JP5732698B2 - ロードポートモジュール - Google Patents
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Description
かかる基板ローディングデバイスは、フレーム、カセット支持部、及びユーザインターフェースを含んでいる。フレームはデバイスを基板プロセス装置に接続する。フレームは、基板がデバイスとプロセス装置との間を搬送される際に通過する搬送開口部を有している。カセット支持部は、フレームに接続され、少なくとも1つの基板保持カセットを保持する。ユーザインターフェースが情報を入力するために配置される。ユーザインターフェースは、フレームにマウントされ、ユーザインターフェースはフレームと一体化する。
ムと一体化され得、ユニットとして形成され、ユニットとしてプロセス装置から取り外され得る。
ュールは、望まれるように、フロント部の他の側面に配置され得る。さらに別の実施例においては、ロードポートモジュールはフロント部12の2つ以上の側面に配置され得る。図2において見て取れるように、この例示的な実施例におけるロードポートモジュール24は、ロードポートモジュール24のベースプレートから外側に突出する伸長ゾーン38を有し得る。
口部T32を有している。
適切な光源及び光電管のような光検出器を有し得る。スイッチの非駆動状態においては、光源は、例えば、光電管を照らし、センサ部が信号を(配線68Eを介して)コントロールシステムに送信し、スイッチが非駆動状態であると制御システムにより解釈される。例えば、スイッチの駆動部68Iの一部により光源が障害されると、光電管からの信号は変化し、次に、スイッチが駆動状態であると制御システムにより解釈される。別の実施例においては、センサ部は、スイッチが非駆動状態のとき、光源が遮断され、駆動状態のとき、光源が光電管を照らすように形成され得る。
な方法のグラフ表示が示されている。理解され得るように、カメラ700が、かかるカメラのイメージ範囲内の他の要素/システムをモニタし、トラブルシューティングするために使用されるとき、図13に示し且つ以下において説明される例示的な方法が、実際に適用可能である。図13から見て取れるように、ブロックP1においては、カメラ700が、図13に示した方法を実施するコントローラ400におけるプログラムに従い操作され得、基板搬送装置40の動作部40Aのベースラインイメージフレームを生成する。なぜなら、それは、θ、R動作の全範囲又は望まれる範囲を受けるからである。動作部40Aがカメラ700によるベースラインイメージフレームの生成のために動かされるθ、R動作の望まれる範囲は、ツールのプロセス操作の間、予想されたθ、R動作及び装置40における故障をトラブルシューティングするのを助ける望まれるテスト動作を通常含んでいる。ベースラインイメージフレームは、 動作部40Aのキャリブレーションの後、及び望まれる操作動作を経て動作部40を動かすコントローラ400への「ティーチング」の後に生成され得る。別の実施例においては、ベースラインイメージフレームは任意の時間において取得され得る。コントローラ400及び/若しくはカメラ700の処理回路706におけるソフトウェアにより指示された動作部の動作の間のイメージフレームのタイミング及び頻度は望まれるように設定され得る。例えば、動作部40Aが動作経路の望まれる位置に移動しているとき、カメラ700は、イメージフレームを生成し得、動作部が停止されるか、若しくは関係ない動作データの部分を伝達するとき、カメラ700は、イメージフレームを生成しない待機状態であり得る。別の実施例においては、カメラ700は、動作部40Aが動いている略全ての時間においてイメージフレームを生成するように指示され得る。カメラ700により生成されたイメージジーフレームの頻度は、十分に連続したビデオストリームを形成するのに十分なように望まれるように設定され得る。ベースラインイメージフレームは、コントローラ400の記憶領域に記録され得る。図13におけるブロックP2において、例えば、装置により実施されるプロセスの支持部における動作部40Aの操作動作の間、カメラ700は動作部の操作中のイメージフレームを生成する。操作中のイメージフレームのタイミング及び頻度は、対応するベースフレームラインイメージフレームのタイミング及び頻度に対応する(すなわち、操作中のイメージフレーム及びベースラインイメージフレームは動作部40Aの略同一の動作経路において生成される)。別の実施例においては、操作中のイメージフレームのタイミング及び頻度は、対応するベースフレームラインイメージフレームのタイミング及び頻度と異なり得る(遅い/低い頻度)。この例示的な実施例においては、操作中のイメージフレームは、カメラ700若しくは他の適切なバッファメモリにバッファされ、以下において説明するように、所定の時間においてコントローラに伝達され得る。これはコントローラ400における処理負担を低減する。バッファは、望まれる数のイメージフレームを保存するサイズに形成される。バッファが満たされたとき、バッファされたイメージフレームは消去され得る。動作部40Aの操作の間、コントローラ400は動作部の動作による故障を検出し得る。様々なセンサが、EFEMにおける搬送装置40の動作部40Aに含まれ得、動作部の動作の故障の発生を検出し、コントローラに信号を送る。図13において見て取れるように、ブロックP3においては、もし、動作部40Aの操作動作の間、コントローラ400により検出された故障がないならば、幾つかのバッファされた操作イメージフレームがコントローラ400に周期的にダウンロードされ得る(図13におけるブロックP4参照)。周期的にダウンローダされたイメージフレームは、バッファメモリに存在するイメージフレームから選択されたイメージフレームであり得る。ダウンロードにより選択されたイメージフレームは、動作部の動作の間起こる望まれる状態に対応し、望まれる状態は、例えば、動作部が所定の形態を有し、動作部の駆動部が最大のトルクを伝達し、若しくは動作部のエンドエフェクタが最大の速度若しくは最大の加速度を受けることである。選択されたイメージフレームのダウンロードの周期は、コネクタとの他の通信トラフィックが低減されたとき、動作部40Aの動作サイクル毎、若しくは他の動作サイクル毎のように望まれるように設定され得る。図13のブロックP4におけるコントローラへの伝達の後、ダウンロードされたイメージフレームは、ベースラインイメージフレームと比較され、 動作部40Aの動作における位置のずれを識別する。動作部の位置の差を決定するイメージフレームの比較は、コントローラ400に常駐する適切なアルゴリズムにより実施され得、例えば、ベースラインに対する動作部40Aの動作のずれを発展させる傾向の存在を識別し、ずれが許容可能な境界を越えるときを予測する。ベースライン及び操作イメージフレームの使用を容易にするために、カメラ700により生成された各イメージには、時間タグのような識別子が設けられ得るが、任意の他の識別子が使用され得、各イメージフレームは共通の参照フレームに関連付けられ得る。これは、各イメージフレームが、動作部に対するコントローラ指示の時間及び動作部の駆動時間に関連付けられることを可能にする。図13において見て取れるように、ブロックP3において、コントローラが、操作動作の間、故障を検出した場合においては、コントローラ400はバッファメモリにおける操作イメージフレームをダウンロードする。コントローラ400は、故障発生の検出の前後の期間において生成され、動作部位置を証明する操作イメージフレームのような選択されたバッファイメージフレームをダウンロードし得るか、若しくは全てのバッファイメージフレームをダウンロードし得る(ブロックP5参照)。ブロックP5においてダウンロードされたイメージフレームは、故障が検出された時間における動作部40Aの位置及び動作部の動作が停止したときを直接識別するために使用され得る。位置情報が、故障をトラブルシューティングし、停止位置から動作部を動かすために動作部に対するコントローラの指示を明らかにするのを助けるために使用され得る。ダウンロードされた操作イメージフレームは、対応するベースラインイメージフレームと比較され、動作部のベースラインからの位置のずれを識別する。前述したように、図13に示した方法は、LPM24のカメラ700が使用され得る適切な方法の1つの例示である。カメラ700は装置10のEFEMの操作を改良する他の方法に使用され得る。望まれるならば、カメラ700は、ユーザインターフェース100を介して入力されたユーザ指示により操作され得、ディスプレイ300上においてリアルタイムのEFEMを見られる。
Claims (11)
- 基板ローディングデバイスであって、
前記デバイスを基板プロセス装置に接続し、基板が前記デバイスと処理装置との間を搬送される際に通過する搬送開口部を有するフレームと、
支持部材を含む支持載置面を有し、前記フレームに接続されている基板搬送コンテナ支持部と、を含み、
少なくとも1つの基板搬送コンテナが前記支持載置面上に載置されて前記基板搬送コンテナ支持部上に支持され、
前記基板搬送コンテナ支持部は、
前記支持載置面から分離されかつ区別されており、前記基板搬送コンテナ支持部の少なくとも一部を被覆し、弾性可撓性部を有するカバー部と、
前記カバー部に接続され、前記支持部における前記少なくとも1つの搬送コンテナの存在を検出する少なくとも1つの検出器と、
前記カバー部の前記弾性可撓性部に接続され、前記弾性可撓性部とのユニットとして動かされる部材と、を含み、
前記基板搬送コンテナの支持部の少なくとも一部が前記カバーによって被覆されることで、前記少なくとも1つの基板搬送コンテナが載置されかつ支持される前記基板載置面の前記支持部材が前記カバー全体に延在し、
前記部材は、前記検出器と協働し、前記検出器に前記支持部における前記搬送コンテナの存在を検出させることを特徴とする基板ローディングデバイス。 - 前記弾性可撓性部は、前記搬送コンテナが前記支持部により支持されているとき、弾性的にたわまされることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記検出器は光学検出器であることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記検出器は前記カバー部により被覆されているプリント基板にマウントされていることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記カバー部はプラスチックから形成された単一部材であることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記部材は光学検出器のための遮断部材であることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記弾性可撓性部のたわみは、前記支持部における前記搬送コンテナの検出を実施する前記部材を動かすことを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記カバー部は、前記カバー部に形成された1対のスロットを有し、前記弾性可撓性部を形成することを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記弾性可撓性部は伸長されたカンチレバーであることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 基板ローディングデバイスであって、
前記デバイスを基板プロセス装置に接続し、基板が前記デバイスとプロセス装置との間を搬送される際に通過する搬送開口部を有するフレームと、
支持部材を含む支持載置面を有し、前記フレームに接続されている基板搬送コンテナ支持部と、を含み、
少なくとも1つの基板搬送コンテナが前記支持載置面上に載置されて前記基板搬送コンテナ支持部上に支持され、
前記基板搬送コンテナ支持部は、
前記支持載置面から分離されかつ区別されており、前記基板搬送コンテナ支持部の少なくとも一部を被覆し、弾性可撓性部を有するカバー部と、
前記カバー部に接続され、前記少なくとも1つの搬送コンテナが前記支持部に存在するとき、検出する少なくとも1つの検出器と、を含み、
前記基板搬送コンテナの支持部の少なくとも一部が前記カバーによって被覆されることで、前記少なくとも1つの基板搬送コンテナが載置されかつ支持される前記基板載置面の前記支持部材が前記カバー全体に延在し、
前記カバー部は、単一構造であり、弾性可撓性タブを含み、前記検出器は、前記タブにマウントされ、前記支持部における前記少なくとも1つの搬送コンテナの検出を検出器と共に実施する部材を含んでいることを特徴とする基板ローディングデバイス。 - 前記カバー部に接続され、前記少なくとも1つの搬送コンテナが前記支持部に存在するとき、検出する少なくとも別の検出器を更に含み、前記カバー部は、別の弾性可撓性タブを有し、前記少なくとも別の検出器は前記別の弾性可撓性タブにマウントされた別の部材を有していることを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
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