CN101724883B - 处理液槽的闸门装置 - Google Patents

Abstract

一种处理液槽的闸门装置，能长期维持较高的密封性，简化驱动机构，并能防止处理液引起的驱动机构的功能下降。本发明的处理液槽的闸门装置包括：开闭板状工件能经过的工件经过口(88)的可动闸门部件(93)；以及使可动闸门部件(93)移动、使其位置能在关闭工件经过口(88)的关闭位置与打开工件经过口(88)的打开位置之间变更的驱动机构(94)。驱动机构(94)包括：与可动闸门部件(93)一体移动的滑动部(93a)；以及配置在该滑动部(93a)的移动方向的两侧并能膨胀收缩的一对管部件(101、102)。通过在使一个管部件(101)膨胀的同时使另一个管部件(102)收缩，使可动闸门部件(93)朝着打开位置移动，通过在使一个管部件(101)收缩的同时使另一个管部件(102)膨胀，使可动闸门部件(93)朝着关闭位置移动。

Description

处理液槽的闸门装置

技术领域

本发明涉及一种像电镀装置等那样设置于能储藏镀覆液等处理液的处理液槽的闸门装置，尤其涉及具有能使利用工件搬运装置保持成垂直状态的板状工件不用升降地搬入或搬出处理液槽的、开闭自如的工件经过口的处理液槽的闸门装置。

背景技术

作为处理液槽的供工件经过的闸门装置，有专利文献1和2记载的装置。这些闸门装置包括：板状工件能以垂直姿势经过的狭缝状工件经过口、开闭该工件经过口的能滑动的板状闸门板部件，并且，为了使该闸门部件在打开位置与关闭位置之间移动，上述闸门装置包括具有电动机和减速齿轮机构的机械驱动机构。

但是，上述现有技术中，用电动机和减速齿轮机构等以机械方式驱动闸门部件的驱动机构的成本高，另外，用于防止驱动机构浸渍到处理液中的密封构造也变得复杂。

针对这些现有构造，本专利申请人开发出了包括膨胀伸缩自如的袋状闸门部件的闸门装置(专利文献3)，由此，可简化闸门部件及其驱动机构的构造，降低成本，并解决浸渍到处理液中引起的不良情况。

专利文献1：日本专利特开2004-99957号公报

专利文献2：日本专利特开2002-327296号公报

专利文献3：日本专利特开2007-113066号公报

专利文献3的闸门装置中，通过袋状闸门部件来直接开闭工件经过口，而且，使袋状闸门部件的一部分的侧面从闸门部件支撑壁的间隙外突，以关闭工件经过口，因此，每次开闭闸门装置时，袋状闸门部件都会与上述间隙的内表面相互磨擦，这会使闸门部件的寿命下降。另外，由于通过袋状闸门部件彼此的紧贴来关闭工件经过口，因此在长期使用时，很难在工件经过口的全长范围内维持密封状态。

发明内容

本发明的目的在于，通过使用能膨胀收缩的一对管部件作为闸门部件的驱动机构，长期维持较高的密封性，简化驱动机构，并防止处理液引起的驱动机构的功能下降，降低成本。

为了解决上述技术问题，本发明是在具有板状工件能经过的工件经过口的处理液槽的闸门装置中，包括：位置能在关闭上述工件经过口的关闭位置与打开上述工件经过口的打开位置之间变更的可动闸门部件、以及使上述可动闸门部件在关闭位置与打开位置之间移动的驱动机构，该驱动机构包括：与上述可动闸门部件一体移动的滑动部、以及配置在该滑动部的移动方向的两侧并能膨胀收缩的一对管部件，通过在使一个管部件膨胀的同时使另一个管部件收缩，使可动闸门部件与上述滑动部一起朝着打开位置移动，通过在使一个管部件收缩的同时使另一个管部件膨胀，使可动闸门部件与上述滑动部一起朝着关闭位置移动。

根据上述结构，不仅像以往那样，在将工件保持于垂直状态或水平状态后，不用使工件升降就能将其导入或搬出浸渍槽，而且还能简化可动闸门部件的驱动机构，实现成本的降低。而且，即使驱动机构浸渍到处理液中，驱动机构的功能也不会下降。

本发明是在上述结构中，较为理想的是上述管部件由弹性材构成。

根据上述结构，由于利用空气压力等使两管部件进行膨胀和收缩，因此能敏捷地进行可动两闸门部件的移动，提高开闭控制的响应性。另外，在因某种原因而导致闸门部件在开闭途中停止时，即便管部件的膨胀动作继续，也能通过管部件自身的弹性来防止管部件的破损。

本发明是在上述结构中，支撑上述闸门部件和上述驱动机构的闸门装置主体装拆自如地安装于上述处理液槽的纵壁。

根据上述结构，通过从处理液槽拆下闸门装置，能容易地进行闸门装置的维护和清扫。另外，还能将闸门装置更换成规格与工件的形状相应的闸门装置。

本发明是在包括上述装拆自如的闸门装置主体的结构中，在上述纵壁上形成安装闸门装置主体用的朝上开口的凹部，在上述闸门装置主体上，在与工件搬运方向正交的方向上的两端缘包括沿上下方向延伸的条状的嵌合槽，通过将上述嵌合槽与上述凹部的内端缘卡合并将闸门装置主体从上方插入凹部，将闸门装置主体安装于纵壁。

根据上述结构，相对于处理液槽，能从上方简单地装拆闸门装置。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式，是包括闸门装置的镀覆装置的整体俯视图。

图2是图1的镀覆槽和箱槽附近的纵截面放大图。

图3是图2的III-III截面放大图。

图4是图2的IV-IV截面放大图。

图5是图2的箱槽的俯视放大图。

图6是图5的VI-VI剖视图。

图7是图6的闸门装置的立体图。

图8是图6的闸门装置的分解立体图。

图9是工件经过口处于打开状态的图6的闸门装置的IX-IX剖视图。

图10是图9的X-X剖视图。

图11是图10的XI-XI剖视图。

图12是工件经过口处于打开状态的图6的闸门装置的IX-IX截面放大图(图9的主要部分的放大图)。

图13是工件经过口处于关闭状态的图6的闸门装置的IX-IX截面放大图。

图14是表示图1的镀覆槽、箱槽、空平台间的工件的搬运与闸门装置的开闭动作的关联的工作说明图。

图15是表示图14的下一道工序的与图14同样的工作说明图。

图16是表示图15的下一道工序的与图14同样的工作说明图。

图17是本发明的第二实施方式，是可动闸门部件的主视图。

图18是本发明的第三实施方式，是闸门装置的水平剖视图。

图19是本发明的第四实施方式，是闸门装置的水平剖视图。

图20是本发明的第五实施方式，是镀覆处理装置的纵剖视图。

图21是图20的闸门装置的剖视立体图。

图22是图8等所示的上侧固定件的纵截面放大图。

图23是图22的上侧固定件附近的分解立体图。

(符号说明)

14镀覆槽(处理液槽的一例)

15箱槽

28搬运吊钩

84、85闸门装置

88工件经过口

91袋状闸门部件

92限位部件

93可动闸门部件

93a滑动部(滑动部件的一例)

94驱动机构

101、102第一管部件和第二管部件

132气泵

具体实施方式

[第一实施方式]

图1～图16表示包括本发明所涉及的闸门装置的液体处理槽的一例，是应用于电镀装置的例子。

(镀覆装置整体的概况)

图1是电镀装置整体的俯视图，在构成为大致长圆形(日语：長円形状)的镀覆处理线上，从处理线的长边方向的一端部(图1的右端部)的加载部10朝着箭头F方向(顺时针方向)依次包括：前处理工序的前处理槽(喷淋槽)11、空平台12、箱槽13、电镀工序的镀覆槽14、后处理工序的箱槽15、空平台16、第一后处理槽(喷淋槽)17、长边方向的另一端部的第二后处理槽(回收槽)18、卸载部19、剥离工序(吊钩返回工序)的空平台20、箱槽21、剥离槽22、箱槽23、空平台24和剥离后处理槽(喷淋室)25。在作为浸渍处理槽的镀覆槽14和剥离槽22的工件搬运方向的前后分别相邻设置有箱槽13、15、21、23，箱槽13、21的出口兼作镀覆槽14和剥离槽22的入口，箱槽15、23的入口兼作镀覆槽14和剥离槽22的出口。

在上述镀覆处理线的内周侧敷设有长圆形的导轨27，在该导轨27上，许多搬运吊钩28被支撑成能在轨道长度方向上移动。

在导轨27的内周侧，为了使搬运吊钩28在水平方向上移动，配置有多个独立的搬运装置31、32、…、40。该搬运装置31、32、…、40中，在与各箱槽13、15、21、23对应的位置上分别配设有线性致动器型往复运动式的取入搬运装置31、32、33、34。在与前处理工序的前处理槽11和空平台12对应的位置、与镀覆槽14对应的位置、与后处理工序的空平台16和第一后处理槽17对应的位置、与剥离工序的空平台20对应的位置、与剥离槽22对应的位置、与空平台24和剥离后处理槽25对应的位置上，分别配设有链式输送机型的连续搬运装置35、36、37、38、39、40。另外，从后处理工序的第一后处理槽17经由第二后处理槽18到卸载部19的部分和从剥离后处理槽25经由加载部10到前处理槽11的部分，配置有未图示的推动搬运吊钩的推进机(pusher)装置。在图1中，双线箭头所示的各区间A1～A6表示链式输送机型的连续搬运装置35、36、37、38、39、40的搬运区间，虚线箭头所示的各区间B1～B表示线性致动器型的取入搬运装置31、32、33、34的搬运区间，实线所示的区间C1、C2、C3、C4表示推进机装置的搬运区间。

图2是图1的镀覆槽14、后处理工序的箱槽15、空平台16和第一后处理槽17的纵剖放大简图，这些镀覆槽14、箱槽15、空平台和第一后处理槽17载放在一定高度的台架42上，在台架42内配置有预备槽43。在箱槽15的上方通过未图示的台架配设有规定容积的柱槽47。

在箱槽15的底壁上设置有可开闭的排出口栓46，在该排出口栓46上设置有用于驱动该排出口栓46开闭的操作部46a。在预备槽43与柱槽47之间配设有配管48，在该配管48上设置有用于从预备槽43朝柱槽47导入镀覆液(处理液)的泵49和过滤器50。在柱槽47的底部可开闭地设置有能从上方朝箱槽15供给处理液的排出口栓51。

在预备槽43与镀覆槽14之间并排设置有两个配管55、56，在配管55、56上均设置有用于从预备槽43朝镀覆槽14供给镀覆液的泵57、59和过滤器58、60。一个配管55用于在箱槽15的闸门开闭时将镀覆槽14的液面维持于规定高度，另一个配管56用于镀覆液循环。另外，在空平台16的底部设置有用于朝预备槽43排出镀覆液的排出管44，此外，在镀覆槽14上还设置有用于将溢出的镀覆液朝预备槽43排出的溢流管61。

(搬运吊钩)

图3是搬运吊钩28的图2的III-III截面放大图，搬运吊钩28由在导轨长度方向上移动自如地支撑于上述导轨27的移动基台63、从该移动基台63朝着与导轨27成大致直角的方向水平延伸的臂部64、从该臂部64的前端部朝下方延伸的工件吊持部65构成，在工件吊持部65的下端部设置有吊持销66和夹子67。在上述吊持销66上卡合工件(例如电路用基板)W的上端部的卡合孔，并利用夹子67将工件保持成不能脱落。被吊持的工件W通过吊持部65和未图示的适当的导电机构与导轨27电连接，从导轨27进行供电。在移动基台63的上表面固接有朝着与臂部64相反的方向水平延伸的支轴70，在该支轴70上，链轮71通过单向离合器72被支撑成只朝一个方向旋转。具体而言，在图2中，上述链轮71构成为朝箭头R方向旋转，但不朝箭头R的反方向旋转。

(搬运装置)

在图2中，链式输送机型的连续搬运装置36、37由驱动链轮73、从动链轮74和卷挂于两链轮73、74间的搬运链75(图3)构成，上述搬运吊钩28的链轮71与搬运链75的上侧移动部分卡合。如上所述，搬运吊钩28包括单向离合器72(图3)，从而在与搬运链75卡合的状态下，与搬运链75的上侧部分一起朝着图2的箭头F方向移动。

在图2中，线性致动器型的取入搬运装置32中，在与导轨27并行配置的导向部76上以能与导轨27平行移动的形态支撑有滑动器77，该滑动器77通过未图示的导向部76所包括的导螺杆进给机构和伺服电动机等的作用沿导向部76往复移动。

图4是图2的IV-IV截面放大图，在上述滑动器77上固接有朝着搬运吊钩28侧大致水平延伸的支轴78，在该支轴78上以能绕支轴78转动的形态支撑有朝下方延伸的取入爪79。上述取入爪79被未图示的限位件从箭头S的反方向侧卡定于图2所示的状态，并从箭头F的反方向侧与搬运吊钩28的支轴70卡合，滑动器77朝箭头F方向的移动时，通过取入爪79朝箭头F方向移动搬运吊钩28。滑动器77相对于搬运吊钩28朝箭头F的反方向侧移动时，取入爪79朝箭头S方向转动，越过搬运吊钩28的支轴78。

(闸门装置)

图5是后处理工序的箱槽15及其前后的镀覆槽14和空平台16的放大俯视图，在上述箱槽15上，在与箭头F方向(工件搬运方向)正交的方向上隔开规定间隔配置有左右一对箱部15a，工件W经过左右的箱部15a之间。在镀覆槽14与箱槽15之间的纵壁82、箱槽15与空平台16之间的纵壁83上分别设置有闸门装置84、85。通过包括箱部15a，提供给箱槽15的液量变少，能减少开闭闸门装置84时镀覆液的变动，并能缩短提供给箱槽15的镀覆液的排出时间。

图6是图5的VI-VI截面放大图，图7是图6的闸门装置84的立体图，图8是图6的闸门装置84的分解立体图，图9是图6的IX-IX剖视图，图10是图9的X-X剖视图，图11是图10的XI-XI剖视图。为了方便说明，下面将工件搬运方向F作为“前”、将其反方向作为“后”、并将与工件搬运方向F正交的水平方向作为“左右方向”进行说明。图6中，在箱槽15的纵壁82的左右宽度的中央部形成有U字形的闸门装置安装用凹部89，在该凹部89内通过橡胶管制填料(tygon tube：软管)90安装有闸门装置84。该闸门装置84在左右宽度的中央部具有大致垂直的狭缝状的工件经过口88。该工件经过口88的左右宽度比板状工件W的厚度大，在工件经过口88的上端部形成有朝着上方扩大的倒三角形的扩大部88a，以使搬运吊钩28的吊持部65和夹子67能够经过。作为闸门部件92、93的材料，选择例如耐腐蚀性和耐久性好的树脂等时较为理想。

在图8中，闸门装置84包括：由左右的柱部91a、91b构成为纵长U字形的闸门装置主体91；固定在该U字形闸门装置主体91的左侧柱部91a上的限位部件92；在左右方向上移动自如地配置在闸门装置主体91的左侧柱部91b上的可动闸门部件93；从工件搬运方向F的两侧对该可动闸门部件93进行导向的导向板110和导向壳体111；从工件搬运方向F的两侧夹持并连结左右的柱部91a、91b的一对固定板97；以及具有用于移动上述可动闸门部件93的第一管部件101和第二管部件102的驱动机构94等。在闸门装置主体91的外周面上形成有安装闸门装置主体用的安装槽106，此外，在左右的柱部91a、91b的上端设置有闸门装置主体固定用的固定件95。限位部件92、可动闸门部件93、导向板110、导向壳体111、管部件101和管部件102配设在工件经过口88的上下方向的大致全长范围内。左侧柱部91a和右侧柱部91b两者可通过拆下固定板97而分离。右侧柱部91b具有从下部朝左延伸的大致长方体状的桥体91c，该桥体91c形成为从后方观察呈L字形。桥体91c的左端部与左侧柱部91a的下部抵接。可动闸门部件93由矩形截面的滑动部93a和板状的闸门部93b一体形成为从上方观察呈L字形。闸门部93b从滑动部93a的左表面前侧向左突出设置。闸门部93b的前后宽度比滑动部93a的前后宽度小。

在图7中，将上述闸门装置主体91的安装槽106与纵壁82的上述凹部89的端缘嵌合，并将闸门装置主体91从上方插入凹部89内。然后，将左右的两固定件95通过螺栓95a固定于纵壁82的上表面，从而将闸门装置主体91以密封状态安装于纵壁82。限位部件92是板状体，可装拆地固定于左侧柱部91a的前表面，并使前后位置与闸门部93b的前后位置相同。在限位部件92的前端部的上下方向的大致全长范围内安装有填料108。

上述导向板110是与工件搬运方向F正交的板状体，右部分可装拆地固定于右侧柱部91b的前表面，左部分位于右侧柱部91b的左侧。导向壳体111由后导向部111a和左导向部111b形成为从上方观察呈L字形，后导向部111a是与工件搬运方向F正交的板状体，左导向部111b是与工件搬运方向F平行的板状体，后导向部111a的右侧部分可装拆地固定于右侧柱部91b的后表面，后导向部111a的左侧部分配置于与导向板110的左部分相同的左右位置。左导向部111b的后端与后导向部111a的左端一体形成，左导向部111b的前端与上述导向板110的左端之间空开一定的间隙T配置。

(驱动机构94的详细构造)

图9中，在由后导向部111a的前表面、左导向部111b的右表面、导向板110的后表面、右侧柱部91b的左表面和桥体91c的上表面围成的管收纳室124内，在左右方向上移动自如地收纳有滑动部93a。滑动部93a的前后宽度比管收纳室124内的前后宽度稍小。闸门部93b经过上述间隙T而突出到管收纳室124外。闸门部93b的前后宽度比上述间隙T的前后宽度稍小。在由后导向部111a的前表面、左导向部111b的右表面、滑动部93a的左表面、闸门部93b的后表面和桥体91c的上表面围成的空间部124a内收纳有上述第一管部件101，在由后导向部111a的前表面、导向板110的后表面、滑动部93a的右表面、右侧柱部91b的左表面和桥体91c的上表面围成的空间部124b内收纳有上述第二管部件102。两管部件101、102是具有弹性的橡胶制管，通过朝内部压入空气而膨胀，通过将内部的空气排出而收缩。

图10是图9的X-X截面放大图，将上下方向的中间部分省略表示。在该图10中，各管部件101、102的下端部通过下侧固定件99和螺栓99a分别固定于右侧柱部91b的左表面和后导向部111b的右表面并被闭塞。各管部件101、102的上端部通过长方体状的上侧固定件98和螺栓98a分别固定于右侧柱部91b的左表面和后导向部111b的右表面并被闭塞，但在各管部件101、102的上端闭塞部的附近分别开设有孔101a、102a，在该孔101a、102a内分别插入L字形的树脂制或金属制的接头管130并连接。

在上侧固定件98上形成有用于固定上述接头管130的槽部98b以及与接头管130连通的空气通路131，空气通路131从上侧固定件98的上表面的大致中央形成至内部，并通过空气软管分别与气泵132连接。槽部98b从与右侧柱部91b的左表面相对的面(或与后导向部111b的右表面相对的面)的大致中央部形成至下端。如图22所示，空气通路131与槽部98b通过通路98c连通。

图11是图10的XI-XI剖视图，第一管部件101用的接头管130形成为矩形截面，接头管130的垂直部130a嵌入上侧固定件98的槽部98b，并与后导向部111b的右表面压紧。槽部98b的纵深和宽度被设定成比垂直部130a的外径稍大。如图10所示，接头管130的水平部130b经由上述通路98c而与空气通路131连通。接头管130具有能经受住固定件98的压紧力的强度，因此能作为空气通路131与管部件101之间的空气通路始终发挥稳定的功能。如图23所示，垂直部130a在周围被管部件101覆盖的状态下与槽部98b嵌合，因此，垂直部130a与槽部98b的间隙(图23中用斜线表示的D1、D2)被管部件101闭塞，防止空气从固定件98的下表面泄漏。固定件98和后导向部111b以在相对的面(图23中用斜线表示的E1、E2)上夹着管部件101压接的状态固定，因此，固定件98与后导向部111b的间隙被管部件101闭塞，防止空气从固定件98的侧面(与后导向部111b相对的面)泄漏。由此，防止固定件98的下表面和侧面两者的空气泄漏，将管部件101的上端部以气密状态与接头管130连接并固定于后导向部111b。图10所示的第二管部件102也和与上述第一管部件101一样的接头管130连接，并固定于右侧柱部91b。

在图9中，如上所述由两管部件101、102构成的驱动机构94在开闸状态与关闸状态之间切换，在开闸状态下，在朝第一管部件101供给压缩空气而使第一管部件101膨胀的同时，将第二管部件102内的空气排出而使第二管部件102收缩，相反，在关闸状态下，在朝第二管部件102供给压缩空气而使第二管部件102膨胀的同时，将第一管部件101内的空气排出而使第一管部件101收缩。

即，图12是表示打开状态的图9的主要部分的放大图，通过朝第一管部件101压入空气、使其膨胀来扩大左导向部111b的右表面与滑动部93a的左表面之间的距离，并且从第二管部件102排出空气、使其收缩，使滑动部93a和闸门部93b一体地朝打开方向(右方)0移动，能将工件经过口88打开。此时，空间部124b内的镀覆液和空气通过滑动部93a的动作而被压缩，从空间部124b的上部、下部、可动闸门部件93与导向板110间的间隙以及后导向部111a与滑动部93a的间隙排出。另一方面，如图13所示，通过朝第二管部件102压入空气、使其膨胀来扩大右侧柱部91b的左表面与滑动部93a的右表面之间的距离，并且从第一管部件101排出空气、使其收缩，使滑动部93a和闸门部93b一体地朝关闭方向(左方)S移动，能将工件经过口88关闭。此时，空间部124a内的镀覆液和空气通过滑动部93a的动作而被压缩，从空间部124a的上部、下部、可动闸门部件93与导向板110间的间隙以及左导向部111b与闸门部93b的间隙排出。该关闭状态下，闸门部93b的端缘与限位部件92的填料108按压接触。

第一管部件101和第二管部件102的材质不限定于如上所述的橡胶，只要是树脂就没有特别的限制，但较为理想的是考虑耐药品性、对反复伸缩的耐久性等决定。例如，在用于贮存酸性、碱性的处理液的处理液槽时，可采用EPDM、四氟乙烯树脂、聚乙烯、聚丙烯、软性氯乙烯、天然橡胶等。

在图6中，上述橡胶管制填料108也通过接头管140而与气泵141连接，通过对橡胶管制填料108压入空气，能发挥密封性能。

(工作的说明)

由于镀覆处理工序及其后的吊钩的剥离工序等是以往公知的，因此极为简单地进行说明。在图1中，用加载部10将镀覆处理前的工件W吊持于搬运吊钩28，利用推进机装置将搬运吊钩28和工件W搬运至前处理槽11内，并使搬运吊钩28的链轮71与前处理槽11的连续搬运装置35的搬运链75的起始端部卡合。

从上述连续搬运装置35起，朝着箭头F方向依次利用取入搬运装置31、连续搬运装置36、取入搬运装置32和连续搬运装置37来移动搬运吊钩27，从而使工件W经过前处理槽11、空平台12、箱槽13、镀覆槽14、箱槽15、空平台16和第一后处理槽17，或使工件W在规定的处理位置停止规定时间，进行前处理、镀覆处理和清洗等后处理。镀覆处理完成后的工件由未图示的推进机装置通过第二后处理槽18搬运至卸载部19，从搬运吊钩28拆下镀覆处理后的工件W。

拆下工件W后的搬运吊钩-28接着使链轮71与剥离工序的空平台20的连续搬运装置38的链式输送机75卡合，从该连续搬运装置38起朝着箭头F方向依次利用取入搬运装置33、连续搬运装置39、取入搬运装置34和连续搬运装置40进行移动，附着物被剥离、清洗，再次返回加载部10。

在上述镀覆处理中，将工件W从例如镀覆处理工序的镀覆槽14朝箱槽15水平移动时以及将工件W从箱槽15朝空平台16水平移动时等，像图12那样，在使第一管部件101膨胀的同时使第二管部件102收缩，从而使可动闸门部件93朝打开方向O移动，将工件经过口88打开。由此，工件W不用上升就可经过工件经过口88。工件W经过了工件经过口88后，像图13那样，在使第二管部件102膨胀的同时使第一管部件92收缩，从而使可动闸门部件93朝关闭方向(左方)S移动，将工件经过口88关闭。

[利用闸门装置的开闭进行工件搬运的一例]

图14～图16表示镀覆槽14、箱槽15、空平台16间的工件W的搬运(移送)与闸门装置84、85的开闭动作的关联。闸门装置84、85处于打开状态时用交叉影线表示，闸门装置84、85处于关闭状态时用空白表示。

(1)在图14中，预先对箱槽15内供给来自未图示的柱槽的镀覆液。将镀覆槽14与箱槽15之间的闸门装置84打开，箱槽15与空平台16之间的闸门装置85关闭，在镀覆槽14内的搬运吊钩28中的最靠近箱槽15侧(箭头F方向侧)的搬运吊钩(用虚线表示)28的支轴70上，从箭头F的反方向侧卡合取入搬运装置32的滑动器77的取入爪79。然后，朝箭头F方向移动滑动器77，从而使工件W与搬运吊钩28一起朝箭头F方向移动，经过闸门装置84的开口部88(图6)而搬运至箱槽15内，并在箱槽15处停止。

(2)在图15中，将镀覆槽14与箱槽15之间的闸门装置84关闭，排出箱槽15内的镀覆液。

(3)在图16中，将箱槽15与空平台16之间的闸门装置85打开，朝箭头F方向移动滑动器77，从而使工件W与搬运吊钩28一起朝箭头F方向移动，经过闸门装置85的开口部88而搬运至空平台16内。之后，上述闸门装置85关闭。被搬运到空平台16内的搬运吊钩28由连续搬运装置37进行搬运。

(4)将搬运吊钩28搬运到空平台16内之后，滑动器77朝箭头F的反方向移动，返回至镀覆槽14的上方。此时，滑动器77的取入爪79越过镀覆槽14内的下一个搬运吊钩28的支轴70，从箭头F的反方向侧与上述支轴70卡合。

[实施方式的效果]

(1)由于包括限位部件92和可动闸门部件93，作为可动闸门部件93的驱动机构94，包括膨胀伸缩自如的一对第一管部件101和第二管部件102，通过使第一管部件101膨胀并使第二管部件102收缩，使可动闸门部件93朝着打开位置移动，通过使第一管部件101收缩并使第二管部件102膨胀，使可动管部件101朝着关闭位置移动，因此与包括电动机和减速齿轮机构等机械驱动机构时相比，驱动机构94被简化，能实现成本的降低。而且，即使驱动机构94的管部件101、102浸渍在处理液中，驱动机构的功能也不会下降。用实际的装置进行测试的结果是，专利文献3的闸门装置中的袋状闸门部件的寿命为一周左右，与之相对，本实施方式的驱动机构94达到了一个月的寿命。

(2)由于利用空气压力等使弹性材制的两管部件101、102进行膨胀和收缩，因此能敏捷地进行可动两闸门部件93的移动，可提高开闭控制的响应性。另外，在某种原因导致可动闸门部件93在开闭途中停止时，即便管部件101或102的膨胀动作继续，也能利用管部件自身的弹性来防止管部件的破损。

(3)由于包括相对于纵壁82的凹部89装拆自如的闸门装置主体91，上述闸门装置主体91的左右两个部分包括沿上下方向延伸的条状嵌合槽106，通过将上述嵌合槽106与上述凹部89的内端缘卡合并将闸门装置主体91从上方插入凹部89，将闸门装置主体安装在纵壁82上，因此在处理液槽上能简单地装拆闸门装置。

(4)由于导向壳体111、导向板110和限位部件92能在闸门装置主体91上进行装拆，并且能将左侧柱部91a与右侧柱部91b分离，因此能使管部件101、102和填料108的更换变得容易，并能可靠地进行管收纳室124内等各部分的清洗，能提高镀覆槽14的维护性。

(5)由于在将可动闸门部件93打开时通过管部件101的膨胀将空间部124a内的处理液排出，减小流入空间部124a内的处理液的体积，因此在下一动作中将可动闸门部件93关闭时，能减小空间部124a内的处理液对滑动部93a的左表面产生的阻力，能迅速且顺畅地进行可动闸门部件93的关闭动作。同样地，通过使管部件102膨胀，能迅速且顺畅地进行可动闸门部件93的打开动作。因此，开闭动作变得迅速，能缩短工件的移动时间，从而能对镀覆处理装置的工件生产量的增加做出贡献。

(6)由于可动闸门部件93、管部件102和填料108配设在工件经过口88的上下方向的大致全长范围内，可动闸门部件93以通过管部件102的膨胀而在整个上下方向上均等受力的状态与填料108按压接触，因此能提高闸门装置84的液密封性。因此，从镀覆槽14和箱槽15流出的镀覆液减少，从而能减小使流出的镀覆液返回镀覆槽14的泵57的能力，并且镀覆液的循环引起的液温变化减小，能减轻温度调节所需的负载。

(7)由于将接头管130在插通管部件101(或管部件102)的状态下嵌入固定部98的槽部98b、与后导向部111b(或右侧柱部91b)压紧，将各管部件的上端部以气密状态与接头管130连接，并利用接头管130确保了空气的通路，因此能使空气可靠地出入各管部件，使可动闸门部件93的动作变得顺畅。此外，操作者固定管部件时，能将接头管130作为管部件上开设的孔的记号，能简单地进行管部件的安装作业。

[第二实施方式]

图17是第二实施方式，只表示了可动闸门部件93。可动闸门部件93中，一体形成的滑动部93a形成空洞。即，在滑动部93a的上下方向的大致全长范围内进行钻孔加工，并用盖141将加工出的空洞部140的上端开口部闭塞。空洞部140的下端被滑动部93a的下端部分闭塞。

这样，通过将滑动部93a形成中空，能实现可动闸门部件93的重量的减轻，并能高效地利用浮力，从而能提高可动闸门部件93的开闭移动的顺畅性。能提高可动闸门部件93的开闭移动的顺畅性和响应性，迅速地进行开闭移动。

[第三实施方式]

图18是第三实施方式，表示闸门装置84的水平剖视图。本实施方式的闸门装置84包括导向壳体113以代替导向板110，并包括可动闸门部件151以代替可动闸门部件93。另外，作为上述驱动机构94的代替，包括驱动机构941，其具有第一管部件101a、101b、第二管部件102a、102b总共四根管部件。上述零件全部配设在工件经过口88的上下方向的大致全长范围内。其它结构与上述第一实施方式一样，对相同或相当部分标注相同符号并省略其说明。导向壳体113由前导向部113a和左导向部113b形成为从上方观察呈L字形，前导向部113a是与工件搬运方向F正交的板状体，左导向部113b是与工件搬运方向F平行的板状体，前导向部113a的右侧部分可装拆地固定于右侧柱部91b的前表面，前导向部113a的左侧部分配置于与导向壳体111的左部分相同的左右位置。左导向部113b的前端与前导向部113a的左端一体形成，左导向部113b的后端与上述左导向部111b的前端之间空开一定的间隙U配置。

在由后导向部111a的前表面、左导向部111b的右表面、前导向部113a的后表面、左导向部113b的右表面、右侧柱部91b的左表面和桥体91c的上表面围成的管收纳室124内，在左右方向上移动自如地收纳有与上述可动闸门部件151一体形成的矩形截面的滑动部151a。

可动闸门部件151由滑动部151a和闸门部151b一体形成为从上方观察呈T字形。闸门部151b从滑动部151a的左表面中央向左突出，闸门部151b的前后宽度比滑动部151a的前后宽度小。闸门部151b经过上述间隙U而突出到管收纳室124外。闸门部151b的前后宽度比上述间隙U的前后宽度稍小。滑动部151a的前后宽度比管收纳室124内的前后宽度稍小。在由后导向部111a的前表面、左导向部111b的右表面、滑动部151a的左表面、闸门部151b的后表面和桥体91c的上表面围成的空间部124a内收纳有上述第一管部件101a，在由前导向部113a的后表面、左导向部113b的右表面、滑动部151a的左表面、闸门部151b的前表面和桥体91c的上表面围成的空间部124b内收纳有上述第一管部件101b，在由后导向部111a的前表面、前导向部113a的后表面、滑动部151a的右表面、右侧柱部91b的左表面和桥体91c的上表面围成的空间部124c的后侧收纳有上述第二管部件102a，前侧收纳有上述第二管部件102b。管部件101b由上侧固定件98和下侧固定件99固定于左导向部113b的右表面，上述第二管部件102a和102b分别由上侧固定件98和下侧固定件99固定于右侧柱部91b的左表面。

通过朝第一管部件101a和101b压入空气、使其膨胀来扩大滑动部151a的左表面与左导向部111b的右表面及左导向部113b的右表面之间的距离，并且从第二管部件102a和102b排出空气、使其收缩，使滑动部151a和闸门部151b一体地朝打开方向(右方)0移动，能将工件经过口88打开。此时，空间部124c内的镀覆液和空气从空间部124c的上部、下部、滑动部151a与后导向部111a间的间隙以及滑动部151a与前导向部113a的间隙排出。另一方面，通过朝第二管部件102a和102b压入空气、使其膨胀来扩大右侧柱部91b的左表面与滑动部151a的右表面之间的距离，并且从第一管部件101a和101b排出空气、使其收缩，使滑动部151a、闸门部151b一体地朝关闭方向(左方)S移动，能将工件经过口88关闭。此时，空间部124a内的镀覆液和空气从空间部124a的上部、下部、滑动部151a与后导向部111a间的间隙以及闸门部151b与左导向部111b的间隙排出，空间部124b内的镀覆液和空气从空间部124b的上部、下部、滑动部151a与前导向部113a间的间隙以及闸门部151b与左导向部113b的间隙排出。该关闭状态下，闸门部151b的端缘与限位部件92的填料108按压接触。这样，本实施方式中，第一管部件(101a和101b)和第二管部件(102a和102b)分别配置于滑动部151a的移动方向的两侧，作为能膨胀收缩的一对管部件进行动作。

根据本实施方式，第一管部件101和第二管部件102分别配置有一对，因此，能以较强的、且在工件搬运方向的整个宽度范围内大致均等的力来移动可动闸门部件93。另外，即使一对第一管部件101中的一方爆裂、一对第二管部件102中的一方爆裂，也能确保可动闸门部件93的动作。在图18中，对与上述第一实施方式相同的零件标注了相同的符号。

[第四实施方式]

图19是第四实施方式，表示闸门装置84的水平剖视图，是左右设置一对可动闸门部件93和驱动机构94的构造。即，是将配置于上述第一实施方式的图6等的右半部分的可动闸门部件93以及由第一管部件101和第二管部件102形成的驱动机构94配置成左右对称的构造。在图19中，对与上述第一实施方式相同的零件标注了相同的符号。

根据本实施方式，由于从左右加压各可动闸门部件93，因此能可靠地关闭狭缝状的工件经过口88。

[第五实施方式]

图20和图21是将本发明应用于以水平状态搬运板状工件W的镀覆处理装置的例子。图20表示镀覆处理装置的整体，从工件搬运起点侧起依次配置有工件加载槽(工件加载部)201、前处理槽(喷淋槽)202、箱槽203、镀覆槽204、箱槽205、后处理槽(喷淋槽)206、工件卸载槽(工件卸载部)207，在各槽间的纵壁上配置有闸门装置G，该闸门装置G具有水平的狭缝状的工件经过口210(图21)。在各槽201至207内配置有上下夹持水平状态的工件W并进行搬运的上下的搬运滚筒211。在箱槽203、205中，在工件搬运路的下侧配置有箱槽203a、205a。

图21是闸门G的一例，基本上是将具有上述图6至图9等所示的纵向的工件经过口的闸门装置旋转90°而横向配置的构造，因此，对具有与第一实施方式相同的功能的零件标注相同的符号并省略其详细说明。

在图21中，闸门装置主体91在上下方向上隔开间隔地具有上下的柱部件(梁部件)91a、91b，两者的端部彼此由左右的垂直的柱部件91c、91d(只有91d未图示)连结，从而形成具有朝向工件搬运方向F贯穿的孔的长方体。在纵壁82的凹部89的端缘上通过橡胶管制填料90嵌合有在闸门装置主体91的外周上形成的安装槽106。导向板110是与工件搬运方向F正交的板状体，下部分可装拆地固定于下侧柱部件91b的前表面，上部分配置于下侧柱部件91b的上侧。导向壳体111由后导向部111a和上导向部111b形成为从侧方观察呈L字形，后导向部111a是与工件搬运方向F正交的板状体，上导向部111b是与工件搬运方向F平行的板状体，后导向部111a的下侧部分可装拆地固定于下侧柱部件91b的后表面，后导向部111a的上侧部分配置于与上述导向板110相同的上下位置。上导向部111b的后端与后导向部111a的上端一体形成，上导向部111b的前端与上述导向板110的后端之间空开一定的间隙V配置。可动闸门部件93由矩形截面的滑动部93a和板状的闸门部93b一体形成为从侧方观察呈L字形。闸门部93b从滑动部93a的上表面前侧向上突出设置。闸门部93b的前后宽度比滑动部93a的前后宽度小。在由后导向部111a的前表面、上导向部111b的下表面、导向板110的后表面、下侧柱部件91b的上表面、左侧柱部件91c的右表面和右侧柱部件91d的左表面围成的管收纳室124内，在上下方向上移动自如地收纳有滑动部93a。滑动部93a的前后宽度比管收纳室124内的前后宽度稍小。

闸门部93b经过上述间隙V而突出到管收纳室124外。闸门部93b的前后宽度比上述间隙V的前后宽度稍小。在由后导向部111a的前表面、上导向部111b的下表面、滑动部93a的上表面、闸门部93b的后表面、左侧柱部件91c的右表面和右侧柱部件91d的左表面围成的空间部124a中收纳有上述第一管部件101，在由后导向部111a的前表面、导向板110的后表面、滑动部93a的下表面、下侧柱部91b的上表面、左侧柱部件91c的右表面和右侧柱部件91d的左表面围成的空间部124b中收纳有上述第二管部件102。

在上侧柱部件91a的下表面设置有朝下方突出的限位部件92，可动闸门部件93的上端面隔着水平的狭缝状的工件经过口210与上述限位部件92的下表面相对。

限位部件92、可动闸门部件93、导向板110、导向壳体111、管部件101和管部件102全部配设在工件经过口210的左右方向的大致全长范围内。

该闸门装置G中，通过朝上侧的第一管部件101压入空气、使其膨胀来扩大上导向部111b的下表面与滑动部93a的上表面之间的距离，并且从第二管部件102排出空气、使其收缩，使滑动部93a和闸门部93b一体地朝打开方向(下方)移动，从而将工件经过口210打开。由此，工件W不用上升，可在水平的状态下经过工件经过口210。另一方面，通过朝第二管部件102压入空气、使其膨胀来扩大下侧柱部91b的上表面与滑动部93a的下表面之间的距离，并且从第一管部件101排出空气、使其收缩，使滑动部93a和闸门部93b一体地朝关闭方向(上方)移动，将工件经过口210关闭。

[其它实施方式]

(1)上述各实施方式中，是通过将搬运吊钩连续地水平移动来使其经过各槽的所谓的连续搬运方式的镀覆装置，但本发明所涉及的闸门装置也可应用于例如具有在中途使吊钩上升、移送至下一个槽并在下一个槽中使吊钩下降的搬运区间的间歇搬运方式的镀覆装置等。

(2)本发明所涉及的闸门装置不限定于镀覆装置，也可应用于例如利用储藏在处理液槽内的处理液来清洗工件的剥离槽等的浸渍处理装置。

本发明除了能应用于镀覆装置以外，还能应用于铬酸盐处理装置、铝的阳极氧化处理装置、电解研磨装置或电解酸洗装置等处理装置。

Claims (4)

1.一种处理液槽的闸门装置，具有板状工件能经过的狭缝状的工件经过口，其特征在于，包括：

由左右的柱部构成为纵长U字形的闸门装置主体；

可动闸门部件，该可动闸门部件的位置能在关闭所述工件经过口的关闭位置与打开所述工件经过口的打开位置之间变更；

将左右的柱部夹持并连结的固定板；

对所述可动闸门部件进行导向的导向壳体；以及

驱动机构，该驱动机构使所述可动闸门部件在关闭位置与打开位置之间移动，

所述驱动机构包括：与所述可动闸门部件一体移动的滑动部、以及配置在该滑动部的移动方向的两侧并能膨胀收缩的一对管部件，通过在使一个管部件膨胀的同时使另一个管部件收缩，使可动闸门部件与所述滑动部一起朝着打开位置移动，通过在使一个管部件收缩的同时使另一个管部件膨胀，使可动闸门部件与所述滑动部一起朝着关闭位置移动。

2.如权利要求1所述的处理液槽的闸门装置，其特征在于，所述管部件由弹性材构成。

3.如权利要求1或2所述的处理液槽的闸门装置，其特征在于，支撑所述闸门部件和所述驱动机构的闸门装置主体装拆自如地安装于所述处理液槽的纵壁。

4.如权利要求3所述的处理液槽的闸门装置，其特征在于，

在所述纵壁上形成有安装闸门装置主体用的朝上开口的凹部，

在所述闸门装置主体上，在与工件搬运方向正交的方向上的两端缘包括沿上下方向延伸的条状的嵌合槽，

通过将所述嵌合槽与所述凹部的内端缘卡合并将闸门装置主体从上方插入凹部，将闸门装置主体安装于纵壁。

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