JP7263466B2 - 基板取り扱い装置及び基板取り扱い方法 - Google Patents
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Description
このような基板を取り扱う製造工程では、基板は、プラテンと呼ばれる部材の表面にしばしば載置される。本願において、プラテンとは、基板が載置される台状の部材の総称である。
例えば、基板に微細形状を造り込むフォトリソグラフィでは、基板に所定のパターンの光を照射して基板を露光する露光装置が使用される。露光装置はプラテンを備えており、プラテンに載置された基板に対し、マスク等を使用して所定のパターンの光を照射する構成となっている。
このような点を考慮し、表面の粘着性の高い基板を取り扱う装置では、フッ素系コーティングのような非粘着性処理した金属板をプラテンに取り付け、その上に基板を載置する構成が採用されている。
また、基板はしばしば平坦性の高い表面に載置される必要があり、このため平坦性の高い表面を持ったプラテンが必要になる。この点、非粘着性の表面処理をした金属板は、平坦性が悪い場合が多く、平坦性の高いプラテンの表面に対してネジ止めのような手段で矯正しながら固定する方法が採られることが多い。このため、取り付けや交換に手間がかかってしまい、作業性が悪い。
この出願の発明は、上記のような従来技術の課題を解決するために為されたものであり、粘着性の高い基板を取り扱う場合でもプラテンに基板が貼り付かないようにし、この際にも、基板の形状欠陥やゴミの放出といった問題がないようにすることを目的としている。また、その上で、ランニングコスト上の負担が小さく、且つ取り付けや交換も容易で、基板の位置ずれに対しても効果的に対応可能にすることを目的としている。
プラテンの基板載置領域はプラテン用基板貼り付き防止フィルムによって覆われており、
プラテンは、基板を真空吸着するための基板用真空吸着孔と、プラテン用基板貼り付き防止フィルムを真空吸着するためのフィルム用真空吸着孔とを有しており、
プラテン用基板貼り付き防止フィルムには、基板用真空吸着孔を通してプラテンが基板を真空吸着するのを阻害しないようにするための基板吸着穴が、プラテンの基板用真空吸着孔に対応する位置に設けられているとともに、プラテンに対する位置ずれを検出するためのマークが基板吸着穴を外れた位置に設けられており、
プラテン用基板貼り付き防止フィルムの前記マークを検出するセンサと、プラテンに対してプラテン用基板貼り付き防止フィルムが位置ずれしているかをセンサの検出結果にしたがって判断するコントローラとを備えており、
前記基板吸着穴は、前記プラテンが有する前記基板用真空吸着孔より小さいという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項2記載の発明は、処理される基板が載置されるプラテンを備え、プラテンに基板を載置して基板をプラテンに真空吸着した状態で基板を取り扱う基板取り扱い装置(但し、露光装置を除く)であって、
プラテンの基板載置領域はプラテン用基板貼り付き防止フィルムによって覆われており、
プラテンは、基板を真空吸着するための基板用真空吸着孔と、プラテン用基板貼り付き防止フィルムを真空吸着するためのフィルム用真空吸着孔とを有しており、
プラテン用基板貼り付き防止フィルムには、基板用真空吸着孔を通してプラテンが基板を真空吸着するのを阻害しないようにするための基板吸着穴が、プラテンの基板用真空吸着孔に対応する位置に設けられているとともに、プラテンに対する位置ずれを検出するためのマークが基板吸着穴を外れた位置に設けられており、
プラテン用基板貼り付き防止フィルムの前記マークを検出するセンサと、プラテンに対してプラテン用基板貼り付き防止フィルムが位置ずれしているかをセンサの検出結果にしたがって判断するコントローラとを備えており、
前記基板吸着穴は、前記プラテンが有する前記基板用真空吸着孔より大きいという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項3記載の発明は、プラテン用基板貼り付き防止フィルムで基板載置領域が覆われたプラテンに基板を載置して基板をプラテンに真空吸着した状態で基板を取り扱う基板取り扱い装置(但し、露光装置を除く)を使用した基板取り扱い方法であって、
プラテンは、基板を真空吸着するための基板用真空吸着孔と、プラテン用基板貼り付き防止フィルムを真空吸着するためのフィルム用真空吸着孔とを有していて、基板用真空吸着孔とフィルム用真空吸着孔とは、互いに別系統の排気路に連通しており、
プラテン用基板貼り付き防止フィルムには、基板用真空吸着孔を通してプラテンが基板を真空吸着するのを阻害しないようにするための基板吸着穴が、プラテンの基板用真空吸着孔に対応する位置に設けられているとともに、プラテンに対する位置ずれを検出するためのマークが基板吸着穴を外れた位置に設けられており、
フィルム用真空吸着孔を通した吸引は、基板の取り扱い中に加えて取り扱いが終了した後に基板をプラテンから搬出する際にも継続される方法であり、
プラテン用基板貼り付き防止フィルムのプラテンへの真空吸着力はプラテン用基板貼り付き防止フィルムの基板への貼り付き力よりも大きくて基板をプラテンから搬出する際にもプラテン用基板貼り付き防止フィルムはプラテンに真空吸着された状態が維持される
という構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項4記載の発明は、プラテン用基板貼り付き防止フィルムプラテン用基板貼り付き防止フィルムで基板載置領域が覆われたプラテンに基板を載置して基板をプラテンに真空吸着した状態で基板を取り扱う基板取り扱い装置(但し、露光装置を除く)を使用した基板取り扱い方法であって、
プラテンは、基板を真空吸着するための基板用真空吸着孔と、プラテン用基板貼り付き防止フィルムを真空吸着するためのフィルム用真空吸着孔とを有しており、
プラテン用基板貼り付き防止フィルムには、基板用真空吸着孔を通してプラテンが基板を真空吸着するのを阻害しないようにするための基板吸着穴が、プラテンの基板用真空吸着孔に対応する位置に設けられているとともに、プラテンに対する位置ずれを検出するためのマークが基板吸着穴を外れた位置に設けられており、
基板取り扱い装置は、基板をプラテンに搬送する搬送系を備えており、
搬送系によりプラテンに基板を搬送する際、搬送前に前記マークがずれていないかセンサにより点検し、ずれている場合には搬送を中止する
という構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項5記載の発明は、前記請求項4の構成において、基板の搬送前に前記フィルム用真空吸着孔が閉鎖されているか点検し、閉鎖されていない場合には搬送を中止するという構成を有する。
また、基板貼り付き防止フィルムのマークを検出するセンサと、プラテンに対して基板貼り付き防止フィルムが位置ずれしているかをセンサの検出結果にしたがって判断するコントローラとを備えているので、プラテンに対して基板貼り付き防止フィルムがずれている場合に搬送を中止することができ、真空吸着ができないのに基板をプラテンに載置してしまうエラーを未然に防止することができる。
また、基板吸着穴がプラテンの基板用真空吸着孔よりも小さいので、基板の裏面が柔らかい場合にも跡が残りにくいという効果が得られる。
また、請求項2記載の基板取り扱い装置によれば、上記効果に加え、基板吸着穴がプラテンの基板用真空吸着孔よりも大きいので、ずれの許容度が大きくなるという効果が得られる。
また、請求項3記載の基板取り扱い方法によれば、フィルム用真空吸着孔を通した吸引は、基板の取り扱い中に加えて取り扱いが終了した後に基板をプラテンから搬出する際にも継続されるので、基板が搬出される際にも基板貼り付き防止フィルムはプラテンに固定された状態が維持される。
また、請求項4記載の基板取り扱い方法によれば、マークがずれていないかセンサにより点検し、ずれている場合には搬送を中止するので、真空吸着ができないのに基板をプラテンに載置してしまうエラーを未然に防止することができる。
また、請求項5記載の基板取り扱い方法によれば、上記効果に加え、基板貼り付き防止フィルムがプラテンに真空吸着されているのを確認してから基板が搬送されるので、基板を載置する際の弾みで基板貼り付き防止フィルムがずれてしまう問題が防止される。
図1は、実施形態に係る基板貼り付き防止フィルム及びこの基板貼り付き防止フィルムが使用されるプラテンの斜視概略図である。図2は、基板貼り付き防止フィルムの使用状態を示す正面断面概略図である。
図1及び図2に示す基板貼り付き防止フィルム1は、処理される基板が載置されるプラテン2の基板載置領域を覆うフィルムである。この基板貼り付き防止フィルム(以下、防止フィルムと略称する)1は、PETのような透明な樹脂製であり、厚さは50~350μm程度である。
図1に示すように、防止フィルム1も方形となっており、基板載置領域Rより大きいサイズである。但し、防止フィルム1は、プラテン2の上面より小さいサイズである。
基板用真空吸着孔21とフィルム用真空吸着孔25とは、互いに別系統の排気管に連通している。プラテン2には、基板用排気管23とは別にフィルム用排気管27が接続されている。図2に示すように、プラテン2内には、基板用連通路22とは別にフィルム用連通路26が形成されており、フィルム用連通路26はフィルム用真空吸着孔25とフィルム用排気管27とを接続している。フィルム用排気管27には、フィルム用開閉バルブ28が設けられている。
マーク12は、この実施形態では複数設けられている。具体的には、図1に示すように、マーク12は方形の各隅に設けられている。各マーク12は円形であり、この実施形態では、光を反射する反射部となっている。黒、銀等の色の反射部を印刷や膜付け等の方法で形成されたものを各マーク12とし得る。
図3は、実施形態の防止フィルム1及びプラテン2の使用例としての露光装置の正面概略図である。図3に示す露光装置は、プラテン2と、プラテン2に載置された基板Wに対して所定のパターンの光を照射して露光する光照射ユニット4と、プラテン2に対して基板Wを搬入し、露光後に基板Wをプラテン2から搬出する搬送系5とを備えている。
より具体的には、この実施形態では、各センサ3は反射光の有無を検出している。反射光を捉えていれば、センサ3の出力はオンであり、捉えていなければオフとされる。各センサ3からは、オン、オフのいずれかの信号がコントローラ6に送られる。
シーケンスプログラムが実行されているコントローラ6は、搬入側コンベア51に信号を送り、図5(1)に示すように搬入側の搬送ハンド(搬入ハンド)53の下方の搬入待機位置まで基板Wを搬送する。この時点で、コントローラ6は、各センサ3からの入力信号を確認する。いずれの信号もオンである場合、コントローラ6は、搬入ハンド53のハンド駆動機構530に信号を送り、図5(2)に示すように、基板Wをプラテン2まで搬送させる。基板Wは、防止フィルム1に覆われたプラテン2の基板載置領域Rに載置される。
この状態で、コントローラ6は、不図示のアライメント手段に信号を送り、基板Wのアライメントを行わせる。アライメントが終了すると、コントローラ6は、光照射ユニット4に信号を送り、所定のパターンで光を照射させる。これにより、基板Wが露光される。所定時間の露光が終了すると、コントローラ6は、搬出側の搬送ハンド(搬出ハンド)54に信号を送り、基板Wの搬出動作を行わせる。基板Wは、搬出側コンベア52に搬出され、搬出側コンベア52から次の工程に送られる。そして、次の基板Wが搬入待機位置に位置すると、同様の動作が繰り返される。
上記露光装置において、コントローラ6は、装置の可動中、フィルム用開閉弁28に対して常に開信号を送っている。このため、防止フィルム1は、装置の稼働中、プラテン2に常時真空吸着された状態となっている。
一方、実施形態の防止フィルム1は、上記のようにマーク12を備えているので、マーク12のずれを検出する何らかの手段を設けることで、容易に防止フィルム1の位置ずれを検出でき、真空吸着ができないのに基板Wをプラテン2に載置してしまうエラーを未然に防止することができる。
但し、フレーム411がセンサ3及び貫通孔29から外れた位置に位置する場合や、フレームが無い構成(例えば投影露光方式の場合)では、そのような配慮は不要で、防止フィルム1の位置ずれを常時監視することができる。
尚、基板吸着穴11が基板用真空吸着孔21より大きい場合、ソルダレジスト付き基板の場合には上記の問題が生じ得るが、ソルダレジストを焼結等によってソルダレジストの硬度を高めておくことで問題が発生しないようにすることができる。
さらに、本願発明の防止フィルム1は、前述した露光装置の他、基板を処理する各種装置に使用することができる。処理装置に限らず、各種検査、試験等のために基板を取り扱う際にも、本願発明の防止フィルム1をプラテン2に対して使用することができる。この点は、基板取り扱い処理方法の発明についても同様である。
11 基板吸着穴
12 マーク
2 プラテン
21 基板用真空吸着孔
22 基板用連通路
23 基板用排気管
24 基板用開閉弁
25 フィルム用真空吸着孔
26 フィルム用連通路
27 フィルム用排気管
28 フィルム用開閉弁
29 貫通孔
3 センサ
4 光照射ユニット
5 搬送系
6 コントローラ
W 基板
R 基板載置領域
Claims (5)
- 処理される基板が載置されるプラテンを備え、プラテンに基板を載置して基板をプラテンに真空吸着した状態で基板を取り扱う基板取り扱い装置(但し、露光装置を除く)であって、
プラテンの基板載置領域はプラテン用基板貼り付き防止フィルムによって覆われており、
プラテンは、基板を真空吸着するための基板用真空吸着孔と、プラテン用基板貼り付き防止フィルムを真空吸着するためのフィルム用真空吸着孔とを有しており、
プラテン用基板貼り付き防止フィルムには、基板用真空吸着孔を通してプラテンが基板を真空吸着するのを阻害しないようにするための基板吸着穴が、プラテンの基板用真空吸着孔に対応する位置に設けられているとともに、プラテンに対する位置ずれを検出するためのマークが基板吸着穴を外れた位置に設けられており、
プラテン用基板貼り付き防止フィルムの前記マークを検出するセンサと、プラテンに対してプラテン用基板貼り付き防止フィルムが位置ずれしているかをセンサの検出結果にしたがって判断するコントローラとを備えており、
前記基板吸着穴は、前記プラテンが有する前記基板用真空吸着孔より小さいことを特徴とする基板取り扱い装置。 - 処理される基板が載置されるプラテンを備え、プラテンに基板を載置して基板をプラテンに真空吸着した状態で基板を取り扱う基板取り扱い装置(但し、露光装置を除く)であって、
プラテンの基板載置領域はプラテン用基板貼り付き防止フィルムによって覆われており、
プラテンは、基板を真空吸着するための基板用真空吸着孔と、プラテン用基板貼り付き防止フィルムを真空吸着するためのフィルム用真空吸着孔とを有しており、
プラテン用基板貼り付き防止フィルムには、基板用真空吸着孔を通してプラテンが基板を真空吸着するのを阻害しないようにするための基板吸着穴が、プラテンの基板用真空吸着孔に対応する位置に設けられているとともに、プラテンに対する位置ずれを検出するためのマークが基板吸着穴を外れた位置に設けられており、
プラテン用基板貼り付き防止フィルムの前記マークを検出するセンサと、プラテンに対してプラテン用基板貼り付き防止フィルムが位置ずれしているかをセンサの検出結果にしたがって判断するコントローラとを備えており、
前記基板吸着穴は、前記プラテンが有する前記基板用真空吸着孔より大きいことを特徴とする基板取り扱い装置。 - プラテン用基板貼り付き防止フィルムで基板載置領域が覆われたプラテンに基板を載置して基板をプラテンに真空吸着した状態で基板を取り扱う基板取り扱い装置(但し、露光装置を除く)を使用した基板取り扱い方法であって、
プラテンは、基板を真空吸着するための基板用真空吸着孔と、プラテン用基板貼り付き防止フィルムを真空吸着するためのフィルム用真空吸着孔とを有していて、基板用真空吸着孔とフィルム用真空吸着孔とは、互いに別系統の排気路に連通しており、
プラテン用基板貼り付き防止フィルムには、基板用真空吸着孔を通してプラテンが基板を真空吸着するのを阻害しないようにするための基板吸着穴が、プラテンの基板用真空吸着孔に対応する位置に設けられているとともに、プラテンに対する位置ずれを検出するためのマークが基板吸着穴を外れた位置に設けられており、
フィルム用真空吸着孔を通した吸引は、基板の取り扱い中に加えて取り扱いが終了した後に基板をプラテンから搬出する際にも継続される方法であり、
プラテン用基板貼り付き防止フィルムのプラテンへの真空吸着力はプラテン用基板貼り付き防止フィルムの基板への貼り付き力よりも大きくて基板をプラテンから搬出する際にもプラテン用基板貼り付き防止フィルムはプラテンに真空吸着された状態が維持されることを特徴とする基板取り扱い方法。 - プラテン用基板貼り付き防止フィルムで基板載置領域が覆われたプラテンに基板を載置して基板をプラテンに真空吸着した状態で基板を取り扱う基板取り扱い装置(但し、露光装置を除く)を使用した基板取り扱い方法であって、
プラテンは、基板を真空吸着するための基板用真空吸着孔と、プラテン用基板貼り付き防止フィルムを真空吸着するためのフィルム用真空吸着孔とを有しており、
プラテン用基板貼り付き防止フィルムには、基板用真空吸着孔を通してプラテンが基板を真空吸着するのを阻害しないようにするための基板吸着穴が、プラテンの基板用真空吸着孔に対応する位置に設けられているとともに、プラテンに対する位置ずれを検出するためのマークが基板吸着穴を外れた位置に設けられており、
基板取り扱い装置は、基板をプラテンに搬送する搬送系を備えており、
搬送系によりプラテンに基板を搬送する際、搬送前に前記マークがずれていないかセンサにより点検し、ずれている場合には搬送を中止することを特徴とする基板取り扱い方法。 - 基板の搬送前に前記フィルム用真空吸着孔が閉鎖されているか点検し、閉鎖されていない場合には搬送を中止することを特徴とする請求項4記載の基板取り扱い方法。
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