KR102602975B1 - 도금 장치 및 도금 방법 - Google Patents

Abstract

기판의 특정한 부위를 원하는 타이밍에 차폐할 수 있으며, 또한 도금막 두께의 균일화를 향상시킨다.
도금 모듈은, 도금액을 수용하기 위한 도금조(410)와, 도금조(410) 내에 배치된 애노드(430)와, 피도금면(Wf-a)이 하방을 향한 상태에서 기판(Wf)을 보유 지지하기 위한 기판 홀더(440)와, 기판 홀더(440)를 제1 방향 및 제1 방향과는 반대인 제2 방향으로 회전시키도록 구성된 회전 기구(447)와, 기판 홀더(440)의 회전 각도에 따라서 차폐 부재(481)를 애노드(430)와 기판(Wf) 사이로 이동시키는 차폐 기구(485)를 포함한다.

Description

도금 장치 및 도금 방법

본원은, 도금 장치 및 도금 방법에 관한 것이다.

도금 장치의 일례로서 컵식의 전해 도금 장치가 알려져 있다. 컵식의 전해 도금 장치는, 피도금면이 하방을 향해 기판 홀더에 보유 지지된 기판(예를 들어 반도체 웨이퍼)을 도금액에 침지시키고, 기판과 애노드 사이에 전압을 인가함으로써, 기판의 표면에 도전막을 석출시킨다.

컵식의 전해 도금 장치에서는, 차폐 부재를 사용하여 애노드와 기판 사이에 형성되는 전기장을 차폐하는 것이 알려져 있다. 예를 들어 특허문헌 1에는, 기판의 특정한 부위가 소정의 회전 각도의 범위 내에 회전하였을 때, 차폐 부재를 기판의 특정한 부위와 애노드 사이로 이동시킴으로써, 원하는 타이밍에만 기판의 특정한 부위를 차폐하는 전해 도금 장치가 개시되어 있다.

일본 특허 6901646호 공보

그러나, 종래 기술의 전해 도금 장치에는, 기판의 특정한 부위를 원하는 타이밍에 차폐하면서, 도금조에 수용된 도금액의 교반력을 높임으로써 도금막 두께를 균일화하고자 하는 요구가 있다.

즉, 종래 기술은, 일정한 회전 속도로 일방향으로 기판 홀더를 회전시키므로, 기판의 특정한 부위가 차폐되는 시간이 고정된다. 이런한 점에서, 예를 들어 기판의 특정한 부위를 보다 오랜 시간 차폐하고자 할 경우에는, 기판의 특정한 부위가 소정의 회전 각도의 범위 내를 회전하고 있을 때에 기판 홀더의 회전 속도를 감속시키는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 기판 홀더의 회전 속도를 감속시키면, 도금조에 수용된 도금액의 교반력이 약해지고, 그 결과, 피도금면에 형성되는 도금막 두께의 균일화가 저해될 우려가 있다.

그래서, 본원은, 기판의 특정한 부위를 원하는 타이밍에 차폐할 수 있으며, 또한 도금막 두께의 균일화를 향상시킬 수 있는 도금 장치 및 도금 방법을 실현하는 것을 하나의 목적으로 하고 있다.

일 실시 형태에 의하면, 도금액을 수용하기 위한 도금조와, 상기 도금조 내에 배치된 애노드와, 피도금면이 하방을 향한 상태에서 기판을 보유 지지하기 위한 기판 홀더와, 상기 기판 홀더를 제1 방향 및 상기 제1 방향과는 반대인 제2 방향으로 회전시키도록 구성된 회전 기구와, 상기 기판 홀더의 회전 각도에 따라서 차폐 부재를 상기 애노드와 상기 기판 사이로 이동시키는 차폐 기구를 포함하는, 도금 장치가 개시된다.

도 1은, 본 실시 형태의 도금 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는, 본 실시 형태의 도금 장치의 전체 구성을 나타내는 평면도이다.
도 3은, 일 실시 형태의 도금 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 종단면도이며, 차폐 부재가 퇴피 위치로 이동한 상태를 나타내고 있다.
도 4는, 일 실시 형태의 도금 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 종단면도이며, 차폐 부재가 차폐 위치로 이동한 상태를 나타내고 있다.
도 5는, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 6은, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 7은, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 8은, 기판의 특정한 부위를 차폐하는 타이밍과 기판 홀더의 회전 속도의 관계를 나타내는 도면이다.
도 9는, 기판의 특정한 부위를 차폐하는 타이밍과 기판 홀더의 회전 속도의 관계를 나타내는 도면이다.
도 10은, 기판의 특정한 부위를 차폐하는 타이밍과 기판 홀더의 회전 속도의 관계를 나타내는 도면이다.
도 11은, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 12는, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 13은, 일 실시 형태의 차폐 기구의 일부 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 14는, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 15는, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 16은, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 17은, 일 실시 형태의 도금 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 종단면도이며, 차폐 부재가 퇴피된 상태를 나타내고 있다.
도 18은, 일 실시 형태의 도금 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 상면도이며, 차폐 부재가 퇴피된 상태를 나타내고 있다.
도 19는, 일 실시 형태의 도금 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 종단면도이며, 차폐 부재가 애노드와 기판 사이로 이동한 상태를 나타내고 있다.
도 20은, 일 실시 형태의 도금 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 상면도이며, 차폐 부재가 애노드와 기판 사이로 이동한 상태를 나타내고 있다.
도 21은, 일 실시 형태의 도금 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 종단면도이다.
도 22는, 일 실시 형태의 도금 모듈을 사용한 도금 방법의 흐름도이다.
도 23은, 일 실시 형태의 도금 모듈을 사용한 도금 방법의 흐름도이다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 이하에서 설명하는 도면에 있어서, 동일하거나 또는 상당하는 구성 요소에는, 동일한 부호를 부여하여 중복된 설명을 생략한다.

<도금 장치의 전체 구성>

도 1은, 본 실시 형태의 도금 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다. 도 2는, 본 실시 형태의 도금 장치의 전체 구성을 나타내는 평면도이다. 도 1, 2에 나타내는 바와 같이, 도금 장치(1000)는, 로드 포트(100), 반송 로봇(110), 얼라이너(120), 프리웨트 모듈(200), 프리소크 모듈(300), 도금 모듈(400), 세정 모듈(500), 스핀 린스 드라이어(600), 반송 장치(700) 및 제어 모듈(800)을 구비한다.

로드 포트(100)는, 도금 장치(1000)에 도시하지 않은 FOUP 등의 카세트에 수납된 기판을 반입하거나, 도금 장치(1000)로부터 카세트에 기판을 반출하기 위한 모듈이다. 본 실시 형태에서는 4대의 로드 포트(100)가 수평 방향으로 배열하여 배치되어 있지만, 로드 포트(100)의 수 및 배치는 임의이다. 반송 로봇(110)은 기판을 반송하기 위한 로봇이며, 로드 포트(100), 얼라이너(120), 프리웨트 모듈(200) 및 스핀 린스 드라이어(600) 사이에서 기판을 주고 받게 구성된다. 반송 로봇(110) 및 반송 장치(700)는, 반송 로봇(110)과 반송 장치(700) 사이에서 기판을 주고 받을 때에는, 도시하지 않은 가배치대를 통해 기판의 수수를 행할 수 있다.

얼라이너(120)는, 기판의 오리엔테이션 플랫이나 노치 등의 위치를 소정의 방향으로 맞추기 위한 모듈이다. 본 실시 형태에서는 2대의 얼라이너(120)가 수평 방향으로 배열하여 배치되어 있지만, 얼라이너(120)의 수 및 배치는 임의이다. 프리웨트 모듈(200)은, 도금 처리 전의 기판의 피도금면을 순수 또는 탈기수 등의 처리액으로 적심으로써, 기판 표면에 형성된 패턴 내부의 공기를 처리액으로 치환한다. 프리웨트 모듈(200)은, 도금 시에 패턴 내부의 처리액을 도금액으로 치환함으로써 패턴 내부에 도금액을 공급하기 쉽게 하는 프리웨트 처리를 실시하도록 구성된다. 본 실시 형태에서는 2대의 프리웨트 모듈(200)이 상하 방향으로 배열하여 배치되어 있지만, 프리웨트 모듈(200)의 수 및 배치는 임의이다.

프리소크 모듈(300)은, 예를 들어 도금 처리 전의 기판의 피도금면에 형성한 시드층 표면 등에 존재하는 전기 저항이 큰 산화막을 황산이나 염산 등의 처리액으로 에칭 제거하여 도금 하지 표면을 세정 또는 활성화하는 프리소크 처리를 실시하도록 구성된다. 본 실시 형태에서는 2대의 프리소크 모듈(300)이 상하 방향으로 배열하여 배치되어 있지만, 프리소크 모듈(300)의 수 및 배치는 임의이다. 도금 모듈(400)은 기판에 도금 처리를 실시한다. 본 실시 형태에서는, 상하 방향으로 3대 또한 수평 방향으로 4대 배열하여 배치된 12대의 도금 모듈(400)의 세트가 2개 있고, 합계 24대의 도금 모듈(400)이 마련되어 있지만, 도금 모듈(400)의 수 및 배치는 임의이다.

세정 모듈(500)은, 도금 처리 후의 기판에 남은 도금액 등을 제거하기 위해 기판에 세정 처리를 실시하도록 구성된다. 본 실시 형태에서는 2대의 세정 모듈(500)이 상하 방향으로 배열하여 배치되어 있지만, 세정 모듈(500)의 수 및 배치는 임의이다. 스핀 린스 드라이어(600)는 세정 처리 후의 기판을 고속 회전시켜 건조시키기 위한 모듈이다. 본 실시 형태에서는 2대의 스핀 린스 드라이어가 상하 방향으로 배열하여 배치되어 있지만, 스핀 린스 드라이어의 수 및 배치는 임의이다. 반송 장치(700)는, 도금 장치(1000) 내의 복수의 모듈간에서 기판을 반송하기 위한 장치이다. 제어 모듈(800)은 도금 장치(1000)의 복수의 모듈을 제어하도록 구성되고, 예를 들어 오퍼레이터와의 사이의 입출력 인터페이스를 구비하는 일반적인 컴퓨터 또는 전용 컴퓨터로 구성할 수 있다.

도금 장치(1000)에 의한 일련의 도금 처리의 일례를 설명한다. 먼저, 로드 포트(100)에 카세트에 수납된 기판이 반입된다. 계속해서, 반송 로봇(110)은 로드 포트(100)의 카세트로부터 기판을 취출하고, 얼라이너(120)에 기판을 반송한다. 얼라이너(120)는 기판의 오리엔테이션 플랫이나 노치 등의 위치를 소정의 방향으로 맞춘다. 반송 로봇(110)은 얼라이너(120)로 방향을 맞춘 기판을 프리웨트 모듈(200)에 넘겨준다.

프리웨트 모듈(200)은 기판에 프리웨트 처리를 실시한다. 반송 장치(700)는, 프리웨트 처리가 실시된 기판을 프리소크 모듈(300)에 반송한다. 프리소크 모듈(300)은 기판에 프리소크 처리를 실시한다. 반송 장치(700)는 프리소크 처리가 실시된 기판을 도금 모듈(400)에 반송한다. 도금 모듈(400)은 기판에 도금 처리를 실시한다.

반송 장치(700)는, 도금 처리가 실시된 기판을 세정 모듈(500)에 반송한다. 세정 모듈(500)은 기판에 세정 처리를 실시한다. 반송 장치(700)는, 세정 처리가 실시된 기판을 스핀 린스 드라이어(600)에 반송한다. 스핀 린스 드라이어(600)는 기판에 건조 처리를 실시한다. 반송 로봇(110)은 스핀 린스 드라이어(600)로부터 기판을 수취하고, 건조 처리를 실시한 기판을 로드 포트(100)의 카세트에 반송한다. 마지막으로, 로드 포트(100)로부터 기판을 수납한 카세트가 반출된다.

<도금 모듈의 구성>

이어서, 도금 모듈(400)의 구성을 설명한다. 본 실시 형태에 있어서의 24대의 도금 모듈(400)은 동일한 구성이므로, 1대의 도금 모듈(400)만을 설명한다. 도 3은, 일 실시 형태의 도금 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 종단면도이며, 차폐 부재가 애노드와 기판 사이에서 이격된 위치(적절히 「퇴피 위치」라고 함)로 이동한 상태를 나타내고 있다. 도 4는, 일 실시 형태의 도금 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 종단면도이며, 차폐 부재가 애노드와 기판 사이의 위치(적절히 「차폐 위치」라고 함)로 이동한 상태를 나타내고 있다.

도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 도금 모듈(400)은 도금액을 수용하기 위한 도금조(410)를 구비한다. 도금 모듈(400)은 도금조(410)의 내부를 상하 방향으로 이격하는 멤브레인(420)을 구비한다. 도금조(410)의 내부는 멤브레인(420)에 의해 캐소드 영역(422)과 애노드 영역(424)으로 구획된다.

캐소드 영역(422)과 애노드 영역(424)에는 각각 도금액이 충전된다. 도금 모듈(400)은, 캐소드 영역(422)을 향하여 개구된 노즐(426)과, 노즐(426)을 통해 캐소드 영역(422)에 도금액을 공급하기 위한 공급원(428)을 구비한다. 도금 모듈(400)은, 애노드 영역(424)에 대해서도 마찬가지로, 애노드 영역(424)에 도금액을 공급하기 위한 기구를 구비하지만 도시를 생략한다. 애노드 영역(424)의 도금조(410)의 저면에는 애노드(430)가 마련된다. 캐소드 영역(422)에는 멤브레인(420)에 대향하여 저항체(450)가 배치된다. 저항체(450)는, 기판(Wf)의 피도금면(Wf-a)에 있어서의 도금 처리의 균일화를 도모하기 위한 부재이며, 다수의 구멍이 형성된 판상 부재에 의해 구성된다.

또한, 도금 모듈(400)은, 피도금면(Wf-a)이 하방을 향한 상태에서 기판(Wf)을 보유 지지하기 위한 기판 홀더(440)를 구비한다. 기판 홀더(440)는, 도시하지 않은 전원으로부터 기판(Wf)에 급전하기 위한 급전 접점을 구비한다. 기판 홀더(440)는, 기판(Wf)의 피도금면(Wf-a)의 외연부를 지지하기 위한 시일링 홀더(442)와, 시일링 홀더(442)를 도시하지 않은 기판 홀더 본체에 보유 지지하기 위한 프레임(446)을 구비한다. 또한, 기판 홀더(440)는, 기판(Wf)의 피도금면(Wf-a)의 이면을 압박하기 위한 백 플레이트(444)와, 백 플레이트(444)의 기판 압박면의 이면에 설치된 샤프트(448)를 구비한다.

도금 모듈(400)은, 기판 홀더(440)를 승강시키기 위한 승강 기구(443)와, 샤프트(448)의 가상축(피도금면(Wf-a)의 중앙을 수직으로 뻗은 가상적인 회전축) 둘레에 기판(Wf)이 회전하도록 기판 홀더(440)를 회전시키기 위한 회전 기구(447)를 구비한다. 회전 기구(447)는, 기판 홀더(440)를 제1 방향(예를 들어 시계 방향) 및 제1 방향과는 반대인 제2 방향(반시계 방향)으로 회전시키도록 구성되어 있다. 바꾸어 말하면, 회전 기구(447)는, 기판 홀더(440)를 제1 방향으로 회전시킬 수 있음과 함께, 회전 방향을 전환하여 기판 홀더(440)를 제2 방향으로 회전시킬 수 있다. 승강 기구(443) 및 회전 기구(447)는, 예를 들어 모터 등의 공지된 기구에 의해 실현할 수 있다. 도금 모듈(400)은, 승강 기구(443)를 사용하여 기판(Wf)을 캐소드 영역(422)의 도금액에 침지시키고, 애노드(430)와 기판(Wf) 사이에 전압을 인가함으로써, 기판(Wf)의 피도금면(Wf-a)에 도금 처리를 실시하도록 구성된다.

도금 모듈(400)은, 애노드(430)와 기판(Wf) 사이에 배치되었을 때에 애노드(430)와 기판(Wf) 사이에 형성되는 전기장을 차폐하기 위한 차폐 부재(481)를 구비한다. 차폐 부재(481)는 예를 들어 판상으로 형성된 차폐판이어도 된다. 또한, 도금 모듈(400)은, 차폐 부재(481)를 이동시키기 위한 차폐 기구(485)를 구비한다. 차폐 기구(485)는, 제어 모듈(800)로부터 입력되는 기판 홀더(440)의 회전 각도에 관한 정보에 기초하는 지령 신호에 따라서 동작하도록 구성된다. 구체적으로는, 차폐 기구(485)는, 기판(Wf)의 특정한 부위의 회전 각도가 소정 범위 외에 있을 때는, 차폐 부재(481)를, 도 3에 나타내는 바와 같이 퇴피 위치로 이동시키도록 구성된다. 또한, 차폐 기구(485)는, 기판(Wf)의 특정한 부위의 회전 각도가 소정 범위 내에 있을 때는, 차폐 부재(481)를, 도 4에 나타내는 바와 같이 차폐 위치로 이동시키도록 구성된다. 즉, 차폐 기구(485)는, 기판 홀더(440)의 회전 각도에 따라서 차폐 부재(481)를 퇴피 위치와 차폐 위치 사이에서 직동시키도록 구성된다. 이하, 차폐 기구(485)의 구체예를 설명한다.

도 5는, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다. 도 6은, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다. 도 7은, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 7의 (a)는, 차폐 부재(481)가 퇴피 위치에 있는 상태를 나타내고, 도 7의 (b)는, 차폐 부재(481)가 차폐 위치에 있는 상태를 나타내고 있다.

도 5 내지 도 7에 나타내는 바와 같이, 차폐 기구(485)는, 캠 부재(487)와, 캠 부재(487)를 회전시키도록 구성된 회전 구동 기구(486)와, 캠 부재(487)의 회전에 수반하여 차폐 부재(481)를 차폐 위치와 퇴피 위치 사이에서 직동시키도록 구성된 종동 부재(488)를 구비한다. 회전 구동 기구(486)는, 예를 들어 회전 모터 등의 공지된 기구에 의해 실현할 수 있다.

캠 부재(487)는, 회전 구동 기구(486)에 의해 회전하도록 구성된 캠 본체(487b)와, 캠 본체(487b)에 설치된 로터(487a)를 갖는다. 로터(487a)는, 회전 구동 기구(486)의 회전축에 대하여 편심된 위치에서 캠 본체(487b)에 설치되어 있다.

종동 부재(488)는, 받침대(490-1) 상에 배치된 종동 슬라이더(489)와, 종동 슬라이더(489)를 안내하도록 구성된 직동 가이드(490-2)를 구비한다. 받침대(490-1)의 상면에는, 차폐 부재(481)의 차폐 위치와 퇴피 위치 사이의 직동 방향과 동일한 방향에 따라서 홈(490-1a)이 형성되어 있다. 종동 슬라이더(489)는, 홈(490-1a)에 배치된 직동 가이드(490-2)를 통해 받침대(490-1) 상에 배치되어 있다. 직동 가이드(490-2)는, 종동 슬라이더(489)를 홈(490-1a)에 따라서 안내하도록 구성되어 있다. 이에 의해, 종동 슬라이더(489)는, 홈(490-1a)의 방향으로 왕복 이동 가능하도록 되어 있다. 종동 슬라이더(489)는, 캠 부재(487)를 끼워서 회전 구동 기구(486)와 대향하여 배치되어 있다. 종동 슬라이더(489)의 회전 구동 기구(486)와의 대향면에는, 연직 방향에 따라서 캠 홈(489a)이 형성되어 있다. 캠 홈(489a)에는 캠 부재(487)의 로터(487a)가 감입되어 있다. 차폐 부재(481)는, 연직 방향으로 뻗은 판상의 브래킷(483)을 통해 종동 슬라이더(489)에 설치되어 있다.

회전 구동 기구(486)가 캠 부재(487)(캠 본체(487b))를 회전시키면, 로터(487a)는 회전 구동 기구(486)의 회전축 둘레로 회전한다. 이 때 로터(487a)는 캠 홈(489a)의 측면을 압박한다. 이에 의해, 종동 슬라이더(489)는 홈(490-1a)에 따라서 이동한다. 도 5 및 도 6에 나타내는 상태(퇴피 위치)로부터 캠 부재(487)를 반회전(180° 회전)시키면, 종동 슬라이더(489)는 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 이동시킨다. 회전 구동 기구(486)가 이 상태에서 캠 부재(487)의 회전을 정지하면, 차폐 부재(481)는 차폐 위치로 이동한 채로 된다. 한편, 회전 구동 기구(486)가 이 상태에서 캠 부재(487)를 추가로 반회전(180° 회전)시키면, 종동 슬라이더(489)는 차폐 부재(481)를 퇴피 위치로 이동시킨다. 즉, 종동 슬라이더(489)는, 캠 부재(487)의 회전에 수반하여 홈(490-1a)에 따라서 왕복 운동함으로써, 차폐 부재(481)를 차폐 위치와 퇴피 위치 사이에서 직동시킬 수 있다.

회전 구동 기구(486)는, 기판 홀더(440)의 회전 각도에 따라서 캠 부재(487)를 회전시키도록 구성되어 있다. 즉, 회전 구동 기구(486)는, 기판(Wf)의 특정한 부위가 소정 각도 범위 내로 회전하였을 때에 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 압출하도록 캠 부재(487)를 회전시킬 수 있다.

도 8은, 기판의 특정한 부위를 차폐하는 타이밍과 기판 홀더의 회전 속도의 관계를 나타내는 도면이다. 도 8의 그래프의 횡축은, 기판(Wf)의 특정한 부위의 회전 위치를 나타내고, 종축은, 차폐 부재의 위치(차폐 위치 또는 퇴피 위치) 및 기판 홀더(440)의 회전 속도(회전 방향)를 나타내고 있다. 도 8은, 기판 홀더를 제1 방향(시계 방향)으로 일정한 속도로 회전시킨 경우의 차폐 부재의 위치와 기판 홀더의 회전 속도를 나타내고 있다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 기판(Wf)에는 노치(절결)(Wf-n)가 형성되어 있다. 본 예에서는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 노치(Wf-n)의 위치를 기준(θ=0)으로 한 경우에, θ=θ1 내지 θ=θ2의 범위 내의 주연부에 도금의 퇴적 속도를 억제하고자 하는 특정한 부위 α가 존재하고 있는 것으로 한다. 또한, 도금 처리를 개시하는 초기 상태에 있어서, 기판(Wf)은, 도 8에 나타내는 바와 같이 차폐 부재(481)의 중심에 노치(Wf-n)가 겹치게 배치되고, 그 상태에서 회전하기 시작하는 것으로 한다. 특정한 부위 α, θ1 및 θ2는, 차폐 부재(481)의 형상, 특정한 부위 α의 형상, 및 도금의 퇴적 속도의 억제 필요 강도에 의해 결정할 수 있다. 그 때문에, θ1, θ2와 특정한 부위 α의 관계는, θ1, θ2가 특정한 부위 α 내에 있어도 되고, 특정한 부위 α의 경계 상이어도 되고, 특정한 부위 α로부터 이격되어 있어도 된다.

회전 기구(447)는, 도 8 중에 화살표 A로 나타내는 바와 같이, 기판 홀더(440)를 소정의 속도로 제1 방향으로 회전시킨다. 차폐 기구(485)(회전 구동 기구(486))는, 기판(Wf)의 θ1의 위치가 차폐 부재(481)의 중심에 왔을 때(기판 홀더(440) 또는 특정한 부위 α의 회전 각도가 θ1일 때)에, 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 압출한다. 계속해서, 차폐 기구(485)(회전 구동 기구(486))는, 기판(Wf)의 θ2의 위치가 차폐 부재(481)의 중심에 왔을 때(특정한 부위 α의 회전 각도가 θ2일 때)에, 차폐 부재(481)를 퇴피 위치로 복귀시킨다. 이와 같이, 차폐 기구(485)는, 기판(Wf)의 특정한 부위 α의 회전 각도가 θ1 내지 θ2의 범위 내에 있을 때, 차폐 부재(481)를 애노드(430)와 기판(Wf)의 특정한 부위 α 사이로 이동시키도록 구성되어 있다.

본 실시 형태에 따르면, 기판(Wf)의 특정한 부위 α를 차폐 부재(481)에 의해 원하는 타이밍에 덮을 수 있다. 즉, 본 실시 형태에 따르면, 항상 특정한 부위 α를 차폐 부재(481)로 덮는 것은 아니고, 원하는 타이밍에 특정한 부위 α를 차폐 부재(481)로 덮을 수 있으므로, 특정한 부위 α에 있어서의 전기장을 적절하게 억제하고, 그 결과, 특정한 부위 α의 도금의 퇴적 속도를 억제할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 특정한 부위 α의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때에 특정한 부위 α를 차폐 부재(481)로 덮는 예를 나타내었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 특정한 부위 α에 있어서의 도금의 퇴적 속도를 높이고자 할 경우에는, 특정한 부위 α의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때에 차폐 부재(481)를 퇴피시키고, 특정한 부위 α의 회전 각도가 소정의 범위 외에 있을 때에 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 이동시킬 수도 있다.

또한, 도 7 등에 나타내는 바와 같이, 차폐 부재(481)는, 원판 형상의 기판(Wf)의 주연부의 일부에 대응하는 원호 형상을 갖는 마스크 부재(481a)를 갖는다. 특정한 부위 α는 기판(Wf)의 주연부에 원호상으로 형성되는 경우가 있으므로, 원호 형상의 마스크 부재(481a)를 사용하여 기판(Wf)의 특정한 부위 α를 덮음으로써, 특정한 부위 α만을 적절하게 덮을 수 있다. 이 점은 이하의 실시 형태에서도 마찬가지이다.

이것에 더하여 본 실시 형태에서는, 회전 기구(447)는, 기판(Wf)의 특정한 부위 α의 회전 각도가 소정의 범위 내(θ1 내지 θ2 사이)에 있을 때에 기판 홀더(440)의 회전 방향을 제1 방향과 제2 방향 사이에서 전환하도록 구성되어 있다.

도 9는, 기판의 특정한 부위를 차폐하는 타이밍과 기판 홀더의 회전 속도의 관계를 나타내는 도면이다. 도 9의 그래프의 횡축은, 기판(Wf)의 특정한 부위의 회전 위치를 나타내고, 종축은, 차폐 부재의 위치(차폐 위치 또는 퇴피 위치) 및 기판 홀더(440)의 회전 속도(회전 방향)를 나타내고 있다. 도 9는, 기판(Wf)의 특정한 부위 α에 있어서의 도금의 퇴적 속도의 추가 억제를 1회 실행한(기판 홀더의 회전 방향을 2회 전환한) 경우의 차폐 부재의 위치와 기판 홀더의 회전 속도를 나타내고 있다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 회전 기구(447)는, 먼저, 도 9 중에 화살표 A로 나타내는 바와 같이, 기판 홀더(440)를 소정의 속도로 제1 방향으로 회전시킨다. 계속해서, 회전 기구(447)는, 기판(Wf)의 θ1의 위치가 차폐 부재(481)의 중심에 왔을 때(특정한 부위 α의 회전 각도가 θ1일 때)에, 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 압출한다. 계속해서, 차폐 기구(485)(회전 구동 기구(486))는, 기판(Wf)의 θ2의 위치가 차폐 부재(481)의 중심에 왔을 때(특정한 부위 α의 회전 각도가 θ2일 때)에, 기판 홀더(440)의 회전 방향을 전환하여 제2 방향으로 회전시킨다. 계속해서, 회전 기구(447)는, 기판(Wf)의 θ1의 위치가 차폐 부재(481)의 중심에 왔을 때(특정한 부위 α의 회전 각도가 θ1일 때)에, 기판 홀더(440)의 회전 방향을 전환하여 제1 방향으로 회전시킨다.

차폐 기구(485)(회전 구동 기구(486))는 기판 홀더(440)의 회전 방향을 전환함으로써, 도 9에 나타내는 바와 같이, 기판 홀더(440)를 제1 방향으로 일정 속도로 회전시키는 경우에 비해 약 3배의 기간, 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 압출할 수 있다.

따라서, 본 실시 형태에 따르면, 기판(Wf)의 특정한 부위 α에 있어서의 전기장을 강하게 억제할 수 있다. 이것에 더하여, 본 실시 형태에 따르면, 기판 홀더(440)를 반대 방향으로 회전시킴으로써, 도금조(410)에 수용된 도금액의 교반력을 높일 수 있으므로, 도금막 두께의 균일화를 향상시킬 수 있다.

도 10은, 기판의 특정한 부위를 차폐하는 타이밍과 기판 홀더의 회전 속도의 관계를 나타내는 도면이다. 도 10의 그래프의 횡축은, 기판(Wf)의 특정한 부위의 회전 위치를 나타내고, 종축은, 차폐 부재의 위치(차폐 위치 또는 퇴피 위치) 및 기판 홀더(440)의 회전 속도(회전 방향)를 나타내고 있다. 도 10은, 기판(Wf)의 특정한 부위 α에 있어서의 도금의 퇴적 속도의 추가 억제를 2회 실행한(기판 홀더의 회전 방향을 4회 전환한) 경우의 차폐 부재의 위치와 기판 홀더의 회전 속도를 나타내고 있다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 회전 기구(447)는, 먼저, 도 10 중에 화살표 A로 나타내는 바와 같이, 기판 홀더(440)를 소정의 속도로 제1 방향으로 회전시킨다. 계속해서, 회전 기구(447)는, 기판(Wf)의 θ1의 위치가 차폐 부재(481)의 중심에 왔을 때(특정한 부위 α의 회전 각도가 θ1일 때)에, 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 압출한다. 계속해서, 차폐 기구(485)(회전 구동 기구(486))는, 기판(Wf)의 θ2의 위치가 차폐 부재(481)의 중심에 왔을 때(특정한 부위 α의 회전 각도가 θ2일 때)에, 기판 홀더(440)의 회전 방향을 전환하여 제2 방향으로 회전시킨다. 계속해서, 회전 기구(447)는, 기판(Wf)의 θ1의 위치가 차폐 부재(481)의 중심에 왔을 때(특정한 부위 α의 회전 각도가 θ1일 때)에, 기판 홀더(440)의 회전 방향을 전환하여 제1 방향으로 회전시킨다.

계속해서, 회전 기구(447)는, 기판(Wf)의 θ2의 위치가 차폐 부재(481)의 중심에 왔을 때(특정한 부위 α의 회전 각도가 θ2일 때)에, 기판 홀더(440)의 회전 방향을 전환하여 제2 방향으로 회전시킨다. 계속해서, 회전 기구(447)는, 기판(Wf)의 θ1의 위치가 차폐 부재(481)의 중심에 왔을 때(특정한 부위 α의 회전 각도가 θ1일 때)에, 기판 홀더(440)의 회전 방향을 전환하여 제1 방향으로 회전시킨다.

차폐 기구(485)(회전 구동 기구(486))는, 기판 홀더(440)의 회전 방향을 전환함으로써, 도 10에 나타내는 바와 같이, 기판 홀더(440)를 제1 방향으로만 일정 속도로 회전시키는 경우에 비해 약 5배의 기간, 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 압출할 수 있다.

따라서, 본 실시 형태에 따르면, 기판(Wf)의 특정한 부위 α에 있어서의 전기장을 더욱 강하게 억제할 수 있다. 이것에 더하여, 본 실시 형태에 따르면, 기판 홀더(440)를 반복해서 반대 방향으로 회전시킴으로써, 도금조(410)에 수용된 도금액의 교반력을 높일 수 있으므로, 도금막 두께의 균일화를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 기판(Wf)의 특정한 부위 α에 있어서의 도금의 퇴적 속도의 추가 억제를 1회 또는 2회 실행한(기판 홀더의 회전 방향을 2회 또는 4회 전환한) 경우를 설명하였지만, 특정한 부위 α에 있어서의 도금의 퇴적 속도의 억제 횟수(기판 홀더의 회전 방향의 전환 횟수)는, 기판의 특정한 부위에 있어서의 전기장을 억제하는 정도에 따라서, 임의로 설정할 수 있다. 또한, 상기 실시 형태에서는, 기판에 하나의 특정한 부위 α가 존재하는 경우의 예를 나타내었지만, 이에 한정되지 않고, 복수의 특정한 부위가 존재하고 있어도 된다. 이 경우, 차폐 기구(485)는, 복수의 특정한 부위의 각각에 대하여, 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때, 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 이동시킬 수 있다. 또한, 회전 기구(447)는, 복수의 특정한 부위의 각각에 대하여, 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때에 기판 홀더(440)의 회전 방향을 제1 방향과 제2 방향 사이에서 전환할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 회전 기구(447)는, 기판(Wf)의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때에 기판 홀더(440)의 회전 방향을 전환하는 예를 나타내었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 회전 기구(447)는, 기판(Wf)의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 외에 있을 때에 기판 홀더(440)의 회전 방향을 전환할 수도 있다. 즉, 회전 기구(447)는, 기판(Wf)의 특정한 부위에 대한 전기장을 억제하고자 할 경우에는, 기판(Wf)의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있는 기간이 길어지도록 기판 홀더(440)의 회전 방향을 전환할 수 있다. 한편, 회전 기구(447)는, 기판(Wf)의 특정한 부위에 대하여 도금의 퇴적 속도를 높이고자 할 경우에는, 기판(Wf)의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있는 기간이 짧아지도록 기판 홀더(440)의 회전 방향을 전환할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 차폐 기구(485)가, 캠 부재(487), 회전 구동 기구(486) 및 종동 부재(488) 등을 구비하는 예를 나타내었지만, 이것에 한정되지 않는다. 이하, 차폐 기구(485)의 다른 실시 형태를 설명한다.

도 11은, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다. 도 12는, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다. 도 13은, 일 실시 형태의 차폐 기구의 일부 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다. 도 14는, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 14의 (a)는, 차폐 부재(481)가 퇴피 위치에 있는 상태를 나타내고, 도 14의 (b)는, 차폐 부재(481)가 차폐 위치에 있는 상태를 나타내고 있다.

도 11 내지 도 14에 나타내는 바와 같이, 차폐 기구(485)는, 제1 풀리(492-1) 및 제2 풀리(492-2)에 감긴 벨트(492)와, 제1 풀리(492-1)를 회전시킴으로써 벨트(492)를 회전시키도록 구성된 회전 구동 기구(491)를 구비한다. 회전 구동 기구(491)는, 예를 들어 회전 모터 등의 공지된 기구에 의해 실현할 수 있다. 또한, 차폐 기구(485)는, 제2 풀리(492-2)에 연결된 캠 부재의 일 형태인 편심 캠 부재(493)를 구비한다. 편심 캠 부재(493)는, 제2 풀리(492-2)의 회전에 수반하여 회전축(493a) 둘레로 회전하도록 구성되어 있다. 차폐 기구(485)는, 편심 캠 부재(493)의 돌기(493b)에 압박됨에 따라서 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 압출하도록 구성된 종동 부재의 일 형태인 종동 캠 부재(494)를 구비한다. 구체적으로는, 종동 캠 부재(494)에는 브래킷(495-1)이 설치되어 있고, 브래킷(495-1)에는 수평 방향으로 뻗은 샤프트(495-2)가 설치되어 있다. 샤프트(495-2)에는 직동 가이드(496)가 설치되어 있다. 차폐 부재(481)는, 연직 방향으로 뻗은 판상의 브래킷(483)을 통해 샤프트(495-2)에 설치되어 있다.

이에 의해, 도 14의 (b)에 나타내는 바와 같이, 편심 캠 부재(493)가 회전하여 종동 캠 부재(494)가 편심 캠 부재(493)의 돌기(493b)에 의해 제1 방향으로 압박되면, 샤프트(495-2) 및 브래킷(483)을 통해 차폐 부재(481)가 차폐 위치로 압출된다. 회전 구동 기구(491)가 이 상태에서 편심 캠 부재(493)의 회전을 정지하면, 차폐 부재(481)는 차폐 위치로 이동한 채로 된다. 한편, 종동 캠 부재(494)는, 편심 캠 부재(493)의 돌기(493b)에 의해 압박되지 않을 때에는, 제1 방향과는 반대인 제2 방향으로 복귀되도록 구성되어 있다. 이에 의해, 도 14의 (a)에 나타내는 바와 같이, 편심 캠 부재(493)가 더욱 회전하여 편심 캠 부재(493)의 돌기(493b)에 의한 종동 캠 부재(494)의 압박이 해제되면, 차폐 부재(481)가 퇴피 위치로 복귀된다.

회전 구동 기구(491)는, 기판 홀더(440)의 회전 각도에 따라서 제1 풀리(492-1)를 회전시키도록 구성되어 있다. 즉, 상술한 실시 형태와 마찬가지로, 회전 구동 기구(491)는, 예를 들어 기판(Wf)의 특정한 부위 α가 소정 각도 범위 내로 회전하였을 때에 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 압출하도록 제1 풀리(492-1)를 회전시킬 수 있다. 이에 의해, 기판(Wf)의 특정한 부위 α를 차폐 부재(481)로 덮을 수 있다. 또한, 회전 구동 기구(491)는, 특정한 부위 α가 소정 각도 범위 외로 회전하였을 때에 차폐 부재(481)가 퇴피 위치로 복귀되도록 제1 풀리(492-1)를 회전시킬 수 있다. 본 실시 형태에 따르면, 항상 특정한 부위 α를 차폐 부재(481)로 덮는 것은 아니고, 원하는 타이밍에 특정한 부위 α를 차폐 부재(481)로 덮을 수 있다. 이것에 더하여, 회전 기구(447)는, 기판(Wf)의 특정한 부위 α가 소정의 회전 각도의 범위 내에 있을 때에 기판 홀더(440)의 회전 방향을 제1 방향과 제2 방향 사이에서 전환할 수 있다. 따라서, 특정한 부위 α에 대한 전기장 차폐의 기간을 적절하게 제어할 수 있으며, 또한 도금액의 교반력을 높일 수 있으므로, 도금막 두께를 균일화할 수 있다.

도 15는, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다. 도 16은, 일 실시 형태의 차폐 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 16의 (a)는, 차폐 부재(481)가 퇴피 위치에 있는 상태를 나타내고, 도 16의 (b)는, 차폐 부재(481)가 차폐 위치에 있는 상태를 나타내고 있다.

도 15 및 도 16에 나타내는 바와 같이, 차폐 기구(485)는, 차폐 부재(481)를 차폐 위치와 퇴피 위치 사이에서 직동시키도록 구성된 직동 구동 기구(497)를 구비한다. 구체적으로는, 직동 구동 기구(497)는, 직동 구동 기구(497)의 구동에 따라서 수평 방향으로 왕복 운동하게 구성된 슬라이더(497a)를 구비한다. 차폐 부재(481)는, 연직 방향으로 뻗은 판상의 브래킷(483)을 통해 슬라이더(497a)에 설치되어 있다. 직동 구동 기구(497)를 구동함으로써 차폐 부재(481)를 차폐 위치와 퇴피 위치 사이에서 직동시킬 수 있다. 직동 구동 기구(497)는, 예를 들어 직동 모터 등의 공지된 기구에 의해 실현할 수 있다.

직동 구동 기구(497)는, 기판 홀더(440)의 회전 각도에 따라서 차폐 부재(481)를 차폐 위치와 퇴피 위치 사이에서 직동시키도록 구성된다. 즉, 상술한 실시 형태와 마찬가지로, 직동 구동 기구(497)는, 예를 들어 기판(Wf)의 특정한 부위 α가 소정 각도 범위 내로 회전하였을 때에 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 압출하도록 구성된다. 이에 의해, 기판(Wf)의 특정한 부위 α를 차폐 부재(481)로 덮을 수 있다. 또한, 직동 구동 기구(497)는, 특정한 부위 α가 소정 각도 범위 외로 회전하였을 때에 차폐 부재(481)가 퇴피 위치로 복귀하도록 구성된다. 본 실시 형태에 따르면, 항상 특정한 부위 α를 차폐 부재(481)로 덮는 것은 아니고, 원하는 타이밍에 특정한 부위 α를 차폐 부재(481)로 덮을 수 있다. 이것에 더하여, 회전 기구(447)는, 기판(Wf)의 특정한 부위 α가 소정의 회전 각도의 범위 내에 있을 때에 기판 홀더(440)의 회전 방향을 제1 방향과 제2 방향 사이에서 전환할 수 있다. 따라서, 특정한 부위 α에 대한 전기장 차폐의 기간을 적절하게 제어할 수 있으며, 또한 도금액의 교반력을 높일 수 있으므로, 도금막 두께를 균일화할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 차폐 기구(485)는, 제어 모듈(800)로부터 입력되는 기판 홀더(440)의 회전 각도에 관한 정보에 기초하는 지령 신호에 따라서 동작하도록 구성되는 예를 나타내었지만, 이것에 한정되지 않는다. 도 17은, 일 실시 형태의 도금 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 종단면도이며, 차폐 부재가 퇴피된 상태를 나타내고 있다.

도 17에 나타내는 바와 같이, 도금 모듈(400)은, 애노드(430)와 기판(Wf) 사이에 배치되었을 때에 애노드(430)와 기판(Wf) 사이에 형성되는 전기장을 차폐하기 위한 차폐 부재(481)를 구비한다. 차폐 부재(481)는 예를 들어 판상으로 형성된 차폐판이어도 된다. 차폐 부재(481)는, 도금조(410)의 측벽을 관통하여 캐소드 영역(422) 내에 삽입되어 있고, 도금조(410)에 삽입되지 않은 측의 단부에는 플랜지(484)가 설치되어 있다. 본 실시 형태에서는, 차폐 부재(481)는 항상 애노드(430)와 기판(Wf) 사이에 배치되는 것은 아니고, 기판(Wf)의 특정한 부위를 원하는 타이밍에 차폐하도록 구성되어 있다. 이하, 이 점에 대하여 설명한다.

도 18은, 일 실시 형태의 도금 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 상면도이며, 차폐 부재가 퇴피된 상태를 나타내고 있다. 도 17 및 도 18에 나타내는 바와 같이, 도금 모듈(400)은, 회전 기구(447)에 의한 기판 홀더(440)의 회전 각도에 따라서 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 이동시키는 차폐 기구(460)를 구비한다. 차폐 기구(460)는, 기판 홀더(440)에 설치된 캠 부재(461)를 구비한다. 캠 부재(461)는, 시일링 홀더(442)의 상면에 설치된 원판 캠(462)을 포함한다. 차폐 기구(460)는, 캠 부재(461)(원판 캠(462))의 돌기(462a)에 압박됨에 따라서 차폐 부재(481)를 애노드(430)와 기판(Wf) 사이에 압출하는 종동절(470)을 구비한다.

종동절(470)은, 원판 캠(462)의 돌기(462a)에 압박되어 기판 홀더(440)로부터 멀어지는 방향으로 이동하는 팔로워(473)를 구비한다. 도금조(410)의 상부의 외벽면에는 기대(472)가 설치되어 있고, 팔로워(473)는, 샤프트(448)를 중심으로 한 방사 방향으로 왕복 이동 가능하게 기대(472)에 지지되어 있다. 팔로워(473)는, 샤프트(448)를 중심으로 한 방사 방향으로 뻗은 막대 형상의 부재이다. 팔로워(473)의 한쪽 단부에는, 샤프트(448)의 회전축과 평행한 축 둘레로 회전하는 제1 롤러(471)가 설치되어 있다. 팔로워(473)의 다른 쪽 단부에는, 샤프트(448)의 회전축 방향 및 샤프트(448)를 중심으로 한 방사 방향의 양쪽과 수직인 축 둘레로 회전 가능한 제2 롤러(475)가 설치되어 있다.

종동절(470)은, 팔로워(473)로부터의 압박에 따라서 회전하여 차폐 부재(481)를 애노드(430)와 기판(Wf) 사이에 압출하는 링크(474)를 구비한다. 링크(474)는 막대 형상의 부재이며, 기대(472)에 마련된 회전축(476) 둘레로 회전 가능하게 기대(472)에 지지되어 있다. 회전축(476)은, 제2 롤러(475)의 회전축과 평행한 회전축이다. 링크(474)는, 링크(474)의 회전축(476)을 사이에 둔 한쪽 측이 제2 롤러(475)와 접촉할 수 있도록 기대(472)에 지지되어 있다. 링크(474)의 회전축(476)을 사이에 둔 다른 쪽 측의 단부에는, 제2 롤러(475)의 회전축과 평행한 축 둘레로 회전 가능한 제3 롤러(478)가 설치되어 있다. 링크(474)는, 제3 롤러(478)가 차폐 부재(481)의 플랜지(484)와 접촉할 수 있도록 기대(472)에 지지되어 있다.

종동절(470)은, 차폐 부재(481)가 링크(474)에 의해 압출되지 않을 때에 차폐 부재(481)를 퇴피 위치로 복귀시키는 압박 부재(479)를 구비한다. 압박 부재(479)는, 예를 들어 한쪽 단부가 도금조(410)의 외벽에 설치되고, 다른 쪽 단부가 차폐 부재(481)의 플랜지(484)에 설치된 압축 코일 스프링이지만, 이것에 한정되지 않는다.

이어서, 차폐 기구(460)에 의한 차폐 부재(481)의 동작에 대하여 설명한다. 도 17 및 도 18에 나타내는 바와 같이 원판 캠(462)의 돌기(462a)가 제1 롤러(471)를 압박하지 않을 때에는, 압박 부재(479)의 가압력에 의해 플랜지(484)가 도금조(410)로부터 멀어지는 방향으로 압박된다. 이에 의해, 차폐 부재(481)는 퇴피 위치로 이동한다. 또한, 플랜지(484)가 도금조(410)로부터 멀어지는 방향으로 압박되면, 플랜지(484)가 제3 롤러(478)를 압박함으로써 링크(474)는 반시계 방향으로 회전한다. 그러면, 링크(474)의 회전축(476)을 사이에 둔 한쪽 측이 제2 롤러(475)를 샤프트(448)의 중심을 향해 압박한다. 이에 의해 팔로워(473)는 샤프트(448)의 중심을 향해 이동한다.

도 19는, 일 실시 형태의 도금 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 종단면도이며, 차폐 부재가 애노드와 기판 사이로 이동한 상태를 나타내고 있다. 도 20은, 일 실시 형태의 도금 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 상면도이며, 차폐 부재가 애노드와 기판 사이로 이동한 상태를 나타내고 있다. 도 19 및 도 20에 나타내는 바와 같이, 기판 홀더(440)가 회전하여 소정의 회전 각도의 범위 내에 있을 때, 원판 캠(462)의 돌기(462a)가 제1 롤러(471)를 압박하고, 이에 의해 제1 롤러(471)는 샤프트(448)의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 이동한다. 이것에 수반하여, 팔로워(473)는 샤프트(448)의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 이동하고, 제2 롤러(475)가 링크(474)의 회전축(476)을 사이에 둔 한쪽 측을 압박한다. 이에 의해 링크(474)는 시계 방향으로 회전하고, 제3 롤러(478)가 압박 부재(479)의 가압력에 저항하여 플랜지(484)를 도금조(410)에 근접시키는 방향으로 압박한다. 그 결과, 차폐 부재(481)는 애노드(430)와 기판(Wf) 사이에 압출된다. 기판 홀더(440)가 소정의 회전 각도의 범위를 초과하여 회전하면, 도 17 및 도 18을 사용하여 설명한 바와 같이, 차폐 부재(481)는 퇴피 위치로 이동한다.

본 실시 형태에 따르면, 차폐 부재(481)가 항상 애노드(430)와 기판(Wf) 사이에 배치되어 있는 것은 아니고, 기판 홀더(440)의 회전 각도에 따라서 차폐 부재(481)를 애노드(430)와 기판(Wf) 사이로 이동시키는 차폐 기구(460)를 구비하고 있다. 따라서, 차폐 부재(481)에 의해 덮어야 할 기판(Wf)의 특정한 부위 α를 원하는 타이밍에 차폐할 수 있다. 이것에 더하여, 회전 기구(447)는, 기판(Wf)의 특정한 부위 α가 소정의 회전 각도의 범위 내에 있을 때에 기판 홀더(440)의 회전 방향을 제1 방향과 제2 방향 사이에서 전환하도록 구성되어 있다. 따라서, 특정한 부위 α에 대한 전기장 차폐의 기간을 적절하게 제어할 수 있으며, 또한 도금액의 교반력을 높일 수 있으므로, 도금막 두께를 균일화할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는 원판 캠(462)의 돌기(462a)가 1개 마련되는 예를 나타내었지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들어 기판(Wf)의 특정한 부위가 기판(Wf)의 둘레 방향에 따라서 복수 존재하는 경우에는, 기판(Wf)의 특정한 부위의 배치에 따라서 원판 캠(462)의 돌기(462a)를 복수 마련해도 된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 하나의 차폐 기구(460)가 마련되는 예를 나타내었지만, 이것에 한정되지 않고, 도금조(410)의 둘레 방향에 따라서 복수의 차폐 기구(460)를 마련해도 된다. 이에 의해, 기판(Wf)의 특정한 부위가 다른 복수의 소정의 회전 각도의 범위 내에 있을 때에 기판(Wf)의 특정한 부위를 차폐 부재(481)에 의해 덮을 수 있다.

도 21은, 일 실시 형태의 도금 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 종단면도이다. 도 3 내지 도 20에서 나타낸 실시 형태와 마찬가지의 구성에 대해서는, 동일한 참조 부호를 붙이고, 중복 설명을 생략한다.

도 21에 나타내는 바와 같이, 도금 모듈(400)은, 기판(Wf)의 도금막 두께를 측정하도록 구성된 막 두께 센서(498)와, 막 두께 센서(498)에 의해 측정된 기판(Wf)의 도금막 두께에 기초하여 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 이동시키도록 구성된 차폐 기구(499)를 구비한다. 차폐 기구(499)는, 제어 모듈(800)로부터 입력되는 기판(Wf)의 도금막 두께에 관한 정보에 기초하는 지령 신호에 따라서 동작하도록 구성된다. 차폐 기구(499)는, 도 5 내지 도 16에서 나타낸 차폐 기구(485) 중 어느 것과 마찬가지의 구조를 가질 수 있다.

막 두께 센서(498)는, 기판(Wf)의 피도금면의 주연부의 도금막 두께를 측정하도록 구성되어 있다. 막 두께 센서(498)는, 기판(Wf)의 주연부에 대향 배치되도록 저항체(450)에 설치되어 있다. 막 두께 센서(498)는, 기판(Wf)이 1회전하는 사이에 주연부를 주사하여 도금막 두께를 측정할 수 있다. 단, 막 두께 센서(498)는, 기판(Wf)의 피도금면의 전체의 도금막 두께를 측정하도록 구성되어 있어도 된다. 막 두께 센서(498)는, 일례로서, 막 두께 센서(498)와 기판(Wf)(도금막)의 거리를 계측하는 거리 센서, 또는 기판(Wf)의 피도금면의 변위를 계측하는 변위 센서를 채용할 수 있다. 또한, 막 두께 센서(498)로서는, 도금막 두께의 형성 속도를 추정하기 위한 센서가 채용되어도 된다. 막 두께 센서(498)로서는, 예를 들어, 백색 공초점식 등의 광학 센서, 전위 센서, 자장 센서 또는 와전류식 센서를 사용할 수 있다.

차폐 기구(499)는, 기판(Wf)의 주연부의 도금막 두께가 균일해지도록 차폐 부재(481)를 퇴피 위치와 차폐 위치 사이에서 직동시키도록 구성된다. 구체적으로는, 차폐 기구(499)는, 기판(Wf)의 주연부의 도금막 두께의 분포에 있어서 다른 영역과 비교하여 도금막 두께가 두꺼운 영역이 있을 경우에는, 도금막 두께가 두꺼운 영역의 회전 각도가 소정 범위 외에 있을 때에 차폐 부재(481)를 퇴피 위치로 이동시키도록 구성된다. 또한, 차폐 기구(499)는, 도금막 두께가 두꺼운 영역의 회전 각도가 소정 범위 내에 있을 때에 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 이동시키도록 구성된다. 따라서, 본 실시 형태에 따르면, 기판(Wf)의 도금막 두께가 두꺼운 영역을 차폐 부재(481)로 덮을 수 있다.

이것에 더하여, 회전 기구(447)는, 도금막 두께가 두꺼운 영역이 소정의 회전 각도의 범위 내에 있을 때에 기판 홀더(440)의 회전 방향을 제1 방향과 제2 방향 사이에서 전환할 수 있다. 즉, 피도금면의 다른 영역에 비해 도금막 두께가 현저하게 두꺼운 영역이 있었을 경우, 기판 홀더(440)를 소정의 일정 속도로 회전시키면서 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 이동시키는 것만으로는, 양자의 도금막 두께의 불균일을 전부 해소할 수 없을 우려가 있다. 이러한 경우에, 기판 홀더(440)의 회전 방향을 전환함으로써, 도금막 두께가 두꺼운 영역에 대한 전기장 차폐의 기간을 적절하게 제어할 수 있으며, 또한 도금액의 교반력을 높일 수 있으므로, 도금막 두께를 균일화할 수 있다.

이어서, 본 실시 형태의 도금 모듈(400)을 사용한 도금 방법에 대하여 설명한다. 도 22는, 일 실시 형태의 도금 모듈을 사용한 도금 방법의 흐름도이다. 또한, 이하에서는, 일례로서, 도 8에 나타내는 바와 같이 기판 홀더(440)의 회전 방향을 전환하지 않을 경우의 도금 방법을 설명한다.

도금 방법은, 기판 홀더(440)에 기판(Wf)을 설치한다(스텝 102). 스텝 102는, 예를 들어 피도금면(Wf-a)이 하방을 향한 상태의 기판(Wf)을 도시하지 않은 로봇 핸드 등에 의해 시일링 홀더(442)에 두고, 백 플레이트(444)에 의해 기판(Wf)의 이면을 압박함으로써 실행할 수 있다.

계속해서, 도금 방법은, 승강 기구(443)에 의해 기판 홀더(440)를 도금조(410) 내에 강하시킨다(강하 스텝 104). 계속해서, 도금 방법은, 회전 기구(447)에 의해 기판 홀더(440)를 제1 방향으로 회전시킨다(제1 회전 스텝 106).

계속해서, 도금 방법은, 도금조(410) 내에 배치된 애노드(430)와 기판 홀더(440)에 보유 지지된 기판(Wf) 사이에 전압을 인가함으로써 피도금면(Wf-a)에 도금 처리를 실시한다(도금 스텝 108).

계속해서, 도금 방법은, 기판(Wf)의 제1 특정한 위치 θ1이 차폐 부재(481)의 중심에 오면(스텝 110)), 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 이동시킨다(차폐 스텝 112).

계속해서, 도금 방법은, 기판(Wf)의 제2 특정한 위치 θ2가 차폐 부재(481)의 중심에 오면(스텝 114)), 차폐 부재(481)를 퇴피 위치로 이동시킨다(퇴피 스텝 116).

계속해서, 도금 방법은, 도금 처리를 종료해야 할 지 여부를 판정한다(스텝 118). 도금 방법은, 예를 들어 도금 처리를 개시하고 나서 소정 시간이 경과하지 않은 것에 의해 도금 처리를 종료해서는 안된다고 판정한 경우에는(스텝 118, "아니오"), 스텝 110으로 되돌아가서 처리를 계속한다.

한편, 도금 방법은, 예를 들어 도금 처리를 개시하고 나서 소정 시간이 경과한 것에 의해 도금 처리를 종료해야 하다고 판정한 경우에는(스텝 118, "예"), 애노드(430)와 기판(Wf) 사이의 전압 인가를 정지함으로써 도금 처리를 정지한다(스텝 120). 계속해서, 도금 방법은, 회전 기구(447)에 의한 기판 홀더(440)의 회전을 정지한다(스텝 122). 계속해서, 도금 방법은, 승강 기구(443)에 의해 기판 홀더(440)를 상승시킨다(스텝 124). 이에 의해, 일련의 도금 처리는 종료된다.

이어서, 본 실시 형태의 도금 모듈(400)을 사용한 다른 도금 방법에 대하여 설명한다. 도 23은, 일 실시 형태의 도금 모듈을 사용한 도금 방법의 흐름도이다. 또한, 이하에서는, 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이 기판 홀더(440)의 회전 방향을 복수회 전환하는 경우의 도금 방법을 설명한다.

도금 방법은, 기판(Wf)의 제1 특정한 위치 θ1, 제2 특정한 위치 θ2, 및 도금의 퇴적 속도의 추가 억제의 반복 횟수 N을 설정한다(스텝 202). 또한, θ1, θ2, 및 추가 억제의 반복 횟수 N의 값은, 차폐 부재(481)의 형상, 특정한 부위 α의 형상, 및 도금의 퇴적 속도의 억제 필요 강도에 기초하여, 전기장 해석을 사용하여 추정하는 것이 바람직하다. 또한, 1개의 기판 내에 도금의 퇴적 속도의 억제 필요 영역이 복수 존재하는 경우도 있다. 그 경우에는, 각각의 영역에 대해서, θ1, θ2, 및 추가 억제의 반복 횟수 N을 설정한다.

계속해서, 기판 홀더(440)에 기판(Wf)을 설치한다(스텝 204). 계속해서, 도금 방법은, 승강 기구(443)에 의해 기판 홀더(440)를 도금조(410) 내에 강하시킨다(강하 스텝 206). 계속해서, 도금 방법은, 회전 기구(447)에 의해 기판 홀더(440)를 제1 방향으로 회전시킨다(제1 회전 스텝 208).

계속해서, 도금 방법은, 도금조(410) 내에 배치된 애노드(430)와 기판 홀더(440)에 보유 지지된 기판(Wf) 사이에 전압을 인가함으로써 피도금면(Wf-a)에 도금 처리를 실시한다(도금 스텝 210).

계속해서, 도금 방법은, 기판(Wf)의 제1 특정한 위치 θ1이 차폐 부재(481)의 중심에 오면(스텝 212)), 차폐 부재(481)를 차폐 위치로 이동시킨다(차폐 스텝 214).

계속해서, 도금 방법은, 기판(Wf)의 제2 특정한 위치 θ2가 차폐 부재(481)의 중심에 오면(스텝 216)), N=0인지 여부를 판정한다(스텝 218). 도금 방법은, N=0이 아니라고 판정하면(스텝 218, "아니오"), 기판 홀더(440)의 회전 방향을 제1 방향과 제2 방향 사이에서 전환한다(반전 스텝 220). 구체적으로는, 반전 스텝 220은, 기판 홀더(440)의 회전 속도를 감속시키고, 기판 홀더(440)의 회전 방향을 제2 방향으로 전환한다.

계속해서, 도금 방법은, 회전 기구(447)에 의해 기판 홀더(440)를 제2 방향으로 회전시킨다(제2 회전 스텝 222). 계속해서, 도금 방법은, 기판(Wf)의 제1 특정한 위치 θ1이 차폐 부재(481)의 중심에 오면(스텝 224)), 기판 홀더(440)의 회전 방향을 제1 방향과 제2 방향 사이에서 전환한다(반전 스텝 226). 구체적으로는, 반전 스텝 226은, 기판 홀더(440)의 회전 속도를 감속시키고, 기판 홀더(440)의 회전 방향을 제1 방향으로 전환한다.

계속해서, 도금 방법은, 회전 기구(447)에 의해 기판 홀더(440)를 제1 방향으로 회전시킨다(제1 회전 스텝 228). 계속해서, 도금 방법은, N을 디크리먼트한다(N의 수치를 1 저감시킨다)(스텝 230). 계속해서, 도금 방법은, 스텝 216으로 되돌아가서 처리를 계속한다. 이에 의해, 기판(Wf)의 특정한 부위 α에 있어서의 도금의 퇴적 속도의 추가 억제가 반복된다.

한편, 도금 방법은, N=0이라고 판정하면(스텝 218, "예"), 차폐 부재(481)를 퇴피 위치로 이동시킨다(퇴피 스텝 232). 계속해서, 도금 방법은, 도금 처리를 종료해야 할 지 여부를 판정한다(스텝 234). 도금 방법은, 예를 들어 도금 처리를 개시하고 나서 소정 시간이 경과하지 않은 것에 의해 도금 처리를 종료해서는 안된다고 판정한 경우에는(스텝 234, "아니오"), 스텝 212로 되돌아가서 처리를 계속한다.

한편, 도금 방법은, 예를 들어 도금 처리를 개시하고 나서 소정 시간이 경과한 것에 의해 도금 처리를 종료해야 하다고 판정한 경우에는(스텝 234, "예"), 애노드(430)와 기판(Wf) 사이의 전압 인가를 정지함으로써 도금 처리를 정지한다(스텝 236). 계속해서, 도금 방법은, 회전 기구(447)에 의한 기판 홀더(440)의 회전을 정지한다(스텝 238). 계속해서, 도금 방법은, 승강 기구(443)에 의해 기판 홀더(440)를 상승시킨다(스텝 240). 이에 의해, 일련의 도금 처리는 종료된다.

본 실시 형태의 도금 방법에 의하면, 원하는 타이밍에 기판(Wf)의 특정한 부위를 차폐 부재(481)로 덮을 수 있다. 이것에 더하여, 기판(Wf)의 특정한 부위가 소정의 회전 각도의 범위 내에 있을 때에 기판 홀더(440)의 회전 방향을 제1 방향과 제2 방향 사이에서 전환한다. 따라서, 기판(Wf)의 특정한 부위에 대한 전기장 차폐의 기간을 적절하게 제어할 수 있으며, 또한 도금액의 교반력을 높일 수 있으므로, 피도금면의 도금막 두께를 균일화할 수 있다.

이상, 몇 가지의 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명해왔지만, 상기한 발명의 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것이고, 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 본 발명은, 그 취지를 일탈하지 않고, 변경, 개량될 수 있음과 함께, 본 발명에는 그 등가물이 포함되는 것은 물론이다. 또한, 상술한 과제 중 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는 효과 중 적어도 일부를 발휘하는 범위에 있어서, 특허 청구 범위 및 명세서에 기재된 각 구성 요소가 임의의 조합 또는 생략이 가능하다.

본원은, 일 실시 형태로서, 도금액을 수용하기 위한 도금조와, 상기 도금조 내에 배치된 애노드와, 피도금면이 하방을 향한 상태에서 기판을 보유 지지하기 위한 기판 홀더와, 상기 기판 홀더를 제1 방향 및 상기 제1 방향과는 반대인 제2 방향으로 회전시키도록 구성된 회전 기구와, 상기 기판 홀더의 회전 각도에 따라서 차폐 부재를 상기 애노드와 상기 기판 사이로 이동시키는 차폐 기구를 포함하는, 도금 장치를 개시한다.

또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 차폐 기구는, 상기 기판 홀더에 보유 지지된 기판의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때, 상기 차폐 부재를 상기 애노드와 상기 기판의 특정한 부위 사이로 이동시키도록 구성되고, 상기 회전 기구는, 상기 기판의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때에 상기 기판 홀더의 회전 방향을 상기 제1 방향과 상기 제2 방향 사이에서 전환하도록 구성되는, 도금 장치를 개시한다.

또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 회전 기구는, 상기 기판의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때에 상기 기판 홀더의 회전 방향을 상기 제1 방향과 상기 제2 방향 사이에서 복수회 전환하도록 구성되는, 도금 장치를 개시한다.

또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 차폐 기구는, 캠 부재와, 상기 캠 부재를 회전시키도록 구성된 회전 구동 기구와, 상기 캠 부재의 회전에 수반하여 상기 차폐 부재를 상기 애노드와 상기 기판 사이의 차폐 위치로 압출하도록 구성된 종동 부재를 포함하는, 도금 장치를 개시한다.

또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 캠 부재는, 상기 회전 구동 기구에 의해 회전하도록 구성된 캠 본체와, 상기 캠 본체에 설치된 로터를 갖고, 상기 종동 부재는, 상기 로터가 감입되는 캠 홈을 갖는 종동 슬라이더이며, 상기 캠 본체의 회전에 수반하는 상기 로터로부터의 압박에 의해, 상기 차폐 부재를, 상기 차폐 위치와, 상기 애노드와 상기 기판 사이에서 이격된 퇴피 위치의 사이로 직동시키도록 구성된, 종동 슬라이더를 포함하는, 도금 장치를 개시한다.

또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 차폐 기구는, 제1 풀리 및 제2 풀리에 감긴 벨트를 더 포함하고, 상기 캠 부재는, 상기 제2 풀리에 연결된 편심 캠 부재를 포함하고, 상기 회전 구동 기구는, 상기 제1 풀리를 회전시킴으로써 상기 편심 캠 부재를 회전시키도록 구성되고, 상기 종동 부재는, 상기 편심 캠 부재의 돌기에 압박됨에 따라서 상기 차폐 부재를 상기 차폐 위치로 압출하도록 구성된 종동 캠 부재를 포함하는, 도금 장치를 개시한다.

또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 차폐 기구는, 상기 차폐 부재를, 상기 애노드와 상기 기판 사이의 차폐 위치와, 상기 애노드와 상기 기판 사이에서 이격된 퇴피 위치의 사이에서 직동시키도록 구성된 직동 구동 기구를 포함하는, 도금 장치를 개시한다.

또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 차폐 기구는, 상기 기판 홀더에 설치된 캠 부재와, 상기 캠 부재의 돌기에 압박됨에 따라서 상기 차폐 부재를 상기 애노드와 상기 기판 사이에 압출시키는 종동절을 포함하는, 도금 장치를 개시한다.

또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 피도금면이 하방을 향한 상태에서 기판을 보유 지지하는 기판 홀더를 도금조 내에 강하시키는 강하 스텝과, 상기 도금조 내에 강하된 기판의 상기 피도금면에 도금 처리를 실시하는 도금 스텝과, 상기 기판 홀더를 제1 방향으로 회전시키는 제1 회전 스텝과, 상기 기판 홀더를 상기 제1 방향과는 반대인 제2 방향으로 회전시키는 제2 회전 스텝과, 상기 기판 홀더의 회전 각도에 따라서 차폐 부재를 애노드와 기판 사이로 이동시키는 차폐 스텝을 포함하는, 도금 방법을 개시한다.

또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 차폐 스텝은, 상기 기판 홀더에 보유 지지된 기판의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때에 상기 차폐 부재를 상기 애노드와 상기 기판의 부위 사이로 이동시키도록 구성되고, 상기 기판의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때에 상기 기판 홀더의 회전 방향을 상기 제1 방향과 상기 제2 방향 사이에서 전환하는 반전 스텝을 더 포함하는, 도금 방법을 개시한다.

또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 반전 스텝은, 상기 기판의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때에 상기 기판 홀더의 회전 방향을 상기 제1 방향과 상기 제2 방향 사이에서 복수회 전환하도록 구성되는, 도금 방법을 개시한다.

400: 도금 모듈
410: 도금조
430: 애노드
440: 기판 홀더
443: 승강 기구
447: 회전 기구
460, 485, 499: 차폐 기구
461: 캠 부재
470: 종동절
481: 차폐 부재
486, 491: 회전 구동 기구
487: 캠 부재
488: 종동 부재
492: 벨트
492-1: 제1 풀리
492-2: 제2 풀리
493: 편심 캠 부재
494: 종동 캠 부재
497: 직동 구동 기구
1000: 도금 장치
Wf: 기판
Wf-a: 피도금면

Claims (11)

1. 도금액을 수용하기 위한 도금조와,
   상기 도금조 내에 배치된 애노드와,
   피도금면이 하방을 향한 상태에서 기판을 보유 지지하기 위한 기판 홀더와,
   상기 기판 홀더를 제1 방향 및 상기 제1 방향과는 반대인 제2 방향으로 회전시키도록 구성된 회전 기구와,
   상기 기판 홀더의 회전 각도에 따라서 차폐 부재를 상기 애노드와 상기 기판 사이로 이동시키는 차폐 기구
   를 포함하고,
   상기 차폐 기구는, 상기 기판 홀더에 보유 지지된 기판의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때, 상기 차폐 부재를 상기 애노드와 상기 기판의 특정한 부위 사이로 이동시키도록 구성되고,
   상기 차폐 부재는, 상기 애노드와 상기 기판 사이에 형성되는 전기장을 차폐하기 위한 것이고,
   상기 회전 기구는, 상기 기판의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때에 상기 기판 홀더의 회전 방향을 상기 제1 방향과 상기 제2 방향 사이에서 전환하도록 구성되고,
   상기 차폐 기구는,
   캠 부재와, 상기 캠 부재를 회전시키도록 구성된 회전 구동 기구와, 상기 캠 부재의 회전에 수반하여 상기 차폐 부재를 상기 애노드와 상기 기판 사이의 차폐 위치로 압출하도록 구성된 종동 부재를 포함하는, 도금 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 회전 기구는, 상기 기판의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때에 상기 기판 홀더의 회전 방향을 상기 제1 방향과 상기 제2 방향 사이에서 복수회 전환하도록 구성되는,
   도금 장치.
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4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 캠 부재는, 상기 회전 구동 기구에 의해 회전하도록 구성된 캠 본체와, 상기 캠 본체에 설치된 로터를 갖고,
   상기 종동 부재는, 상기 로터가 감입되는 캠 홈을 갖는 종동 슬라이더이며, 상기 캠 본체의 회전에 수반하는 상기 로터로부터의 압박에 의해, 상기 차폐 부재를, 상기 차폐 위치와, 상기 애노드와 상기 기판 사이에서 이격된 퇴피 위치의 사이에서 직동시키도록 구성된, 종동 슬라이더를 포함하는,
   도금 장치.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 차폐 기구는, 제1 풀리 및 제2 풀리에 감긴 벨트를 더 포함하고,
   상기 캠 부재는, 상기 제2 풀리에 연결된 편심 캠 부재를 포함하고,
   상기 회전 구동 기구는, 상기 제1 풀리를 회전시킴으로써 상기 편심 캠 부재를 회전시키도록 구성되고,
   상기 종동 부재는, 상기 편심 캠 부재의 돌기에 압박됨에 따라서 상기 차폐 부재를 상기 차폐 위치로 압출하도록 구성된 종동 캠 부재를 포함하는,
   도금 장치.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 차폐 기구는,
   상기 차폐 부재를, 상기 애노드와 상기 기판 사이의 차폐 위치와, 상기 애노드와 상기 기판 사이에서 이격된 퇴피 위치의 사이에서 직동시키도록 구성된 직동 구동 기구를 포함하는,
   도금 장치.
7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 차폐 기구는,
   상기 기판 홀더에 설치된 캠 부재와,
   상기 캠 부재의 돌기에 압박됨에 따라서 상기 차폐 부재를 상기 애노드와 상기 기판 사이로 압출하는 종동절
   을 포함하는,
   도금 장치.
8. 피도금면이 하방을 향한 상태에서 기판을 보유 지지하는 기판 홀더를 도금조 내에 강하시키는 강하 스텝과,
   상기 도금조 내에 강하된 기판의 상기 피도금면에 도금 처리를 실시하는 도금 스텝과,
   상기 기판 홀더를 제1 방향으로 회전시키는 제1 회전 스텝과,
   상기 기판 홀더를 상기 제1 방향과는 반대인 제2 방향으로 회전시키는 제2 회전 스텝과,
   상기 기판 홀더의 회전 각도에 따라서 차폐 부재를 애노드와 기판 사이로 이동시키는 차폐 스텝
   을 포함하고,
   상기 차폐 스텝은, 상기 기판 홀더에 보유 지지된 기판의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때에 상기 차폐 부재를 상기 애노드와 상기 기판의 부위 사이로 이동시키도록 구성되고,
   상기 기판의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때에 상기 기판 홀더의 회전 방향을 상기 제1 방향과 상기 제2 방향 사이에서 전환하는 반전 스텝을 더 포함하는,
   도금 방법.
9. 제8항에 있어서, 상기 반전 스텝은, 상기 기판의 특정한 부위의 회전 각도가 소정의 범위 내에 있을 때에 상기 기판 홀더의 회전 방향을 상기 제1 방향과 상기 제2 방향 사이에서 복수회 전환하도록 구성되는,
   도금 방법.
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