JP7242143B2 - 保護テープの識別方法、被加工物の加工方法、識別装置、及び加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体で形成されたウェーハ等の被加工物に貼着される保護テープの識別方法、及び識別装置に関する。また、被加工物の加工方法、及び加工装置に関する。

携帯電話やコンピュータ等の電子機器に使用されるデバイスチップの製造工程では、まず、半導体で形成されたウェーハの表面にＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ(Large Scale Integration)等の複数のデバイスを形成する。次に、該ウェーハを裏面側から研削して所定の厚さに薄化し、デバイス毎に該ウェーハを分割して個々のデバイスチップを形成する。

ウェーハの研削は研削装置で実施される。研削装置は、ウェーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物を研削する研削ユニットと、を有する。研削ユニットは、スピンドルと、スピンドルの下端に装着された研削ホイールと、を備える。研削ホイールの下面には研削砥石が装着されている。研削ホイールと、被加工物を保持するチャックテーブルと、を互いに略平行なそれぞれの回転軸を中心に回転させ、研削ホイールを下降させて研削砥石を被加工物に接触させると、被加工物が研削される。

被加工物の裏面側を研削装置で研削する際、被加工物の表面側を保護するために、被加工物の表面には予め保護テープが貼着される（特許文献１参照）。被加工物は、例えば、複数の被加工物を収容できるカセットに収容されて研削装置に搬入される。そこで、カセットに複数の被加工物を収容する前に、それぞれの被加工物の表面に保護テープを貼着しておく。そして、カセットから搬出される被加工物は、表面側が下方に向けられた状態で保護テープを介してチャックテーブル上に載せられる。

保護テープは、その種別により厚さや粘着強度、硬さ等の性質が異なる。被加工物を研削する際には、実施する研削加工の内容や被加工物の種別等に応じて被加工物に貼着する保護テープの種別が選択される。また、被加工物に貼着される保護テープの性質により被加工物の加工結果が変化するため、所望の加工結果を得るために、使用される保護テープの種別に合わせて被加工物の加工条件も調整される。

保護テープの色や形状、表面の感触等の性質は保護テープの種別により大きくは異ならないため、保護テープを取り違えて被加工物に誤った種別の保護テープを貼着してしまう場合がある。また、被加工物に貼着された保護テープの種別が分からなくなる場合がある。さらに、カセットに収容する被加工物を取り違え、予定されていない種別の保護テープが貼着された被加工物をカセットに収容してしまう場合がある。そこで、被加工物に貼着された保護テープの種別を識別する方法が提案されている（特許文献２参照）。

特開２００７－２８８０３１号公報 特開２０１８－４９９１３号公報

提案された保護テープの種別を識別する当該方法では、被加工物に貼着された保護テープに光を照射し、保護テープで反射した反射光を受光して反射率を測定し、得られた反射率によって被加工物に貼着された保護テープの種別を識別する。ところが、近年、各種の用途に対応する様々な種別の粘着テープが開発され実用に供されており、その中には反射率が互いに近接したものが存在する場合がある。そのため、当該方法では保護テープの種別を識別しきれない場合ある。

また、保護テープの種別を識別する当該方法は、保護テープの反射率を波長毎に測定するための分光光度計を研削装置に組み込んで実施されていた。しかしながら、分光光度計を研削装置に組み込むと研削装置が大型化してしまう。そのため、研削装置が設置される工場等のスペースを圧迫するとの問題も存在していた。

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、省スペースな構成の装置でより確実に保護テープの種別を識別できる保護テープの識別方法、被加工物の加工方法、識別装置、及び加工装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、保護テープの識別方法であって、該保護テープに第１の光を照射し、該保護テープを透過した該第１の光を反射板により反射させて再度該保護テープに照射し、再び該保護テープを透過した該第１の光を受光して第１の透過率を測定する第１の透過率測定ステップと、該第１の透過率測定ステップで測定された該第１の透過率に基づいて該保護テープの種別を識別する識別ステップと、を備えることを特徴とする保護テープの識別方法が提供される。

好ましくは、該保護テープに第２の光を照射し、該保護テープを透過した該第２の光を受光して第２の透過率を測定する第２の透過率測定ステップをさらに備え、該識別ステップでは、該第１の透過率測定ステップで測定された該第１の透過率に加えて該第２の透過率測定ステップで測定された該第２の透過率に基づいて該保護テープの種別を識別する。

または、好ましくは、該保護テープに第３の光を照射し、該保護テープで反射した該第３の光を受光して反射率を測定する反射率測定ステップと、をさらに備え、該識別ステップでは、該第１の透過率測定ステップで測定された該第１の透過率に加えて該反射率測定ステップで測定された該反射率に基づいて該保護テープの種別を識別する。

本発明の他の一態様によれば、保護テープの識別方法であって、該保護テープに第１の光を照射し、該保護テープを透過した該第１の光を反射板により反射させて再度該保護テープに照射し、再び該保護テープを透過した該第１の光を受光して第１の透過率を測定する第１の透過率測定ステップと、該保護テープに第２の光を照射し、該保護テープを透過した該第２の光を受光して第２の透過率を測定する第２の透過率測定ステップと、該保護テープに第３の光を照射し、該保護テープで反射した該第３の光を受光して反射率を測定する反射率測定ステップと、該第１の透過率測定ステップで測定された該第１の透過率と、該第２の透過率測定ステップで測定された該第２の透過率と、該反射率測定ステップで測定された該反射率と、に基づいて該保護テープの種別を識別する識別ステップと、を備えることを特徴とする保護テープの識別方法が提供される。

また、該保護テープの識別方法により識別された該保護テープの種別に基づいて該保護テープが貼着された被加工物を加工する加工条件を選定する加工条件選定ステップと、該保護テープが貼着された該被加工物を該加工条件選定ステップで選定された該加工条件で加工する加工ステップと、を含むことを特徴とする被加工物の加工方法もまた本発明の一態様である。

本発明のさらに他の一態様によれば、保護テープの種別を識別する識別装置であって、識別対象の保護テープの光学特性を測定する測定ユニットと、複数の種別の該保護テープの光学特性が登録された特性登録部と、該識別対象の該保護テープの種別を識別する識別部と、を備え、該測定ユニットは、該識別対象の該保護テープに第１の光を照射し、該識別対象の該保護テープを透過した該第１の光を反射板により反射させて再度該識別対象の該保護テープに照射し、該識別対象の該保護テープを再び透過した該第１の光を受光することで第１の透過率を測定する回帰反射型センサを有し、該識別部は、該識別対象の該保護テープの光学特性として該回帰反射型センサが測定した該第１の透過率で該特性登録部に照合し、該特性登録部に光学特性が登録された該複数の種別の保護テープから該識別対象の該保護テープの種別を識別する機能を有することを特徴とする保護テープの識別装置が提供される。

好ましくは、該測定ユニットは、該識別対象の該保護テープに第２の光を照射し、該識別対象の該保護テープを透過した該第２の光を受光することで第２の透過率を測定する透過型センサをさらに備え、該識別部は、該特性登録部に光学特性が登録された該複数の種別の保護テープから該識別対象の該保護テープの種別を識別する際、該識別対象の該保護テープの光学特性として該第１の透過率に加えて該透過型センサが測定した該第２の透過率で該特性登録部に照合する。

また、好ましくは、該測定ユニットは、該識別対象の該保護テープに第３の光を照射し、該識別対象の該保護テープで反射した該第３の光を受光することで反射率を測定する反射型センサをさらに備え、該識別部は、該特性登録部に光学特性が登録された該複数の種別の保護テープから該識別対象の該保護テープの種別を識別する際、該識別対象の該保護テープの光学特性として該第１の透過率に加えて該反射型センサが測定した該反射率で該特性登録部に照合する。

また、本発明の他の一態様によれば、保護テープの種別を識別する識別装置であって、識別対象の保護テープの光学特性を測定する測定ユニットと、複数の種別の該保護テープの光学特性が登録された特性登録部と、該識別対象の保護テープの種別を識別する識別部と、を備え、該測定ユニットは、該識別対象の該保護テープに第１の光を照射し、該識別対象の該保護テープを透過した該第１の光を反射板により反射させて再度該識別対象の該保護テープに照射し、該識別対象の該保護テープを再び透過した該第１の光を受光することで第１の透過率を測定する回帰反射型センサと、該識別対象の該保護テープに第２の光を照射し、該識別対象の該保護テープを透過した該第２の光を受光することで第２の透過率を測定する透過型センサと、該識別対象の該保護テープに第３の光を照射し、該識別対象の該保護テープで反射した該第３の光を受光することで反射率を測定する反射型センサと、を有し、該識別部は、該識別対象の該保護テープの光学特性として、該回帰反射型センサで測定した該第１の透過率と、該透過型センサで測定した該第２の透過率と、該反射型センサで測定した該反射率と、で該特性登録部に照合し、該特性登録部に光学特性が登録された該複数の種別の保護テープから該識別対象の該保護テープの種別を識別する機能を有することを特徴とする保護テープの識別装置が提供される。

さらに、表面に保護テープが貼着された被加工物を載置するチャックテーブルと、該被加工物に貼着された保護テープの種別を識別する識別ユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工ユニットと、を備え、該識別ユニットは該識別装置であることを特徴とする被加工物の加工装置もまた本発明の一態様である。

本発明の一態様に係る保護テープの識別方法、被加工物の加工方法、識別装置、及び加工装置では、識別対象の保護テープに第１の光を照射する。そして、保護テープを透過した第１の光を反射板により反射させて再度保護テープに照射し、保護テープを再び透過した第１の光を受光して第１の透過率を測定する。そして、第１の透過率に基づいて該保護テープの種別を識別する。

第１の透過率は保護テープの種別毎に大きく異なる光学特性であり、反射率が互いに近接する２つの保護テープでも第１の透過率が大きく異なる場合がある。また、保護テープの種別間の第１の透過率の差は、保護テープの種別間の反射率の差よりも大きい傾向にある。そのため、第１の透過率により保護テープを識別する場合、従来のように光の反射率だけを保護テープの識別に用いる場合よりも正確かつ容易な識別が可能となる。

しかも、第１の透過率を測定するとともに反射率等の他の光学特性を測定することも可能であり、第１の透過率と他の光学特性を合わせた多角的な保護テープの種別の識別が可能となる。そのため、識別の精度はさらに高められる。また、本発明の一態様を実現するにあたり、大掛かりな分光光度計を装置に組み込む必要はない。そのため、装置を大型化する必要もない。

したがって、本発明の一態様により、省スペースな構成の装置でより確実に保護テープの種別を識別できる保護テープの識別方法、被加工物の加工方法、識別装置、及び加工装置が提供される。

研削装置の構成を模式的に示す斜視図である。 図２（Ａ）は、位置決めテーブルにおいて種別が識別される保護テープを模式的に示す断面図であり、図２（Ｂ）は、テープマウンターにおいて種別が識別される保護テープを模式的に示す断面図である。 図３（Ａ）は、反射型センサを模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、透過型センサを模式的に示す断面図であり、図３（Ｃ）は、回帰反射型センサを模式的に示す断面図である。 図４（Ａ）は、実施形態に係る保護テープの識別方法の各ステップの流れの一例を示すフローチャートであり、図４（Ｂ）は、実施形態に係る保護テープの識別方法の各ステップの流れの他の一例を示すフローチャートである。 図５（Ａ）は、変形例に係る測定ユニットを模式的に示す断面図であり、図５（Ｂ）は、他の変形例に係る測定ユニットを模式的に示す断面図である。

本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。本発明の一態様に係る本実施形態は、保護テープの種別を識別できる保護テープの識別方法、被加工物の加工方法、識別装置、及び加工装置である。

保護テープは、加工装置で加工される被加工物に予め貼着されて使用される。本実施形態に係る保護テープの識別方法は、例えば、該識別装置で実施される。該識別装置は、例えば、保護テープが貼着された被加工物を加工する加工装置に組み込まれて使用される。そして、該加工装置では、保護テープの種別を識別し被加工物を加工する該加工方法が実施される。

本実施形態に係る加工装置は、例えば、被加工物を研削する研削装置である。以下、該加工装置が研削装置である場合を例に説明するが、本実施形態に係る加工装置は研削装置に限定されない。図１は、研削装置２の構成を模式的に示す斜視図である。研削装置２は、被加工物１を研削して所定の厚さに薄化する。

研削装置２で研削される被加工物１は、例えば、Ｓｉ（シリコン）、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、ＧａＮ（ガリウムナイトライド）、ＧａＡｓ（ヒ化ガリウム）、若しくは、その他の半導体等の材料から形成されるウェーハである。または、被加工物１は、サファイア、ガラス、石英等の材料からなる略円板状の基板等である。該ガラスは、例えば、アルカリガラス、無アルカリガラス、ソーダ石灰ガラス、鉛ガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス等である。

図１には、被加工物１の斜視図が模式的に示されており、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）には、被加工物１の断面図が模式的に示されている。被加工物１の表面１ａにはＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ(Large Scale Integration)等の複数のデバイス（不図示）が形成されている。研削装置２により被加工物１を裏面１ｂ側から研削して薄化し、デバイス毎に被加工物１を分割すると、所定の厚さの個々のデバイスチップを形成できる。

研削装置２では、被加工物１の裏面１ｂ側が上方に露出された状態で裏面１ｂが研削される。被加工物１を研削する際に被加工物１の表面１ａ側に形成されたデバイスを保護するために、被加工物１の表面１ａには保護テープ３が貼着される。被加工物１の表面１ａに保護テープ３を貼着する際に使用されるテープマウンター５４（図２（Ｂ）参照）については、後述する。被加工物１は、例えば、複数の被加工物１を収容できるカセット６ａ，６ｂに収容されて運搬され、研削装置２に搬入される。

図２（Ａ）に示す通り、被加工物１の表面１ａ側に貼着された保護テープ３の外周が環状フレーム５に貼着されてもよい。この場合、被加工物１は、保護テープ３及び環状フレーム５と一体化したフレームユニットの状態で取り扱われる。ただし、保護テープ３は外周側が環状フレーム５に貼着されていなくてもよい。

次に、研削装置２について詳述する。研削装置２は、各構成要素を支持する基台４を備える。基台４の前端にはカセット載置台８ａ，８ｂが固定されている。例えば、カセット載置台８ａ上には研削前の被加工物１を収容したカセット６ａが載置され、カセット載置台８ｂ上には研削の終了した被加工物１を収容するためのカセット６ｂが載置される。

基台４上のカセット載置台８ａ，８ｂに隣接した位置には、搬送ロボット１０が据え付けられている。搬送ロボット１０は、カセット載置台８ａに載せられたカセット６ａから被加工物１を搬出し、基台４上の該搬送ロボット１０に隣接した位置に設けられた位置決めテーブル１２に該被加工物１を搬送する。

位置決めテーブル１２は、環状に並ぶ複数の位置決めピン１２ａ（図２（Ａ）参照）を有する。位置決めテーブル１２は、中央の載置領域１２ｂ（図２（Ａ）参照）に被加工物１が載置された際、それぞれの位置決めピン１２ａを径方向内側に連動させて移動させることにより、被加工物１を予定された位置に位置付ける。

基台４の上面の該位置決めテーブル１２に隣接した位置には、ローディングアーム１４と、アンローディングアーム１６と、が設けられる。位置決めテーブル１２により予定された位置に位置付けられた被加工物１は、ローディングアーム１４により搬送される。

基台４の上面には、開口４ａが設けられている。開口４ａ中には、Ｙ軸方向に沿って移動可能な移動テーブル１８と、移動テーブル１８に接続され開口４ａを埋めるように配設されたジャバラ２０と、が設けられている。移動テーブル１８の上面には、被加工物１を保持するチャックテーブル２２が設けられている。

被加工物１は、ローディングアーム１４により位置決めテーブル１２からチャックテーブル２２上に搬送される。このとき、被加工物１の裏面１ｂが上方に露出するように表面１ａ側を下方に向け、保護テープ３を介して被加工物１をチャックテーブル２２の上面に載せる。チャックテーブル２２は、図示しない吸引機構を備え、上面に載せられた被加工物１を吸引保持できる。その後、移動テーブル１８をＹ軸方向に沿って移動させ、研削ユニット（加工ユニット）２４の下方に被加工物１を位置付ける。

基台４の後端部には、カラム２６が立設している。カラム２６の前面には、Ｚ軸方向に沿った一対のガイドレール２８が配設されており、一対のガイドレール２８には移動プレート３０がスライド可能に取り付けられている。移動プレート３０の前面側には研削ユニット２４が固定されている。

そして、移動プレート３０の背面側にはナット部（不図示）が設けられており、該ナット部にガイドレール２８に沿ったボールねじ３２に螺合されている。ボールねじ３２の上端にはパルスモータ３４が接続されている。パルスモータ３４を作動させてボールねじ３２を回転させると、移動プレート３０とともに研削ユニット２４が昇降する。

研削ユニット２４は、Ｚ軸方向に沿ったスピンドル（不図示）と、スピンドルの下端に設けられた円板状のホイールマウント２４ｂと、スピンドルの上端側を回転可能に収容するスピンドルハウジング２４ａと、を備える。ホイールマウント２４ｂの下面には、円環状に並ぶ研削砥石３８が固定された研削ホイール３６が装着される。

被加工物１を研削する際には、被加工物１を保持するチャックテーブル２２と、スピンドルと、をそれぞれＺ軸に沿った軸の周りに回転させ、パルスモータ３４を作動させて研削ユニット２４を下降させる。そして、環状軌道上を移動する研削砥石３８を被加工物１に接触させる。

チャックテーブル２２は、被加工物１が研削された後にＹ軸方向に沿って移動してアンローディングアーム１６の近傍に移動する。基台４の上面のアンローディングアーム１６及び搬送ロボット１０の近傍には、被加工物１を洗浄するスピンナ洗浄装置４０が設けられている。

研削された被加工物１は、アンローディングアーム１６によりチャックテーブル２２からスピンナ洗浄装置４０に搬送され、スピンナ洗浄装置４０により洗浄される。スピンナ洗浄装置４０で洗浄された被加工物１は、搬送ロボット１０によりカセット載置台８ｂに載せられたカセット６ｂに搬入され、カセット６ｂに収容される。

研削装置２は、さらに、研削装置２の各構成要素を制御する制御ユニット４４を備える。制御ユニット４４は、研削ユニット２４、チャックテーブル２２、パルスモータ３４、スピンナ洗浄装置４０等の研削装置２の各構成要素を制御する機能を有する。制御ユニット４４の機能は、例えば、装置制御用コンピュータのソフトウェアとして実現される。

すなわち、制御ユニット４４は、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるプログラム等のソフトウェアに従い処理装置を動作させることによって、制御ユニット４４は、ソフトウェアと処理装置（ハードウェア資源）とが協働した具体的手段として機能する。

制御ユニット４４は、研削ユニット２４及びチャックテーブル２２等を制御して、被加工物１の研削に適した所定の加工条件で被加工物１を研削する。すなわち、制御ユニット４４は、該加工条件に従って研削ユニット２４のスピンドルの回転数や、チャックテーブル２２の回転数、移動プレート３０の下降速度等を設定する。

加工条件は、例えば、被加工物１の材質や被加工物１の仕上げ厚さ、研削後の裏面１ｂに求められる平坦性等によって決定される。被加工物１の表面１ａには、実施する研削の内容や被加工物１の種別等に応じた適切な種別の保護テープ３が貼着される。そして、保護テープ３は、その種別により厚さや粘着強度、硬さ等の性質が異なり、保護テープ３の性質が被加工物１の研削結果にも影響する。そのため、被加工物１の加工条件が決定される際、保護テープ３の種別が参照される。

ここで、保護テープ３の色や形状、表面の感触等の性質は保護テープ３の種別により大きくは異ならない。そのため、保護テープ３を取り違え、被加工物１に誤った種別の保護テープ３を貼着してしまう場合がある。また、被加工物１に貼着された保護テープ３の種別が分からなくなる場合がある。さらに、被加工物１をカセット６ａ，６ｂに収容する際、被加工物１を取り違えて、予定された保護テープ３の種別とは異なる種別の保護テープ３が貼着されている被加工物１をカセット６ａ，６ｂに収容してしまう場合がある。

これらの場合、被加工物１を所定の加工条件で研削すると所望の加工結果が得られない場合がある。そこで、予め保護テープ３の種別を識別して、適切な保護テープ３が被加工物１に貼着されていることを確認した後で被加工物１の研削を実施することが望まれるため、研削装置２では本実施形態に係る保護テープ３の識別方法を実施する。

本実施形態に係る保護テープ３の識別方法を実施するための構成として、研削装置２は、さらに識別ユニット４２を備える。識別ユニット４２は、例えば、図１及び図２（Ａ）に示す通り、位置決めテーブル１２に組み込まれる。ただし、識別ユニット４２は、研削装置２の他の箇所に組み込まれてもよい。図２（Ａ）には、位置決めテーブル１２に組み込まれた識別ユニット４２の断面図を模式的に示されている。図２（Ａ）では、被加工物１に貼着された保護テープ３の外周部が環状フレーム５に貼着されている。

識別ユニット４２は、被加工物１に貼着された保護テープ３の光学特性を測定して種別を識別する機能を有する。識別ユニット４２は、識別対象の保護テープ３の光学特性を測定する測定ユニット１０４を有する。測定ユニット１０４は、識別対象の保護テープ３を挟んで配設される一対の筐体１０６，１０８を有する回帰反射型センサ１１０を備える。

回帰反射型センサ１１０は、識別対象の保護テープ３に光を照射し、該識別対象の該保護テープ３を透過した該光を反射板により反射させて再度該保護テープ３に照射し、該保護テープを再び透過した該光を受光することで第１の透過率を測定する。回帰反射型センサ１１０の構成については、後に詳述する。

ここで、第１の透過率は、保護テープ３に最初に照射される光の発光量と、受光された該光の受光量と、から算出される。第１の透過率とは、このように２度保護テープ３を透過する際の光の透過率であり、保護テープ３の種別に依存する光学特性である。そのため、測定ユニット１０４を使用して測定された第１の透過率によって識別対象の保護テープ３の種別を識別できる。

研削装置２の制御ユニット４４は、図１に模式的に示される通り、複数の種別の保護テープ３の光学特性が登録された特性登録部４４ａと、保護テープ３の種別を識別する識別部４４ｂと、を備える。

特性登録部４４ａに光学特性が登録される保護テープ３は、例えば、被加工物１に貼着されて使用される可能性のある種別の保護テープ３である。各保護テープ３の光学特性は、例えば、予め識別ユニット４２の測定ユニット１０４により測定されて特性登録部４４ａに登録される。または、他の測定ユニットにより測定された値が特性登録部４４ａに登録される。そして、特性登録部４４ａに登録される光学特性には、例えば、上述の第１の透過率が含まれる。

そして、識別部４４ｂは、測定ユニット１０４で測定された識別対象の保護テープ３の第１の透過率で特性登録部４４ａに照合し、特性登録部４４ａに光学特性が登録された複数の種別の保護テープ３から識別対象の保護テープ３の種別を識別する機能を有する。より詳細には、特性登録部４４ａに光学特性が登録された複数の種別の保護テープ３のうち、測定ユニット１０４で測定された識別対象の保護テープ３の第１の透過率と同程度の第１の透過率の保護テープ３の種別が、識別対象の保護テープ３の種別として特定される。

ここで、保護テープ３の第１の透過率は、反射率よりも種別間の差が大きい傾向にある。そのため、反射率が同程度の複数の種別の保護テープ３が存在する等の理由により識別対象の保護テープ３の反射率を測定しても種別を識別できない場合においても、識別対象の保護テープ３の第１の透過率を測定することで種別の識別が可能となりやすい。すなわち、研削装置２によると、被加工物１に貼着された保護テープ３の種別を識別しやすい。

なお、研削装置２では、保護テープ３の種別の識別が可能であるため、研削装置２は識別装置ともいえる。そして、識別装置として機能する研削装置２では、保護テープ３の種別の識別のみが実施され、被加工物１の研削が実施されなくてもよい。

ここで、研削装置２では、識別対象の保護テープ３の第１の透過率に加え、識別対象の保護テープ３を一度だけ透過する光の透過率が第２の透過率として測定されてもよく、第１の透過率及び第２の透過率により該保護テープ３の種別が識別されてもよい。この場合、特性登録部４４ａには各保護テープ３の光学特性として、第１の透過率に加えて第２の透過率が登録される。

研削装置２では、識別対象の保護テープ３の第１の透過率に加えて第２の透過率を測定できるように、測定ユニット１０４は、識別対象の保護テープ３を挟んで配設される一対の筐体１１２，１１４を有する透過型センサ１１６を備えてもよい。透過型センサ１１６は、保護テープ３に光を照射し、保護テープ３を透過した該光を受光することで第２の透過率を測定する。なお、透過型センサ１１６の構成については、後に詳述する。

ここで、第２の透過率は、保護テープ３に照射される光の発光量と、受光された該光の受光量と、から算出される。識別部４４ｂは、特性登録部４４ａに光学特性が登録された複数の種別の保護テープ３から識別対象の保護テープ３の種別を識別する際、第１の透過率に加えて該第２の透過率で特性登録部４４ａに照合する。

すなわち、特性登録部４４ａに光学特性が登録された保護テープ３のうち、第１の透過率及び第２の透過率のいずれもが識別対象の保護テープ３と同程度の保護テープ３を特定して、識別対象の保護テープ３の種別を識別する。識別対象の保護テープ３の種別を識別する際に、第１の透過率に加えて第２の透過率を使用すると、識別の精度をより向上できる。

さらに、研削装置２では、識別対象の保護テープ３の第１の透過率及び第２の透過率に加えて保護テープ３の反射率が測定されてもよく、第１の透過率、第２の透過率及び反射率により該保護テープ３の種別が識別されてもよい。この場合、特性登録部４４ａには各保護テープ３の光学特性として、第１の透過率と、第２の透過率と、に加えて反射率が登録される。

研削装置２では、識別対象の保護テープ３の第１の透過率及び第２の透過率に加えて反射率を測定できるように、測定ユニット１０４は、回帰反射型センサ１１０及び透過型センサ１１６に隣接して配設される反射型センサ１１８を備えてもよい。反射型センサ１１８は、識別対象の保護テープ３に光を照射し、該保護テープ３で反射した該光を受光することで反射率を測定する。なお、反射型センサ１１８の構成については、後に詳述する。

ここで、反射率は、保護テープ３に照射される光の発光量と、受光された該光の受光量と、から算出される。識別部４４ｂは、特性登録部４４ａに光学特性が登録された複数の種別の保護テープ３から識別対象の保護テープ３の種別を識別する際、第１の透過率と第２の透過率に加えて反射率で特性登録部４４ａに照合する。すなわち、特性登録部４４ａに光学特性が登録された保護テープ３のうち、第１の透過率、第２の透過率及び反射率のいずれもが識別対象の保護テープ３と同程度の保護テープ３を特定して、識別対象の保護テープ３の種別を識別する。

識別対象の保護テープ３の種別を識別する際に、第１の透過率、第２の透過率及び反射率を使用すると、識別の精度をさらに向上できる。なお、識別装置として機能する研削装置２は、第２の透過率を保護テープ３の種別の識別に使用しなくてもよい。すなわち、第１の透過率に加えて反射率を使用して識別対象の保護テープ３の種別を識別してもよい。

ここで、測定ユニット１０４が備える回帰反射型センサ、透過型センサ、及び反射型センサについて説明する。

図３（Ｃ）は、識別対象の保護テープ３の第１の透過率を測定する際に使用される回帰反射型センサ９６の構成を模式的に示す断面図である。回帰反射型センサ９６は、発光部９８及び受光部１０２を備える筐体９６ａと、識別対象の保護テープ３を挟んで発光部９８等と対面する反射板１００を備える筐体９６ｂと、を備える。ここで、筐体９６ａは、上述の回帰反射型センサ１１０の筐体１０６，１０８の一方に対応し、筐体９６ｂは、筐体１０６，１０８の他方に対応する。

発光部９８は、第１の光７ｃを発して識別対象の保護テープ３に照射する機能を有する。反射板１００は、識別対象の保護テープ３を透過した第１の光７ｃを反射させて再度識別対象の保護テープ３に照射する機能を有する。受光部１０２は、識別対象の保護テープ３を再び透過した第１の光７ｃを受光する機能を有する。なお、反射板１００は、例えば、４分の１波長板１００ａと、反射鏡１００ｂと、を備える。そして、発光部９８及び受光部１０２にはそれぞれ偏光板が組み込まれている。

回帰反射型センサ９６は、保護テープ３に第１の光７ｃを照射し、保護テープ３を透過した第１の光７ｃを反射板１００により反射させて再度保護テープ３に照射し、保護テープ３を再び透過した第１の光７ｃを受光することで第１の透過率を測定する。

なお、受光部１０２に到達する第１の光７ｃと、発光部９８で発せられ保護テープ３で反射されて受光部１０２に到達する光と、を合わせて受光部１０２で受光しないように、光の偏向が利用されるとよい。

例えば、発光部９８及び受光部１０２にそれぞれ偏光板を組み込み、反射板１００に４分の１波長板１００ａ等の光学フィルムを組み込む。この場合、特定の偏光面を有する状態の第１の光７ｃが発光部９８から発せられる。そして、反射板１００では、該偏光面が回転されながら該第１の光７ｃが反射される。ここで、受光部１０２の偏光板の向きは、反射板１００により反射された該第１の光７ｃを受光部１０２で受光できる向きに合わせられる。

この場合、発光部９８から発せられ保護テープ３を透過し、反射板１００で反射され保護テープ３を再び透過した第１の光７ｃは、受光部１０２に受光される。その一方で、発光部９８から発せられ保護テープ３で反射された光は、受光部１０２の偏光板に遮られて受光されにくくなる。このように、受光部１０２では、保護テープ３で反射された光が除かれ、反射板１００で反射された第１の光７ｃが選択的に受光される。

図３（Ｂ）は、識別対象の保護テープ３の第２の透過率を測定する際に使用される透過型センサ９０の構成を模式的に示す断面図である。透過型センサ９０は、発光部９２を備える筐体９０ａと、識別対象の保護テープ３を挟んで発光部９２と対面する受光部９４を備える筐体９０ｂと、を備える。ここで、筐体９０ａは、上述の透過型センサ１１６の筐体１１２，１１４の一方に対応し、筐体９０ｂは、筐体１１２，１１４の他方に対応する。

発光部９２は、第２の光７ｂを発して識別対象の保護テープ３に照射する機能を有する。受光部９４は、識別対象の保護テープ３を透過した第２の光７ｂを受光する機能を有する。透過型センサ９０は、識別対象の保護テープ３に第２の光７ｂを照射し、識別対象の保護テープ３を透過した第２の光７ｂを受光することで第２の透過率を測定する。

図３（Ａ）は、識別対象の保護テープ３の反射率を測定する際に使用される反射型センサ８４の構成を模式的に示す断面図である。反射型センサ８４は、発光部８６と、該発光部８６に並ぶ受光部８８と、を備える。ここで、反射型センサ８４は反射型センサ１１８に対応する。

発光部８６は、第３の光７ａを発して識別対象の保護テープ３に照射する機能を有する。受光部８８は、識別対象の保護テープ３で反射した第３の光７ａを受光する機能を有する。反射型センサ８４は、識別対象の保護テープ３に第３の光７ａを照射し、識別対象の保護テープ３で反射した第３の光７ａを受光することで反射率を測定する。

そして、この場合、回帰反射型センサ９６，１１０で測定された第１の透過率と、透過型センサ９０，１１６で測定された第２の透過率と、反射型センサ８４，１１８で測定された反射率と、により識別対象の保護テープ３の種別が識別される。

ここで、識別装置として機能する研削装置２において被加工物１に貼着された保護テープ３の種別を識別する際に使用される第１の光７ｃ及び第２の光７ｂには、例えば、波長６６０ｎｍの半導体レーザが用いられる。また、第３の光７ａには、白色光または赤外光が使用される。ただし、第１の光７ｃ、第２の光７ｂ及び第３の光７ａはこれに限定されない。特定の波長の単色光及び単色光でない光のいずれでもよい。

それぞれの光を発する発光部は、特定の光を発する発光素子を内蔵する。発光素子は、例えば、ＬＥＤ、レーザ発振器等である。また、それぞれの光を受光する受光部は、該光を受光する受光素子を内蔵する。ここで、識別装置として機能する研削装置２では、保護テープ３の第１の透過率、第２の透過率及び反射率を測定する際に、光の分光スペクトルを分析する必要はない。すなわち、それぞれの受光部は、光を分光する分光光度計を備える必要はない。

研削装置２（識別装置）に分光光度計を組み込む場合、分光光度計にコストがかかるだけでなく、研削装置２が大型化してしまい、研削装置２が設置される工場等の空間を圧迫してしまう。これに対して、以上に説明した研削装置２（識別装置）では、識別ユニット４２の測定ユニット４６を使用して保護テープ３の種別を識別できる。したがって、省スペースな構成の装置でより確実に保護テープ３の種別を識別できる。

研削装置２では、被加工物１を研削する前に、被加工物１の表面１ａに貼着されている保護テープ３の種別を識別できる。そのため、保護テープ３の種別が参照されて決定された加工条件で被加工物１を研削すると、所望の加工結果を得ることができる。言い換えると、想定される種別ではない保護テープ３が被加工物１に貼着されている場合でも、被加工物１を加工する前に保護テープ３の種別の誤りを検出できるため、被加工物１に対する不適切な加工を防止できる。

なお、本実施形態に係る保護テープ３の識別方法を実施できる識別装置は研削装置２に限定されず、識別装置は研削ユニット２４を備えていなくてもよい。例えば、識別装置は、被加工物１に保護テープ３を貼着するテープマウンターでもよい。図２（Ｂ）は、テープマウンター５４の構成を模式的に示す側面図である。次に、識別装置として機能できるテープマウンター５４について説明する。なお、テープマウンター５４は、被加工物１の表面１ａに保護テープ３を貼着するとの加工を実施する加工装置でもある。

テープマウンター５４には、ロール状に巻かれた状態で長い帯状の保護テープ３が搬入される。そして、該保護テープ３が引き出されて被加工物１に貼着される。その後、必要部分を残して被加工物１の外周に沿って保護テープ３が切断されることで被加工物１に保護テープ３が配設される。そして、必要部分がくり抜かれた帯状の保護テープ３がロール状に巻かれて回収される。

テープマウンター５４は、保護テープ３のロール３ａを回転可能に支持する芯部５６を備える。該芯部５６は、ロール３ａの中心の貫通孔に挿入される。ロール３ａからは帯状の保護テープ３が引き出される。引き出された保護テープ３は、テープマウンター５４が備えるローラー５８，６２，６４等にガイドされてテープマウンター５４内を進行する。

なお、保護テープ３の貼着面には、該貼着面を保護する剥離シート３ｃが貼着されている。そこで、保護テープ３が被加工物１に貼着される前に剥離シート３ｃが保護テープ３から剥離される。テープマウンター５４は、剥離シート３ｃをロール状に巻いて回収する芯部６０を備え、芯部６０には保護テープ３から剥離された剥離シート３ｃが巻かれる。

テープマウンター５４は、被加工物１等の被貼着物を支持する支持テーブル７２を備える。支持テーブル７２の上面には、予め被加工物１が載せられる。このとき、被加工物１の被貼着面である表面１ａが上方に向けられ、被加工物１の裏面１ｂが下方に向けられる。そして、裏面１ｂが支持テーブル７２の上面に接触する。支持テーブル７２の上方では、帯状の保護テープ３が被加工物１の表面１ａに沿って進行する。

支持テーブル７２のさらに上方には、被加工物１の表面１ａに貼着された帯状の保護テープ３の不要部分を切り離す昇降可能なテープカッター７４が設けられている。テープカッター７４は、支持テーブル７２の上面に垂直な方向に沿ったスピンドル７４ａと、スピンドル７４ａの下端に接続された円板状のカッターホイール７４ｂと、カッターホイール７４ｂの外周部下面に装着されたカッター７４ｃと、を備える。

スピンドル７４ａの上端には図示しない回転駆動源が接続されており、該回転駆動源を作動させるとカッターホイール７４ｂがスピンドル７４ａの周りに回転し、カッター７４ｃが円環軌道上を移動する。なお、スピンドル７４ａの上端には、回転駆動源に代えて作業者がスピンドル７４ａを回転させるためのハンドルが装着されていてもよく、作業者が手動でカッターホイール７４ｂを回転させてもよい。

また、支持テーブル７２の上方の保護テープ３と、テープカッター７４と、の間には、押圧ローラー７０ａ，７０ｂが設けられている。押圧ローラー７０ａ，７０ｂは昇降可能であるとともに、支持テーブル７２の上面に沿った方向に移動可能である。押圧ローラー７０ａ，７０ｂは、上方から保護テープ３を押圧して保護テープ３を被加工物１の表面１ａに貼着させる機能を有する。なお、図２（Ｂ）では、２つの押圧ローラー７０ａ，７０ｂを備えるテープマウンター５４が示されているが、一方の押圧ローラー７０ａ，７０ｂは省略されてもよい。

また、支持テーブル７２を挟んで芯部５６の反対側には、帯状の保護テープ３の不要部分を巻き取る芯部６６が設けられている。芯部６６には、帯状の保護テープ３の不要部分が巻き取られてロール３ｂが形成される。

芯部５６，６０，６６及びローラー５８，６２，６４には図示しない回転駆動源がそれぞれ接続されており、各回転駆動源が連動して作動することで支持テーブル７２に支持される被加工物１の上方に帯状の保護テープ３が引き出される。ただし、芯部５６，６０，６６及びローラー５８，６２，６４のすべてに回転駆動源が接続されている必要はない。

テープマウンター５４において被加工物１の表面１ａに保護テープ３を貼着する際には、まず、支持テーブル７２の上方に帯状の保護テープ３を引き出す。そして、押圧ローラー７０ａ，７０ｂにより保護テープ３を上方から押圧して被加工物１の表面１ａに保護テープ３を貼着させる。その後、テープカッター７４を下降させながら円環軌道に沿ってカッター７４ｃを移動させて、被加工物１の外周に沿って保護テープ３を切断する。すると、被加工物１の表面１ａに保護テープ３が貼着される。

ここで、テープマウンター５４の芯部５６に帯状の保護テープ３が巻かれたロール３ａを配設する際、誤った種別の保護テープ３を準備してしまう場合がある。保護テープ３は、種別による外観上の差が小さいため、予定されていない種別の保護テープ３が巻かれたロール３ａが芯部５６に配設されても作業者が保護テープ３の種別の間違いに気づかない場合がある。被加工物１に誤った種別の保護テープ３を貼着すると、その後、上述の通り被加工物１を所定の加工条件で適切に加工できない。

そこで、保護テープ３の種別を識別する識別機能をテープマウンター５４に具備させるために、テープマウンター５４には、測定ユニット１２０と、制御ユニット５４ｃと、が組み込まれる。制御ユニット５４ｃは、特性登録部５４ａ及び識別部５４ｂを含み、測定ユニット１２０を制御する。測定ユニット１２０と、特性登録部５４ａと、識別部５４ｂと、はそれぞれ研削装置２が備える測定ユニット１０４と、特性登録部４４ａと、識別部４４ｂと、と同様に構成される。

すなわち、測定ユニット１２０は、筐体１２２，１２４を含む回帰反射型センサ１２６を備える。また、測定ユニット１２０は、筐体１２８，１３０を含む透過型センサ１３２を有してもよく、さらに、反射型センサ１３４を有してもよい。回帰反射型センサ１２６の筐体１２２，１２４は、図３（Ｃ）に示した回帰反射型センサ９６の筐体９６ａ，９６ｂに対応する。透過型センサ１３２の筐体１２８，１３０は、図３（Ｂ）に示した透過型センサ９０の筐体９０ａ，９０ｂに対応する。反射型センサ１３４は、図３（Ａ）に示した反射型センサ８４に対応する。

測定ユニット１２０の各部の機能は、上述の測定ユニット１０４の機能と同様である。また、特性登録部５４ａ及び識別部５４ｂの機能は、上述の特性登録部４４ａ及び識別部４４ｂの機能と同様である。そのため、測定ユニット１２０、特性登録部５４ａ及び識別部５４ｂの説明を省略する。

測定ユニット１２０、特性登録部５４ａ及び識別部５４ｂを使用すると、識別対象の保護テープ３の第１の透過率を測定できる。さらに、保護テープ３の第２の透過率及び反射率が測定されてもよい。制御ユニット５４ｃでは、測定された第１の透過率から識別対象の保護テープ３の種別を識別する。この際、第１の透過率に加えて第２の透過率及び反射率が参照されてもよい。

ここで、図２（Ｂ）に示すテープマウンター５４の構成においては、保護テープ３が剥離シート３ｃと一体化された状態の光学特性が測定される。そのため、特性登録部５４ａには、剥離シート３ｃと一体化された状態の各種の保護テープ３の光学特性が登録される。特に、剥離シート３ｃの材料の選択の幅は保護テープ３の材料の選択の幅よりも広いため、保護テープ３の種別を識別が容易となるように、各保護テープ３に使用される剥離シート３ｃにそれぞれ光学特性が互いに大きく異なる材料を使用してもよい。

ただし、識別装置として機能するテープマウンター５４はこれに限定されず、剥離シート３ｃが剥離された後の保護テープ３の光学特性が測定ユニット７６により測定されてもよい。

なお、識別装置として機能する研削装置２及びテープマウンター５４等は、さらに、使用者に警告する警告装置を有してもよい。この場合、識別対象の保護テープ３の種別を識別した結果、該保護テープ３の種別が予定されていない保護テープ３の種別であることが判明した場合に、警告装置で該使用者に警告を発する。ここで、警告装置とは、例えば、警報音を発するブザー、点灯することで異常状態であることを示す警告ランプ、または、警報を表示する表示画面等である。

なお、識別装置に組み込まれた測定ユニット１０４，１２０が識別対象の保護テープ３の第１の透過率と、第２の透過率と、反射率と、を測定する場合、各センサが備える発光部等の一部の機能を他のセンサの発光部等に担当させることが考えられる。この場合、一部の発光部及び受光部を省略できる。例えば、図２（Ａ）に示す測定ユニット１０４の変形例である測定ユニット４６を図５（Ａ）に示す。また、図２（Ｂ）に示す測定ユニット１２０の変形例である測定ユニット７６を図５（Ｂ）に示す。

測定ユニット４６，７６は、第１の発光部４８ａ，７８ａと、識別対象の保護テープ３を介して第１の発光部４８ａ，７８ａと対面する反射板５０，８０と、識別対象の保護テープ３を介して反射板５０，８０と対面する第１の受光部５２ａ，８２ａと、を有する。

図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示す例では、保護テープ３の下方に第１の発光部４８ａ，７８ａ及び第１の受光部５２ａ，８２ａが配され、保護テープ３の上方に反射板５０，８０が配されている。しかしながら、測定ユニット４６，７６はこれに限定されず、保護テープ３の上方に第１の発光部４８ａ，７８ａ及び第１の受光部５２ａ，８２ａが配され、保護テープ３の下方に反射板５０，８０が配されてもよい。

第１の発光部４８ａ，７８ａは、識別対象の保護テープ３に第１の光を照射する機能を有する。また、反射板５０，８０は、識別対象の保護テープ３を透過した該第１の光を反射させる機能を有する。第１の受光部５２ａ，８２ａは、第１の発光部４８ａ，７８ａから発せられ保護テープ３を透過して反射板５０，８０に到達し、反射板５０，８０で反射されて保護テープ３に再び照射され、保護テープ３を再び透過した該第１の光を受光する機能を有する。

そして、第１の発光部４８ａ，７８ａで発せられた第１の光の発光量と、第１の受光部５２ａ，８２ａで受光された該第１の光の受光量と、から、第１の透過率が算出される。

測定ユニット４６，７６は、識別対象の保護テープ３を介して第１の受光部５２ａ，８２ａと対面する第２の発光部４８ｂ，７８ｂをさらに備える。第２の発光部４８ｂ，７８ｂは、識別対象の保護テープ３に第２の光を照射する機能を有する。

そして、測定ユニット４６，７６は、第２の発光部４８ｂ，７８ｂから識別対象の保護テープ３に第２の光を照射し、識別対象の保護テープ３を透過した該第２の光を第１の受光部５２ａ，８２ａで受光することで第２の透過率を測定する機能を有する。ここで、測定ユニット４６，７６は、第２の発光部４８ｂ，７８ｂで発せられた第２の光の発光量と、第１の受光部５２ａ，８２ａで受光された該第２の光の受光量と、から、第２の透過率を算出する。

測定ユニット４６，７６は、識別対象の保護テープ３を介して第１の発光部４８ａ，７８ａと対面する第２の受光部５２ｂ，８２ｂをさらに備える。この場合、第２の発光部４８ｂ，７８ｂは、識別対象の保護テープ３に第３の光を照射する機能を有し、第２の受光部５２ｂ，８２ｂは、識別対象の保護テープ３で反射される該第３の光を受光する機能を有する。

そして、測定ユニット４６，７６は、第２の発光部４８ｂ，７８ｂから識別対象の保護テープ３に第３の光を照射し、識別対象の保護テープ３で反射された該第３の光を第２の受光部５２ｂ，８２ｂで受光することで反射率を測定する機能を有する。ここで、測定ユニット４６，７６は、第２の発光部４８ｂ，７８ｂで発せられた第３の光の発光量と、第２の受光部５２ｂ，８２ｂで受光された該第３の光の受光量と、から、反射率を算出する。

このように図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示す変形例によると、識別ユニットの測定ユニットは、回帰反射型センサ、透過型センサ、及び反射型センサを個別に備えていなくてもよい場合があり、一部の発光部及び受光部を省略できる場合がある。

次に、本実施形態に係る保護テープ３の識別方法について説明する。図４（Ａ）は、本実施形態に係る保護テープの識別方法の一例の各ステップのフローを模式的に示すフローチャートである。また、図４（Ｂ）は、本実施形態に係る保護テープの識別方法の他の一例のフローを模式的に示すフローチャートである。

図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示す通り、該識別方法では、まず、識別対象の保護テープ３の第１の透過率を測定する第１の透過率測定ステップＳ１１を実施する。各種の保護テープ３は、それぞれ所定の第１の透過率を有するため、測定された第１の透過率から保護テープ３の種別の識別が可能である。そこで、第１の透過率測定ステップＳ１１を実施した後、保護テープ３の種別を識別する識別ステップＳ２０を実施する。

なお、識別ステップＳ２０を実施する前に、識別対象の保護テープ３の第２の透過率を測定する第２の透過率測定ステップＳ１２を実施してもよい。また、識別ステップＳ２０を実施する前に、識別対象の保護テープ３の反射率を測定する反射率測定ステップＳ１３を実施してもよい。なお、第２の透過率測定ステップＳ１２と、反射率測定ステップＳ１３と、の一方または両方を実施する場合、識別ステップＳ２０の前に実施される各ステップの順序は適宜入れ替え可能であり、さらに、各ステップを同時に実施してもよい。以下、各ステップについて詳述する。

第１の透過率測定ステップＳ１１では、保護テープ３に第１の光を照射し、保護テープ３を透過した該第１の光を反射板により反射させて再度保護テープ３に照射し、再び保護テープ３を透過した該第１の光を受光して第１の透過率を測定する。ここで、第１の透過率とは、保護テープ３に光を照射して保護テープ３を透過させ、該光を反射させて保護テープ３を再び透過させるときの、受光された該光の強度を照射前の光の強度で除して算出される割合である。

第１の透過率測定ステップＳ１１では、例えば、図２（Ａ）に示される研削装置２の測定ユニット１０４の回帰反射型センサ１１０が使用される。または、図２（Ｂ）に示されるテープマウンター５４の測定ユニット１２０の回帰反射型センサ１２６が使用される。または、図５（Ａ）に示される測定ユニット４６の第１の発光部４８ａ、反射板５０、及び第１の受光部５２ａが使用される。または、図５（Ｂ）に示される測定ユニット７６の第１の発光部７８ａ、反射板８０、及び第１の受光部８２ａが使用される。

識別ステップＳ２０では、第１の透過率測定ステップＳ１１で測定された第１の透過率に基づいて保護テープ３の種別を識別する。識別ステップＳ２０では、例えば、制御ユニット４４，５４ｃの特性登録部４４ａ，５４ａ及び識別部４４ｂ，５４ｂが使用される。

特性登録部４４ａ，５４ａには、種別毎に保護テープ３の光学特性が登録されている。識別部４４ｂ，５４ｂは、第１の透過率測定ステップＳ１１で測定された保護テープ３の第１の透過率で特性登録部４４ａ，５４ａに照合する。すなわち、識別部４４ｂ，５４ｂは、特性登録部４４ａ，５４ａに光学特性が登録されている保護テープ３のうち、第１の透過率が識別対象の保護テープ３の第１の透過率と同程度である保護テープ３の種別を該識別対象の保護テープ３の種別として識別する。

ここで、保護テープ３の第２の透過率を測定する第２の透過率測定ステップＳ１２を実施する場合、識別ステップＳ２０では、第１の透過率に加えて第２の透過率に基づいて該保護テープ３の種別を識別してもよい。第２の透過率測定ステップＳ１２では、保護テープ３に第２の光を照射し、保護テープ３を透過した第２の光を受光して第２の透過率を測定する。ここで、第２の透過率とは、保護テープ３に光を照射して保護テープ３を透過させるときの、受光された該光の強度を照射前の光の強度で除して算出される割合である。

第２の透過率測定ステップＳ１２では、例えば、図２（Ａ）に示される研削装置２の測定ユニット１０４の透過型センサ１１６が使用される。または、図２（Ｂ）に示されるテープマウンター５４の測定ユニット１２０の透過型センサ１３２が使用される。または、図５（Ａ）に示される測定ユニット４６の第２の発光部４８ｂ及び第１の受光部５２ａが使用される。または、図５（Ｂ）に示される測定ユニット７６の第２の発光部７８ｂ及び第１の受光部８２ａが使用される。

識別ステップＳ２０において、第１の透過率測定ステップＳ１１で測定される第１の透過率に加えて第２の透過率測定ステップＳ１２で測定される第２の透過率に基づいて保護テープ３の種別の識別が実施されると、識別の精度が向上する。

また、保護テープ３の反射率を測定する反射率測定ステップＳ１３を実施する場合、識別ステップＳ２０では、第１の透過率に加えて反射率に基づいて該保護テープ３の種別を識別してもよい。反射率測定ステップＳ１３では、保護テープ３に第３の光を照射し、保護テープ３で反射した該第３の光を受光して反射率を測定する。ここで、反射率とは、保護テープ３に光を照射して保護テープ３で反射された光を受光したときの、受光された該光の強度を照射前の光の強度で除して算出される割合である。

反射率測定ステップＳ１３では、例えば、図２（Ａ）に示される研削装置２の測定ユニット１０４の反射型センサ１１８が使用される。または、図２（Ｂ）に示されるテープマウンター５４の測定ユニット１２０の反射型センサ１３４が使用される。または、図５（Ａ）に示される測定ユニット４６の第２の発光部４８ｂ及び第２の受光部５２ｂが使用される。または、図５（Ｂ）に示される測定ユニット７６の第２の発光部７８ｂ及び第２の受光部８２ｂが使用される。

識別ステップＳ２０において、第１の透過率測定ステップＳ１１で測定される第１の透過率に加えて反射率測定ステップＳ１３で測定される反射率に基づいて保護テープ３の種別の識別が実施されると、識別の精度が向上する。

さらに、第２の透過率測定ステップＳ１２及び反射率測定ステップＳ１３のいずれもが実施されると、識別ステップＳ２０では、第１の透過率と、第２の透過率と、反射率と、に基づいて保護テープ３の種別を識別できる。第１の透過率と、第２の透過率と、反射率と、に基づいて保護テープ３の種別を識別する場合、識別の精度が極めて高くなる。

ここで、特性登録部４４ａ，５４ａに登録される各種の保護テープ３の光学特性の一例について説明する。下記の表１には、テープＡからテープＫまでの１１種別の保護テープ３の光学特性が示されている。該光学特性は、第１の透過率と、第２の透過率と、反射率と、を含む。下記の表１では、各光学特性の具体的な数値ではなく、互いに判別可能な範囲毎にそれぞれの数値を分類したときの該数値が属する分類の名称が示されている。同じ分類に属する数値は、互いに判別が容易ではないと言える。

ここで、各保護テープ３の反射率は、それぞれＡからＤの４つの範囲に分類された。また、各保護テープ３の第１の透過率は、１から８の８つの範囲に分類された。さらに、各保護テープ３の第２の透過率は、ａからｅまでの５つの範囲に分類された。このように、第１の透過率は、第２の透過率及び反射率よりも多くの範囲で分類が可能である。

例えば、識別対象の保護テープ３の反射率だけが測定される場合に、測定された反射率が表１のＢに分類される値であると、保護テープ３の種別の候補は、表１のテープＤ、テープＥ、テープＦ、テープＧの４つが存在することとなる。そのため、識別対象の保護テープ３の種別を識別できない。

その一方で、識別対象の保護テープ３の第１の透過率を測定した結果、測定された第１の透過率が表１の３に分類される値であると、保護テープ３の種別の候補は表１のテープＥに絞られる。そのため、識別対象の保護テープ３の種別はテープＥであると識別される。このように、本実施形態に係る保護テープ３の識別方法によると、保護テープ３の種別間で反射率よりも差が生じ易い第１の透過率で保護テープ３の種別を識別するため、容易かつ正確に保護テープ３の種別が識別される。

また、識別対象の保護テープの第１の透過率が表１の５に分類される値である場合、保護テープ３の種別の候補は、テープＡ及びテープＤとなる。この場合、さらに識別対象の保護テープ３の第２の透過率または反射率が測定されると、保護テープ３の種別がテープＡまたはテープＤのいずれの種別であるか識別できる。このように、本実施形態に係る保護テープ３の識別方法により種別が識別されると、加工装置における被加工物１の不適切な加工を防止できる。

なお、本実施形態に係る保護テープ３の識別方法は、被加工物１を加工する加工方法の一部として実施されてもよい。この場合、該識別方法により識別された保護テープ３の種別に基づいて保護テープ３が貼着された被加工物１を加工する加工条件を選定する加工条件選定ステップが実施されてもよい。例えば、研削装置２の制御ユニット４４には被加工物１に貼着される各種の保護テープ３に対応した加工条件が登録されており、制御ユニット４４は識別された保護テープ３の種別に対応する加工条件を選定する。

次に、研削装置２等の加工装置では、保護テープ３が貼着された被加工物１を該加工条件選定ステップで選定された該加工条件で加工する加工ステップが実施されてもよい。この場合、被加工物１に貼着される保護テープ３の種別に応じて加工条件が選定されるため、例えば、カセット６ａに収容される複数の被加工物１の一部に予定されていない種別の保護テープ３が貼着されていてもそれぞれの被加工物１を適切に加工できる。

したがって、保護テープ３の識別方法により保護テープ３の種別を識別して、その後、加工条件選定ステップと、加工ステップと、を実施する被加工物の加工方法によると、被加工物１に貼着されている保護テープ３の種別に関わらず被加工物１を適切に加工できる。

なお、本発明の一態様は、上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、被加工物１の裏面１ｂ側が研削される際に被加工物１の表面１ａに貼着される保護テープ３を識別する場合について説明したが、識別対象はこれに限定されない。例えば、保護テープ３は、被加工物１を円環状の切削ブレードで切削して分割する際に該被加工物１に貼着されるダイシングテープでもよい。

そして、識別装置として機能する研削装置２について説明したが、識別装置として機能する加工装置はこれに限定されない。例えば、識別装置は円環状の切削ブレードを備える切削装置でもよい。切削装置においても被加工物１の加工条件がダイシングテープの種別が参照されて決定される場合がある。そのため、被加工物１を切削する前にダイシングテープの種別が識別できると、被加工物１の不適切な条件での加工を防止できる。

さらに、保護テープ３がダイシングテープである場合、識別装置として機能する加工装置は、個々のチップに分割された被加工物１を保持するダイシングテープを径方向外側に拡張してチップ間距離を広げるエキスパンダーでもよい。エキスパンダーでは、ダイシングテープの種別により異なる条件でダイシングテープが拡張される場合がある。そこで、エキスパンダーにおいてエキスパンドテープの種別を識別できると、エキスパンドテープの種別に応じた適切な条件で該エキスパンドテープを拡張できる。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１ 被加工物
１ａ 表面
１ｂ 裏面
３ 保護テープ
３ａ，３ｂ ロール
３ｃ 剥離シート
５ 環状フレーム
７ａ，７ｂ，７ｃ 光
２ 研削装置
４ 基台
４ａ 開口
６ａ，６ｂ カセット
８ａ，８ｂ カセット載置台
１０ 搬送ロボット
１２ 位置決めテーブル
１２ａ 位置決めピン
１２ｂ 載置領域
１４ ローディングアーム
１６ アンローディングアーム
１８ 移動テーブル
２０ ジャバラ
２２ チャックテーブル
２４ 研削ユニット（加工ユニット）
２４ａ スピンドルハウジング
２４ｂ ホイールマウント
２６ カラム
２８ ガイドレール
３０ 移動プレート
３２ ボールねじ
３４ パルスモータ
３６ 研削ホイール
３８ 研削砥石
４０ スピンナ洗浄装置
４２ 識別ユニット
４４，５４ｃ 制御ユニット
４４ａ，５４ａ 特性登録部
４４ｂ，５４ｂ 識別部
４６，７６，１０４，１２０ 測定ユニット
４８ａ，４８ｂ，７８ａ，７８ｂ，８６，９２，９８ 発光部
５０，８０，１００ 反射板
５２ａ，５２ｂ，８２ａ，８２ｂ，８８，９４，１０２ 受光部
５４ テープマウンター
５６，６０，６６ 芯部
５８，６２，６４ ローラー
７０ａ，７０ｂ 押圧ローラー
７２ 支持テーブル
７４ テープカッター
７４ａ スピンドル
７４ｂ カッターホイール
７４ｃ カッター
８４，１１８，１３４ 反射型センサ
９０，１１６，１３２ 透過型センサ
９６，１１０，１２６ 回帰反射型センサ
１００ａ ４分の１波長板
１００ｂ 反射鏡
９０ａ，９０ｂ，９６ａ，９６ｂ，１０６，１０８，１１２，１１４，１２２，１２４，１２８，１３０ 筐体

Claims (10)

1. 保護テープの識別方法であって、
   該保護テープに第１の光を照射し、該保護テープを透過した該第１の光を反射板により反射させて再度該保護テープに照射し、再び該保護テープを透過した該第１の光を受光して第１の透過率を測定する第１の透過率測定ステップと、
   該第１の透過率測定ステップで測定された該第１の透過率に基づいて該保護テープの種別を識別する識別ステップと、を備えることを特徴とする保護テープの識別方法。
2. 該保護テープに第２の光を照射し、該保護テープを透過した該第２の光を受光して第２の透過率を測定する第２の透過率測定ステップをさらに備え、
   該識別ステップでは、該第１の透過率測定ステップで測定された該第１の透過率に加えて該第２の透過率測定ステップで測定された該第２の透過率に基づいて該保護テープの種別を識別することを特徴とする請求項１に記載の保護テープの識別方法。
3. 該保護テープに第３の光を照射し、該保護テープで反射した該第３の光を受光して反射率を測定する反射率測定ステップと、をさらに備え、
   該識別ステップでは、該第１の透過率測定ステップで測定された該第１の透過率に加えて該反射率測定ステップで測定された該反射率に基づいて該保護テープの種別を識別することを特徴とする請求項１に記載の保護テープの識別方法。
4. 保護テープの識別方法であって、
   該保護テープに第１の光を照射し、該保護テープを透過した該第１の光を反射板により反射させて再度該保護テープに照射し、再び該保護テープを透過した該第１の光を受光して第１の透過率を測定する第１の透過率測定ステップと、
   該保護テープに第２の光を照射し、該保護テープを透過した該第２の光を受光して第２の透過率を測定する第２の透過率測定ステップと、
   該保護テープに第３の光を照射し、該保護テープで反射した該第３の光を受光して反射率を測定する反射率測定ステップと、
   該第１の透過率測定ステップで測定された該第１の透過率と、該第２の透過率測定ステップで測定された該第２の透過率と、該反射率測定ステップで測定された該反射率と、に基づいて該保護テープの種別を識別する識別ステップと、を備えることを特徴とする保護テープの識別方法。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の保護テープの識別方法により識別された該保護テープの種別に基づいて該保護テープが貼着された被加工物を加工する加工条件を選定する加工条件選定ステップと、
   該保護テープが貼着された該被加工物を該加工条件選定ステップで選定された該加工条件で加工する加工ステップと、を含むことを特徴とする被加工物の加工方法。
6. 保護テープの種別を識別する識別装置であって、
   識別対象の保護テープの光学特性を測定する測定ユニットと、
   複数の種別の該保護テープの光学特性が登録された特性登録部と、
   該識別対象の該保護テープの種別を識別する識別部と、を備え、
   該測定ユニットは、
   該識別対象の該保護テープに第１の光を照射し、該識別対象の該保護テープを透過した該第１の光を反射板により反射させて再度該識別対象の該保護テープに照射し、該識別対象の該保護テープを再び透過した該第１の光を受光することで第１の透過率を測定する回帰反射型センサを有し、
   該識別部は、該識別対象の該保護テープの光学特性として該回帰反射型センサが測定した該第１の透過率で該特性登録部に照合し、該特性登録部に光学特性が登録された該複数の種別の保護テープから該識別対象の該保護テープの種別を識別する機能を有することを特徴とする保護テープの識別装置。
7. 該測定ユニットは、
   該識別対象の該保護テープに第２の光を照射し、該識別対象の該保護テープを透過した該第２の光を受光することで第２の透過率を測定する透過型センサをさらに備え、
   該識別部は、該特性登録部に光学特性が登録された該複数の種別の保護テープから該識別対象の該保護テープの種別を識別する際、該識別対象の該保護テープの光学特性として該第１の透過率に加えて該透過型センサが測定した該第２の透過率で該特性登録部に照合することを特徴とする請求項６に記載の保護テープの識別装置。
8. 該測定ユニットは、
   該識別対象の該保護テープに第３の光を照射し、該識別対象の該保護テープで反射した該第３の光を受光することで反射率を測定する反射型センサをさらに備え、
   該識別部は、該特性登録部に光学特性が登録された該複数の種別の保護テープから該識別対象の該保護テープの種別を識別する際、該識別対象の該保護テープの光学特性として該第１の透過率に加えて該反射型センサが測定した該反射率で該特性登録部に照合することを特徴とする請求項６に記載の保護テープの識別装置。
9. 保護テープの種別を識別する識別装置であって、
   識別対象の保護テープの光学特性を測定する測定ユニットと、
   複数の種別の該保護テープの光学特性が登録された特性登録部と、
   該識別対象の保護テープの種別を識別する識別部と、を備え、
   該測定ユニットは、
   該識別対象の該保護テープに第１の光を照射し、該識別対象の該保護テープを透過した該第１の光を反射板により反射させて再度該識別対象の該保護テープに照射し、該識別対象の該保護テープを再び透過した該第１の光を受光することで第１の透過率を測定する回帰反射型センサと、
   該識別対象の該保護テープに第２の光を照射し、該識別対象の該保護テープを透過した該第２の光を受光することで第２の透過率を測定する透過型センサと、
   該識別対象の該保護テープに第３の光を照射し、該識別対象の該保護テープで反射した該第３の光を受光することで反射率を測定する反射型センサと、を有し、
   該識別部は、該識別対象の該保護テープの光学特性として、該回帰反射型センサで測定した該第１の透過率と、該透過型センサで測定した該第２の透過率と、該反射型センサで測定した該反射率と、で該特性登録部に照合し、該特性登録部に光学特性が登録された該複数の種別の保護テープから該識別対象の該保護テープの種別を識別する機能を有することを特徴とする保護テープの識別装置。
10. 表面に保護テープが貼着された被加工物を載置するチャックテーブルと、
    該被加工物に貼着された保護テープの種別を識別する識別ユニットと、
    該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工ユニットと、を備え、
    該識別ユニットは、請求項６乃至請求項９のいずれかに記載の識別装置であることを特徴とする被加工物の加工装置。
    

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