KR20210011324A - 테이프 마운터 - Google Patents

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KR20210011324A
KR20210011324A KR1020200073315A KR20200073315A KR20210011324A KR 20210011324 A KR20210011324 A KR 20210011324A KR 1020200073315 A KR1020200073315 A KR 1020200073315A KR 20200073315 A KR20200073315 A KR 20200073315A KR 20210011324 A KR20210011324 A KR 20210011324A
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KR
South Korea
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light
ring frame
tape
measurement point
measurement
Prior art date
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KR1020200073315A
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Inventor
마사히로 와다
나오히사 와타나베
Original Assignee
가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 테이프 마운터에 있어서, 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 일치하여 점착되어 있는지 아닌지를 확인할 수 있도록 한다.
(해결 수단) 테이프 마운터로서, 링 프레임을 유지하는 링 프레임 유지 테이블과, 링 프레임의 개구 내에서 웨이퍼를 유지하는 웨이퍼 유지 테이블과, 링 프레임의 상면과 웨이퍼의 상면에 원형의 테이프를 점착하는 수단과, 링 프레임 상면에서 테이프가 점착되어 있어야 할 영역의 측정점에 측정광을 투광하는 투광부와, 측정점에서 반사한 반사광을 수광하는 수광부를 구비한 센서와, 수광부가 수광하는 수광량의 기준치를 설정하는 설정부와, 수광부가 수광한 수광량이 기준치보다 작은 경우에, 측정점에 테이프가 점착되어 있다고 판단하고, 수광부가 수광한 수광량이 기준치 이상인 경우에, 측정점에 테이프가 점착되어 있지 않다고 판단하는 판단부를 포함한다.

Description

테이프 마운터{TAPE MOUNTER}
본 발명은, 테이프 마운터에 관한 것이다.
테이프 마운터는, 웨이퍼의 직경보다 큰 직경의 개구를 갖추는 링 프레임과 링 프레임의 개구에 위치한 웨이퍼에 원형의 다이싱 테이프를 점착하여 일체화하고, 웨이퍼를 링 프레임을 통해 핸들링 가능한 상태로 한다.
테이프 마운터의 링 프레임 유지 수단은, 링 프레임의 하면을 흡인 유지한다. 그리고 테이프 마운터의 웨이퍼 유지 수단은, 링 프레임의 개구 내에서, 웨이퍼의 하면을 흡인 유지한다. 그리고 전동하는 롤러 등의 점착 수단이, 링 프레임의 상면과 웨이퍼의 상면에 원형의 다이싱 테이프를 점착한다.
또한, 링 프레임에는, 서로 평행한 2 개의 제1 평탄면과, 제1 평탄면에 대해서 직교하는 방향으로 서로 평행한 2 개의 제2 평탄면이 외주 측면에 형성되어 있다. 그리고 특허 문헌 1 또는 특허 문헌 2에 개시되고 있는 바와 같이, 웨이퍼의 중심과 링 프레임의 개구의 중심을 일치시키기 위해서, 링 프레임 유지 수단은, 링 프레임의 한 쌍의 제1 평탄면, 및 한 쌍의 제2 평탄면을 링 프레임의 외주 측으로부터 협지함으로써, 링 프레임을 목표 위치에 위치 결정(센터링)하고 있다.
상기와 같이 위치 결정된 웨이퍼와 링 프레임에 점착되는 다이싱 테이프의 직경은, 링 프레임의 내경(개구의 직경)보다 크고 링 프레임의 외직경 이하이다. 그리고 다이싱 테이프는, 다이싱 테이프의 중심과 링 프레임의 개구의 중심이 합치하도록 링 프레임에 점착되고, 또한, 다이싱 테이프의 중심은, 링 프레임의 개구 내의 웨이퍼의 중심과도 합치된다(예컨대, 특허 문헌 3 참조).
특개 2013-082045호 공보 특개 2011-036968호 공보 특개 2016-008104호 공보
웨이퍼를 절삭 블레이드로 다이싱하는 다이싱 장치는, 웨이퍼를 유지하는 척 테이블의 유지면보다 링 프레임의 상면이 낮아지도록 링 프레임을 인하하여 유지하고, 절삭 블레이드가 링 프레임에 접촉하지 않도록 하고 있다. 여기서, 다이싱 테이프가 링 프레임에 서로의 중심이 어긋난 상태로 점착되어 있으면, 링 프레임을 인하하여 유지했을 때에, 다이싱 테이프가 링 프레임으로부터 벗겨진다고 하는 문제가 있다.
따라서, 테이프 마운터에 있어서는, 링 프레임에 다이싱 테이프를 점착한 후, 다이싱 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 일치하여 점착되어 있는지 여부를 확인할 수 있도록 한다고 하는 과제가 있다.
본 발명의 일 양태에 의하면, 링 프레임을 유지하는 링 프레임 유지 테이블과, 상기 링 프레임의 개구 내에서 웨이퍼를 유지하는 웨이퍼 유지 테이블과, 상기 링 프레임 유지 테이블에 유지된 상기 링 프레임의 상면과 상기 웨이퍼 유지 테이블에 유지된 웨이퍼의 상면에 원형의 테이프를 점착하는 점착 수단과, 상기 링 프레임의 상면에서 상기 테이프가 점착되어 있어야 할 영역의 측정점에 측정광을 투광하는 투광부와, 상기 측정점에서 반사한 반사광을 수광하는 수광부를 구비한 센서와, 상기 수광부가 수광하는 수광량에 관한 기준치를 설정하는 설정부와, 상기 수광부가 수광한 수광량이 상기 기준치보다 작은 경우에, 상기 측정점에 상기 테이프가 점착되어 있다고 판단하고, 상기 수광부가 수광한 수광량이 상기 기준치 이상인 경우에, 상기 측정점에 테이프가 점착되어 있지 않다고 판단하는 판단부를 포함하는 테이프 마운터가 제공된다.
상기 측정광을 상기 링 프레임의 상면에서 반사시킨 반사광을 상기 수광부가 수광했을 때의 수광량을 기억하는 기억부를 더 포함하고, 상기 설정부는, 상기 기억부에 기억된 값을 상기 기준치로서 설정할 수 있다.
상기 센서는, 상기 링 프레임의 상면에 대해 사선 상방으로부터 상기 측정점을 향해 상기 측정광을 투광하는 상기 투광부와, 상기 측정점에 대해 상기 투광부와 대칭 위치에 배치되어 상기 측정점에서 반사한 상기 측정광을 상기 측정점을 향해서 반사시키는 회귀 반사판과, 상기 회귀 반사판에서 반사한 반사광이 상기 측정점에서 다시 반사한 반사광을 상기 투광부의 근방에서 수광하는 상기 수광부를 구비한다.
상기 센서는, 상기 링 프레임의 상면에 대해 사선 상방으로부터 상기 측정점을 향해 상기 측정광을 투광하는 상기 투광부와, 상기 측정점에 대해 상기 투광부와 대칭 위치에 배치되어 상기 측정점에서 반사한 반사광을 수광하는 상기 수광부를 구비한다.
본 발명의 일 양태와 관련되는 테이프 마운터는, 링 프레임의 상면에서 테이프가 점착되어 있어야 할 영역의 측정점에 측정광을 투광하는 투광부와, 측정점에서 반사한 반사광을 수광하는 수광부를 구비한 센서와, 수광부가 수광하는 수광량에 대한 기준치를 설정하는 설정부와, 판단부를 포함하고, 판단부가, 수광부가 수광한 수광량이 기준치보다 작은 경우에, 측정점에 테이프(예컨대, 다이싱 테이프)가 점착되어 있다고 판단하고, 수광부가 수광한 수광량이 기준치 이상인 경우에, 측정점에 테이프가 점착되어 있지 않다고 판단하므로, 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 일치하여 점착되어 있는지 여부를 확인할 수 있다. 종래는, 투과형 센서로, 링 프레임의 테이프가 점착되어 있지 않은 부분을 확인할 수 있었지만, 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 일치하여 점착되어 있는지 아닌지, 환언하면, 링 프레임의 개구의 주위에 있어서 테이프의 점착 면적이 부분적으로 좁아지고 있는 곳이 있는지 여부는 확인할 수 없었다. 그러나 본 발명의 일 양태와 관련되는 테이프 마운터는, 예컨대, 센서가 측정하는 측정점을, 링 프레임의 개구보다 조금 외측의 영역(테이프가 점착되어 있어야 할 영역) 내에 설정함으로써, 링 프레임에 대한 테이프의 점착 면적이 좁아지고 있는 부분(측정점에 테이프가 점착되어 있지 않은 부분)이 있으면, 수광부가 수광하는 링 프레임으로부터의 반사광의 수광량이 기준치 이상이 되므로, 판단부가, 테이프의 점착 면적이 부분적으로 좁아지고 있는 곳이 있고, 테이프가 링 프레임으로부터 벗겨지기 쉽게 되어 있는 부분이 있다고 판단할 수 있다.
측정광을 링 프레임의 상면에서 반사시킨 반사광을 수광부가 수광했을 때의 수광량을 기억하는 기억부를 더 포함하고, 설정부가, 기억부에 기억된 값을 기준치로서 설정하는 경우에는, 판단부가 다이싱 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 일치하여 점착되어 있는지 여부를 판단하기 위한 기준치를, 적절히 테이프 마운터에 설정할 수 있다.
센서가, 링 프레임의 상면에 대해 사선 상방으로부터 측정점을 향해 측정광을 투광하는 투광부와, 측정점에 대해 투광부와 대칭 위치에 배치되어 측정점에서 반사한 측정광을 상기 측정점을 향해서 반사시키는 회귀 반사판과, 회귀 반사판에서 반사한 반사광이 측정점에서 다시 반사한 반사광을 투광부의 근방에서 수광하는 수광부를 구비하는 경우에는, 다이싱 테이프가 투명한 테이프여도, 또는 불투명한 테이프여도, 판단부가, 수광부가 수광한 수광량이 기준치보다 작은 경우에, 측정점에 테이프가 점착되어 있다고 판단하고, 수광부가 수광한 수광량이 기준치 이상인 경우에, 측정점에 테이프가 점착되어 있지 않다고 판단할 수 있어, 다이싱 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 일치하여 점착되어 있는지 아닌지를 판단할 수 있다.
센서가, 링 프레임의 상면에 대해 사선 상방으로부터 측정점을 향해 측정광을 투광하는 투광부와, 측정점에 대해 투광부와 대칭 위치에 배치되어 측정점에서 반사한 반사광을 수광하는 수광부를 구비하는 경우에는, 다이싱 테이프가 불투명한 테이프여도, 판단부가, 수광부가 수광한 수광량이 기준치보다 작은 경우에, 측정점에 테이프가 점착되어 있다고 판단하고, 수광부가 수광한 수광량이 기준치 이상인 경우에, 측정점에 테이프가 점착되어 있지 않다고 판단할 수 있어, 다이싱 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 일치하여 점착되어 있는지 아닌지를 판단할 수 있다.
도 1은 테이프 마운터의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2는 링 프레임 유지 테이블 및 웨이퍼 유지 테이블의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 3은 테이프 마운터에 있어서, 링 프레임과 웨이퍼에 테이프가 점착하기 시작하는 상태를 설명하는 측면도이다.
도 4는 테이프 마운터에 있어서, 링 프레임과 웨이퍼에 테이프가 점착하기 시작한 상태를 설명하는 측면도이다.
도 5는 테이프 마운터에 있어서, 링 프레임과 웨이퍼에 테이프가 점착되어 웨이퍼 세트가 제작된 상태를 설명하는 측면도이다.
도 6은 제1 실시형태의 센서의 하방에 위치하는 링 프레임 유지 테이블에 있어서, 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 합치하여 테이프가 링 프레임에 점착되어 있는 경우를 설명하는 평면도이다.
도 7은 제1 실시형태의 센서의 하방에 위치하는 링 프레임 유지 테이블에 있어서, 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 어긋나서 테이프가 링 프레임에 점착되어 있는 경우를 설명하는 평면도이다.
도 8은 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 합치하고 있는 경우에 있어서, 제1 실시형태의 센서로 투광부가 제1 측정점에 측정광을 조사하여 수광부가 반사광을 수광하는 상태를 설명하는 설명도이다.
도 9는 제1 실시형태의 센서의 수광부의 수광량을 나타내는 그래프이다.
도 10은 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 어긋나 있는 경우에 있어서, 제1 실시형태의 센서로 투광부가 제1 측정점에 측정광을 조사하여 수광부가 반사광을 수광하는 상태를 설명하는 설명도이다.
도 11은 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 어긋나 있는 경우에 있어서, 제1 실시형태의 센서로 투광부가 제2 측정점에 측정광을 조사하여 수광부가 반사광을 수광하는 상태를 설명하는 설명도이다.
도 12는 제2 실시형태의 센서의 하방에 위치하는 링 프레임 유지 테이블에 있어서, 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 합치하여 테이프가 링 프레임에 점착되어 있는 경우를 설명하는 평면도이다.
도 13은 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 합치하고 있는 경우에 있어서, 제2 실시형태의 센서로 투광부가 제1 측정점에 측정광을 조사하여 수광부가 반사광을 거의 수광하고 있지 않는 상태를 설명하는 설명도이다.
도 14는 제2 실시형태의 센서의 수광부의 수광량을 나타내는 그래프이다.
도 15는 제2 실시형태의 센서의 하방에 위치하는 링 프레임 유지 테이블에 있어서, 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 어긋나서 테이프가 링 프레임에 점착되어 있는 경우를 설명하는 평면도이다.
도 16은 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 어긋나 있는 경우에 있어서, 제2 실시형태의 센서로 투광부가 제1 측정점에 측정광을 조사하여 수광부가 반사광을 수광하고 있는 상태를 설명하는 설명도이다.
도 17은 테이프의 중심이 링 프레임의 중심과 어긋나 있는 경우에 있어서, 제2 실시형태의 센서로 투광부가 제2 측정점에 측정광을 조사하여 수광부가 반사광을 거의 수광하고 있지 않는 상태를 설명하는 설명도이다.
도 1에 나타내는 본 발명의 일 양태와 관련되는 테이프 마운터(1)는, 후술하는 각 발명 구성요소가 배치되어 길이 방향이 X축 방향인 베이스(10)를 구비하고 있고, 베이스(10)의 상면은 수평면이 되어 있다. 베이스(10)의 후방 측(+X 방향 측)의 상방에는, 테이프 롤(TR)이 배치되어 있다.
테이프 롤(TR)은, 띠 형상의 점착 테이프와, 띠 형상의 시트(T1)가 함께 점착된 구조로 되어 있다. 점착 테이프는, 예컨대 폴리올레핀(polyolefin)계 수지 등으로 된 기재(基材)와 기재의 점착제층으로 이루어지고, 점착제층 측에 시트(T1)가 점착되어 있다. 점착 테이프는, 점착 대상이 되는 링 프레임(F)의 직경에 따른 복수의 원 형상으로 미리 컷 되어 있고, 점착 테이프가 프리 커트되어서 형성된 복수의 테이프(T2)(다이싱 테이프(T2))가 시트(T1)의 길이 방향으로 등간격을 두고 시트(T1)에 점착된 상태로 되어 있다. 또한, 테이프(T2) 및 시트(T1)는, 특별히 재질 등이 한정되지 않는다. 예컨대, 본 실시 형태에 있어서, 테이프(T2)는, 가시광선에 대해서 투명한 테이프이지만, 착색이 되어 가시광선에 대해서 불투명한 테이프여도 좋다.
테이프 롤(TR)은, 도 1에 도시한 바와 같이 권통(19)에 테이프(T2)를 내측으로 하여 롤 형상으로 감겨진 상태가 되어 있다. 테이프(T2)는, 링 프레임(F)의 원형의 개구(Fc)(도 2 참조)의 내경보다 대직경이고, 또한 링 프레임(F)의 외직경보다 소직경으로 되어 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, 링 프레임(F)은, 미리 정해진 금속(예컨대, SUS등)으로 구성되어 있고 환형 평판형으로 되어 있으며, 웨이퍼(W)의 외직경보다 큰 내경의 원형의 개구(Fc)를 구비하고 있다. 또한, 링 프레임(F)은, 예컨대, 그 외주의 일부를 플랫하게 노치함으로써, 서로 평행한 2 개의 제1 평탄면(Fd)과, 제1 평탄면(Fd)에 대해서 직교하는 방향으로 서로 평행한 2 개의 제2 평탄면(Fe)이 형성되고 있다. 제1 평탄면(Fd) 및 제2 평탄면(Fe)은, 링 프레임(F)의 위치 결정에 사용된다.
웨이퍼(W)는, 예컨대, 실리콘 모재 등으로 된 원형의 반도체 웨이퍼이고, 도 1에 있어서 하방을 향하고 있는 웨이퍼(W)의 표면(Wa)(하면(Wa))은, 격자형으로 구획된 영역에 복수의 디바이스가 형성되고 있으며, 도시하지 않는 보호 테이프가 점착되어 보호되고 있다. 웨이퍼(W)의 이면(Wb)(상면(Wb))은, 테이프(T2)가 점착되는 면이 된다. 또한, 웨이퍼(W)는 실리콘 이외에 갈륨비소, 사파이어, 질화갈륨, 세라믹스, 수지, 또는 실리콘카바이드 등으로 구성되어 있어도 좋고, 직사각형의 패키지 기판 등이어도 좋다.
도 1에 나타내는 테이프 롤(TR)의 사선 하방이 되는 위치에는, 인출된 시트(T1)를 굴곡시켜 시트(T1)로부터 테이프(T2)를 박리시키는 필 플레이트(15)가 배치되어 있다. 필 플레이트(15)는, 예컨대, Y축 방향으로부터 보았을 경우에 측면시(側面視) 삼각형 형상이 되는 경사진 판이며, 시트(T1)의 폭(Y축 방향 길이) 이상의 길이로 Y축 방향으로 연장하고 있다. 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 필 플레이트(15)가, 그 선단 측에서 시트(T1)를 압박하여 예각으로 굴곡시키는 것에 의해, 시트(T1)로부터 테이프(T2)를 박리할 수 있다.
도 1 및 도 3에 도시한 바와 같이, 필 플레이트(15)에 의해서 테이프(T2)가 박리된 시트(T1)는, 필 플레이트(15)의 후방(+X 방향)으로 보내진다. 그리고 모터 등의 회전 구동원에 의해 Y축 방향의 회전축을 축으로 회전하는 시트 권취 롤러(16)에 의해서, 시트(T1)는 롤 형상으로 감긴다. 시트 권취 롤러(16)의 상기 회전 구동원은, 예컨대, 토크 제어로 테이프 롤(TR)로부터의 시트(T1)의 인출 속도를 제어한다.
시트 권취 롤러(16)와 필 플레이트(15)와의 사이에는, 시트 지지 롤러(160)가 배치되고 있고, 시트 지지 롤러(160)에 의해서, 테이프(T2)가 박리된 시트(T1)가 느슨해지지 않도록 되어 있다.
테이프 마운터(1)는, 링 프레임(F)을 유지하는 링 프레임 유지 테이블(20)과, 링 프레임(F)의 개구(Fc) 내에서 웨이퍼(W)를 유지하는 웨이퍼 유지 테이블(21)과, 링 프레임 유지 테이블(20)에 유지된 링 프레임(F)의 상면(Fa)과 웨이퍼 유지 테이블(21)에 유지된 웨이퍼(W)의 상면(WBA)에 원형의 테이프(T2)를 점착하는 점착 수단(22)을 구비한다.
도 2에 나타내는 링 프레임 유지 테이블(20)은, 예컨대, 평면시(平面視) 정방형 형상으로 형성되고 있고, 그 중앙에 형성된 오목부(200) 내에 웨이퍼 유지 테이블(21)을 수용하고 있다. 링 프레임 유지 테이블(20)의 상면(20a)은, 평탄면인 링 프레임 유지면이 된다. 링 프레임 유지 테이블(20)의 상면(20a)에는, 개구를 가지고 오목한 형상의 예컨대 4 개의 흡반 수용부(201)가 설치되어 있다. 이들 4 개의 흡반 수용부(201)에는, 각각 링 프레임(F)을 흡착 가능한 흡반(25)이 배치되어 있다. 흡반(25)은, 예컨대, 변형 가능한 고무 등의 탄성재를 평면시 원형으로 형성한 것이다. 각 흡반(25)는, 진공 발생 장치 등의 도시 하지 않는 흡인원에 연통하고 있다.
또한, 링 프레임 유지 테이블(20)의 외형이나 구조 등은, 본 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.
링 프레임 유지 테이블(20)의 상면(20a)에는, 링 프레임(F)을 상면(20a) 상에서 위치 결정(센터링)하기 위한, 제1의 고정 위치 결정부(23), 및, 제1의 고정 위치 결정부(23)와 마주보는 제1의 가동 위치 결정부(24)가 배치되어 있다. 또한, 상면(20a)에는, 제2의 고정 위치 결정부(26), 및, 제2의 고정 위치 결정부(26)와 마주보는 제2의 가동 위치 결정부(27)가 배치되어 있다.
예컨대, 제1의 고정 위치 결정부(23)와 제1의 가동 위치 결정부(24)가 서로 마주보는 방향과, 제2의 고정 위치 결정부(26)와 제2의 가동 위치 결정부(27)가 서로 마주보는 방향은, 서로 대략 직교하고 있다.
제1의 고정 위치 결정부(23)는, 예컨대, 2 개의 원기둥 형상의 제1 고정 핀(23a, 23b)으로 이루어지고, 제1 고정 핀(23a), 제1 고정 핀(23b)은, 평면시로, 링 프레임 유지 테이블(20)의 X축 방향에 평행한 중심선을 대칭축으로서 서로 대칭으로 배치되어 있다.
제1의 가동 위치 결정부(24)는, 예컨대, 원기둥 형상의 제1 가동 핀(24a)과, 제1 가동 핀(24a)을 지지하는 제1 가동 블록(24b)과, 제1 가동 블록(24b)을 X축 방향으로 이동시키는 도시하지 않는 실린더를 구비하고 있다.
제2의 고정 위치 결정부(26)는, 예컨대, 2 개의 원기둥 형상의 제2 고정 핀(26a, 26b)으로 이루어지고, 제2 고정 핀(26a), 제2 고정 핀(26b)은, 평면시로, 링 프레임 유지 테이블(20)의 Y축 방향에 평행한 중심선을 대칭축으로서 서로 대칭으로 배치되어 있다.
제2의 가동 위치 결정부(27)는, 예컨대, 원기둥 형상의 제2 가동 핀(27a)과, 제2 가동 핀(27a)을 지지하는 제2 가동 블록(27b)과, 제2 가동 블록(27b)을 Y축 방향으로 이동시키는 도시하지 않는 실린더를 구비하고 있다.
본 실시 형태에 있어서는, 제1의 고정 위치 결정부(23) 및 제1의 가동 위치 결정부(24)와, 제2의 고정 위치 결정부(26) 및 제2의 가동 위치 결정부(27) 중 적어도 어느 한쪽이, 링 프레임(F)에 있어서의 2 개의 제1 평탄면(Fd) 및 2 개의 제2 평탄면(Fe) 중 적어도 어느 한쪽을 끼워 넣어서, 링 프레임(F)을, 링 프레임 유지 테이블(20)의 상면(20a) 상에서 목표 위치에 위치 결정(센터링) 한다. 링 프레임 유지 테이블(20) 상에서 센터링된 링 프레임(F)의 개구(Fc)의 중심과 웨이퍼 유지 테이블(21)의 유지면(210a)의 중심은 대략 합치한다. 그 후, 각 흡반(25)에서 링 프레임(F)이 흡인 유지된다.
웨이퍼 유지 테이블(21)은, 예컨대, 그 외형이 원 형상이고, 다공성 부재 등으로 되고, 웨이퍼(W)를 흡착하는 흡착부(210)와, 종단면이 오목 형상으로 되어 있으며 흡착부(210)를 지지하는 프레임(211)을 구비한다. 프레임(211)의 오목부에 끼워 넣어진 상태의 흡착부(210)는, 도시하지 않는 흡인원에 연통하고 있다. 흡착부(210)의 상면이고 평탄면인 유지면(210a)에 흡인원이 발생하는 흡인력이 전달됨으로써, 웨이퍼 유지 테이블(21)은 유지면(210a) 상에서 웨이퍼(W)를 흡인 유지한다.
예컨대, 링 프레임 유지 테이블(20)의 상면(20a)의 높이는, 웨이퍼(W)를 웨이퍼 유지 테이블(21)의 유지면(210a)으로 유지하고, 링 프레임 유지 테이블(20)의 상면(20a)으로 링 프레임(F)을 유지했을 경우에, 링 프레임(F)의 상면(Fa)과 웨이퍼(W)의 상면(Wb)이 대략 동일의 높이가 되도록 설정되어 있다.
도 1에 도시한 바와 같이, 베이스(10) 상에는, 웨이퍼 유지 테이블(21) 및 링 프레임 유지 테이블(20)을 X축 방향으로 왕복 이동시키는 테이블 이동 수단(13)이 배치되고 있다. 테이블 이동 수단(13)은, X축 방향의 축심을 가지는 볼 나사(130)와, 볼 나사(130)와 평행에 배치된 가이드 레일(131)과, 볼 나사(130)에 연결되고 볼 나사(130)를 회동시키는 모터(132)를 구비하고, 링 프레임 유지 테이블(20)은, 그 하면 측에 구비한 도시하지 않는 너트가 볼 나사(130)에 나사 결합하고 있다. 그리고, 모터(132)가 볼 나사(130)를 회동시키면, 이에 따라 웨이퍼 유지 테이블(21) 및 링 프레임 유지 테이블(20)이 가이드 레일(131)에 가이드되어 X축 방향으로 왕복 이동한다.
링 프레임 유지 테이블(20)의 이동 경로의 상방의 위치이고, 또한, 필 플레이트(15)의 선단 근방이 되는 위치에는, 점착 수단(22)가 배치되고 있다. 점착 수단(22)은, 예컨대, 링 프레임 유지 테이블(20)의 Y축 방향의 폭 이상의 길이를 가지는 회전 가능한 점착 롤러이다. 점착 수단(22)은, 예컨대, 링 프레임 유지 테이블(20)을 Y축 방향으로 횡단하도록 배치되어 있고, 도시하지 않는 이동 수단에 의해서, 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 점착 수단(22)은, 상하 방향으로 이동 가능하지 않아도 좋다.
링 프레임 유지 테이블(20) 상에 링 프레임(F)이 센터링된 상태로 흡인 유지되고, 또한, 웨이퍼 유지 테이블(21) 상에서 웨이퍼(W)가 그 중심이 유지면(210a)의 중심과 대략 합치한 상태로 흡인 유지된다. 그리고 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 테이블 이동 수단(13)에 의해서 링 프레임 유지 테이블(20)을 -X 방향으로 이동시켜서 점착 수단(22)의 하방을 통과시킨다. 그 결과, 필 플레이트(15)에 의해서 시트(T1)로부터 박리된 테이프(T2)가, 점착 수단(22)에 의해서, 기재면 측인 위쪽으로부터 링 프레임 유지 테이블(20)에 유지되고 있는 링 프레임(F)의 상면(Fa), 및 웨이퍼 유지 테이블(21)에 유지되고 있는 웨이퍼(W)의 상면(Wb)에 압박되어 감으로써, 테이프(T2)는, 링 프레임(F) 및 링 프레임(F)의 개구(Fc) 내에 위치된 웨이퍼(W)에 점착된다. 그리고, 웨이퍼(W)를 링 프레임(F)을 통해 핸들링 가능한, 웨이퍼(W), 테이프(T2), 및 링 프레임(F)으로 된 도 5에 나타내는 웨이퍼 세트가 제작된다.
상기와 같이 웨이퍼 세트가 형성된 후에, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심(개구(Fc)의 중심)과 일치하여 점착되어 있는지 여부를 확인하기 위해서, 도 1, 도 5, 및 도 6에 도시한 바와 같이, 테이프 마운터(1)는, 링 프레임(F)의 상면(Fa)에서 테이프(T2)가 점착되어 있어야 할 영역의 측정점에 측정광을 투광하는 투광부(60)(도 6에만 도시)와, 측정점에서 반사한 반사광을 수광하는 수광부(61)(도 6에만 도시)를 포함하는 센서(6)와, 수광부(61)가 수광하는 수광량에 대한 기준치를 설정하는 설정부(90)와, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심(개구(Fc)의 중심)과 일치하여 점착되어 있는지 여부를 판단하는 판단부(92)를 포함하고 있다.
센서(6)를 이하에서, 제1 실시형태의 센서(6)로 한다.
도 6은, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심(개구(Fc)의 중심)과 일치하여 점착되어 있는 경우를 나타내고 있다. 그리고 도 7은, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있지 않은 경우, 즉, 도시의 예에 있어서는, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심에 대해 +X 방향 측으로 어긋나 버려 있는 경우를 나타내고 있다.
도 6에 도시한 바와 같이, 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 설정되고, 센서(6)가 측정광을 투광하는 측정점은, 예컨대, 개구(Fc)의 주위의 테이프(T2)가 점착되어 있어야 할 영역 내에 설정되는 제1 측정점(P1) 및 제2 측정점(P2)이다. 테이프(T2)가 점착되어 있어야 할 영역은, 실험적, 경험적, 또는 이론적으로 정해져 있고 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심(개구(Fc)의 중심)과 일치하여 점착되어 있는 경우에 있어서의, 테이프(T2)의 링 프레임(F)에 점착되어 있는 환형의 영역에 상당한다. 예컨대, 제1 측정점(P1) 및 제2 측정점(P2)은, 테이프(T2)의 링 프레임(F)에 점착되어 있는 환형의 영역의 폭의 중점(中点)이 되는 위치로 설정되어 있으면 바람직하다.
측정점은, 적어도, 도 1에 나타내는 시트(T1)의 이송 방향인 X축 방향에 있어서 링 프레임(F)의 개구(Fc)의 중심을 중심으로 대칭으로 설정된 제1 측정점(P1) 및 제2 측정점(P2)의 2 개이다.
또한, 측정점은, 상기 제1 측정점(P1) 및 제2 측정점(P2)에 더하여, 도 6에 나타내는 시트(T1)의 이송 방향(D1)인 X축 방향으로 수평면 내에서 직교하는 Y축 방향에 있어서 개구(Fc)의 중심을 중심으로 대칭으로, 도 6에 나타내는 제3 측정점(P3) 및 제4 측정점(P4)이 또한 설정되어 있어도 좋다. 또한, 시트(T1)의 이송 방향(D1)에 직교하는 Y축 방향에 있어서는, 테이프(T2)의 링 프레임(F)에 대한 점착 어긋남은 거의 생기지 않기 때문에, 제3 측정점(P3) 및 제4 측정점(P4)이 설정되지 않아도 좋다.
도 1, 도 5, 및 도 6에 나타내는 센서(6)는, 예컨대, 점착 수단(22)을 통과한 위치까지 -X 방향으로 이동한 상태의 링 프레임 유지 테이블(20)의 상방에 있어서, 링 프레임 유지 테이블(20)의 상면(20a)과 Z축 방향에 있어서 대향하도록 배치되고 있다.
제1 실시형태의 센서(6)는, 예컨대, 회귀 반사형의 광전 센서이고, 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 대해 사선 상방으로부터 측정점을 향해 측정광을 투광하는 투광부(60)와, 측정점에 대해 투광부(60)와 예컨대 대칭 위치에 배치되어 측정점에서 반사한 측정광을 측정점을 향해서 반사(회귀 반사)시키는 회귀 반사판(62)과, 회귀 반사판(62)에서 반사한 반사광이 측정점에서 다시 반사한 반사광을 투광부(60)의 근방에서 수광하는 수광부(61)를 구비한다.
또한, 측정광은, 스폿 타입의 레이저 빔을 이용하면 세선(細線) 형상의 측정광을 측정점에 조사하게 되고, 측정점에 테이프(T2)가 점착되어 있는지 여부의 판단이 용이하게 된다.
도 6 및 도 8에 도시한 바와 같이, 센서(6)는, 예컨대, 외부광을 차광 가능하고 하부 측에 측정광(L1)을 통과 가능하게 하는 개구(630)가 형성된 케이스(63)를 구비하고 있고, 케이스(63)는, 예컨대, 테이블 이동 수단(13)에 의한 링 프레임 유지 테이블(20)의 이동 방향인 X축 방향에 직교하는 Y축 방향으로 연장하고 있다.
투광부(60) 및 수광부(61)는, 예컨대, 도 6 및 도 8에 있어서 케이스(63)의 +Y 방향 측의 부위에, 나란히 배치되어 있다. 투광부(60)는, 예컨대, 레이저 발진기나 렌즈 등을 포함하고, 저출력의 세선 형상의 레이저 빔을 사선 하방을 향해 일직선으로 조사할 수 있다. 투광부(60)가 조사한 레이저 빔은 미리 정해진 입사각으로 센서(6)의 하방에 위치한 링 프레임(F)에 입사한다. 또한, 예컨대, 레이저 빔의 입사 각도 및 레이저 빔의 집광점의 높이 위치는, 도시하지 않는 조정 수단에 의해서 조정 가능해도 좋다. 수광부(61)는, 예컨대, CCD 등의 수광 소자로 구성되어 있다.
예컨대, 링 프레임 유지 테이블(20)의 상면(20a) 상에서 센터링된 상태의 링 프레임(F)에 설정되어 있는 제1 측정점(P1) 및 제2 측정점(P2)은, 링 프레임 유지 테이블(20)의 X축 방향에 평행한 중심 선상에 위치되어 있다. 그리고 미러 등의 회귀 반사판(62)은, 예컨대, 링 프레임 유지 테이블(20)의 X축 방향에 평행한 중심선을 대칭축으로서, 케이스(63)의 -Y 방향 측의 부위에 배치되고 있고, 도 1에 나타내는 테이블 이동 수단(13)에 의해서 링 프레임 유지 테이블(20)이 -X 방향으로 이동되고, 제1 측정점(P1)이 투광부(60)의 광축 상에 위치하면, 제1 측정점(P1)에 대해 투광부(60)와 Y축 방향에 있어서 대칭 위치에 배치된 상태가 된다.
예컨대, 도 1에 도시한 바와 같이, 테이프 마운터(1)는, 장치 전체의 제어, 즉, 상기에 설명한 테이블 이동 수단(13), 제1의 가동 위치 결정부(24), 및 제2의 가동 위치 결정부(27), 시트 권취 롤러(16), 및 센서(6) 등의 각 구성요소의 동작을 제어하는 CPU 등으로 된 제어 수단(9)을 구비하고 있다. 그리고 본 실시 형태에 있어서는, 수광부(61)가 수광하는 수광량에 대한 기준치를 설정하는 설정부(90), 및 측정점에 테이프가 점착되어 있는지 여부를 판단하는 판단부(92)가, 제어 수단(9)에 포함되어 있다.
본 실시 형태에 있어서의 테이프 마운터(1)는, 측정광(L1)을 링 프레임(F)의 상면(Fa)에서 반사시킨 반사광(L2), 즉, 예컨대 테이프(T2)가 점착되어 있지 않은 상태의 링 프레임(F)의 상면(Fa)에서 반사시킨 반사광(L2)을 수광부(61)가 수광했을 때의 수광량을 기억하는 기억부(95)를 구비하고 있다. 기억부(95)는, 예컨대, 제어 수단(9)에 포함되어, 제어 프로그램이나 미리 설정되는 가공 정보 등을 저장하는 ROM, 및 센서(6)의 측정 결과 등을 저장하는 RAM 등으로 구성되어 있다.
이하에, 테이프 마운터(1)에 있어서, 웨이퍼(W), 링 프레임(F), 및 테이프(T2)로 된 웨이퍼 세트의 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심(개구(Fc)의 중심)과 일치하여 점착되어 있는지 여부의 판단이 행해지는 경우에 대해 설명한다.
도 1에 나타내는 제어 수단(9)은, 테이블 이동 수단(13)을 제어함으로써, 테이프 마운터(1) 상에 있어서의 링 프레임 유지 테이블(20)의 X축 좌표 위치를 항상 파악하고 있다. 그리고 도 1에 나타내는 테이블 이동 수단(13)에 의해서 -X 방향으로 보내지는 링 프레임 유지 테이블(20)이 점착 수단(22)을 통과하고, 도 5에 도시한 바와 같이, 테이프(T2)가 링 프레임(F)에 점착되고 나서, 다시 링 프레임 유지 테이블(20)이 X축 방향에 있어서의 미리 정해진 좌표 위치까지 -X 방향으로 이동한다.
링 프레임(F)은, 링 프레임 유지 테이블(20) 상에서 센터링 되고 있기 때문에, 링 프레임 유지 테이블(20)이 X축 방향에 있어서의 미리 정해진 좌표 위치까지 이동함으로써, 제어 수단(9)은, 제1 측정점(P1)이, X축 방향에 있어서의 미리 파악된 좌표 위치, 즉, 도 6 및 도 8에 도시한 바와 같이, 센서(6)의 투광부(60)의 광축 상에 위치되었다고 판단한다. 그리고 제어 수단(9)에 전기적으로 접속된 센서(6)에 대해서, 제어 수단(9)으로부터 동작 신호가 보내지고, 센서(6)의 투광부(60)가 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 대해 사선 상방으로부터 제1 측정점(P1)을 향해 세선 형상의 측정광(L1)을 투광한다.
도 6에 도시한 바와 같이, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있는 경우에는, 도 8에 도시한 바와 같이, 측정광(L1)이 테이프(T2)를 투과하여, 링 프레임(F)의 상면(Fa)의 제1 측정점(P1)에서 반사한다. 링 프레임(F)의 상면(Fa)의 제1 측정점(P1)에서 반사한 측정광(L1)은, 제1 측정점(P1)에 대해 Y축 방향에 있어서 투광부(60)와 대칭 위치에 배치된 회귀 반사판(62)에서 반사되고, 제1 측정점(P1)에서 다시 반사하여, 투광부(60)의 근방에서 수광부(61)에 수광된다. 제1 측정점(P1)에 대한 투광에 의해서 수광부(61)가 수광한 도 9에 나타내는 수광량(V2)은, 도 8에 나타내는 제어 수단(9)의 기억부(95)의 예컨대 RAM에 기억된다.
도 6 및 도 8에 나타내는 링 프레임 유지 테이블(20)이 또한 -X 방향으로 이동됨으로써, 제어 수단(9)은, 제2 측정점(P2)이 X축 방향에 있어서의 미리 파악된 좌표 위치, 즉, 센서(6)의 투광부(60)의 광축 상에 위치되었다고 판단한다. 그리고, 센서(6)의 투광부(60)가 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 대해 사선 상방으로부터 제2 측정점(P2)을 향해 세선 형상의 측정광(L1)을 투광한다.
도 6에 도시한 바와 같이, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있는 경우에는, 측정광(L1)이 테이프(T2)를 투과하여, 링 프레임(F)의 상면(Fa)의 제2 측정점(P2)에서 반사한다. 링 프레임(F)의 상면(Fa)에서 반사한 측정광(L1)은, 제2 측정점(P2)에 대해 Y축 방향에 있어서 투광부(60)와 대칭 위치에 배치된 회귀 반사판(62)에서 반사되고, 제2 측정점(P2)에서 다시 반사하여, 투광부(60)의 근방에서 수광부(61)에 수광된다. 제2 측정점(P2)에 대한 투광에 의해서 수광부(61)가 수광한 수광량은, 도 9에 나타내는 수광량(V2)이다.
과거의 실험 등에 의해서 얻어져 기억부(95)의 ROM에 기억되어 있는 링 프레임(F)의 상면(Fa)에서 반사시킨 반사광(L2)을 수광부(61)가 수광했을 때의 수광량, 즉, 본 실시 형태에 있어서는, 투광부(60)로부터 링 프레임(F)의 상면(Fa)에서 투광되어, 링 프레임(F)의 상면(Fa)에서 반사한 측정광(L1)이 회귀 반사판(62)에서 반사하고, 회귀 반사판(62)에서 반사한 반사광(L2)을 수광부(61)가 수광했을 때의 수광량은, 예컨대, 도 9에 나타내는 수광량(V1)이 되고 있다.
그리고 본 실시 형태에 있어서의 도 8에 나타내는 설정부(90)는, 기억부(95)에 기억된 수광량(V1)을, 판단부(92)가 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있는지 아닌지의 판단을 행하기 위해서 이용하는, 수광부(61)가 수광하는 수광량에 대한 기준치(V1)로 하여 판단부(92)에 설정한다.
판단부(92)는, 방금 전 얻어져 기억부(95)의 RAM에 기억된 제1 측정점(P1)에 대한 투광에 의해서 수광부(61)가 수광한 수광량(V2), 및 제2 측정점(P2)에 대한 투광에 의해서 수광부(61)가 수광한 수광량(V2)을, 각각, 기억부(95)에 기억된 수광량(V1)(기준치(V1))과 비교한다. 여기서, 수광량(V2)은, 투광부(60)가 조사한 측정광(L1)의 테이프(T2)의 투과에 의한 감쇠를 거쳐 수광부(61)에서 수광된 반사광(L2)의 양이기 때문에, 수광량(V1)보다 작은 값이다.
따라서, 판단부(92)는, 도 6에 나타내는 제1 측정점(P1)에 대한 투광에 의해서 수광부(61)가 수광한 수광량(V2), 및 제2 측정점(P2)에 대한 투광에 의해서 수광부(61)가 수광한 수광량(V2)이, 기준치인 수광량(V1)보다 각각 작다고 판단하여, 링 프레임(F)의 상면(Fa)의 제1 측정점(P1) 및 제2 측정점(P2)에 테이프(T2)가 점착되어 있다고 판단하고, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있다고 판단한다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 측정점(P1) 및 제2 측정점(P2)에 대한 측정광(L1)의 조사에 의해서 상기 판단이 행해지고 있지만, 또한, 센서(6)에 의한 제3 측정점(P3) 및 제4 측정점(P4)에 대한 측정광(L1)의 조사에 의해 얻어진 데이터도 가미하여, 판단부(92)가 상기 판단을 행해도 좋다.
본 실시 형태에 있어서는, 테이프(T2)는, 투명한 테이프이지만, 테이프(T2)가 불투명한 테이프(착색된 테이프)인 경우에는, 도 6에 나타내는 제1 측정점(P1)에 대한 투광에 의해서 수광부(61)가 수광한 수광량은, 도 9에 나타내는 수광량(V3)이 된다. 또한, 제2 측정점(P2)에 대한 투광에 의해서 수광부(61)가 수광한 수광량은, 도 9에 나타내는 수광량(V3)이 된다. 수광량(V3)은, 투광부(60)가 조사한 측정광(L1)이 불투명한 테이프에 의한 흡수나 산란을 거쳐 수광부(61)에서 수광된 반사광(L2)의 양이기 때문에, 수광량(V1)나 수광량(V2)보다 작은 값이다. 따라서, 판단부(92)는, 제1 측정점(P1)에 대한 투광에 의해서 수광부(61)가 수광한 수광량(V3), 및 제2 측정점(P2)에 대한 투광에 의해서 수광부(61)가 수광한 수광량(V3)이 기준치인 수광량(V1)보다 각각 작다고 판단하고, 제1 측정점(P1) 및 제2 측정점(P2)에 테이프(T2)가 점착되어 있다고 판단하며, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있다고 판단할 수 있다.
예컨대, 도 8에 나타내는 판단부(92)에 의한 상기 판단이 행해진 후에, 웨이퍼 세트는, 도시하지 않는 반송 수단에 의해서 웨이퍼 카세트에 수용된다. 웨이퍼 카세트는, 복수의 선반을 구비하고 있고 상기 선반에 한 장씩 웨이퍼 세트가 수용된다.
예컨대, 도 7에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 세트의 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심(개구(Fc)의 중심)과 일치하여 점착되어 있지 않은 경우에 있어서의, 판단부(92)의 판단에 대해 설명한다.
도 7에 도시한 바와 같이, 링 프레임 유지 테이블(20)이 X축 방향에 있어서의 미리 정해진 좌표 위치까지 이동함으로써, 제어 수단(9)은, 제1 측정점(P1)이, X축 방향에 있어서의 미리 파악된 좌표 위치에 위치된, 즉, 도 7 및 도 10에 도시한 바와 같이, 센서(6)의 투광부(60)의 광축 상에 위치되었다고 판단한다. 그리고, 센서(6)에 대해서, 동작 신호가 제어 수단(9)으로부터 보내지고, 투광부(60)가 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 대해 사선 상방으로부터 제1 측정점(P1)을 향해 세선 형상의 측정광(L1)을 투광한다.
도 10에 도시한 바와 같이, 투광부(60)가 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 대해 사선 상방으로부터 제1 측정점(P1)을 향해 세선 형상의 측정광(L1)을 투광하면, 제1 측정점(P1) 상에 테이프(T2)가 존재하지 않기 때문에, 측정광(L1)은 직접적으로 링 프레임(F)의 상면(Fa)의 제1 측정점(P1)에서 반사한다. 링 프레임(F)의 상면(Fa)에서 반사한 측정광(L1)은, 회귀 반사판(62)에서 반사되어 제1 측정점(P1)에서 다시 반사하고, 투광부(60)의 근방에서 수광부(61)에 수광된다. 수광부(61)가 수광한 수광량은, 예컨대, 도 9에 나타내는 수광량(V1)이 된다. 이것은, 측정광(L1)의 테이프(T2)의 투과에 따른 감쇠가 일어나지 않기 때문이다. 수광량(V1)은, 제어 수단(9)의 기억부(95)의 RAM에 기억된다.
도 7에 나타내는 링 프레임 유지 테이블(20)이 또한 -X 방향으로 이동되고, X축 방향에 있어서의 미리 정해진 좌표 위치까지 이동함으로써, 제어 수단(9)은, 도 11에 도시한 바와 같이, 센서(6)의 투광부(60)의 광축 상에 제2 측정점(P2)이 위치되었다고 판단한다. 그리고, 센서(6)의 투광부(60)가 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 대해 사선 상방으로부터 제2 측정점(P2)을 향해 세선 형상의 측정광(L1)을 투광한다.
도 7에 도시한 바와 같이, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심에 대해 +X 방향 측으로 어긋나 있기 때문에, 도 11에 도시한 바와 같이, 측정광(L1)이 테이프(T2)를 투과하여, 링 프레임(F)의 상면(Fa)의 제2 측정점(P2)에서 반사한다. 링 프레임(F)의 상면(Fa)에서 반사한 측정광(L1)은, 회귀 반사판(62)에서 반사되어 제2 측정점(P2)에서 다시 반사하여, 투광부(60)의 근방에서 수광부(61)에 수광된다. 제2 측정점(P2)에 대한 투광에 의해서 수광부(61)가 수광한 수광량은, 투광부(60)가 조사한 측정광(L1)의 테이프(T2)의 투과에 의한 감쇠를 거쳐 수광부(61)에서 수광된 반사광(L2)의 양이기 때문에, 도 9에 나타내는 수광량(V2)이다.
판단부(92)는, 기억부(95)의 RAM에 기억된 제1 측정점(P1)에 대한 투광에 의해서 수광부(61)가 수광한 수광량(V1), 및 제2 측정점(P2)에 대한 투광에 의해서 수광부(61)가 수광한 수광량(V2)을, 각각, 기억부(95)의 ROM에 기억된 기준치인 수광량(V1)과 비교한다. 그리고, 판단부(92)는, 제1 측정점(P1)에 대한 투광에 의해서 수광부(61)가 수광한 수광량(V1)이 기준치인 수광량(V1) 이상(즉, 동일)이라고 판단하여, 제1 측정점(P1)에 테이프(T2)가 점착되어 있지 않다고 판단하고, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있지 않다고 판단한다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 측정점(P1) 및 제2 측정점(P2)에 대한 측정광(L1)의 조사에 의해서 상기 판단이 행해지고 있지만, 또한, 제3 측정점(P3) 및 제4 측정점(P4)에 대한 측정광(L1)의 조사에 의해 얻어진 데이터도 가미하여, 판단부(92)가 상기 판단을 실시해도 좋다.
판단부(92)는, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있지 않다고 판단했을 경우에는, 경보음을 울리거나 또는 에러를 표시하는 등을 행하여, 작업자에게 상기 판단을 통지한다. 판단부(92)에 의한 상기 판단이 실시된 후에, 상기 판단된 불량인 웨이퍼 세트는, 도시하지 않는 반송 수단에 의해서 웨이퍼 카세트에 수용되지만, 작업자는 상기 불량인 웨이퍼 세트가 수용되고 있는 웨이퍼 카세트의 선반의 위치를 파악할 수 있기 때문에, 그 후, 상기 불량인 웨이퍼 세트를 웨이퍼 카세트로부터 제거할 수 있다.
예컨대, 제어 수단(9)에 의해서, 불량인 웨이퍼 세트가 수용된 웨이퍼 카세트의 선반의 단수(段數)가 기억되어도 좋다.
또한, 불량인 웨이퍼 세트를 재치한 추출 테이블을 구비하고, 도시하지 않는 반송 수단에 의해서, 상기 추출 테이블에 불량인 웨이퍼 세트를 반송시켜도 좋다.
상기와 같이 본 실시 형태와 관련되는 테이프 마운터(1)는, 링 프레임(F)의 상면(Fa)에서 테이프(T2)가 점착되어 있어야 할 영역의 측정점에 측정광(L1)을 투광하는 투광부(60)와, 측정점에서 반사한 반사광(L2)을 수광하는 수광부(61)를 구비한 센서(6)와, 수광부(61)가 수광하는 수광양에 대한 기준치를 설정하는 설정부(90)와, 판단부(92)를 포함하고, 판단부(92)가, 수광부(61)가 수광한 수광량이 기준치보다 작은 경우에, 측정점에 테이프(T2)가 점착되어 있다고 판단하고, 수광부(61)가 수광한 수광량이 기준치 이상인 경우에, 측정점에 테이프(T2)가 점착되어 있지 않다고 판단하므로, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있는지 여부를 확인할 수 있다. 종래는, 투과형 센서로, 링 프레임(F)의 테이프(T2)가 점착되어 있지 않은 부분을 확인하고 있었지만, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있는지 여부, 환언하면, 링 프레임(F)의 개구(Fc)의 주위에 있어서 테이프(T2)의 점착 면적이 부분적으로 좁아지고 있는 곳이 있는지 여부는 확인할 수 없었다. 그러나 본 실시 형태와 관련되는 테이프 마운터(1)는, 예컨대, 센서(6)가 측정하는 측정점을, 링 프레임(F)의 개구(Fc)보다 조금 외측의 영역(테이프(T2)가 점착되어 있어야 할 영역) 내에 설정함으로써, 링 프레임(F)에 대한 테이프(T2)의 점착 면적이 좁아지고 있는 부분(측정점 상에 테이프(T2)가 점착되어 있지 않은 부분)이 있으면, 수광부(61)가 수광하는 링 프레임(F)으로부터의 반사광(L2)의 수광량이 기준치 이상이 되므로, 판단부(92)가, 테이프(T2)의 점착 면적이 부분적으로 좁아지고 있는 곳이 있고, 테이프(T2)가 링 프레임(F)으로부터 벗겨지기 쉽게 되어 있는 부분이 있다고 판단할 수 있다.
본 실시 형태와 관련되는 테이프 마운터(1)는, 측정광(L1)을 링 프레임(F)의 상면(Fa)에서 반사시킨 반사광(L2)을 수광부(61)가 수광했을 때의 수광량을 기억하는 기억부(95)를 더 포함하고, 설정부(90)는, 기억부(95)에 기억된 값을 기준치로서 설정하므로, 판단부(92)가 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있는지 아닌지를 판단하기 위한 기준치를, 적절히 설정할 수 있다.
본 실시 형태와 관련되는 테이프 마운터(1)에 있어서, 센서(6)는, 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 대해 사선 상방으로부터 측정점을 향해 측정광(L1)을 투광하는 투광부(60)와, 측정점에 대해 투광부(60)와 대칭 위치에 배치되어 측정점에서 반사한 측정광(L1)을 측정점을 향해서 반사(회귀 반사)시키는 회귀 반사판(62)과, 회귀 반사판(62)에서 반사한 반사광(L2)이 측정점이고 또한 반사한 반사광(L2)을 투광부(60)의 근방에서 수광하는 수광부(61)를 구비하는 것에 의해, 테이프(T2)가 투명한 테이프여도, 또는 불투명한 테이프여도, 판단부(92)가, 수광부(61)가 수광한 수광량이 기준치보다 작은 경우는, 측정점에 테이프(T2)가 점착되어 있다고 판단하고, 수광부(61)가 수광한 수광량이 기준치 이상의 경우는, 측정점에 테이프(T2)가 점착되어 있지 않다고 판단할 수 있고, 테이프(T2)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있는지 여부를 판단할 수 있다.
도 1에 나타내는 테이프 마운터(1)는, 예컨대, 링 프레임(F)에 점착한 테이프가, 투명한 테이프(T2)가 아니고, 가시광선에 대해서 투명하지 않게 착색된 테이프(T3)(도 12 참조)인 경우에는, 제1 실시형태의 센서(6) 대신에, 이하에 설명하는 도 12 및 도 13에 나타내는 제2 실시형태의 센서(6A)를 구비하고 있어도 좋다.
제2 실시형태의 센서(6A)는, 예컨대, 한정 반사형의 광전 센서이고, 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 대해 사선 상방으로부터 측정점을 향해 측정광(L3)을 투광하는 투광부(66)와, 측정점에 대해 투광부(66)와 대칭 위치에 배치되어 측정점에서 반사한 반사광(L4)을 수광하는 수광부(67)를 구비한다.
센서(6A)는, 예컨대, 도 1에 나타내는 점착 수단(22)을 통과한 위치까지 -X 방향으로 이동한 상태의 링 프레임 유지 테이블(20)의 상방에 있어서, 링 프레임 유지 테이블(20)의 상면(20a)과 Z축 방향에 있어서 대향하도록 배치되고 있다. 투광부(66)는, 예컨대, 도 12에 도시한 바와 같이 케이스(63)의 +Y 방향 측의 부위에 배치되고 있다. 예컨대, 투광부(66)는, 내장하는 광원으로부터 출사된 광을 직사각형의 슬릿을 통과시키고, 이 슬릿의 투과광을 콜리메이터 렌즈를 통해 평행광(측정광(L3))으로 변환하고, 측정광(L3)을 미리 정해진 폭을 유지하면서, 사선 하방을 향해 조사할 수 있다. 또한, 예컨대, 소정 폭의 측정광(L3)의 입사 각도 등은, 도시 하지 않는 조정 수단에 의해서 조정 가능하게 되어 있어도 좋다. 또한, 측정광(L3)이 미리 정해진 폭을 직경으로 하는 원기둥 형상을 형성하고 있어도 좋다.
예컨대, 링 프레임 유지 테이블(20)의 상면(20a) 상에서 센터링된 상태의 링 프레임(F)에 설정되어 있는 제1 측정점(P1) 및 제2 측정점(P2)은, 링 프레임 유지 테이블(20)의 X축 방향에 평행한 중심 선상에 위치되어 있다. 그리고 수광부(67)는, 예컨대, 링 프레임 유지 테이블(20)의 X축 방향에 평행한 중심선을 대칭축으로서, 케이스(63)의 -Y 방향 측의 부위에 배치되어 있고, 도 1에 나타내는 테이블 이동 수단(13)에 의해서 링 프레임 유지 테이블(20)이 -X 방향으로 이동되고, 제1 측정점(P1)이 투광부(66)의 광축 상에 위치하면, 제1 측정점(P1)에 대해 투광부(66)와 Y축 방향에 있어서 대칭 위치에 배치된 상태가 된다.
이하에, 제2 실시형태의 센서(6A)를 포함하는 테이프 마운터(1)에 있어서, 도 12에 나타내는 테이프(T3)의 중심이 링 프레임(F)의 중심(개구(Fc)의 중심)과 일치하여 점착되어 있는지 여부의 판단이, 판단부(92)에 의해서 행해지는 경우에 대해 설명한다.
도 1에 나타내는 제어 수단(9)에 의한 제어 하에서, 테이블 이동 수단(13)에 의해서 -X 방향으로 보내지는 링 프레임 유지 테이블(20)이 점착 수단(22)을 통과하고, 도 12에 나타내는 테이프(T3)가 링 프레임(F)에 점착되고 나서, 또한 링 프레임 유지 테이블(20)이 X축 방향에 있어서의 미리 정해진 좌표 위치까지 -X 방향으로 이동한다.
링 프레임(F)은, 링 프레임 유지 테이블(20) 상에서 센터링되고 있기 때문에, 링 프레임 유지 테이블(20)이 X축 방향에 있어서의 미리 정해진 좌표 위치까지 이동함으로써, 제어 수단(9)은, 제1 측정점(P1)이, X축 방향에 있어서의 미리 파악된 좌표 위치, 즉, 도 12 및 도 13에 도시한 바와 같이, 센서(6A)의 투광부(66)의 광축 상에 위치되었다고 판단한다. 그리고 제어 수단(9)에 전기적으로 접속된 센서(6A)에 대해서, 제어 수단(9)으로부터 동작 신호가 보내지고, 투광부(66)가 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 대해 사선 상방으로부터 제1 측정점(P1)로 향해 소정 폭의 측정광(L3)를 투광한다.
한정 반사형의 센서(6A)는, 투광부(66)와 수광부(67)가 동일한 기울기 각을 가지고 교차하고 있고, 각각의 광축이 교차하는 한정된 영역, 즉, 어느 한정된 거리의 정반사광만을 수광부(67)는 수광한다. 그리고, 투광부(66)와 수광부(67)는, 예컨대, 미리, 링 프레임(F)의 상면(Fa)에서 직접적으로 반사한 반사광(L4)을 수광부(67)가 수광하도록, 그 높이 위치 등이 설정되어 있다.
따라서, 도 12에 도시한 바와 같이, 테이프(T3)의 중심이 링 프레임(F)의 중심(개구(Fc)의 중심)과 일치하여 점착되어 있는 경우에는, 도 13에 도시한 바와 같이, 측정광(L3)이 제1 측정점(P1)에 있어서의 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 점착된 테이프(T3)의 상면에서 반사하기 때문에, 수광부(67)는 측정광(L3)의 반사광(L4)을 거의 수광하지 않는다. 따라서, 제1 측정점(P1)에 대한 투광에 의해서 수광부(67)가 수광한 수광량은, 예컨대, 도 14에 나타내는 적은 수광량(V4)이 된다. 측정된 수광량(V4)은, 제어 수단(9)의 기억부(95)의 RAM에 기억된다.
도 12에 나타내는 링 프레임 유지 테이블(20)이 또한 -X 방향으로 이동되어, X축 방향에 있어서의 미리 정해진 좌표 위치까지 이동함으로써, 제어 수단(9)은, 제2 측정점(P2)이 센서(6A)의 투광부(66)의 광축 상에 위치되었다고 판단한다. 그리고 센서(6A)의 투광부(66)가 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 대해 사선 상방으로부터 제2 측정점(P2)을 향해 소정 폭의 측정광(L3)을 투광한다.
도 12에 도시한 바와 같이, 테이프(T3)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있는 경우에는, 측정광(L3)이 제2 측정점(P2)에 있어서의 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 점착된 테이프(T3)의 상면에서 반사하기 때문에, 수광부(67)는 측정광(L3)의 반사광(L4)을 거의 수광하지 않는다. 따라서, 제2 측정점(P2)에 대한 투광에 의해서 수광부(67)가 수광한 수광량은, 예컨대, 도 14에 나타내는 수광량(V4)이 된다.
과거의 실험 등에 의해서 얻어져 기억부(95)의 ROM에 기억되고 있는, 투광부(66)가 투광하고 링 프레임(F)의 상면(Fa)에서 반사시킨 반사광(L4)을 수광부(67)가 수광했을 때의 수광량은, 예컨대, 도 14에 나타내는 수광량(V5)이 되고 있다.
그리고 본 실시 형태에 있어서의 도 13에 나타내는 설정부(90)는, 기억부(95)에 기억된 수광량(V5)을, 판단부(92)가 테이프(T3)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있는지 아닌지의 판단을 실시하기 위해서 이용하는, 수광부(67)가 수광하는 수광량에 대한 기준치(V5)로서 판단부(92)에 설정한다.
판단부(92)는, 방금 전 얻어져 기억부(95)의 RAM에 기억된 제1 측정점(P1)에 대한 투광에 의해서 수광부(67)가 수광한 수광량(V4), 및 제2 측정점(P2)에 대한 투광에 의해서 수광부(67)가 수광한 수광량(V4)을, 각각, 기억부(95)에 기억된 수광량(V5)(기준치(V5))과 비교한다. 그리고, 판단부(92)는, 도 12 및 13에 나타내는 제1 측정점(P1)에 대한 투광에 의해서 수광부(67)가 수광한 수광량(V4), 및 제2 측정점(P2)에 대한 투광에 의해서 수광부(67)가 수광한 수광량(V4)이, 기준치인 수광량(V5)보다 각각 작다고 판단하여, 링 프레임(F)의 상면(Fa)의 제1 측정점(P1) 및 제2 측정점(P2)에 테이프(T3)가 점착되어 있다고 판단하고, 테이프(T3)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있다고 판단한다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 측정점(P1) 및 제2 측정점(P2)에 대한 측정광(L3)의 조사에 의해서 상기 판단이 진행되고 있지만, 또한, 센서(6A)에 의한 제3 측정점(P3) 및 제4 측정점(P4)에 대한 측정광(L3)의 조사에 의해 얻어진 데이터도 가미하여, 판단부(92)가 상기 판단을 행해도 좋다.
예컨대, 도 13에 나타내는 판단부(92)에 의한 상기 판단이 실시된 후에, 웨이퍼 세트는, 도시하지 않는 반송 수단에 의해서 웨이퍼 카세트에 수용된다. 웨이퍼 카세트는, 복수의 선반을 구비하고 있고, 상기 선반에 한 장씩 웨이퍼 세트가 수용된다.
예컨대, 도 15에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 세트의 테이프(T3)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있지 않은 경우에 대해 설명한다.
도 15 및 16에 도시한 바와 같이, 링 프레임 유지 테이블(20)이 X축 방향에 있어서의 미리 정해진 좌표 위치까지 이동함으로써, 제어 수단(9)은, 제1 측정점(P1)이, 센서(6A)의 투광부(66)의 광축 상에 위치되었다고 판단한다. 그리고 도 16에 도시한 바와 같이, 센서(6A)에 대해서, 동작 신호가 제어 수단(9)으로부터 보내지고 센서(6A)의 투광부(66)가 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 대해 사선 상방으로부터 제1 측정점(P1)을 향해 소정 폭의 측정광(L3)을 투광한다.
도 16에 도시한 바와 같이, 투광부(66)가 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 대해 사선 상방으로부터 제1 측정점(P1)로 향해 소정 폭의 측정광(L3)을 투광하면, 제1 측정점(P1) 상에 테이프(T3)가 존재하지 않기 때문에, 측정광(L3)은 링 프레임(F)의 상면(Fa)의 제1 측정점(P1)에서 반사한다. 링 프레임(F)의 상면(Fa)에서 반사한 측정광(L3)은, 수광부(67)에 수광된다. 수광부(61)가 수광한 수광량은, 예컨대, 도 14에 나타내는 수광량(V5)이 된다. 수광량(V5)은, 제어 수단(9)의 기억부(95)의 RAM에 기억된다.
도 15에 나타내는 링 프레임 유지 테이블(20)이 또한 -X 방향으로 이동되어, X축 방향에 있어서의 미리 정해진 좌표 위치까지 이동함으로써, 제어 수단(9)은, 도 17에 도시한 바와 같이, 센서(6A)의 투광부(66)의 광축 상에 제2 측정점(P2)이 위치되었다고 판단한다. 그리고, 센서(6A)의 투광부(66)가 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 대해 사선 상방으로부터 제2 측정점(P2)을 향해 소정 폭의 측정광(L3)을 투광한다.
도 17에 도시한 바와 같이, 측정광(L3)이 제2 측정점(P2)에 있어서의 링 프레임(F)의 상면(Fa)에 점착된 테이프(T3)의 상면에서 반사하기 때문에, 수광부(67)는 측정광(L3)의 반사광(L4)을 거의 수광하지 않는다. 따라서, 제2 측정점(P2)에 대한 투광에 의해서 수광부(67)가 수광한 수광량은, 예컨대, 도 14에 나타내는 적은 수광량(V4)이 된다.
도 15에 나타내는 판단부(92)는, 기억부(95)의 RAM에 기억된 제1 측정점(P1)에 대한 투광에 의해서 수광부(67)가 수광한 수광량(V5), 및 제2 측정점(P2)에 대한 투광에 의해서 수광부(67)가 수광한 수광량(V4)을, 각각, 기억부(95)의 ROM에 기억된 기준치인 수광량(V5)과 비교한다. 그리고, 판단부(92)는, 제1 측정점(P1)에 대한 투광에 의해서 수광부(67)가 수광한 수광량(V5)이 기준치인 수광량(V5) 이상(즉, 동일)이라고 판단하고, 제1 측정점(P1)에 테이프(T3)가 점착되어 있지 않다고 판단하고, 테이프(T3)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있지 않다고 판단한다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 측정점(P1) 및 제2 측정점(P2)에 대한 측정광(L3)의 조사에 의해서 상기 판단이 행해지고 있지만, 또한, 제3 측정점(P3) 및 제4 측정점(P4)에 대한 측정광(L3)의 조사에 의해 얻어진 데이터도 가미하여, 판단부(92)가 상기 판단을 행해도 좋다.
판단부(92)는, 테이프(T3)의 중심이 링 프레임(F)의 중심과 일치하여 점착되어 있지 않다고 판단했을 경우에는, 경보음을 울리거나 또는 에러를 표시하는 등을 행하여, 작업자에게 상기 판단을 통지한다. 판단부(92)에 의한 상기 판단이 실시된 후에, 상기 판단된 불량인 웨이퍼 세트는, 도시하지 않는 반송 수단에 의해서 웨이퍼 카세트에 수용되지만, 작업자는 상기 불량인 웨이퍼 세트가 수용되고 있는 웨이퍼 카세트의 선반의 위치를 파악할 수 있기 때문에, 그 후, 상기 불량인 웨이퍼 세트를 웨이퍼 카세트로부터 제거할 수 있다.
예컨대, 제어 수단(9)에 의해서, 불량인 웨이퍼 세트가 수용된 웨이퍼 카세트의 선반의 단수가 기억되어도 좋다.
또한, 불량인 웨이퍼 세트를 재치한 추출 테이블을 구비하고, 도시 하지 않는 반송 수단에 의해서, 상기 추출 테이블에 불량인 웨이퍼 세트를 반송시켜도 좋다.
또한, 본 발명과 관련되는 테이프 마운터(1)는 상기 실시형태로 한정되는 것이 아니고, 또한, 첨부 도면에 도시되고 있는 각 구성 등에 대해서도, 이것으로 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘할 수 있는 범위 내에서 적절하게 변경 가능하다.
1: 테이프 마운터　10: 베이스
TR: 테이프 롤　T1: 시트　T2: 테이프　19: 권통
F: 링 프레임　Fc: 링 프레임의 개구　Fd: 제1 평탄면　Fe: 제2 평탄면
W: 웨이퍼　Wa: 웨이퍼의 하면　Wb: 웨이퍼의 상면
15: 필 플레이트　16: 권취 롤러　160: 시트 지지 롤러
20: 링 프레임 유지 테이블　20a: 상면
200: 오목부　201: 흡반 수용부　25: 흡반
21: 웨이퍼 유지 테이블　210: 흡착부　210a: 유지면　211: 프레임
22: 점착 수단
23: 제1의 고정 위치 결정부　24: 제1의 가동 위치 결정부
26: 제2의 고정 위치 결정부　27: 제2의 가동 위치 결정부
13: 테이블 이동 수단　130: 볼 나사　131: 가이드 레일　132: 모터
6: 제1 실시형태의 센서　60: 투광부　61: 수광부　62: 회귀 반사판
9: 제어 수단　90: 설정부　92: 판단부　95: 기억부
6A: 제2 실시형태의 센서　66: 투광부　67: 수광부

Claims (4)

  1. 링 프레임을 유지하는 링 프레임 유지 테이블과,
    상기 링 프레임의 개구 내에서 웨이퍼를 유지하는 웨이퍼 유지 테이블과,
    상기 링 프레임 유지 테이블에 유지된 상기 링 프레임의 상면과 상기 웨이퍼 유지 테이블에 유지된 웨이퍼의 상면에 원형의 테이프를 점착하는 점착 수단과,
    상기 링 프레임의 상면에서 상기 테이프가 점착되어 있어야 할 영역의 측정점에 측정광을 투광하는 투광부와, 상기 측정점에서 반사한 반사광을 수광하는 수광부를 구비한 센서와,
    상기 수광부가 수광하는 수광량에 대한 기준치를 설정하는 설정부와,
    상기 수광부가 수광한 수광량이 상기 기준치보다 작은 경우에, 상기 측정점에 상기 테이프가 점착되어 있다고 판단하고, 상기 수광부가 수광한 수광량이 상기 기준치 이상인 경우에, 상기 측정점에 테이프가 점착되어 있지 않다고 판단하는 판단부
    를 포함하는 테이프 마운터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 측정광을 상기 링 프레임의 상면에서 반사시킨 반사광을 상기 수광부가 수광했을 때의 수광량을 기억하는 기억부를 더 포함하고,
    상기 설정부는, 상기 기억부에 기억된 값을 상기 기준치로서 설정하는 것인, 테이프 마운터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 센서는,
    상기 링 프레임의 상면에 대해 사선 상방으로부터 상기 측정점을 향해 상기 측정광을 투광하는 상기 투광부와,
    상기 측정점에 대해 상기 투광부와 대칭 위치에 배치되어 상기 측정점에서 반사한 상기 측정광을 상기 측정점을 향해서 반사시키는 회귀 반사판과,
    상기 회귀 반사판에서 반사한 반사광이 상기 측정점에서 다시 반사한 반사광을 상기 투광부의 근방에서 수광하는 상기 수광부를 구비하는 것인, 테이프 마운터.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 센서는,
    상기 링 프레임의 상면에 대해 사선 상방으로부터 상기 측정점을 향해 상기 측정광을 투광하는 상기 투광부와,
    상기 측정점에 대해 상기 투광부와 대칭 위치에 배치되어 상기 측정점에서 반사한 반사광을 수광하는 상기 수광부를 구비하는 것인, 테이프 마운터.
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