JP5705390B1 - ガルバノスキャナ及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図である。ガルバノスキャナ1は、レーザ光源からのレーザ光を加工対象物上で走査させる。ガルバノスキャナ1は、回転体26及び固定体27で構成される。
図8は、本発明の実施の形態2に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図である。実施の形態1と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。実施の形態2に係るガルバノスキャナ20は、フレームケース4に振動吸収部材25が設置されていない。軸方向における回転体26の寸法変化に対し、軸方向において前側軸受8を自在に変位可能とするために、前側軸受8の外周側面19とフレームケース4の内周面41との間に隙間が設けられている。また、実施の形態2においては、スキャンミラー2と回転軸3とを連結する連結部材であるミラーマウント12’は、制振合金で形成されている。ミラーマウント12’に適用可能な制振合金の一例には、Mn−Cu−Ni−Fe合金を挙げることができる。
図9は、本発明の実施の形態3に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図である。実施の形態1と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。実施の形態3に係るガルバノスキャナ30は、フレームケース4に振動吸収部材25が設置されていない。軸方向における回転体26の寸法変化に対し、軸方向において前側軸受8を自在に変位可能とするために、前側軸受8の外周側面19とフレームケース4の内周面41との間に隙間が設けられている。また、実施の形態3においては、スキャンミラー2と回転軸3とを連結する連結部材であるマウント押さえ具13’は、制振合金で形成されている。マウント押さえ具13’に適用可能な制振合金の一例には、Mn−Cu−Ni−Fe合金を挙げることができる。
図10は、本発明の実施の形態4に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図である。実施の形態1と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。実施の形態4においては、ガルバノスキャナ40は、フレームケース4及び振動吸収部材25に貫通孔11a,11bが形成されており、貫通孔11a,11bにはボールプランジャ10が設置されている。
図12は、本発明の実施の形態5に係るレーザ加工装置の構成図である。レーザ加工装置50はパルスレーザ光の照射によって加工対象物に微細穴を穴開け加工する装置である。レーザ加工装置50は、加工対象物に設定された複数の加工位置を順次走査し、各加工位置に対してのレーザ照射を複数サイクルで行う加工処理を実施する。
Claims (7)
- 回転軸を備えた回転体と、
前記回転軸の前側の一端に連結され、入射した光を偏向させるミラーと、
前記回転軸が回転の中心軸となるように前記回転体を回転可能に収容する内部スペースを備えるフレームケースと、
前記内部スペースの前側の端部に配置され、前記回転軸を回転可能に支持する軸受である前側軸受と、
制振合金で形成された筒状の部材であり、前記前側軸受の外周側面との間に隙間を有する状態で前記前側軸受の外周側に内筒面が位置するように前記フレームケースに設置され、前記回転体の回転に伴う前記前側軸受の振動を吸収する振動吸収部材と、
を有することを特徴とするガルバノスキャナ。 - 前記振動吸収部材には、前記回転体の前記回転軸と直交する貫通孔が形成されており、
前記貫通孔には、前記前側軸受の外周面と当接するプランジャが配置されていることを特徴とする請求項1に記載のガルバノスキャナ。 - 回転軸を備えた回転体と、
前記回転軸の前側の一端に連結され、入射した光を偏向させるミラーと、
制振合金で形成され、前記ミラーと前記回転軸とを連結するとともに、前記ミラーの振動を抑制する連結部材と、
前記回転軸が回転の中心軸となるように前記回転体を回転可能に収容する内部スペースを備えるフレームケースと、
前記内部スペースの前側の端部に設けられ、前記回転軸を回転可能に支持する軸受である前側軸受とを有し、
前記連結部材は、前記前側軸受の振動に起因する前記ミラーと前記回転軸との結合部を節とする前記ミラーの振動を抑制することを特徴とするガルバノスキャナ。 - 前記フレームケースには、前記回転軸と直交する貫通孔が形成されており、
前記貫通孔には、前記前側軸受の外周面と当接するプランジャが配置されていることを特徴とする請求項3に記載のガルバノスキャナ。 - 前記制振合金は、Mn−Cu−Ni−Fe合金であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のガルバノスキャナ。
- レーザ光源と、
前記レーザ光源からのレーザ光を加工対象物上で走査させるガルバノスキャナと、を備え、
前記ガルバノスキャナは、
回転軸を備えた回転体と、
前記回転軸の前側の一端に連結され、入射した光を偏向させるミラーと、
前記回転軸が回転の中心軸となるように前記回転体を回転可能に収容する内部スペースを備えるフレームケースと、
前記内部スペースの前側の端部に配置され、前記回転軸を回転可能に支持する軸受である前側軸受と、
制振合金で形成された筒状の部材であり、前記前側軸受の外周側面との間に隙間を有する状態で前記前側軸受の外周側に内筒面が位置するように前記フレームケースに設置され、前記回転体の回転に伴う前記前側軸受の振動を吸収する振動吸収部材とを有することを特徴とするレーザ加工装置。 - レーザ光源と、
前記レーザ光源からのレーザ光を加工対象物にて走査させるガルバノスキャナと、を備え、
前記ガルバノスキャナは、
回転軸を備えた回転体と、
前記回転軸の前側の一端に連結され、入射した光を偏向させるミラーと、
制振合金で形成され、前記ミラーと前記回転軸とを連結するとともに、前記ミラーの振動を抑制する連結部材と、
前記回転軸が回転の中心軸となるように前記回転体を回転可能に収容する内部スペースを備えるフレームケースと、
前記内部スペースの前側の端部に設けられ、前記回転軸を回転可能に支持する軸受である前側軸受とを有し、
前記連結部材は、前記前側軸受の振動に起因する前記ミラーと前記回転軸との結合部を節とする前記ミラーの振動を抑制することを特徴とするレーザ加工装置。
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