JP5624141B2 - 有機el素子 - Google Patents
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- H05B33/22—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of auxiliary dielectric or reflective layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
Description
本発明の一態様である有機EL素子は、陽極と陰極との間に、有機材料を含んでなる機能層と、前記機能層にホールを注入するためのホール注入層と、を有する有機EL素子であって、前記ホール注入層は金属酸化物を含む金属酸化物膜であり、前記金属酸化物を構成する金属元素は、当該金属元素が取り得る最大価数の状態および当該最大価数よりも低い価数の状態で前記金属酸化物膜に含まれ、かつ、前記金属酸化物膜は、粒径がナノメートルオーダーの大きさである前記金属酸化物の結晶を含む構成とした。
〈有機EL素子の構成〉
図1(a)は、本実施の形態に係る有機EL素子1の構成を示す模式的な断面図であり、図1(b)はホール注入層3付近の部分拡大図である。
基板7は有機EL素子1の基材となる部分であり、例えば、無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、またはアルミナ等の絶縁性材料のいずれかで形成することができる。
ホール注入層3は、例えば、厚さ30nmの酸化タングステン膜(WOx)からなる。酸化タングステンは、その組成式WOxにおいて、xが概ね2<x<3の範囲における実数である。ホール注入層3はできるだけ酸化タングステンのみで構成されることが望ましいが、通常レベルで混入し得る程度に、微量の不純物が含まれていてもよい。
有機EL素子1はホール注入層3以外にも、有機EL素子1に必要な、所要機能を果たす機能層が存在する。本発明における機能層は、ホールを輸送するホール輸送層、注入されたホールと電子とが再結合することにより発光する発光層、光学特性の調整または電子ブロックの用途に用いられるバッファ層等のいずれか、もしくはこれらの層を2層以上の組み合わせた層、またはこれらの層の全てを含む層を指す。本実施の形態では、機能層として、バッファ層4および発光層5を含む例を説明する。
陰極6は、例えば、厚さ5nmのバリウム層6aと、厚さ100nmのアルミニウム層6bを積層して構成される。前述した陽極2および陰極6には直流電源8が接続され、外部より有機EL素子1に給電されるようになっている。
次に、図1に基づき有機EL素子1の全体的な製造方法を例示する。
(ホール注入層3の成膜条件について)
本実施の形態では、ホール注入層3を構成する酸化タングステンを所定の成膜条件で成膜することで、ホール注入層3にナノクリスタル構造を意図的に存在させることによりホール伝導性を向上させ、有機EL素子1を低電圧駆動できるようにしている。この所定の成膜条件について詳細に説明する。
ここで、スパッタ成膜における成膜レートは、上述した(1)〜(4)の条件に依存すると考えられる。そして、後述する実験を行った結果、(1)〜(4)が上記の数値範囲を取る場合、駆動電圧が低減されることを確認しており、このことにより、結晶性の高い酸化タングステン膜が得られていることになる。
また、上記(2)に関し、スパッタガス全圧に対する酸素ガス分圧の割合は50%に設定されているが、少なくとも50%以上70%以下において、駆動電圧の低減が確認されている。
本実施の形態の有機EL素子1のホール注入層3を構成する酸化タングステンには、上述したナノクリスタル構造が存在している。このナノクリスタル構造は、先の実験で示した成膜条件の調整により形成されるものである。詳細を以下に述べる。
測定」と記載する。)実験を行った。ここで、一般に硬X線光電子分光スペクトル(以
下、単に「XPSスペクトル」と記載する。)は、測定対象物の表面と、光電子を取り出す検出器において光電子を検出する方向とがなす角度によって、膜の平均価数を反映する情報深さが決まる。そこで本実験では、XPS測定における光電子検出方向と、酸化タングステン膜の表面のなす角度が40°となる条件で測定を行い、酸化タングステン膜の厚み方向の平均の価数の状態を観察するものとした。
使用機器 :R−4000(VG−SCIENTA社製)
光源 :シンクロトロン放射光(7856eV)
バイアス :なし
出射角 :基板表面とのなす角が40°
測定点間隔:0.05eV
表1に示すA〜Eの各成膜条件でXPS測定用のサンプルを作製した。ガラス上に成膜されたITO導電性基板の上に、厚さ30nmのホール注入層3を、前記の反応性スパッタ法により成膜することにより、XPS測定用のサンプルとした。以降、成膜条件A、B、C、D、Eで作製したXPS測定用サンプルを、それぞれサンプルA、サンプルB、サンプルC、サンプルD、サンプルEと称する。続いて、サンプルA〜Eの各ホール注入層3の表面に対してXPS測定を行った。その結果のスペクトルを図5に示す。
ピークフィッティング解析は以下のようにして行った。
前述の成膜条件A〜Dで成膜した酸化タングステンには、その電子状態において、価電子帯の上端、すなわち価電子帯で最も低い結合エネルギーよりも、1.8〜3.6eV低い結合エネルギー領域内に占有準位が存在している。この占有準位がホール注入層3の最高占有準位に該当し、すなわち、その結合エネルギー範囲はホール注入層3のフェルミ面に最も近い。以降、この占有準位を「フェルミ面近傍の占有準位」と称する。
使用機器 :走査型X線光電子分光分析装置 PHI5000 VersaPro
be(アルバック・ファイ社製)
光源 :He I線
バイアス:なし
出射角 :基板法線方向
測定点間隔:0.05eV
図7に、サンプルAにおけるホール注入層3表面のUPSスペクトルを示す。横軸の結合エネルギーの原点は基板7のフェルミ面とし、左方向を正の向きとした。以下、図7を用いて、ホール注入層3の各占有準位について説明する。
stateあるいはgap state)である。
図9は酸化タングステン膜表面の構造を説明するための図である。ここでは酸化タングステンとして三酸化タングステン(WO3)を例に挙げて説明する。図9に示すように、酸化タングステンの単結晶は、酸素原子がタングステン原子に対し8面体配位で結合したルチル構造を基本構造に持つ。なお、図9では、単純化のために三酸化タングステン単結晶をルチル構造で示しているが、実際は歪んだルチル構造である。
ホール注入層3を構成する酸化タングステン膜には、ナノクリスタル構造が存在している。このナノクリスタル構造は、成膜条件の調整により形成されるものである。詳細を以下に述べる。
使用機器:Quanta200(FEI社製)
加速電圧:30kV(最終仕上げ5kV)
薄片膜厚:〜50nm
(TEM観察条件)
使用機器:トプコンEM−002B(トプコンテクノハウス社製)
観察方法:高分解能電子顕微鏡法
加速電圧:200kV
図10に、サンプルA、B、C、D、Eのホール注入層3断面のTEM観察写真を示す。写真のスケールは、写真内に記載したスケールバーに従い、TEM写真の表示サイズは560×560ピクセルで表示している。また、図10で示すTEM観察写真は、黒暗部から薄明部までを256階調に平均分割し表示している。
一方、成膜条件A〜Dで作製した酸化タングステン膜においては、膜全体においてルチル構造が秩序性を持って存在している。その秩序性を持った部分がナノクリスタルに由来するものと考えられる。ナノクリスタルが存在する部分では、ルチル構造が秩序性を有しているものの、ルチル構造の断絶部分が多く存在する。この断絶部分がナノクリスタルの結晶粒界に相当する。結晶粒界では酸素の不足、つまり酸素欠陥が生じ、それに伴って5価のタングステン原子の量が多くなる。結果として、ホール伝導経路となる部位が増え、低電圧駆動が実現されるものと考えられる。
上述しているように、酸化タングステンの単結晶は酸素原子がタングステン原子に対し8面体配位で結合した、歪んだルチル構造を基本構造としていると考えられる。このルチル構造が秩序性を持たずに膜化した場合はアモルファス構造となり、ルチル構造が秩序性を持って膜化した場合はナノクリスタル構造になると考えられる。
(1)上記実施の形態においては、ホール注入層としてDCスパッタで成膜した酸化タングステン膜を例として示したが、成膜方法および酸化物金属種はそれに限定されない。他の成膜方法としては例えば蒸着法、CVD法等が挙げられる。また、上記実施の形態においては、ホール注入層を酸化タングステンで構成する例を説明したが、酸化タングステン以外にも、例えば、酸化モリブデン(MoOx)、モリブデン−タングステン酸化物(MoxWyOz)等の金属酸化物、金属窒化物又は金属酸窒化物で構成することもできる。
を、有機EL表示装置に適用することもできる。有機EL表示装置は、例えば、有機ELディスプレイ等に利用することが可能である。
1A ホールオンリー素子
2 陽極
3 ホール注入層
4 バッファ層(機能層)
5 発光層(機能層)
6 陰極
6a バリウム層
6b アルミニウム層
6A 陰極(金層)
7 基板
8 直流電源
9 ナノクリタル
10 ホール
11 偏析した結晶
12 アモルファス部分
Claims (22)
- 陽極と陰極との間に、有機材料を含んでなる機能層と、前記機能層にホールを注入するためのホール注入層と、を有する有機EL素子であって、
前記ホール注入層は金属酸化物膜であり、
前記金属酸化物を構成する金属元素は、当該金属元素が取り得る最大価数の状態および当該最大価数よりも低い価数の状態で前記金属酸化物膜に含まれ、かつ、
前記金属酸化物膜は、粒径がナノメートルオーダーの大きさである前記金属酸化物の結晶を複数含み、
前記金属酸化物膜の膜厚方向における一方の面から他方の面に亘って、少なくとも1箇所で、前記複数の結晶の粒界が繋がっている
ことを特徴とする有機EL素子。 - 前記金属酸化物は酸化タングステンであり、
前記最大価数の状態の前記金属元素は6価のタングステン元素である、
ことを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子。 - 前記最大価数よりも低い価数の前記金属元素は、5価のタングステン元素である
ことを特徴とする請求項2に記載の有機EL素子。 - 前記5価のタングステン元素の原子数を、前記6価のタングステン元素の原子数で割った値であるW5+/W6+が3.2%以上である
ことを特徴とする請求項3に記載の有機EL素子。 - 前記W5+/W6+が3.2%以上7.4%以下である
ことを特徴とする請求項4に記載の有機EL素子。 - 前記酸化タングステン膜表面の硬X線光電子分光スペクトルにおいて、6価のタングステンの4f7/2準位に対応した第1ピークよりも低い結合エネルギー領域に第2ピークが存在する
ことを特徴とする請求項2に記載の有機EL素子。 - 前記第2ピークは、前記第1ピークの結合エネルギー値よりも0.3〜1.8eV低い結合エネルギー領域に存在する
ことを特徴とする請求項6に記載の有機EL素子。 - 前記第2ピークの面積強度は、前記第1ピークの面積強度に対して、3.2〜7.4%である
ことを特徴とする請求項6、7のいずれか一項に記載の有機EL素子。 - 前記最大価数よりも低い価数の状態のタングステン元素の存在によって、前記ホール注入層のバンド構造には、価電子帯で最も低い結合エネルギーよりも1.8〜3.6eV低い結合エネルギー領域内に占有準位を有している
ことを特徴とする請求項2〜8のいずれか一項に記載の有機EL素子。 - 前記酸化タングステン膜は、粒径が3〜10ナノメートルの大きさである前記酸化タングステンの結晶を複数個含む
ことを特徴とする請求項2〜9のいずれか一項に記載の有機EL素子。 - 前記酸化タングステン膜断面の透過型電子顕微鏡観察による格子像において、1.85〜5.55Åの間隔で規則的に配列した線状構造が現れる
ことを特徴とする請求項2〜10のいずれか一項に記載の有機EL素子。 - 前記格子像の2次元フーリエ変換像において、当該2次元フーリエ変換像の中心点を中心とした同心円状の模様が現れる
ことを特徴とする請求項11に記載の有機EL素子。 - 前記中心点からの距離と、前記距離における前記2次元フーリエ変換像の輝度を規格化した数値である規格化輝度との関係を表すプロットにおいて、前記規格化輝度のピークが1以上現れる
ことを特徴とする請求項12に記載の有機EL素子。 - 前記プロットにおける前記中心点から最も近くに現れる前記規格化輝度のピークの位置に対応する前記距離と、前記規格化輝度のピークの立ち上がり位置に対応する前記距離との差をピーク幅とし、
前記中心点に対応する前記距離と、前記中心点から最も近くに現れる前記規格化輝度のピークに対応する前記距離との差を100とした時の前記ピーク幅が22よりも小さい
ことを特徴とする請求項13に記載の有機EL素子。 - 前記機能層は、アミン系材料を含んでいることを特徴とする請求項1〜14のいずれか一項に記載の有機EL素子。
- 前記機能層は、ホールを輸送するホール輸送層、注入されたホールと電子とが再結合することにより発光する発光層、光学特性の調整又は電子ブロックの用途に用いられるバッファ層のいずれかである
ことを特徴とする請求項1〜15のいずれか一項に記載の有機EL素子。 - 前記ホール注入層は、前記一方の面が前記陽極に接触し、前記他方の面が前記機能層に接触し、
前記陽極に接する前記一方の面から前記機能層に接する前記他方の面に亘って、少なくとも1箇所で、前記複数の結晶の粒界が繋がっている
ことを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子。 - 請求項1〜17のいずれか一項に記載の有機EL素子を備える有機ELパネル。
- 請求項1〜17のいずれか一項に記載の有機EL素子を備える有機EL発光装置。
- 請求項1〜17のいずれか一項に記載の有機EL素子を備える有機EL表示装置。
- 陽極を準備する第1工程と、
前記陽極上に酸化タングステン膜を成膜する第2工程であって、アルゴンガスと酸素ガスからなるスパッタガス、および、タングステンからなるターゲットを用い、前記スパッタガスの全圧が2.3Pa以上7.0Pa以下であるとともに、前記スパッタガスの全圧に対する前記酸素ガス分圧の割合が50%以上70%以下であり、かつ、前記ターゲットの単位面積当たりの投入電力である投入電力密度が1.5W/cm 2 以上6.0W/cm 2 以下であり、かつ、前記スパッタガスの全圧を投入電力密度で割った値である全圧/投入電力密度が0.7Pa・cm 2 /Wよりも大きい成膜条件により、タングステン元素が、当該タングステン元素が取り得る最大価数の状態および前記最大価数よりも低い価数の状態で含まれ、かつ、粒径がナノメートルオーダーの大きさである酸化タングステンの結晶が含まれる酸化タングステン膜を成膜する第2工程と、
前記成膜された酸化タングステン膜上に有機材料を含んでなる機能層を形成する第3工程と、
前記機能層の上方に、陰極を形成する第4工程と、
を含むことを特徴とする有機EL素子の製造方法。 - 前記第2工程は、前記全圧/投入電力密度が3.2Pa・cm2/Wよりも小さい
ことを特徴とする請求項21に記載の有機EL素子の製造方法。
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