JPH06216227A - ウェーハキャリアケース - Google Patents
ウェーハキャリアケースInfo
- Publication number
- JPH06216227A JPH06216227A JP1968293A JP1968293A JPH06216227A JP H06216227 A JPH06216227 A JP H06216227A JP 1968293 A JP1968293 A JP 1968293A JP 1968293 A JP1968293 A JP 1968293A JP H06216227 A JPH06216227 A JP H06216227A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- carrier case
- lid
- wafer carrier
- outer box
- Prior art date
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 容易且つ的確にウェーハ情報を確認し、且つ
ウェーハ品質を有効に保証し得るウェーハキャリアケー
スを提供する。 【構成】 複数の半導体ウェーハ８を列設して装着する
内箱２と、内箱２を収容する外箱４とから成り、多数の
半導体ウェーハ８を搬送し得るようになっている。外箱
４の一定部分を透明材料により形成したものである。特
に外箱２の蓋体４の適所に、透明窓部１０を設け、又は
外箱２の蓋体４を透明材料により形成したものである。
透明窓部１０、又は蓋体４自体を介して、ウェーハキャ
リアケース１内部を観察することができ、そこから有効
なウェーハ情報を得ることができる。外箱２の蓋体４を
開閉しないで済むため、ウェーハキャリアケース１内へ
の微細粒子の侵入等を有効に防止することができる。ま
た複数の半導体ウェーハ８は、それらの収納高さが順次
高くなるように、内箱７に列設して装着され、ウェーハ
８の所定部位を極めて視認し易くする。
ウェーハ品質を有効に保証し得るウェーハキャリアケー
スを提供する。 【構成】 複数の半導体ウェーハ８を列設して装着する
内箱２と、内箱２を収容する外箱４とから成り、多数の
半導体ウェーハ８を搬送し得るようになっている。外箱
４の一定部分を透明材料により形成したものである。特
に外箱２の蓋体４の適所に、透明窓部１０を設け、又は
外箱２の蓋体４を透明材料により形成したものである。
透明窓部１０、又は蓋体４自体を介して、ウェーハキャ
リアケース１内部を観察することができ、そこから有効
なウェーハ情報を得ることができる。外箱２の蓋体４を
開閉しないで済むため、ウェーハキャリアケース１内へ
の微細粒子の侵入等を有効に防止することができる。ま
た複数の半導体ウェーハ８は、それらの収納高さが順次
高くなるように、内箱７に列設して装着され、ウェーハ
８の所定部位を極めて視認し易くする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の半導体ウ
ェーハの搬送等のために使用する特に、内箱と外箱とか
ら成るウェーハキャリアケースに関する。
ェーハの搬送等のために使用する特に、内箱と外箱とか
ら成るウェーハキャリアケースに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造プロセスにおいて、ウ
ェーハは多数の処理工程を経るが、従来、各工程間でウ
ェーハを搬送するために、例えば内箱と外箱とから成る
所謂、ウェーハキャリアケースが使用されている。上記
内箱には、ウェーハを装着するための多数のガイド溝が
列設されていて、各ガイド溝にウェーハが装着されるよ
うになっている。そして、かかる内箱を上記外箱内に収
納し、これにより複数のウェーハを工程間で搬送させる
ことができる。
ェーハは多数の処理工程を経るが、従来、各工程間でウ
ェーハを搬送するために、例えば内箱と外箱とから成る
所謂、ウェーハキャリアケースが使用されている。上記
内箱には、ウェーハを装着するための多数のガイド溝が
列設されていて、各ガイド溝にウェーハが装着されるよ
うになっている。そして、かかる内箱を上記外箱内に収
納し、これにより複数のウェーハを工程間で搬送させる
ことができる。
【０００３】このように内箱及び外箱を用いて、ウェー
ハキャリアケース内に、ウェーハを二重式に収納するこ
とにより、該ウェーハの搬送に際して、その安全性及び
防塵効果等を確保することができる。ところで、従来の
ウェーハキャリアケースは、図７に示したように、不透
明材料により形成されているため、その外箱内に収納さ
れているウェーハの枚数を確認したい場合、該ウェーハ
キャリアケースの蓋体を開けて行っていた。
ハキャリアケース内に、ウェーハを二重式に収納するこ
とにより、該ウェーハの搬送に際して、その安全性及び
防塵効果等を確保することができる。ところで、従来の
ウェーハキャリアケースは、図７に示したように、不透
明材料により形成されているため、その外箱内に収納さ
れているウェーハの枚数を確認したい場合、該ウェーハ
キャリアケースの蓋体を開けて行っていた。
【０００４】一方また、ウェーハは通常、その製造工程
における来歴等を明確にし、ウェーハ毎の区別を行い得
るように、各々その適所位置にレーザー等によって所定
の印字が刻設されるようになっている。この印字は目視
により十分に視認し得るが、かかる印字情報を確認する
場合にも、上記の場合と同様に、ウェーハキャリアケー
スの蓋体を人手によって開けて行っていた。
における来歴等を明確にし、ウェーハ毎の区別を行い得
るように、各々その適所位置にレーザー等によって所定
の印字が刻設されるようになっている。この印字は目視
により十分に視認し得るが、かかる印字情報を確認する
場合にも、上記の場合と同様に、ウェーハキャリアケー
スの蓋体を人手によって開けて行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ウェーハキャリアケースにおいて、特にその外箱は、上
記のように不透明材料により形成されているため、内部
に収納されているウェーハの枚数又は印字内容等のウェ
ーハに関する情報（以下、ウェーハ情報という）を得る
ためには、必然的にウェーハキャリアケースの蓋体を開
閉する。このようにウェーハ情報の確認等の度毎に、外
箱の蓋体を開閉して行わなければならず、作業が煩雑に
ならざるを得なかった。
ウェーハキャリアケースにおいて、特にその外箱は、上
記のように不透明材料により形成されているため、内部
に収納されているウェーハの枚数又は印字内容等のウェ
ーハに関する情報（以下、ウェーハ情報という）を得る
ためには、必然的にウェーハキャリアケースの蓋体を開
閉する。このようにウェーハ情報の確認等の度毎に、外
箱の蓋体を開閉して行わなければならず、作業が煩雑に
ならざるを得なかった。
【０００６】またウェーハ情報を得るために行う外箱の
蓋体の開閉に伴い、微細粒子がウェーハ表面に付着し
て、ウェーハの品質低下を生じさせる危険があった。そ
して、かかる問題は外箱の蓋体の開閉頻度が増すほど大
きくなり、このように従来のウェーハキャリアケースで
は品質管理の点でも問題があった。
蓋体の開閉に伴い、微細粒子がウェーハ表面に付着し
て、ウェーハの品質低下を生じさせる危険があった。そ
して、かかる問題は外箱の蓋体の開閉頻度が増すほど大
きくなり、このように従来のウェーハキャリアケースで
は品質管理の点でも問題があった。
【０００７】本発明はかかる実情に鑑み、容易且つ的確
にウェーハ情報を確認し、且つウェーハ品質を有効に保
証し得るウェーハキャリアケースを提供することを目的
とする。
にウェーハ情報を確認し、且つウェーハ品質を有効に保
証し得るウェーハキャリアケースを提供することを目的
とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のウェーハキャリ
アケースは、複数の半導体ウェーハを列設して装着する
内箱と、この内箱を収容する外箱とから成り、多数の半
導体ウェーハを搬送し得るようになっているが、上記外
箱の一定部分を透明材料により形成したものである。
アケースは、複数の半導体ウェーハを列設して装着する
内箱と、この内箱を収容する外箱とから成り、多数の半
導体ウェーハを搬送し得るようになっているが、上記外
箱の一定部分を透明材料により形成したものである。
【０００９】特に上記外箱の蓋体の適所に、透明窓部を
設け、又は外箱の蓋体を、透明材料により形成したもの
である。
設け、又は外箱の蓋体を、透明材料により形成したもの
である。
【００１０】更に上記複数の半導体ウェーハは、それら
の収納高さが順次高くなるように、上記内箱に列設して
装着されるようにしたものである。
の収納高さが順次高くなるように、上記内箱に列設して
装着されるようにしたものである。
【００１１】
【作用】本発明によれば、外箱の蓋体の適所に設けた透
明窓部、又は外箱の蓋体自体により、外箱の一定部分が
透明部分として構成される。これらの透明な窓部もしく
は蓋体を介して、ウェーハキャリアケース内部を観察す
ることができる。そして、収納されているウェーハの表
面側を視認し、そこから有効なウェーハ情報を得ること
ができる。従って、外箱の蓋体を開閉することなく、ウ
ェーハキャリアケース内に収納されたウェーハに関する
必要なウェーハ情報を容易且つ的確に確認することがで
きる。また蓋体を開閉しないで済むため、ウェーハキャ
リアケース内への微細粒子の侵入等を有効に防止するこ
とができる。
明窓部、又は外箱の蓋体自体により、外箱の一定部分が
透明部分として構成される。これらの透明な窓部もしく
は蓋体を介して、ウェーハキャリアケース内部を観察す
ることができる。そして、収納されているウェーハの表
面側を視認し、そこから有効なウェーハ情報を得ること
ができる。従って、外箱の蓋体を開閉することなく、ウ
ェーハキャリアケース内に収納されたウェーハに関する
必要なウェーハ情報を容易且つ的確に確認することがで
きる。また蓋体を開閉しないで済むため、ウェーハキャ
リアケース内への微細粒子の侵入等を有効に防止するこ
とができる。
【００１２】また本発明によれば、複数の半導体ウェー
ハは、それらの収納高さが順次高くなるように、内箱に
列設して装着されるが、このように各ウェーハの高さを
順次変化させて収納することにより、外箱の蓋体に設け
た窓部等を介して、ウェーハの所定部位を極めて視認し
易くする。
ハは、それらの収納高さが順次高くなるように、内箱に
列設して装着されるが、このように各ウェーハの高さを
順次変化させて収納することにより、外箱の蓋体に設け
た窓部等を介して、ウェーハの所定部位を極めて視認し
易くする。
【００１３】
【実施例】以下、図１に基づき、本発明のウェーハキャ
リアケースの第一実施例を説明する。
リアケースの第一実施例を説明する。
【００１４】図１は本発明の第一実施例に係るウェーハ
キャリアケースの全体構成を示しているが、図におい
て、１はウェーハキャリアケース、２は外箱本体３及び
その蓋体４から成る外箱であり、上記蓋体４は、その一
端部において支軸５を介して、外箱本体３に枢着されて
おり、これにより外箱２において該蓋体４が開閉自在で
ある。本実施例では、上記支軸５の反対側の他端部に開
閉用フック６が付設されており、このフック６の掛け・
外しにより蓋体４を閉蓋又は開蓋状態に保持するように
なっている。
キャリアケースの全体構成を示しているが、図におい
て、１はウェーハキャリアケース、２は外箱本体３及び
その蓋体４から成る外箱であり、上記蓋体４は、その一
端部において支軸５を介して、外箱本体３に枢着されて
おり、これにより外箱２において該蓋体４が開閉自在で
ある。本実施例では、上記支軸５の反対側の他端部に開
閉用フック６が付設されており、このフック６の掛け・
外しにより蓋体４を閉蓋又は開蓋状態に保持するように
なっている。
【００１５】また、７はウェーハ８を装着するための多
数のガイド溝７ａを有する内箱であり、図示のように各
ガイド溝７ａにウェーハ８が列設されるようになってい
る。ウェーハ８の表面適所にウェーハ情報としての印字
９が刻設されており、ウェーハ８はこの印字９が上部に
位置するように、上記ガイド溝７ａに装着されるように
なっている。
数のガイド溝７ａを有する内箱であり、図示のように各
ガイド溝７ａにウェーハ８が列設されるようになってい
る。ウェーハ８の表面適所にウェーハ情報としての印字
９が刻設されており、ウェーハ８はこの印字９が上部に
位置するように、上記ガイド溝７ａに装着されるように
なっている。
【００１６】さらに、１０は外箱２の蓋体４に設けた窓
部であり、この窓部１０は例えば透明アクリル板１０ａ
を被着することにより構成される。窓部１０は、上記ウ
ェーハ８表面の印字９に対向するように配設されてい
る。従ってウェーハキャリアケース１の外部から、かか
る窓部１０を介して、特に上記印字９付近を観察するこ
とができるようになっている。
部であり、この窓部１０は例えば透明アクリル板１０ａ
を被着することにより構成される。窓部１０は、上記ウ
ェーハ８表面の印字９に対向するように配設されてい
る。従ってウェーハキャリアケース１の外部から、かか
る窓部１０を介して、特に上記印字９付近を観察するこ
とができるようになっている。
【００１７】本発明のウェーハキャリアケース１では、
内箱７の各ガイド溝７ａにウェーハ８が装着され、その
内箱７は外箱２内に収容される。そしてフック６を掛け
て、蓋体４を閉蓋状態に保持し、これにより複数のウェ
ーハ８を工程間で搬送することができる。
内箱７の各ガイド溝７ａにウェーハ８が装着され、その
内箱７は外箱２内に収容される。そしてフック６を掛け
て、蓋体４を閉蓋状態に保持し、これにより複数のウェ
ーハ８を工程間で搬送することができる。
【００１８】ところで、ウェーハキャリアケース１の内
部を観察したい場合、図１に示したように窓部１０を介
して観察することができる。そして、ウェーハキャリア
ケース１内に収納されているウェーハ８を視認し、そこ
から印字９等の有効なウェーハ情報を得ることができ
る。
部を観察したい場合、図１に示したように窓部１０を介
して観察することができる。そして、ウェーハキャリア
ケース１内に収納されているウェーハ８を視認し、そこ
から印字９等の有効なウェーハ情報を得ることができ
る。
【００１９】このように外箱２の蓋体４を開閉すること
なく、ウェーハキャリアケース１内に収納されたウェー
ハ８に関する必要なウェーハ情報を容易且つ的確に確認
することができる。また、上記のように蓋体４を開閉し
ないで済むため、ウェーハキャリアケース１内への微細
粒子の侵入等を有効に防止することができる。
なく、ウェーハキャリアケース１内に収納されたウェー
ハ８に関する必要なウェーハ情報を容易且つ的確に確認
することができる。また、上記のように蓋体４を開閉し
ないで済むため、ウェーハキャリアケース１内への微細
粒子の侵入等を有効に防止することができる。
【００２０】図２は、本発明のウェーハキャリアケース
の第二実施例を示している。この第二実施例では、外箱
２の蓋体４′全体が透明アクリル材料により形成されて
いる。蓋体４′は支軸５を介して、外箱本体３に開閉自
在に支持されているが、これらの構成については上記第
一実施例の場合と基本的に同様であり、ここではその説
明を省略する。
の第二実施例を示している。この第二実施例では、外箱
２の蓋体４′全体が透明アクリル材料により形成されて
いる。蓋体４′は支軸５を介して、外箱本体３に開閉自
在に支持されているが、これらの構成については上記第
一実施例の場合と基本的に同様であり、ここではその説
明を省略する。
【００２１】第二実施例によれば、蓋体４′が透明であ
るため、ウェーハキャリアケース１内に収納されている
ウェーハ８を容易に視認することができ、この第二実施
例においても有効なウェーハ情報を簡単且つ確実に得る
ことができる。
るため、ウェーハキャリアケース１内に収納されている
ウェーハ８を容易に視認することができ、この第二実施
例においても有効なウェーハ情報を簡単且つ確実に得る
ことができる。
【００２２】なお上記第一実施例及び第二実施例におい
て、蓋体４又は蓋体４′がその一端部で外箱本体３に開
閉自在に支持される例を説明したが、例えば図３に示し
たように、全開式の蓋体４″に対しても同様に適用する
ことができる。即ち、上記各実施例において述べたよう
に、該蓋体４″の適所に透明窓部を設け、又はその蓋体
４″全体を透明材料により形成してもよい。そしてこれ
らいずれの場合も上記第一実施例及び第二実施例と同様
な作用効果を得ることができる。
て、蓋体４又は蓋体４′がその一端部で外箱本体３に開
閉自在に支持される例を説明したが、例えば図３に示し
たように、全開式の蓋体４″に対しても同様に適用する
ことができる。即ち、上記各実施例において述べたよう
に、該蓋体４″の適所に透明窓部を設け、又はその蓋体
４″全体を透明材料により形成してもよい。そしてこれ
らいずれの場合も上記第一実施例及び第二実施例と同様
な作用効果を得ることができる。
【００２３】図４乃至図６は、本発明によるウェーハキ
ャリアケースの第三実施例を示している。この第三実施
例では、内箱１１は、ウェーハ８を装着するための多数
のガイド溝１２を有しているが、このガイド溝１２の列
設方向の両端部に設けられた相互に対向する一対の垂直
壁１３の間で、底部１４は図４に示されるように、一定
の傾斜角度を有している。また上記垂直壁１３の中央部
には、図６に示したようにほぼ半円形状の切欠部１５が
形成されており、またウェーハ８は、その印字９が切欠
部１５に対応するように、ガイド溝１２に装着されるよ
うになっている。
ャリアケースの第三実施例を示している。この第三実施
例では、内箱１１は、ウェーハ８を装着するための多数
のガイド溝１２を有しているが、このガイド溝１２の列
設方向の両端部に設けられた相互に対向する一対の垂直
壁１３の間で、底部１４は図４に示されるように、一定
の傾斜角度を有している。また上記垂直壁１３の中央部
には、図６に示したようにほぼ半円形状の切欠部１５が
形成されており、またウェーハ８は、その印字９が切欠
部１５に対応するように、ガイド溝１２に装着されるよ
うになっている。
【００２４】第三実施例によれば、底部１４に一定の勾
配を設けたことにより、ガイド溝１２に装着された複数
の半導体ウェーハ８は、それらの収納高さが順次高くな
るように、内箱１１に列設される。このように各ウェー
ハ８の高さを順次変化させて収納することにより、その
印字９の高さ位置も順次高くなり、且つ各印字９は切欠
部１５に対応配置される。従って、第一実施例において
述べた外箱２の蓋体４に設けた窓部１０を介して、全て
のウェーハ８の印字９部分をその正面から正しく視認す
ることができる。
配を設けたことにより、ガイド溝１２に装着された複数
の半導体ウェーハ８は、それらの収納高さが順次高くな
るように、内箱１１に列設される。このように各ウェー
ハ８の高さを順次変化させて収納することにより、その
印字９の高さ位置も順次高くなり、且つ各印字９は切欠
部１５に対応配置される。従って、第一実施例において
述べた外箱２の蓋体４に設けた窓部１０を介して、全て
のウェーハ８の印字９部分をその正面から正しく視認す
ることができる。
【００２５】そして、この場合にも外箱２の蓋体４を開
閉することなく、有効なウェーハ情報を簡単且つ確実に
得ることができる。従って、ウェーハキャリアケース１
内へ微細粒子等が侵入して、ウェーハ８の表面に付着す
るのを防止し、ウェーハ８の品質を保証することができ
る。
閉することなく、有効なウェーハ情報を簡単且つ確実に
得ることができる。従って、ウェーハキャリアケース１
内へ微細粒子等が侵入して、ウェーハ８の表面に付着す
るのを防止し、ウェーハ８の品質を保証することができ
る。
【００２６】なお上記第三実施例において、底部１４の
勾配は、その傾斜角度を適宜変化させることができ、ま
た図示例のような直線状の場合に限らず、例えば比較的
なだらかな適宜の曲線等に沿って設定することも可能で
ある。
勾配は、その傾斜角度を適宜変化させることができ、ま
た図示例のような直線状の場合に限らず、例えば比較的
なだらかな適宜の曲線等に沿って設定することも可能で
ある。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、外
箱を閉蓋状態に保持したままウェーハキャリアケース内
を観察することができ、ウェーハの枚数及び印字等のウ
ェーハ情報を容易且つ的確に把握することができる。そ
してウェーハキャリアケース内に収納されている多数の
ウェーハを微細粒子等から有効に保護し、ウェーハの品
質向上を図ることができる等の利点を有している。
箱を閉蓋状態に保持したままウェーハキャリアケース内
を観察することができ、ウェーハの枚数及び印字等のウ
ェーハ情報を容易且つ的確に把握することができる。そ
してウェーハキャリアケース内に収納されている多数の
ウェーハを微細粒子等から有効に保護し、ウェーハの品
質向上を図ることができる等の利点を有している。
【図１】本発明のウェーハキャリアケースの第一実施例
による一部破断斜視図である。
による一部破断斜視図である。
【図２】本発明のウェーハキャリアケースの第二実施例
による外箱の外観斜視図である。
による外箱の外観斜視図である。
【図３】本発明のウェーハキャリアケースの第一実施例
及び第二実施例に係る変形例を示す外観斜視図である。
及び第二実施例に係る変形例を示す外観斜視図である。
【図４】本発明のウェーハキャリアケースの第三実施例
による内箱の縦断面図である。
による内箱の縦断面図である。
【図５】本発明のウェーハキャリアケースの第三実施例
による内箱の平面図である。
による内箱の平面図である。
【図６】本発明のウェーハキャリアケースの第三実施例
による内箱の側面図である。
による内箱の側面図である。
【図７】従来のウェーハキャリアケースの外観斜視図で
ある。
ある。
【符号の説明】 １ ウェーハキャリアケース ２ 外箱 ３ 外箱本体 ４ 蓋体 ４′ 蓋体 ４″ 蓋体 ５ 支軸 ６ 開閉用フック ７ 内箱 ７ａ ガイド溝 ８ ウェーハ ９ 印字 １０ 窓部 １１ 内箱 １２ ガイド溝 １３ 垂直壁 １４ 底部 １５ 切欠部
Claims (4)
- 【請求項１】 複数の半導体ウェーハを列設して装着す
る内箱と、この内箱を収容する外箱とから成り、多数の
半導体ウェーハを搬送し得るウェーハキャリアケースに
おいて、上記外箱の一定部分が透明材料により形成され
ていることを特徴とするウェーハキャリアケース。 - 【請求項２】 上記外箱の蓋体の適所に、透明窓部が設
けられていることを特徴とする請求項１に記載のウェー
ハキャリアケース。 - 【請求項３】 上記外箱の蓋体を、透明材料により形成
したことを特徴とする請求項１に記載のウェーハキャリ
アケース。 - 【請求項４】 上記複数の半導体ウェーハは、それらの
収納高さが順次高くなるように、上記内箱に列設して装
着されるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の
ウェーハキャリアケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1968293A JPH06216227A (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | ウェーハキャリアケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1968293A JPH06216227A (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | ウェーハキャリアケース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06216227A true JPH06216227A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=12006012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1968293A Withdrawn JPH06216227A (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | ウェーハキャリアケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06216227A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100432975B1 (ko) * | 1995-07-27 | 2004-10-22 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 반도체웨이퍼의수납·인출장치및이것에이용되는반도체웨이퍼의운반용기 |
| US6871741B2 (en) | 1998-05-28 | 2005-03-29 | Entegris, Inc. | Composite substrate carrier |
| JP2022051846A (ja) * | 2018-10-29 | 2022-04-01 | 家登精密工業股▲ふん▼有限公司 | レチクル保持システム |
| CN115910874A (zh) * | 2023-03-09 | 2023-04-04 | 四川上特科技有限公司 | 一种晶圆存放框 |
-
1993
- 1993-01-12 JP JP1968293A patent/JPH06216227A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100432975B1 (ko) * | 1995-07-27 | 2004-10-22 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 반도체웨이퍼의수납·인출장치및이것에이용되는반도체웨이퍼의운반용기 |
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| US7168564B2 (en) | 1998-05-28 | 2007-01-30 | Entegris, Inc. | Composite substrate carrier |
| US8734698B2 (en) | 1998-05-28 | 2014-05-27 | Entegris, Inc. | Composite substrate carrier |
| JP2022051846A (ja) * | 2018-10-29 | 2022-04-01 | 家登精密工業股▲ふん▼有限公司 | レチクル保持システム |
| CN115910874A (zh) * | 2023-03-09 | 2023-04-04 | 四川上特科技有限公司 | 一种晶圆存放框 |
| CN115910874B (zh) * | 2023-03-09 | 2023-05-23 | 四川上特科技有限公司 | 一种晶圆存放框 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000404 |