JP5733732B2 - ルテニウム(Ru)ターゲット製造のためのルテニウム粉末製造方法 - Google Patents
ルテニウム(Ru)ターゲット製造のためのルテニウム粉末製造方法 Download PDFInfo
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Description
[5]
[8]本発明は廃ルテニウム(Ru)ターゲットを用いて高純度化及び微細化されたルテニウム(Ru)粉末を製造するのにあって、従来の湿式工法ではない親環境的な乾式工法を用いて、プラズマを用いて高純度粉末を製造した後微粉砕の時粉末製造の収率を増加させて粉末の純度低下を防止して最終的に高純度化及び微細化されたルテニウム(Ru)粉末を製造するのに目的がある。 これを通じて粉末が製造されれば、高純度の微細化されたルテニウム(Ru)粉末の大量量産製造が可能である。
[12]また、最近知られた乾式法の場合にも、ターゲット粗粉砕による汚染が発生されるとか、プラズマ技法を用いる場合超微細した粉末が後続の熱処理によって易しく凝集されてしまう短所がある実情である。
[15]図2は本発明によって製造された最終ルテニウム(Ru)粉末のFE-SEM写真である。
[23]
[30]
[36]
[40]
[43]
[44]
[47] * 不純物単位: ppm
[48] * その他不純物: Li、Be、Sc、V、Mn、Co、Ga、Ge、As、Se、Br、Rb、Sr、Nb、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Te、I、Cs、Ba、Hf、Ta、Au、Hg、Pb、Bi、R
[49]
[50]
[54]
[55]
Claims (5)
- 廃ルテニウム(Ru)ターゲットの表面に残存する汚染物を取り除いて洗浄する段階;
上記洗浄された廃ルテニウム(Ru)ターゲットをプラズマ装備に装入後プラズマ装備内部を減圧して反応ガスを投入して電力を印加してプラズマ雰囲気を形成させる段階;
プラズマ電力を増加させてインゴットを強制的に飛散させてルテニウム(Ru)粉末を製造する段階;
上記製造されたルテニウム(Ru)粉末に対して大気雰囲気熱処理をしてカーボン(Carbon)を選択的に取り除いてルテニウム酸化物(RuOx)粉末を製造する段階;
上記製造されたルテニウム酸化物(RuOx)粉末を微粉砕して微細化されたルテニウム(Ru)粉末を製造する段階; 及び
上記微細化されたルテニウム酸化物粉末を水素雰囲気の熱処理をして高純度ルテニウム(Ru)粉末を製造する段階で構成されることを特徴とする、ルテニウム(Ru)粉末製造方法。 - 上記プラズマを形成させる段階で装備の内部圧力は100〜300torrであり、プラズマガス(Gas)ではAr、N2、H2、O2のいずれかまたはこれらの混合ガスを使って中空状のルテニウム粉末を製造することを特徴とする、請求項1記載のルテニウム(Ru)粉末製造方法。
- 上記大気雰囲気の熱処理は800℃乃至1200℃で1時間乃至5時間の間行うことを特徴とする、請求項1記載のルテニウム(Ru)粉末製造方法。
- 上記粉末を微粉砕する工程はジェットミル(Jet-Mill)、ユウセイミル(Planetary Mill)、ボールミル(Ball-Mill)を用いて粉末を微細化することを特徴とする、請求項1記載のルテニウム(Ru)粉末製造方法。
- 上記水素雰囲気の熱処理は粉砕後800℃乃至1200℃で1時間乃至5時間の間行うことを特徴とする、請求項1記載のルテニウム(Ru)粉末製造方法。
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