JP2005249569A - 薄膜付着強度評価方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】片面に薄膜3を形成した基材2からなる試験片(複合材料)1に引っ張り歪みを加える試験機と薄膜3に表れる破壊を観察し、その画像を出力する顕微鏡観察手段と、前記画像を解析して基材2に対する薄膜3の付着強度を求める処理系とを備えた薄膜付着強度評価装置5により薄膜3の付着強度評価方法であって、前記薄膜3面に液体4を接触保持した状態で、該薄膜3に引っ張り方向と垂直な縦筋状のクラック破壊21及び引っ張り方向と平行な横筋状のバックリング破壊22を生ぜしめる第1の手順と、前記バックリング破壊22の画像を出力する第2の手順と、該バックリング破壊22を解析して薄膜3の付着強度を求める第3の手順とを行うことを特徴とする薄膜付着強度評価方法である。
【選択図】図1
Description
のである。
の歪み量に相当する移動量が入力される。
2・・・基材
3・・・薄膜
4・・・液体
5・・・薄膜付着強度評価装置
6・・・把持具
7・・・把持具
8・・・ステージ
9・・・ロードセル
10・・・ベッド
11・・・ステージコントローラ
12・・・電圧計
13・・・コンピュータ
14・・・対物レンズ
15・・・CCDカメラ
16・・・光学顕微鏡
17・・・CRTモニタ
18・・・ビデオセットレコーダ(VCR)
19・・・ビデオタイマ
20・・・容器
21・・・クラック破壊
22・・・バックリング破壊
23・・・はく離長さ
Claims (4)
- 片面に薄膜を形成した基材からなる試験片(複合材料)に引っ張り歪みを加える引張り試験機と薄膜に表れる破壊を観察し、その画像を出力する顕微鏡観察手段と、前記画像を解析して基材に対する薄膜の付着強度を求める処理系とを備えた薄膜付着強度評価装置により薄膜の付着強度を評価する方法であって、前記試験片の薄膜面に液体を接触保持した状態で、前記試験機により、前記試験片に引っ張り歪みを徐々に加えて該薄膜に引っ張り方向と垂直な縦筋状のクラック破壊及び引っ張り方向と平行な横筋状のバックリング破壊を生ぜしめる第1の手順と、引っ張り歪みの印加中に生じた前記バックリング破壊の画像を前記顕微鏡観察手段を用いて出力する第2の手順と、前記処理系により該顕微鏡観察手段から出力された前記画像に含まれる前記バックリング破壊を解析して引っ張り歪みに対する依存性から薄膜の付着強度を求める第3の手順とを行うことを特徴とする薄膜付着強度評価方法。
- 前記第3の手順が、特定の歪みにおける、前記画像中に含まれる前記バックリング破壊のはくり長さを計測してその大小により付着強度を求めるものであることを特徴とする請求項1に記載の薄膜付着強度評価方法。
- 前記第3の手順が、特定の歪みにおける、前記画像中に含まれる前記バックリング破壊のはくり面積を計測してその大小により付着強度を求めるものであることを特徴とする請求項1に記載の薄膜付着強度評価方法。
- 前記薄膜付着強度評価装置において、前記試験片の薄膜面に液体を接触保持した状態を実現するため、前記引張り試験機は、液体中で前記試験片に引張り歪みを加える機能を有し、前記顕微鏡観察手段は液体中において前記薄膜に発生したクラック破壊、およびバックリング破壊をその場で観察、出力する機能を持つことを特徴とする薄膜付着強度評価装置。
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