JP6911220B1 - めっき装置、およびめっき処理方法 - Google Patents
めっき装置、およびめっき処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6911220B1 JP6911220B1 JP2021520236A JP2021520236A JP6911220B1 JP 6911220 B1 JP6911220 B1 JP 6911220B1 JP 2021520236 A JP2021520236 A JP 2021520236A JP 2021520236 A JP2021520236 A JP 2021520236A JP 6911220 B1 JP6911220 B1 JP 6911220B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- moving
- substrate
- substrate holder
- elevating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/06—Suspending or supporting devices for articles to be coated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/001—Apparatus specially adapted for electrolytic coating of wafers, e.g. semiconductors or solar cells
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
- C25D21/12—Process control or regulation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/002—Cell separation, e.g. membranes, diaphragms
Abstract
Description
図1は、本実施形態のめっき装置の全体構成を示す斜視図である。図2は、本実施形態のめっき装置の全体構成を示す平面図である。図1、2に示すように、めっき装置1000は、ロードポート100、搬送ロボット110、アライナ120、プリウェットモジュール200、プリソークモジュール300、めっきモジュール400、洗浄モジュール500、スピンリンスドライヤ600、搬送装置700、および、制御モジュール800を備える。
次に、めっきモジュール400の構成を説明する。本実施形態における24台のめっきモジュール400は同一の構成であるので、1台のめっきモジュール400のみを説明する。図3は、本実施形態のめっきモジュールの構成を概略的に示す縦断面図である。図3に示すように、めっきモジュール400は、めっき液を収容するためのめっき槽410を備える。めっきモジュール400は、めっき槽410の内部を上下方向に隔てるメンブレン420を備える。めっき槽410の内部はメンブレン420によってカソード領域422とアノード領域424に仕切られる。カソード領域422とアノード領域424にはそれぞれめっき液が充填される。アノード領域424のめっき槽410の底面にはアノード430が設けられる。カソード領域422にはメンブレン420に対向して抵抗体450が配置される。抵抗体450は、基板Wfの被めっき面Wf−aにおけるめっき処理の均一化を図るための部材であり、多数の孔が形成された板状部材によって構成される。めっきモジュール400は、抵抗体450の上部に、めっき液を攪拌するための図示していないパドルを含んでいてもよい。また、めっきモジュール400は、めっき処理によって基板Wfの被めっき面Wf−aに形成されためっき膜厚を計測するためのセンサ455を備える。本実施形態では、センサ455は、抵抗体450の上面の中央に配置されるが、これに限らず、センサ455の配置場所は任意である。
410 めっき槽
430 アノード
440 基板ホルダ
444 水平保持台
446 垂直保持台
448 保持部材
455 センサ
460 回転機構
470 傾斜機構
480 昇降機構
482 昇降リニアガイド
484 昇降駆動部材
490 移動機構
490−1 第1の移動機構
490−2 第2の移動機構
491 第1の駆動部材
492 第1のリニアガイド
493 第1の支持台
494 基台
495 第2の駆動部材
496 第2のリニアガイド
497 第2の支持台
800 制御モジュール
1000 めっき装置
Wf 基板
Wf−a 被めっき面
Claims (6)
- めっき液を収容するためのめっき槽と、
前記めっき槽に収容されためっき液に被めっき面を下方に向けた状態で円板形状の基板を保持するための基板ホルダと、
前記基板ホルダを昇降させるための昇降機構と、
前記基板ホルダの昇降方向に直交する方向に前記基板ホルダを移動させるための移動機構と、を含み、
前記移動機構は、
前記基板ホルダを前記昇降方向に直交する第1の方向に移動させるための第1の移動機構と、
前記基板ホルダを前記昇降方向および前記第1の方向に直交する第2の方向に移動させるための第2の移動機構と、を含み、
前記移動機構は、前記めっき槽の内部に配置された円板形状のアノードの軸心と、前記基板ホルダに保持された基板の軸心と、を合わせるように前記基板ホルダを移動させる、
めっき装置。 - 前記第1の移動機構は、前記第1の方向に伸びる第1のリニアガイドと、第1のリニアガイド上に設けられた第1の支持台と、前記第1の支持台を前記第1のリニアガイドに沿って移動させるための第1の駆動部材と、を含み、
前記第2の移動機構は、前記第2の方向に伸びる第2のリニアガイドと、第2のリニアガイド上に設けられた第2の支持台と、前記第2の支持台を前記第2のリニアガイドに沿って移動させるための第2の駆動部材と、を含み、
前記第1の移動機構および前記第2の移動機構は、基台上に重ねて配置され、
前記昇降機構は、前記第1の支持台または第2の支持台に取り付けられ前記昇降方向に伸びる昇降リニアガイドと、前記基板ホルダを保持する保持部材を前記昇降リニアガイドに沿って移動させるための昇降駆動部材と、を含む、
請求項1に記載のめっき装置。 - めっき処理によって前記基板の前記被めっき面に形成されためっき膜厚を計測するためのセンサをさらに含み、
前記移動機構は、前記センサによって計測されためっき膜厚に基づいて前記基板ホルダを移動させるように構成される、
請求項1または2に記載のめっき装置。 - 前記めっき槽、前記基板ホルダ、前記昇降機構、および前記移動機構を含むめっきモジュールを複数含む、
請求項1から3のいずれか一項に記載のめっき装置。 - めっき槽に収容されためっき液に被めっき面を下方に向けた状態で円板形状の基板を保持するための基板ホルダを、前記基板ホルダの昇降方向に直交する方向に移動させる移動ステップと、
前記基板ホルダを前記めっき槽内に降下させる降下ステップと、
前記めっき槽内に降下された基板ホルダに保持された基板に対してめっき処理を実行するめっきステップと、を含み、
前記移動ステップは、
前記基板ホルダを前記昇降方向に直交する第1の方向に移動させる第1の移動ステップと、
前記基板ホルダを前記昇降方向および前記第1の方向に直交する第2の方向に移動させる第2の移動ステップと、を含み、
前記移動ステップは、前記めっき槽の内部に配置された円板形状のアノードの軸心と、前記基板ホルダに保持された基板の軸心と、を合わせるように前記基板ホルダを移動させる、
めっき処理方法。 - 前記めっきステップによって前記基板の前記被めっき面に形成されためっき膜厚を計測する計測ステップをさらに含み、
前記移動ステップは、前記計測ステップによって計測されためっき膜厚に基づいて前記基板ホルダを移動させる第2の移動ステップを含む、
請求項5に記載のめっき処理方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2020/048113 WO2022137380A1 (ja) | 2020-12-23 | 2020-12-23 | めっき装置、およびめっき処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6911220B1 true JP6911220B1 (ja) | 2021-07-28 |
JPWO2022137380A1 JPWO2022137380A1 (ja) | 2022-06-30 |
Family
ID=76967986
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021520236A Active JP6911220B1 (ja) | 2020-12-23 | 2020-12-23 | めっき装置、およびめっき処理方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220396895A1 (ja) |
JP (1) | JP6911220B1 (ja) |
KR (1) | KR102404458B1 (ja) |
CN (1) | CN114981484B (ja) |
WO (1) | WO2022137380A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102456153B1 (ko) * | 2022-07-22 | 2022-10-19 | 주식회사 에이치테크놀로지 | 도금 장치 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001068952A1 (fr) * | 2000-03-17 | 2001-09-20 | Ebara Corporation | Procede et appareil de plaquage electrolytique |
JP2001316890A (ja) * | 2000-05-08 | 2001-11-16 | Tokyo Electron Ltd | メッキ処理方法及びメッキ処理装置 |
JP2003221700A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-08 | Toppan Printing Co Ltd | 電気めっき装置及びめっき膜の形成方法 |
JP2007046092A (ja) * | 2005-08-09 | 2007-02-22 | Hyomen Shori System:Kk | シート状ワークの銅めっき装置および方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5982132A (en) * | 1997-10-09 | 1999-11-09 | Electroglas, Inc. | Rotary wafer positioning system and method |
JP4664320B2 (ja) * | 2000-03-17 | 2011-04-06 | 株式会社荏原製作所 | めっき方法 |
JP2002212784A (ja) * | 2001-01-12 | 2002-07-31 | Tokyo Electron Ltd | 電解メッキ装置及び電解メッキ方法 |
US20050040049A1 (en) * | 2002-09-20 | 2005-02-24 | Rimma Volodarsky | Anode assembly for plating and planarizing a conductive layer |
JP4423359B2 (ja) * | 2004-01-30 | 2010-03-03 | 株式会社荏原製作所 | めっき方法 |
JP2008019496A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電解めっき装置および電解めっき方法 |
KR20100063248A (ko) * | 2008-12-03 | 2010-06-11 | 주식회사 케이씨텍 | 기판도금장치 및 그 방법 |
KR101242348B1 (ko) * | 2010-11-30 | 2013-03-14 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 도금 장치 |
JP2014051697A (ja) | 2012-09-05 | 2014-03-20 | Mitomo Semicon Engineering Kk | カップ式めっき装置及びこれを用いるめっき方法 |
US20140262028A1 (en) * | 2013-03-13 | 2014-09-18 | Intermolecular, Inc. | Non-Contact Wet-Process Cell Confining Liquid to a Region of a Solid Surface by Differential Pressure |
US20170260641A1 (en) * | 2014-11-25 | 2017-09-14 | Acm Research (Shanghai) Inc. | Apparatus and method for uniform metallization on substrate |
JP6847691B2 (ja) * | 2017-02-08 | 2021-03-24 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置およびめっき装置とともに使用される基板ホルダ |
KR102158908B1 (ko) * | 2018-07-18 | 2020-09-22 | 오성종 | 반도체 웨이퍼의 도금장치 |
-
2020
- 2020-12-23 WO PCT/JP2020/048113 patent/WO2022137380A1/ja active Application Filing
- 2020-12-23 JP JP2021520236A patent/JP6911220B1/ja active Active
- 2020-12-23 US US17/442,864 patent/US20220396895A1/en active Pending
- 2020-12-23 CN CN202080027298.9A patent/CN114981484B/zh active Active
- 2020-12-23 KR KR1020217033189A patent/KR102404458B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001068952A1 (fr) * | 2000-03-17 | 2001-09-20 | Ebara Corporation | Procede et appareil de plaquage electrolytique |
JP2001316890A (ja) * | 2000-05-08 | 2001-11-16 | Tokyo Electron Ltd | メッキ処理方法及びメッキ処理装置 |
JP2003221700A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-08 | Toppan Printing Co Ltd | 電気めっき装置及びめっき膜の形成方法 |
JP2007046092A (ja) * | 2005-08-09 | 2007-02-22 | Hyomen Shori System:Kk | シート状ワークの銅めっき装置および方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20220396895A1 (en) | 2022-12-15 |
KR102404458B1 (ko) | 2022-06-07 |
WO2022137380A1 (ja) | 2022-06-30 |
CN114981484B (zh) | 2023-06-13 |
JPWO2022137380A1 (ja) | 2022-06-30 |
CN114981484A (zh) | 2022-08-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2022190243A1 (ja) | めっき装置、およびめっき方法 | |
JP7133699B2 (ja) | めっき装置、およびめっき方法 | |
JP6911220B1 (ja) | めっき装置、およびめっき処理方法 | |
JP6936422B1 (ja) | めっき装置及び基板の膜厚測定方法 | |
JP7279273B1 (ja) | めっき装置 | |
JP7326647B1 (ja) | 搬送装置および基板処理装置 | |
TWI759133B (zh) | 鍍覆裝置及鍍覆方法 | |
TWI746334B (zh) | 鍍覆裝置及鍍覆處理方法 | |
TW202231939A (zh) | 鍍覆裝置及鍍覆方法 | |
TWI623997B (zh) | 鍍覆裝置及鍍覆方法 | |
JP6632418B2 (ja) | 基板処理システムおよび基板処理方法 | |
JP2022059253A (ja) | めっき装置及びめっき方法 | |
KR102493757B1 (ko) | 도금 장치 | |
CN107564837B (zh) | 用于处理基板的装置和方法 | |
CN114787428B (zh) | 调整镀覆模块的方法 | |
JP6990342B1 (ja) | 基板の接液方法、およびめっき装置 | |
TWI806408B (zh) | 鍍覆裝置及鍍覆方法 | |
KR102602975B1 (ko) | 도금 장치 및 도금 방법 | |
WO2023062778A1 (ja) | プリウェット処理方法 | |
KR102556683B1 (ko) | 도금 장치 | |
WO2023079684A1 (ja) | めっき装置、及びめっき装置の製造方法 | |
JP2022127862A (ja) | めっき装置及びめっき液の液面調整方法 | |
TW202409358A (zh) | 鍍覆裝置及鍍覆方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210412 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210412 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20210412 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20210428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210604 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210615 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210625 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210707 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6911220 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |