JPH09114085A - ペリクル - Google Patents
ペリクルInfo
- Publication number
- JPH09114085A JPH09114085A JP34676995A JP34676995A JPH09114085A JP H09114085 A JPH09114085 A JP H09114085A JP 34676995 A JP34676995 A JP 34676995A JP 34676995 A JP34676995 A JP 34676995A JP H09114085 A JPH09114085 A JP H09114085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- adhesive layer
- photomask
- frame
- end surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 ペリクルフレームの一端面に接着剤層を
介してペリクル膜が張設され、かつペリクルフレームの
他端面に粘着剤層が形成され、この粘着剤層を介してフ
ォトマスクに粘着固定されるペリクルにおいて、上記ペ
リクルフレームの一端面と他端面とのいずれか一方又は
双方にペリクルの識別表示部を形成すると共に、この識
別表示部が形成されたペリクルフレーム端面に形成され
る接着剤層又は粘着剤層を上記識別表示部を視認可能な
透明又は半透明に形成したことを特徴とするペリクル。 【効果】 本発明によれば、ペリクルをフォトマスク
に粘着固定後において、ペリクルの種類等の識別を簡単
かつ確実に行うことができると共に、発塵等によるフォ
トマスク汚染のおそれがないものである。
介してペリクル膜が張設され、かつペリクルフレームの
他端面に粘着剤層が形成され、この粘着剤層を介してフ
ォトマスクに粘着固定されるペリクルにおいて、上記ペ
リクルフレームの一端面と他端面とのいずれか一方又は
双方にペリクルの識別表示部を形成すると共に、この識
別表示部が形成されたペリクルフレーム端面に形成され
る接着剤層又は粘着剤層を上記識別表示部を視認可能な
透明又は半透明に形成したことを特徴とするペリクル。 【効果】 本発明によれば、ペリクルをフォトマスク
に粘着固定後において、ペリクルの種類等の識別を簡単
かつ確実に行うことができると共に、発塵等によるフォ
トマスク汚染のおそれがないものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ペリクルの種類
（サイズ、用途等）や製造時期などの識別表示部を付し
たペリクルに関する。
（サイズ、用途等）や製造時期などの識別表示部を付し
たペリクルに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】近年、
半導体デバイス及び液晶用デバイスは、高密度化、高集
積化され、それに伴ってパターンの微細化が進行してい
る。その結果、このリソグラフィー工程で用いられるフ
ォトマスク又はレチクルにはますます高レベルの清浄性
が要求され、微細な異物（ゴミ）も転写パターンの欠陥
になるおそれがあり、フォトマスクやレチクルにペリク
ルを装着して異物の付着を防止することが広く行われて
いる。
半導体デバイス及び液晶用デバイスは、高密度化、高集
積化され、それに伴ってパターンの微細化が進行してい
る。その結果、このリソグラフィー工程で用いられるフ
ォトマスク又はレチクルにはますます高レベルの清浄性
が要求され、微細な異物（ゴミ）も転写パターンの欠陥
になるおそれがあり、フォトマスクやレチクルにペリク
ルを装着して異物の付着を防止することが広く行われて
いる。
【０００３】ペリクルは高さが５ｍｍ程度の金属フレー
ムの片面に透明な薄膜（ペリクル膜）を張設したもの
で、これをフォトマスクに装着すると、透明薄膜とフォ
トマスク面との距離だけ露光時の焦点がずれるので、透
明薄膜上に比較的大きな異物が付着してもレジスト上に
異物が転写されないという効果がある。
ムの片面に透明な薄膜（ペリクル膜）を張設したもの
で、これをフォトマスクに装着すると、透明薄膜とフォ
トマスク面との距離だけ露光時の焦点がずれるので、透
明薄膜上に比較的大きな異物が付着してもレジスト上に
異物が転写されないという効果がある。
【０００４】このペリクルは、フォトマスクのサイズに
応じた各種サイズ（例えば５インチ用や６インチ用）の
ものがあり、また同一サイズのフォトマスク用のもので
も、装着するステッパーの種類によってペリクルのサイ
ズが異なる。更に、ステッパーの光源（例えばｇ線、ｉ
線、エキシマレーザー等）によってもペリクルの種類が
異なり、ＡＲ（反射防止用）コートの有無やフレーム内
面の粘着剤層の有無等によってもペリクルの種類が異な
る。
応じた各種サイズ（例えば５インチ用や６インチ用）の
ものがあり、また同一サイズのフォトマスク用のもので
も、装着するステッパーの種類によってペリクルのサイ
ズが異なる。更に、ステッパーの光源（例えばｇ線、ｉ
線、エキシマレーザー等）によってもペリクルの種類が
異なり、ＡＲ（反射防止用）コートの有無やフレーム内
面の粘着剤層の有無等によってもペリクルの種類が異な
る。
【０００５】通常、このペリクルは１枚ずつ専用の容器
に収容されていて、その容器にはペリクルを識別するた
めの品名やグレード、ロット番号等の識別表示が記され
たラベルが貼付されており、ペリクルを使用する際に、
上記した容器のラベルをみれば所望のペリクルを識別で
きるようになっている。
に収容されていて、その容器にはペリクルを識別するた
めの品名やグレード、ロット番号等の識別表示が記され
たラベルが貼付されており、ペリクルを使用する際に、
上記した容器のラベルをみれば所望のペリクルを識別で
きるようになっている。
【０００６】このため、ペリクルを最初に容器から取り
出して使用する時点では問題はないが、フォトマスクに
ペリクルを貼り付けて粘着固定した後は、ペリクルは容
器とは別々になるので、ペリクル自身からペリクルの種
類等を容易に識別することが困難である。特にペリクル
の使用後、長期に保管しておいたペリクル付きフォトマ
スクは、十分な在庫管理をしないとペリクルの種類等を
識別することが不可能となる。
出して使用する時点では問題はないが、フォトマスクに
ペリクルを貼り付けて粘着固定した後は、ペリクルは容
器とは別々になるので、ペリクル自身からペリクルの種
類等を容易に識別することが困難である。特にペリクル
の使用後、長期に保管しておいたペリクル付きフォトマ
スクは、十分な在庫管理をしないとペリクルの種類等を
識別することが不可能となる。
【０００７】この場合、ペリクルの種類を識別する方法
として、フォトマスク自身にペリクルの識別表示を施し
たり、ペリクルフレームの外側面に識別表示を施すこと
が考えられるが、フォトマスクに直接ペリクルの識別記
号等を付す方法はフォトマスクの汚れ防止の点から好ま
しくなく、またペリクルフレームの外側面に識別記号等
を刻印などによって記す方法は、その部分からの発塵等
の問題が生じ、同様に好ましくない。
として、フォトマスク自身にペリクルの識別表示を施し
たり、ペリクルフレームの外側面に識別表示を施すこと
が考えられるが、フォトマスクに直接ペリクルの識別記
号等を付す方法はフォトマスクの汚れ防止の点から好ま
しくなく、またペリクルフレームの外側面に識別記号等
を刻印などによって記す方法は、その部分からの発塵等
の問題が生じ、同様に好ましくない。
【０００８】本発明は上記事情に鑑みなされたもので、
フォトマスクに粘着固定後においてペリクルの種類や製
造時期などを容易に識別し得ると共に、発塵等の問題の
ないペリクルを提供することを目的とする。
フォトマスクに粘着固定後においてペリクルの種類や製
造時期などを容易に識別し得ると共に、発塵等の問題の
ないペリクルを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、ペリクルフレームの一端面に接着剤層を介
してペリクル膜が張設され、かつペリクルフレームの他
端面に粘着剤層が形成され、この粘着剤層を介してフォ
トマスクに粘着固定されるペリクルにおいて、上記ペリ
クルフレームの一端面と他端面とのいずれか一方又は双
方にペリクルの識別表示部を形成すると共に、この識別
表示部が形成されたペリクルフレーム端面に形成される
接着剤層又は粘着剤層を上記識別表示部を視認可能な透
明又は半透明に形成したことを特徴とするペリクルを提
供する。この場合、上記識別表示部は、刻印やぺイント
を用いて形成することができる。
成するため、ペリクルフレームの一端面に接着剤層を介
してペリクル膜が張設され、かつペリクルフレームの他
端面に粘着剤層が形成され、この粘着剤層を介してフォ
トマスクに粘着固定されるペリクルにおいて、上記ペリ
クルフレームの一端面と他端面とのいずれか一方又は双
方にペリクルの識別表示部を形成すると共に、この識別
表示部が形成されたペリクルフレーム端面に形成される
接着剤層又は粘着剤層を上記識別表示部を視認可能な透
明又は半透明に形成したことを特徴とするペリクルを提
供する。この場合、上記識別表示部は、刻印やぺイント
を用いて形成することができる。
【００１０】本発明のペリクルは、通常と同様の方法で
使用され、上記ペリクルフレームの他端面に形成した粘
着剤層を介してフォトマスクに粘着固定されるものであ
るが、このようにフォトマスクに固定した後において
も、ペリクルフレームのいずれかの端面に識別表示部が
形成され、しかもこの識別表示部を覆う接着剤層又は粘
着剤層は透明又は半透明であるから、上記識別表示部を
外から容易に視認することができる。即ち、表示部がペ
リクルフレームの一端面に形成されている場合は、ペリ
クル膜、更にこれをペリクルフレーム一端面に接着する
透明又は半透明の接着剤層を通して表示部を視認でき、
また表示部がペリクルフレームの他端面に形成されてい
る場合は、フォトマスクの裏側からペリクルフレームの
他端面を観察すれば、このフォトマスク及び透明又は半
透明の粘着剤層を通して表示部を視認できる。
使用され、上記ペリクルフレームの他端面に形成した粘
着剤層を介してフォトマスクに粘着固定されるものであ
るが、このようにフォトマスクに固定した後において
も、ペリクルフレームのいずれかの端面に識別表示部が
形成され、しかもこの識別表示部を覆う接着剤層又は粘
着剤層は透明又は半透明であるから、上記識別表示部を
外から容易に視認することができる。即ち、表示部がペ
リクルフレームの一端面に形成されている場合は、ペリ
クル膜、更にこれをペリクルフレーム一端面に接着する
透明又は半透明の接着剤層を通して表示部を視認でき、
また表示部がペリクルフレームの他端面に形成されてい
る場合は、フォトマスクの裏側からペリクルフレームの
他端面を観察すれば、このフォトマスク及び透明又は半
透明の粘着剤層を通して表示部を視認できる。
【００１１】従って、ペリクルをフォトマスクに固定し
た後も、上記表示部を読み取ることでペリクルの種類等
を容易に識別することができる。また、この表示部は、
接着剤層又は粘着剤層で被覆されているので、この表示
部からの発塵、その他フォトマスクを汚染させるような
不都合は皆無である。
た後も、上記表示部を読み取ることでペリクルの種類等
を容易に識別することができる。また、この表示部は、
接着剤層又は粘着剤層で被覆されているので、この表示
部からの発塵、その他フォトマスクを汚染させるような
不都合は皆無である。
【００１２】
【発明の実施の形態及び実施例】以下、本発明の実施例
について図面を参照して説明すると、図面に示すペリク
ル１は、ペリクルフレーム２の一端面に接着剤層３を介
してペリクル膜４が接着、張設されていると共に、ペリ
クルフレーム２の他端面に粘着剤層５が形成され、この
粘着剤層５にライナー（セパレーター）６が剥離可能に
貼着されたものであるが、図１の実施例は、上記ペリク
ルフレーム２の一端面に識別表示部７ａが形成され、そ
れを覆う接着剤層３が透明又は半透明とされているもの
であり、図２の実施例は、ペリクルフレーム２の他端面
に識別表示部７ｂが形成され、それを覆う粘着剤層５が
透明又は半透明とされているものである。なお、図３は
ペリクルフレーム２の一端面に識別表示部７ａを形成し
た状態の斜視図である。また、図示していないが、ペリ
クルフレーム２の両端面にそれぞれ識別表示部７ａ，７
ｂを形成することもできる。
について図面を参照して説明すると、図面に示すペリク
ル１は、ペリクルフレーム２の一端面に接着剤層３を介
してペリクル膜４が接着、張設されていると共に、ペリ
クルフレーム２の他端面に粘着剤層５が形成され、この
粘着剤層５にライナー（セパレーター）６が剥離可能に
貼着されたものであるが、図１の実施例は、上記ペリク
ルフレーム２の一端面に識別表示部７ａが形成され、そ
れを覆う接着剤層３が透明又は半透明とされているもの
であり、図２の実施例は、ペリクルフレーム２の他端面
に識別表示部７ｂが形成され、それを覆う粘着剤層５が
透明又は半透明とされているものである。なお、図３は
ペリクルフレーム２の一端面に識別表示部７ａを形成し
た状態の斜視図である。また、図示していないが、ペリ
クルフレーム２の両端面にそれぞれ識別表示部７ａ，７
ｂを形成することもできる。
【００１３】ここで、上記識別表示部７ａ，７ｂは、ペ
リクルのサイズ、用途等のペリクル種類や製造時期な
ど、ペリクルを識別するための所望表示を記号、文字、
模様、色彩などを組合せて施したもので、例えば図３に
示されるような表示部の形成は、刻印やペイントを用い
て表示を行うなどの手段により行うことができる。な
お、表示部の種類、文字数などや表示部のペリクル端面
への表示位置などについて特に制限はない。また、ペリ
クルフレーム、ペリクル膜としては公知のものを使用し
得、このペリクルは必要によりペリクル容器内に収容し
て保管される。
リクルのサイズ、用途等のペリクル種類や製造時期な
ど、ペリクルを識別するための所望表示を記号、文字、
模様、色彩などを組合せて施したもので、例えば図３に
示されるような表示部の形成は、刻印やペイントを用い
て表示を行うなどの手段により行うことができる。な
お、表示部の種類、文字数などや表示部のペリクル端面
への表示位置などについて特に制限はない。また、ペリ
クルフレーム、ペリクル膜としては公知のものを使用し
得、このペリクルは必要によりペリクル容器内に収容し
て保管される。
【００１４】上記ペリクル１を使用する方法としては通
常の方法が採用され、上記ライナー６を剥離除去した
後、粘着剤層５を介してフォトマスクに粘着固定するも
のである。
常の方法が採用され、上記ライナー６を剥離除去した
後、粘着剤層５を介してフォトマスクに粘着固定するも
のである。
【００１５】この場合、本発明のペリクル１において
は、このようにフォトマスクに固定した後において、表
示部をペリクルフレームの一端面に形成した場合はこの
表示部７ａをペリクル膜及び透明又は半透明の接着剤層
を通して、またペリクルフレームの他端面に形成した場
合はこの表示部７ｂをフォトマスク及び透明又は半透明
の粘着剤層を通して視認し得るので、表示部７ａ又は７
ｂを確実に読み取ることができ、従ってペリクルの種類
等を識別し得るものである。また、表示部７ａ，７ｂ
は、このように接着剤層又は粘着剤層によって被覆され
るので、発塵等によるフォトマスクの汚染を防止し得る
ものである。
は、このようにフォトマスクに固定した後において、表
示部をペリクルフレームの一端面に形成した場合はこの
表示部７ａをペリクル膜及び透明又は半透明の接着剤層
を通して、またペリクルフレームの他端面に形成した場
合はこの表示部７ｂをフォトマスク及び透明又は半透明
の粘着剤層を通して視認し得るので、表示部７ａ又は７
ｂを確実に読み取ることができ、従ってペリクルの種類
等を識別し得るものである。また、表示部７ａ，７ｂ
は、このように接着剤層又は粘着剤層によって被覆され
るので、発塵等によるフォトマスクの汚染を防止し得る
ものである。
【００１６】次に、具体例を示す。
【００１７】〔具体例１〕ペリクルフレームとして、外
寸が１２２ｍｍ×１４９ｍｍで、幅２．０ｍｍ、高さ
５．８ｍｍの四角枠状のアルミニウムフレームを用い、
その一端面にペリクル膜を張設すると共に、他端面に
「ＳＥＣ６Ｎ２ＨＬＯＴ．５０１０１００１」と刻印
し、表示部を形成した。
寸が１２２ｍｍ×１４９ｍｍで、幅２．０ｍｍ、高さ
５．８ｍｍの四角枠状のアルミニウムフレームを用い、
その一端面にペリクル膜を張設すると共に、他端面に
「ＳＥＣ６Ｎ２ＨＬＯＴ．５０１０１００１」と刻印
し、表示部を形成した。
【００１８】次に、上記他端面に透明のシリコーン粘着
剤を塗布し、粘着剤層を形成すると共に、その粘着剤層
をフォトマスクに圧着してペリクルを粘着固定した。
剤を塗布し、粘着剤層を形成すると共に、その粘着剤層
をフォトマスクに圧着してペリクルを粘着固定した。
【００１９】粘着固定後、フォトマスクの裏側からペリ
クルフレームの他端面を観察したところ、上記表示部を
良く読み取ることができた。
クルフレームの他端面を観察したところ、上記表示部を
良く読み取ることができた。
【００２０】〔具体例２〕ペリクルフレームとして、外
寸が１２２ｍｍ×１４９ｍｍで、幅２．０ｍｍ、高さ
５．８ｍｍの四角枠状のアルミニウムフレームを用い、
その一端面に図３に示すように「ＳＥＣ６Ｎ２ＨＬＯ
Ｔ．５０１０１００１」と刻印し、表示部を形成した。
次いで、一端面にフッ素系透明接着剤を塗布してペリク
ル膜を張設した。
寸が１２２ｍｍ×１４９ｍｍで、幅２．０ｍｍ、高さ
５．８ｍｍの四角枠状のアルミニウムフレームを用い、
その一端面に図３に示すように「ＳＥＣ６Ｎ２ＨＬＯ
Ｔ．５０１０１００１」と刻印し、表示部を形成した。
次いで、一端面にフッ素系透明接着剤を塗布してペリク
ル膜を張設した。
【００２１】上記ペリクルフレームの他端面にシリコー
ン粘着剤を塗布し、粘着剤層を形成すると共に、その粘
着剤層をフォトマスクに圧着してペリクルを粘着固定し
た。
ン粘着剤を塗布し、粘着剤層を形成すると共に、その粘
着剤層をフォトマスクに圧着してペリクルを粘着固定し
た。
【００２２】粘着固定後、ペリクル膜の上側からペリク
ルフレームの一端面を観察したところ、上記表示部を良
く読み取ることができた。
ルフレームの一端面を観察したところ、上記表示部を良
く読み取ることができた。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、ペリクルをフォトマス
クに粘着固定後において、ペリクルの種類等の識別を簡
単かつ確実に行うことができると共に、発塵等によるフ
ォトマスク汚染のおそれがないものである。
クに粘着固定後において、ペリクルの種類等の識別を簡
単かつ確実に行うことができると共に、発塵等によるフ
ォトマスク汚染のおそれがないものである。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図３】本発明の一実施例に使用したペリクルフレーム
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
１ ペリクル ２ ペリクルフレーム ３ 接着剤層 ４ ペリクル膜 ５ 粘着剤層 ６ ライナー ７ａ 識別表示部 ７ｂ 識別表示部
Claims (2)
- 【請求項１】 ペリクルフレームの一端面に接着剤層を
介してペリクル膜が張設され、かつペリクルフレームの
他端面に粘着剤層が形成され、この粘着剤層を介してフ
ォトマスクに粘着固定されるペリクルにおいて、上記ペ
リクルフレームの一端面と他端面とのいずれか一方又は
双方にペリクルの識別表示部を形成すると共に、この識
別表示部が形成されたペリクルフレーム端面に形成され
る接着剤層又は粘着剤層を上記識別表示部を視認可能な
透明又は半透明に形成したことを特徴とするペリクル。 - 【請求項２】 上記識別表示部が刻印又はぺイント表示
により形成された請求項１記載のペリクル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34676995A JPH09114085A (ja) | 1995-08-14 | 1995-12-13 | ペリクル |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-228578 | 1995-08-14 | ||
| JP22857895 | 1995-08-14 | ||
| JP34676995A JPH09114085A (ja) | 1995-08-14 | 1995-12-13 | ペリクル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09114085A true JPH09114085A (ja) | 1997-05-02 |
Family
ID=26528339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34676995A Pending JPH09114085A (ja) | 1995-08-14 | 1995-12-13 | ペリクル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09114085A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6473520B2 (en) | 1998-02-24 | 2002-10-29 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Pellicle, identification system of the same, and method of identifying the same |
| JP2022051846A (ja) * | 2018-10-29 | 2022-04-01 | 家登精密工業股▲ふん▼有限公司 | レチクル保持システム |
-
1995
- 1995-12-13 JP JP34676995A patent/JPH09114085A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6473520B2 (en) | 1998-02-24 | 2002-10-29 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Pellicle, identification system of the same, and method of identifying the same |
| JP2022051846A (ja) * | 2018-10-29 | 2022-04-01 | 家登精密工業股▲ふん▼有限公司 | レチクル保持システム |
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