KR101654293B1 - 습식 공정 챔버 및 이를 포함하는 습식 공정 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 피처리재에 대한 습식 공정을 진행하기 위한 습식 공정 챔버에 관한 것으로서, 상기 피처리재가 통과하도록 형성된 하나 이상의 개구부를 구비하는 하우징 및 상기 개구부와 대응되도록 배치되고 상기 피처리재가 통과하도록 형성된 슬릿을 구비하는 차단부를 포함하고, 상기 차단부는 상기 개구부보다 큰 크기를 갖고, 상기 차단부의 슬릿은 상기 개구부에 비하여 작은 폭을 갖는 습식 공정 챔버 및 이를 포함하는 습식 공정 장치를 제공한다.

Description

습식 공정 챔버 및 이를 포함하는 습식 공정 장치{Wet process chamber and wet process apparatus having the same}
본 발명은 습식 공정 챔버 및 이를 포함하는 습식 공정 장치에 관한 것으로 더 상세하게는 피처리재에 대한 습식 공정 진행 시 습식 공정 챔버의 내부가 오염되는 것을 방지하여 습식 공정 특성을 향상하는 습식 공정 챔버 및 이를 포함하는 습식 공정 장치에 관한 것이다.
습식 공정은 다양한 제품의 제조 시 사용되는데, 예를들면 습식 공정은 세정 공정, 도금 공정 또는 식각 공정 등을 포함하고, 이외에 용액을 사용하는 다양한 공정일 수 있다.
특히, 다양한 전기 및 전자 제품 기타 기계 부품의 정밀한 공정 시 습식 공정을 이용한다.
도 1은 종래의 습식 공정을 포함하는 과정을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 일 습식 공정 챔버를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면 피처리재(1)를 일 방향, 즉 X1 방향으로 이동하면서 복수의 챔버(11,12,13)를 통과하면서 피처리재(1)를 처리하는 것을 도시하고 있다.
피처리재(1)는 습식 공정을 진행해야 할 대상, 즉 필름, 기판, 웨이퍼 등 다양한 형태일 수 있다.
챔버(11)는 습식 공정을 진행하는 챔버로서, 피처리재(1)의 출입을 위한 하나 이상의 개구부(11a)를 구비한다. 또한, 도시하지 않았으나 피처리재(1)는 챔버(11)를 통과하기 전 다른 습식 공정을 진행할 수 있다.
도 2에 도시한 것과 같이 피처리재(1)가 챔버(11)의 개구부(11a)를 통과하여 챔버(11)의 내부로 투입 시 챔버(11)에서 수행되는 습식 공정에 사용되는 용액과 다른 용액, 즉 불순 용액이 개구부(11a)를 통하여 피처리재(1)과 함께 챔버(11)로 유입될 수 있다.
즉, 전술한 것과 같이 피처리재(1)는 챔버(11)를 통과하기 전 하나 이상의 습식 공정을 거칠 수 있고, 이러한 습식 공정 시 사용한 용액이 피처리재(1)에 잔존한다. 또한, 피처리재(1)에 기타 불순의 용액이 잔존할 수 있다.
그리고 이러한 잔존하는 용액이 개구부(11a)를 통과하여 챔버(11)내로 유입된다.
특히, 챔버(11) 제작 시 제작의 곤란성으로 인하여 개구부(11a)를 피처리재(1)의 두께에 대응하도록 미세한 크기를 갖도록 제조하는 것은 용이하지 않다.
그러므로 피처리재(1)가 개구부(11a)로 유입 시 불순 용액이 개구부(11a)를 통하여 챔버(11)내부로 유입되어 챔버(11)내부가 불순 용액에 의하여 오염된다. 결과적으로 습식 공정 특성이 저하되고 습식 공정의 특성 조건이 변하여 습식 공정을 원하는 대로 정밀하게 제어하는데 한계가 있다.
본 발명은 습식 공정 챔버의 내부가 오염되는 것을 방지하여 습식 공정 특성을 향상하는 습식 공정 챔버 및 이를 포함하는 습식 공정 장치를 제공할 수 있다.
본 발명은 피처리재에 대한 습식 공정을 진행하기 위한 습식 공정 챔버에 관한 것으로서, 상기 피처리재가 통과하도록 형성된 하나 이상의 개구부를 구비하는 하우징 및 상기 개구부와 대응되도록 배치되고 상기 피처리재가 통과하도록 형성된 슬릿을 구비하는 차단부를 포함하고, 상기 차단부는 상기 개구부보다 큰 크기를 갖고, 상기 차단부의 슬릿은 상기 개구부에 비하여 작은 폭을 갖는 습식 공정 챔버를 개시한다.
본 발명에 있어서 상기 차단부는 상기 하우징의 외측에 배치되는 외측부, 상기 외측부와 대응되고 상기 하우징의 내측에 배치되는 내측부 및 상기 외측부와 상기 내측부를 결합하는 결합부를 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 차단부는 상기 결합부를 통하여 상기 하우징에 부착 및 탈착이 가능하도록 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 외측부 및 내측부는 각각 서로 대향하도록 배치된 제1 측면 부재 및 제2 측면 부재를 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 외측부 및 내측부는 상기 제1 측면 부재와 상기 제2 측면 부재 사이에 형성된 슬릿을 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 차단부의 슬릿은 상기 외측부 및 내측부 각각의 슬릿과 중첩될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 측면 부재 및 상기 제2 측면 부재는 서로 대향하는 각 측면에 홈이 형성되고, 상기 홈이 상기 외측부 및 상기 내측부의 슬릿을 형성할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 외측부의 제1 측면 부재는 상기 결합부를 통하여 상기 내측부의 제1 측면 부재와 결합하고, 상기 외측부의 제2 측면 부재는 상기 결합부를 통하여 상기 내측부의 제2 측면 부재와 결합할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 외측부는 상기 결합부에 대응하는 그루브를 구비하고, 상기 내측부는 상기 결합부에 대응하는 쓰루홀을 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 결합부는 상기 외측부와 상기 내측부를 결합하면서 상기 개구부에 대응되도록 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 외측부는 상기 내측부보다 두껍게 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 차단부의 슬릿의 길이는 상기 개구부의 길이와 같거나 상기 개구부의 길이보다 작도록 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 개구부에 대응되고 상기 차단부에 인접하도록 배치되고, 상기 피처리재의 표면과 접하도록 형성된 마찰부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 마찰부는 서로 대향하도록 배치된 제1 마찰 부재 및 제2 마찰 부재를 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 마찰부는 상기 차단부의 슬릿 내부에 대응되도록 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 마찰부는 서로 상기 하우징의 내측에 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 마찰부는 롤 형태를 가질 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 피처리재의 습식 공정을 진행할 피처리면이 지면과 평행한 방향 또는 지면과 수직한 방향을 향하면서 상기 피처리재가 상기 개구부 및 상기 차단부의 슬릿을 통과하도록, 상기 개구부 및 상기 차단부가 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 하우징 내에 배치되고, 습식 공정이 수행되는 공간을 제공하도록 형성되고, 상기 피처리재가 출입하도록 하나 이상의 개구부를 갖는 내측 하우징을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 내측 하우징은 박스 형태를 가질 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 내측 하우징은 바닥면이 없는 박스 형태를 갖고 상기 하우징의 바닥면과 접할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 내측 하우징의 개구부에 대응되고, 상기 내측 하우징의 내측 또는 외측에 배치되고, 상기 피처리재의 표면과 접하도록 형성된 마찰부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 마찰부는 서로 대향하도록 배치된 제1 마찰 부재 및 제2 마찰 부재를 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 마찰부는 롤 형태를 가질 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 습식 공정은 세정, 도금 또는 식각 공정을 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 피처리재는 필름재, 웨이퍼 또는 기판을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면 상기 습식 공정 챔버를 포함하는 습식 공정 장치를 개시한다.
본 발명에 있어서 상기 습식 공정 장치는 복수의 공정 챔버를 포함하고, 상기 공정 챔버 중 적어도 어느 하나는 상기 습식 공정 챔버인 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 관한 습식 공정 챔버 및 이를 포함하는 습식 공정 장치는 습식 공정 진행 시 원하지 않는 용액이 피처리재와 함께 유입되어 발생하는 습식 공정 챔버의 오염을 용이하게 방지한다.
이를 통하여 습식 공정 챔버 내부의 청정도를 용이하게 유지하여 습식 공정을 정밀하게 제어할 수 있다.
결과적으로 습식 공정 특성의 향상을 극대화할 수 있다.
도 1은 종래의 습식 공정을 포함하는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 일 습식 공정 챔버를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 관한 습식 공정 챔버를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3의 K 방향에서 본 측면도이다.
도 5는 도 3의 A의 확대도이다.
도 6은 도 5에서 개구부만을 도시한 도면이다.
도 7은 도 4의 M 방향에서 본 도면이다.
도 8은 도 5 및 도 7의 Ⅷ-Ⅷ선을 따라 절취한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 관한 습식 공정 챔버를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 10은 도 9의 A의 확대도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 관한 습식 공정 챔버를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 12는 도 11의 M 방향에서 본 평면도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 관한 습식 공정 챔버를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 관한 습식 공정 챔버를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 관한 습식 공정 챔버를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 16은 본 발명의 습식 공정 챔버를 적용한 습식 공정 장치의 예를 개략적으로 도시한 도면이다.
이하 첨부된 도면들에 도시된 본 발명에 관한 실시예를 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 상세히 설명한다.
이하의 설명에서 본 발명에 대한 이해를 명확히 하기 위하여, 본 발명의 특징에 대한 공지의 기술에 대한 설명은 생략하기로 한다. 이하의 실시 예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 상세한 설명이며, 본 발명의 권리 범위를 제한하는 것이 아님은 당연할 것이다.
여기서 i) 첨부된 도면들에 도시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수, 동작 등은 개략적인 것으로 다소 변경될 수 있다. ii) 도면은 관찰자의 시선으로 도시되기 때문에 도면을 설명하는 방향이나 위치는 관찰자의 위치에 따라 다양하게 변경될 수 있다. iii) 도면 번호가 다르더라도 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호가 사용될 수 있다. iv) '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. v) 단수로 설명되는 경우 다수로도 해석될 수 있다. vi) 수치, 형상, 크기의 비교, 위치 관계 등이 '약', '실질적', '상대적' 등으로 설명되지 않아도 통상의 오차 범위가 포함되도록 해석된다. vii) '~후', '~전', '이어서', '그리고', '여기서', '후속하여' 등의 용어가 사용되더라도 시간적 위치를 한정하는 의미로 사용되지는 않는다. viii) '~상에', '~상부에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우 '바로'가 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 개재될 수도 있다. ix) 부분들이 '~또는', '및/또는' 으로 연결되는 경우 부분들 단독뿐만 아니라 조합도 포함되게 해석되나 '~또는 ~중 하나'로 연결되는 경우 부분들 단독으로만 해석된다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 관한 습식 공정 챔버를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3의 K 방향에서 본 측면도이고, 도 5는 도 3의 A의 확대도이고, 도 6은 도 5에서 개구부만을 도시한 도면이고, 도 7은 도 4의 M 방향에서 본 도면이고, 도 8은 도 5의 Ⅷ-Ⅷ선을 따라 절취한 단면도이다.
도 3 내지 도 8을 참조하면 습식 공정 챔버(100)는 하우징(101) 및 차단부(110)를 포함한다.
습식 공정 챔버(100)는 피처리재(1)에 대한 다양한 습식 공정을 진행할 수 있다. 즉, 습식 공정 챔버(100)는 세정, 식각, 도금 기타 다양한 습식 공정을 진행할 수 있도록 형성된다.
피처리재(1)는 기판, 웨이퍼 기타 필름 형태일 수 있다.
하우징(101)은 그 내부에서 습식 공정을 진행하도록 직육면체와 유사한 박스 형태를 가질 수 있고, 하나 이상의 개구부(101a)를 구비한다. 하우징(101)은 두 개의 개구부(101a)를 구비하여 하나의 개구부(101a)를 통하여 피처리재(1)가 하우징(101)내로 유입되고, 습식 공정을 진행한 후 다른 개구부(101a)를 통하여 피처리재(1)가 하우징(101)으로부터 유출될 수 있다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않고 하우징(101)이 하나의 개구부(101a)를 구비하여 피처리재(1)가 하나의 개구부(101a)를 통하여 출입하는 것도 물론 가능하다.
하우징(101)내에는 습식 공정을 진행하기 위한 공정부(190)가 배치되는데, 도 4에 도시한 것과 같이 공정부(190)는 본체 부재(191) 및 노즐 부재(192)를 구비한다. 본체 부재(191)는 하우징(101)내벽에 배치되어 안정적으로 고정되고, 노즐 부재(192)로 습식 공정을 진행하기 위한 용액을 전달한다. 노즐 부재(192)는 이러한 용액을 피처리재(1)에 분사하여 습식 공정을 진행한다.
도 4에 도시한 공정부(190)는 하나의 예로서, 공정부(190)는 다양한 형태를 가질 수 있는데, 예를들면 본체 부재없이 노즐 부재만을 구비할 수 있고, 노즐 부재의 개수에도 제한이 없다. 또한, 하우징(101)내에 다양한 위치에 노즐 부재가 배치될 수 있다. 또한, 하우징(101)내에 별도의 노즐 부재없이 용액을 수용하여 습식 공정을 진행할 수 있다.
차단부(110)는 하우징(101)의 개구부(101a)에 대응되도록, 즉 적어도 개구부(101a)와 중첩되도록 배치된다. 또한 차단부(110)는 개구부(101a)보다 큰 면적을 갖는다.
차단부(110)는 외측부(120), 내측부(130) 및 결합부(140)를 구비한다. 외측부(120)는 하우징(101)의 외측에 배치되고 개구부(101a)와 중첩된다. 내측부(130)는 하우징(101)의 내측에 배치되고 개구부(101a)와 중첩된다. 또한 내측부(130)는 외측부(120)와 대응되도록 배치된다. 결합부(140)는 외측부(120)와 내측부(130)를 결합한다.
먼저, 도 5에 도시한 것과 같이 외측부(120)는 제1 측면 부재(121), 제2 측면 부재(122) 및 슬릿(123)을 포함한다.
제1 측면 부재(121)는 외측부(120)의 좌측, 제2 측면 부재(122)는 외측부(120)의 우측을 구성한다. 슬릿(123)은 제1 측면 부재(121)와 제2 측면 부재(122)사이에 형성된다.
구체적으로 제1 측면 부재(121)는 개구부(101a)의 길이보다 큰 길이를 갖도록 길게 연장된 형태를 갖는다. 또한 제1 측면 부재(121)의 일측은 개구부(101a)의 중앙에 위치하도록 배치되는데, 이 때 제1 측면 부재(121)의 타측은 개구부(101a)를 넘어서 하우징(101)에 놓이도록 제1 측면 부재(121)는 소정의 크기 이상의 폭을 갖는다.
제1 측면 부재(121)와 마찬가지로 제2 측면 부재(122)는 개구부(101a)의 길이보다 큰 길이를 갖도록 길게 연장된 형태를 갖는다. 또한 제2 측면 부재(122)의 일측은 개구부(101a)의 중앙에 위치하도록 배치되는데, 이 때 제2 측면 부재(122)의 타측은 개구부(101a)를 넘어서 하우징(101)에 놓이도록 제2 측면 부재(122)는 소정의 크기 이상의 폭을 갖는다.
도 5에 도시한 것과 같이 제1 측면 부재(121)와 제2 측면 부재(122)는 서로 대칭된 형태를 갖는 것이 바람직하다.
슬릿(123)은 소정의 길이 및 폭을 갖는다. 즉, 슬릿(123)은 개구부(101a)에 비하여 매우 작은 폭을 갖는데, 피처리재(1)의 두께보다 약간 큰 폭을 갖는 것이 바람직하다. 이를 통하여 피처리재(1)에 잔존하는 용액이 습식 공정 챔버(100)의 하우징(101)내부로 유입되는 것을 억제한다. 또한, 슬릿(123)은 개구부(101a)보다 작거나 적어도 개구부(101a)에 대응하는 길이를 갖는 것이 바람직하다.
슬릿(123)은 제1 측면 부재(121) 및 제2 측면 부재(122)의 배치를 통하여 형성된다. 슬릿(123)의 형성을 위하여 제1 측면 부재(121) 및 제2 측면 부재(122)에는 일측에 소정의 폭을 갖는 홈이 형성된다. 그리고 이러한 제1 측면 부재(121) 및 제2 측면 부재(122)의 홈이 서로 연결되어 슬릿(123)을 형성한다.
즉, 제1 측면 부재(121) 및 제2 측면 부재(122)의 홈의 폭 및 길이에 따라 슬릿(123)의 폭 및 길이가 정해진다. 또한, 제1 측면 부재(121) 및 제2 측면 부재(122)간의 거리에 따라 슬릿(123)의 폭이 달라질 수 있다. 도 5에 도시한 것과 같이 제1 측면 부재(121) 및 제2 측면 부재(122)는 최대한 근접하도록, 즉 일측에서 서로 접하도록 배치되는 것이 바람직하다.
제1 측면 부재(121) 및 제2 측면 부재(122)는 각각 복수의 그루브(121a, 122a)를 구비한다. 그루브(121a, 122a)에는 결합부(140)가 배치되는데, 도 5에는 제1 측면 부재(121) 및 제2 측면 부재(122)에 각각 4개의 그루브(121a, 122a)들이 배치된 것이 도시되어 있으나 그루브(121a, 122a)들의 개수는 개구부(101a), 제1 측면 부재(121) 및 제2 측면 부재(122)의 형태에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
또한, 그루브(121a, 122a)는 소정의 깊이를 갖는데, 결합부(140)의 길이에 따라 다양하게 결정된다.
도 6에 도시한 것과 같이 개구부(101a)는 소정의 폭 및 길이를 갖도록 하우징(101)의 측면에 형성되는데, 전술한 것과 같이 차단부(110)의 크기는 개구부(101a)의 크기보다 크다.
도 7을 참조하면서 차단부(110)의 내측부(130)를 설명하기로 한다.
내측부(130)는 제1 측면 부재(131), 제2 측면 부재(132) 및 슬릿(133)을 포함한다.
제1 측면 부재(131)는 내측부(130)의 우측, 제2 측면 부재(132)는 내측부(130)의 좌측을 구성한다. 슬릿(133)은 제1 측면 부재(131)와 제2 측면 부재(132)사이에 형성된다.
내측부(130)는 외측부(120)와 대응되고 외측부(120)와 결합되는데, 구체적으로 내측부(130)의 제1 측면 부재(131)는 외측부(120)의 제1 측면 부재(121)와 대응 및 결합하고, 내측부(130)의 제2 측면 부재(132)는 외측부(120)의 제2 측면 부재(122)와 대응 및 결합한다.
구체적으로 내측부(130)의 제1 측면 부재(131)는 개구부(101a)의 길이보다 큰 길이를 갖도록 길게 연장된 형태를 갖는다. 또한 제1 측면 부재(131)의 일측은 개구부(101a)의 중앙에 위치하도록 배치되는데, 이 때 제1 측면 부재(131)의 타측은 개구부(101a)를 넘어서 하우징(101)에 놓이도록 제1 측면 부재(131)는 소정의 크기 이상의 폭을 갖는다.
제1 측면 부재(131)와 마찬가지로 제2 측면 부재(132)는 개구부(101a)의 길이보다 큰 길이를 갖도록 길게 연장된 형태를 갖는다. 또한 제2 측면 부재(132)의 일측은 개구부(101a)의 중앙에 위치하도록 배치되는데, 이 때 제2 측면 부재(132)의 타측은 개구부(101a)를 넘어서 하우징(101)에 놓이도록 제2 측면 부재(132)는 소정의 크기 이상의 폭을 갖는다.
도 7에 도시한 것과 같이 제1 측면 부재(131)와 제2 측면 부재(132)는 서로 대칭된 형태를 갖는 것이 바람직하다.
슬릿(133)은 소정의 길이 및 폭을 갖는다. 즉, 슬릿(133)은 개구부(101a)에 비하여 매우 작은 폭을 갖는데, 피처리재(1)의 두께보다 약간 큰 폭을 갖는 것이 바람직하다. 이를 통하여 피처리재(1)에 잔존하는 용액이 습식 공정 챔버(100)의 하우징(101)내부로 유입되는 것을 억제한다. 또한, 슬릿(133)은 개구부(101a)보다 작거나 적어도 개구부(101a)에 대응하는 길이를 갖는 것이 바람직하다.
또한 내측부(130)의 슬릿(133)은 외측부(120)의 슬릿(123)과 대응된다. 또한, 보다 바람직하게는 내측부(130)의 슬릿(133)은 외측부(120)의 슬릿(123)과 같은 형태 및 크기를 갖고 서로 중첩된다.
내측부(130)의 슬릿(133)및 외측부(120)의 슬릿(123)이 중첩되어 차단부(110)의 슬릿(113)을 형성한다.
내측부(130)의 슬릿(133)은 제1 측면 부재(131) 및 제2 측면 부재(132)의 배치를 통하여 형성된다. 슬릿(133)의 형성을 위하여 제1 측면 부재(131) 및 제2 측면 부재(132)에는 일측에 소정의 폭을 갖는 홈이 형성된다. 그리고 이러한 제1 측면 부재(131) 및 제2 측면 부재(132)의 홈이 서로 연결되어 슬릿(133)을 형성한다.
즉, 제1 측면 부재(131) 및 제2 측면 부재(132)의 홈의 폭 및 길이에 따라 슬릿(133)의 폭 및 길이가 정해진다. 또한, 제1 측면 부재(131) 및 제2 측면 부재(132)간의 거리에 따라 슬릿(133)의 폭이 달라질 수 있다. 도 7에 도시한 것과 같이 제1 측면 부재(131) 및 제2 측면 부재(132)는 최대한 근접하도록, 즉 일측에서 서로 접하도록 배치되는 것이 바람직하다.
제1 측면 부재(131) 및 제2 측면 부재(132)는 각각 복수의 쓰루홀(131a, 132a)을 구비한다. 쓰루홀(131a, 132a)는 결합부(140)가 배치되는데, 도 7에는 제1 측면 부재(131) 및 제2 측면 부재(132)에 각각 4개의 쓰루홀(131a, 132a)들이 배치된 것이 도시되어 있으나 쓰루홀(131a, 132a)들의 개수는 개구부(101a), 제1 측면 부재(131) 및 제2 측면 부재(132)의 형태에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
쓰루홀(131a, 132a)은 결합부(140)가 관통하도록 소정의 폭을 갖고 그루브(121a, 122a)에 대응되도록 형성된다.
도 8을 참조하면서, 차단부(110)에 대하여 더 구체적으로 설명하기로 한다.
도 8에 도시한 것과 같이 차단부(110)의 외측부(120) 및 내측부(130)는 결합부(140)에 의하여 결합된다. 결합부(140)는 다양한 체결 수단일 수 있는데, 예를들면, 나사, 핀, 기타 다양한 형태일 수 있다. 또한 결합부(140)에 대응하는 외측부(120)의 그루브(121a, 122a)및 내측부(130)의 쓰루홀(131a, 132a)의 내주면에는 결합부(140)에 대응하는 나사면이 형성되어 있을 수 있다.
또한, 결합부(140)는 개구부(101a)에 대응되고 하우징(101)과는 중첩되지 않도록 한다.
외측부(120)의 제1 측면 부재(121) 및 내측부(130)의 제1 측면 부재(131)는 하우징(101)의 일측과 서로 접하면서 서로 개구부(101a)에 대응되도록 배치된다. 이를 통하여 외측부(120)의 제1 측면 부재(121) 및 내측부(130)의 제1 측면 부재(131)는 개구부(101a)내에서 서로 소정의 간격을 갖고 이격되고 이러한 이격된 영역을 관통하도록 결합부(140)가 배치된다.
또한, 외측부(120)의 제2 측면 부재(122) 및 내측부(130)의 제2 측면 부재(132)는 하우징(101)의 일측과 서로 접하면서 서로 개구부(101a)에 대응되도록 배치된다. 이를 통하여 외측부(120)의 제2 측면 부재(122) 및 내측부(130)의 제2 측면 부재(132)는 개구부(101a)내에서 서로 소정의 간격을 갖고 이격되고 이러한 이격된 영역을 관통하도록 결합부(140)가 배치된다.
결합부(140)가 개구부(101a)에 대응되도록 배치되므로 차단부(110) 배치 시 하우징(101)에는 별도의 부재 등을 설치할 필요가 없다. 즉 결합부(140)는 외측부(120) 및 내측부(130)만을 결합하므로 하우징(101)에는 설계 변화의 필요가 없다. 하우징(101)에 결합부(140)를 위한 추가적인 쓰루홀을 형성할 필요가 없으므로 하우징(101)의 제조가 용이하고, 하우징(101)에 추가적인 쓰루홀 형성 시 발생할 수 있는 쓰루홀을 통한 누수를 원천적으로 방지한다. 또한, 결합부(140)를 용이하게 해체하여 차단부(110)를 하우징(101)으로부터 탈착할 수 있다. 이를 통하여 차단부(110)를 다양한 형태의 하우징(101)에 설계 변경 없이 사용할 수 있다.
결합부(140)의 길이를 감안하여 외측부(120)의 그루브(121a, 122a)의 깊이가 정해진다. 결합부(140)가 배치되는 영역에서의 용액의 누수가 발생하는 것을 차단하도록, 결합부(140)가 외측부(120)에 결합 시 외측부(120)를 관통하지 않는 것이 바람직하다. 이를 위하여, 외측부(120)는 소정의 두께를 갖는데, 도 8에 도시한 것과 같이 내측부(130)보다 두껍게 형성되는 것이 바람직하다.
본 실시예의 습식 공정 챔버(100)는 개구부(101a)에 대응하도록 차단부(110)가 배치된다. 차단부(110)는 외측부(120)의 슬릿(123) 및 내측부(130)의 슬릿(133)이 형성하는 슬릿(113)을 구비한다. 그리고, 이러한 슬릿(113)을 통하여 피처리재(1)가 하우징(101)의 내부로 유입되고, 하우징(101)내에서 습식 공정을 진행한다. 일정 크기 이하로 작게 형성하기 어려운 개구부(101a)에 대응되도록 피처리재(1)의 두께보다 약간 큰 폭의 슬릿(113)을 갖는 차단부(110)를 배치하여 피처리재(1)가 슬릿(113)을 통과하여 하우징(101)내부로 유입 시 피처리재(1)와 함께 잔존하는 용액이 유입되는 것을 효과적으로 차단한다.
이를 통하여 습식 공정 챔버(100)가 원하지 않는 용액으로 오염되는 것을 방지하고, 결과적으로 습식 공정 챔버(100)에서 행해지는 습식 공정의 균일성을 용이하게 향상하고 습식 공정의 정밀한 제어가 가능하다.
특히, 차단부(110)를 하우징(101)의 형태에 영향을 주지 않고 용이하게 부착 및 탈착이 가능하도록 형성하여 습식 공정 챔버(100)의 효율성을 증대한다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 관한 습식 공정 챔버를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 10은 도 9의 A의 확대도이다. 설명의 편의를 위하여 전술한 실시예와 상이한 점을 중심으로 설명하기로 하고, 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 의미한다.
습식 공정 챔버는 하우징(101), 차단부(110') 및 마찰부(150)를 포함한다. 마찰부(150)는 제1 마찰 부재(151) 및 제2 마찰 부재(152)를 구비한다. 마찰부(150)는 차단부(110')의 슬릿(113')에 대응되고, 또한 슬릿(113')을 벗어나지 않고 슬릿(113')내부에 배치된다.
구체적으로 마찰부(150)는 차단부(110')의 외측부(120')와 내측부(130')의 사이에 배치된다. 또한 제1 마찰 부재(151)는 외측부(120')의 제1 측면 부재(121')와 내측부(130)의 제1 측면 부재(131')사이에 배치되고, 제2 마찰 부재(152)는 외측부(120')의 제2 측면 부재(122')와 내측부(130)의 제2 측면 부재(132')사이에 배치된다.
제1 마찰 부재(151) 및 제2 마찰 부재(152)는 피처리재(1)가 차단부(110')를 통과하여 하우징(101)내로 유입 시 피처리재(1)의 표면과 마찰하면서 차단부(110)에 의하여 제거되지 않고 피처리재(1)에 잔존할 수 있는 불순 용액을 제거한다. 또한, 피처리재(1)의 연성이 높은 경우, 예를들면 피처리재(1)가 유연성이 있는 필름 타입일 경우 마찰부(150)는 피처리재(1)를 지지하여 피처리재(1)가 안정적으로 하우징(101)내로 유입되도록 한다. 또한, 습식 공정이 진행된 후 피처리재(1)를 하우징(101)으로부터 안정적으로 유출한다.
이를 위하여 마찰부(150)는 마찰력이 우수하고 피처리재(1)에 손상을 주지 않는 다양한 재료로 형성될 수 있다. 예를들면 마찰부(150)는 합성 수지 또는 융과 같은 섬유 재질을 함유하도록 형성할 수 있다. 또한, 마찰부(150)는 롤 형태일 수 있다.
기타 다른 구성요소는 전술한 실시예와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 관한 습식 공정 챔버를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 12는 도 10의 M 방향에서 본 평면도이다.
도 11 및 도 12를 참조하면 습식 공정 챔버(200)는 하우징(201), 차단부(210)및 마찰부(250)를 포함한다. 설명의 편의를 위하여 전술한 실시예와 상이한 점을 중심으로 설명하기로 한다.
하우징(201) 및 차단부(210)는 전술한 실시예와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
마찰부(250)는 하우징(201)의 내측에 개구부(미도시)와 대응되고 차단부(210)의 내측부(230)와 인접하도록 배치되는데, 구체적으로 제1 마찰 부재(251) 및 제2 마찰 부재(252)를 구비한다.
제1 마찰 부재(251) 및 제2 마찰 부재(252)는 피처리재(1)가 차단부(210)를 통과하여 하우징(201)내로 유입되면 피처리재(1)의 표면과 마찰하면서 차단부(210)에 의하여 제거되지 않고 피처리재(1)에 잔존할 수 있는 불순 용액을 제거한다. 또한, 피처리재(1)의 연성이 높은 경우, 예를들면 피처리재(1)가 유연성이 있는 필름 타입일 경우 마찰부(250)는 피처리재(1)를 지지하여 피처리재(1)가 안정적으로 하우징(201)내로 유입되도록 한다. 또한, 습식 공정이 진행된 후 피처리재(1)를 하우징(201)으로부터 안정적으로 유출한다.
이를 위하여 마찰부(250)는 마찰력이 우수하고 피처리재(1)에 손상을 주지 않는 다양한 재료로 형성될 수 있다. 예를들면 마찰부(250)는 합성 수지 또는 융과 같은 섬유 재질을 함유하도록 형성할 수 있다. 또한, 마찰부(250)는 롤 형태일 수 있다.
본 실시예의 습식 공정 챔버(200)는 추가적으로 마찰부(250)를 배치하여 하우징(201)내로 원하지 않는 용액이 유입되는 것을 차단하고, 피처리재(1)를 안정적으로 지지하면서 피처리재(1)를 하우징(201)내로 유입 및 하우징(201)으로부터 유출할 수 있다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 관한 습식 공정 챔버를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 13을 참조하면 습식 공정 챔버(300)는 하우징(301) 및 차단부(310)를 포함한다. 설명의 편의를 위하여 전술한 실시예와 상이한 점을 중심으로 설명하기로 한다.
전술한 실시예에서는 피처리재(1)가 수직 방향, 즉 피처리재(1)의 습식 공정을 진행할 피처리면이 지면과 수직한 방향으로 배치된 채 하우징(101, 201)으로 유입되었다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 아니한다.
즉, 도 13에 도시한 것과 같이 피처리재(1)는 수평 방향, 즉 피처리재(1)의 피처리면이 지면과 평행하도록 피처리재(1)가 배치될 수 있다. 이에 대응하도록 하우징(301)의 개구부(미도시) 및 차단부(310)도 피처리재(1)와 대응되도록 형성된다. 즉 개구부(미도시) 및 차단부(310)는 전술한 실시예와 비교할 때 90도 회전한 형태이다.
하우징(301) 및 차단부(310)에 대한 구체적인 내용은 전술한 실시예와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 관한 습식 공정 챔버를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 14를 참조하면 습식 공정 챔버(400)는 하우징(401), 차단부(410) 및 내측 하우징(402)을 포함한다. 설명의 편의를 위하여 전술한 실시예와 상이한 점을 중심으로 설명하기로 한다.
전술한 실시예에서는 피처리재(1)가 하우징(101, 201, 301)으로 유입된 후, 하우징(101, 201, 301)내에서 습식 공정이 진행된다.
그러나 본 실시예에서는 도 12에 도시한 것과 같이 하우징(401)내에 배치된 내측 하우징(402)내에서 피처리재(미도시)에 대한 습식 공정이 진행된다. 즉 하우징(401)으로 유입된 피처리재(미도시)는 내측 하우징(402)의 개구부(402a)를 통하여 유입되고, 내측 하우징(402)내에서 습식 공정이 진행된다. 내측 하우징(402)으로 인하여 원치 않는 이물, 특히 원하지 않는 불순 용액이 피처리재(미도시)와 함께 내측 하우징으로 정의되는 습식 공정 공간에 유입되어 습식 공정에 영향을 끼치는 것을 원천적으로 차단한다.
이를 위하여 내측 하우징(402)은 하우징(401)과 유사한 형태, 즉 직육면체와 유사한 박스 형태를 가질 수 있다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 아니하고, 내측 하우징(402)은 바닥이 없는 박스 형태를 갖고 하우징(401)의 바닥면과 밀착할 수도 있다. 또한 내측 하우징(402)은 소정의 습식 공정 공간을 형성하도록 격벽과 유사한 형태를 가질 수도 있다.
하우징(401) 및 차단부(410)에 대한 구체적인 내용은 전술한 실시예와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 관한 습식 공정 챔버를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 15를 참조하면 습식 공정 챔버(500)는 하우징(501), 차단부(510), 내측 하우징(502), 제1 마찰부(550) 및 제2 마찰부(560)를 포함한다. 설명의 편의를 위하여 전술한 실시예와 상이한 점을 중심으로 설명하기로 한다.
본 실시예에서는 하우징(501)내에 배치된 내측 하우징(502)내에서 피처리재(미도시)에 대한 습식 공정이 진행된다. 즉 하우징(401)으로 유입된 피처리재(미도시)는 내측 하우징(502)의 개구부(502a)를 통하여 유입되고, 내측 하우징(502)내에서 습식 공정이 진행된다. 내측 하우징(502)으로 인하여 원치 않는 이물, 특히 원하지 않는 불순 용액이 피처리재(미도시)와 함께 내측 하우징(502)으로 정의되는 습식 공정 공간에 유입되어 습식 공정에 영향을 끼치는 것을 원천적으로 차단한다.
이를 위하여 내측 하우징(502)은 하우징(501)과 유사한 형태, 즉 직육면체와 유사한 박스 형태를 가질 수 있다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 아니하고, 내측 하우징(502)은 바닥이 없는 박스 형태를 갖고 하우징(501)의 바닥면과 밀착할 수도 있다. 또한 내측 하우징(502)은 이보다 단순한 형태, 즉 격벽 형태일 수도 있다.
또한, 제1 마찰부(550)는 하우징(501)의 내측에 개구부(미도시)와 대응되고 차단부(510)의 내측부(530)에 대응하도록 배치되는데, 구체적으로 제1 마찰 부재(551) 및 제2 마찰 부재(552)를 구비한다.
제1 마찰 부재(551) 및 제2 마찰 부재(552)는 피처리재(1)가 차단부(510)를 통과하면 피처리재(1)의 표면과 마찰하면서 차단부(510)에 의하여 제거되지 않고 피처리재(1)에 잔존할 수 있는 용액을 제거한다. 또한, 피처리재(1)이 연성이 높은 경우, 즉 필름 타입일 경우 피처리재(1)를 지지하여 피처리재(1)가 안정적으로 하우징(501)내로 유입되도록 한다. 또한, 습식 공정이 진행된 후 피처리재(1)를 하우징(501)으로부터 안정적으로 유출한다.
이를 위하여 제1 마찰부(550)는 마찰력이 우수하고 피처리재(1)에 손상을 주지 않는 다양한 재료로 형성될 수 있다. 또한, 제1 마찰부(550)는 롤 형태일 수 있다.
또한, 제2 마찰부(560)는 내측 하우징(502)의 내측에 개구부(502a)와 대응되도록 배치되는데, 구체적으로 제1 마찰 부재(561) 및 제2 마찰 부재(562)를 구비한다.
제1 마찰 부재(561) 및 제2 마찰 부재(562)는 피처리재(1)에 잔존할 가능성이 있는 용액을 제거한다. 또한, 피처리재(1)이 연성이 높은 경우, 즉 필름 타입일 경우 피처리재(1)를 지지하여 피처리재(1)가 안정적으로 내측 하우징(502)내로 유입되도록 한다. 또한, 습식 공정이 진행된 후 피처리재(1)를 내측 하우징(502)으로부터 안정적으로 유출한다.
이를 위하여 제2 마찰부(560)는 제1 마찰부(550)와 유사한 재질 및 유사한 형태를 가질 수 있고, 롤 형태일 수 있다.
또한, 도시하지 않았으나 제2 마찰부(560)는 내측 하우징(502)의 내측뿐만 아니라 습식 공정의 조건에 따라 외측에도 배치될 수 있음은 물론이다.
본 실시예의 습식 공정 챔버(500)는 추가적으로 제1, 2 마찰부(550, 560)를 배치하여 하우징(501) 및 내측 하우징(502)내로 원하지 않는 용액이 유입되는 것을 차단하고, 피처리재(1)를 안정적으로 지지하면서 피처리재(1)를 하우징(501) 및 내측 하우징(502)내로 유입 및 하우징(501) 및 내측 하우징(502)으로부터 유출할 수 있다. 또한 하우징(501)내에 내측 하우징(502)을 추가적으로 설치하여 습식 공정 공간의 청정도를 향상하고 습식 공정을 정밀하게 제어하여 습식 공정 특성을 향상한다.
하우징(501) 및 차단부(510)에 대한 구체적인 내용은 전술한 실시예와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
도 16은 본 발명의 습식 공정 챔버를 적용한 습식 공정 장치의 예를 개략적으로 도시한 도면이다.
구체적으로 도 16은 전술한 실시예의 습식 공정 챔버(100, 200, 300, 400, 500)중 어느 하나를 포함한 복수의 챔버를 구비하는 습식 공정 시스템(1000)을 도시하고 있다.
피처리재(1)는 X1 방향으로 이동하면서 복수의 챔버들(100-1, 100-2, 100-3)을 순차적으로 통과하면서 복수의 습식 공정을 연속적으로 수행한다. 복수의 챔버들(100-1, 100-2, 100-3)중 적어도 어느 하나, 예를들면 챔버(100-2)는 전술한 실시예의 습식 공정 챔버들(100, 200, 300, 400, 500 및 도 9의 구조)중 어느 하나의 구성을 적용할 수 있다.
이를 통하여 피처리재(1)가 챔버(100-1)를 통과하고 나서 챔버(100-2)에 유입되는 경우 피처리재(1)에 잔존하는 용액, 구체적으로 챔버(100-1)에서 습식 공정을 진행할 때 사용한 용액이 챔버(100-2)로 유입되는 것을 효과적으로 차단한다.
도 16은 본 발명을 적용한 하나의 예로서, 도시하지 않았으나 본 발명은 하나의 습식 공정 챔버만을 구비한 습식 공정 챔버에도 적용 가능하다. 즉 본 발명은 본 실시예의 습식 공정 챔버(100, 200, 300, 400, 500)중 어느 하나의 챔버만을 갖는 단일 챔버 구조 습식 공정 장치에도 적용할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 피처리재
100, 200, 300, 400, 500: 습식 공정 챔버
101, 201, 301, 401, 501: 하우징
110, 210, 310, 410, 510: 차단부
250: 마찰부
402, 502: 내측 하우징
550: 제1 마찰부

Claims (28)

  1. 피처리재에 대한 습식 공정을 진행하기 위한 습식 공정 챔버에 관한 것으로서,
    상기 피처리재가 통과하도록 형성된 하나 이상의 개구부를 구비하고 상기 챔버의 내부와 외부를 구분하도록 형성된 하우징; 및
    상기 개구부와 대응되도록 배치되고 상기 피처리재가 통과하도록 형성된 슬릿을 구비하고 상기 챔버의 내부 및 외부에 배치되는 하는 차단부를 포함하고,
    상기 차단부는 상기 개구부보다 큰 크기를 갖고, 상기 차단부의 슬릿은 상기 개구부에 비하여 작은 폭을 갖고,
    상기 차단부는 상기 하우징의 외측에 배치되는 외측부, 상기 외측부와 대응되고 상기 하우징의 내측에 배치되는 내측부를 구비하고, 상기 외측부와 내측부는 독립적으로 배치할 수 있도록 별도로 형성되고,
    상기 외측부 및 내측부는 상기 개구부와 중첩되도록 배치되고,
    상기 외측부 및 내측부는 서로 개구부에 대응된 영역에서 서로 중첩되도록 배치되는 습식 공정 챔버.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 차단부는 상기 외측부와 상기 내측부를 결합하는 결합부를 구비하는 습식 공정 챔버.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 차단부는 상기 결합부를 통하여 상기 하우징에 부착 및 탈착이 가능하도록 형성된 습식 공정 챔버.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 외측부 및 내측부는 각각 서로 대향하도록 배치된 제1 측면 부재 및 제2 측면 부재를 구비하는 습식 공정 챔버.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 외측부 및 내측부는 상기 제1 측면 부재와 상기 제2 측면 부재 사이에 형성된 슬릿을 구비하는 습식 공정 챔버.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 차단부의 슬릿은 상기 외측부 및 내측부 각각의 슬릿과 중첩되는 습식 공정 챔버.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 제1 측면 부재 및 상기 제2 측면 부재는 서로 대향하는 각 측면에 홈이 형성되고, 상기 홈이 상기 외측부 및 상기 내측부의 슬릿을 형성하는 습식 공정 챔버.
  8. 제4 항에 있어서,
    상기 외측부의 제1 측면 부재는 상기 결합부를 통하여 상기 내측부의 제1 측면 부재와 결합하고,
    상기 외측부의 제2 측면 부재는 상기 결합부를 통하여 상기 내측부의 제2 측면 부재와 결합하는 습식 공정 챔버.
  9. 제2 항에 있어서,
    상기 외측부는 상기 결합부에 대응하는 그루브를 구비하고,
    상기 내측부는 상기 결합부에 대응하는 쓰루홀을 구비하는 습식 공정 챔버.
  10. 제2 항에 있어서,
    상기 결합부는 상기 외측부와 상기 내측부를 결합하면서 상기 개구부에 대응되도록 배치된 습식 공정 챔버.
  11. 제2 항에 있어서,
    상기 외측부는 상기 내측부보다 두껍게 형성된 습식 공정 챔버.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 차단부의 슬릿의 길이는 상기 개구부의 길이와 같거나 상기 개구부의 길이보다 작도록 형성된 습식 공정 챔버.
  13. 제1 항에 있어서,
    상기 개구부에 대응되고 상기 차단부에 인접하도록 배치되고, 상기 피처리재의 표면과 접하도록 형성된 마찰부를 더 포함하는 습식 공정 챔버.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 마찰부는 서로 대향하도록 배치된 제1 마찰 부재 및 제2 마찰 부재를 구비하는 습식 공정 챔버.
  15. 제13 항에 있어서,
    상기 마찰부는 상기 차단부의 슬릿 내부에 대응되도록 배치된 습식 공정 챔버.
  16. 제13 항에 있어서,
    상기 마찰부는 서로 상기 하우징의 내측에 배치되는 습식 공정 챔버.
  17. 제13 항에 있어서,
    상기 마찰부는 롤 형태를 갖는 습식 공정 챔버.
  18. 제1 항에 있어서,
    상기 피처리재의 습식 공정을 진행할 피처리면이 지면과 평행한 방향 또는 지면과 수직한 방향을 향하면서 상기 피처리재가 상기 개구부 및 상기 차단부의 슬릿을 통과하도록, 상기 개구부 및 상기 차단부가 형성되는 습식 공정 챔버.
  19. 제1 항에 있어서,
    상기 하우징 내에 배치되고, 습식 공정이 수행되는 공간을 제공하도록 형성되고, 상기 피처리재가 출입하도록 하나 이상의 개구부를 갖는 내측 하우징을 더 포함하는 습식 공정 챔버.
  20. 제19 항에 있어서,
    상기 내측 하우징은 박스 형태를 갖는 습식 공정 챔버.
  21. 제19 항에 있어서,
    상기 내측 하우징은 바닥면이 없는 박스 형태를 갖고 상기 하우징의 바닥면과 접하는 습식 공정 챔버.
  22. 제19 항에 있어서,
    상기 내측 하우징의 개구부에 대응되고, 상기 내측 하우징의 내측 또는 외측에 배치되고, 상기 피처리재의 표면과 접하도록 형성된 마찰부를 더 포함하는 습식 공정 챔버.
  23. 제22 항에 있어서,
    상기 마찰부는 서로 대향하도록 배치된 제1 마찰 부재 및 제2 마찰 부재를 구비하는 습식 공정 챔버.
  24. 제22 항에 있어서,
    상기 마찰부는 롤 형태를 갖는 습식 공정 챔버.
  25. 제1 항에 있어서,
    상기 습식 공정은 세정, 도금 또는 식각 공정을 포함하는 습식 공정 챔버.
  26. 제1 항에 있어서,
    상기 피처리재는 필름재, 웨이퍼 또는 기판을 포함하는 습식 공정 챔버.
  27. 제1 항 내지 제26 항 중 어느 하나의 항의 습식 공정 챔버를 포함하는 습식 공정 장치.
  28. 복수의 공정 챔버를 포함하는 습식 공정 장치로서,
    상기 복수의 공정 챔버 중 적어도 어느 하나는 상기 제1 항 내지 제26 항 중 어느 하나의 항의 습식 공정 챔버인 것을 특징으로 하는 습식 공정 장치.
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