JP4341431B2 - 薄膜付着強度評価方法および装置 - Google Patents
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Description
薄膜に表れる破壊を観察しその画像を出力する顕微鏡観察手段と、
前記画像を解析して基材に対する薄膜の付着強度を求める処理系と
を備えた薄膜付着強度評価装置であって、
前記引張り試験機は液体中で前記試験片に引張り歪みを加える機能を有し、
前記顕微鏡観察手段は液体中において前記薄膜に発生したクラック破壊、およびバックリング破壊をその場で観察、出力する機能を有し、
前記処理系は前記画像に含まれる前記バックリング破壊が起きた領域の引っ張り方向と垂直な方向の長さまたはバックリング破壊が起きた領域の面積を解析して引っ張り歪みに対する依存性から薄膜の付着強度を求める機能を有することを特徴とする薄膜付着強度評価装置である。
2・・・基材
3・・・薄膜
4・・・液体
5・・・薄膜付着強度評価装置
6・・・把持具
7・・・把持具
8・・・ステージ
9・・・ロードセル
10・・・ベッド
11・・・ステージコントローラ
12・・・電圧計
13・・・コンピュータ
14・・・対物レンズ
15・・・CCDカメラ
16・・・光学顕微鏡
17・・・CRTモニタ
18・・・ビデオセットレコーダ(VCR)
19・・・ビデオタイマ
20・・・容器
21・・・クラック破壊
22・・・バックリング破壊
23・・・はく離長さ
Claims (3)
- 片面に薄膜を形成した基材からなる試験片(複合材料)に引っ張り歪みを加える引張り試験機と薄膜に表れる破壊を観察し、その画像を出力する顕微鏡観察手段と、前記画像を解析して基材に対する薄膜の付着強度を求める処理系とを備えた薄膜付着強度評価装置により薄膜の付着強度を評価する方法であって、前記試験片の薄膜面に液体を接触保持した状態で、前記試験機により、前記試験片に引っ張り歪みを徐々に加えて該薄膜に引っ張り方向と垂直な縦筋状のクラック破壊及び引っ張り方向と平行な帯状のバックリング破壊を生ぜしめる第1の手順と、引っ張り歪みの印加中に生じた前記バックリング破壊の画像を前記顕微鏡観察手段を用いて出力する第2の手順と、該顕微鏡観察手段から出力された前記画像に含まれる前記バックリング破壊が起きた領域の引っ張り方向と垂直な方向の長さを、前記処理系により解析して引っ張り歪みに対する依存性から薄膜の付着強度を求める第3の手順とを行うことを特徴とする薄膜付着強度評価方法。
- 前記第3の手順が、前記顕微鏡観察手段から出力された前記画像に含まれる前記バックリング破壊が起きた領域の面積を、前記処理系により解析して引っ張り歪みに対する依存性から薄膜の付着強度を求めるものであることを特徴とする請求項1に記載の薄膜付着強度評価方法。
- 片面に薄膜を形成した基材からなる試験片(複合材料)に引っ張り歪みを加える引張り試験機と、
薄膜に表れる破壊を観察しその画像を出力する顕微鏡観察手段と、
前記画像を解析して基材に対する薄膜の付着強度を求める処理系と
を備えた薄膜付着強度評価装置であって、
前記引張り試験機は液体中で前記試験片に引張り歪みを加える機能を有し、
前記顕微鏡観察手段は液体中において前記薄膜に発生したクラック破壊、およびバックリング破壊をその場で観察、出力する機能を有し、
前記処理系は前記画像に含まれる前記バックリング破壊が起きた領域の引っ張り方向と垂直な方向の長さまたはバックリング破壊が起きた領域の面積を解析して引っ張り歪みに対する依存性から薄膜の付着強度を求める機能を有することを特徴とする薄膜付着強度評価装置。
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CN105890994A (zh) * | 2016-06-22 | 2016-08-24 | 重庆大学 | 一种层状金属复合材料界面结合强度评价方法 |
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