JP5657203B2 - ロードポートモジュール - Google Patents
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Description
メニューオペレーティングアーキテクチャの場合、コントローラ400におけるインターフェースソフトウェアは、ユーザインターフェース100のディスプレイ300上に選択自在なキー若しくはメニュー部308Aを表示し得る。ソフトウェアは、タッチスクリーン304若しくはキーパッド306を介して、表示されたメニュー部308Aの選択を可能にする。理解され得るように、インターフェースソフトウェアにより入手される選択自在なメニュー部308Aは、コントローラ400若しくはローカルプロセッサ310のメモリモジュール401、404おける実行可能な常駐ソフトウェア(executable software resident)に対応する。例えば、実行可能なソフトウェアは、装置10及びLPM24の1つ以上の各要素及びシステム若しくは一体化ユニットとしての装置10の操作を制御する操作プログラムであり得る。よって、ディスプレイ300上に表示された選択自在なメニュー部308Aは、装置10の操作のためのプログラムを開始し達成するコントローラ400への指示であり得、基板のプロセスを開始する。操作システムアーキテクチャがメニュー型アーキテクチャでない別の実施例においては、ユーザインターフェースは、コントローラに対する操作指示が任意の他の望まれる手段により入力され得ることを除いては、略同様に使用され得る。一例として、ユーザインターフェースキーパッドが、コントローラに対する操作指示を明らかにする1つ以上のキャラクタを入力するために使用され得、キャラクタは、入力されたとき、ユーザインターフェースディスプレイスクリーン上に表示され得る。
前述したように、コントローラ400のプログラムモジュール401、404は、LPM24のユーザインターフェース100からアクセスされ実行される任意の望まれる数のプログラムを含み得る。例えば、プログラムモジュールは、ユーザインターフェースのディスプレイ300上に出力され得るインストール/操作マニュアル、キャリブレーション(calibration)トラブルシューティング、及びサービスガイドのような任意の望まれるテキスト又はデータプログラム若しくはフィルを含み得る。テキストファイルは、ディスプレイ300上に表示するための任意の望まれるフォーマットで形成された表、図、グラフ、写真、及びビデオ部を含み得る(例えば、図及び写真はビットマップとして形成され得る)。テキストプログラムは、システムセットアップの間、コントローラ400のプログラムモジュール401、404に保存され得るか、若しくは、PCのネットワーク604(図2参照)のような適当な外部すなわちリモートソースからその後ダウンロードされ得、コントローラは通信リンク結合部502上においてかかるネットワーク604と通信し得る。さらに、コントローラ400の通信パッケージソフト(communication suite)は、オペレータが、リモートソース(例えば、デバイス602、604)に配置され且つコントローラに常駐しないテキスト及びグラフィカルファイルを見ることを可能にする。同様に、コントローラ400の通信パッケージソフトは、リモートデバイス602、604のディスプレイ上に表示された情報がLPMディスプレイ300上に表示されることを可能にする。例えば、基板搬送装置40(図3参照)の動作制御のプログラム用として、ティーチペンダント602が通信インターフェース502に接続されているとき、ティーチペンダントによるプログラムを実行することに関して表示された情報は、ティーチペンダント602若しくはティーチペンダント602に接続したネットワーク604のPCのディスプレイ上に表示され得、LPMユーザインターフェース100のディスプレイ300上にも表示され得る。よって、操作プログラム若しくは装置10に類似する装置の搬送装置の動きを「ティーチング」することは、非常に似た装置のディスプレイ300上において「ティーチング」に関連した情報を見ることができ、オペレータはティーチングを実施する。プログラムモジュール401は、コントローラの機械通信プログラムと協働する様々なグラフィックプログラムを含み得、コントローラ400に接続したLPM24及び装置10のシステム及び要素からの未加工のデータ若しくは信号を読み込み、ディスプレイ300上に表示され得るグラフィカルデータに変換し得る。この情報は、装置10の制御可能なシステムの状態情報及び故障情報を含み得る。ディスプレイオペレーティングソフトウェアは、ユーザが表示されるのを望む情報を選択することを可能にし得る。よって、LPMのユーザインターフェース及びディスプレイ300は、オペレータが、更なるハードウェアを使用せず、所定の位置すなわちLPMからのツールセットアップ、検査、トラブルシューティング、及び操作を実施することを可能にする。
図1乃至図5を参照すると、LPM24は、さらに以下において説明するように、装置10のEFEMにおける1つ以上の要素をモニタするデジタルカメラ700を含み得る。図1において見て取れるように、LPMの内側に存在し得るカメラ700は、EFEMの通常内側に延在するようにマウントされる。カメラは図5において最も良く見られる。前述したように、この例示的な実施例においては、複数のLPM24A乃至24Lが、互いに接合され、EFEMのフロント面を形成する。この実施例においては、LPM24Bが内部カメラ700を有するとして示されている。別の実施例においては、EFEMにおける1つ以上のLPMであるが、全てではないLPMが、図5に示したLPM24Bに類似するカメラを有し得る。カメラ700は、LPMフレーム29(図3参照)のリア面にマウントされ得、EFEMのケーシング16に対するLPM24Bの結合(mating)が、カメラをEFEM内に配置する。カメラ700は、LPM24に一体化され得るか、若しくはLPM24とは別にEFEMに取り付けされ得る。カメラ700は、機械的締結のような任意の適切なマウント手段によりLPM24Bにマウントされ得る。図5に示した実施例におけるLPM及びシステム/要素に対するカメラの位置は、単なる例示目的であり、別の実施例においては、カメラはLPMフレームにおける任意の他の適切な位置にマウントされ得る。さらに、カメラ700は、1つのカメラヘッドとして図1及び図5に簡略化されて示されている。カメラ700はLPMフレームにおける異なる位置に配置された1つ以上のカメラヘッド(図示せず)を含み得る。カメラすなわちカメラヘッドユニット700は、適当なカメラチップ702及び光学部品704を含み、かかる光学部品704は、カメラの視野FOVから適切なイメージを生成するカメラチップに光りを向ける。カメラチップ702は、例えば、CMOS型若しくはCCD型チップ又は任意の他の適切な種類のカメラチップであり得る。望まれるならば、カメラは1つ以上のカメラチップを含み得る。カメラチップは、任意の望まれる解像度を有し得、カラー若しくは白黒のイメージを生成し得る。カメラ光学部品704は、例えば、カメラチップ702に向けられた光量をガイドし制御する任意の適切なレンズ、フィルタ、ミラー、開口部(図示せず)を含み得る。カメラチップ702及び光学部品704は、カメラの視野FOV及び焦点深度により、カメラがEFEM内部の全体を取り囲む空間(すなわち、イメージ範囲)の像を形成するように配置される。別の実施例においては、カメラヘッドは、適切なサーボモータにより水平に支持(gimbaled)されており、視野を回転させ、カメラのための望まれるイメージ範囲を提供する。他の別の実施例においては、前述したように、複数の固定カメラヘッドが、望まれるイメージ範囲を生成するために使用され得る。さらに他の実施例においては、カメラのイメージ範囲は、基板搬送装置、アライナ、若しくはLPMチャージ開口部(LPM charging opening)のようなEFEMの望まれる領域若しくは要素をカバーするように制限され得る。理解され得るように、図1及び図5に示した実施例においては、カメラ700のイメージ範囲は、EFEMに沿った任意の側方位置(矢印Lにより示されている)における基板搬送装置40の(θ、R)動作(図5におて矢印θ、Rにより示されている)の略全範囲を含むのに十分である。装置40のカメラ700によるイメージ範囲は、LPMチャージ開口部30O(図4参照)若しくはロードロック14L(図1)における装置40のバッテリ位置(図示せず)と伸長位置(図示せず)との間に伸長する。よって、カメラ700のイメージ範囲は、カメラが略任意の操作θ、R位置における搬送装置40の像を形成することを可能にする。図5に示した例示的な実施例においては、基板搬送装置は、θ、Rの矢印により示された方向に運動自在である動作部40Aを有し(前述したように)、従って、カメラ700のイメージ範囲は、装置動作部の操作動作を取り囲む平面若しくは範囲に対応する。別の実施例においては、搬送装置の動作部は、任意の他の種類、動作の範囲を経て操作され得、EFEMにおける1つ若しくは複数のカメラには、搬送装置の動作部の範囲/平面に対応するイメージ範囲が設けられ得る。
図5において見て取れるように、カメラ700は、カメラチップ702と協働し、カメラチップに向けられた光からイメージデータを生成し、かかるデータを適切なフォーマットに処理する適切な処理回路706を含んでいる。カメラ700は、前述した通信リンク500によりコントローラ400に接続され、かかる通信リンク500は、カメラとコントローラとの間の双方向通信を可能にする。コントローラ400のプログラムモジュール401、404は、カメラ700を操作するソフトウェアを含み得、望まれるイメージを捕捉する。例えば、コントローラ400におけるソフトウェアは、生成イメージ指示をカメラ700に送信可能なより高度なプログラムであり得る。コントローラにおけるソフトウェアは、どのイメージがコントローラに伝達されるかをカメラ700に指示する。カメラ700の処理回路706は、例えば処理回路の適切な回路に常駐するプログラムモジュール(図示せず)を含み得、コントローラ400から生成イメージ指示を受信すると、カメラチップ702および処理回路706によるイメージ生成を直接操作し実施する。この実施例においては、プロセス回路706は、望まれるならば、コントローラへのイメージの伝達の前に、1つ以上の電子イメージ若しくは電子イメージを形成するデータをバッファする適切なメモリを有し得る。コントローラ400におけるソフトウェアは、カメラからイメージを受信し得、以下において詳しく説明されるように、基板搬送装置のような、カメラ700により像を形成された要素における故障を予測し、トラブルシューティングするためにイメージを使用し得る。コントローラソフトウェアは、カメラ700からのイメージを前述したLPM24のディスプレイ300(図2参照)上に表示し得る。
図13を参照すると、装置10における基板搬送装置40の故障をモニタし、トラブルシューティングするのを助けるために、カメラ700を使用する例示的な方法のグラフ表示が示されている。理解され得るように、カメラ700が、かかるカメラのイメージ範囲内の他の要素/システムをモニタし、トラブルシューティングするために使用されるとき、図13に示し且つ以下において説明される例示的な方法が、実際に適用可能である。図13から見て取れるように、ブロックP1においては、カメラ700が、図13に示した方法を実施するコントローラ400におけるプログラムに従い操作され得、基板搬送装置40の動作部40Aのベースラインイメージフレームを生成する。なぜなら、それは、θ、R動作の全範囲又は望まれる範囲を受けるからである。動作部40Aがカメラ700によるベースラインイメージフレームの生成のために動かされるθ、R動作の望まれる範囲は、ツールのプロセス操作の間、予想されたθ、R動作及び装置40における故障をトラブルシューティングするのを助ける望まれるテスト動作を通常含んでいる。ベースラインイメージフレームは、 動作部40Aのキャリブレーションの後、及び望まれる操作動作を経て動作部40を動かすコントローラ400への「ティーチング」の後に生成され得る。別の実施例においては、ベースラインイメージフレームは任意の時間において取得され得る。コントローラ400及び/若しくはカメラ700の処理回路706におけるソフトウェアにより指示された動作部の動作の間のイメージフレームのタイミング及び頻度は望まれるように設定され得る。例えば、動作部40Aが動作経路の望まれる位置に移動しているとき、カメラ700は、イメージフレームを生成し得、動作部が停止されるか、若しくは関係ない動作データの部分を伝達するとき、カメラ700は、イメージフレームを生成しない待機状態であり得る。別の実施例においては、カメラ700は、動作部40Aが動いている略全ての時間においてイメージフレームを生成するように指示され得る。カメラ700により生成されたイメージジーフレームの頻度は、十分に連続したビデオストリームを形成するのに十分なように望まれるように設定され得る。ベースラインイメージフレームは、コントローラ400の記憶領域に記録され得る。図13におけるブロックP2において、例えば、装置により実施されるプロセスの支持部における動作部40Aの操作動作の間、カメラ700は動作部の操作中のイメージフレームを生成する。操作中のイメージフレームのタイミング及び頻度は、対応するベースフレームラインイメージフレームのタイミング及び頻度に対応する(すなわち、操作中のイメージフレーム及びベースラインイメージフレームは動作部40Aの略同一の動作経路において生成される)。別の実施例においては、操作中のイメージフレームのタイミング及び頻度は、対応するベースフレームラインイメージフレームのタイミング及び頻度と異なり得る(遅い/低い頻度)。この例示的な実施例においては、操作中のイメージフレームは、カメラ700若しくは他の適切なバッファメモリにバッファされ、以下において説明するように、所定の時間においてコントローラに伝達され得る。これはコントローラ400における処理負担を低減する。バッファは、望まれる数のイメージフレームを保存するサイズに形成される。バッファが満たされたとき、バッファされたイメージフレームは消去され得る。動作部40Aの操作の間、コントローラ400は動作部の動作による故障を検出し得る。様々なセンサが、EFEMにおける搬送装置40の動作部40Aに含まれ得、動作部の動作の故障の発生を検出し、コントローラに信号を送る。図13において見て取れるように、ブロックP3においては、もし、動作部40Aの操作動作の間、コントローラ400により検出された故障がないならば、幾つかのバッファされた操作イメージフレームがコントローラ400に周期的にダウンロードされ得る(図13におけるブロックP4参照)。周期的にダウンローダされたイメージフレームは、バッファメモリに存在するイメージフレームから選択されたイメージフレームであり得る。ダウンロードにより選択されたイメージフレームは、動作部の動作の間起こる望まれる状態に対応し、望まれる状態は、例えば、動作部が所定の形態を有し、動作部の駆動部が最大のトルクを伝達し、若しくは動作部のエンドエフェクタが最大の速度若しくは最大の加速度を受けることである。選択されたイメージフレームのダウンロードの周期は、コネクタとの他の通信トラフィックが低減されたとき、動作部40Aの動作サイクル毎、若しくは他の動作サイクル毎のように望まれるように設定され得る。図13のブロックP4におけるコントローラへの伝達の後、ダウンロードされたイメージフレームは、ベースラインイメージフレームと比較され、 動作部40Aの動作における位置のずれを識別する。動作部の位置の差を決定するイメージフレームの比較は、コントローラ400に常駐する適切なアルゴリズムにより実施され得、例えば、ベースラインに対する動作部40Aの動作のずれを発展させる傾向の存在を識別し、ずれが許容可能な境界を越えるときを予測する。ベースライン及び操作イメージフレームの使用を容易にするために、カメラ700により生成された各イメージには、時間タグのような識別子が設けられ得るが、任意の他の識別子が使用され得、各イメージフレームは共通の参照フレームに関連付けられ得る。これは、各イメージフレームが、動作部に対するコントローラ指示の時間及び動作部の駆動時間に関連付けられることを可能にする。
図13において見て取れるように、ブロックP3において、コントローラが、操作動作の間、故障を検出した場合においては、コントローラ400はバッファメモリにおける操作イメージフレームをダウンロードする。コントローラ400は、故障発生の検出の前後の期間において生成され、動作部位置を証明する操作イメージフレームのような選択されたバッファイメージフレームをダウンロードし得るか、若しくは全てのバッファイメージフレームをダウンロードし得る(ブロックP5参照)。ブロックP5においてダウンロードされたイメージフレームは、故障が検出された時間における動作部40Aの位置及び動作部の動作が停止したときを直接識別するために使用され得る。位置情報が、故障をトラブルシューティングし、停止位置から動作部を動かすために動作部に対するコントローラの指示を明らかにするのを助けるために使用され得る。ダウンロードされた操作イメージフレームは、対応するベースラインイメージフレームと比較され、動作部のベースラインからの位置のずれを識別する。前述したように、図13に示した方法は、LPM24のカメラ700が使用され得る適切な方法の1つの例示である。カメラ700は装置10のEFEMの操作を改良する他の方法に使用され得る。望まれるならば、カメラ700は、ユーザインターフェース100を介して入力されたユーザ指示により操作され得、ディスプレイ300上においてリアルタイムのEFEMを見られる。
Claims (17)
- 基板ローディングデバイスであって、
前記デバイスを基板プロセス装置に接続し、基板が前記デバイスと前記プロセス装置との間において搬送される際に通過する搬送開口部を有するフレームと、
前記フレームに接続され、少なくとも1つの基板保持カセットを保持するカセット支持部と、
情報を入力するユーザインターフェースであって、前記フレームと一体化するように前記フレームにマウントされておりかつユーザインタフェースコントローラを有しているユーザインターフェースと、
前記ユーザインタフェースコントローラから独立しかつ前記ユーザインターフェースとは異なり、かつ前記基板ローディングデバイスの制御可能に動作可能なシステムの各々及び前記ユーザインターフェースに通信可能に接続されて、前記ユーザインターフェースとの間で情報を送受信するコントローラと、を含み、
前記ユーザインタフェースコントローラ及び前記情報を送受信するコントローラの両方は、前記基板ローディングデバイスの少なくとも1つの制御可能に動作可能なシステムに通信可能に接続されており、前記情報を送受信するコントローラをバイパスするかまたは前記情報を送受信するコントローラを経由するかのいずれかによって前記少なくとも1つの制御可能に動作可能なシステムの共通の動作をもたらし、前記ユーザインタフェースコントローラは、前記ユーザインターフェースが取り付けられた前記基板ローディングデバイスを制御するために他の異なる基板ローディングデバイスに接続可能な共通ユーザインタフェースコントローラであり、前記異なる基板ローディングデバイスは前記ユーザインターフェースから隔てられていることを特徴とする基板ローディングデバイス。 - 前記ユーザインターフェースはグラフィカルユーザインターフェースであることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記ユーザインターフェースはグラフィカルユーザインターフェースを設けるディスプレイを含んでいることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記ユーザインターフェースはタッチスクリーンディスプレイを含んでいることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記ユーザインターフェースは前記フレームにより支持されることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記フレームに接続され、前記デバイスの操作を実行する少なくとも1つのアクチュエータを更に含み、前記ユーザインターフェースは、前記コントローラを介して前記少なくとも1つのアクチュエータに操作自在に接続され、アクチュエータデータは前記ユーザインターフェース上に表示自在であり、アクチュエータ指示は前記ユーザインターフェースを経て入力され得ることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記情報を送受信するコントローラは、少なくとも1つの前記デバイス若しくは基板プロセス装置の予め決められた状態に関するソフトインターロックを有し、当該ソフトインターロックは予め決められた入力が前記ユーザインターフェースを介して入力されることを防止することを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記ユーザインターフェースは、周辺デバイスを前記ユーザインターフェースに通信自在に接続する接続ポートを有していることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記周辺デバイスは、基板搬送ロボットをティーチングするティーチングデバイスであることを特徴とする請求項8に記載のデバイス。
- 前記接続ポートはワイヤレスポートであることを特徴とする請求項8に記載のデバイス。
- 前記ユーザインターフェースはウィンドウズ(Windows)(登録商標)オペレーティングシステムを用いて電子デバイスと通信し得ることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- フレームに運動自在に接続され、前記搬送開口部を閉成するドアを更に含んでいることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 基板ローディングデバイスであって、
前記デバイスを基板プロセス装置に接続し、基板が前記デバイスと前記プロセス装置との間を搬送される際に通過する搬送開口部を有するフレームと、
前記フレームに接続され、少なくとも1つの基板保持カセットを保持するカセット支持部と、
前記デバイスの所定の特徴に関する情報を表示するディスプレイであって、グラフィカルユーザインターフェースとして機能可能であり、ディスプレイコントローラを含み、かつ前記フレーム内に一体的に設けられて前記基板ローディングデバイス及び前記プロセス装置の他の部分にユニットとして脱着可能なアセンブリを形成するディスプレイと、
前記ディスプレイコントローラから独立しかつ前記ディスプレイコントローラとは異なり、かつ前記基板ローディングデバイスの制御可能に動作可能なシステムの各々及び前記ディスプレイに通信可能に接続されて、前記ディスプレイとの間で情報を送受信するコントローラと、を含み、
前記ディスプレイコントローラ及び前記情報を送受信するコントローラの両方は、前記基板ローディングデバイスの少なくとも1つの制御可能に動作可能なシステムに通信可能に接続されており、前記情報を送受信するコントローラをバイパスするかまたは前記情報を送受信するコントローラを経由するかのいずれかによって前記少なくとも1つの制御可能に動作可能なシステムの共通の動作をもたらし、前記ディスプレイコントローラは、前記ディスプレイが取り付けられた前記基板ローディングデバイスを制御するために他の異なる基板ローディングデバイスに接続可能な共通ディスプレイであり、前記異なる基板ローディングデバイスは前記ディスプレイから隔てられていることを特徴とする基板ローディングデバイス。 - 前記ユーザインターフェースはタッチスクリーンディスプレイを含んでいることを特徴とする請求項13に記載のデバイス。
- 前記グラフィカルユーザインターフェースは、ウィンドウズ(Windows)(登録商標)オペレーティングシステムを用いて電子デバイスと通信可能し得ることを特徴とする請求項13に記載のデバイス。
- 前記デバイスの操作を実施する前記フレームに接続された少なくとも1つのアクチュエータを更に含み、前記ディスプレイは、前記情報を送受信するコントローラを介して前記少なくとも1つのアクチュエータに操作自在に接続され、アクチュエータデータは前記ディスプレイ上に表示自在であり、アクチュエータ指示は前記グラフィカルユーザインターフェースを経て入力され得ることを特徴とする請求項13に記載のデバイス。
- 前記情報を送受信するコントローラは、少なくとも1つの前記デバイス若しくは前記基板プロセス装置の予め決められた状態に関するソフトインターロックを有し、当該ソフトインターロックは予め決められた入力が前記グラフィカルユーザインターフェースを介して入力されることを防止することを特徴とする請求項13に記載のデバイス。
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