JP6205453B2 - 半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 118
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 88
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 claims description 88
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 55
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 52
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 51
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 45
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 42
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 41
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 41
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 claims description 12
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 11
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims description 8
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 8
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 6
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 296
- 230000006870 function Effects 0.000 description 67
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 48
- 239000000463 material Substances 0.000 description 37
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 36
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 31
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 26
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 24
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 21
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 19
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 19
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 19
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 18
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 15
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 14
- 229910007541 Zn O Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 10
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 10
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 10
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 10
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 8
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 7
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 7
- -1 tungsten nitride Chemical class 0.000 description 7
- GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N Nitrous Oxide Chemical compound [O-][N+]#N GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 4
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitrogen oxide Inorganic materials O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 4
- ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N tungsten trioxide Chemical compound O=[W](=O)=O ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DZKDPOPGYFUOGI-UHFFFAOYSA-N tungsten(iv) oxide Chemical compound O=[W]=O DZKDPOPGYFUOGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910019092 Mg-O Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910019395 Mg—O Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 3
- 238000005001 rutherford backscattering spectroscopy Methods 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical class [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001678 elastic recoil detection analysis Methods 0.000 description 2
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000001272 nitrous oxide Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001621 AMOLED Polymers 0.000 description 1
- 229910018575 Al—Ti Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UOACKFBJUYNSLK-XRKIENNPSA-N Estradiol Cypionate Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H](C4=CC=C(O)C=C4CC3)CC[C@@]21C)C(=O)CCC1CCCC1 UOACKFBJUYNSLK-XRKIENNPSA-N 0.000 description 1
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018657 Mn—Al Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020994 Sn-Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910009069 Sn—Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052795 boron group element Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000002484 cyclic voltammetry Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021424 microcrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910052696 pnictogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/43—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/49—Metal-insulator-semiconductor electrodes, e.g. gates of MOSFET
- H01L29/4908—Metal-insulator-semiconductor electrodes, e.g. gates of MOSFET for thin film semiconductor, e.g. gate of TFT
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/28008—Making conductor-insulator-semiconductor electrodes
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- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/283—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current
- H01L21/285—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation
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Description
全般を意味し、半導体表示装置、半導体回路および電子機器は全て半導体装置である。
注目されている。該トランジスタは集積回路(IC)や画像表示装置(表示装置)のよう
な電子デバイスに広く応用されている。トランジスタに適用可能な半導体薄膜の材料とし
てシリコン系半導体材料、酸化物半導体材料がある。
ンおよびIn−Ga−Zn−O系酸化物半導体などが用いられている。
の観点で重要な意味を持つ。例えば、しきい値電圧を0Vに近くできればトランジスタが
オンとなる電圧を小さくすることができ、消費電力の低減に繋がる。
して接して設けられた半導体活性層と、前記半導体活性層に、第2のゲート絶縁膜を介し
て接して設けられたゲート電極と、を有する複数のトランジスタと、前記複数のトランジ
スタのしきい値電圧を制御するしきい値電圧制御回路と、を有し、前記バックゲート電極
には、前記しきい値電圧制御回路によって任意の電圧が印加されることで、しきい値電圧
を制御する技術が開示されている。
素または15族元素を添加することによって、しきい値電圧を制御することができるが、
これによる結晶性の低下、不純物散乱などの影響でトランジスタ特性が低下することが知
られている。
ブデンを形成してゲート電極の仕事関数を高め、しきい値電圧をプラス側にシフトさせる
技術が開示されている。この技術は、しきい値電圧がプラス側にシフトするものの、得ら
れた酸化モリブデンは後のプラズマプロセスに対する耐性が低く、酸化モリブデン層の後
退が起こるという課題が挙げられている。
しきい値電圧が制御されたトランジスタを作製する。該トランジスタを用いて、電気特性
が良好で、信頼性が高く、消費電力の小さい半導体装置を作製する。また、該トランジス
タに適用可能なゲート電極材料を作製する。
部が接するゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜を介してゲート電極と重畳する半導体膜と、半
導体膜と一部が接する一対の導電膜と、を有する半導体装置である。
数の制御された酸化タングステン膜をゲート電極の一部に用いることでトランジスタのし
きい値電圧を制御できる。
窒化タングステンターゲットまたはタングステンターゲットを用いる。ターゲット中の組
成を調整することで、膜の組成を制御することができる。
テンの混合比を変えることでターゲットの組成を調整することができ、得られる膜の組成
を調整できる。
Ni、Cu、Zn、Ga、Y、Zr、Nb、Mo、Ag、In、Sn、La、Ce、Nd
、HfおよびTaから選ばれた一種以上の元素を含む材料を混合しても構わない。例えば
、Moの酸化物である酸化モリブデンは、仕事関数が高いことが知られる。ところが、プ
ラズマおよび薬液に対して反応性が高く、また水に可溶であることから単膜で用いること
は難しい。一方、酸化タングステンおよび酸化モリブデンの混合物はプラズマおよび薬液
に対する反応性が酸化モリブデンよりも低く、比較的安定であり、また仕事関数の制御に
も適している。そのため、プロセス上の制約が少なく好ましい。なお、本明細書において
、酸化タングステン膜と記載する場合、前述の材料を含む酸化タングステン膜に読み替え
ることができる。
成を調整できる。
上を成膜ガスに用いて成膜することでも膜の組成を調整できる。酸化タングステン膜中の
酸素濃度または窒素濃度を高めることで、仕事関数を変化させることができる。そのため
、成膜ガスの流量比によって、仕事関数を制御することができる。
%以下の範囲とすればよい。これは、窒素濃度が0.1原子%未満または20原子%超過
の酸化タングステン膜では、窒素添加による仕事関数の変化量が小さくなるためである。
もちろん、酸化タングステン膜中の窒素濃度は上記に限定されるものではなく、0.1原
子%未満または20原子%超過の窒素を含む酸化タングステン膜を用いることは可能であ
る。
ことも可能である。即ち、窒化タングステン膜中の窒素濃度、酸素濃度などを制御するこ
とで仕事関数を制御しても構わない。
テン膜を得ることもできる。この場合、プラズマ処理の条件、熱酸化処理の条件または処
理後の熱処理などによって、仕事関数を制御することができる。
路、および不純物添加法を用いずにしきい値電圧が制御されたトランジスタを作製するこ
とができる。トランジスタのしきい値電圧を制御できることで、本発明の一態様を用いた
半導体装置の消費電力を低減することができる。
数を増加させない。また、不純物添加による半導体膜の膜質の低下も起こらない。そのた
め、電気特性が良好で、信頼性の高い半導体装置を生産性高く作製することができる。
とができる。
以下の説明に限定されず、その形態および詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれ
ば容易に理解される。また、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈さ
れるものではない。なお、図面を用いて発明の構成を説明するにあたり、同じものを指す
符号は異なる図面間でも共通して用いる。なお、同様のものを指す際にはハッチパターン
を同じくし、特に符号を付さない場合がある。
ランジスタのソースとドレインについては、本明細書においては、一方をドレインと呼ぶ
とき他方をソースとする。すなわち、電位の高低によって、それらを区別しない。従って
、本明細書において、ソースとされている部分をドレインと読み替えることもできる。
示す場合が多い。よって、電圧、電位、電位差を、各々、電位、電圧、電圧差と言い換え
ることが可能である。
、物理的な接続部分がなく、配線が延在している場合だけのこともある。例えば、絶縁ゲ
ート型電界効果トランジスタ(MISFET)の回路では、一本の配線が複数のMISF
ETのゲートを兼ねている場合もある。その場合、回路図では、一本の配線からゲートに
何本もの分岐が生じるように書かれることもある。本明細書では、そのような場合でも、
「配線がゲートに接続する」という表現を用いることがある。
を示すものではない。また、本明細書において発明を特定するための事項として固有の名
称を示すものではない。
本発明の一形態である組成の調整された酸化タングステン膜の成膜方法について説明する
。
窒化タングステンターゲットまたはタングステンターゲットを用いる。ターゲット中の組
成を調整することで膜の組成を制御することができる。
(またはそのほかの価数を持つ酸化タングステン)の混合比を変えることでターゲットの
組成を調整することができ、得られる膜の組成を調整できる。各々の材料の混合比によっ
て、様々な仕事関数を得ることができ、仕事関数を制御することができる。
整できる。
i、Cu、Zn、Ga、Y、Zr、Nb、Mo、Ag、In、Sn、La、Ce、Nd、
HfおよびTaから選ばれた一種以上の元素を含む材料を混合しても構わない。例えば、
Moの酸化物である酸化モリブデンは、仕事関数が高いことが知られる。ところが、水に
可溶であることから単膜で用いることは難しい。酸化タングステンおよび酸化モリブデン
の混合物は比較的安定であり、また仕事関数の制御にも適している。酸化モリブデン膜も
、酸化タングステン膜と同様の方法で仕事関数を制御することができる。そのため、仕事
関数の制御された酸化モリブデンおよび、酸化タングステンを混合することでも仕事関数
を制御できる。なお、酸化タングステン膜を、前述の材料を含む酸化タングステン膜と置
き換えてもよい。
を調整できる。
以上を成膜ガスに用いて成膜することでも膜の組成を調整できる。
ガスおよび窒素から選ばれた一種以上と、を成膜ガスに用いて成膜することでも膜の組成
を調整できる。
処理することで一部を酸化金属、酸窒化金属または窒化金属としてもよい。少なくともタ
ングステンを含む金属膜の材料は、タングステンにMg、Al、Ti、V、Cr、Mn、
Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Y、Zr、Nb、Mo、Ag、In、Sn、La、Ce
、Nd、HfおよびTaから選ばれた一種以上を混合して用いればよい。
うことができる。例えば、酸化処理を行う場合は、酸素または酸化窒素(N2O、NO、
NO2など)などの反応ガスを用い、RF電源などで電力を供給することでプラズマを発
生させればよい。また、酸窒化処理を行う場合は、酸素または酸化窒素、および窒素など
の反応ガスを用い、RF電源などで電力を供給することでプラズマを発生させればよい。
また、窒化処理を行う場合は、窒素などの反応ガスを用い、RF電源などで電力を供給す
ることでプラズマを発生させればよい。プラズマ処理は、CVD装置、エッチング装置、
ドーピング装置などを用いてもよい。熱酸化処理は、酸化性雰囲気で150℃以上基板の
歪み点未満、好ましくは250℃以上550℃以下で処理すればよい。
亜酸化窒素などであって、水、水素などが含まれないことが好ましい。例えば、熱処理装
置に添加する酸素、オゾン、亜酸化窒素の純度を、8N(99.999999%)以上、
好ましくは9N(99.9999999%)以上(即ち、不純物濃度が1ppm以下、好
ましくは0.1ppm未満)とする。酸化性雰囲気は、酸化性ガスを不活性ガスと混合し
て用いてもよい。その場合、酸化性ガスが少なくとも10ppm以上含まれるものとする
。
、プラズマ処理後に熱処理を行うと好ましい。熱処理を行うことで、酸化タングステン膜
の組成または結晶性などが変化し、さらに仕事関数を高くすることができる。
800W以下で行う。または、被処理膜の形成されている基板と電極間の直流電圧(VD
C)が10V以上800V以下、好ましくは50V以上500V以下、さらに好ましくは
100V以上300V以下とすればよい。
る。好ましくは30sec以上300sec以下とする。プラズマ処理に被処理膜を暴露
する時間を調整することによって、被処理膜の仕事関数を制御することができる。
タリング法を用いても構わない。バイアススパッタリング法を用いて酸化タングステン膜
を成膜することによって、結晶性、組成などが変わり、仕事関数を制御することができる
。
本発明の一形態であるトランジスタについて図1を用いて説明する。
した一点鎖線A−Bおよび一点鎖線C−Dは、それぞれ図1(B)に示すA−B断面およ
び図1(C)に示すC−D断面に対応する。
ート電極104を覆うゲート絶縁膜112と、ゲート絶縁膜112を介してゲート電極1
04上にある半導体膜106と、半導体膜106上にあり半導体膜106と一部が接する
一対の電極116と、ゲート絶縁膜112、半導体膜106および一対の電極116を覆
う層間絶縁膜118と、を有するトランジスタの断面である。
膜を含む。酸化タングステン膜は、組成によって仕事関数を制御することができる。
Cu、Y、Zr、Mo、Ag、TaおよびW、それらの窒化物、酸化物ならびに合金から
選ばれた一種以上選択して、酸化タングステン膜と積層して用いる。酸化タングステン膜
の抵抗が高い場合、ゲート電極104の抵抗を低減するためにシート抵抗が10Ω/sq
以下の低抵抗膜と積層すると好ましい。ただし、酸化タングステン膜がゲート絶縁膜11
2側になるように選択する。例えば、酸化タングステン膜、タングステン膜およびタング
ステンを含まない金属膜(Al、Ti、Cr、Co、Ni、Cu、Y、Zr、Mo、Ag
、Taなど)の積層構造でも構わない。または、酸化タングステン膜およびタングステン
を含まない金属膜の積層構造でも構わない。ただし、タングステンを含まない金属膜中に
不純物程度(1×1020atoms/cm3以下、または1×1019atoms/c
m3以下)のタングステンを含んでも構わない。
ともに大きい形状にすることで半導体膜106の光による劣化、電荷の発生を抑制してい
るが、これに限定されるものではない。半導体膜106がゲート電極104からはみ出る
形状としても構わない。
している必要がある。例えば、ガラス基板、セラミック基板、石英基板、サファイア基板
などを、基板100として用いてもよい。また、シリコンや炭化シリコンなどの単結晶半
導体基板、多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウムなどの化合物半導体基板、SOI(
Silicon On Insulator)基板などを適用することも可能であり、こ
れらの基板上に半導体素子が設けられたものを、基板100として用いてもよい。
ける場合、可撓性基板上に直接的にトランジスタを作製してもよいし、他の基板にトラン
ジスタを作製した後、これを剥離し、可撓性基板に転置してもよい。なお、トランジスタ
を剥離し、可撓性基板に転置するためには、上記他の基板とトランジスタとの間に剥離層
を設けるとよい。
ン膜もしくは窒化ガリウム膜、または酸化物半導体膜を用いればよい。酸化物半導体膜は
、成膜が容易で、かつレーザービーム照射処理等を行わなくても高い電界効果移動度を有
するため、半導体膜106に用いる材料として好ましい。
−Sn−Ga−Zn−O系の材料や、三元系金属酸化物であるIn−Ga−Zn−O系の
材料、In−Sn−Zn−O系の材料、In−Al−Zn−O系の材料、Sn−Ga−Z
n−O系の材料、Al−Ga−Zn−O系の材料、Sn−Al−Zn−O系の材料や、二
元系金属酸化物であるIn−Zn−O系の材料、Sn−Zn−O系の材料、Al−Zn−
O系の材料、Zn−Mg−O系の材料、Sn−Mg−O系の材料、In−Mg−O系の材
料、In−Ga−O系の材料や、In−O系の材料、Sn−O系の材料、Zn−O系の材
料などを用いてもよい。また、上記の材料に酸化シリコンを含ませてもよい。ここで、例
えば、In−Ga−Zn−O系の材料とは、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、亜
鉛(Zn)を有する酸化物、という意味であり、その組成比は特に問わない。また、In
とGaとZn以外の元素を含んでいてもよい。
料を用いてもよい。ここで、Mは、Ga、Al、MnおよびCoから選ばれた一または複
数の金属元素を示す。例えば、Mとして、Ga、GaおよびAl、GaおよびMnまたは
GaおよびCoなどを用いてもよい。
、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化イットリ
ウムまたは酸化ジルコニウムなどを用いればよく、積層または単層で設ける。例えば、熱
酸化法、CVD法、スパッタリング法などで形成すればよい。ゲート絶縁膜112および
層間絶縁膜118は、加熱により酸素放出する膜を用いてもよい。加熱により酸素放出す
る膜を用いることで、半導体膜106に生じる欠陥を修復することができ、トランジスタ
の電気特性の劣化を抑制できる。
を示し、例えば、酸素が50原子%以上70原子%以下、窒素が0.5原子%以上15原
子%以下、シリコンが25原子%以上35原子%以下、水素が0原子%以上10原子%以
下の範囲で含まれるものをいう。また、窒化酸化シリコンとは、その組成において、酸素
よりも窒素の含有量が多いものを示し、例えば、酸素が5原子%以上30原子%以下、窒
素が20原子%以上55原子%以下、シリコンが25原子%以上35原子%以下、水素が
10原子%以上25原子%以下の範囲で含まれるものをいう。但し、上記範囲は、ラザフ
ォード後方散乱法(RBS:Rutherford Backscattering S
pectrometry)や、水素前方散乱法(HFS:Hydrogen Forwa
rd Scattering)を用いて測定した場合のものである。また、構成元素の含
有比率は、その合計が100原子%を超えない値をとる。
6に拡散し、トランジスタ特性に悪影響を与えることがある場合、一対の電極116の材
料の拡散係数が小さい絶縁膜を用いればよい。層間絶縁膜118は、半導体膜106の保
護膜として機能する。
pectroscopy:昇温脱離ガス分光法)分析にて、酸素原子に換算しての酸素の
放出量が1.0×1018atoms/cm3以上、好ましくは3.0×1020ato
ms/cm3以上であることをいう。
に説明する。
したスペクトルの積分値と標準試料の基準値との比により、気体の放出量を計算すること
ができる。標準試料の基準値は、所定の原子を含む試料の、スペクトルの積分値に対する
原子の密度の割合である。
絶縁膜のTDS分析結果から、絶縁膜の酸素分子の放出量(NO2)は、数式1で求める
ことができる。ここで、TDS分析で得られる質量数32で検出されるスペクトルの全て
が酸素分子由来と仮定する。質量数32のものとしてほかにCH3OHがあるが、存在す
る可能性が低いものとしてここでは考慮しない。また、酸素原子の同位体である質量数1
7の酸素原子及び質量数18の酸素原子を含む酸素分子についても、自然界における存在
比率が極微量であるため考慮しない。
料をTDS分析したときのスペクトルの積分値である。ここで、標準試料の基準値を、N
H2/SH2とする。SO2は、絶縁膜をTDS分析したときのスペクトルの積分値であ
る。αは、TDS分析におけるスペクトル強度に影響する係数である。数式1の詳細に関
しては、特開平6−275697公報を参照することができる。なお、上記絶縁膜の酸素
の放出量は、電子科学株式会社製の昇温脱離分析装置EMD−WA1000S/Wを用い
、標準試料として1×1016atoms/cm3の水素原子を含むシリコンウェハを用
いて測定する。
子の比率は、酸素分子のイオン化率から算出することができる。なお、上述のαは酸素分
子のイオン化率を含むため、酸素分子の放出量を評価することで、酸素原子の放出量につ
いても見積もることができる。
の放出量の2倍となる。
(X>2))であってもよい。酸素が過剰な酸化シリコン(SiOX(X>2))とは、
シリコン原子数の2倍より多い酸素原子を単位体積当たりに含むものである。単位体積当
たりのシリコン原子数および酸素原子数は、ラザフォード後方散乱法により測定した値で
ある。
酸素が供給されることで、半導体膜106およびゲート絶縁膜112の界面準位、または
半導体膜106および層間絶縁膜118の界面準位を低減できる。この結果、トランジス
タの動作などに起因して、半導体膜106およびゲート絶縁膜112の界面、または半導
体膜106および層間絶縁膜118の界面に電荷が捕獲されることを抑制することができ
、電気特性の劣化の少ないトランジスタを得ることができる。
導体膜の酸素欠損は、一部がドナーとなりキャリアである電子を生じる。この結果、トラ
ンジスタのしきい値電圧がマイナス方向にシフトしてしまう。ゲート絶縁膜112または
層間絶縁膜118から酸化物半導体膜である半導体膜106に酸素が十分に放出されるこ
とにより、しきい値電圧がマイナス方向へシフトする要因である、酸化物半導体膜の酸素
欠損を補うことができる。
ることで、半導体膜106およびゲート絶縁膜112の界面準位、または半導体膜106
および層間絶縁膜118の界面準位、ならびに酸化物半導体膜である半導体膜106の酸
素欠損を低減し、酸化物半導体膜である半導体膜106、およびゲート絶縁膜112また
は層間絶縁膜118の界面における電荷捕獲の影響を小さくすることができる。
金などを適宜用いればよい。一対の電極116はトランジスタのソース電極およびドレイ
ン電極として機能する。
でも配線遅延等の発生を低減することができる。一対の電極116にCuを用いる場合、
基板100の材質によっては密着性が悪くなるため、基板100と密着性のよい膜との積
層構造にすることが好ましい。基板100と密着性のよい膜として、Ti、Mo、Mn、
CuまたはAlなどを含む膜を用いればよい。例えば、Cu−Mn−Al合金を用いても
よい。
消費電力が小さく、電気特性が良好かつ信頼性の高い半導体装置を生産性高く作製するこ
とができる。
本実施の形態では、実施の形態2に示したトランジスタとは異なる構造のトランジスタに
ついて説明する。
した一点鎖線A−Bおよび一点鎖線C−Dは、それぞれ図2(B)に示すA−B断面およ
び図2(C)に示すC−D断面に対応する。
ート電極104を覆うゲート絶縁膜112と、ゲート絶縁膜112上の一対の電極116
と、一対の電極116上にあり一対の電極116と一部が接する半導体膜106と、ゲー
ト絶縁膜112、一対の電極116および半導体膜106を覆う層間絶縁膜118と、を
有するトランジスタの断面である。
形態1に示した酸化タングステン膜を有するゲート電極を用いることで、仕事関数が制御
され、トランジスタのしきい値電圧を制御することができる。ゲート電極104を積層構
造とする場合は、酸化タングステン膜がゲート絶縁膜112側になるように選択する。
した一点鎖線A−Bおよび一点鎖線C−Dは、それぞれ図3(B)に示すA−B断面およ
び図3(C)に示すC−D断面に対応する。
の半導体膜106と、半導体膜106上にあり半導体膜106と一部が接する一対の電極
116と、半導体膜106および一対の電極116を覆うゲート絶縁膜112と、ゲート
絶縁膜112を介して半導体膜106上にあるゲート電極104と、を有するトランジス
タの断面である。
とができる。
した一点鎖線A−Bおよび一点鎖線C−Dは、それぞれ図4(B)に示すA−B断面およ
び図4(C)に示すC−D断面に対応する。
の一対の電極116と、一対の電極116上にあり一対の電極116と一部が接する半導
体膜106と、半導体膜106および一対の電極116を覆うゲート絶縁膜112と、ゲ
ート絶縁膜112を介して半導体膜106上にあるゲート電極104と、を有するトラン
ジスタの断面である。
および横ともに大きい形状にすることで半導体膜106の光による劣化、電荷の発生を抑
制しているが、これに限定されるものではない。半導体膜106がゲート電極104から
はみ出る形状としても構わない。
した一点鎖線A−Bおよび一点鎖線C−Dは、それぞれ図5(B)に示すA−B断面およ
び図5(C)に示すC−D断面に対応する。
の領域126および領域121を有する半導体膜と、領域121上のゲート絶縁膜112
と、ゲート絶縁膜112上のゲート電極104と、下地絶縁膜102、領域126、ゲー
ト絶縁膜112およびゲート電極104を覆う層間絶縁膜118と、層間絶縁膜118に
設けられた領域126を露出する開口部を介して領域126と接する一対の電極116と
、を有するトランジスタの断面である。
。この形状は、ゲート電極104およびゲート絶縁膜112を同一のマスクを用いて加工
することで得られる。なお、ゲート電極104およびゲート絶縁膜112を形成後、プラ
ズマ処理または薬液処理によってゲート電極104の幅を細くしても構わない。
が、これに限定されるものではない。例えば、ゲート絶縁膜112が、領域121および
領域126を有する半導体膜を覆う形状としても構わない。
もよい。この形状は、ゲート絶縁膜112またはゲート電極104をマスクに領域126
を形成することで得られる。例えば、ゲート絶縁膜112またはゲート電極104をマス
クに、半導体膜に不純物(ホウ素、リン、水素、希ガス、窒素など)を添加し、低抵抗化
された領域を領域126とすることができる。なお、領域121は、半導体膜において領
域126が形成されていない領域である。
、トランジスタのソース領域およびドレイン領域としての機能を有する。
した一点鎖線A−Bおよび一点鎖線C−Dは、それぞれ図6(B)に示すA−B断面およ
び図6(C)に示すC−D断面に対応する。
のゲート絶縁膜112と、ゲート絶縁膜112を介してゲート電極104上にある領域1
26および領域121を有する半導体膜と、該半導体膜およびゲート絶縁膜112を覆う
層間絶縁膜118と、層間絶縁膜118に設けられた領域126を露出する開口部を介し
て領域126と接する一対の電極116と、を有するトランジスタの断面である。
消費電力が小さく、電気特性が良好かつ信頼性の高い半導体装置を生産性高く作製するこ
とができる。
本実施の形態では、実施の形態2または実施の形態3に示したトランジスタを用いて作製
した液晶表示装置について説明する。なお、本実施の形態では液晶表示装置に本発明の一
形態を適用した例について説明するが、これに限定されるものではない。例えば、EL(
Electroluminescence)表示装置に本発明の一形態を適用することも
、当業者であれば容易に想到しうるものである。
ソース線SL_1乃至SL_a、ゲート線GL_1乃至GL_bおよび複数の画素200
を有する。画素200は、トランジスタ230と、キャパシタ220と、液晶素子210
と、を含む。こうした画素200が複数集まって液晶表示装置の画素部を構成する。なお
、単にソース線またはゲート線を指す場合には、ソース線SLまたはゲート線GLと記載
する。
。
0のソースと接続し、トランジスタ230のドレインは、キャパシタ220の一方の容量
電極および液晶素子210の一方の画素電極と接続する。キャパシタ220の他方の容量
電極および液晶素子210の他方の画素電極は、共通電極と接続する。なお、共通電極は
ゲート線GLと同一層かつ同一材料で設けてもよい。
または実施の形態3に示したトランジスタを含んでもよい。該トランジスタはしきい値電
圧が制御されているため、オフ電流を小さくでき、またオンのための電圧を小さくするこ
とができる。そのため、消費電力を低減することができる。
または実施の形態3に示したトランジスタを含んでもよい。該トランジスタはしきい値電
圧が制御されているため、オフ電流を小さくでき、またオンのための電圧を小さくするこ
とができる。そのため、消費電力を低減することができる。
板上に形成し、COG(Chip On Glass)、ワイヤボンディング、またはT
AB(Tape Automated Bonding)などの方法を用いて接続しても
よい。
ましい。保護回路は、非線形素子を用いて構成することが好ましい。
ソース線SLから供給された電荷がトランジスタ230のドレイン電流となってキャパシ
タ220に電荷が蓄積される。1行分の充電後、該行にあるトランジスタ230はオフ状
態となり、ソース線SLから電圧が掛からなくなるが、キャパシタ220に蓄積された電
荷によって必要な電圧を維持することができる。その後、次の行のキャパシタ220の充
電に移る。このようにして、1行〜b行の充電を行う。
シタ220に保持された電荷が抜けにくく、キャパシタ220の容量を小さくすることが
可能となるため、充電に必要な消費電力を低減することができる。
ランジスタなど)を用いる場合、電圧を維持する期間を長くすることができる。この効果
によって、動きの少ない画像(静止画を含む。)では、表示の書き換え周波数を低減でき
、さらなる消費電力の低減が可能となる。また、キャパシタ220の容量をさらに小さく
することが可能となるため、充電に必要な消費電力を低減することができる。
きる。
本実施の形態では、実施の形態2または実施の形態3に示したトランジスタを用いて、半
導体記憶装置を作製する例について説明する。
てキャパシタに電荷を蓄積することで、情報を記憶するDRAM(Dynamic Ra
ndom Access Memory)、フリップフロップなどの回路を用いて記憶内
容を保持するSRAM(Static Random Access Memory)が
ある。
域との間にフローティングゲートを有し、当該フローティングゲートに電荷を保持するこ
とで記憶を行うフラッシュメモリがある。
3で示したトランジスタを適用することができる。
について図8を用いて説明する。
タTrと、キャパシタCと、を有する(図8(A)参照。)。
B)に示すように徐々に低減していくことが知られている。当初V0からV1まで充電さ
れた電位は、時間が経過するとdata1を読み出す限界点であるVAまで低減する。こ
の期間を保持期間T_1とする。即ち、2値DRAMの場合、保持期間T_1の間にリフ
レッシュをする必要がある。
用すると、しきい値電圧が制御されているため、保持期間T_1を長くすることができる
。即ち、リフレッシュ動作の頻度を低くすることが可能となるため、消費電力を低減する
ことができる。
さらに長くすることが可能となるため、さらに消費電力を低減することができる。例えば
、酸化物半導体膜を用いて形成されたオフ電流が1×10−21A以下、好ましくは1×
10−24A以下となったトランジスタでメモリセルを構成すると、電力を供給せずに数
日間〜数十年間に渡ってデータを保持することが可能となる。
ることができる。
について図9を用いて説明する。
、トランジスタTr_1のゲートと接続するワード線WL_1と、トランジスタTr_1
のソースと接続するソース配線SL_1と、トランジスタTr_2と、トランジスタTr
_2のソースと接続するソース配線SL_2と、トランジスタTr_2のドレインと接続
するドレイン配線DL_2と、キャパシタCと、キャパシタCの一端と接続する容量配線
CLと、キャパシタCの他端、トランジスタTr_1のドレインおよびトランジスタTr
_2のゲートと接続するフローティングゲートFGと、を有する。
、トランジスタTr_2のしきい値が変動することを利用したものである。例えば、図9
(B)は容量配線CLの電位VCLと、トランジスタTr_2を流れるドレイン電流ID
_2との関係を説明する図である。
ことができる。例えば、フローティングゲートFGの初期状態をLOWとし、ソース配線
SL_1の電位をVDDとする。このとき、ワード線WL_1の電位をトランジスタTr
_1のしきい値電圧にVDDを加えた電位以上とすることで、フローティングゲートFG
の電位をHIGHにすることができる。また、ワード線WL_1の電位をトランジスタT
r_1のしきい値電圧以下とすることで、フローティングゲートFGの電位をLOWにす
ることができる。
FG=HIGHで示したVCL−ID_2カーブのいずれかを得ることができる。即ち、
FG=LOWでは、VCL=0VにてID_2が小さいため、データ0となる。また、F
G=HIGHでは、VCL=0VにてID_2が大きいため、データ1となる。このよう
にして、データを記憶することができる。
を適用すると、該トランジスタはオフ電流を極めて小さくすることができるため、フロー
ティングゲートFGに蓄積された電荷がトランジスタTr_1を通して意図せずにリーク
することを抑制できる。そのため、長期間に渡ってデータを保持することができる。また
、本発明の一態様を用いることでトランジスタTr_1のしきい値電圧が制御されるため
、書き込みに必要な電圧を低減することが可能となり、フラッシュメモリなどと比較して
消費電力を低減することができる。
を適用しても構わない。
本実施の形態では、実施の形態2乃至実施の形態5のいずれかを適用した電子機器の例に
ついて説明する。
302と、表示部303と、スピーカ304と、カメラ305と、を具備し、携帯型電話
機としての機能を有する。本発明の一態様は、表示部303およびカメラ305に適用す
ることができる。また、図示しないが、本体内部にある演算装置、無線回路または記憶回
路に本発明の一態様を適用することもできる。
発明の一態様は、表示部311に適用することができる。本発明の一態様を用いることで
、消費電力の小さいディスプレイとすることができる。
ロフォン322と、表示部323と、を具備する。本発明の一態様は、表示部323に適
用することができる。また、図示しないが、記憶回路またはイメージセンサに本発明の一
態様を適用することもできる。
関数の関係を説明する。
8 ADVANCE)によって評価した。
かの成膜条件は、成膜電力を1kW、成膜圧力を0.4Pa、基板温度を室温、厚さを1
00nmとした。
トルをそれぞれ図11(A)乃至図11(D)に示す。なお、図11には、as−dep
o、250℃熱処理後、350℃熱処理後および450℃熱処理後におけるXRDスペク
トルを示す。熱処理は、N2雰囲気で1時間行った。ここで、as−depoは、酸化タ
ングステン膜の成膜後、特に熱処理などを行っていないものである。
膜は、350℃以下で非晶質であることがわかった。また、450℃以上で結晶化するこ
とがわかった。なお、結晶化の温度は、この範囲に限定して解釈されるものではなく、成
膜条件が少しでも変われば結晶化の温度は変化することが予測される。
スペクトルをそれぞれ図12(A)乃至図12(D)に示す。なお、図12には、as−
depo、250℃熱処理後および450℃熱処理後におけるXRDスペクトルを示す。
熱処理は、N2雰囲気で1時間行った。
ルは、250℃以下で非晶質であることがわかった。また、450℃以上で結晶化するこ
とがわかった。なお、結晶化の温度は、この範囲に限定して解釈されるものではなく、成
膜条件が少しでも変われば結晶化の温度は変化する。
置 AC−2にて評価した。結果を図13に示す。図13(A)はサンプル1乃至サンプ
ル4の仕事関数を示す。また、図13(B)はサンプル5乃至サンプル8の仕事関数を示
す。
仕事関数が高くなった。また、サンプル5乃至サンプル8の比較から、成膜ガスがArお
よびN2のサンプルよりもAr、O2およびN2のサンプルの方が仕事関数は高くなり、
また、微量ではあるがN2の割合が増加すると仕事関数が高くなった。サンプル1乃至サ
ンプル8の比較から、成膜ガスがArおよびO2のサンプルよりもArおよびO2にN2
を混ぜたサンプルの方が、仕事関数が高くなった。
範囲で制御できる酸化タングステン膜が得られることがわかった。
至サンプル8の組成を評価した。結果を表2に示す。
ンプル4の比較から、成膜ガス中のArに対するO2の割合が増加すると、O/W割合が
高くなった。この傾向は仕事関数と同様であり、膜中のO/W割合が高いと仕事関数が高
くなった。ただし、サンプル3およびサンプル4は、成膜ガス中のArに対するO2の割
合とO/W割合の相関が取れていない。これは、サンプル3およびサンプル4の間の成膜
ガス中のArに対するO2の割合で、膜中に取り込まれるOが飽和している可能性が示唆
される。ただし、膜中に取り込まれるOの飽和は上記の範囲に限られるものではなく、そ
のほかの成膜条件の影響やWとO以外の元素の影響で変化するものである。
も成膜ガスがArおよびN2のサンプルの方がO/W割合が低くなった。OがNに置換さ
れている可能性が示唆される。一方、サンプル5乃至サンプル8の比較から、成膜ガスが
ArおよびN2のサンプルよりも、Ar、O2およびN2のサンプルの方がO/W割合が
高くなった。ただし、Nの割合が低くなった。サンプル5乃至サンプル8の比較でも、膜
中のO/W割合が高いと仕事関数が高くなった。
ことがわかる。
説明する。バイアススパッタリング法とは、通常ターゲット側にイオンを衝突させてスパ
ッタリングすることに加え、基板側にもイオンを衝突させる技術である。
kW(DC)、成膜圧力を0.4Pa、基板温度を室温、厚さを100nmとした。
ンプル4と同一サンプルである。
いたサンプル10の方が、仕事関数が高くなった。
アススパッタリング法によって仕事関数が高くなる傾向であることから、装置の測定上限
である6.2eV以上の仕事関数を有する可能性が高い。
仕事関数が6.2eV以上をとる可能性が高く、実施例1で示した範囲よりもさらに広範
囲で仕事関数が制御できることがわかる。
。
処理もしくはO2プラズマ処理して得られた酸化タングステン膜の仕事関数を、as−d
epo、250℃熱処理後または450℃熱処理後で評価した結果である。熱処理はN2
雰囲気で1時間行った。
そのほかの条件は、成膜電力を6kW、成膜圧力を1.5Pa、成膜ガスをAr(110
sccm)とした。
電力を500W、圧力を133.3Pa、基板温度を400℃とし発生させたプラズマに
、120sec暴露することで行った。
を500W、圧力を133.3Pa、基板温度を400℃とし発生させたプラズマに、1
20sec暴露することで行った。
ラズマ処理またはO2プラズマ処理して得られた酸化タングステン膜の仕事関数が高くな
った。また、タングステン膜をN2Oプラズマ処理またはO2プラズマ処理して得られた
as−depoの酸化タングステン膜に対し、該酸化タングステン膜を250℃または4
50℃で熱処理した方が仕事関数が高くなった。また、微小な差ではあるがタングステン
膜をO2プラズマ処理した酸化タングステン膜の方が、N2Oプラズマ処理した酸化タン
グステン膜よりも仕事関数が高くなった。
給電力を300W、500Wまたは800Wとして得られた酸化タングステン膜の仕事関
数を示す。
た条件の方が仕事関数が高くなった。また、いずれの条件でも、供給電力を高くするほど
仕事関数が低くなった。
ラズマの反応ガス種、供給電力および熱処理の条件を組み合わせることで仕事関数が制御
できることがわかる。
Oxide Semiconductor)構造を作製し、C−V(Capacitan
ce−Voltage)測定を行った例を図15に示す。
する。次に、n型シリコンウェハの裏面の熱酸化膜をフッ化水素酸を用いて除去し、n型
シリコンウェハの裏面に裏面電極としてAl−Ti合金を形成し、その後、250℃、N
2雰囲気で1時間熱処理し、サンプルを作製した。
厚さ140nmのタングステン膜の積層構造を用いたサンプルのC−Vカーブである。こ
こで、前述の酸化タングステン膜は、WO3ターゲットを用い、DCスパッタリング法に
よって成膜した。そのほかの成膜条件は、成膜電力を0.25kW、成膜圧力を0.4P
a、成膜ガスをAr(30sccm)、基板温度を室温とした。
135nmのタングステン膜の積層構造を用いたサンプルのC−Vカーブを示す。
15)の仕事関数およびフラットバンド電圧(Vfb)を表4に示す。
取れることがわかる。
た例を図3および図16を用いて説明する。
た厚さ300nmの酸化シリコン膜を、半導体膜106はIn−Ga−Zn−Oターゲッ
ト(mol数比、In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:2)を用い、スパッタリン
グ法で厚さ20nmのIn−Ga−Zn−O膜を、一対の電極116はスパッタリング法
で成膜した厚さ50nmのタングステン膜を、ゲート絶縁膜112はCVD法で成膜した
厚さ15nmの酸窒化シリコン膜を、用い、トランジスタを作製した。図示しないが該ト
ランジスタを、CVD法で成膜した厚さ300nmの酸窒化シリコン膜で覆う構造として
いる。
40nmのタングステン膜の積層構造を用いた場合(サンプル18)と、ゲート電極に厚
さ15nmの窒化タンタル膜および厚さ135nmのタングステン膜の積層構造を用いた
場合(サンプル17)の、ゲート電圧−ドレイン電流(Vg−Id)測定を行った。なお
、トランジスタのチャネル幅は10μm、チャネル長は3μmである。結果を図16に示
す。
17のVg−Idカーブである。
より得られたしきい値電圧を表5に示す。
取れることがわかった。
電圧を制御できることがわかる。
102 下地絶縁膜
104 ゲート電極
106 半導体膜
112 ゲート絶縁膜
116 電極
118 層間絶縁膜
121 領域
126 領域
200 画素
210 液晶素子
220 キャパシタ
230 トランジスタ
300 筐体
301 ボタン
302 マイクロフォン
303 表示部
304 スピーカ
305 カメラ
310 筐体
311 表示部
320 筐体
321 ボタン
322 マイクロフォン
323 表示部
1001 実線
1002 破線
Claims (5)
- タングステン膜と、
前記タングステン膜上の酸化タングステン膜と、
前記酸化タングステン膜上のゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上の酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜上のソース電極及びドレイン電極と、
前記ソース電極上及び前記ドレイン電極上の絶縁膜と、を有し、
前記絶縁膜は、前記酸化物半導体膜と接する領域を有し、
前記タングステン膜は、前記酸化物半導体膜と重なる領域を有し、
前記酸化タングステン膜は、前記酸化物半導体膜と重なる領域を有し、
前記酸化物半導体膜は、インジウムと、亜鉛と、ガリウムと、を有し、
前記酸化タングステン膜は、20.4原子%以上23原子%以下のタングステンと、61.8原子%以上78.4原子%以下の酸素と、0原子%以上15原子%以下の窒素と、0.8原子%以上1.8原子%以下のアルゴンとを有することを特徴とする半導体装置。 - タングステン膜と、
前記タングステン膜上の酸化タングステン膜と、
前記酸化タングステン膜上のゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上の酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜上のソース電極及びドレイン電極と、
前記ソース電極上及び前記ドレイン電極上の絶縁膜と、を有し、
前記絶縁膜は、前記酸化物半導体膜と接する領域を有し、
前記タングステン膜は、前記酸化物半導体膜と重なる領域を有し、
前記酸化タングステン膜は、前記酸化物半導体膜と重なる領域を有し、
前記酸化物半導体膜は、インジウムと、亜鉛と、ガリウムと、を有し、
前記酸化タングステン膜は、20.4原子%以上23原子%以下のタングステンと、75.2原子%以上78.4原子%以下の酸素と、1.2原子%以上1.8原子%以下のアルゴンとを有することを特徴とする半導体装置。 - タングステン膜と、
前記タングステン膜上の酸化タングステン膜と、
前記酸化タングステン膜上のゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上の酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜上のソース電極及びドレイン電極と、
前記ソース電極上及び前記ドレイン電極上の絶縁膜と、を有し、
前記絶縁膜は、前記酸化物半導体膜と接する領域を有し、
前記タングステン膜は、前記酸化物半導体膜と重なる領域を有し、
前記酸化タングステン膜は、前記酸化物半導体膜と重なる領域を有し、
前記酸化物半導体膜は、インジウムと、亜鉛と、ガリウムと、を有し、
前記酸化タングステン膜は、20.6原子%以上22.4原子%以下のタングステンと、61.8原子%以上73.6原子%以下の酸素と、15原子%以下(0原子%を除く)の窒素と、0.8原子%以上1.5原子%以下のアルゴンとを有することを特徴とする半導体装置。 - タングステン膜と、
前記タングステン膜上の酸化タングステン膜と、
前記酸化タングステン膜上のゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上の酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜上のソース電極及びドレイン電極と、
前記ソース電極上及び前記ドレイン電極上の絶縁膜と、を有し、
前記絶縁膜は、前記酸化物半導体膜と接する領域を有し、
前記タングステン膜は、前記酸化物半導体膜と重なる領域を有し、
前記酸化タングステン膜は、前記酸化物半導体膜と重なる領域を有し、
前記酸化物半導体膜は、インジウムと、亜鉛と、ガリウムと、を有し、
前記酸化タングステン膜の仕事関数は、4.9eV以上5.6eV以下であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
前記ゲート絶縁膜は、TDS分析にて、酸素原子に換算した酸素の放出量が1.0×10 18 atoms/cm 3 以上であることを特徴とする半導体装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010282166 | 2010-12-17 | ||
JP2010282166 | 2010-12-17 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011274836A Division JP5922923B2 (ja) | 2010-12-17 | 2011-12-15 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016171327A JP2016171327A (ja) | 2016-09-23 |
JP6205453B2 true JP6205453B2 (ja) | 2017-09-27 |
Family
ID=46233199
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011274836A Active JP5922923B2 (ja) | 2010-12-17 | 2011-12-15 | 半導体装置 |
JP2016082256A Expired - Fee Related JP6205453B2 (ja) | 2010-12-17 | 2016-04-15 | 半導体装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011274836A Active JP5922923B2 (ja) | 2010-12-17 | 2011-12-15 | 半導体装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9202822B2 (ja) |
JP (2) | JP5922923B2 (ja) |
KR (1) | KR102047133B1 (ja) |
TW (2) | TWI587378B (ja) |
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---|---|---|---|---|
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WO2016139560A1 (en) | 2015-03-03 | 2016-09-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Oxide semiconductor film, semiconductor device including the oxide semiconductor film, and display device including the semiconductor device |
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- 2011-12-12 US US13/316,604 patent/US9202822B2/en active Active
- 2011-12-14 TW TW105127488A patent/TWI587378B/zh active
- 2011-12-14 TW TW100146237A patent/TWI557781B/zh active
- 2011-12-15 JP JP2011274836A patent/JP5922923B2/ja active Active
- 2011-12-16 KR KR1020110136521A patent/KR102047133B1/ko active IP Right Grant
-
2015
- 2015-11-09 US US14/935,553 patent/US9812544B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2016
- 2016-04-15 JP JP2016082256A patent/JP6205453B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102047133B1 (ko) | 2019-11-20 |
US20120153275A1 (en) | 2012-06-21 |
TWI587378B (zh) | 2017-06-11 |
KR20120068738A (ko) | 2012-06-27 |
TWI557781B (zh) | 2016-11-11 |
US20160064505A1 (en) | 2016-03-03 |
US9812544B2 (en) | 2017-11-07 |
JP5922923B2 (ja) | 2016-05-24 |
JP2012142569A (ja) | 2012-07-26 |
TW201246312A (en) | 2012-11-16 |
TW201643948A (zh) | 2016-12-16 |
US9202822B2 (en) | 2015-12-01 |
JP2016171327A (ja) | 2016-09-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |