JP5398223B2 - 処理液槽のゲート装置 - Google Patents

Description

本発明は、電気めっき装置等のように、めっき液等の処理液を貯留可能な処理液槽に設けられるゲート装置に関し、特に、ワーク搬送装置により垂直状態で保持された板状ワークを、昇降させることなく処理液槽内に搬入し又は搬出することができるワーク通過口を開閉自在に有する処理液槽のゲート装置に関する。

処理液槽のワーク通過用のゲート装置として、特許文献１及び２に記載された装置がある。これらのゲート装置は、板状ワークが垂直姿勢で通過可能なスリット状のワーク通過口と、該ワーク通過口を開閉するスライド可能な板状のゲート板部材とを備えると共に、該ゲート部材を開位置と閉位置との間で移動させるために、モータ及び減速ギヤ機構を有する機械的な駆動機構を備えている。

しかし、上記従来技術では、モータや減速ギヤ機構等で機械的にゲート部材を駆動する駆動機構にコストがかかり、また、駆動機構が処理液に浸漬するのを防ぐためのシール構造も複雑になる。

これらの従来構造に対し、本件出願人は、膨張伸縮自在な袋状のゲート部材を備えたゲート装置を開発しており（特許文献３）、これにより、ゲート部材及びその駆動機構の構造を簡素化し、コストを低減すると共に、処理液に浸漬することによる不具合を解消している。
特開２００４−９９９５７号公報 特開２００２−３２７２９６号公報 特開２００７−１１３０６６号公報

特許文献３のゲート装置は、袋状のゲート部材により、ワーク通過口を直接開閉する構成であり、しかも、袋状のゲート部材の一部の側面を、ゲート部材支持壁の隙間から膨出させて、ワーク通過口を閉じるように構成しているので、ゲート装置の開閉の度に、袋状ゲート部材が前記隙間の内面と擦れ合い、それがゲート部材の寿命を低下させる原因となっている。また、袋状ゲート部材同士の密着でワーク通過口を閉じているので、長期間の使用に対し、ワーク通過口の全長に亘って密封状態を維持するのは困難であった。

本発明の目的は、ゲート部材の駆動機構として、膨張収縮可能な一対のチューブ部材を用いることにより、長期間、密封性を高く維持し、駆動機構を簡素化し、かつ、処理液による駆動機構の機能低下を防止できるようにすることである。
コストを低減することである。

前記課題を解決するため、本発明は、板状ワークが通過可能なワーク通過口を有する処理液槽のゲート装置において、上記ワーク通過口を閉じる閉位置と上記ワーク通過口を開く開位置との間で位置変更可能な可動ゲート部材と、前記可動ゲート部材を閉位置と開位置との間で移動させる駆動機構と、を備え、該駆動機構は、前記可動ゲート部材と一体的に移動するスライド部と、該スライド部の移動方向の両側に配置された膨張収縮可能な一対のチューブ部材と、を備え、一方のチューブ部材を膨張させると共に他方のチューブ部材を収縮させることにより、前記スライド部と共に可動ゲート部材を開位置へ移動させ、一方のチューブ部材を収縮させると共に他方のチューブ部材を膨張させることにより、前記スライド部と共に可動ゲート部材を閉位置へ移動させるように、構成されている。

上記構成によると、従来のように、ワークを垂直状態又は水平状態で保持して、ワークを昇降させることなく浸漬槽に導入又は搬出できることはもとより、可動ゲート部材の駆動機構を簡素化し、コストの低減を達成することができる。しかも、駆動機構が処理液に浸漬しても、駆動機構の機能低下の虞がない。

本発明は、上記構成において、好ましくは、前記チューブ部材は、弾性材でできている。

上記構成によると、空圧等を利用して両チューブ部材を膨張及び収縮させるので、可動両ゲート部材の移動を敏速に行うことができ、開閉制御の応答性が向上する。また、何らかの原因により、開閉途中でゲート部材が停止した場合、仮にチューブ部材の膨張動作が継続していても、チューブ部材自体の弾性により、チューブ部材の破損を防ぐことができる。

本発明は、上記構成において、前記ゲート部材及び前記駆動機構を支持するゲート装置本体は、前記処理液槽の縦壁に、着脱自在に取り付けられている。

上記構成によると、処理液槽からゲート装置を取り外すことにより、ゲート装置のメンテナンス及び清掃を容易に行うことができる。また、ゲート装置を、ワークの形状に合わせた仕様のものに、交換することもできる。

本発明は、上記着脱自在なゲート装置本体を備えた構成において、前記縦壁には、ゲート装置本体取付用の上開きの凹部を形成し、前記ゲート装置本体には、ワーク搬送方向と直交する方向の両端縁に、上下方向に延びる筋状の嵌合溝を備え、上記嵌合溝を上記凹部の内端縁に係合し、ゲート装置本体を上方から凹部に差し込むことにより、ゲート装置本体を縦壁に取り付けている。

上記構成によると、処理液槽に対して、上方からゲート装置を簡単に着脱することができる。

［第１の実施の形態］
図１〜図１６は、本発明にかかるゲート装置を備えた液処理槽の一例を示し、電気めっき装置に適用した例である。

（めっき装置全体の概略）
図１は電気めっき装置全体の平面図であり、概ね長円形状に構成されためっき処理ライン上には、処理ラインの長手方向の一端部（図１の右端部）のロード部１０から、矢印Ｆ方向（時計回り方向）に、前処理工程の前処理槽（シャワー槽）１１、空ステージ１２、ボックス槽１３、電気めっき工程のめっき槽１４、後処理工程のボックス槽１５、空ステージ１６、第１の後処理槽（シャワー槽）１７、長手方向の他端部の第２の後処理槽（回収槽）１８、アンロード部１９、剥離工程（ハンガー戻し工程）の空ステージ２０、ボックス槽２１、剥離槽２２、ボックス槽２３、空ステージ２４及び剥離後処理槽（シャワー室）２５を順次備えている。浸漬処理槽であるめっき槽１４及び剥離槽２２のワーク搬送方向の前後には、それぞれボックス槽１３、１５、２１、２３が隣接しており、ボックス槽１３、２１の出口は、めっき槽１４及び剥離槽２２の入口を兼ねており、ボックス槽１５、２３の入口はめっき槽１４及び剥離槽２２の出口を兼ねている。

前記めっき処理ラインの内周側に長円形状にガイドレール２７が敷設され、該ガイドレール２７には、多数の搬送ハンガー２８がレール長方向移動可能に支持されている。

ガイドレール２７の内周側には、搬送ハンガー２８を水平方向に移動させるために、複数の独立した搬送装置３１、３２、…、４０が配置されている。該搬送装置３１、３２、…、４０のうち、各ボックス槽１３、１５、２１、２３に対応する位置には、リニアアクチュエータ型往復動式の取込搬送装置３１、３２、３３、３４がそれぞれ配設されている。前処理工程の前処理槽１１及び空ステージ１２に対応する位置と、めっき槽１４に対応する位置と、後処理工程の空ステージ１６及び第１の後処理槽１７に対応する位置と、剥離工程の空ステージ２０に対応する位置と、剥離槽２２に対応する位置と、空ステージ２４及び剥離後処理槽２５に対応する位置には、それぞれチェーンコンベア型の連続搬送装置３５、３６、３７、３８、３９、４０が配設されている。また、後処理工程の第１の後処理槽１７から第２の後処理槽１８を経てアンロード部１９に至る間と、剥離後処理槽２５からロード部１０を経て前処理槽１１に至る間には、図示しないが搬送ハンガーを押し動かすプッシャー装置が配置されている。図１において、二重線の矢印で示す各区間Ａ１〜Ａ６は、チェーンコンベア型の連続搬送装置３５、３６、３７、３８、３９、４０による搬送区間を示し、破線の矢印で示す各区間Ｂ１〜Ｂはリニアアクチュエータ型の取込搬送装置３１、３２、３３、３４による搬送区間を示し、実線で示す区間Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４は、プッシャー装置による搬送区間を示している。

図２は、図１のめっき槽１４、後処理工程のボックス槽１５、空ステージ１６及び第１の後処理槽１７の縦断面拡大略図であり、これらめっき槽１４、ボックス槽１５、空ステージ及び第１の後処理槽１７は、一定高さの架台４２上に載置されており、架台４２内には予備槽４３が配置されている。ボックス槽１５の上方には図示しない架台を介して所定容積のカラム槽４７が配設されている。

ボックス槽１５の底壁には、開閉可能な排出口栓４６が設けられており、該排出口栓４６には、該排出口栓４６を開閉駆動するための操作部４６ａが設けられている。予備槽４３とカラム槽４７との間には配管４８が配設され、該配管４８には、予備槽４３からカラム槽４７へめっき液（処理液）を導入するためのポンプ４９及びフィルター５０が設けられている。カラム槽４７の底部には、ボックス槽１５に上方から処理液を供給可能な排出口栓５１が開閉可能に設けられている。

予備槽４３とめっき槽１４の間には２つの配管５５、５６が並設されており、いずれの配管５５、５６にも予備槽４３からめっき槽１４へめっき液を供給するためのポンプ５７、５９及びフィルター５８、６０が設けられている。一方の配管５５はボックス槽１５のゲートが開閉した際に、めっき槽１４の液面を所定高さに維持するためのものであり、他方の配管５６はめっき液循環用である。また、空ステージ１６の底部には予備槽４３へめっき液を排出するための排出管４４が設けられ、さらにめっき槽１４には、オーバーフローするめっき液を予備槽４３に排出するためのオーバーフロー管６１も設けられている。

（搬送ハンガー）
図３は搬送ハンガー２８の図２のIII-III断面拡大図であり、搬送ハンガー２８は、前記ガイドレール２７にガイドレール長さ方向移動自在に支持された移動基台６３と、該移動基台６３からガイドレール２７と略直角方向に水平に延びるアーム部６４と、該アーム部６４の先端部から下方に延びるワーク吊持部６５から構成されており、ワーク吊持部６５の下端部には、吊持ピン６６及びクランプ６７が設けられている。前記吊持ピン６６にワーク（たとえば回路用基板）Ｗの上端部の係合孔を係合し、クランプ６７により脱落不能に保持するようになっている。吊持されたワークＷは、吊持部６５及び図示しないが適宜の電導機構を介してガイドレール２７に電気的に接続されており、ガイドレール２７から電気が供給されるようになっている。移動基台６３の上面には、アーム部６４と反対方向に水平に延びる支軸７０が固着され、該支軸７０には、スプロケット７１がワンウエイクラッチ７２を介して一方向へのみ回転するように支持されている。具体的には、図２において、前記スプロケット７１は、矢印Ｒ方向には回転するが、反矢印Ｒ方向には回転しないように構成されている。

（搬送装置）
図２において、チェーンコンベア型の連続搬送装置３６、３７は、駆動スプロケット７３と、従動スプロケット７４と、両スプロケット７３、７４間に巻き掛けられた搬送チェーン７５（図３）とから構成されており、搬送チェーン７５の上側走行部分に、前記搬送ハンガー２８のスプロケット７１が係合するようになっている。搬送ハンガー２８は、前述のように、ワンウエイクラッチ７２（図３）を備えていることにより、搬送チェーン７５に係合した状態で、図２の矢印Ｆ方向へ搬送チェーン７５の上側部分と共に移動するようになっている。

図２において、リニアアクチュエータ型の取込搬送装置３２は、ガイドレール２７と並行に配置されたガイド部７６に、スライダー７７が、ガイドレール２７と平行に移動可能に支持されており、該スライダー７７は、図示しないがガイド部７６に備えられたねじ送り機構及びサーボモータ等により、ガイド部７６を往復移動するようになっている。

図４は図２のIV-IV断面拡大図であり、前記スライダー７７には、搬送ハンガー２８側へ略水平に延びる支軸７８が固着されており、該支軸７８には下方に延びる取込爪７９が支軸７８回り回動可能に支持されている。前記取込爪７９は、図示しないストッパーにより、図２に示す状態に、反矢印Ｓ方向側から係止されており、搬送ハンガー２８の支軸７０に反矢印Ｆ方向側から係合し、スライダー７７の矢印Ｆ方向への移動により、取込爪７９を介して搬送ハンガー２８を矢印Ｆ方向に移動するようになっている。なお、スライダー７７が搬送ハンガー２８に対して反矢印Ｆ方向側に移動する時には、取込爪７９は、矢印Ｓ方向に回動して搬送ハンガー２８の支軸７８を乗り越えるようになっている。

（ゲート装置）
図５は、後処理工程のボックス槽１５並びにその前後のめっき槽１４及び空ステージ１６の平面拡大図であり、前記ボックス槽１５には、矢印Ｆ方向（ワーク搬送方向）と直交する方向に所定間隔を置いて、左右一対のボックス部１５ａが配置され、左右のボックス部１５ａ間を、ワークＷが通過するようになっている。めっき槽１４とボックス槽１５との間の縦壁８２、並びにボックス槽１５と空ステージ１６との間の縦壁８３に、ゲート装置８４、８５がそれぞれ設けられている。ボックス部１５ａを備えることで、ボックス槽１５へ供給される液量が少なくなり、ゲート装置８４を開閉した際のめっき液の変動を少なくできると共に、ボックス槽１５へ供給されためっき液の排出時間を短縮することができる。

図６は図５のVI-VI断面拡大図、図７は図６のゲート装置８４の斜視図、図８は図６のゲート装置８４の分解斜視視図、図９は図６のIX-IX断面図、図１０は図９のX-X断面図、図１１は図１０のXI-XI断面図である。なお、説明の都合上、ワーク搬送方向Ｆを「前」、その逆方向を「後」、ワーク搬送方向Ｆと直交する水平方向を「左右方向」として、以下説明する。図６において、ボックス槽１５の縦壁８２の左右幅の中央部には、Ｕ字状のゲート装置取付用凹部８９が形成されており、該凹部８９に、ゴムチューブ製パッキン（タイゴンチューブ）９０を介して、ゲート装置８４が装着されている。該ゲート装置８４は、左右幅の中央部に、略垂直なスリット状のワーク通過口８８を有している。該ワーク通過口８８の左右幅は、板状ワークＷの厚みよりも大きく、ワーク通過口８８の上端部には、搬送ハンガー２８の吊持部６５及びクランプ６７が通過しうるように、上向きに広がる逆三角形状の拡大部８８ａが形成されている。ゲート部材９２，９３の材料としては、たとえば耐蝕性及び耐久性の大きい樹脂等を選ぶことが好ましい。

図８において、ゲート装置８４は、左右の柱部９１ａ、９１ｂにより縦長Ｕ字状に構成されたゲート装置本体９１と、該Ｕ字状ゲート装置本体９１の左側柱部９１ａに固定されるストッパー部材９２と、ゲート装置本体９１の左側柱部９１ｂに左右方向に移動自在に配置される可動ゲート部材９３と、該可動ゲート部材９３をワーク搬送方向Ｆの両側からガイドするガイドプレート１１０及びガイドケース１１１と、左右の柱部９１ａ、９１ｂをワーク搬送方向Ｆの両側から挟持し連結する一対の固定板９７と、前記可動ゲート部材９３を移動するための第1及び第2のチューブ部材１０１、１０２を有する駆動機構９４等と、を備えている。ゲート装置本体９１の外周面には、ゲート装置本体装着用の取付溝１０６が形成され、さらに、左右の柱部９１ａ、９１ｂの上端には、ゲート装置本体固定用の固定具９５が設けられている。ストッパー部材９２、可動ゲート部材９３、ガイドプレート１１０、ガイドケース１１１、チューブ部材１０１、及びチューブ部材１０２はワーク通過口８８の上下方向の略全長に亘り配設されている。左側柱部９１ａと右側柱部９１ｂは固定板９７を取り外すことにより両者を分離することができる。右側柱部９１ｂは下部から左に伸びる略直方体状の橋体９１ｃを有しており、この橋体９１ｃは後方から見てＬ字状に形成されている。橋体９１ｃの左端部は左側柱部９１ａの下部に当接する。可動ゲート部材９３は断面矩形状のスライド部９３ａと板状のゲート部９３ｂにより上方から見てＬ字状になるよう一体に形成されている。ゲート部９３ｂは、スライド部９３ａの左面前側から左に向かって突設されている。ゲート部９３ｂの前後幅はスライド部９３ａの前後幅より小さい。

図７において、前記ゲート装置本体９１の取付溝１０６を、縦壁８２の前記凹部８９の端縁に嵌合し、ゲート装置本体９１を上方から凹部８９内に差し込む。そして、左右の両固定具９５をボルト９５ａで縦壁８２の上面に固定することにより、ゲート装置本体９１を縦壁８２に密封状態で取り付ける。ストッパー部材９２は、板状体であり、ゲート部９３ｂと前後の位置が同じになるように左側柱部９１ａの前面に着脱可能に固定されている。ストッパー部材９２の先端部には、上下方向の略全長に亘ってパッキン１０８が取り付けられている。

前記ガイドプレート１１０は、ワーク搬送方向Ｆに直交する板状体であり、右部分が右側柱部９１ｂの前面に着脱可能に固定され、左部分は右側柱部９１ｂよりも左側に位置している。ガイドケース１１１は、ワーク搬送方向Ｆに直交する板状体である後ガイド部１１１ａと、ワーク搬送方向Ｆに平行な板状体である左ガイド部１１１ｂにより上方から見てＬ字状に形成され、後ガイド部１１１ａの右側部分は、右側柱部９１ｂの後面に着脱可能に固定されており、後ガイド部１１１ａの左側部分はガイドプレート１１０の左部分と同じ左右位置に配置されている。左ガイド部１１１ｂの後端は後ガイド部１１１ａの左端と一体に形成され、左ガイド部１１１ｂの前端は前記ガイドプレート１１０の左端との間に一定の隙間Ｔを開けて配置されている。

（駆動機構９４の詳細構造）
図９において、後ガイド部１１１ａの前面、左ガイド部１１１ｂの右面、ガイドプレート１１０の後面、右側柱部９１ｂの左面、及び橋体９１ｃの上面で囲まれたチューブ収納室１２４内には、スライド部９３ａが左右方向移動自在に収納されている。スライド部９３ａの前後幅は、チューブ収納室１２４内の前後幅より若干小さい。ゲート部９３ｂは前記隙間Ｔを通過してチューブ収納室１２４外に突出している。ゲート部９３ｂの前後幅は、前記隙間Ｔの前後幅より若干小さい。後ガイド部１１１ａの前面、左ガイド部１１１ｂの右面、スライド部９３ａの左面、ゲート部９３ｂの後面、および橋体９１ｃの上面で囲まれた空間部１２４ａに前記第１のチューブ部材１０１が収納され、後ガイド部１１１ａの前面、ガイドプレート１１０の後面、スライド部９３ａの右面、右側柱部９１ｂの左面、および橋体９１ｃの上面で囲まれた空間部１２４ｂに前記第２のチューブ部材１０２が収納されている。両チューブ部材１０１、１０２は弾性を有するゴム製チューブであり、内部に空気を圧入することにより膨張し、内部の空気を抜くことにより、収縮するようになっている。

図１０は、図９のX-X断面拡大図であり、上下方向の中間部分を省略して示している。この図１０において、各チューブ部材１０１、１０２の下端部は、下側固定具９９及びボルト９９ａにより、右側柱部９１ｂの左面及び後ガイド部１１１ｂの右面にそれぞれ固定されると共に、閉塞されている。各チューブ部材１０１、１０２の上端部は、直方体状の上側固定具９８及びボルト９８ａにより、右側柱部９１ｂの左面及び後ガイド部１１１ｂの右面にそれぞれ固定されると共に、閉塞されているが、各チューブ部材１０１、１０２の上端閉塞部の近傍にはそれぞれ孔１０１ａ、１０２ａが開けられており、この孔１０１ａ、１０２ａに、Ｌ字状の樹脂製又は金属製の継手管１３０がそれぞれ挿入され、接続されている。

上側固定具９８には、前記継手管１３０を固定するための溝部９８ｂと、継手管１３０に連通するエア通路１３１が形成されており、エア通路１３１は上側固定具９８の上面の略中央から内部に至るまで形成され、エアホースを介してエアポンプ１３２にそれぞれ接続している。溝部９８ｂは右側柱部９１ｂの左面に対向する面（又は後ガイド部１１１ｂの右面に対向する面）の略中央部から下端に至るまで形成されている。図２２に示すように、エア通路１３１と溝部９８ｂは通路９８ｃによって連通している。

図１１は、図１０のXI-XI断面図であり、第１のチューブ部材１０１用の継手管１３０は、断面矩形状に形成され、継手管１３０の垂直部１３０ａが上側固定具９８の溝部９８ｂに嵌め込まれ、後ガイド部１１１ｂの右面に押し付けられている。溝部９８ｂの奥行きと幅は垂直部１３０ａの外径より若干大きくなるよう設定されている。図１０に示すように、継手管１３０の水平部１３０ｂは前記通路９８ｃを通ってエア通路１３１に連通している。継手管１３０は、固定具９８により押し付けられる力に抗する強度を有しているので、エア通路１３１とチューブ部材１０１の間の空気通路として常に安定した機能を発揮する。図２３に示すように、垂直部１３０ａは周囲をチューブ部材１０１に覆われた状態で溝部９８ｂに嵌合されているので、垂直部１３０ａと溝部９８ｂの隙間（図２３中に斜線で示すＤ１、Ｄ２）をチューブ部材１０１が閉塞し、固定具９８の下面からの空気漏れを防止している。固定具９８と後ガイド部１１１ｂは、対抗する面（図２３中に斜線で示すＥ１、Ｅ２）にチューブ部材１０１を挟んで圧着した状態で固定されているので、固定具９８と後ガイド部１１１ｂの隙間をチューブ部材１０１が閉塞し、固定具９８の側面（後ガイド部１１１ｂに対抗する面）からの空気漏れを防止している。これにより固定具９８の下面と側面の両方の空気漏れを防止しており、チューブ部材１０１の上端部を継手管１３０に気密状態に接続すると共に、後ガイド部１１１ｂに固定している。なお、図１０に示す第２のチューブ部材１０２も、前記第１のチューブ部材１０１と同様の継手管１３０に接続され、右側柱部９１ｂに固定されている。

図９において、上記のように両チューブ部材１０１，１０２から構成される駆動機構９４は、第１のチューブ部材１０１に圧縮エアを供給して第１のチューブ部材１０１を膨張させると同時に第２のチューブ部材１０２内のエアを排出して第２のチューブ部材１０２を収縮させるゲート開状態と、反対に、第２のチューブ部材１０２に圧縮エアを供給して第２のチューブ部材１０２を膨張させると同時に第１のチューブ部材１０１内のエアを排出して第１のチューブ部材１０１を収縮させるゲート閉状態とに、切り換えられるようになっている。

すなわち、図１２は開いた状態を示す図９の要部の拡大図であり、第１のチューブ部材１０１にエアを圧入して膨張させることで左ガイド部１１１ｂの右面とスライド部９３ａの左面との間の距離を広げ、かつ第２のチューブ部材１０２からエアを排出して収縮させることにより、スライド部９３ａ及びゲート部９３ｂを一体的に開方向（右方向）Ｏに移動させ、ワーク通過口８８を開くことができる。この時、空間部１２４ｂ内のめっき液及び空気は、スライド部９３ａの動作により圧縮され、空間部１２４ｂの上部、下部、可動ゲート部材９３とガイドプレート１１０との間の隙間、及び後ガイド部１１１ａとスライド部９３ａの隙間から排出される。一方、図１３に示すように、第２のチューブ部材１０２にエアを圧入して膨張させることで右側柱部９１ｂの左面とスライド部９３ａの右面との間の距離を広げ、かつ第１のチューブ部材１０１からエアを排出して収縮させることにより、スライド部９３ａ及びゲート部９３ｂを一体的に閉方向（左方向）Ｓに移動させ、ワーク通過口８８を閉じることができる。この時、空間部１２４ａ内のめっき液及び空気は、スライド部９３ａの動作により圧縮され、空間部１２４ａの上部、下部、可動ゲート部材９３とガイドプレート１１０との間の隙間、及び左ガイド部１１１ｂとゲート部９３ｂの隙間から排出される。この閉状態では、ゲート部９３ｂの端縁は、ストッパー部材９２のパッキン１０８に圧接している。

第１及び第２のチューブ部材１０１，１０２の材質は、前記のようなゴムに限定はされず、樹脂であれば特に制限はないが、耐薬品性、繰り返し伸縮することに耐える耐久性等を考慮して決定することが好ましい。例えば、酸性、アルカリ性の処理液を貯める処理液槽に用いる場合は、ＥＰＤＭ、４フッ化エチレン樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、軟質塩化ビニル、天然ゴムなどが採用できる。

なお、図６において、前記ゴムチューブ製パッキン１０８も、継手管１４０を介してエアポンプ１４１に接続しており、ゴムチューブ製パッキン１０８にエアを圧入することにより、シール性能を発揮させることができる。

（作動の説明）
めっき処理工程並びにその後のハンガーの剥離工程等は、従来公知であるので、ごく簡単に説明する。図１において、ロード部１０でめっき処理前のワークＷを搬送ハンガー２８に吊持し、プッシャー装置により搬送ハンガー２８及びワークＷを前処理槽１１内まで搬送し、搬送ハンガー２８のスプロケット７１を前処理槽１１の連続搬送装置３５の搬送チェーン７５の始端部に係合させる。

前記連続搬送装置３５から、矢印Ｆ方向へと順次、取込搬送装置３１、連続搬送装置３６、取込搬送装置３２及び連続搬送装置３７によって搬送ハンガー２７を移動することにより、ワークＷは、前処理槽１１、空ステージ１２、ボックス槽１３、めっき槽１４、ボックス槽１５、空ステージ１６及び第１の後処理槽１７を通過し、又は所定の処理位置で所定時間停止し、前処理、めっき処理及び洗浄等の後処理が行われる。めっき処理完了後のワークは、図示しないプッシャー装置により、第２の後処理槽１８を介してアンロード部１９まで搬送され、搬送ハンガー２８からめっき処理後のワークＷが取り外される。

ワークＷを外した後の搬送ハンガー２８は、次に、剥離工程の空ステージ２０の連続搬送装置３８のチェーンコンベア７５にスプロケット７１が係合させられ、該連続搬送装置３８から、矢印Ｆ方向へと順に、取込搬送装置３３、連続搬送装置３９、取込搬送装置３４及び連続搬送装置４０によって移動させられ、付着物が剥離され、洗浄され、再びロード部１０に戻される。

前記めっき処理において、ワークＷを、たとえばめっき処理工程のめっき槽１４からボックス槽１５に水平移動する時、また、ボックス槽１５から空ステージ１６に水平移動する時等には、図１２のように、第１のチューブ部材１０１を膨張させると同時に第２のチューブ部材１０２を収縮させることにより、可動ゲート部材９３を開方向Ｏに移動させ、ワーク通過口８８を開く。これにより、ワークＷは、上昇することなく、ワーク通過口８８を通過する。ワークＷがワーク通過口８８を通過し終えると、図１３のように、第２のチューブ部材１０２を膨張させると同時に第１のチューブ部材９２を収縮させることにより、可動ゲート部材９３を閉方向（左方向）Ｓに移動させ、ワーク通過口８８を閉じる。

［ゲート装置の開閉を利用したワーク搬送の一例］
図１４〜図１６は、めっき槽１４と、ボックス槽１５と、空ステージ１６との間のワークＷの搬送（移送）と、ゲート装置８４、８５の開閉動作との関連を示している。なお、ゲート装置８４、８５が開状態の場合はクロスハッチングを施し、閉状態の場合は白抜きで示している。

（１）図１４において、予めボックス槽１５内には図示しないカラム槽からのめっき液が供給されている。めっき槽１４とボックス槽１５との間のゲート装置８４を開き、ボックス槽１５と空ステージ１６との間のゲート装置８５は閉じておき、めっき槽１４内の搬送ハンガー２８のうち、最もボックス槽１５側（矢印Ｆ方向側）に位置する搬送ハンガー（仮想線で示す）２８の支軸７０に、取込搬送装置３２のスライダー７７の取込爪７９を反矢印Ｆ方向側から係合する。そして、スライダー７７を矢印Ｆ方向に移動することにより、搬送ハンガー２８と共にワークＷを矢印Ｆ方向に移動し、ゲート装置８４の開口部８８（図６）を通過させてボックス槽１５内まで搬送し、ボックス槽１５で停止する。

（２）図１５において、めっき槽１４とボックス槽１５との間のゲート装置８４を閉じ、ボックス槽１５内のめっき液を排出する。

（３）図１６において、ボックス槽１５と空ステージ１６との間のゲート装置８５を開き、スライダー７７を矢印Ｆ方向に移動することにより、搬送ハンガー２８と共にワークＷを矢印Ｆ方向に移動し、ゲート装置８５の開口部８８を通過させて空ステージ１６内まで搬送する。その後、前記ゲート装置８５は閉じられる。なお、空ステージ１６内へ搬送された搬送ハンガー２８は連続搬送装置３７で搬送される。

（４）空ステージ１６内へ搬送ハンガー２８を搬送した後、スライダー７７は反矢印Ｆ方向に移動し、めっき槽１４の上方まで戻る。この時、スライダー７７の取込爪７９は、めっき槽１４内の次の搬送ハンガー２８の支軸７０を乗り越え、反矢印Ｆ方向側から前記支軸７０に係合する。

［実施の形態の効果］
（１）ストッパー部材９２と可動ゲート部材９３とを備え、可動ゲート部材９３の駆動機構９４として、膨張伸縮自在な一対の第１及び第２のチューブ部材１０１，１０２を備え、第１のチューブ部材１０１を膨張させると共に第２のチューブ部材１０２を収縮させることにより、可動ゲート部材９３を開位置へ移動させ、第１のチューブ部材１０１を収縮させると共に第２のチューブ部材１０２を膨張させることにより、可動チューブ部材１０１を閉位置へ移動させるように、構成されているので、モータや減速ギヤ機構等の機械的駆動機構を備える場合と比べ、駆動機構９４が簡素化され、コストの低減を達成することができる。しかも、駆動機構９４のチューブ部材１０１，１０２が処理液に浸漬しても、駆動機構の機能低下の虞がない。実際の装置でテストした結果、特許文献３のゲート装置は袋状のゲート部材の寿命が1週間程度であったのに対し、本実施形態の駆動機構９４は1ヶ月の寿命を達成した。

（２）空圧等を利用して弾性材製の両チューブ部材１０１，１０２を膨張及び収縮させるので、可動両ゲート部材９３の移動を敏速に行うことができ、開閉制御の応答性が向上する。また、何らかの原因により、開閉途中で可動ゲート部材９３が停止した場合、仮にチューブ部材１０１又は１０２の膨張動作が継続していても、チューブ部材自体の弾性により、チューブ部材の破損を防ぐことができる。

（３）縦壁８２の凹部８９に着脱自在なゲート装置本体９１を備え、前記ゲート装置本体９１の左右両部に、上下方向に延びる筋状の嵌合溝１０６を備え、上記嵌合溝１０６を上記凹部８９の内端縁に係合し、ゲート装置本体９１を上方から凹部８９に差し込むことにより、ゲート装置本体を縦壁８２に取り付けているので、処理液槽に対して、ゲート装置を簡単に着脱することができる。

（４）ガイドケース１１１、ガイドプレート１１０、及びストッパー部材９２はゲート装置本体９１に着脱でき、また左側柱部９１ａと右側柱部９１ｂを分離できるので、チューブ部材１０１、１０２、及びパッキン１０８の交換を容易にできると共にチューブ収納室１２４内など各部分の洗浄も確実に行なうことができ、めっき槽１４のメンテナンス性を向上できる。

（５）可動ゲート部材９３を開く際にチューブ部材１０１の膨張により空間部１２４ａ内の処理液を排出し、かつ空間部１２４ａ内へ流入する処理液の体積を軽減するので、次の動作として可動ゲート部材９３を閉じる際に、スライド部９３ａの左面に対する空間部１２４ａ内の処理液の抵抗を軽減することができ、可動ゲート部材９３の閉動作を迅速かつスムーズにすることができる。同様にチューブ部材１０２を膨張させることにより、可動ゲート部材９３の開動作を迅速かつスムーズにすることができる。従って開閉動作が迅速になり、ワークの移動時間を短縮できるので、めっき処理装置のワーク生産量増加に貢献することができる。

（６）可動ゲート部材９３、チューブ部材１０２、及びパッキン１０８がワーク通過口８８の上下方向の略全長に亘り配設されており、可動ゲート部材９３がチューブ部材１０２の膨張により上下方向全体に均等に力を加えられた状態でパッキン１０８と圧接するため、ゲート装置８４の液シール性を向上することができる。従ってめっき槽１４やボックス槽１５から流出するめっき液が少なくなるので、流出しためっき液をめっき槽１４へ戻すポンプ５７の能力を小さくできるとともに、めっき液の循環による液温変化が少なくなるので温度調節に要する負荷を軽減することができる。

（７）継手管１３０をチューブ部材１０１（又はチューブ部材１０２）に挿通した状態で固定部９８の溝部９８ｂに嵌め込み、後ガイド部１１１ｂ（又は右側柱部９１ｂ）に押し付け、各チューブ部材の上端部を継手管１３０に気密状態に接続すると共に、継手管１３０により空気の通路を確保しているので、各チューブ部材への空気の出し入れを確実にして可動ゲート部材９３の動作を円滑にすることができる。さらに、作業者がチューブ部材を固定する際に、継手管１３０をチューブ部材に開けられた孔の目印とすることができ、チューブ部材の取付作業を簡単に行なうことができる。

［第２の実施の形態］
図１７は、第２の実施形態であって、可動ゲート部材９３のみを示している。可動ゲート部材９３は、一体に形成されているスライド部９３ａが空洞となっている。すなわち、スライド部９３ａの上下方向の略全長に亘って孔開け加工し、加工された空洞部１４０の上端開口部を蓋１４１で閉塞している。なお、空洞部１４０の下端はスライド部９３ａの下端部分で閉塞されている。

このように、スライド部９３ａを空洞化することにより、可動ゲート部材９３の重量の軽減を図り、かつ浮力を効率よく利用できることにより、可動ゲート部材９３の開閉移動の円滑性を向上させることができる。可動ゲート部材９３の開閉移動の円滑性と応答性を向上することができ、開閉移動を迅速に行なうことができる。

［第３の実施形態］
図１８は、第３の実施形態であり、ゲート装置８４の水平断面図を示している。本実施形態のゲート装置８４はガイドプレート１１０に代えてガイドケース１１３を備え、可動ゲート部材９３に代えて可動ゲート部材１５１を備えている。また、前記駆動機構９４に代えて、第1のチューブ部材１０１ａ 、１０１ｂ、第２のチューブ部材１０２ａ 、１０２ｂ、の計4本のチューブ部材を有する駆動機構９４１を備えている。上記の部品は全てワーク通過口８８の上下方向の略全長に亘り配設されている。その他の構成は前述した第1の実施の形態と同様であり、同一または相当部分に同一符号を付して説明を省略する。ガイドケース１１３は、ワーク搬送方向Ｆに直交する板状体である前ガイド部１１３ａと、ワーク搬送方向Ｆに平行な板状体である左ガイド部１１３ｂにより上方から見てＬ字状に形成され、前ガイド部１１３ａの右側部分は、右側柱部９１ｂの前面に着脱可能に固定されており、前ガイド部１１３ａの左側部分はガイドケース１１１の左部分と同じ左右位置に配置されている。左ガイド部１１３ｂの前端は前ガイド部１１３ａの左端と一体に形成され、左ガイド部１１３ｂの後端は前記左ガイド部１１１ｂの前端との間に一定の隙間Uを開けて配置されている。

後ガイド部１１１ａの前面、左ガイド部１１１ｂの右面、前ガイド部１１３ａの後面、左ガイド部１１３ｂの右面、右側柱部９１ｂの左面、及び橋体９１ｃの上面で囲まれたチューブ収納室１２４内には、前記可動ゲート部材１５１と一体に形成された断面矩形状のスライド部１５１ａが、左右方向移動自在に収納されている。

可動ゲート部材１５１は、スライド部１５１ａとゲート部１５１ｂにより上方から見てT字状になるよう一体に形成されている。ゲート部１５１ｂはスライド部１５１ａの左面中央から左に向かって突出しており、ゲート部１５１ｂの前後幅はスライド部１５１ａの前後幅より小さい。ゲート部１５１ｂは前記隙間Uを通過してチューブ収納室１２４外に突出している。ゲート部１５１ｂの前後幅は、前記隙間Uの前後幅より若干小さい。スライド部１５１ａの前後幅は、チューブ収納室１２４内の前後幅より若干小さい。後ガイド部１１１ａの前面、左ガイド部１１１ｂの右面、スライド部１５１ａの左面、ゲート部１５１ｂの後面、および橋体９１ｃの上面で囲まれた空間部１２４ａに前記第１のチューブ部材１０１ａが収納され、前ガイド部１１３ａの後面、左ガイド部１１３ｂの右面、スライド部１５１ａの左面、ゲート部１５１ｂの前面、および橋体９１ｃの上面で囲まれた空間部１２４ｂに前記第１のチューブ部材１０１ｂが収納され、後ガイド部１１１ａの前面、前ガイド部１１３ａの後面、スライド部１５１ａの右面、右側柱部９１ｂの左面、および橋体９１ｃの上面で囲まれた空間部１２４ｃの後側に前記第２のチューブ部材１０２ａが収納され、前側に前記第２のチューブ部材１０２ｂが収納されている。チューブ部材１０１ｂは上側固定具９８及び下側固定具９９により左ガイド部１１３ｂの右面に固定され、前記第２のチューブ部材１０２ａ及び１０２ｂはそれぞれ上側固定具９８及び下側固定具９９により右側柱部９１ｂの左面に固定されている。

第１のチューブ部材１０１ａ及び１０１ｂにエアを圧入して膨張させることでスライド部１５１ａの左面と左ガイド部１１１ｂの右面及び左ガイド部１１３ｂの右面との間の距離を広げ、かつ第２のチューブ部材１０２ａ及び１０２ｂからエアを排出して収縮させることにより、スライド部１５１ａ及びゲート部１５１ｂを一体的に開方向（右方向）Ｏに移動させ、ワーク通過口８８を開くことができる。この時、空間部１２４ｃ内のめっき液及び空気は、空間部１２４ｃの上部、下部、スライド部１５１ａと後ガイド部１１１ａとの間の隙間、及びスライド部１５１ａと前ガイド部１１３ａの隙間から排出される。一方、第２のチューブ部材１０２ａ及び１０２ｂにエアを圧入して膨張させることで右側柱部９１ｂの左面とスライド部１５１ａの右面との間の距離を広げ、かつ第１のチューブ部材１０１ａ 及び１０１ｂからエアを排出して収縮させることにより、スライド部１５１ａゲート部１５１ｂを一体的に閉方向（左方向）Ｓに移動させ、ワーク通過口８８を閉じることができる。この時、空間部１２４ａ内のめっき液及び空気は、空間部１２４ａの上部、下部、スライド部１５１ａと後ガイド部１１１ａとの間の隙間、及びゲート部１５１ｂと左ガイド部１１１ｂの隙間から排出され、空間部１２４ｂ内のめっき液及び空気は、空間部１２４ｂの上部、下部、スライド部１５１ａと前ガイド部１１３ａとの間の隙間、及びゲート部１５１ｂと左ガイド部１１３ｂの隙間から排出される。この閉状態では、ゲート部１５１ｂの端縁は、ストッパー部材９２のパッキン１０８に圧接している。このように本実施形態では第１のチューブ部材（１０１ａ 及び１０１ｂ）と第２のチューブ部材（１０２ａ及び１０２ｂ）がスライド部１５１ａの移動方向の両側にそれぞれ配置され、膨張収縮可能な一対のチューブ部材として動作する。

本実施の形態によると、第１のチューブ部材１０１と第２のチューブ部材１０２とが、それぞれ一対配置されているので、可動ゲート部材９３を、強い力で、かつ、ワーク搬送方向の全幅に亘る略均等な力で、移動させることができる。また、一対の第１のチューブ部材１０１の片方がパンクしたり、一対の第２のチューブ部材１０２の片方がパンクしたりしても、可動ゲート部材９３の動作を確保することができる。なお、図１８において、前記第１の実施の形態と同じ部品には、同じ符号を付している。

［第４の実施の形態］
図１９は第４の実施形態であり、ゲート装置８４の水平断面図を示しており、可動ゲート部材９３及び駆動機構９４を、左右一対設けた構造である。すなわち、前記第１の実施の形態の図６等の右半分に配置された可動ゲート部材９３と、第１及び第２のチューブ部材１０１，１０２からなる駆動機構９４を、左右対称に配置した構造である。図１９において、前記第１の実施の形態と同じ部品には、同じ符号を付している。

該実施の形態によると、左右から各可動ゲート部材９３を加圧するので、確実にスリット状ワーク通過口８８閉じることができる。

［第５の実施の形態］
図２０及び図２１は、板状ワークＷを、水平状態で搬送するめっき処理装置に本発明を適用した例である。図２０はめっき処理装置全体を示しており、ワーク搬送元側から順に、ワークロード槽（ワークロード部）２０１，前処理槽（シャワー槽）２０２，ボックス槽２０３，めっき槽２０４、ボックス槽２０５、後処理槽（シャワー槽）２０６，ワークアンロード槽（ワークアンロード部）２０７を配置してあり、各槽間の縦壁に、水平なスリット状のワーク通過口２１０（図２１）を有するゲート装置Ｇが配置されている。各槽２０１乃至２０７内には、水平状態のワークＷを上下で挟持し、搬送する上下の搬送ローラ２１１が配置されている。なお、ボックス槽２０３，２０５には、ワーク搬送経路の下側にボックス槽２０３ａ，２０５ａが配置されている。

図２１は、ゲートＧの一例であり、基本的には、前記図６乃至図９等に示す縦向きのワーク通過口を有するゲート装置を、９０°回転して横向きに配置した構造であり、したがって、第１の実施の形態と同じ機能を有する部品には、同じ符号を付し、詳しい説明は省略する。

図２１において、ゲート装置本体９１は上下方向に間隔をおいて上下の柱部材（梁部材）９１ａ、９１ｂを有しており、両者はその端部同士を左右の垂直な柱部材９１ｃ、９１ｄ（９１ｄのみ図示せず）で連結することによりワーク搬送方向Ｆ向きに貫通する穴を有する直方体を形成している。縦壁８２の凹部８９の端縁に、ゲート装置本体９１の外周に形成された取付溝１０６が、ゴムチューブ製パッキン９０を介して嵌合している。ガイドプレート１１０は、ワーク搬送方向Ｆに直交する板状体であり、下部分が下側柱部材９１ｂの前面に着脱可能に固定され、上部分は下側柱部材９１ｂよりも上側に配置されている。ガイドケース１１１は、ワーク搬送方向Ｆに直交する板状体である後ガイド部１１１ａと、ワーク搬送方向Ｆに平行な板状体である上ガイド部１１１ｂにより側方から見てＬ字状に形成され、後ガイド部１１１ａの下側部分は、下側柱部材９１ｂの後面に着脱可能に固定されており、後ガイド部１１１ａの上側部分は前記ガイドプレート１１０と同じ上下位置に配置されている。上ガイド部１１１ｂの後端は後ガイド部１１１ａの上端と一体に形成され、上ガイド部１１１ｂの前端は前記ガイドプレート１１０の後端との間に一定の隙間Ｖを開けて配置されている。可動ゲート部材９３は断面矩形状のスライド部９３ａと板状のゲート部９３ｂにより側方から見てＬ字状になるよう一体に形成されている。ゲート部９３ｂは、スライド部９３ａの上面前側から上に向かって突設されている。ゲート部９３ｂの前後幅はスライド部９３ａの前後幅より小さい。後ガイド部１１１ａの前面、上ガイド部１１１ｂの下面、ガイドプレート１１０の後面、下側柱部材９１ｂの上面、左側柱部材９１ｃの右面、及び右側柱部材９１ｄの左面で囲まれたチューブ収納室１２４内には、スライド部９３ａが、上下方向移動自在に収納されている。スライド部９３ａの前後幅は、チューブ収納室１２４内の前後幅より若干小さい。

ゲート部９３ｂは前記隙間Ｖを通過してチューブ収納室１２４外に突出している。ゲート部９３ｂの前後幅は、前記隙間Ｖの前後幅より若干小さい。後ガイド部１１１ａの前面、上ガイド部１１１ｂの下面、スライド部９３ａの上面、ゲート部９３ｂの後面、左側柱部材９１ｃの右面、及び右側柱部材９１ｄの左面で囲まれた空間部１２４ａに前記第１のチューブ部材１０１が収納され、後ガイド部１１１ａの前面、ガイドプレート１１０の後面、スライド部９３ａの下面、下側柱部９１ｂの上面、左側柱部材９１ｃの右面、及び右側柱部材９１ｄの左面で囲まれた空間部１２４ｂに前記第２のチューブ部材１０２が収納されている。

上側柱部材９１ａの下面には、下方に突出するストッパー部材９２が設けられ、該ストッパー部材９２の下面に対し、可動ゲート部材９３の上端面が、水平なスリット状のワーク通過口２１０を介して対向している。

ストッパー部材９２、可動ゲート部材９３、ガイドプレート１１０、ガイドケース１１１、チューブ部材１０１、及びチューブ部材１０２は全てワーク通過口２１０の左右方向の略全長に亘り配設されている。

該ゲート装置Ｇでは、上側の第１のチューブ部材１０１にエアを圧入して膨張させることで上ガイド部１１１ｂの下面とスライド部９３ａの上面との間の距離を広げ、かつ第２のチューブ部材１０２からエアを排出して収縮させることにより、スライド部９３ａ及びゲート部９３ｂを一体的に開方向（下方向）に移動させ、ワーク通過口２１０を開く。これにより、ワークＷは上昇することなく、水平な状態でワーク通過口２１０を通過する。一方、第２のチューブ部材１０２にエアを圧入して膨張させることで下側柱部９１ｂの上面とスライド部９３ａの下面との間の距離を広げ、かつ第１のチューブ部材１０１からエアを排出して収縮させることにより、スライド部９３ａ及びゲート部９３ｂを一体的に閉方向（上方向）に移動させ、ワーク通過口２１０を閉じる。

［その他の実施の形態］
（１）前記各実施の形態は、搬送ハンガーを連続して水平移動することにより、各槽を通過させるいわゆる連続搬送方式のめっき装置であるが、本発明にかかるゲート装置は、たとえば、途中で、ハンガーを上昇させて次の槽まで移送し、次の槽で下降させる搬送区間を有する間欠搬送方式のめっき装置等にも適用することができる。

（２）本発明かかるゲート装置は、めっき装置には限定されず、たとえば、処理液槽内に貯留した処理液によりワークを洗浄する剥離槽等の浸漬処理装置にも適用することは可能である。

本発明は、めっき装置の他に、クロメート処理装置、アルミニウムの陽極酸化処理装置、電解研磨装置又は電解酸洗装置等の処理装置にも適用可能である。

本発明の第１の実施の形態であり、ゲート装置を備えためっき装置の全体平面図である。 図１のめっき槽及びボックス槽近辺の縦断面拡大図である。 図２のIII-III断面拡大図である。 図２のIV-IV断面拡大図である。 図２のボックス槽の平面拡大図である。 図５のVI-VI断面図である。 図６のゲート装置の斜視図である。 図６のゲート装置の分解斜視図である。 ワーク通過口が開いた状態の図６のゲート装置のIX-IX断面図である。 図９のX-X断面図である。 図１０のXI-XI断面図である。 ワーク通過口が開いた状態の図６のゲート装置のIX-IX断面拡大図（図９の要部の拡大図）である。 ワーク通過口が閉じた状態の図６のゲート装置のIX-IX断面拡大図である。 図１のめっき槽と、ボックス槽と、空ステージとの間のワークの搬送と、ゲート装置の開閉動作との関連を示す作動説明図である。 図１４の次の工程を示す図１４と同様の作動説明図である。 図１５の次の工程を示す図１４と同様の作動説明図である。 本発明の第２の実施の形態であり、可動ゲート部材の正面図である。 本発明の第３の実施の形態であり、ゲート装置の水平断面図である。 本発明の第４の実施の形態であり、ゲート装置の水平断面図である。 本発明の第５の実施の形態であり、めっき処理装置の縦断面図である。 図２０のゲート装置の断面斜視図である。 図８等に示す上側固定具の縦断面拡大図である。 図２２の上側固定具の近傍の分解斜視図である。

符号の説明

１４ めっき槽（処理液槽の一例）
１５ ボックス槽
２８ 搬送ハンガー
８４、８５ ゲート装置
８８ ワーク通過口
９１ 袋状ゲート部材
９２ ストッパー部材
９３ 可動ゲート部材
９３ａ スライド部（スライド部材の一例）
９４ 駆動機構
１０１，１０２ 第１及び第２のチューブ部材
１３２ エアポンプ

Claims (4)

1. 板状ワークが通過可能なスリット状のワーク通過口を有する処理液槽のゲート装置において、
   上記ワーク通過口を閉じる閉位置と上記ワーク通過口を開く開位置との間で位置変更可能な可動ゲート部材と、
   前記可動ゲート部材を閉位置と開位置との間で移動させる駆動機構と、を備え、
   該駆動機構は、前記可動ゲート部材と一体的に移動するスライド部と、該スライド部の移動方向の両側に配置された膨張収縮可能な一対のチューブ部材と、を備え、一方のチューブ部材を膨張させると共に他方のチューブ部材を収縮させることにより、前記スライド部と共に可動ゲート部材を開位置へ移動させ、一方のチューブ部材を収縮させると共に他方のチューブ部材を膨張させることにより、前記スライド部と共に可動ゲート部材を閉位置へ移動させるように、構成されている、処理液槽のゲート装置。
2. 請求項１記載の処理液槽のゲート装置において、前記チューブ部材は、弾性材でできている処理液槽のゲート装置。
3. 請求項１又は２記載の処理液槽のゲート装置において、前記ゲート部材及び前記駆動機構を支持するゲート装置本体は、前記処理液槽の縦壁に、着脱自在に取り付けられている処理液槽のゲート装置。
4. 請求項３記載の処理液槽のゲート装置において、
   前記縦壁には、ゲート装置本体取付用の上開きの凹部を形成し、
   前記ゲート装置本体には、ワーク搬送方向と直交する方向の両端縁に、上下方向に延びる筋状の嵌合溝を備え、
   上記嵌合溝を上記凹部の内端縁に係合し、ゲート装置本体を上方から凹部に差し込むことにより、ゲート装置本体を縦壁に取り付けている処理液槽のゲート装置。

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