JP6779579B2 - 判定方法、測定装置、及び粘着テープ貼着装置 - Google Patents

判定方法、測定装置、及び粘着テープ貼着装置 Download PDF

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Description

本発明は、フレームユニットを構成する粘着テープのテンションが適切か否かを判定する判定方法、この判定方法に適した測定装置、及び粘着テープ貼着装置に関する。
半導体デバイスの製造工程等でウェーハを複数のチップへと分割するために、環状の切削ブレードを回転させる切削ユニットを備える切削装置や、レーザービームを照射、集光するための照射ユニットを備えるレーザー加工装置等が使用されている。回転させた切削ブレードをウェーハに切り込ませながら、又は、レーザービームをウェーハに照射しながら、切削ユニット又は照射ユニットとウェーハとを相対的に移動させることで、この移動の経路に沿ってウェーハを加工できる。
上述した切削装置やレーザー加工装置等を用いてウェーハのような板状の被加工物を加工する際には、被加工物よりも径の大きい粘着テープの中央部を被加工物に貼り、また、この粘着テープの外周部に環状のフレームを固定して、フレームユニットを形成することが多い（例えば、特許文献１参照）。このようなフレームユニットを形成することで、搬送、加工時の衝撃等から被加工物を保護し、更に、加工後の被加工物の取り扱い易さを高められる。
特開２００９−７６７７３号公報
ところで、フレームユニットを構成する粘着テープのテンション（張力）が弱い（低い）と、被加工物を分割して得られるチップ同士が搬送中に接触して破損する恐れがある。一方で、粘着テープのテンションが強い（高い）と、この粘着テープを拡げる方向の力が分割中の被加工物に作用して、チップが欠け易い。よって、粘着テープのテンションを適切に管理する必要があった。
しかしながら、これまでは、フレームユニットを構成する粘着テープを指等で弾き、その音や触感等に基づいて粘着テープのテンションが適当か否かを判定していたので、判定に係る作業者（判定担当者）の経験、能力次第で、判定の精度が低くなってしまうこともあった。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、フレームユニットを構成する粘着テープのテンションが適当か否かを確実に判定できる判定方法、この判定方法に適した測定装置、及び粘着テープ貼着装置を提供することである。
本発明の一態様によれば、基材層と粘着層とを有する粘着テープの該粘着層側外周部に環状のフレームが装着され、該粘着テープの該粘着層側中央部に板状の被加工物が貼着されてなるフレームユニットの該粘着テープのテンションが適当か否かを判定する判定方法であって、該粘着テープの該基材層側が上方に露出し、該粘着テープの下方で該被加工物と該フレームとの間に空間が形成されるように該被加工物及び該フレームを支持する支持ステップと、該粘着テープの該空間に対応する位置に錘を載置し、該粘着テープの該被加工物に対応する位置の高さと該フレームに対応する位置の高さとを基準に、該粘着テープのテンションに相当する下降量を該錘の高さに基づいて測定する下降量測定ステップと、該下降量が所定の範囲内の場合に、該粘着テープのテンションが適当と判定し、該下降量が該所定の範囲を外れた場合に、該粘着テープのテンションが不適当と判定する判定ステップと、を備える判定方法が提供される。
上記判定方法において、該下降量測定ステップを該空間に対応する２以上の位置で実施し、該判定ステップでは、各位置で測定される該下降量の差から該粘着テープのテンションのばらつきを評価することもできる。また、該錘は、ダイヤルゲージの測定子でも良い。
本発明の別の一態様によれば、基材層と粘着層とを有する粘着テープの該粘着層側外周部に環状のフレームが装着され、該粘着テープの該粘着層側中央部に板状の被加工物が貼着されてなるフレームユニットの該粘着テープのテンションに相当する量を測定する測定装置であって、該粘着テープの該基材層側が上方に露出し、該粘着テープの下方で該被加工物と該フレームとの間に空間が形成されるように該被加工物及び該フレームを支持する支持テーブルと、該粘着テープの該空間に対応する位置に載置される測定子を備え、該粘着テープのテンションに相当する下降量を該測定子の高さに基づいて測定するダイヤルゲージと、該粘着テープの該被加工物に対応する位置と該フレームに対応する位置とに掛け渡され、該測定子が垂下されるように該ダイヤルゲージを固定するゲージ固定部材と、を備える測定装置が提供される。
上記測定装置において、該空間に対応する複数の位置に該ダイヤルゲージを位置付けるように該ゲージ固定部材を移動させる移動ユニットを更に備えても良い。
本発明の更に別の一態様によれば、基材層と粘着層とを有する粘着テープの該粘着層側外周部を環状のフレームに装着し、該粘着テープの該粘着層側中央部を板状の被加工物に貼着してフレームユニットを形成する粘着テープ貼着装置であって、該被加工物及び該フレームを支持する第１支持テーブルと、ロール状に巻回された該粘着テープを支持するテープ支持部と、該第１支持テーブルに支持された該被加工物及び該フレームに対して該粘着テープを押圧する押圧ローラと、該第１支持テーブルと該押圧ローラとを相対的に移動させて、該被加工物及び該フレームに該粘着テープの該粘着層側を貼着する第１移動ユニットと、該被加工物及び該フレームに該粘着テープの該粘着層側を貼着した後、該粘着テープのテンションに相当する量を測定する測定ユニットと、を備え、該測定ユニットは、該粘着テープの該基材層側が上方に露出し、該粘着テープの下方で該被加工物と該フレームとの間に空間が形成されるように該被加工物及び該フレームを支持する第２支持テーブルと、該粘着テープの該空間に対応する位置に載置される測定子を備え、該粘着テープのテンションに相当する下降量を該測定子の高さに基づいて測定するダイヤルゲージと、該粘着テープの該被加工物に対応する位置と該フレームに対応する位置とに掛け渡され、該測定子が垂下されるように該ダイヤルゲージを固定するゲージ固定部材と、を備える粘着テープ貼着装置が提供される。
上記粘着テープ貼着装置において、該測定ユニットは、該空間に対応する複数の位置に該ダイヤルゲージを位置付けるように該ゲージ固定部材を移動させる移動ユニットを更に備えても良い。また、該第２支持テーブルは、該第１支持テーブルでも良い。
本発明の一態様に係る判定方法では、粘着テープに錘を載置してテンションに相当する下降量を測定した後、この下降量が所定の範囲内の場合に、粘着テープのテンションが適当と判定し、下降量が所定の範囲を外れた場合に、粘着テープのテンションが不適当と判定するので、従来の方法のように判定の結果が作業者（判定担当者）によってばらつくことはない。つまり、本発明の一態様に係る判定方法によれば、フレームユニットを構成する粘着テープのテンションが適当か否かを確実に判定できる。
また、本発明の別の一態様に係る測定装置及び粘着テープ貼着装置は、粘着テープの下方で被加工物とフレームとの間に空間が形成されるように被加工物及びフレームを支持する支持テーブルと、粘着テープの空間に対応する位置に載置される測定子を備え、粘着テープのテンションに相当する下降量を測定子の高さに基づいて測定するダイヤルゲージと、を備えている。よって、この測定装置や粘着テープ貼着装置を用いることで、上述した判定方法を適切に実施できる。
図１（Ａ）は、フレームユニットが形成される様子を模式的に示す斜視図であり、図１（Ｂ）は、完成したフレームユニットの構成例を模式的に示す斜視図である。 測定装置の構成例を模式的に示す斜視図である。 測定装置の構成例を模式的に示す一部断面側面図である。 測定装置の一部を拡大して示す斜視図である。 図５（Ａ）は、支持ステップを説明するための一部断面側面図であり、図５（Ｂ）は、下降量測定ステップを説明するための一部断面側面図である。 変形例に係る下降量測定ステップで下降量が測定される複数の位置の例を示す斜視図である。 粘着テープ貼着装置の構成例を模式的に示す一部断面側面図である。
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。本実施形態に係る判定方法は、例えば、フレームユニットを構成する粘着テープのテンションが適当か否かを判定するために用いられ、支持ステップ（図５（Ａ）参照）、下降量測定ステップ（図５（Ｂ）参照）、及び判定ステップを含んでいる。
支持ステップでは、粘着テープの基材層側が上方に露出し、この粘着テープの下方でフレームユニットを構成する被加工物と環状のフレームとの間に空間が形成されるように、被加工物及びフレームを支持する。下降量測定ステップでは、粘着テープの上記空間に対応する位置にダイヤルゲージの測定子（錘）を載せて、粘着テープの被加工物に対応する位置の高さとフレームに対応する位置の高さとを基準に、粘着テープのテンションに相当（対応）する下降量を測定子の高さに基づいて測定する。
判定ステップでは、下降量測定ステップで測定された下降量が所定の範囲内の場合に、粘着テープのテンションが適当と判定し、下降量が所定の範囲を外れた場合に、粘着テープのテンションが不適当と判定する。以下、本実施形態に係る判定方法等について詳述する。
まず、本実施形態に係る判定方法の判定対象であるフレームユニットの構成例について説明する。図１（Ａ）は、フレームユニット１が形成される様子を模式的に示す斜視図であり、図１（Ｂ）は、完成したフレームユニット１の構成例を模式的に示す斜視図である。フレームユニット１は、例えば、切削装置（不図示）やレーザー加工装置（不図示）等によって加工される被加工物１１を含んでいる。
被加工物１１は、例えば、シリコン（Ｓｉ）や炭化珪素（ＳｉＣ）、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）等の材料でなる円盤状のウェーハであり、その表面１１ａ側は、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）１３で複数の領域に区画されている。各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等のデバイス１５が形成されている。
なお、本実施形態では、シリコンや炭化珪素、サファイア等の材料でなる円盤状のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板を被加工物１１として用いることもできる。同様に、デバイス１５の種類、数量、大きさ、配置等にも制限はない。
このように構成される被加工物１１の裏面１１ｂ側には、図１（Ａ）に示すように、粘着テープ１７が貼着（貼付）される。粘着テープ１７は、例えば、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタラート、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン等でなる基材層と、シリコーンゴム、アクリル系材料、エポキシ系材料等でなる粘着層と、を重ねて形成されており、粘着層側１７ｂの中央部を被加工物１１の裏面１１ｂ側に貼着される。
一方、粘着テープ１７の粘着層側１７ｂの外周部は、図１（Ａ）に示すように、被加工物１１から離れた位置で被加工物１１を囲む環状のフレーム１９に貼着、固定（装着）される。その結果、図１（Ｂ）に示すように、粘着テープ１７を介して被加工物１１とフレーム１９とが一体になったフレームユニット１が完成する。
なお、本実施形態では、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタラート、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン等でなる基材層と、シリコーンゴム、アクリル系材料、エポキシ系材料等でなる粘着層と、を重ねてなる円形の粘着テープ１７を用いているが、粘着テープ１７の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。同様に、フレーム１９の材質、形状、構造、大きさ等にも制限はない。
次に、本実施形態に係る判定方法で使用される測定装置（測定ユニット）について説明する。図２は、測定装置（測定ユニット）２の構成例を模式的に示す斜視図であり、図３は、測定装置２の構成例を模式的に示す一部断面側面図である。図２及び図３に示すように、本実施形態の測定装置２は、フレームユニット１を支持するための支持テーブル（第１支持テーブル、第２支持テーブル）４を備えている。
支持テーブル４は、被加工物１１に対応する形状（本実施形態では、平面視で円形）に形成された被加工物支持領域４ａと、被加工物支持領域４ａを囲む環状のフレーム支持領域４ｂと、をその上面側に有している。支持テーブル４にフレームユニット１を支持させる際には、粘着テープ１７の基材層側１７ａが上方に露出するように、被加工物１１を被加工物支持領域４ａに載せ、フレーム１９をフレーム支持領域４ｂに載せる。
一方で、被加工物支持領域４ａとフレーム支持領域４ｂとの間の環状の領域４ｃには、被加工物１１及びフレーム１９を載せない。よって、この領域４ｃの上方には、被加工物１１、粘着テープ１７、及びフレーム１９によって囲まれる空間２１が形成される。言い換えれば、粘着テープ１７の下方で被加工物１１とフレーム１９との間には空間２１が形成される。
なお、本実施形態では、フレーム１９より薄い被加工物１１を用いる場合に、支持テーブル４に支持される被加工物１１の上面（代表的には、裏面１１ｂ）の高さとフレーム１９の上面の高さとが概ね一致するように、フレーム支持領域４ｂより高い位置に被加工物支持領域４ａを設けている。ただし、被加工物支持領域４ａ及びフレーム支持領域４ｂの高さの関係は、被加工物１１及びフレーム１９の厚さの関係等に応じて任意に設定、変更される。
被加工物支持領域４ａとフレーム支持領域４ｂとの間の領域４ｃの上方には、ダイヤルゲージ６が配置されている。図４は、ダイヤルゲージ６の周辺を拡大して示す斜視図である。図４等に示すように、ダイヤルゲージ６は、例えば、円盤状に形成された筐体８を備えている。筐体８には、上下方向に移動可能なロッド１０の上端側が挿入されている。一方で、このロッド１０の下端には、測定対象に接触させるための測定子（錘）１２が設けられている。
筐体８の内部には、ロッド１０の上端側に連結された測定機構（不図示）が設けられている。この測定機構は、測定子１２を測定対象に接触させた際のロッド１０の位置、変位（移動量）等を測定する。筐体８の前面側には、ダイヤルゲージ６に対して各種入力を行うための操作ボタン８ａや、測定機構で測定される位置、変位等の情報を表示するための表示部８ｂ等が設けられている。
なお、測定子１２の質量（重量）は、測定対象である粘着テープ１７の種類等に応じて任意に設定される。また、ばね等の付勢部材でロッド１０に下向きの力を加えても良い。この場合には、測定子１２に作用する重力に加えて付勢部材による下向きの力を利用できるので、測定子１２の質量は小さくなる。また、本実施形態では、デジタル式のダイヤルゲージ６を用いているが、アナログ式のダイヤルゲージを用いても良い。もちろん、ダイヤルゲージに類する機能を持つ他の測定器具を用いることもできる。
ダイヤルゲージ６は、ゲージ固定部材１４の上部に固定されている。このゲージ固定部材１４は、被加工物支持領域４ａからフレーム支持領域４ｂにまで掛け渡すことができる大きさの直方体状に形成されており、ロッド１０及び測定子１２が垂下されるようにダイヤルゲージ６を固定する。ダイヤルゲージ６のロッド１０及び測定子１２は、ゲージ固定部材１４に固定されていない。
ゲージ固定部材１４の下面側には、凹部１４ａが設けられている。この凹部１４ａは、ロッド１０及び測定子１２の上下方向への移動を許容する態様で形成される。なお、測定の開始前には、測定子１２の下面が、ゲージ固定部材１４の下面より低くなるように調整される。
また、測定の開始前には、測定子１２の下面の基準となる高さ（基準位置、０点位置）が設定される。具体的には、例えば、平坦な台の上にゲージ固定部材１４を載せ、この台の上面に測定子１２の下面が接触した状態で測定子１２の下面の高さ（すなわち、ゲージ固定部材１４の下面と同じ高さ）を基準位置に設定する。なお、測定子１２に作用する重力等によってロッド１０が最も下方に移動した状態（すなわち、測定子１２が筐体８から最も離れた状態）で、測定子１２の下面の高さを基準位置に設定しても良い。
ゲージ固定部材１４の側方には、ゲージ固定部材１４とともにダイヤルゲージ６を移動させるゲージ移動ユニット（第２移動ユニット）１６のアーム１６ａが接続されている。このゲージ移動ユニット１６は、例えば、モータ等の回転駆動源を備え、被加工物支持領域４ａとフレーム支持領域４ｂとの間の環状の領域４ｃに沿ってダイヤルゲージ６を移動させる。
これにより、領域４ｃの上方に形成される空間２１に対応する複数の位置にダイヤルゲージ６を合わせて、各位置で粘着テープ１７のテンションを確認できる。なお、このゲージ移動ユニット１６は、例えば、上下方向に移動できるように構成されており、フレームユニット１の搬入、搬出時には上方に退避する。
次に、上述した測定装置２を用いて行われる本実施形態の判定方法について説明する。本実施形態の判定方法では、まず、粘着テープ１７の基材層側１７ａが上方に露出し、この粘着テープ１７の下方でフレームユニット１を構成する被加工物１１とフレーム１９との間に空間２１が形成されるように、被加工物１１及びフレーム１７を支持テーブル４で支持する支持ステップを行う。図５（Ａ）は、支持ステップを説明するための一部断面側面図である。
支持ステップでは、粘着テープ１７の基材層側１７ａが上方に露出するように、被加工物１１を被加工物支持領域４ａに載せ、フレーム１９をフレーム支持領域４ｂに載せる。一方で、被加工物支持領域４ａとフレーム支持領域４ｂとの間の環状の領域４ｃには、被加工物１１及びフレーム１９を載せない。これにより、領域４ｃの上方には、被加工物１１、粘着テープ１７、及びフレーム１９によって囲まれる空間２１が形成される。なお、被加工物１１の表面１１ａ側には、予め保護テープ等が貼着されていても良い。
支持ステップの後には、粘着テープ１７の空間２１に対応する位置に測定子１２を載せて、粘着テープ１７の被加工物１１に対応する位置の高さとフレーム１９に対応する位置の高さとを基準に、粘着テープ１７のテンションに相当する下降量を測定子１２の高さに基づいて測定する下降量測定ステップを行う。図５（Ｂ）は、下降量測定ステップを説明するための一部断面側面図である。
下降量測定ステップでは、まず、ゲージ移動ユニット１６を用いて、テンションの適否を判定したい希望の位置にダイヤルゲージ６を移動させる。具体的には、上述した空間２１に対応するいずれかの位置にダイヤルゲージ６を位置付ける。次に、被加工物１１及びフレーム１９の上方に位置する粘着テープ１７の基材層側１７ａの高さが測定の基準となるように、ゲージ固定部材１４の下面を、被加工物１１及びフレーム１９の上方に位置する粘着テープ１７の基材層側１７ａに接触させる。
上述のように、測定子１２の下面は、ゲージ固定部材１４の下面より低くなるように調整されている。そのため、ゲージ固定部材１４の下面を、被加工物１１及びフレーム１９の上方に位置する粘着テープ１７の基材層側１７ａに接触させると、測定子１２は、空間２１の上方に位置する粘着テープ１７の基材層側１７ａに載置される。その結果、空間２１の上方に位置する粘着テープ１７は、測定子１２に作用する重力等によって下方に押し下げられる。
その後、ダイヤルゲージ６によって、下方に押し下げられた粘着テープ１７の下降量を測定する。具体的には、粘着テープ１７の被加工物１１に対応する位置の高さとフレーム１９に対応する位置の高さとを基準に、測定子１２の下面の高さ測定する。すなわち、基準となる高さ（基準位置、０点位置）と、下方に押し下げられた粘着テープ１７の基材層側１７ａの高さとの差ΔＨを測定する。このようにして測定される下降量（差ΔＨ）は、粘着テープ１７のテンションに相当する。
なお、ロッド１０が最も下方に移動した状態で測定子１２の下面の高さを基準位置に設定している場合には、基準位置からの測定子１２の下面の上昇量を算出することで、この上昇量に基づき上述の下降量（又は、下降量に対応する量）を算出できる。すなわち、この場合に測定される上昇量も、粘着テープ１７のテンションに相当している。
下降量測定ステップの後には、粘着テープ１７のテンションが適当か否かを判定する判定ステップを行う。具体的には、例えば、下降量測定ステップで測定された下降量が所定の範囲内の場合には、粘着テープ１７のテンションが適当と判定する。一方で、下降量が所定の範囲を外れた場合には、粘着テープ１７のテンションが不適当と判定する。なお、判定の基準となる範囲は、粘着テープ１７の種類等に応じて任意に設定、変更される。
この判定ステップでは、粘着テープ１７のテンションが強弱（適正な範囲より高いか低いか）を判定しても良い。例えば、下降量測定ステップで測定された下降量が所定の範囲より小さい場合には、粘着テープ１７のテンションが強い（適正な範囲より高い）と判定する。一方で、下降量測定ステップで測定された下降量が所定の範囲より大きい場合には、粘着テープ１７のテンションが弱い（適正な範囲より低い）と判定する。
なお、上述した判定ステップで粘着テープ１７のテンションが強いと判定された場合には、その後、粘着テープ１７のテンションを弱めるように貼着の条件を変更すると良い。一方で、粘着テープ１７のテンションが弱いと判定された場合には、粘着テープ１７のテンションを強めるように貼着の条件を変更すると良い。
以上のように、本実施形態に係る判定方法では、粘着テープ１７に測定子（錘）１２を載置してテンションに相当する下降量を測定した後、この下降量が所定の範囲内の場合に、粘着テープ１７のテンションが適当と判定し、下降量が所定の範囲を外れた場合に、粘着テープ１７のテンションが不適当と判定するので、従来の方法のように判定の結果が作業者（判定担当者）によってばらつくことはない。つまり、本実施形態に係る判定方法によれば、フレームユニット１を構成する粘着テープ１７のテンションが適当か否かを確実に判定できる。
また、本実施形態に係る測定装置（測定ユニット）２は、粘着テープ１７の下方で被加工物１１とフレーム１９との間に空間２１が形成されるように被加工物１１及びフレーム１９を支持する支持テーブル４と、粘着テープ１７の空間２１に対応する位置に載置される測定子１２を備え、粘着テープ１７のテンションに相当する下降量を測定子１２の高さに基づいて測定するダイヤルゲージ６と、を備えている。よって、この測定装置２を用いることで、本実施形態の判定方法を適切に実施できる。
なお、本発明は、上記実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、下降量測定ステップに係る下降量の測定は、粘着テープ１７の２以上の位置で行われても良い。図６は、変形例に係る下降量測定ステップで下降量が測定される複数の位置の例を示す斜視図である。
図６に示すように、変形例に係る下降量測定ステップでは、上述した空間２１に対応する８の位置（位置２３ａ、位置２３ｂ、位置２３ｃ、位置２３ｄ、位置２３ｅ、位置２３ｆ、位置２３ｇ、及び位置２３ｈ）で下降量を測定する。これにより、各位置で測定される下降量を後の判定ステップで用い、粘着テープ１７のテンションの状態をより詳細に確認できる。具体的には、例えば、各位置で測定される下降量の差に基づいて、粘着テープ１７のテンションのばらつきを評価することが可能である。
また、上記実施形態や変形例に係る判定方法を応用すれば、粘着テープの種類等を判定することもできる。例えば、ポリオレフィンでなる基材層が用いられた粘着テープに対応する下降量の第１範囲を設定し、ポリエチレンテレフタラートでなる基材層が用いられた粘着テープに対応する下降量の第２範囲を設定することで、ポリオレフィンでなる基材層が用いられた粘着テープとポリエチレンテレフタラートでなる基材層が用いられた粘着テープとのいずれが使用されているかを判定できる。
また、上記測定装置２は、粘着テープ貼着装置等に組み込まれても良い。図７は、測定装置２が組み込まれた粘着テープ貼着装置２２の構成例を模式的に示す一部断面側面図である。図７に示すように、粘着テープ貼着装置２２には、上記実施形態に係る測定装置２が組み込まれている。なお、測定装置２の詳細については省略する。
支持テーブル４の上方には、帯状の粘着テープ１７を支持するための円柱状の繰り出しローラ（テープ支持部）２４が配置されている。繰り出しローラ２４は、例えば、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源から発生する力によって所定の回転軸の周りに回転する。
粘着テープ１７は、例えば、粘着層側１７ｂが外側を向くように円筒状の芯（不図示）に巻回されている。この芯の内側の空間に繰り出しローラ２４を挿入することで、粘着テープ１７は繰り出しローラ２４に支持される。
繰り出しローラ２４から水平方向に離れた位置には、繰り出しローラ２４から繰り出される粘着テープ１７を巻き取るための巻き取りローラ２６が配置されている。巻き取りローラ２６は、例えば、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源から発生する力によって所定の回転軸の周りに回転する。
なお、巻き取りローラ２６は、その回転軸が繰り出しローラ２４の回転軸に対して概ね平行になるように配置される。被加工物１１及びフレーム１９に粘着テープ１７を貼る際には、繰り出しローラ２４から繰り出された粘着テープ１７が、繰り出しローラ２４と巻き取りローラ２６との間で保持される。
また、繰り出しローラ２４と巻き取りローラ２６との間には、支持テーブル４に支持される被加工物１１及びフレーム１９に対して粘着テープ１７を押し付けるための押圧ローラ２８が配置されている。この押圧ローラ２８は、ローラ移動ユニット（第１移動ユニット）３０に接続されており、粘着テープ１７が繰り出される繰り出し方向に沿って移動する。
押圧ローラ２８を移動させることで、被加工物１１及びフレーム１９に対して粘着テープ１７の粘着層側１７ｂを押し付け、被加工物１１及びフレーム１９に粘着テープ１７を貼着できる。この粘着テープ貼着装置２２には、測定装置２が組み込まれているので、被加工物１１及びフレーム１９に粘着テープ１７を貼着した後に、粘着テープ１７のテンションに相当する下降量を測定することが可能である。
被加工物１１及びフレーム１９に粘着テープ１７を貼着した後、又は、粘着テープ１７のテンションに相当する下降量を測定した後には、フレーム１９の形状、大きさ等に合わせて粘着テープ１７を切断すれば良い。これにより、上述のようなフレームユニット１が完成する。なお、粘着テープ１７は、フレーム１９の形状、大きさ等に合わせて予め切断されていても良い。また、テンションに相当する下降量を、粘着テープ１７を切断した後に測定しても良い。
なお、上述した下降量に基づいて粘着テープ１７のテンションが強いと判定された場合には、その後、粘着テープ１７のテンションを弱めるように各部の動作の条件を変更すると良い。例えば、繰り出しローラ２４からの粘着テープ１７の繰り出し量を多くし、又は、巻き取りローラ２６による粘着テープ１７の巻き取り量を少なくすることで、粘着テープ１７のテンションを弱めることができる。
同様に、上述した下降量に基づいて粘着テープ１７のテンションが弱いと判定された場合には、その後、粘着テープ１７のテンションを強めるように各部の動作の条件を変更すると良い。例えば、繰り出しローラ２４からの粘着テープ１７の繰り出し量を少なくし、又は、巻き取りローラ２６による粘着テープ１７の巻き取り量を多くすることで、粘着テープ１７のテンションを強めることができる。
また、上記粘着テープ貼着装置２２では、支持テーブル４を移動させずに押圧ローラ２８を移動させているが、本発明の粘着テープ貼着装置は、支持テーブルと押圧ローラとが相対的に移動できるように構成されていれば良い。
また、上記粘着テープ貼着装置２２では、測定装置２の支持テーブル４を、粘着テープ１７を貼着する際に被加工物１１及びフレーム１９を支持するための支持テーブルとして用いているが、粘着テープ１７を貼着する際に被加工物１１及びフレーム１９を支持するための支持テーブル（第１支持テーブル）と、下降量測定ステップを行うための支持テーブル（第２支持テーブル）とは別でも良い。
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
１ フレームユニット
１１ 被加工物
１１ａ 表面
１１ｂ 裏面
１３ 分割予定ライン（ストリート）
１５ デバイス
１７ 粘着テープ
１７ａ 基材層側
１７ｂ 粘着層側
１９ フレーム
２１ 空間
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆ、２３ｇ、２３ｈ 位置
２ 測定装置（測定ユニット）
４ 支持テーブル（第１支持テーブル、第２支持テーブル）
４ａ 被加工物支持領域
４ｂ フレーム支持領域
４ｃ 領域
６ ダイヤルゲージ
８ 筐体
８ａ 操作ボタン
８ｂ 表示部
１０ ロッド
１２ 測定子（錘）
１４ ゲージ固定部材
１４ａ 凹部
１６ ゲージ移動ユニット（第２移動ユニット）
１６ａ アーム
２２ 粘着テープ貼着装置
２４ 繰り出しローラ（テープ支持部）
２６ 巻き取りローラ
２８ 押圧ローラ
３０ ローラ移動ユニット（第１移動ユニット）

Claims (8)

  1. 基材層と粘着層とを有する粘着テープの該粘着層側外周部に環状のフレームが装着され、該粘着テープの該粘着層側中央部に板状の被加工物が貼着されてなるフレームユニットの該粘着テープのテンションが適当か否かを判定する判定方法であって、
    該粘着テープの該基材層側が上方に露出し、該粘着テープの下方で該被加工物と該フレームとの間に空間が形成されるように該被加工物及び該フレームを支持する支持ステップと、
    該粘着テープの該空間に対応する位置に錘を載置し、該粘着テープの該被加工物に対応する位置と該フレームに対応する位置との高さを基準に、該粘着テープのテンションに相当する下降量を該錘の高さに基づいて測定する下降量測定ステップと、
    該下降量が所定の範囲内の場合に、該粘着テープのテンションが適当と判定し、該下降量が該所定の範囲を外れた場合に、該粘着テープのテンションが不適当と判定する判定ステップと、を備えることを特徴とする判定方法。
  2. 該下降量測定ステップを該空間に対応する２以上の位置で実施し、該判定ステップでは、各位置で測定される該下降量の差から該粘着テープのテンションのばらつきを評価することを特徴とする請求項１に記載の判定方法。
  3. 該錘は、ダイヤルゲージの測定子であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の判定方法。
  4. 基材層と粘着層とを有する粘着テープの該粘着層側外周部に環状のフレームが装着され、該粘着テープの該粘着層側中央部に板状の被加工物が貼着されてなるフレームユニットの該粘着テープのテンションを測定する測定装置であって、
    該粘着テープの該基材層側が上方に露出し、該粘着テープの下方で該被加工物と該フレームとの間に空間が形成されるように該被加工物及び該フレームを支持する支持テーブルと、
    該粘着テープの該空間に対応する位置に載置される測定子を備え、該粘着テープのテンションに相当する下降量を該測定子の高さに基づいて測定するダイヤルゲージと、
    該粘着テープの該被加工物に対応する位置と該フレームに対応する位置とに掛け渡され、該測定子が垂下されるように該ダイヤルゲージを固定するゲージ固定部材と、を備えることを特徴とする測定装置。
  5. 該空間に対応する複数の位置に該ダイヤルゲージを位置付けるように該ゲージ固定部材を移動させる移動ユニットを更に備えることを特徴とする請求項４に記載の測定装置。
  6. 基材層と粘着層とを有する粘着テープの該粘着層側外周部を環状のフレームに装着し、該粘着テープの該粘着層側中央部を板状の被加工物に貼着してフレームユニットを形成する粘着テープ貼着装置であって、
    該被加工物及び該フレームを支持する第１支持テーブルと、
    ロール状に巻回された該粘着テープを支持するテープ支持部と、
    該第１支持テーブルに支持された該被加工物及び該フレームに対して該粘着テープを押圧する押圧ローラと、
    該第１支持テーブルと該押圧ローラとを相対的に移動させて、該被加工物及び該フレームに該粘着テープの該粘着層側を貼着する第１移動ユニットと、
    該被加工物及び該フレームに該粘着テープの該粘着層側を貼着した後、該粘着テープのテンションを測定する測定ユニットと、を備え、
    該測定ユニットは、
    該粘着テープの該基材層側が上方に露出し、該粘着テープの下方で該被加工物と該フレームとの間に空間が形成されるように該被加工物及び該フレームを支持する第２支持テーブルと、
    該粘着テープの該空間に対応する位置に載置される測定子を備え、該粘着テープのテンションに相当する下降量を該測定子の高さに基づいて測定するダイヤルゲージと、
    該粘着テープの該被加工物に対応する位置と該フレームに対応する位置とに掛け渡され、該測定子が垂下されるように該ダイヤルゲージを固定するゲージ固定部材と、を備えることを特徴とする粘着テープ貼着装置。
  7. 該測定ユニットは、該空間に対応する複数の位置に該ダイヤルゲージを位置付けるように該ゲージ固定部材を移動させる移動ユニットを更に備えることを特徴とする請求項６に記載の粘着テープ貼着装置。
  8. 該第２支持テーブルは、該第１支持テーブルであることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の粘着テープ貼着装置。
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