JP7368131B2 - テープマウンタ - Google Patents
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Description
したがって、テープマウンタにおいては、リングフレームにダイシングテープを貼着した後、ダイシングテープの中心がリングフレームの中心と一致して貼着されているか否かを確認できるようにするという課題がある。
該測定点は、少なくとも2箇所設定されており、該テープの送り方向において該リングフレームの開口の中心を中心として対称に設定してもよい。
テープロールTRは、図1に示すように巻筒19にテープT2を内側にしてロール状に巻回された状態となっている。テープT2は、リングフレームFの円形の開口Fc(図2参照)の内径よりも大径で、かつリングフレームFの外径よりも小径となっている。
なお、リングフレーム保持テーブル20の外形や構造等は、本実施形態に限定されるものではない。
例えば、第1の固定位置決め部23と第1の可動位置決め部24とが向かい合う方向と、第2の固定位置決め部26と第2の可動位置決め部27とが向かい合う方向とは、互いに略直交している。
第2の可動位置決め部27は、例えば、円柱状の第2可動ピン27aと、第2可動ピン27aを支持する第2可動ブロック27bと、第2可動ブロック27bをY軸方向に移動させる図示しないシリンダーとを備えている。
センサ6を以下に、実施形態1のセンサ6とする。
なお、測定点は、上記第1測定点P1及び第2測定点P2に加えて、図6に示すシートT1の送り方向であるX軸方向に水平面内で直交するY軸方向において開口Fcの中心を中心として対称に、図6に示す第3測定点P3及び第4測定点P4がさらに設定されていてもよい。なお、シートT1の送り方向に直交するY軸方向においては、テープT2のリングフレームFに対する貼着ずれはあまり生じないため、第3測定点P3及び第4測定点P4が設定されなくてもよい。
実施形態1のセンサ6は、例えば、回帰反射形の光電センサであり、リングフレームFの上面Faに対し斜め上方向から測定点に向かって測定光を投光する投光部60と、測定点に対し投光部60と例えば対称位置に配置され測定点で反射した測定光を回帰反射させる回帰反射板62と、回帰反射板62で反射した反射光が測定点でさらに反射した反射光を投光部60の近傍で受光する受光部61と、からなる。
なお、測定光は、スポットタイプのレーザー光線を用いると細線状の測定光を測定点に照射することとなり、測定点にテープT2が貼着されているか否かの判断が容易になる。
そして、本実施形態における図8に示す設定部90は、記憶部95に記憶されている受光量V1を、判断部92がテープT2の中心がリングフレームFの中心と一致して貼着されているか否かの判断を行うために用いる、受光部61が受光する受光量についての基準値V1として判断部92に設定する。
したがって、判断部92は、図6に示す第1測定点P1に対する投光によって受光部61が受光した受光量V2、及び第2測定点P2に対する投光によって受光部61が受光した受光量V2が、基準値である受光量V1よりそれぞれ小さいと判断して、リングフレームFの上面Faの第1測定点P1及び第2測定点P2にテープT2が貼着されていると判断し、テープT2の中心がリングフレームFの中心と一致して貼着されていると判断する。
なお、本実施形態においては、第1測定点P1及び第2測定点P2に対する測定光の照射によって上記判断が行われているが、さらに、センサ6による第3測定点P3及び第4測定点P4に対する測定光の照射により得られたデータも加味して、判断部92は上記判断を行ってもよい。
図7に示すように、リングフレーム保持テーブル20がX軸方向における所定の座標位置まで移動することで、制御手段9は、第1測定点P1が、X軸方向における予め把握された座標位置に位置づけられた、即ち、図7、図10に示すように、センサ6の投光部60の光軸上に位置づけられたと判断する。そして、センサ6に対して、動作信号が制御手段9から送られ、投光部60がリングフレームFの上面Faに対し斜め上方向から第1測定点P1に向かって細線状の測定光を投光する。
なお、本実施形態においては、第1測定点P1及び第2測定点P2に対する測定光の照射によって上記判断が行われているが、さらに、第3測定点P3及び第4測定点P4に対する測定光の照射により得られたデータも加味して、判断部92は上記判断を行ってもよい。
例えば、制御手段9によって、不良なウェーハセットが収容されたウェーハカセットの棚の段数が記憶されてもよい。
また、不良なウェーハセットを載置する抜き取りテーブルを備え、図示しない搬送手段によって、該抜き取りテーブルに不良なウェーハセットを搬送させてもよい。
したがって、図12に示すように、テープT3の中心がリングフレームFの中心(開口Fcの中心)と一致して貼着されている場合には、図13に示すように、測定光が第1測定点P1におけるリングフレームFの上面Faに貼着されたテープT3の上面で反射するため、受光部67は測定光の反射光を殆ど受光しない。よって、第1測定点P1に対する投光によって受光部67が受光した受光量は、例えば、図14に示す少ない受光量V4となる。測定された受光量V4は、制御手段9の記憶部95のRAMに記憶される。
そして、本実施形態における図13に示す設定部90は、記憶部95に記憶されている受光量V5を、判断部92がテープT3の中心がリングフレームFの中心と一致して貼着されているか否かの判断を行うために用いる、受光部67が受光する受光量についての基準値V5として判断部92に設定する。
なお、本実施形態においては、第1測定点P1及び第2測定点P2に対する測定光の照射によって上記判断が行われているが、さらに、センサ6Aによる第3測定点P3及び第4測定点P4に対する測定光の照射により得られたデータも加味して、判断部92は上記判断を行ってもよい。
図15、16に示すように、リングフレーム保持テーブル20がX軸方向における所定の座標位置まで移動することで、制御手段9は、第1測定点P1が、センサ6Aの投光部66の光軸上に位置づけられたと判断する。そして、図16に示すように、センサ6Aに対して、動作信号が制御手段9から送られ、センサ6Aの投光部66がリングフレームFの上面Faに対し斜め上方向から第1測定点P1に向かって所定幅の測定光を投光する。
なお、本実施形態においては、第1測定点P1及び第2測定点P2に対する測定光の照射によって上記判断が行われているが、さらに、第3測定点P3及び第4測定点P4に対する測定光の照射により得られたデータも加味して、判断部92は上記判断を行ってもよい。
例えば、制御手段9によって、不良なウェーハセットが収容されたウェーハカセットの棚の段数が記憶されてもよい。
また、不良なウェーハセットを載置する抜き取りテーブルを備え、図示しない搬送手段によって、該抜き取りテーブルに不良なウェーハセットを搬送させてもよい。
TR:テープロール T1:シート T2:テープ 19:巻筒
F:リングフレーム Fc:リングフレームの開口 Fd:第1平坦面 Fe:第2平坦面
W:ウェーハ Wa:ウェーハの下面 Wb:ウェーハの上面
15:ピールプレート 16:巻き取りローラ 160:シート支持ローラ
20:リングフレーム保持テーブル 20a:上面
200:凹部 201:吸盤収容部 25:吸盤
21:ウェーハ保持テーブル 210:吸着部 210a:保持面 211:枠体
22:貼着手段
23:第1の固定位置決め部 24:第1の可動位置決め部
26:第2の固定位置決め部 27:第2の可動位置決め部
13:テーブル移動手段 130:ボールネジ 131:ガイドレール 132:モータ
6:実施形態1のセンサ 60:投光部 61:受光部 62:回帰反射板
9:制御手段 90:設定部 92:判断部 95:記憶部
6A:実施形態2のセンサ 66:投光部 67:受光部
Claims (5)
- リングフレームを保持するリングフレーム保持テーブルと、該リングフレームの開口内でウェーハを保持するウェーハ保持テーブルと、該リングフレーム保持テーブルに保持された該リングフレームの上面と該ウェーハ保持テーブルに保持されたウェーハの上面とに円形のテープを貼着する貼着手段と、を備えるテープマウンタであって、
該リングフレームの上面で該テープが貼着されているべき領域の測定点に測定光を投光する投光部と、該測定点で反射した反射光を受光する受光部と、からなるセンサと、
該受光部が受光する受光量についての基準値を設定する設定部と、
該受光部が受光した受光量が該基準値より小さい場合は、該測定点に該テープが貼着されていると判断し、該受光部が受光した受光量が該基準値以上の場合は、該測定点にテープが貼着されていないと判断する判断部と、を備え、
該テープが貼着されているべき領域は、該テープの中心がリングフレームの中心と一致して貼着されている場合における、該テープのリングフレームに貼着されている環状の領域であって、
該測定点は、少なくとも2箇所設定されており、該テープの送り方向において該リングフレームの開口の中心を中心として対称に設定されるテープマウンタ。 - 該測定点を、該テープの送り方向に直交する方向において、該リングフレームの中心を中心として対称に2箇所を追加設定する、請求項1記載のテープマウンタ。
- 前記測定光を前記リングフレームの上面で反射させた反射光を前記受光部が受光した際の受光量を記憶する記憶部を備え、
前記設定部は、該記憶部に記憶された値を前記基準値として設定する請求項1又は2記載のテープマウンタ。 - 前記センサは、
前記リングフレームの上面に対し斜め上方向から前記測定点に向かって前記測定光を投光する前記投光部と、
該測定点に対し該投光部と対称位置に配置され該測定点で反射した該測定光を回帰反射させる回帰反射板と、
該回帰反射板で反射した反射光が該測定点でさらに反射した反射光を該投光部の近傍で受光する前記受光部と、からなる請求項1、2又は3記載のテープマウンタ。 - 前記センサは、
前記リングフレームの上面に対し斜め上方向から前記測定点に向かって前記測定光を投光する前記投光部と、
該測定点に対し該投光部と対称位置に配置され該測定点で反射した反射光を受光する前記受光部と、からなる請求項1、2又は3記載のテープマウンタ。
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