JP2601548Y2 - キャリア - Google Patents
キャリアInfo
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- JP2601548Y2 JP2601548Y2 JP1993021281U JP2128193U JP2601548Y2 JP 2601548 Y2 JP2601548 Y2 JP 2601548Y2 JP 1993021281 U JP1993021281 U JP 1993021281U JP 2128193 U JP2128193 U JP 2128193U JP 2601548 Y2 JP2601548 Y2 JP 2601548Y2
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- Japan
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- wafer carrier
- wafer
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、半導体の製造過程にお
いて半導体ウェ−ハあるいはフォトマスクを収納するキ
ャリアに関し、特にキャリア認識媒体を有するキャリア
に関する。
いて半導体ウェ−ハあるいはフォトマスクを収納するキ
ャリアに関し、特にキャリア認識媒体を有するキャリア
に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造過程において、半導体ウェ
−ハは拡散、洗浄などの種々の処理がなされる。この
際、ウェ−ハは、数枚、数十枚の単位でウェ−ハキャリ
アと呼ばれるストッカに保持されて取り扱われ、各種の
処理がなされる。また、フォトマスクの製造過程におい
ては、石英ガラスのインゴットをスライスした後、面取
り、表面研磨処理などが行われる。これらの処理間にお
ける保管、搬送の際にフォトマスクはウェ−ハと同様
に、数枚、数十枚の単位でフォトマスクキャリアと呼ば
れるストッカに保持されて取り扱われ、各種の処理がな
される。
−ハは拡散、洗浄などの種々の処理がなされる。この
際、ウェ−ハは、数枚、数十枚の単位でウェ−ハキャリ
アと呼ばれるストッカに保持されて取り扱われ、各種の
処理がなされる。また、フォトマスクの製造過程におい
ては、石英ガラスのインゴットをスライスした後、面取
り、表面研磨処理などが行われる。これらの処理間にお
ける保管、搬送の際にフォトマスクはウェ−ハと同様
に、数枚、数十枚の単位でフォトマスクキャリアと呼ば
れるストッカに保持されて取り扱われ、各種の処理がな
される。
【０００３】この種々の処理に際し、所定のウェ−ハあ
るいはフォトマスクが収納されるキャリアを特定する必
要があるが、特定するためには、キャリア自身に文字、
数字、記号等を刻印したり、キャリアとは別個にキャリ
ア認識媒体を作成して、キャリアに取り付けている。
るいはフォトマスクが収納されるキャリアを特定する必
要があるが、特定するためには、キャリア自身に文字、
数字、記号等を刻印したり、キャリアとは別個にキャリ
ア認識媒体を作成して、キャリアに取り付けている。
【０００４】以下、ウェ−ハキャリア例にとって、従来
技術を説明する。図６、図７はウェ−ハキャリア認識媒
体を一側壁に形成したウェ−ハキャリアを示した例であ
り、ウェ−ハキャリア１の一側壁１ａ内にウェ−ハキャ
リアの認識マークであるバーコード２を設けたものであ
る。ウェ−ハキャリア１は透明な石英にて構成されてい
るから、図７に示す如くその内部にバーコード２を形成
すれば、外部から光学読取装置（図示せず）により前記
バーコード２を読み取ることができる。
技術を説明する。図６、図７はウェ−ハキャリア認識媒
体を一側壁に形成したウェ−ハキャリアを示した例であ
り、ウェ−ハキャリア１の一側壁１ａ内にウェ−ハキャ
リアの認識マークであるバーコード２を設けたものであ
る。ウェ−ハキャリア１は透明な石英にて構成されてい
るから、図７に示す如くその内部にバーコード２を形成
すれば、外部から光学読取装置（図示せず）により前記
バーコード２を読み取ることができる。
【０００５】図８、図９はウェ−ハキャリアとは別個に
作成されたウェ−ハキャリア認識媒体３を示しており、
このウェ−ハキャリア認識媒体３は前記ウェ−ハキャリ
アの一側壁１ａに取り付けられる。前記ウェ−ハキャリ
ア媒体３はプレート状であり、セラミック基板３ａの一
面にバーコード２を印刷により形成し、このセラミック
基板３ａ全面をフッ素系樹脂からなるコーティング層３
ｂにて被覆したものである。バーコード２はフッ素系樹
脂コーティング層３ｂの上から光学読み取り装置により
読みとられる。
作成されたウェ−ハキャリア認識媒体３を示しており、
このウェ−ハキャリア認識媒体３は前記ウェ−ハキャリ
アの一側壁１ａに取り付けられる。前記ウェ−ハキャリ
ア媒体３はプレート状であり、セラミック基板３ａの一
面にバーコード２を印刷により形成し、このセラミック
基板３ａ全面をフッ素系樹脂からなるコーティング層３
ｂにて被覆したものである。バーコード２はフッ素系樹
脂コーティング層３ｂの上から光学読み取り装置により
読みとられる。
【０００６】図１０はウェ−ハキャリア１の一側壁１ａ
に、液晶表示体からなるウェ−ハキャリア認識媒体３を
取付け、この液晶表示体と共に液晶駆動回路５を一体化
することにより、必要に応じて認識情報（表示情報）を
容易に変更できるようにしている。
に、液晶表示体からなるウェ−ハキャリア認識媒体３を
取付け、この液晶表示体と共に液晶駆動回路５を一体化
することにより、必要に応じて認識情報（表示情報）を
容易に変更できるようにしている。
【０００７】
【考案が解決しようとする課題】上記従来のキャリアの
うち、図６、７に示したバーコード内蔵型のものでは、
キャリアの側壁から格別突出する部分がなく、キャリア
自身の取扱いが容易で、また別個のキャリア認識媒体を
要しないから、ゴミの発生がなく、更にウェ−ハあるい
はフォトマスクの種々の処理に対して何らの対策を施す
必要もない等の利点がある。しかしながら、認識内容
（バーコード）の変更を行う場合には、バーコードを内
蔵した少なくともキャリア自身の一側壁１ａをそれごと
交換しなければならず、交換の手間を要すると共にキャ
リアの製造コストが高くなるという技術的課題があっ
た。
うち、図６、７に示したバーコード内蔵型のものでは、
キャリアの側壁から格別突出する部分がなく、キャリア
自身の取扱いが容易で、また別個のキャリア認識媒体を
要しないから、ゴミの発生がなく、更にウェ−ハあるい
はフォトマスクの種々の処理に対して何らの対策を施す
必要もない等の利点がある。しかしながら、認識内容
（バーコード）の変更を行う場合には、バーコードを内
蔵した少なくともキャリア自身の一側壁１ａをそれごと
交換しなければならず、交換の手間を要すると共にキャ
リアの製造コストが高くなるという技術的課題があっ
た。
【０００８】図８、９に示した認識媒体外付タイプのキ
ャリアにあっては、光学読み取り装置でバーコードを読
み取るためにフッ素系樹脂のコーティング層３ｂを薄く
する必要があるが、ウェ−ハのエッチング、洗浄等の各
種処理を繰り返すとフッ素系樹脂のコーティング層３ｂ
が破損して、バーコード印刷塗料やセラミック基板３ａ
から不純物やゴミが発生し、ウェ−ハ処理そのものに悪
影響を与えるという技術的課題があった。また、フォト
マスクの場合も、フッ素系樹脂のコーティング層３ｂが
破損して、バーコード印刷塗料やセラミック基板３ａか
ら不純物やゴミが発生すると、フォトマスクの表面を傷
つける虞がある等の技術的課題があった。
ャリアにあっては、光学読み取り装置でバーコードを読
み取るためにフッ素系樹脂のコーティング層３ｂを薄く
する必要があるが、ウェ−ハのエッチング、洗浄等の各
種処理を繰り返すとフッ素系樹脂のコーティング層３ｂ
が破損して、バーコード印刷塗料やセラミック基板３ａ
から不純物やゴミが発生し、ウェ−ハ処理そのものに悪
影響を与えるという技術的課題があった。また、フォト
マスクの場合も、フッ素系樹脂のコーティング層３ｂが
破損して、バーコード印刷塗料やセラミック基板３ａか
ら不純物やゴミが発生すると、フォトマスクの表面を傷
つける虞がある等の技術的課題があった。
【０００９】更に、図１０の液晶表示体によるキャリア
認識媒体では、表示内容の変更に自由度、容易性がある
ものの、製造コストが極めて大となると共に、前述の従
来例と同様にの各種処理に対する媒体の保護を行わなけ
ればならず、実用性に乏しいものである。
認識媒体では、表示内容の変更に自由度、容易性がある
ものの、製造コストが極めて大となると共に、前述の従
来例と同様にの各種処理に対する媒体の保護を行わなけ
ればならず、実用性に乏しいものである。
【００１０】本考案は上記課題を解決するためになされ
たもので、認識内容の変更が容易で、耐久性に優れ、低
コストで実現可能な認識媒体を有するキャリアの提供を
目的としている。
たもので、認識内容の変更が容易で、耐久性に優れ、低
コストで実現可能な認識媒体を有するキャリアの提供を
目的としている。
【００１１】上記目的を達成するため、本考案は半導体
ウェーハ、あるいはフォトマスクを収納するキャリアに
おいて、シリコン基板の露出部と樹脂のコーティング層
によって形成される認識部が前記シリコン基板の少なく
とも一面に形成された光学的読み取り可能なキャリア認
識媒体と、前記キャリア認識媒体を差し替え可能とする
支持部と、前記半導体ウェーハあるいはフォトマスクを
収納するキャリア本体を含むことを特徴とする。
ウェーハ、あるいはフォトマスクを収納するキャリアに
おいて、シリコン基板の露出部と樹脂のコーティング層
によって形成される認識部が前記シリコン基板の少なく
とも一面に形成された光学的読み取り可能なキャリア認
識媒体と、前記キャリア認識媒体を差し替え可能とする
支持部と、前記半導体ウェーハあるいはフォトマスクを
収納するキャリア本体を含むことを特徴とする。
【００１２】
【実施例】以下本考案の一実施例を図１乃至図３に示さ
れたウェ−ハキャリアに基づいて説明する。尚、図１は
本考案実施例のウェ−ハキャリア認識媒体を用いたウェ
−ハキャリアの外観図、図２はウェ−ハキャリア認識媒
体の正面図、図３はウェ−ハキャリア認識媒体の側面断
面図であり、図中同一部材、同一部分については同一符
号を付している。
れたウェ−ハキャリアに基づいて説明する。尚、図１は
本考案実施例のウェ−ハキャリア認識媒体を用いたウェ
−ハキャリアの外観図、図２はウェ−ハキャリア認識媒
体の正面図、図３はウェ−ハキャリア認識媒体の側面断
面図であり、図中同一部材、同一部分については同一符
号を付している。
【００１３】ウェ−ハキャリア１は図１に示すように上
面を開放した箱型の容器であり、石英、テフロン等から
形成されている。前記ウェ−ハキャリア１の内部には複
数のウェ−ハ４を分離して保持するための保持手段（図
示せず）が設けられており、この保持手段により分離保
持された状態で複数のウェ−ハ４は、拡散、エッチン
グ、洗浄等の各種処理がなされる。
面を開放した箱型の容器であり、石英、テフロン等から
形成されている。前記ウェ−ハキャリア１の内部には複
数のウェ−ハ４を分離して保持するための保持手段（図
示せず）が設けられており、この保持手段により分離保
持された状態で複数のウェ−ハ４は、拡散、エッチン
グ、洗浄等の各種処理がなされる。
【００１４】上記ウェ−ハキャリア１は一側壁１ａにウ
ェ−ハキャリア認識媒体３を保持するための保持部１ｂ
を一体に有している。保持部１ｂは上方を開放したコ字
状の枠体であり、開放した上方からプレート状のウェ−
ハキャリア認識媒体３を挿入保持できるようになってい
る。
ェ−ハキャリア認識媒体３を保持するための保持部１ｂ
を一体に有している。保持部１ｂは上方を開放したコ字
状の枠体であり、開放した上方からプレート状のウェ−
ハキャリア認識媒体３を挿入保持できるようになってい
る。
【００１５】前記ウェ−ハキャリア認識媒体３は図２、
図３に示す如くプレート状のもので、半導体ウェ−ハ４
と同一材のシリコン基板３ｃと、このシリコン基板３ｃ
を被覆するフッ素系樹脂のコーティング層３ｂとから成
り、またフッ素系樹脂のコーティング層３ｂにはスリッ
ト状の窓３ｄが所定数形成され、窓３ｄによりシリコン
基板３ｃが棒状に露出している。尚、フッ素樹脂のコ−
ティング層３ｂはスリット状の窓３ｄが形成された一面
を除き、シリコン基板３ｃの全表面を完全に被覆するよ
うに形成されている。
図３に示す如くプレート状のもので、半導体ウェ−ハ４
と同一材のシリコン基板３ｃと、このシリコン基板３ｃ
を被覆するフッ素系樹脂のコーティング層３ｂとから成
り、またフッ素系樹脂のコーティング層３ｂにはスリッ
ト状の窓３ｄが所定数形成され、窓３ｄによりシリコン
基板３ｃが棒状に露出している。尚、フッ素樹脂のコ−
ティング層３ｂはスリット状の窓３ｄが形成された一面
を除き、シリコン基板３ｃの全表面を完全に被覆するよ
うに形成されている。
【００１６】上記シリコン基板３ｃの露出部３ｅと、隣
接する露出部３ｅ間のコーティング層３ｂとによって認
識部が構成される。そして、上記シリコン基板３ｃの露
出部３ｅと隣接する露出部３ｅ間のコーティング層３ｂ
とが所定の配列及び各々が所定の幅で形成されることに
より、所謂バーコード情報を示すこととなる。即ち、可
視光又は赤外光等の光をこのウェーハキャリア認識媒体
３の窓３ｄ側に照射すれば、コーティング層３ｂ部分は
反射率が高く、露出部３ｅは反射率が低いことから、コ
ーティング層３ｂと露出部３ｅの幅及び配列はバーコー
ド情報として識別される。
接する露出部３ｅ間のコーティング層３ｂとによって認
識部が構成される。そして、上記シリコン基板３ｃの露
出部３ｅと隣接する露出部３ｅ間のコーティング層３ｂ
とが所定の配列及び各々が所定の幅で形成されることに
より、所謂バーコード情報を示すこととなる。即ち、可
視光又は赤外光等の光をこのウェーハキャリア認識媒体
３の窓３ｄ側に照射すれば、コーティング層３ｂ部分は
反射率が高く、露出部３ｅは反射率が低いことから、コ
ーティング層３ｂと露出部３ｅの幅及び配列はバーコー
ド情報として識別される。
【００１７】前記ウェ−ハキャリア認識媒体３の表示情
報を変更する場合は、予め変更された表示をした他のウ
ェ−ハキャリア認識媒体３を用意し、ウェ−ハキャリア
の保持部１ｂに差し換えれば良い。
報を変更する場合は、予め変更された表示をした他のウ
ェ−ハキャリア認識媒体３を用意し、ウェ−ハキャリア
の保持部１ｂに差し換えれば良い。
【００１８】前記ウェ−ハの各種処理を行う際は、もち
ろんウェ−ハキャリア認識媒体３はウェ−ハキャリア１
と共に処理装置内にセットされるのであるが、認識媒体
３はウェ−ハと同様なシリコン基板３ｃとフッ素系樹脂
のコーティング層３ｂのみで構成されているので、ウェ
−ハ４と共に種々の処理がなされてもごみの発生はほと
んどない。また、支持部１ｂと接するウェ−ハキャリア
認識媒体３の側壁３ｆを図４に示すように円弧状に形成
してもよい。これにより、差換えによってコーティング
層３ｂが摩損しても、シリコン基板３ｃが直ちに露出す
ることはない。更に、支持部を図５に示すように、数個
の支持部材１ｂに分割し、それぞれの支持部材１ｂに円
弧状の当接部１ｃを形成するようにしてもよい。前記当
接部１ｃが円弧状のため、ウェ−ハキャリア認識媒体３
のコーティング層３ｂの摩損を防止できると共に、支持
部材１ｂ上に不純物やゴミ等の異物が堆積するのを防止
できる。
ろんウェ−ハキャリア認識媒体３はウェ−ハキャリア１
と共に処理装置内にセットされるのであるが、認識媒体
３はウェ−ハと同様なシリコン基板３ｃとフッ素系樹脂
のコーティング層３ｂのみで構成されているので、ウェ
−ハ４と共に種々の処理がなされてもごみの発生はほと
んどない。また、支持部１ｂと接するウェ−ハキャリア
認識媒体３の側壁３ｆを図４に示すように円弧状に形成
してもよい。これにより、差換えによってコーティング
層３ｂが摩損しても、シリコン基板３ｃが直ちに露出す
ることはない。更に、支持部を図５に示すように、数個
の支持部材１ｂに分割し、それぞれの支持部材１ｂに円
弧状の当接部１ｃを形成するようにしてもよい。前記当
接部１ｃが円弧状のため、ウェ−ハキャリア認識媒体３
のコーティング層３ｂの摩損を防止できると共に、支持
部材１ｂ上に不純物やゴミ等の異物が堆積するのを防止
できる。
【００１９】尚、上記実施例においては、ウェ−ハキャ
リア認識マークとしてバーコードを用いたが、本考案は
シリコン基板の露出部と、コーティング層との光学的特
性の差異により認識できるマークであれば他のマークを
利用することができ、特にバーコードに限定されるもの
ではない。また、上記実施例においては、ウェ−ハキャ
リアを例にとって説明したが、本考案はフォトマスクキ
ャリアにも適用できるものである。
リア認識マークとしてバーコードを用いたが、本考案は
シリコン基板の露出部と、コーティング層との光学的特
性の差異により認識できるマークであれば他のマークを
利用することができ、特にバーコードに限定されるもの
ではない。また、上記実施例においては、ウェ−ハキャ
リアを例にとって説明したが、本考案はフォトマスクキ
ャリアにも適用できるものである。
【００２０】
【考案の効果】本考案は以上説明した通り、キャリア認
識媒体がシリコン基板とフッ素系樹脂のコーティング層
のみで構成されているため、キャリアからごみを発生す
ることはほとんどなく、耐久性に優れている。しかも、
キャリア認識媒体の認識マークは、シリコン露出部とコ
ーティング層との光学的特性の差異により識別されるも
のであるから、例えばバーコードなどの情報として容易
に表示することが可能で、キャリアを容易に識別でき
る。もちろんキャリアに対する表示内容の変更はキャリ
ア認識媒体を取り換えればよく、極めて容易に行うこと
ができる。
識媒体がシリコン基板とフッ素系樹脂のコーティング層
のみで構成されているため、キャリアからごみを発生す
ることはほとんどなく、耐久性に優れている。しかも、
キャリア認識媒体の認識マークは、シリコン露出部とコ
ーティング層との光学的特性の差異により識別されるも
のであるから、例えばバーコードなどの情報として容易
に表示することが可能で、キャリアを容易に識別でき
る。もちろんキャリアに対する表示内容の変更はキャリ
ア認識媒体を取り換えればよく、極めて容易に行うこと
ができる。
【図１】図１は本考案の一実施例を示すウェ−ハキャリ
アの外観図である。
アの外観図である。
【図２】図２は本考案の一実施例を示すウェ−ハキャリ
アに用いられるウェ−ハキャリア認識媒体の正面図であ
る。
アに用いられるウェ−ハキャリア認識媒体の正面図であ
る。
【図３】図３は図２に示されたウェ−ハキャリア認識媒
体の側面断面図である。
体の側面断面図である。
【図４】図４はウェ−ハキャリア認識媒体の変形例を示
す図であって、認識媒体の側面断面図である。
す図であって、認識媒体の側面断面図である。
【図５】図５はウェ−ハキャリアに形成された支持部の
変形例を示す斜視図である。
変形例を示す斜視図である。
【図６】図６は従来のウェ−ハキャリアの正面図であ
る。
る。
【図７】図７は、図６のウェ−ハキャリアに用いられる
認識媒体部分（ウェ−ハキャリアの一側壁）の断面図で
ある。
認識媒体部分（ウェ−ハキャリアの一側壁）の断面図で
ある。
【図８】図８は他の従来のウェ−ハキャリア認識媒体の
正面図である。
正面図である。
【図９】図９は図８のウェ−ハキャリア認識媒体の側面
断面図である。
断面図である。
【図１０】図１０は更に他の従来のウェ−ハキャリアの
外観図である。
外観図である。
１ ウェ−ハキャリア ２ 認識マーク ３ ウェ−ハキャリア認識媒体 ３ｂ コーティング層 ３ｃ シリコン基板 ４ 半導体ウェ−ハ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−29923（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−95245（ＪＰ，Ｕ) 実開 平５−90951（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/68 B65D 85/86 H01L 21/02
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体ウェーハ、あるいはフォトマスク
を収納するキャリアにおいて、シリコン基板の露出部と
樹脂のコーティング層によって形成される認識部が前記
シリコン基板の少なくとも一面に形成された光学的読み
取り可能なキャリア認識媒体と、前記キャリア認識媒体
を差し替え可能とする支持部と、前記半導体ウェーハあ
るいはフォトマスクを収納するキャリア本体を含むこと
を特徴とするキャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993021281U JP2601548Y2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | キャリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993021281U JP2601548Y2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | キャリア |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0677247U JPH0677247U (ja) | 1994-10-28 |
| JP2601548Y2 true JP2601548Y2 (ja) | 1999-11-22 |
Family
ID=12050758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993021281U Expired - Fee Related JP2601548Y2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | キャリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2601548Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011129617A (ja) * | 2009-12-16 | 2011-06-30 | Toray Eng Co Ltd | 識別コードのマーキング装置及び方法、識別コードがマーキングされた半導体装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010017919A (ko) * | 1999-08-16 | 2001-03-05 | 황인길 | 내부에 인식표가 형성된 웨이퍼 카세트 및 이에 따른 제조방법 |
| JP2009274743A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 容器及びその製造方法 |
| JP6486257B2 (ja) * | 2015-10-13 | 2019-03-20 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP1993021281U patent/JP2601548Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011129617A (ja) * | 2009-12-16 | 2011-06-30 | Toray Eng Co Ltd | 識別コードのマーキング装置及び方法、識別コードがマーキングされた半導体装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0677247U (ja) | 1994-10-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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