JP2009192626A - 走査型顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【課題】走査手段の振動に起因する騒音の発生を抑えた走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】光源2からの光を走査するための走査手段8と、走査手段8を経た光を試料5に集光する対物レンズ13と、試料5からの光を対物レンズ13を介して検出する検出器6とを有する走査型顕微鏡1において、走査手段8は、振動の減衰係数が1よりも大きな材料からなる振動減衰部品20を介して筐体3aに取り付けられていることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】光源2からの光を走査するための走査手段8と、走査手段8を経た光を試料5に集光する対物レンズ13と、試料5からの光を対物レンズ13を介して検出する検出器6とを有する走査型顕微鏡1において、走査手段8は、振動の減衰係数が1よりも大きな材料からなる振動減衰部品20を介して筐体3aに取り付けられていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、走査型顕微鏡に関する。
従来、試料上に集光したレーザ光を走査手段によって二次元的に走査し、試料から発生した蛍光を対物レンズの焦点と共役な位置に配したピンホールを通過させて検出する構成のレーザ走査型共焦点顕微鏡が知られている(例えば、特許文献1を参照。)。そして斯かるレーザ走査型共焦点顕微鏡の走査手段には、一般にガルバノスキャナや共振型スキャナが用いられている。ガルバノスキャナは、数百Hzの周波数でミラーを振動させてレーザ光を走査するものであり、走査信号は純粋なサイン波ではなくより高次の周波数成分を含んだ波形である。また共振型スキャナは、数kHzの周波数でミラーを振動させてレーザ光を走査するものである。
特開2006−119643号公報
しかしながら従来のレーザ走査型共焦点顕微鏡においては、上述した走査手段の振動が走査手段の設けられている筐体へ伝わり、これによって筐体が振動しその結果可聴域の騒音が発生することとなってしまうという問題がある。ここで、筐体は通常、軽量化、低コスト化、加工性等の観点からアルミ合金で作製されており、このアルミ合金の振動に対する減衰係数は1以下である。このため筐体は、走査手段からの振動によりこれを殆ど減衰することなく振動することとなってしまう。
そこで本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、走査手段の振動に起因する騒音の発生を抑えた走査型顕微鏡を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために本発明は、
光源からの光を走査するための走査手段と、前記走査手段を経た光を試料に集光する対物レンズと、前記試料からの光を前記対物レンズを介して検出する検出器とを有する走査型顕微鏡において、
前記走査手段は、振動の減衰係数が1よりも大きな材料からなる振動減衰部品を介して筐体に取り付けられていることを特徴とする走査型顕微鏡を提供する。
光源からの光を走査するための走査手段と、前記走査手段を経た光を試料に集光する対物レンズと、前記試料からの光を前記対物レンズを介して検出する検出器とを有する走査型顕微鏡において、
前記走査手段は、振動の減衰係数が1よりも大きな材料からなる振動減衰部品を介して筐体に取り付けられていることを特徴とする走査型顕微鏡を提供する。
本発明によれば、走査手段の振動に起因する騒音の発生を抑えた走査型顕微鏡を提供することができる。
以下、本発明の各実施形態に係る走査型顕微鏡を添付図面に基づいて詳細に説明する。
(第1実施形態)
はじめに、本実施形態に係る走査型顕微鏡の全体的な構成を説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る走査型顕微鏡の全体構成を示す図である。
本走査型顕微鏡1は、レーザ走査型の共焦点顕微鏡であって、図1に示すようにレーザ光を供給するレーザ光源2と、該レーザ光源2からのレーザ光を走査するスキャナヘッド3と、顕微鏡本体4と、試料5からの観察光(蛍光)を検出する光検出器6と、本走査型顕微鏡1の各部を制御するコンピュータ7とを備えている。
(第1実施形態)
はじめに、本実施形態に係る走査型顕微鏡の全体的な構成を説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る走査型顕微鏡の全体構成を示す図である。
本走査型顕微鏡1は、レーザ走査型の共焦点顕微鏡であって、図1に示すようにレーザ光を供給するレーザ光源2と、該レーザ光源2からのレーザ光を走査するスキャナヘッド3と、顕微鏡本体4と、試料5からの観察光(蛍光)を検出する光検出器6と、本走査型顕微鏡1の各部を制御するコンピュータ7とを備えている。
スキャナヘッド3は、光を二次元的に走査するガルバノスキャナ8と、ミラー9と、後記対物レンズ13の焦点と共役な位置に配置されたピンホール10と、反射プリズム11とを、アルミ合金で作製された筐体3a内に有する。このスキャナヘッド3は、顕微鏡本体4の上部に取り付けられており、レーザ光源2及び光検出器6とは光ファイバ12a,12bを介して接続されている。
また図1に示すように、顕微鏡本体4は、スキャナヘッド3側から順に、対物レンズ13と、試料5を載置するステージ14とを備えており、さらにコンピュータ7にはモニタ15が接続されている。
また図1に示すように、顕微鏡本体4は、スキャナヘッド3側から順に、対物レンズ13と、試料5を載置するステージ14とを備えており、さらにコンピュータ7にはモニタ15が接続されている。
斯かる構成の下、レーザ光源2から発せられたレーザ光は、スキャナヘッド3を介して顕微鏡本体4へ導かれ、該顕微鏡本体4において対物レンズ13を経てステージ14上の試料5に照射される。そしてこれによって試料5から発せられた観察光は、再び対物レンズ13を経た後、スキャナヘッド3を介して光検出器6へ入力される。ここで、試料5に照射されるレーザ光は、スキャナヘッド3内のガルバノスキャナ8によって二次元的に走査されるため、光検出器6では試料5の観察領域全体にわたって観察光が検出されることとなる。これによりコンピュータ7は、光検出器6から観察光の検出信号を取得し、これに基づいて試料5の二次元画像を生成しモニタ15に表示させる。このようにして本走査型顕微鏡1の使用者は、試料5の共焦点画像を観察することが可能となる。
以下、本実施形態において最も特徴的なスキャナヘッド3について詳細に説明する。
図2(a)は、本発明の第1実施形態に係る走査型顕微鏡におけるスキャナヘッドの構成を示す拡大図である。なお、スキャナヘッド3の筐体3a内には、ガルバノスキャナ8等の上述した光学部品とこれらを駆動するためのアクチュエータや電気基板等が設けられているが、本図においてはガルバノスキャナ8のみを図示している。またガルバノスキャナ8は、光を二次元的に走査するべくX方向走査用及びY方向走査用として2つ筐体3a内に備えられているが、簡単のために一方のみを図示している。
図2(a)は、本発明の第1実施形態に係る走査型顕微鏡におけるスキャナヘッドの構成を示す拡大図である。なお、スキャナヘッド3の筐体3a内には、ガルバノスキャナ8等の上述した光学部品とこれらを駆動するためのアクチュエータや電気基板等が設けられているが、本図においてはガルバノスキャナ8のみを図示している。またガルバノスキャナ8は、光を二次元的に走査するべくX方向走査用及びY方向走査用として2つ筐体3a内に備えられているが、簡単のために一方のみを図示している。
本実施形態のガルバノスキャナ8は、先端にミラー8aが取り付けられた回動軸8bとこれを回動させるための駆動部8cとからなり、回動軸8bを保持部品20に貫通させてネジ21で固定することで該保持部品20に取り付けられている。
保持部品20は、ガルバノスキャナ8を保持するための部品であって、制振合金であるマグネシウム合金(本実施形態ではMg-Zn合金)を材料として作製されている。この保持部品20は、図2(b)に示すように下部にネジ固定用の凸部20aを有するブロック形状をしており、スキャナヘッド3の筐体3a底面にネジ22で固定されている。
保持部品20は、ガルバノスキャナ8を保持するための部品であって、制振合金であるマグネシウム合金(本実施形態ではMg-Zn合金)を材料として作製されている。この保持部品20は、図2(b)に示すように下部にネジ固定用の凸部20aを有するブロック形状をしており、スキャナヘッド3の筐体3a底面にネジ22で固定されている。
このようにガルバノスキャナ8は、保持部品20を介してスキャナヘッド3の筐体3a底面に取り付けられている。ここで、保持部品20を構成するマグネシウム合金は、図3に示すように振動の減衰係数が50以上であり、金属材料の中で最も大きな減衰係数を有するものの一つである。したがって、ガルバノスキャナ8の駆動によって振動が発生しても、この振動は保持部品20へ伝わり該保持部品20の内部で効果的に減衰されることとなる。すなわち、ガルバノスキャナ8からの振動が筐体3aまで伝わることを効果的に軽減することができるため、筐体3aの振動を抑え騒音の発生を大幅に抑えることができる。なお、本実施形態の具体的な例では5dB程度の騒音レベルの低下を実現することができる。
以上より本実施形態に係る走査型顕微鏡1は、ガルバノスキャナ8の振動に起因する騒音の発生を効果的に抑えることができる。
なお、本実施形態では保持部品20を構成する材料としてマグネシウム合金を用いているが、これに限られず振動の減衰係数が1よりも大きな材料、例えば図3に示すマグネシウム合金以外の制振合金等を用いることもできる。なお、振動の減衰係数が1以下の材料で保持部品20を作製すれば、ガルバノスキャナ8からの振動を増幅してしまうこととなるため好ましくない。特に、振動の減衰係数が10以上の材料で保持部品20を作製すれば振動を効果的に減衰することができるので好ましい。
なお、本実施形態では保持部品20を構成する材料としてマグネシウム合金を用いているが、これに限られず振動の減衰係数が1よりも大きな材料、例えば図3に示すマグネシウム合金以外の制振合金等を用いることもできる。なお、振動の減衰係数が1以下の材料で保持部品20を作製すれば、ガルバノスキャナ8からの振動を増幅してしまうこととなるため好ましくない。特に、振動の減衰係数が10以上の材料で保持部品20を作製すれば振動を効果的に減衰することができるので好ましい。
(第2実施形態)
本実施形態に係る走査型顕微鏡について、上記第1実施形態と同様の構成の部分には同じ符号を付してその説明を省略し、異なる構成の部分について詳細に説明する。
図4(a)は、本発明の第2実施形態に係る走査型顕微鏡におけるスキャナヘッドの構成を示す拡大図である。
本実施形態に係る走査型顕微鏡について、上記第1実施形態と同様の構成の部分には同じ符号を付してその説明を省略し、異なる構成の部分について詳細に説明する。
図4(a)は、本発明の第2実施形態に係る走査型顕微鏡におけるスキャナヘッドの構成を示す拡大図である。
本実施形態のガルバノスキャナ8は、回動軸8bを保持部品25に貫通させてネジ21で固定することで該保持部品25に取り付けられている。
保持部品25は、ガルバノスキャナ8を保持するためのブロック形状の部品であって、加工性に優れたアルミ合金で作製されており、スペーサ26に対してネジ27で固定されている。
保持部品25は、ガルバノスキャナ8を保持するためのブロック形状の部品であって、加工性に優れたアルミ合金で作製されており、スペーサ26に対してネジ27で固定されている。
スペーサ26は、ガルバノスキャナ8からの振動を減衰するための部品であって、マグネシウム合金(本実施形態ではMg-Zn合金)で作製されており、図4(b)に示すように下部にネジ固定用の凸部26aを有するブロック形状をしている。このスペーサ26の厚みHは、ガルバノスキャナ8からの振動を効果的に減衰可能なスペーサ26の体積を確保するために極力大きいことが好ましく、本実施形態においては具体的な例として20mmとしている。斯かる構成のスペーサ26は、スキャナヘッド3の筐体3a底面にネジ28で固定されている。
このようにガルバノスキャナ8は、保持部品25及びスペーサ26を介してスキャナヘッド3の筐体3a底面に取り付けられている。斯かる構成により、ガルバノスキャナ8の駆動によって振動が発生しても、この振動は保持部品25を経由してスペーサ26へ伝わり該スペーサ26の内部で効果的に減衰されることとなり、上記第1実施形態と同様に筐体3aの振動を抑え騒音の発生を大幅に抑えることができる。
なお、上述のようにスペーサ26を筐体3a底面に固定するためのネジ28と、ガルバノスキャナ8を保持するための保持部品25をスペーサ26に固定するためのネジ27とを別々に設けたことにより、ガルバノスキャナ8からの振動がネジ27を経由して筐体3aへ直接伝わることを防ぐことができる。
なお、上述のようにスペーサ26を筐体3a底面に固定するためのネジ28と、ガルバノスキャナ8を保持するための保持部品25をスペーサ26に固定するためのネジ27とを別々に設けたことにより、ガルバノスキャナ8からの振動がネジ27を経由して筐体3aへ直接伝わることを防ぐことができる。
以上より本実施形態に係る走査型顕微鏡は、ガルバノスキャナ8の振動に起因する騒音の発生を効果的に抑えることができる。また、複雑な加工を要する保持部品25をアルミ合金で作製することにより、加工精度の向上及び低コスト化を図ることができる。
なお、本実施形態ではスペーサ26を構成する材料としてマグネシウム合金を用いているが、これに限られず上記第1実施形態と同様に、振動の減衰係数が1よりも大きなその他の材料を用いることもできる。
なお、本実施形態ではスペーサ26を構成する材料としてマグネシウム合金を用いているが、これに限られず上記第1実施形態と同様に、振動の減衰係数が1よりも大きなその他の材料を用いることもできる。
なお、上記各実施形態では、光を二次元的に走査するための走査手段としてガルバノスキャナ8を備えた走査型顕微鏡を例示しているが、本発明はこれに限られるものでなく、振動を発生するその他の走査手段(例えば、共振型スキャナ等)を備えた走査型顕微鏡に適用することもできる。
また、上記各実施形態におけるスキャナヘッド3の筐体3aは、上述のようにアルミ合金で構成されているが、これに限られず上記第1実施形態の保持部品20や上記第2実施形態のスペーサ26と同様に振動の減衰係数が1よりも大きなその他の材料、特に好ましくはマグネシウム合金で構成すれば、本発明の効果を最大限に発揮することができる。
また、上記各実施形態におけるスキャナヘッド3の筐体3aは、上述のようにアルミ合金で構成されているが、これに限られず上記第1実施形態の保持部品20や上記第2実施形態のスペーサ26と同様に振動の減衰係数が1よりも大きなその他の材料、特に好ましくはマグネシウム合金で構成すれば、本発明の効果を最大限に発揮することができる。
1 走査型顕微鏡
2 レーザ光源
3 スキャナヘッド
3a 筐体
4 顕微鏡本体
5 試料
6 光検出器
7 コンピュータ
8 ガルバノスキャナ
10 ピンホール
13 対物レンズ
20,25 保持部品
26 スペーサ
2 レーザ光源
3 スキャナヘッド
3a 筐体
4 顕微鏡本体
5 試料
6 光検出器
7 コンピュータ
8 ガルバノスキャナ
10 ピンホール
13 対物レンズ
20,25 保持部品
26 スペーサ
Claims (6)
- 光源からの光を走査するための走査手段と、前記走査手段を経た光を試料に集光する対物レンズと、前記試料からの光を前記対物レンズを介して検出する検出器とを有する走査型顕微鏡において、
前記走査手段は、振動の減衰係数が1よりも大きな材料からなる振動減衰部品を介して筐体に取り付けられていることを特徴とする走査型顕微鏡。 - 前記振動減衰部品は、前記筐体に固定され前記走査手段を保持する保持部品であることを特徴とする請求項1に記載の走査型顕微鏡。
- 前記振動減衰部品は、前記走査手段を保持する保持部品と前記筐体との間に設けられたスペーサであることを特徴とする請求項1に記載の走査型顕微鏡。
- 前記走査手段として、ガルバノスキャナ又は共振型のスキャナを有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。
- 前記材料は、マグネシウム合金であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。
- 前記筐体は、振動の減衰係数が1よりも大きな材料からなることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008030781A JP2009192626A (ja) | 2008-02-12 | 2008-02-12 | 走査型顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008030781A JP2009192626A (ja) | 2008-02-12 | 2008-02-12 | 走査型顕微鏡 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009192626A true JP2009192626A (ja) | 2009-08-27 |
Family
ID=41074722
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008030781A Withdrawn JP2009192626A (ja) | 2008-02-12 | 2008-02-12 | 走査型顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009192626A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5705390B1 (ja) * | 2014-07-31 | 2015-04-22 | 三菱電機株式会社 | ガルバノスキャナ及びレーザ加工装置 |
JP2020124351A (ja) * | 2019-02-04 | 2020-08-20 | 株式会社ニデック | 眼科装置 |
-
2008
- 2008-02-12 JP JP2008030781A patent/JP2009192626A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5705390B1 (ja) * | 2014-07-31 | 2015-04-22 | 三菱電機株式会社 | ガルバノスキャナ及びレーザ加工装置 |
WO2016017019A1 (ja) * | 2014-07-31 | 2016-02-04 | 三菱電機株式会社 | ガルバノスキャナ及びレーザ加工装置 |
CN106662741A (zh) * | 2014-07-31 | 2017-05-10 | 三菱电机株式会社 | 电扫描器及激光加工装置 |
CN106662741B (zh) * | 2014-07-31 | 2018-05-29 | 三菱电机株式会社 | 电扫描器及激光加工装置 |
JP2020124351A (ja) * | 2019-02-04 | 2020-08-20 | 株式会社ニデック | 眼科装置 |
JP7283097B2 (ja) | 2019-02-04 | 2023-05-30 | 株式会社ニデック | 眼科装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20110510 |