JP6536992B2 - リードフレーム、樹脂付きリードフレーム及び光半導体装置、並びにそれらの製造方法 - Google Patents
リードフレーム、樹脂付きリードフレーム及び光半導体装置、並びにそれらの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6536992B2 JP6536992B2 JP2015064041A JP2015064041A JP6536992B2 JP 6536992 B2 JP6536992 B2 JP 6536992B2 JP 2015064041 A JP2015064041 A JP 2015064041A JP 2015064041 A JP2015064041 A JP 2015064041A JP 6536992 B2 JP6536992 B2 JP 6536992B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead frame
- resin
- region
- resist layer
- lead
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims description 144
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims description 144
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 52
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 47
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 31
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 24
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 10
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 46
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 23
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 12
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 11
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
Landscapes
- Led Device Packages (AREA)
Description
LED素子を搭載するダイパッド部と、
該ダイパッド部の周辺に配置されたリード部と、を有し、
該ダイパッド部及び該リード部よりも外側の領域の上面の各々に、複数の突起と、該突起よりも広い面積を有し、該複数の突起の各々を取り囲むとともに外縁まで連続した1個の凹部が形成され、
前記ダイパッド部及び前記リード部の下面は、前記リードフレームの素材表面からなる素材面領域と、該素材面領域よりも厚さが薄い薄肉部とを有し、
前記凹部と前記薄肉部とが、少なくとも一部重なるように配置され、
前記複数の突起の高さと前記1個の凹部の深さは等しく、
前記凹部の底面に、前記凹部の深さよりも小さい高さの差を有する凹凸が形成されている。
該リードフレームの前記凹部を覆う前記外部樹脂を有する。
該樹脂付きリードフレームの前記ダイパッド部に搭載されたLED素子と、
該LED素子と前記リード部とを電気的に接続するボンディングワイヤーと、
前記外部樹脂が形成されていない領域を封止する透明封止樹脂と、を有する。
金属板の裏面側に、前記第1の連続レジスト層形成領域又は前記縞状レジスト層形成領域と重なる領域を含むように前記レジスト層で連続的に覆った第2の連続レジスト層形成領域と、前記第1の開口領域と重なる領域を含むように前記レジスト層で覆われていない第2の開口領域とを有する第2のレジストパターンを形成する工程と、
前記金属板を両面からエッチングし、前記第1の開口領域と前記第2の開口領域が重なる領域に貫通穴、前記波状凹部形成パターンに底面が突起と窪みが交互に配置された波状の表面を有する凹部、前記第1の連続レジスト層形成領域及び前記第2の連続レジスト層形成領域に平坦面、前記第2の開口領域に薄肉部を形成するエッチング工程と、を有し、
前記波状の表面を有する凹部と前記薄肉部とが、少なくとも一部重なるように形成される。
製造された該リードフレームの前記貫通穴及び前記薄肉部を外部樹脂で充填するとともに、前記凹部上に隆起した外部樹脂部を形成する外部樹脂形成工程を有する。
製造された該樹脂付きリードフレームのダイパッド上にLED素子を搭載する工程と、
該LED素子の電極と前記樹脂付きリードフレームのリード部とをボンディングワイヤーで電気的に接続するワイヤーボンディング工程と、
前記外部樹脂部が形成されていない領域を透明樹脂で封止する透明樹脂封止工程と、を有する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光半導体装置用のリードフレームの一例の構成を示した図である。図1(a)は、本発明の第1の実施形態に係る光半導体装置用リードフレームの一例の平面図であり、図1(b)は、図1のX−X’断面における断面図である。
図5は、本発明の第2の実施形態に係るリードフレーム50aの一例を示した図である。図5(a)は、本発明の第2の実施形態に係るリードフレーム50aの一例の平面図であり、図5(b)は、図5(a)のY−Y’断面における断面図である。
図6は、本発明の第3の実施形態に係るリードフレーム50bの一例の図である。図6(a)は、本発明の第3の実施形態に係るリードフレーム50bの一例の平面図であり、図6(b)は、図6(a)のZ−Z’断面における断面図である。
次に、本発明の第1〜第3の実施形態に係るリードフレーム50、50a、50b、樹脂付きリードフレーム及び光半導体装置の製造方法について説明する。
以上説明した製造方法により光半導体装置は作製されるが、次に、本発明の実施形態に係るリードフレームの製造方法の実施例を説明する。なお、説明の便宜のため、今まで説明した構成要素に対応する構成要素には、同一の参照符号を付すものとする。
表1に実施例2〜5、比較例1〜2の各設定を示す。
11、11b LED素子搭載領域
21、21b 内部接続端子領域
13、13a、13b、23、23a、23b 凹部
14、14a、24、24a 突起
15、25 外部接続端子領域
16、26 薄肉部
20、20a、20b リード部
30 めっき層
50、50a、50b リードフレーム
60 外部樹脂部
70 外部樹脂
100 樹脂付きリードフレーム
110 LED素子
120 ボンディングワイヤー
130 封止樹脂部
131 突起
132 窪み
150、150a 光半導体装置
Claims (11)
- 光半導体装置及び光半導体装置用樹脂付きリードフレームに用いられるリードフレームであって、
LED素子を搭載するダイパッド部と、
該ダイパッド部の周辺に配置されたリード部と、を有し、
該ダイパッド部及び該リード部よりも外側の領域の上面の各々に、複数の突起と、該突起よりも広い面積を有し、該複数の突起の各々を取り囲むとともに外縁まで連続した1個の凹部が形成され、
前記ダイパッド部及び前記リード部の下面は、前記リードフレームの素材表面からなる素材面領域と、該素材面領域よりも厚さが薄い薄肉部とを有し、
前記凹部と前記薄肉部とが、少なくとも一部重なるように配置され、
前記複数の突起の高さと前記1個の凹部の深さは等しく、
前記凹部の底面に、前記凹部の深さよりも小さい高さの差を有する凹凸が形成されているリードフレーム。 - 前記凹部の深さは、0.02mm〜0.05mmである請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記凹部は、前記リードフレームの素材表面よりも表面粗さが大きい面を有する請求項1又は2に記載のリードフレーム。
- 前記突起と前記薄肉部とが、少なくとも一部重なるように配置された請求項1乃至3のいずれか一項に記載されたリードフレーム。
- 前記凹部の底面に形成された前記凹凸は、波状の断面形状を有する請求項1乃至4のいずれか一項に記載のリードフレーム。
- 前記凹部の底面の前記凹凸の高さは、0.005mm以上0.02mm以内である請求項5に記載のリードフレーム。
- 請求項1乃至6のいずれか一項に記載のリードフレームと、
該リードフレームの前記凹部を覆う外部樹脂を有する樹脂付きリードフレーム。 - 請求項7に記載の樹脂付きリードフレームと、
該樹脂付きリードフレームの前記ダイパッド部に搭載されたLED素子と、
該LED素子と前記リード部とを電気的に接続するボンディングワイヤーと、
前記外部樹脂が形成されていない領域を封止する透明封止樹脂と、を有する光半導体装置。 - 金属板の表面側に、レジスト層で連続的に覆った第1の連続レジスト層形成領域と、レジスト層で覆われていない第1の開口領域と、レジスト層を縞状に形成した縞状レジスト層形成領域とを有するとともに、前記第1の連続レジスト層形成領域が前記縞状レジスト層形成領域に囲まれた波状凹部形成パターンを前記金属板の表面側の前記第1の開口領域よりも外側に有する第1のレジストパターンを形成する工程と、
金属板の裏面側に、前記第1の連続レジスト層形成領域又は前記縞状レジスト層形成領域と重なる領域を含むように前記レジスト層で連続的に覆った第2の連続レジスト層形成領域と、前記第1の開口領域と重なる領域を含むように前記レジスト層で覆われていない第2の開口領域とを有する第2のレジストパターンを形成する工程と、
前記金属板を両面からエッチングし、前記第1の開口領域と前記第2の開口領域が重なる領域に貫通穴、前記波状凹部形成パターンに底面が突起と窪みが交互に配置された波状の表面を有する凹部、前記第1の連続レジスト層形成領域及び前記第2の連続レジスト層形成領域に平坦面、前記第2の開口領域に薄肉部を形成するエッチング工程と、を有し、
前記波状の表面を有する凹部と前記薄肉部とが、少なくとも一部重なるように形成されるリードフレームの製造方法。 - 請求項9に記載のリードフレームの製造方法によりリードフレームを製造する工程と、
製造された該リードフレームの前記貫通穴及び前記薄肉部を外部樹脂で充填するとともに、前記凹部上に隆起した外部樹脂部を形成する外部樹脂形成工程と、を有する樹脂付きリードフレームの製造方法。 - 請求項10に記載の樹脂付きリードフレームの製造方法により樹脂付きリードフレームを製造する工程と、
製造された該樹脂付きリードフレームのダイパッド上にLED素子を搭載する工程と、
該LED素子の電極と前記樹脂付きリードフレームのリード部とをボンディングワイヤーで電気的に接続するワイヤーボンディング工程と、
前記外部樹脂部が形成されていない領域を透明樹脂で封止する透明樹脂封止工程と、を有する光半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015064041A JP6536992B2 (ja) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | リードフレーム、樹脂付きリードフレーム及び光半導体装置、並びにそれらの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015064041A JP6536992B2 (ja) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | リードフレーム、樹脂付きリードフレーム及び光半導体装置、並びにそれらの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016184656A JP2016184656A (ja) | 2016-10-20 |
JP6536992B2 true JP6536992B2 (ja) | 2019-07-03 |
Family
ID=57243196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015064041A Active JP6536992B2 (ja) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | リードフレーム、樹脂付きリードフレーム及び光半導体装置、並びにそれらの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6536992B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102393035B1 (ko) * | 2017-09-01 | 2022-05-02 | 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 | 발광소자 패키지 |
JP6599575B1 (ja) * | 2019-02-15 | 2019-10-30 | 大口マテリアル株式会社 | Led用リードフレーム |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000195984A (ja) * | 1998-12-24 | 2000-07-14 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体装置用キャリア基板及びその製造方法及び半導体装置及びその製造方法 |
JP4197140B2 (ja) * | 2003-06-19 | 2008-12-17 | パナソニック株式会社 | 半導体装置 |
JP4085917B2 (ja) * | 2003-07-16 | 2008-05-14 | 松下電工株式会社 | 高熱伝導性発光素子用回路部品及び高放熱モジュール |
JP5004601B2 (ja) * | 2007-01-22 | 2012-08-22 | パナソニック株式会社 | パッケージ部品の製造方法および半導体装置の製造方法 |
KR101367380B1 (ko) * | 2007-09-28 | 2014-02-27 | 서울반도체 주식회사 | Led 패키지 |
JP5264677B2 (ja) * | 2009-10-26 | 2013-08-14 | 新電元工業株式会社 | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 |
JP2011119557A (ja) * | 2009-12-07 | 2011-06-16 | Sony Corp | 発光装置及びその製造方法 |
KR101064084B1 (ko) * | 2010-03-25 | 2011-09-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자 패키지 및 그 제조방법 |
JPWO2012014382A1 (ja) * | 2010-07-27 | 2013-09-09 | パナソニック株式会社 | 半導体装置 |
TWM400099U (en) * | 2010-09-27 | 2011-03-11 | Silitek Electronic Guangzhou | Lead frame, package structure and lighting device thereof |
JP5766976B2 (ja) * | 2011-02-28 | 2015-08-19 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP2012182357A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Toppan Printing Co Ltd | Led発光素子用リードフレーム基板、led発光素子装置、およびled発光素子用リードフレーム |
JP2012204754A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Toppan Printing Co Ltd | Led発光素子用リードフレーム、およびその製造方法、並びにそれを用いたledパッケージ |
JP2013058739A (ja) * | 2011-08-17 | 2013-03-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 光半導体装置用リードフレーム、樹脂付き光半導体装置用リードフレーム、光半導体装置、および、光半導体装置用リードフレームの製造方法 |
JP5720496B2 (ja) * | 2011-08-24 | 2015-05-20 | 豊田合成株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
JP2013125776A (ja) * | 2011-12-13 | 2013-06-24 | Dainippon Printing Co Ltd | リードフレーム、樹脂付リードフレームおよびその製造方法、ならびに半導体装置の製造方法 |
JP6078948B2 (ja) * | 2012-01-20 | 2017-02-15 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置用パッケージ成形体及びそれを用いた発光装置 |
JP6071034B2 (ja) * | 2012-04-27 | 2017-02-01 | 大日本印刷株式会社 | Led素子搭載用リードフレーム、樹脂付リードフレーム、多面付ledパッケージ、ledパッケージの製造方法および半導体素子搭載用リードフレーム |
JP2013251384A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Seika Sangyo Kk | 発光装置 |
JP6460390B2 (ja) * | 2015-02-04 | 2019-01-30 | 大口マテリアル株式会社 | リードフレーム、光半導体装置用樹脂付きリードフレーム及びこれらの製造方法、並びに光半導体装置 |
-
2015
- 2015-03-26 JP JP2015064041A patent/JP6536992B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016184656A (ja) | 2016-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20090309201A1 (en) | Lead frame, semiconductor device, method for manufacturing lead frame and method for manufacturing semiconductor device | |
KR102149259B1 (ko) | 반도체 소자 탑재용 리드 프레임 및 그 제조방법 | |
JP2015099874A (ja) | 電子素子パッケージ、およびその製造方法 | |
JP6536992B2 (ja) | リードフレーム、樹脂付きリードフレーム及び光半導体装置、並びにそれらの製造方法 | |
JP6455931B2 (ja) | Ledパッケージ及び多列型led用リードフレーム、並びにそれらの製造方法 | |
JP2011151102A (ja) | リードフレーム及びリードフレームの製造方法 | |
JP6270052B2 (ja) | リードフレーム及びその製造方法 | |
JP2017085049A (ja) | 半導体装置及びその製造方法、リードフレーム及びその製造方法 | |
JP6357684B2 (ja) | リードフレーム、光半導体装置用樹脂付きリードフレーム及びこれらの製造方法、並びに光半導体装置 | |
JP2012182357A (ja) | Led発光素子用リードフレーム基板、led発光素子装置、およびled発光素子用リードフレーム | |
JP2014187122A (ja) | Ledパッケージとその製造方法 | |
JP6656961B2 (ja) | 光半導体素子搭載用のリードフレーム及びその製造方法 | |
WO2017145923A1 (ja) | 半導体素子搭載用基板、半導体装置及び光半導体装置、並びにそれらの製造方法 | |
JP2017011101A (ja) | Ledパッケージ及び多列型led用リードフレーム、並びにそれらの製造方法 | |
JP2010129591A (ja) | リードフレーム、このリードフレームを用いた半導体装置及びその中間製品、並びにこれらの製造方法 | |
JP6537141B2 (ja) | Ledパッケージ及び多列型led用リードフレーム、並びにそれらの製造方法 | |
JP5529494B2 (ja) | リードフレーム | |
JP6599575B1 (ja) | Led用リードフレーム | |
JP6214431B2 (ja) | Led用リードフレーム | |
JP6610927B2 (ja) | 光半導体装置及びその製造方法と、光半導体素子搭載用基板の製造方法 | |
JP6524517B2 (ja) | 光半導体装置用リードフレーム、光半導体装置用樹脂付きリードフレーム及び光半導体装置と、光半導体装置用リードフレームの製造方法 | |
JP6460390B2 (ja) | リードフレーム、光半導体装置用樹脂付きリードフレーム及びこれらの製造方法、並びに光半導体装置 | |
JP2017157644A (ja) | 多列型led用リードフレーム | |
JP2017011097A (ja) | Ledパッケージ及び多列型led用リードフレーム、並びにそれらの製造方法 | |
JP2004104153A (ja) | 発光素子および半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170509 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180305 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20180315 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20180426 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180807 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181005 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20181204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190220 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20190305 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190524 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6536992 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |