから950nmの間の範囲の波長に対して前記外側光学部材より低い反射率値を有する、
請求項12或いは13に記載のレチクル保持システム。 - 前記外側光学部材は、600nmから950nmの間の範囲の波長に対して反射率値が15%より小さい、
請求項12或いは13に記載のレチクル保持システム。 - 前記外側光学部材の透過率値は、600nmから950nmの間の範囲の波長に対して80%より大きい、
請求項12或いは13に記載のレチクル保持システム。
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