JP6847691B2 - めっき装置およびめっき装置とともに使用される基板ホルダ - Google Patents
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Description
電流を供給するための第1給電機構と、基板の裏面に電流を供給するための第2給電機構と、を有する。形態2によれば、基板の表面と裏面とで独立に電流を制御することができる。
転させることで、ホルダ保持部をシールすることができる。
よび前記第2めっき液は、独立して制御される。
を添付図面とともに説明する。添付図面において、同一または類似の要素には同一または類似の参照符号が付され、各実施形態の説明において同一または類似の要素に関する重複する説明は省略することがある。また、各実施形態で示される特徴は、互いに矛盾しない限り他の実施形態にも適用可能である。なお、本明細書において「基板」には、半導体基板、ガラス基板、プリント回路基板だけでなく、磁気記録媒体、磁気記録センサ、ミラー、光学素子や微小機械素子、あるいは部分的に製作された集積回路を含む。
浄液(例えば、純水)で洗浄される。
12は各処理槽のアーム受け部材(図示しない)の上に配置される。本実施形態では、めっき槽10a〜10cは電解めっき槽であるため、アーム部112に設けられた給電接点(コネクタ部)114がめっき槽10のアーム受け部材に設けられた電気接点14(図3A参照)に接触すると、外部電源から基板Wの表面および裏面に電流が供給される。図2に示される基板ホルダ11において、給電接点114はアーム部112に2つ設けられており、一方の給電接点114aは基板Wの表面に電流を供給するためのものであり、他方の給電接点114bは、基板Wの裏面に電流を供給するためのものである。
示している。なお、ガイド凹部17の表面に接触状態を検知するための接触センサを設けて、シールが適切に行われているかを検知するようにしてもよい。シールが適切に行われていなければ、袋体117から気体を抜いて、再び空気を供給しなおしてもよい。
ダ30bとの間の距離を変更可能に構成してもよい。
、袋体117を拡張させることができる。図9Cは、基板ホルダ11がめっき槽10に挿入され、シール部材116でめっき槽10のガイド凹部17をシールする前の状態を示す図である。図9Dは、図9Cに示される状態から回転軸118を約90度回転させて、めっき槽10のガイド凹部17をシールした状態を示す図である。なお、ガイド凹部17の表面に接触状態を検知するための接触センサを設けて、シールが適切に行われているかを検知するようにしてもよい。シールが適切に行われていなければ、回転軸118を回転させてシールが適切に行われるように調整してもよい。なお、図9A〜図9Dに示されるシール部材を採用する場合、図3Aで示される給気接点115a、115bおよび気体供給接点15a、15bは不要になる。
アノードマスク32の開口33の大きさ、中間マスクの開口の大きさ、めっき液の温度などは、所定のレシピに従って調整される。なお、めっき処理中は、図6Aとともに説明しためっき液の循環機構によりめっき液を循環させるようにしてもよい。
10a…第1部分
10b…第2部分
11…基板ホルダ
14a…電気接点
14b…電気接点
15a…気体供給接点
15b…気体供給接点
16…外槽
16a…第1部分
16b…第2部分
18a…仕切部材
18b…仕切部材
17…ガイド凹部(ホルダ保持部)
103…制御部
116…シール部材
117…袋体
118…回転軸
119…くさび部材
202a…第1循環ライン
202b…第2循環ライン
206a…第1ポンプ
206b…第2ポンプ
208a…第1温度制御装置
208b…第2温度制御装置
210a…第1フィルタ
210b…第2フィルタ
250a…第1バッファタンク
250b…第2バッファタンク
252a…第1バッファライン
252b…第2バッファライン
W…基板
Claims (14)
- めっき処理中にめっき対象物である基板を保持するための基板ホルダであって、
第1開口部および第2開口部を備える、基板を保持するための本体部を有し、
前記本体部は、前記本体部に基板が保持されたときに、前記第1開口部により基板の表面の被めっき領域が露出され、前記第2開口部により基板の裏面の被めっき領域が露出される、ように構成され、
前記本体部の外周部の少なくとも一部に前記外周部から突出するシール部を有し、
前記シール部は、回転可能なくさび部材を有する、
基板ホルダ。 - 請求項1に記載の基板ホルダであって、さらに、
基板の表面に電流を供給するための第1給電機構と、
基板の裏面に電流を供給するための第2給電機構と、を有する、
基板ホルダ。 - 請求項1または2に記載の基板ホルダであって、
前記シール部は、(1)パラキシリレンを含むコーティングが施された弾性部材、(2)ポリフッ化ビニリデン(PVDF)を含む弾性部材、(3)ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)を含む弾性部材、(4)ポリフッ化ビニリデン(PVDF)およびポリテトラフルオロエチレン(PTFE)の少なくとも一方を含む共重合体を含む弾性部材、および、(5)2液性のフッ素ゴム系シール材からなる弾性部材、からなる群から選択される少なくとも1つを含む、
基板ホルダ。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の基板ホルダであって、
前記シール部は、基板ホルダがめっき槽に配置されたときに、めっき槽のホルダ保持部に対応する位置に設けられている、
基板ホルダ。 - めっき装置であって、
めっき液を保持するためのめっき槽と、
めっき対象物である基板を保持するための基板ホルダと、を有し、
前記基板ホルダは、第1開口部および第2開口部を備える、基板を保持するための本体部を有し、
前記本体部は、前記本体部に基板が保持されたときに、前記第1開口部により基板の表面の被めっき領域が露出し、前記第2開口部により基板の裏面の被めっき領域が露出する、ように構成され、
前記本体部の外周部の少なくとも一部に前記外周部から突出するシール部を有し、
前記めっき槽は、前記基板ホルダの前記シール部を受け入れるホルダ保持部を有し、
前記シール部が前記めっき槽の前記ホルダ保持部に受け入れられたときに、基板および前記基板ホルダにより前記めっき槽が第1部分および第2部分に区画されるように構成され、
前記シール部は、回転可能なくさび部材を有する、
めっき装置。 - 請求項5に記載のめっき装置であって、前記基板ホルダは、
基板の表面に電流を供給するための第1給電機構と、
基板の裏面に電流を供給するための第2給電機構と、を有する、
めっき装置。 - 請求項5または6に記載のめっき装置であって、前記ホルダ保持部は、接触センサを有する、
めっき装置。 - 請求項5乃至7のいずれか一項に記載のめっき装置であって、
前記めっき槽から溢れためっき液を受け取る外槽を有する、
めっき装置。 - 請求項8に記載のめっき装置であって、
前記外槽は、前記外槽を第1部分および第2部分に区画するための、取り外し可能な仕切部材を有する、
めっき装置。 - 請求項9に記載のめっき装置であって、前記めっき槽の前記第1部分から溢れためっき液は、前記外槽の第1部分に受け入れられ、前記めっき槽の前記第2部分から溢れためっき液は、前記外槽の第2部分に受け入れられる、
めっき装置。 - 請求項10に記載のめっき装置であって、
めっき液を前記外槽の第1部分から前記めっき槽の第1部分へ循環させるための第1循環機構と、
めっき液を前記外槽の第2部分から前記めっき槽の第2部分へ循環させるための第2循環機構と、を有する、
めっき装置。 - 請求項5乃至11のいずれか一項に記載のめっき装置であって、
前記めっき槽の第1部分のめっき液を一時的に貯留するための第1バッファタンクと、
前記めっき槽の第2部分のめっき液を一時的に貯留するための第2バッファタンクと、を有する、
めっき装置。 - めっき装置であって、
めっき液を保持するためのめっき槽と、
めっき対象物である基板を保持するための基板ホルダと、を有し、
前記基板ホルダは、第1開口部および第2開口部を備える、基板を保持するための本体部を有し、
前記本体部は、前記本体部に基板が保持されたときに、前記第1開口部により基板の表面の被めっき領域が露出し、前記第2開口部により基板の裏面の被めっき領域が露出する、ように構成され、
前記本体部の外周部の少なくとも一部に前記外周部から突出するシール部を有し、
前記めっき槽は、前記基板ホルダの前記シール部を受け入れるホルダ保持部を有し、
前記シール部が前記めっき槽の前記ホルダ保持部に受け入れられたときに、基板および前記基板ホルダにより前記めっき槽が第1部分および第2部分に区画されるように構成され、
前記ホルダ保持部は、接触センサを有する、
めっき装置。 - めっき装置であって、
めっき液を保持するためのめっき槽と、
めっき対象物である基板を保持するための基板ホルダと、を有し、
前記基板ホルダは、第1開口部および第2開口部を備える、基板を保持するための本体部を有し、
前記本体部は、前記本体部に基板が保持されたときに、前記第1開口部により基板の表面の被めっき領域が露出し、前記第2開口部により基板の裏面の被めっき領域が露出する、ように構成され、
前記本体部の外周部の少なくとも一部に前記外周部から突出するシール部を有し、
前記めっき槽は、前記基板ホルダの前記シール部を受け入れるホルダ保持部を有し、
前記シール部が前記めっき槽の前記ホルダ保持部に受け入れられたときに、基板および前記基板ホルダにより前記めっき槽が第1部分および第2部分に区画されるように構成され、
前記めっき槽から溢れためっき液を受け取る外槽を有し、
前記外槽は、前記外槽を第1部分および第2部分に区画するための、取り外し可能な仕切部材を有する、
めっき装置。
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