JP7291684B2 - レチクル保持システム - Google Patents
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Description
本出願は、ここで参照によって本明細書に取り込まれ、本明細書の一部となる2018年10月29日出願の米国特許仮出願第62/751736号の優先権を主張する。
本開示は、フォトマスク、レチクル(reticle)およびウエハなどの脆弱な物体の貯蔵、輸送、配送および加工のための容器に関し、特に、レチクルの貯蔵、輸送、配送および加工のための保持システムに関する。
Claims (9)
- 第一の識別構成要素を備えるレチクルを受け入れるように構成された内側ポッドであって、
周縁領域に囲まれたレチクル格納領域を有する内側基体であって、前記第一の識別構成要素の観測を可能にするように対応して配置された、前記レチクル格納領域に画定された第一の観測可能区域を有する内側基体と、
前記内側基体の前記周縁領域との係合を確立し、それによって前記レチクルを格納するための内部を画定するように構成された内側カバーと
を含む内側ポッドと、
前記内側基体を受け入れるように構成された外側ポッドであって、
前記内側ポッドを受け入れると、前記内側ポッドの前記第一の観測可能区域と観測可能に位置合わせされる、画定された第二の観測可能区域を有する外側基体と、
前記外側基体と係合し前記内側ポッドを覆うように構成された外側カバーと
を含む外側ポッドと
を含み、
前記内側基体は、前記第一の観測可能区域に封止して埋め込まれた二つの内側光学部材を含み、
前記外側基体は、前記第二の観測可能区域に埋め込まれて、前記二つの内側光学部材と観測可能に位置合わせされた外側光学部材を含み、
前記内側基体は、第三の識別構成要素を含み、前記外側光学部材は、前記第三の識別構成要素の観測を可能にするように配置され、
前記外側光学部材は、長方形の平面形を有し、
前記第三の識別構成要素は、前記外側光学部材の長方形の長辺方向に沿って前記二つの内側光学部材の間に配置され、
前記外側光学部材を介して外部から前記第一の識別構成要素および前記第三の識別構成要素の両方を光学的に読み取り可能である、レチクル保持システム。 - 前記内側ポッドは、前記第一の識別構成要素に近接して配置されたペリクルを有するレチクルを受け入れるようにさらに構成され、
前記内側基体の第一の観測可能区域は、前記第一の識別構成要素と前記ペリクルの一部との観測を可能にするように対応して配置された、請求項1に記載のレチクル保持システム。 - 前記二つの内側光学部材は、前記第一の識別構成要素と前記ペリクルの前記一部との観測をそれぞれ可能にする、請求項2に記載のレチクル保持システム。
- 前記内側ポッドは、前記第一の識別構成要素に近接するペリクルとそれらの間に配置されたペリクルフレームとを有するレチクルを受け入れるようにさらに構成され、
前記二つの内側光学部材の一方は、他方より大きな平面面積を提供され、前記ペリクルフレームの一部の観測を可能にするように構成され、
前記内側基体の前記レチクル格納領域は、その断面において前記周縁領域の厚さより小さな厚さを有する段差形を備える、請求項1に記載のレチクル保持システム。 - 前記ペリクルフレーム上に第二の識別構成要素が設置され、
より大きな平面面積を有する前記内側光学部材が前記第二の識別構成要素の観測を可能にするように配置される、請求項4に記載のレチクル保持システム。 - 前記外側光学部材は、投影的に前記二つの内側光学部材と重なる、請求項1に記載のレチクル保持システム。
- 前記外側光学部材の平面面積は、前記二つの内側光学部材の平面面積より大きい、請求項6に記載のレチクル保持システム。
- 前記内側基体は、前記第一の観測可能区域の外部に配置された追加の内側光学部材をさらに含み、
前記外側基体は、前記第二の観測可能区域の外部に配置された追加の外側光学部材をさらに含み、
前記外側光学部材および前記追加の外側光学部材は、前記内側光学部材および前記追加の内側光学部材より少ない、請求項1に記載のレチクル保持システム。 - 第一の識別構成要素を備えるレチクルを受け入れるように構成された内側ポッドであって、
周縁領域に囲まれたレチクル格納領域を有する内側基体であって、前記第一の識別構成要素の観測を可能にするように対応して配置された、前記レチクル格納領域に画定された第一の観測可能区域を有するとともに第三の識別構成要素を含む内側基体と、
前記内側基体の前記周縁領域との係合を確立し、それによって前記レチクルを格納するための内部を画定するように構成された内側カバーと
を含む内側ポッドと、
前記内側基体を受け入れるように構成された外側ポッドであって、
前記内側ポッドを受け入れると、前記内側ポッドの前記第一の観測可能区域と観測可能に位置合わせされる、画定された第二の観測可能区域を有する外側基体と、
前記外側基体と係合し前記内側ポッドを覆うように構成された外側カバーと
を含む外側ポッドと
を含み、
前記外側基体は、前記第二の観測可能区域に埋め込まれて、前記第一の観測可能区域と観測可能に位置合わせされた外側光学部材を含み、
前記外側基体は、実質的に平面且つ長方形を有し、
前記外側光学部材は、実質的に平面且つ長方形を有し、
前記外側光学部材の幾何学的中心から前記外側基体の前記長方形の長辺に平行な対称軸までの距離は、前記外側基体の前記長方形の何れか1辺の長さの30%より短く、
前記外側光学部材を介して外部から前記第一の識別構成要素および前記第三の識別構成要素の両方を光学的に読み取り可能である、レチクル保持システム。
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