JP6425448B2 - 光電変換装置、および、撮像システム - Google Patents
光電変換装置、および、撮像システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6425448B2 JP6425448B2 JP2014156791A JP2014156791A JP6425448B2 JP 6425448 B2 JP6425448 B2 JP 6425448B2 JP 2014156791 A JP2014156791 A JP 2014156791A JP 2014156791 A JP2014156791 A JP 2014156791A JP 6425448 B2 JP6425448 B2 JP 6425448B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoelectric conversion
- electrode
- voltage
- signal
- conversion device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims description 449
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 14
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 claims description 90
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 79
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 75
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 75
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 9
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 6
- UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);selenium(2-) Chemical compound [Se-2].[Cd+2] UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N (2,5-dioxopyrrolidin-1-yl) 4-pyren-1-ylbutanoate Chemical compound C=1C=C(C2=C34)C=CC3=CC=CC4=CC=C2C=1CCCC(=O)ON1C(=O)CCC1=O YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910002665 PbTe Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- OCGWQDWYSQAFTO-UHFFFAOYSA-N tellanylidenelead Chemical compound [Pb]=[Te] OCGWQDWYSQAFTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 60
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 33
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 26
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 22
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 17
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 16
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 9
- 230000006870 function Effects 0.000 description 8
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 4
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 4
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 4
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 4
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 4
- 229910017115 AlSb Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 3
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910005542 GaSb Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 PbSeO4 Chemical compound 0.000 description 2
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 2
- 229910021480 group 4 element Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 2
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N (2s)-2-[[4-[2-(2,4-diaminoquinazolin-6-yl)ethyl]benzoyl]amino]-4-methylidenepentanedioic acid Chemical compound C1=CC2=NC(N)=NC(N)=C2C=C1CCC1=CC=C(C(=O)N[C@@H](CC(=C)C(O)=O)C(O)=O)C=C1 NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N 0.000 description 1
- KEQXNNJHMWSZHK-UHFFFAOYSA-L 1,3,2,4$l^{2}-dioxathiaplumbetane 2,2-dioxide Chemical compound [Pb+2].[O-]S([O-])(=O)=O KEQXNNJHMWSZHK-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910005540 GaP Inorganic materials 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004262 HgTe Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052924 anglesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011258 core-shell material Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000013144 data compression Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 125000001033 ether group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021478 group 5 element Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 238000005984 hydrogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 125000002560 nitrile group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052950 sphalerite Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000472 sulfonyl group Chemical group *S(*)(=O)=O 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 1
- BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N thallium Chemical compound [Tl] BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14603—Special geometry or disposition of pixel-elements, address-lines or gate-electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
- H04N25/77—Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components
- H04N25/771—Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components comprising storage means other than floating diffusion
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14609—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
- H01L27/14612—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements involving a transistor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14665—Imagers using a photoconductor layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14694—The active layers comprising only AIIIBV compounds, e.g. GaAs, InP
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14696—The active layers comprising only AIIBVI compounds, e.g. CdS, ZnS, CdTe
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/60—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
- H04N25/616—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise involving a correlated sampling function, e.g. correlated double sampling [CDS] or triple sampling
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/60—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
- H04N25/62—Detection or reduction of noise due to excess charges produced by the exposure, e.g. smear, blooming, ghost image, crosstalk or leakage between pixels
- H04N25/626—Reduction of noise due to residual charges remaining after image readout, e.g. to remove ghost images or afterimages
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
- H04N25/77—Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
C2=Ci×Cins/(Ci+Cins) ・・・(1)
Ci=E0×Ei×Ss/di ・・・(2)
Cins=E0×Eins×Ss/dins ・・・(3)
C1=E0×Ed×Sd/dd ・・・(4)
C1=k×C2 ・・・(5)
dVB=dVs×C2/(C1+C2) ・・・(6)
dVB=dVs/(1+k) ・・・(7)
Vs1>Vres ・・・(8)
Vs1+dVs<Vres+dVB ・・・(9)
Vs1−Vres+dVs<dVs/(1+k) ・・・(10)
(1+k)×(Vs1−Vres+dVs)<dVs ・・・(11)
Vs1−Vres+dVs<0 ・・・(12)
1+k>dVs/(Vs1−Vres+dVs) ・・・(13)
C1=k×C2 ・・・(18)
dVB=dVd×C1/(C1+C2) ・・・(19)
dVB=dVd×k/(1+k) ・・・(20)
Vs>Vres ・・・(21)
Vs<Vres+dVB ・・・(22)
Vs−Vres<dVd×k/(1+k) ・・・(23)
Vs−Vres>dVd×k/(1+k) ・・・(26)
102 リセットトランジスタ
103 第1の容量
104 増幅トランジスタ
105 選択トランジスタ
111 第2の容量
201 第1の電極
203 ブロッキング層
205 光電変換層
207 絶縁層
209 第2の電極
Claims (21)
- 光電変換部と、前記光電変換部で生じた信号を出力する増幅部とを含む画素を備えた光電変換装置であって、
前記光電変換部は、第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極および前記第2の電極の間に配された光電変換層と、前記光電変換層および前記第2の電極の間に配され、厚さが50nm以上の絶縁層と、を含み、
前記光電変換層が量子ドットを含み、
前記増幅部はソースフォロア回路の一部である
ことを特徴とする光電変換装置。 - 光電変換部と、前記光電変換部で生じた信号を出力する増幅部とを含む画素を備えた光電変換装置であって、
前記光電変換部は、第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極および前記第2の電極の間に配された光電変換層と、前記光電変換層および前記第2の電極の間に配され、前記光電変換層と前記第2の電極との間の電流経路を遮断するように設けられた絶縁層と、を含み、
前記光電変換層が量子ドットを含み、
前記増幅部はソースフォロア回路の一部である
ことを特徴とする光電変換装置。 - 前記光電変換層は、前記量子ドットを構成する材料とは異なる材料の部材を含み、
前記量子ドットが前記部材の中に分散している、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光電変換装置。 - 前記異なる材料のバンドギャップは、前記量子ドットを構成する材料のバンドギャップよりも大きい、
ことを特徴とする請求項3に記載の光電変換装置。 - 前記量子ドットを構成する材料は、前記異なる材料が吸収する最も長い波長の光よりも長い波長を有する光を吸収する、
ことを特徴とする請求項3または請求項4に記載の光電変換装置。 - 前記光電変換層は、前記量子ドットを被覆する被覆層を含み、
前記被覆層を構成する材料のバンドギャップは、前記量子ドットを構成する材料のバンドギャップよりも大きい、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光電変換装置。 - 前記光電変換層は、前記量子ドットを被覆する被覆層を含み、
前記量子ドットを構成する材料は、前記被覆層を構成する材料が吸収する最も長い波長の光よりも長い波長を有する光を吸収する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光電変換装置。 - 前記光電変換層は、前記量子ドットを埋め込むための埋め込み層を含み、
前記埋め込み層を構成する材料のバンドギャップは、前記量子ドットを構成する材料のバンドギャップよりも大きい、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光電変換装置。 - 前記光電変換層は、前記量子ドットを埋め込むための埋め込み層を含み、
前記量子ドットを構成する材料は、前記埋め込み層を構成する材料が吸収する最も長い波長の光よりも長い波長を有する光を吸収する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光電変換装置。 - 前記量子ドットは、1nmから20nmの範囲に含まれる粒径を有する量子ドットを含む、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載の光電変換装置。 - 前記光電変換層は、前記量子ドットを包むシェルを含み、
前記量子ドットを構成する材料の格子定数と、前記シェル部材を構成する材料の格子定数との比が0.9から1.1の範囲に含まれる、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の光電変換装置。 - 前記量子ドットを構成する材料は、PbS、PbSe、PbTe、CdS、CdSe、CdTe、C、Si、Geを含む群から選ばれる、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の光電変換装置。 - 光電変換部と、前記光電変換部で生じた信号を出力する増幅部とを含む画素を備えた光電変換装置であって、
前記光電変換部は、第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極および前記第2の電極の間に配された光電変換層と、前記光電変換層および前記第2の電極の間に配され、前記光電変換層と前記第2の電極との間の電流経路を遮断するように設けられた絶縁層と、を含み、
前記光電変換層は、第1の部材と、前記第1の部材に配された1nmから20nmの範囲に含まれる粒径を有する複数の粒子とを含み、
前記増幅部はソースフォロア回路の一部である
ことを特徴とする光電変換装置。 - 光電変換部と、前記光電変換部で生じた信号を出力する増幅部とを含む画素を備えた光電変換装置であって、
前記光電変換部は、第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極および前記第2の電極の間に配された光電変換層と、前記光電変換層および前記第2の電極の間に配された絶縁層と、を含み、
前記光電変換層が量子ドットを含み、
前記第2の電極にリセット電圧を供給するリセット部と、
前記第2の電極に電気的に接続された第1の端子と、第2の端子とを含む第1の容量と、
前記第2の端子へ、少なくとも第1の電圧、および、前記第1の電圧とは異なる第2の電圧を供給する電圧供給部と、を有し、
前記増幅部は、前記第2の電極に電気的に接続され、
前記第1の電極に供給される電圧Vs、前記第1の電圧Vd1、前記第2の電圧Vd2、前記リセット電圧Vres、前記第1の容量の容量値C1、および、前記第1の電極と前記第2の電極とが形成する第2の容量の容量値C2が、以下の式で表される関係を満たす、
ことを特徴とする光電変換装置。 - 前記光電変換層に信号電荷を蓄積する時に、前記第2の端子に前記第1の電圧を供給し、
前記光電変換層から信号電荷を排出する時に、前記第2の端子に前記第2の電圧を供給する、
ことを特徴とする請求項14に記載の光電変換装置。 - 光電変換部と、前記光電変換部で生じた信号を出力する増幅部とを含む画素を備えた光電変換装置であって、
前記光電変換部は、第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極および前記第2の電極の間に配された光電変換層と、前記光電変換層および前記第2の電極の間に配された絶縁層と、を含み、
前記光電変換層が量子ドットを含み、
前記第2の電極にリセット電圧を供給するリセット部と、
前記第2の電極に電気的に接続された第1の容量と、
前記第1の電極へ、少なくとも第1の電圧、および、前記第1の電圧とは異なる第2の電圧を供給する電圧供給部と、を有し、
前記増幅部は、前記第2の電極に電気的に接続され、
前記第1の電圧Vs1、前記第2の電圧Vs2、前記リセット電圧Vres、前記第1の容量の容量値C1、および、前記第1の電極と前記第2の電極とが形成する第2の容量の容量値C2が、以下の式で表される関係を満たす、
ことを特徴とする光電変換装置。 - 前記第2の電極にリセット電圧を供給するリセット部と、
前記第2の電極に電気的に接続された第1の端子と、第2の端子とを含む第1の容量と、
前記第2の端子へ、少なくとも第1の電圧、および、前記第1の電圧とは異なる第2の電圧を供給する電圧供給部と、を有し、
前記増幅部は、前記第2の電極に電気的に接続され、
前記第1の電極に供給される電圧Vs、前記第1の電圧Vd1、前記第2の電圧Vd2、前記リセット電圧Vres、前記第1の容量の容量値C1、および、前記第1の電極と前記第2の電極とが形成する第2の容量の容量値C2が、以下の式で表される関係を満たす、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項13のいずれか一項に記載の光電変換装置。 - 前記第2の電極にリセット電圧を供給するリセット部と、
前記第2の電極に電気的に接続された第1の容量と、
前記第1の電極へ、少なくとも第1の電圧、および、前記第1の電圧とは異なる第2の電圧を供給する電圧供給部と、を有し、
前記増幅部は、前記第2の電極に電気的に接続され、
前記第1の電圧Vs1、前記第2の電圧Vs2、前記リセット電圧Vres、前記第1の容量の容量値C1、および、前記第1の電極と前記第2の電極とが形成する第2の容量の容量値C2が、以下の式で表される関係を満たす、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項13のいずれか一項に記載の光電変換装置。 - 前記光電変換層に信号電荷を蓄積する時に、前記第1の電極に前記第1の電圧を供給し、
前記光電変換層から信号電荷を排出する時に、前記第1の電極に前記第2の電圧を供給する、
ことを特徴とする請求項16または18に記載の光電変換装置。 - 請求項1乃至請求項19のいずれか一項に記載の光電変換装置と、
前記光電変換装置からの信号を処理する信号処理装置と、を備えた撮像システム。 - 画素ごとに2つの前記光電変換部を含み、
前記信号処理装置が、前記2つの光電変換部で生じた電荷に基づく信号を処理し、前記光電変換装置から被写体までの距離情報を取得する、
ことを特徴とする請求項20に記載の撮像システム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014156791A JP6425448B2 (ja) | 2014-07-31 | 2014-07-31 | 光電変換装置、および、撮像システム |
US14/794,695 US10027915B2 (en) | 2014-07-31 | 2015-07-08 | Photoelectric conversion device and imaging system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014156791A JP6425448B2 (ja) | 2014-07-31 | 2014-07-31 | 光電変換装置、および、撮像システム |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018196848A Division JP6783839B2 (ja) | 2018-10-18 | 2018-10-18 | 光電変換装置、および、撮像システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016033983A JP2016033983A (ja) | 2016-03-10 |
JP6425448B2 true JP6425448B2 (ja) | 2018-11-21 |
Family
ID=55180906
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014156791A Active JP6425448B2 (ja) | 2014-07-31 | 2014-07-31 | 光電変換装置、および、撮像システム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10027915B2 (ja) |
JP (1) | JP6425448B2 (ja) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6395482B2 (ja) | 2014-07-11 | 2018-09-26 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、および、撮像システム |
JP2016021445A (ja) | 2014-07-11 | 2016-02-04 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、および、撮像システム |
US9967501B2 (en) | 2014-10-08 | 2018-05-08 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Imaging device |
JP6539157B2 (ja) * | 2015-09-01 | 2019-07-03 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置および撮像システム |
WO2017081847A1 (ja) * | 2015-11-12 | 2017-05-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 光検出装置 |
US9749567B2 (en) * | 2015-11-29 | 2017-08-29 | United Microelectronics Corp. | Operating method of image sensor |
JP7020770B2 (ja) * | 2015-12-04 | 2022-02-16 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、および、撮像システム |
JP6702711B2 (ja) * | 2015-12-17 | 2020-06-03 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、および、撮像システム |
CN108541346B (zh) | 2016-01-15 | 2021-11-12 | 因维萨热技术公司 | 包括全局电子快门的图像传感器 |
JP6782431B2 (ja) | 2016-01-22 | 2020-11-11 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮像装置 |
CN107026961B (zh) | 2016-01-29 | 2021-02-12 | 松下知识产权经营株式会社 | 摄像装置 |
US11437418B2 (en) * | 2016-02-29 | 2022-09-06 | Sony Corporation | Solid-state image pickup device |
US20170263686A1 (en) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | Invisage Technologies, Inc. | Image sensors including those providing global electronic shutter |
EP3378223A4 (en) * | 2016-03-11 | 2019-08-21 | Invisage Technologies, Inc. | IMAGE SENSORS WITH ELECTRONIC SHUTTER |
WO2017214391A1 (en) | 2016-06-08 | 2017-12-14 | Invisage Technologies, Inc. | Image sensors with electronic shutter |
KR101874187B1 (ko) * | 2016-08-24 | 2018-07-03 | 한양대학교 산학협력단 | 조건 반사 동작을 수행하는 신경 소자 및 이의 구동 방법 |
JP2018093297A (ja) * | 2016-11-30 | 2018-06-14 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、撮像システム |
JP7000020B2 (ja) * | 2016-11-30 | 2022-01-19 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、撮像システム |
CN106791513B (zh) * | 2016-12-23 | 2019-09-13 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 图像传感器及图像传感器的像素信号采集方法 |
JP2018107725A (ja) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、撮像システム |
JP6784609B2 (ja) * | 2017-02-24 | 2020-11-11 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、撮像システム及び移動体 |
JP6474014B1 (ja) * | 2017-07-05 | 2019-02-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮像装置 |
JP2019057649A (ja) | 2017-09-21 | 2019-04-11 | 株式会社リコー | 撮像素子、撮像装置および画像入力装置 |
CN110945865B (zh) | 2017-12-28 | 2023-06-13 | 松下知识产权经营株式会社 | 摄像装置 |
JP7154795B2 (ja) * | 2018-03-29 | 2022-10-18 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、撮像システム、および移動体 |
EP3955319B1 (en) * | 2019-04-10 | 2023-06-14 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Imaging device |
JP2021057885A (ja) | 2019-09-26 | 2021-04-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮像装置およびその駆動方法 |
JP7391600B2 (ja) * | 2019-10-11 | 2023-12-05 | キヤノン株式会社 | 光電変換素子 |
JPWO2021200027A1 (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002350551A (ja) | 2001-05-25 | 2002-12-04 | Canon Inc | 放射線撮像装置及びそれを用いた放射線撮像システム |
US6818899B2 (en) | 2001-06-07 | 2004-11-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Radiographic image pickup apparatus and method of driving the apparatus |
US20050205879A1 (en) * | 2004-03-17 | 2005-09-22 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Photoelectric converting film stack type solid-state image pickup device |
JP2005303284A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-10-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光電変換膜積層型固体撮像素子 |
JP2005318242A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Canon Inc | 撮像装置 |
JP2007081185A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Fujifilm Corp | 光検出素子 |
JP4931233B2 (ja) | 2007-07-04 | 2012-05-16 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及びその処理方法 |
JP5164509B2 (ja) | 2007-10-03 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、可視光用光電変換装置及びそれらを用いた撮像システム |
JP4494492B2 (ja) * | 2008-04-09 | 2010-06-30 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及び固体撮像装置の駆動方法 |
JP5365221B2 (ja) | 2009-01-29 | 2013-12-11 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、その製造方法および撮像装置 |
JP5423952B2 (ja) * | 2009-03-04 | 2014-02-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光電変換装置および電子機器 |
JP5671789B2 (ja) * | 2009-08-10 | 2015-02-18 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置とその製造方法および撮像装置 |
DE102009053281B4 (de) | 2009-11-13 | 2022-04-28 | Arnold & Richter Cine Technik Gmbh & Co. Betriebs Kg | Bildsensor |
JP5521682B2 (ja) | 2010-02-26 | 2014-06-18 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法、及び、電子機器 |
JP4779054B1 (ja) | 2010-03-31 | 2011-09-21 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
WO2012004923A1 (ja) * | 2010-07-09 | 2012-01-12 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置および固体撮像装置の駆動方法 |
JP5609489B2 (ja) * | 2010-09-24 | 2014-10-22 | 富士通株式会社 | 量子型光検知器 |
JP5677890B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2015-02-25 | 富士フイルム株式会社 | 光電変換素子、光電変換素子の製造方法、及び撮像素子 |
JP2012129799A (ja) | 2010-12-15 | 2012-07-05 | Sony Corp | 固体撮像素子および駆動方法、並びに電子機器 |
JP2012182335A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Fujitsu Ltd | 量子光半導体装置 |
JP5935287B2 (ja) | 2011-10-21 | 2016-06-15 | ソニー株式会社 | 撮像装置および撮像表示システム |
JP5917160B2 (ja) * | 2012-01-17 | 2016-05-11 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、画像処理装置、画像処理方法およびプログラム |
JP5955000B2 (ja) * | 2012-01-25 | 2016-07-20 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子、該固体撮像素子を備えた距離検出装置、及びカメラ |
JP5999921B2 (ja) | 2012-02-24 | 2016-09-28 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置および撮像表示システム |
US9991458B2 (en) * | 2012-05-21 | 2018-06-05 | Ramot At Tel-Aviv University Ltd. | Nanoshell, method of fabricating same and uses thereof |
JP6124220B2 (ja) | 2012-09-27 | 2017-05-10 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 固体撮像装置 |
JP2014078870A (ja) | 2012-10-11 | 2014-05-01 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子および撮像装置 |
US9537027B2 (en) * | 2013-03-28 | 2017-01-03 | University Of Massachusetts | Backside configured surface plasmonic structure for infrared photodetector and imaging focal plane array enhancement |
JP6395482B2 (ja) * | 2014-07-11 | 2018-09-26 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、および、撮像システム |
JP2016021445A (ja) | 2014-07-11 | 2016-02-04 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、および、撮像システム |
-
2014
- 2014-07-31 JP JP2014156791A patent/JP6425448B2/ja active Active
-
2015
- 2015-07-08 US US14/794,695 patent/US10027915B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160035920A1 (en) | 2016-02-04 |
US10027915B2 (en) | 2018-07-17 |
JP2016033983A (ja) | 2016-03-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6425448B2 (ja) | 光電変換装置、および、撮像システム | |
US9722107B2 (en) | Photoelectric conversion device and imaging system | |
US9826181B2 (en) | Photoelectric conversion device and imaging system | |
US10547016B2 (en) | Photoelectric conversion apparatus and imaging system | |
US10446594B2 (en) | Image pickup device and image pickup system | |
US9941315B2 (en) | Photoelectric conversion device and imaging system | |
JP7020770B2 (ja) | 撮像装置、および、撮像システム | |
US10483301B2 (en) | Imaging apparatus and imaging system | |
JP6702711B2 (ja) | 光電変換装置、および、撮像システム | |
JP2018093263A (ja) | 光電変換装置、光電変換装置の駆動方法、および、撮像システム | |
US20180184017A1 (en) | Photoelectric conversion device and imaging system | |
JP7027175B2 (ja) | 半導体装置および機器 | |
JP6783839B2 (ja) | 光電変換装置、および、撮像システム | |
JP2017098815A (ja) | 光電変換装置、および、撮像システム | |
JP6808317B2 (ja) | 撮像装置、および、撮像システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170713 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180424 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180710 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180907 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180925 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181023 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6425448 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |