KR20200067239A - 판정 방법, 측정 장치, 및 점착 테이프 첩착 장치 - Google Patents

판정 방법, 측정 장치, 및 점착 테이프 첩착 장치 Download PDF

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Abstract

(과제) 프레임 유닛을 구성하는 점착 테이프의 텐션이 적당한지의 여부를 확실하게 판정할 수 있는 판정 방법을 제공한다.
(해결 수단) 프레임 유닛을 구성하는 점착 테이프의 텐션이 적당한지의 여부를 판정하는 판정 방법으로서, 점착 테이프의 기재층측이 상방으로 노출되고, 점착 테이프의 하방에서 피가공물과 프레임 사이에 공간이 형성되도록 피가공물 및 프레임을 지지하는 지지 스텝과, 점착 테이프의 공간에 대응하는 위치에 추를 재치하고, 점착 테이프의 피가공물에 대응하는 위치의 높이와 프레임에 대응하는 위치의 높이를 기준으로, 점착 테이프의 텐션에 상당하는 하강량을 추의 높이에 기초하여 측정하는 하강량 측정 스텝과, 하강량이 소정의 범위 내인 경우에, 점착 테이프의 텐션이 적당하다고 판정하고, 하강량이 소정의 범위를 벗어난 경우에, 점착 테이프의 텐션이 부적당하다고 판정하는 판정 스텝을 포함한다.

Description

판정 방법, 측정 장치, 및 점착 테이프 첩착 장치{DETERMINATION METHOD, MEASURING APPARATUS AND ADHESIVE TAPE STICKING DEVICE}
본 발명은, 프레임 유닛을 구성하는 점착 테이프의 텐션이 적절한지의 여부를 판정하는 판정 방법, 이 판정 방법에 적합한 측정 장치, 및 점착 테이프 첩착 (貼着) 장치에 관한 것이다.
반도체 디바이스의 제조 공정 등에서 웨이퍼를 복수의 칩으로 분할하기 위해서, 환상의 절삭 블레이드를 회전시키는 절삭 유닛을 구비하는 절삭 장치나, 레이저 빔을 조사, 집광하기 위한 조사 유닛을 구비하는 레이저 가공 장치 등이 사용되고 있다. 회전시킨 절삭 블레이드를 웨이퍼에 절입시키면서, 또는, 레이저 빔을 웨이퍼에 조사하면서, 절삭 유닛 또는 조사 유닛과 웨이퍼를 상대적으로 이동시킴으로써, 이 이동의 경로를 따라 웨이퍼를 가공할 수 있다.
상기 서술한 절삭 장치나 레이저 가공 장치 등을 사용하여 웨이퍼와 같은 판상의 피가공물을 가공할 때에는, 피가공물보다 직경이 큰 점착 테이프의 중앙부를 피가공물에 붙이고, 또, 이 점착 테이프의 외주부에 환상의 프레임을 고정시켜, 프레임 유닛을 형성하는 경우가 많다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조). 이와 같은 프레임 유닛을 형성함으로써, 반송, 가공시의 충격 등으로부터 피가공물을 보호하고, 또한, 가공 후의 피가공물의 취급 용이성을 높일 수 있다.
일본 공개특허공보 2009-76773호
그런데, 프레임 유닛을 구성하는 점착 테이프의 텐션 (장력) 이 약하면 (낮으면), 피가공물을 분할하여 얻어지는 칩끼리가 반송 중에 접촉하여 파손될 우려가 있다. 한편으로, 점착 테이프의 텐션이 강하면 (높으면), 이 점착 테이프를 펼치는 방향의 힘이 분할 중인 피가공물에 작용하여, 칩이 결손되기 쉽다. 따라서, 점착 테이프의 텐션을 적절히 관리할 필요가 있었다.
그러나, 지금까지는, 프레임 유닛을 구성하는 점착 테이프를 손가락 등으로 튕기고, 그 소리나 촉감 등에 기초하여 점착 테이프의 텐션이 적당한지의 여부를 판정하고 있었으므로, 판정에 관련된 작업자 (판정 담당자) 의 경험, 능력에 따라서 판정의 정밀도가 낮아지는 경우도 있었다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 프레임 유닛을 구성하는 점착 테이프의 텐션이 적당한지의 여부를 확실하게 판정할 수 있는 판정 방법, 이 판정 방법에 적합한 측정 장치, 및 점착 테이프 첩착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 양태에 의하면, 기재층과 점착층을 갖는 점착 테이프의 그 점착층측 외주부에 환상의 프레임이 장착되고, 그 점착 테이프의 그 점착층측 중앙부에 판상의 피가공물이 첩착되어 이루어지는 프레임 유닛의 그 점착 테이프의 텐션이 적당한지의 여부를 판정하는 판정 방법으로서, 그 점착 테이프의 그 기재층측이 상방으로 노출되고, 그 점착 테이프의 하방에서 그 피가공물과 그 프레임 사이에 공간이 형성되도록 그 피가공물 및 그 프레임을 지지하는 지지 스텝과, 그 점착 테이프의 그 공간에 대응하는 위치에 추를 재치 (載置) 하고, 그 점착 테이프의 그 피가공물에 대응하는 위치의 높이와 그 프레임에 대응하는 위치의 높이를 기준으로, 그 점착 테이프의 텐션에 상당하는 하강량을 그 추의 높이에 기초하여 측정하는 하강량 측정 스텝과, 그 하강량이 소정의 범위 내인 경우에, 그 점착 테이프의 텐션이 적당하다고 판정하고, 그 하강량이 그 소정의 범위를 벗어난 경우에, 그 점착 테이프의 텐션이 부적당하다고 판정하는 판정 스텝을 구비하는 판정 방법이 제공된다.
상기 판정 방법에 있어서, 그 하강량 측정 스텝을 그 공간에 대응하는 2 이상의 위치에서 실시하고, 그 판정 스텝에서는, 각 위치에서 측정되는 그 하강량의 차로부터 그 점착 테이프의 텐션의 편차를 평가할 수도 있다. 또, 그 추는, 다이얼 게이지의 측정자여도 된다.
본 발명의 다른 일 양태에 의하면, 기재층과 점착층을 갖는 점착 테이프의 그 점착층측 외주부에 환상의 프레임이 장착되고, 그 점착 테이프의 그 점착층측 중앙부에 판상의 피가공물이 첩착되어 이루어지는 프레임 유닛의 그 점착 테이프의 텐션에 상당하는 양을 측정하는 측정 장치로서, 그 점착 테이프의 그 기재층측이 상방으로 노출되고, 그 점착 테이프의 하방에서 그 피가공물과 그 프레임 사이에 공간이 형성되도록 그 피가공물 및 그 프레임을 지지하는 지지 테이블과, 그 점착 테이프의 그 공간에 대응하는 위치에 재치되는 측정자를 구비하고, 그 점착 테이프의 텐션에 상당하는 하강량을 그 측정자의 높이에 기초하여 측정하는 다이얼 게이지와, 그 점착 테이프의 그 피가공물에 대응하는 위치와 그 프레임에 대응하는 위치에 걸쳐서 놓이고, 그 측정자가 수하 (垂下) 되도록 그 다이얼 게이지를 고정시키는 게이지 고정 부재를 구비하는 측정 장치가 제공된다.
상기 측정 장치에 있어서, 그 공간에 대응하는 복수의 위치에 그 다이얼 게이지를 위치시키도록 그 게이지 고정 부재를 이동시키는 이동 유닛을 추가로 구비해도 된다.
본 발명의 또 다른 일 양태에 의하면, 기재층과 점착층을 갖는 점착 테이프의 그 점착층측 외주부를 환상의 프레임에 장착하고, 그 점착 테이프의 그 점착층측 중앙부를 판상의 피가공물에 첩착하여 프레임 유닛을 형성하는 점착 테이프 첩착 장치로서, 그 피가공물 및 그 프레임을 지지하는 제 1 지지 테이블과, 롤상으로 권회된 그 점착 테이프를 지지하는 테이프 지지부와, 그 제 1 지지 테이블에 지지된 그 피가공물 및 그 프레임에 대해 그 점착 테이프를 가압하는 가압 롤러와, 그 제 1 지지 테이블과 그 가압 롤러를 상대적으로 이동시키고, 그 피가공물 및 그 프레임에 그 점착 테이프의 그 점착층측을 첩착하는 제 1 이동 유닛과, 그 피가공물 및 그 프레임에 그 점착 테이프의 그 점착층측을 첩착한 후, 그 점착 테이프의 텐션에 상당하는 양을 측정하는 측정 유닛을 구비하고, 그 측정 유닛은, 그 점착 테이프의 그 기재층측이 상방으로 노출되고, 그 점착 테이프의 하방에서 그 피가공물과 그 프레임 사이에 공간이 형성되도록 그 피가공물 및 그 프레임을 지지하는 제 2 지지 테이블과, 그 점착 테이프의 그 공간에 대응하는 위치에 재치되는 측정자를 구비하고, 그 점착 테이프의 텐션에 상당하는 하강량을 그 측정자의 높이에 기초하여 측정하는 다이얼 게이지와, 그 점착 테이프의 그 피가공물에 대응하는 위치와 그 프레임에 대응하는 위치에 걸쳐서 놓이고, 그 측정자가 수하되도록 그 다이얼 게이지를 고정시키는 게이지 고정 부재를 구비하는 점착 테이프 첩착 장치가 제공된다.
상기 점착 테이프 첩착 장치에 있어서, 그 측정 유닛은, 그 공간에 대응하는 복수의 위치에 그 다이얼 게이지를 위치시키도록 그 게이지 고정 부재를 이동시키는 이동 유닛을 추가로 구비해도 된다. 또, 그 제 2 지지 테이블은, 그 제 1 지지 테이블이어도 된다.
본 발명의 일 양태에 관련된 판정 방법에서는, 점착 테이프에 추를 재치하여 텐션에 상당하는 하강량을 측정한 후, 이 하강량이 소정의 범위 내인 경우에, 점착 테이프의 텐션이 적당하다고 판정하고, 하강량이 소정의 범위를 벗어난 경우에, 점착 테이프의 텐션이 부적당하다고 판정하므로, 종래의 방법과 같이 판정의 결과가 작업자 (판정 담당자) 에 의해 편차가 생기는 경우는 없다. 요컨대, 본 발명의 일 양태에 관련된 판정 방법에 의하면, 프레임 유닛을 구성하는 점착 테이프의 텐션이 적당한지의 여부를 확실하게 판정할 수 있다.
또, 본 발명의 다른 일 양태에 관련된 측정 장치 및 점착 테이프 첩착 장치는, 점착 테이프의 하방에서 피가공물과 프레임 사이에 공간이 형성되도록 피가공물 및 프레임을 지지하는 지지 테이블과, 점착 테이프의 공간에 대응하는 위치에 재치되는 측정자를 구비하고, 점착 테이프의 텐션에 상당하는 하강량을 측정자의 높이에 기초하여 측정하는 다이얼 게이지를 구비하고 있다. 따라서, 이 측정 장치나 점착 테이프 첩착 장치를 사용함으로써, 상기 서술한 판정 방법을 적절히 실시할 수 있다.
도 1(A) 는, 프레임 유닛이 형성되는 모습을 모식적으로 나타내는 사시도이고, 도 1(B) 는, 완성된 프레임 유닛의 구성예를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 2 는 측정 장치의 구성예를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 3 은 측정 장치의 구성예를 모식적으로 나타내는 일부 단면 측면도이다.
도 4 는 측정 장치의 일부를 확대하여 나타내는 사시도이다.
도 5(A) 는, 지지 스텝을 설명하기 위한 일부 단면 측면도이고, 도 5(B) 는, 하강량 측정 스텝을 설명하기 위한 일부 단면 측면도이다.
도 6 은 변형예에 관련된 하강량 측정 스텝에서 하강량이 측정되는 복수의 위치의 예를 나타내는 사시도이다.
도 7 은 점착 테이프 첩착 장치의 구성예를 모식적으로 나타내는 일부 단면 측면도이다.
첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 일 양태에 관련된 실시형태에 대해 설명한다. 본 실시형태에 관련된 판정 방법은, 예를 들어, 프레임 유닛을 구성하는 점착 테이프의 텐션이 적당한지의 여부를 판정하기 위해서 사용되고, 지지 스텝 (도 5(A) 참조), 하강량 측정 스텝 (도 5(B) 참조), 및 판정 스텝을 포함하고 있다.
지지 스텝에서는, 점착 테이프의 기재층측이 상방으로 노출되고, 이 점착 테이프의 하방에서 프레임 유닛을 구성하는 피가공물과 환상의 프레임 사이에 공간이 형성되도록, 피가공물 및 프레임을 지지한다. 하강량 측정 스텝에서는, 점착 테이프의 상기 공간에 대응하는 위치에 다이얼 게이지의 측정자 (추) 를 올리고, 점착 테이프의 피가공물에 대응하는 위치의 높이와 프레임에 대응하는 위치의 높이를 기준으로, 점착 테이프의 텐션에 상당 (대응) 하는 하강량을 측정자의 높이에 기초하여 측정한다.
판정 스텝에서는, 하강량 측정 스텝에서 측정된 하강량이 소정의 범위 내인 경우에, 점착 테이프의 텐션이 적당하다고 판정하고, 하강량이 소정의 범위를 벗어난 경우에, 점착 테이프의 텐션이 부적당하다고 판정한다. 이하, 본 실시형태에 관련된 판정 방법 등에 대해 상세히 서술한다.
먼저, 본 실시형태에 관련된 판정 방법의 판정 대상인 프레임 유닛의 구성예에 대해 설명한다. 도 1(A) 는, 프레임 유닛 (1) 이 형성되는 모습을 모식적으로 나타내는 사시도이고, 도 1(B) 는, 완성된 프레임 유닛 (1) 의 구성예를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 프레임 유닛 (1) 은, 예를 들어, 절삭 장치 (도시 생략) 나 레이저 가공 장치 (도시 생략) 등에 의해 가공되는 피가공물 (11) 을 포함하고 있다.
피가공물 (11) 은, 예를 들어, 실리콘 (Si) 이나 탄화규소 (SiC), 사파이어 (Al2O3) 등의 재료로 이루어지는 원반상의 웨이퍼이고, 그 표면 (11a) 측은, 격자상으로 배열된 분할 예정 라인 (스트리트) (13) 에 의해 복수의 영역으로 구획되어 있다. 각 영역에는, IC (Integrated Circuit), LED (Light Emitting Diode) 등의 디바이스 (15) 가 형성되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 실리콘이나 탄화규소, 사파이어 등의 재료로 이루어지는 원반상의 웨이퍼를 피가공물 (11) 로 하고 있지만, 피가공물 (11) 의 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 예를 들어, 다른 반도체, 세라믹스, 수지, 금속 등의 재료로 이루어지는 기판을 피가공물 (11) 로서 사용할 수도 있다. 동일하게, 디바이스 (15) 의 종류, 수량, 크기, 배치 등에도 제한은 없다.
이와 같이 구성되는 피가공물 (11) 의 이면 (11b) 측에는, 도 1(A) 에 나타내는 바와 같이, 점착 테이프 (17) 가 첩착 (첩부 (貼付)) 된다. 점착 테이프 (17) 는, 예를 들어, 폴리올레핀, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리염화비닐, 폴리스티렌 등으로 이루어지는 기재층과, 실리콘 고무, 아크릴계 재료, 에폭시계 재료 등으로 이루어지는 점착층을 중첩하여 형성되어 있고, 점착층측 (17b) 의 중앙부가 피가공물 (11) 의 이면 (11b) 측에 첩착된다.
한편, 점착 테이프 (17) 의 점착층측 (17b) 의 외주부는, 도 1(A) 에 나타내는 바와 같이, 피가공물 (11) 로부터 떨어진 위치에서 피가공물 (11) 을 둘러싸는 환상의 프레임 (19) 에 첩착, 고정 (장착) 된다. 그 결과, 도 1(B) 에 나타내는 바와 같이, 점착 테이프 (17) 를 개재하여 피가공물 (11) 과 프레임 (19) 이 일체로 된 프레임 유닛 (1) 이 완성된다.
또한, 본 실시형태에서는, 폴리올레핀, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리염화비닐, 폴리스티렌 등으로 이루어지는 기재층과, 실리콘 고무, 아크릴계 재료, 에폭시계 재료 등으로 이루어지는 점착층을 중첩하여 이루어지는 원형의 점착 테이프 (17) 를 사용하고 있지만, 점착 테이프 (17) 의 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 동일하게, 프레임 (19) 의 재질, 형상, 구조, 크기 등에도 제한은 없다.
다음으로, 본 실시형태에 관련된 판정 방법에서 사용되는 측정 장치 (측정 유닛) 에 대해 설명한다. 도 2 는, 측정 장치 (측정 유닛) (2) 의 구성예를 모식적으로 나타내는 사시도이고, 도 3 은, 측정 장치 (2) 의 구성예를 모식적으로 나타내는 일부 단면 측면도이다. 도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 측정 장치 (2) 는, 프레임 유닛 (1) 을 지지하기 위한 지지 테이블 (제 1 지지 테이블, 제 2 지지 테이블) (4) 을 구비하고 있다.
지지 테이블 (4) 은, 피가공물 (11) 에 대응하는 형상 (본 실시형태에서는, 평면에서 보아 원형) 으로 형성된 피가공물 지지 영역 (4a) 과, 피가공물 지지 영역 (4a) 을 둘러싸는 환상의 프레임 지지 영역 (4b) 을 그 상면측에 가지고 있다. 지지 테이블 (4) 에 프레임 유닛 (1) 을 지지시킬 때에는, 점착 테이프 (17) 의 기재층측 (17a) 이 상방으로 노출되도록, 피가공물 (11) 을 피가공물 지지 영역 (4a) 에 올리고, 프레임 (19) 을 프레임 지지 영역 (4b) 에 올린다.
한편으로, 피가공물 지지 영역 (4a) 과 프레임 지지 영역 (4b) 사이의 환상의 영역 (4c) 에는, 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 을 올리지 않는다. 따라서, 이 영역 (4c) 의 상방에는, 피가공물 (11), 점착 테이프 (17), 및 프레임 (19) 에 의해 둘러싸이는 공간 (21) 이 형성된다. 바꿔 말하면, 점착 테이프 (17) 의 하방에서 피가공물 (11) 과 프레임 (19) 사이에는 공간 (21) 이 형성된다.
또한, 본 실시형태에서는, 프레임 (19) 보다 얇은 피가공물 (11) 을 사용하는 경우에, 지지 테이블 (4) 에 지지되는 피가공물 (11) 의 상면 (대표적으로는, 이면 (11b)) 의 높이와 프레임 (19) 의 상면의 높이가 대체로 일치하도록, 프레임 지지 영역 (4b) 보다 높은 위치에 피가공물 지지 영역 (4a) 을 형성하고 있다. 단, 피가공물 지지 영역 (4a) 및 프레임 지지 영역 (4b) 의 높이의 관계는, 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 의 두께의 관계 등에 따라 임의로 설정, 변경된다.
피가공물 지지 영역 (4a) 과 프레임 지지 영역 (4b) 사이의 영역 (4c) 의 상방에는, 다이얼 게이지 (6) 가 배치되어 있다. 도 4 는, 다이얼 게이지 (6) 의 주변을 확대하여 나타내는 사시도이다. 도 4 등에 나타내는 바와 같이, 다이얼 게이지 (6) 는, 예를 들어, 원반상으로 형성된 케이싱 (8) 을 구비하고 있다. 케이싱 (8) 에는, 상하 방향으로 이동 가능한 로드 (10) 의 상단측이 삽입되어 있다. 한편으로, 이 로드 (10) 의 하단에는, 측정 대상에 접촉시키기 위한 측정자 (추) (12) 가 형성되어 있다.
케이싱 (8) 의 내부에는, 로드 (10) 의 상단측에 연결된 측정 기구 (도시 생략) 가 형성되어 있다. 이 측정 기구는, 측정자 (12) 를 측정 대상에 접촉시켰을 때의 로드 (10) 의 위치, 변위 (이동량) 등을 측정한다. 케이싱 (8) 의 전면측에는, 다이얼 게이지 (6) 에 대해 각종 입력을 실시하기 위한 조작 버튼 (8a) 이나, 측정 기구에 의해 측정되는 위치, 변위 등의 정보를 표시하기 위한 표시부 (8b) 등이 형성되어 있다.
또한, 측정자 (12) 의 질량 (중량) 은, 측정 대상인 점착 테이프 (17) 의 종류 등에 따라 임의로 설정된다. 또, 스프링 등의 탄성 지지 부재로 로드 (10) 에 하방향의 힘을 가해도 된다. 이 경우에는, 측정자 (12) 에 작용하는 중력에 더하여 탄성 지지 부재에 의한 하방향의 힘을 이용할 수 있으므로, 측정자 (12) 의 질량은 작아진다. 또, 본 실시형태에서는, 디지털식의 다이얼 게이지 (6) 를 사용하고 있지만, 아날로그식의 다이얼 게이지를 사용해도 된다. 물론, 다이얼 게이지와 비슷한 기능을 갖는 다른 측정 기구를 사용할 수도 있다.
다이얼 게이지 (6) 는, 게이지 고정 부재 (14) 의 상부에 고정되어 있다. 이 게이지 고정 부재 (14) 는, 피가공물 지지 영역 (4a) 으로부터 프레임 지지 영역 (4b) 에까지 걸쳐서 놓을 수 있는 크기의 직방체상으로 형성되어 있고, 로드 (10) 및 측정자 (12) 가 수하되도록 다이얼 게이지 (6) 를 고정시킨다. 다이얼 게이지 (6) 의 로드 (10) 및 측정자 (12) 는, 게이지 고정 부재 (14) 에 고정되어 있지 않다.
게이지 고정 부재 (14) 의 하면측에는, 오목부 (14a) 가 형성되어 있다. 이 오목부 (14a) 는, 로드 (10) 및 측정자 (12) 의 상하 방향으로의 이동을 허용하는 양태로 형성된다. 또한, 측정 개시 전에는, 측정자 (12) 의 하면이, 게이지 고정 부재 (14) 의 하면보다 낮아지도록 조정된다.
또, 측정 개시 전에는, 측정자 (12) 의 하면의 기준이 되는 높이 (기준 위치, 0 점 위치) 가 설정된다. 구체적으로는, 예를 들어, 평탄한 받침대 상에 게이지 고정 부재 (14) 를 올리고, 이 받침대의 상면에 측정자 (12) 의 하면이 접촉한 상태에서 측정자 (12) 의 하면의 높이 (즉, 게이지 고정 부재 (14) 의 하면과 동일한 높이) 를 기준 위치로 설정한다. 또한, 측정자 (12) 에 작용하는 중력 등에 의해 로드 (10) 가 가장 하방으로 이동한 상태 (즉, 측정자 (12) 가 케이싱 (8) 으로부터 가장 떨어진 상태) 에서, 측정자 (12) 의 하면의 높이를 기준 위치로 설정해도 된다.
게이지 고정 부재 (14) 의 측방에는, 게이지 고정 부재 (14) 와 함께 다이얼 게이지 (6) 를 이동시키는 게이지 이동 유닛 (제 2 이동 유닛) (16) 의 아암 (16a) 이 접속되어 있다. 이 게이지 이동 유닛 (16) 은, 예를 들어, 모터 등의 회전 구동원을 구비하고, 피가공물 지지 영역 (4a) 과 프레임 지지 영역 (4b) 사이의 환상의 영역 (4c) 을 따라 다이얼 게이지 (6) 를 이동시킨다.
이로써, 영역 (4c) 의 상방에 형성되는 공간 (21) 에 대응하는 복수의 위치에 다이얼 게이지 (6) 를 맞추고, 각 위치에서 점착 테이프 (17) 의 텐션을 확인할 수 있다. 또한, 이 게이지 이동 유닛 (16) 은, 예를 들어, 상하 방향으로 이동할 수 있도록 구성되어 있고, 프레임 유닛 (1) 의 반입, 반출시에는 상방으로 퇴피한다.
다음으로, 상기 서술한 측정 장치 (2) 를 사용하여 실시되는 본 실시형태의 판정 방법에 대해 설명한다. 본 실시형태의 판정 방법에서는, 먼저, 점착 테이프 (17) 의 기재층측 (17a) 이 상방으로 노출되고, 이 점착 테이프 (17) 의 하방에서 프레임 유닛 (1) 을 구성하는 피가공물 (11) 과 프레임 (19) 사이에 공간 (21) 이 형성되도록, 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 을 지지 테이블 (4) 로 지지하는 지지 스텝을 실시한다. 도 5(A) 는, 지지 스텝을 설명하기 위한 일부 단면 측면도이다.
지지 스텝에서는, 점착 테이프 (17) 의 기재층측 (17a) 이 상방으로 노출되도록, 피가공물 (11) 을 피가공물 지지 영역 (4a) 에 올리고, 프레임 (19) 을 프레임 지지 영역 (4b) 에 올린다. 한편으로, 피가공물 지지 영역 (4a) 과 프레임 지지 영역 (4b) 사이의 환상의 영역 (4c) 에는, 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 을 올리지 않는다. 이로써, 영역 (4c) 의 상방에는, 피가공물 (11), 점착 테이프 (17), 및 프레임 (19) 에 의해 둘러싸이는 공간 (21) 이 형성된다. 또한, 피가공물 (11) 의 표면 (11a) 측에는, 미리 보호 테이프 등이 첩착되어 있어도 된다.
지지 스텝 후에는, 점착 테이프 (17) 의 공간 (21) 에 대응하는 위치에 측정자 (12) 를 올리고, 점착 테이프 (17) 의 피가공물 (11) 에 대응하는 위치의 높이와 프레임 (19) 에 대응하는 위치의 높이를 기준으로, 점착 테이프 (17) 의 텐션에 상당하는 하강량을 측정자 (12) 의 높이에 기초하여 측정하는 하강량 측정 스텝을 실시한다. 도 5(B) 는, 하강량 측정 스텝을 설명하기 위한 일부 단면 측면도이다.
하강량 측정 스텝에서는, 먼저, 게이지 이동 유닛 (16) 을 사용하여, 텐션의 적정 여부를 판정하고자 희망하는 위치에 다이얼 게이지 (6) 를 이동시킨다. 구체적으로는, 상기 서술한 공간 (21) 에 대응하는 어느 위치에 다이얼 게이지 (6) 를 위치시킨다. 다음으로, 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 의 상방에 위치하는 점착 테이프 (17) 의 기재층측 (17a) 의 높이가 측정의 기준이 되도록, 게이지 고정 부재 (14) 의 하면을, 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 의 상방에 위치하는 점착 테이프 (17) 의 기재층측 (17a) 에 접촉시킨다.
상기 서술한 바와 같이, 측정자 (12) 의 하면은, 게이지 고정 부재 (14) 의 하면보다 낮아지도록 조정되어 있다. 그 때문에, 게이지 고정 부재 (14) 의 하면을, 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 의 상방에 위치하는 점착 테이프 (17) 의 기재층측 (17a) 에 접촉시키면, 측정자 (12) 는, 공간 (21) 의 상방에 위치하는 점착 테이프 (17) 의 기재층측 (17a) 에 재치된다. 그 결과, 공간 (21) 의 상방에 위치하는 점착 테이프 (17) 는, 측정자 (12) 에 작용하는 중력 등에 의해 하방으로 압하된다.
그 후, 다이얼 게이지 (6) 에 의해, 하방으로 압하된 점착 테이프 (17) 의 하강량을 측정한다. 구체적으로는, 점착 테이프 (17) 의 피가공물 (11) 에 대응하는 위치의 높이와 프레임 (19) 에 대응하는 위치의 높이를 기준으로, 측정자 (12) 의 하면의 높이를 측정한다. 즉, 기준이 되는 높이 (기준 위치, 0 점 위치) 와, 하방으로 압하된 점착 테이프 (17) 의 기재층측 (17a) 의 높이의 차 ΔH 를 측정한다. 이와 같이 하여 측정되는 하강량 (차 ΔH) 은, 점착 테이프 (17) 의 텐션에 상당한다.
또한, 로드 (10) 가 가장 하방으로 이동한 상태에서 측정자 (12) 의 하면의 높이를 기준 위치로 설정하고 있는 경우에는, 기준 위치로부터의 측정자 (12) 의 하면의 상승량을 산출함으로써, 이 상승량에 기초하여 상기 서술한 하강량 (또는, 하강량에 대응하는 양) 을 산출할 수 있다. 즉, 이 경우에 측정되는 상승량도, 점착 테이프 (17) 의 텐션에 상당하고 있다.
하강량 측정 스텝 후에는, 점착 테이프 (17) 의 텐션이 적당한지의 여부를 판정하는 판정 스텝을 실시한다. 구체적으로는, 예를 들어, 하강량 측정 스텝에서 측정된 하강량이 소정의 범위 내인 경우에는, 점착 테이프 (17) 의 텐션이 적당하다고 판정한다. 한편으로, 하강량이 소정의 범위를 벗어난 경우에는, 점착 테이프 (17) 의 텐션이 부적당하다고 판정한다. 또한, 판정의 기준이 되는 범위는, 점착 테이프 (17) 의 종류 등에 따라 임의로 설정, 변경된다.
이 판정 스텝에서는, 점착 테이프 (17) 의 텐션의 강약 (적정한 범위보다 높은지 낮은지) 을 판정해도 된다. 예를 들어, 하강량 측정 스텝에서 측정된 하강량이 소정의 범위보다 작은 경우에는, 점착 테이프 (17) 의 텐션이 강하다 (적정한 범위보다 높다) 고 판정한다. 한편으로, 하강량 측정 스텝에서 측정된 하강량이 소정의 범위보다 큰 경우에는, 점착 테이프 (17) 의 텐션이 약하다 (적정한 범위보다 낮다) 고 판정한다.
또한, 상기 서술한 판정 스텝에서 점착 테이프 (17) 의 텐션이 강하다고 판정된 경우에는, 그 후, 점착 테이프 (17) 의 텐션을 약하게 하도록 첩착의 조건을 변경하면 된다. 한편으로, 점착 테이프 (17) 의 텐션이 약하다고 판정된 경우에는, 점착 테이프 (17) 의 텐션을 강하게 하도록 첩착의 조건을 변경하면 된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 관련된 판정 방법에서는, 점착 테이프 (17) 에 측정자 (추) (12) 를 재치하여 텐션에 상당하는 하강량을 측정한 후, 이 하강량이 소정의 범위 내인 경우에, 점착 테이프 (17) 의 텐션이 적당하다고 판정하고, 하강량이 소정의 범위를 벗어난 경우에, 점착 테이프 (17) 의 텐션이 부적당하다고 판정하므로, 종래의 방법과 같이 판정의 결과가 작업자 (판정 담당자) 에 의해 편차가 생기는 경우는 없다. 요컨대, 본 실시형태에 관련된 판정 방법에 의하면, 프레임 유닛 (1) 을 구성하는 점착 테이프 (17) 의 텐션이 적당한지의 여부를 확실하게 판정할 수 있다.
또, 본 실시형태에 관련된 측정 장치 (측정 유닛) (2) 는, 점착 테이프 (17) 의 하방에서 피가공물 (11) 과 프레임 (19) 사이에 공간 (21) 이 형성되도록 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 을 지지하는 지지 테이블 (4) 과, 점착 테이프 (17) 의 공간 (21) 에 대응하는 위치에 재치되는 측정자 (12) 를 구비하고, 점착 테이프 (17) 의 텐션에 상당하는 하강량을 측정자 (12) 의 높이에 기초하여 측정하는 다이얼 게이지 (6) 를 구비하고 있다. 따라서, 이 측정 장치 (2) 를 사용함으로써, 본 실시형태의 판정 방법을 적절히 실시할 수 있다.
또한, 본 발명은, 상기 실시형태의 기재에 제한되지 않고 여러 가지 변경하여 실시 가능하다. 예를 들어, 하강량 측정 스텝에 관련된 하강량의 측정은, 점착 테이프 (17) 의 2 개 이상의 위치에서 실시되어도 된다. 도 6 은, 변형예에 관련된 하강량 측정 스텝에서 하강량이 측정되는 복수의 위치의 예를 나타내는 사시도이다.
도 6 에 나타내는 바와 같이, 변형예에 관련된 하강량 측정 스텝에서는, 상기 서술한 공간 (21) 에 대응하는 8 개의 위치 (위치 (23a), 위치 (23b), 위치 (23c), 위치 (23d), 위치 (23e), 위치 (23f), 위치 (23g) 및 위치 (23h)) 에서 하강량을 측정한다. 이로써, 각 위치에서 측정되는 하강량을 다음 판정 스텝에서 사용하여, 점착 테이프 (17) 의 텐션 상태를 보다 상세하게 확인할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들어, 각 위치에서 측정되는 하강량의 차에 기초하여, 점착 테이프 (17) 의 텐션의 편차를 평가하는 것이 가능하다.
또, 상기 실시형태나 변형예에 관련된 판정 방법을 응용하면, 점착 테이프의 종류 등을 판정할 수도 있다. 예를 들어, 폴리올레핀으로 이루어지는 기재층이 사용된 점착 테이프에 대응하는 하강량의 제 1 범위를 설정하고, 폴리에틸렌테레프탈레이트로 이루어지는 기재층이 사용된 점착 테이프에 대응하는 하강량의 제 2 범위를 설정함으로써, 폴리올레핀으로 이루어지는 기재층이 사용된 점착 테이프와 폴리에틸렌테레프탈레이트로 이루어지는 기재층이 사용된 점착 테이프 중 어느 것이 사용되었는지를 판정할 수 있다.
또, 상기 측정 장치 (2) 는, 점착 테이프 첩착 장치 등에 편입되어도 된다. 도 7 은, 측정 장치 (2) 가 편입된 점착 테이프 첩착 장치 (22) 의 구성예를 모식적으로 나타내는 일부 단면 측면도이다. 도 7 에 나타내는 바와 같이, 점착 테이프 첩착 장치 (22) 에는, 상기 실시형태에 관련된 측정 장치 (2) 가 삽입되어 있다. 또한, 측정 장치 (2) 의 상세에 대해서는 생략한다.
지지 테이블 (4) 의 상방에는, 띠상의 점착 테이프 (17) 를 지지하기 위한 원기둥상의 조출 롤러 (테이프 지지부) (24) 가 배치되어 있다. 조출 롤러 (24) 는, 예를 들어, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 에 연결되어 있고, 이 회전 구동원으로부터 발생하는 힘에 의해 소정의 회전축의 둘레로 회전한다.
점착 테이프 (17) 는, 예를 들어, 점착층측 (17b) 이 외측을 향하도록 원통상의 심 (도시 생략) 에 권회되어 있다. 이 심의 내측의 공간에 조출 롤러 (24) 를 삽입함으로써, 점착 테이프 (17) 는 조출 롤러 (24) 에 지지된다.
조출 롤러 (24) 로부터 수평 방향으로 떨어진 위치에는, 조출 롤러 (24) 로부터 조출되는 점착 테이프 (17) 를 권취하기 위한 권취 롤러 (26) 가 배치되어 있다. 권취 롤러 (26) 는, 예를 들어, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 에 연결되어 있고, 이 회전 구동원으로부터 발생하는 힘에 의해 소정의 회전축의 둘레로 회전한다.
또한, 권취 롤러 (26) 는, 그 회전축이 조출 롤러 (24) 의 회전축에 대해 대체로 평행이 되도록 배치된다. 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 에 점착 테이프 (17) 를 붙일 때에는, 조출 롤러 (24) 로부터 조출된 점착 테이프 (17) 가, 조출 롤러 (24) 와 권취 롤러 (26) 사이에서 유지된다.
또, 조출 롤러 (24) 와 권취 롤러 (26) 사이에는, 지지 테이블 (4) 에 지지되는 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 에 대해 점착 테이프 (17) 를 누르기 위한 가압 롤러 (28) 가 배치되어 있다. 이 가압 롤러 (28) 는, 롤러 이동 유닛 (제 1 이동 유닛) (30) 에 접속되어 있고, 점착 테이프 (17) 가 조출되는 조출 방향을 따라 이동한다.
가압 롤러 (28) 를 이동시킴으로써, 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 에 대해 점착 테이프 (17) 의 점착층측 (17b) 을 누르고, 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 에 점착 테이프 (17) 를 첩착할 수 있다. 이 점착 테이프 첩착 장치 (22) 에는, 측정 장치 (2) 가 편입되어 있으므로, 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 에 점착 테이프 (17) 를 첩착한 후에, 점착 테이프 (17) 의 텐션에 상당하는 하강량을 측정하는 것이 가능하다.
피가공물 (11) 및 프레임 (19) 에 점착 테이프 (17) 를 첩착한 후, 또는, 점착 테이프 (17) 의 텐션에 상당하는 하강량을 측정한 후에는, 프레임 (19) 의 형상, 크기 등에 맞추어 점착 테이프 (17) 를 절단하면 된다. 이로써, 상기 서술한 바와 같은 프레임 유닛 (1) 이 완성된다. 또한, 점착 테이프 (17) 는, 프레임 (19) 의 형상, 크기 등에 맞추어 미리 절단되어 있어도 된다. 또, 텐션에 상당하는 하강량을, 점착 테이프 (17) 를 절단한 후에 측정해도 된다.
또한, 상기 서술한 하강량에 기초하여 점착 테이프 (17) 의 텐션이 강하다고 판정된 경우에는, 그 후, 점착 테이프 (17) 의 텐션을 약하게 하도록 각 부의 동작의 조건을 변경하면 된다. 예를 들어, 조출 롤러 (24) 로부터의 점착 테이프 (17) 의 조출량을 많게 하거나, 또는, 권취 롤러 (26) 에 의한 점착 테이프 (17) 의 권취량을 적게 함으로써, 점착 테이프 (17) 의 텐션을 약하게 할 수 있다.
동일하게, 상기 서술한 하강량에 기초하여 점착 테이프 (17) 의 텐션이 약하다고 판정된 경우에는, 그 후, 점착 테이프 (17) 의 텐션을 강하게 하도록 각 부의 동작의 조건을 변경하면 된다. 예를 들어, 조출 롤러 (24) 로부터의 점착 테이프 (17) 의 조출량을 적게 하거나, 또는, 권취 롤러 (26) 에 의한 점착 테이프 (17) 의 권취량을 많게 함으로써, 점착 테이프 (17) 의 텐션을 강하게 할 수 있다.
또, 상기 점착 테이프 첩착 장치 (22) 에서는, 지지 테이블 (4) 을 이동시키지 않고 가압 롤러 (28) 를 이동시키고 있지만, 본 발명의 점착 테이프 첩착 장치는, 지지 테이블과 가압 롤러가 상대적으로 이동할 수 있도록 구성되어 있으면 된다.
또, 상기 점착 테이프 첩착 장치 (22) 에서는, 측정 장치 (2) 의 지지 테이블 (4) 을, 점착 테이프 (17) 를 첩착할 때에 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 을 지지하기 위한 지지 테이블로서 사용하고 있지만, 점착 테이프 (17) 를 첩착할 때에 피가공물 (11) 및 프레임 (19) 을 지지하기 위한 지지 테이블 (제 1 지지 테이블) 과, 하강량 측정 스텝을 실시하기 위한 지지 테이블 (제 2 지지 테이블) 은 별도여도 된다.
그 외에, 상기 실시형태에 관련된 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시할 수 있다.
1 : 프레임 유닛
11 : 피가공물
11a : 표면
11b : 이면
13 : 분할 예정 라인 (스트리트)
15 : 디바이스
17 : 점착 테이프
17a : 기재층측
17b : 점착층측
19 : 프레임
21 : 공간
23a, 23b, 23c, 23d, 23e, 23f, 23g, 23h : 위치
2 : 측정 장치 (측정 유닛)
4 : 지지 테이블 (제 1 지지 테이블, 제 2 지지 테이블)
4a : 피가공물 지지 영역
4b : 프레임 지지 영역
4c : 영역
6 : 다이얼 게이지
8 : 케이싱
8a : 조작 버튼
8b : 표시부
10 : 로드
12 : 측정자 (추)
14 : 게이지 고정 부재
14a : 오목부
16 : 게이지 이동 유닛 (제 2 이동 유닛)
16a : 아암
22 : 점착 테이프 첩착 장치
24 : 조출 롤러 (테이프 지지부)
26 : 권취 롤러
28 : 가압 롤러
30 : 롤러 이동 유닛 (제 1 이동 유닛)

Claims (8)

  1. 기재층과 점착층을 갖는 점착 테이프의 그 점착층측 외주부에 환상의 프레임이 장착되고, 그 점착 테이프의 그 점착층측 중앙부에 판상의 피가공물이 첩착되어 이루어지는 프레임 유닛의 그 점착 테이프의 텐션이 적당한지의 여부를 판정하는 판정 방법으로서,
    그 점착 테이프의 그 기재층측이 상방으로 노출되고, 그 점착 테이프의 하방에서 그 피가공물과 그 프레임 사이에 공간이 형성되도록 그 피가공물 및 그 프레임을 지지하는 지지 스텝과,
    그 점착 테이프의 그 공간에 대응하는 위치에 추를 재치하고, 그 점착 테이프의 그 피가공물에 대응하는 위치와 그 프레임에 대응하는 위치의 높이를 기준으로, 그 점착 테이프의 텐션에 상당하는 하강량을 그 추의 높이에 기초하여 측정하는 하강량 측정 스텝과,
    그 하강량이 소정의 범위 내인 경우에, 그 점착 테이프의 텐션이 적당하다고 판정하고, 그 하강량이 그 소정의 범위를 벗어난 경우에, 그 점착 테이프의 텐션이 부적당하다고 판정하는 판정 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 판정 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    그 하강량 측정 스텝을 그 공간에 대응하는 2 개 이상의 위치에서 실시하고, 그 판정 스텝에서는, 각 위치에서 측정되는 그 하강량의 차로부터 그 점착 테이프의 텐션의 편차를 평가하는 것을 특징으로 하는 판정 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    그 추는, 다이얼 게이지의 측정자인 것을 특징으로 하는 판정 방법.
  4. 기재층과 점착층을 갖는 점착 테이프의 그 점착층측 외주부에 환상의 프레임이 장착되고, 그 점착 테이프의 그 점착층측 중앙부에 판상의 피가공물이 첩착되어 이루어지는 프레임 유닛의 그 점착 테이프의 텐션을 측정하는 측정 장치로서,
    그 점착 테이프의 그 기재층측이 상방으로 노출되고, 그 점착 테이프의 하방에서 그 피가공물과 그 프레임 사이에 공간이 형성되도록 그 피가공물 및 그 프레임을 지지하는 지지 테이블과,
    그 점착 테이프의 그 공간에 대응하는 위치에 재치되는 측정자를 구비하고, 그 점착 테이프의 텐션에 상당하는 하강량을 그 측정자의 높이에 기초하여 측정하는 다이얼 게이지와,
    그 점착 테이프의 그 피가공물에 대응하는 위치와 그 프레임에 대응하는 위치에 걸쳐서 놓이고, 그 측정자가 수하되도록 그 다이얼 게이지를 고정시키는 게이지 고정 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 측정 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    그 공간에 대응하는 복수의 위치에 그 다이얼 게이지를 위치시키도록 그 게이지 고정 부재를 이동시키는 이동 유닛을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 측정 장치.
  6. 기재층과 점착층을 갖는 점착 테이프의 그 점착층측 외주부를 환상의 프레임에 장착하고, 그 점착 테이프의 그 점착층측 중앙부를 판상의 피가공물에 첩착하여 프레임 유닛을 형성하는 점착 테이프 첩착 장치로서,
    그 피가공물 및 그 프레임을 지지하는 제 1 지지 테이블과,
    롤상으로 권회된 그 점착 테이프를 지지하는 테이프 지지부와,
    그 제 1 지지 테이블에 지지된 그 피가공물 및 그 프레임에 대해 그 점착 테이프를 가압하는 가압 롤러와,
    그 제 1 지지 테이블과 그 가압 롤러를 상대적으로 이동시키고, 그 피가공물 및 그 프레임에 그 점착 테이프의 그 점착층측을 첩착하는 제 1 이동 유닛과,
    그 피가공물 및 그 프레임에 그 점착 테이프의 그 점착층측을 첩착한 후, 그 점착 테이프의 텐션을 측정하는 측정 유닛을 구비하고,
    그 측정 유닛은,
    그 점착 테이프의 그 기재층측이 상방으로 노출되고, 그 점착 테이프의 하방에서 그 피가공물과 그 프레임 사이에 공간이 형성되도록 그 피가공물 및 그 프레임을 지지하는 제 2 지지 테이블과,
    그 점착 테이프의 그 공간에 대응하는 위치에 재치되는 측정자를 구비하고, 그 점착 테이프의 텐션에 상당하는 하강량을 그 측정자의 높이에 기초하여 측정하는 다이얼 게이지와,
    그 점착 테이프의 그 피가공물에 대응하는 위치와 그 프레임에 대응하는 위치에 걸쳐서 놓이고, 그 측정자가 수하되도록 그 다이얼 게이지를 고정시키는 게이지 고정 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 점착 테이프 첩착 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    그 측정 유닛은, 그 공간에 대응하는 복수의 위치에 그 다이얼 게이지를 위치시키도록 그 게이지 고정 부재를 이동시키는 이동 유닛을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 점착 테이프 첩착 장치.
  8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
    그 제 2 지지 테이블은, 그 제 1 지지 테이블인 것을 특징으로 하는 점착 테이프 첩착 장치.
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