TWI441951B - The gate device for the treatment tank - Google Patents

Description

處理液槽之閘門裝置

本發明係關於設置於如電鍍裝置等之可儲存電鍍液等之處理液之處理液槽的閘門裝置，尤其係關於具有啟閉自如之工件通過口的處理液槽之閘門裝置，其係可藉由工件搬送裝置，將以垂直狀態保持之板狀工件，在無需升降下搬入處理液槽內或搬出。

作為處理液槽之工件通過用之閘門裝置，有於專利文獻1及專利文獻2所揭示之裝置。該等之閘門裝置具備可供板狀工件以垂直姿勢通過之狹縫狀工件通過口；及啟閉該工件通過口之可滑動之板狀閘門板構件；而且為使該閘門構件在開啟位置與關閉位置之間移動，具備有具馬達及減速齒輪之機械性驅動機構。

但是，在上述先前技術中，以馬達或減速齒輪機構等將閘門構件機械性驅動之驅動機構需花費成本，又，用以防止驅動機構浸漬於處理液之密封構造亦將複雜化。

相對該等之先前構造，本申請人開發了具備膨脹伸縮自如之袋狀閘門構件的閘門裝置(專利文獻3)，藉此，可簡單化閘門構件及其驅動機構之構造，從而降低成本，且可消除浸漬於處理液所造成之不便。

[專利文獻1]日本特開2004-99957號公報

[專利文獻2]日本特開2002-327296號公報

[專利文獻3]日本特開2007-113066號公報

專利文獻3之閘門裝置係藉由袋狀之閘門構件，直接啟閉工件通過口之構成，且，由於係採使袋狀閘門構件之一部份之側面從閘門構件支持壁之間隙膨脹出，而關閉工件通過口的構成，故每次啟閉閘門裝置時，袋狀閘門構件與上述間隙之間之內面相互摩擦，而成為縮短閘門構件壽命之原因。又，由於以袋狀閘門構件彼此之密接而關閉工件通過口，故相對於長期之使用，在工件通過口之全長上維持密封狀態較難。

本發明之目的在於，藉由使用可膨脹收縮之一對管體構件作為閘門構件之驅動機構，可長期高度維持密封性，並簡單化驅動機構，且，可防止處理液所造成之驅動驅動機構之功能下降，從而降低成本。

為解決上述問題，本發明之具有可供板狀工件通過之工件通過口之處理液槽之閘門裝置，具備可動閘門構件，其係在關閉上述工件通過口之關閉位置與開啟上述工件通過口之開啟位置之間，可變更位置；及驅動機構，其係用於使上述可動閘門構件在關閉位置與開啟位置之間移動，該驅動機構具備與上述可動閘門構件一體移動之滑動部；及配置於該滑動部之移動方向兩側的可膨脹收縮之一對管體構件，其構成方式為：使其中一者之管體構件膨脹，且使另一者之管體構件收縮，藉此，使前述滑動部與可動閘門構件一起向開啟位置移動；使其中一者之管體構件收縮，且使另一者之管體構件膨脹，藉此，使前述滑動部與可動閘門構件一起向關閉位置移動。

根據上述構成，當然如先前，可將工件以垂直狀態或水平狀態保持，使工件無需升降而導入或搬出浸漬槽，且可將可動閘門構件之驅動機構簡易化，可實現成本之降低。且即使驅動機構浸漬於處理液，亦無驅動機構之功能下降之虞。

本發明在上述之構成中，上述管體構件宜以彈性材料構成。

根據上述構成，由於利用氣動等，使兩管體構件膨脹及收縮，故可快速敏捷地進行兩個可動閘門構件之移動，從而提高啟閉控制之應答性。又，由於某種原因，在啟閉中途閘門構件停止之情形時，即使管體構件之膨脹暫時繼續動作，藉由管體構件自身之彈性，亦可防止管體構件之破損。

本發明在上述構成中，支持上述閘門構件及上述驅動機構之閘門裝置本體，係以裝卸自如地安裝於上述處理液槽之縱壁。

根據上述構成，藉由從處理液槽拆卸閘門裝置，可容易地進行閘門裝置之維護及清潔，又，可將閘門裝置替換成與工件之形狀配合之規格者。

本發明在具備上述裝卸自如之閘門裝置本體之構成中，在上述縱壁上，形成閘門裝置本體安裝用之上開之凹部，而上述閘門裝置本體，在與工件搬送方向正交之方向之兩端緣，具備於上下方向延伸之條紋狀之嵌合槽，將上述嵌合槽扣合於上述凹部之內端緣，並將閘門裝置本體從上方插入凹部，藉此，將閘門裝置本體安裝於縱壁。

根據上述構成，相對於處理液槽，可從上方簡單地裝卸閘門裝置。

[第1實施形態]

圖1~圖16顯示具備本發明之閘門裝置之液處理槽之一例，且適用於電鍍裝置之實例。

(電鍍裝置整體之概略)

圖1係電鍍裝置整體之平面圖，在大致以橢圓形狀而構成之電鍍處理線上，從處理線之長度方向之一端部(圖1之右端部)之裝載部10，於箭頭F方向(順時針方向)依次具備有前處理步驟之前處理槽(淋浴槽)11、空台12、箱槽13、電鍍步驟之電鍍槽14、後處理步驟之箱槽15、空台16、第1後處理槽(淋浴槽)17、長度方向之另一端部之第2後處理槽(回收槽)18、卸載部19、剝離步驟(吊具返回步驟)之空台20、箱槽21、剝離槽22、箱槽23、空台24及剝離後處理槽(淋浴室)25。在浸漬處理槽之電鍍槽14及剝離槽22之工件搬送方向之前後，分別毗連有箱槽13、15、21、23，箱槽13、21之出口兼有電鍍槽14及剝離槽22之入口，而箱槽15、23之入口兼有電鍍槽14及剝離槽22之出口。

在上述電鍍處理線之內周側以橢圓形狀敷設導軌27，該導軌27支持複數之搬送吊具28使其可於軌道長度方向移動。

在導軌27之內周側，為使搬送吊具28在水平方向移動，配設有複數之獨立之搬送裝置31、32、…、40。該搬送裝置31、32、…、40中，在與各箱槽13、15、21、23對應之位置，分別配設有直線加速器型往復動式之採集搬送裝置31、32、33、34。在與前處理步驟之前處理槽11及空台12對應之位置、與電鍍槽14對應之位置、與後處理步驟之空台16及第1後處理槽17對應之位置、與剝離步驟之空台20對應之位置、與剝離槽22對應之位置、及與空台24及剝離後處理槽25對應之位置，分別配設有鏈條輸送機型之連續搬送裝置35、36、37、38、39、40。又，從後處理步驟之第1後處理槽17經由第2後處理槽18至卸載部19之間，與從剝離後處理槽25經由裝載部10至前處理槽11之間，配置有未圖示之推動搬送吊具之推進裝置。在圖1中，以雙重線箭頭所表示之各區間A1~A6係顯示利用鏈條輸送機型之連續搬送裝置35、36、37、38、39、40之搬送區間，而以虛線箭頭所表示之各區間B1~B4係顯示利用直線加速器型之採集搬送裝置31、32、33、34之搬送區間，而以實線箭頭所表示之區間C1、C2、C3、C4係顯示利用推進裝置之搬送區間。

圖2係圖1之電鍍槽14、後處理步驟之箱槽15、空台16及第1後處理槽17之縱剖面放大簡圖，該等電鍍槽14、箱槽15、空台16及第1後處理槽17被設置於一定高度之架台42上，而架台42內配置有預備槽43。在箱槽15之上方，通過未圖示之架台，配設有特定容積之圓柱槽47。

在箱槽之15之底壁，設置有可啟閉之排出口栓46，在該排出口栓46，設置有用於啟閉驅動該排出口栓46之操作部46a。在預備槽43與圓柱槽47之間配設配管48，在該配管48，設置有用於從預備槽43向圓柱槽47導入電鍍液(處理液)之泵49及過濾器50。圓柱槽47之底部，可啟閉地設置有可從上方供給處理液至箱槽15之排出口栓51。

在預備槽43與電鍍槽14之間並設有2個配管55、56，任一配管55、56皆設置有泵57、59及過濾器58、60，用以從預備槽43向電鍍槽14供給電鍍液。其中一者之配管55在箱槽15之閘門啟閉時，用於將電鍍槽14之液面維持於特定高度者，另一者之配管56則用於電鍍液循環。又，在空台16之底部設置有用於向預備槽43排出電鍍液之排出管44，再者，在電鍍槽14，亦設置有用於將溢流之電鍍液排出至預備槽43之溢流管61。

(搬送吊具)

圖3係搬送吊具28之圖2之III-III剖面放大圖，搬送吊具28包含有在上述導軌27上可於導軌長度方向移動自如地支持之移動基台63、從該移動基台63水平延伸至與導軌27大致直角方向之臂部64、及從該臂部64之前端部延伸至下方之工件吊持部65，在工件吊持部65之下端部，設置有吊持銷66及夾具67。將工件(例如電路用基板)W之上端部之扣合孔扣合於上述吊持銷66，並藉由夾具67使其保持不脫落。所吊持之工件W透過吊持部65及雖未圖示但適宜之導電機構，以電力連接於導軌27後，從導軌27供給電力。在移動基台63之上面，固著有在與臂部64成相反方向水平延伸之支軸70，該支軸70，以鏈輪71透過單向離合器72，而僅向一個方向旋轉的方式予以支持。具體而言，在圖2中，上述鏈輪71以在箭頭R方向旋轉，不在箭頭R反方向旋轉的方式而構成。

(搬送裝置)

在圖2中，鏈條輸送機型之連續搬送裝置36、37包含有驅動鏈輪73、從動鏈輪74、及在兩鏈輪73、74之間所盤繞之搬送鏈條75(圖3)，在搬送鏈條75之上側行駛部份，上述搬送吊具28之鏈輪71為扣合之狀態。搬送吊具28如上所述，具備有單向離合器72(圖3)，藉此，以扣合於搬送鏈條75的狀態，使其與搬送鏈條75之上側部份同時向圖2之箭頭F方向移動。

在圖2中，直線加速器型之採集搬送裝置32，係構成為在與導軌27以並行而配置之引導部76上，以可與導軌27平行移動地支持滑件77，該滑件77藉由雖未圖示但具備於引導部76之螺紋推進機構及伺服馬達等，使引導部76往復移動。

圖4係圖2之IV-IV截面放大圖，在上述滑件77上，固著有向搬送吊具28側大致水平延伸之支軸78，而該支軸78支持有在下方延伸之採集爪79使其可繞著支軸78旋轉。上述採集爪79藉由未圖示之阻擋器，在圖2所示之狀態，從箭頭S反方向扣止，而從箭頭F反方向側扣合於搬送吊具28之支軸70，並向滑件77之箭頭F方向移動，藉此，透過採集爪79，而使搬送吊具28朝箭頭F方向移動。再者，滑件77相對於搬送吊具28於箭頭F反方向側移動時，可使採集爪79在箭頭S方向旋轉並跨過搬送吊具28之支軸78。

(閘門裝置)

圖5係後處理步驟之箱槽15及其前後之電鍍槽14及空台16之平面放大圖，於上述箱槽15，在與箭頭F方向(工件搬送方向)正交之方向隔以特定間隔，配置左右一對箱部15a，使工件W在左右箱部15a之間通過。在電鍍槽14與箱槽15之間之縱壁82，及在箱槽15與空台16之間之縱壁83上，分別設置有閘門裝置84、85。由於具備箱部15a，故可減少供給至箱槽15之液量，可減少啟閉閘門裝置84時之電鍍液之變動，且可縮短供給至箱槽15之電鍍液之排放時間。

圖6係圖5之VI-VI截面放大圖，圖7係圖6之閘門裝置84之立體圖，圖8係圖6之閘門裝置84之拆卸立體圖，圖9係圖6之IX-IX剖面圖，圖10係圖9之X-X剖面圖，圖11係圖10之XI-XI剖面圖。再者，在方便說明之基礎上，將工件搬送方向F作為「前」，其相反方向作為「後」，將與工件搬送方向正交之水平方向作為「左右方向」，進行以下說明。在圖6中，在箱槽15之縱壁82之左右寬之中央部，形成有U字狀之閘門裝置安裝用凹部89，在該凹部89，透過橡膠管製襯墊(TIGON管)90，安裝有閘門裝置84。該閘門裝置84在左右寬之中央部，具有大致垂直之狹縫狀之工件通過口88。該工件通過口88之左右寬度比板狀工件W之厚度大，在工件通過口88之上端部，形成有向上擴大之倒三角形狀之放大部88a，以便可通過搬送吊具28之吊持部65及夾具67。作為閘門構件92、93之材料，宜選用例如耐蝕性及耐久性強之樹脂等。

在圖8中，閘門裝置84具備有藉由左右柱部91a、91b，以縱長U字狀而構成之閘門裝置本體91；固定於該U字狀閘門裝置本體91之左側柱部91a之阻擋構件92；以在閘門裝置本體91之右側柱部91b於左右方向移動自如而配置之可動閘門構件93；從工件搬送方向F之兩側引導該可動閘門構件93之導板110及導箱111；從工件搬送方向F之兩側夾持並連結左右柱部91a、91b之一對固定板97；及具用於移動上述可動閘門構件93之第1及第2管體構件101、102的驅動機構94等。在閘門裝置本體91之外周面上，形成有閘門裝置本體安裝用之安裝槽106，再者，在左右柱部91a、91b之上端，設置有閘門裝置本體固定用之固定具95。在工件通過口88之上下方向之大致全長上，配設有阻擋構件92、可動閘門構件93、導板110、導箱111、管體構件101、及管體構件102。左側柱部91a與右側柱部91b藉由拆卸固定板97，可使兩者分離。右側柱部91b具有從下部延伸至左側之大致直方體狀之橋體91c，該橋體91c從後方看以L字狀而形成。橋體91c之左端部抵接於左側柱部91a之下部。可動閘門構件93藉由剖面矩形狀之滑動部93a與板狀之閘門部93b從上方看以呈L字狀而一體形成。閘門部93b係自滑動部93a之左面前側向左而突設。閘門部93b之前後寬度比滑動部93a之前後寬度小。

在圖7中，將上述閘門裝置本體91之安裝槽106嵌合於縱壁82之上述凹部89之端緣，並將閘門裝置本體91從上方插入凹部89內。且，將左右兩固定具95以螺栓95a固定於縱壁82之上面，藉此，將閘門裝置本體91以密封狀態安裝於縱壁82上。阻擋構件92為板狀體，以與閘門部93b前後之位置相同的方式可拆卸固定於左側柱部91a之前面。在阻擋構件92之前端部，在上下方向之大致全長上安裝有襯墊108。

上述導板110為與工件搬送方向F正交之板狀體，右部份可拆卸地固定於右側柱部91b之前面，左部份位於較右側柱部91b更左側。導箱111藉由與工件搬送方向F正交之板狀體之後引導部111a，及與工件搬送方向F平行之板狀體之左引導部111b，從上面看以L字狀而形成，後引導部111a之右側部份可裝卸地固定於右側柱部91b之後面，而後引導部111a之左側部份配置於與導板110之左部份相同之左右位置。左引導部111b之後端與後引導部111a之左端一體而形成，左引導部111b之前端在上述導板110之左端之間，隔以一定之間隙T而配置。

(驅動機構94之詳細構造)

在圖9中，在由後引導部111a之前面、左引導部111b之右面、導板110之後面、右側柱部91b之左面、及橋體91c之上面所圍成之管體收納室124內，以左右方向移動自如地收納有滑動部93a。滑動部93a之前後寬度相比管體收納室124內之前後寬度略小。閘門部93b通過上述間隙T並突出於管體收納室124外。閘門部93b之前後寬度比上述間隙T之前後寬度略小。在由後引導部111a之前面、左引導部111b之右面、滑動部93a之左面、閘門部93b之後面、及橋體91c之上面所圍成之空間部124a中，收納有上述第1管體構件101，而在由後引導部111a之前面、導板110之後面、滑動部93a之右面、右側柱部之91b之左面、及橋體91c之上面所圍成之空間部124b中，收納有上述第2管體構件102。兩管體構件101、102為具彈性之橡膠製管體，藉由在內部壓入空氣而使其膨脹，且藉由將內部之空氣排除，使其收縮。

圖10係圖9之X-X剖面放大圖，其省略上下方向之中間部份而顯示。在該圖10中，各管體構件101、102之下端部藉由下側固定具99及螺栓99a，分別固定於右側柱部91b之左面及後引導部111b之右面，且被閉塞。各管體構件101、102之上端部藉由長方體狀之上側固定具98及螺栓98a分別固定於右側柱部91b之左面及後引導部111b之右面，且被閉塞，然而各管體構件101、102之上端閉塞部之附近分別開有孔101a、102a，在該孔101a、102a分別插入有L字狀之樹脂製或金屬製之接頭管130並予以連接。

在上側固定具98上，形成有用於固定上述接頭管130之槽部98、連通於接頭管130之空氣通路131，而空氣通路131自上側固定具98之上面之大致中央形成至內部為止，透過空氣軟管分別連接於氣泵132。槽部98b自與右側柱部91b之左面對向之面(或與後引導部111b之右面對向之面)之大致中央部形成至下端為止。如圖22所示，空氣通路131與槽部98b藉由通路98c而連通。

圖11係圖10之XI-XI之剖面圖，第1管體構件101用之接頭管130形成為剖面矩形狀，而接頭管130之垂直部130a嵌入於上側固定具98之槽部98b，並壓在後引導部111b之右面。槽部98b之深度與寬度以比垂直部130a之外徑略大的方式而設定。如圖10所示，接頭管130之水平部130b通過上述通路98c而連通至空氣通路131。接頭管130由於具有抵抗於藉由固定具98所壓之力之強度，故作為空氣通路131與管體構件101之間之空氣通路，通常可發揮安定之功能。如圖23所示，由於垂直部130a以由管體構件101覆蓋周圍之狀態而嵌合於槽部98b，故管體構件101可閉塞該垂直部130a與槽部98b之間隙(在圖23中以斜線表示之D1、D2)，而防止自固定具98下面的空氣洩漏。由於固定具98與後引導部111b以於對抗之面(在圖23中以斜線所表示之E1、E2)夾住管體構件101並壓著之狀態而固定，故管體構件101可閉塞固定具98與後引導部111b之間隙，防止自固定具98之側面(與後引導部111b對抗之面)之空氣洩漏。藉此，防止固定具98之下面與側面兩者之空氣洩漏，將管體構件101之上端部以氣密之狀態連接於接頭管130，且固定於後引導部111b。再者，圖10所示之第2管體構件102亦連接於與上述第1管體構件101同樣之接頭管130，並固定於右側柱部91b。

在圖9中，如上述之由兩個管體構件101、102所構成之驅動機構94係以使閘門啟狀態與閘門關閉狀態進行切換而成，其中閘門開啟狀態係於第1管體構件101中供給壓縮空氣使第1管體構件101膨脹，且將第2管體構件102內之空氣排出使第2管體構件102收縮，而閘門關閉狀態係相反地，在第2管體構件102中供給壓縮空氣使第2管體構件102膨脹，且將第1管體構件101內之空氣排出使第1管體構件101收縮。

即，圖12係顯示開啟之狀態之圖9之重要部份之放大圖，在第1管體構件101中壓入空氣使其膨脹，從而擴大左引導部111b之右面與滑動部93a之左面之間之距離，且從第2管體構件102排出空氣使其收縮，藉此，可使滑動部93a及閘門部93b一體在開啟方向(右方向)O移動，從而可開啟工件通過口88。此時，空間部124b內之電鍍液及空氣藉由滑動部93a之動作而被壓縮，從空間部124b之上部、下部、可動閘門構件93與導板110之間之間隙、及後引導部111a與滑動部93a之間之間隙排出。另一方面，如圖13所示，在第2管體構件102中壓入空氣使其膨脹，從而擴大右側柱部91b之左面與滑動部93a之右面之間之距離，且從第1管體構件101排出空氣使其收縮，藉此，使滑動部93a及閘門部93b一體在關閉方向(左方向)S移動，從而可關閉工件通過口88。此時，空間部124a內之電鍍液及空氣藉由滑動部93a之動作而壓縮，從空間部124a之上部、下部、可動閘門構件93與導板110之間之間隙、及左引導部111b與閘門部93b之間隙排出。在該關閉狀態中，閘門部93b之端緣壓接於阻擋構件92之襯墊108。

第1及第2管體構件101、102之材質不限定於上述之橡膠，只要為樹脂則無特別限制，但較好考慮經受耐藥性、耐反復伸縮之耐久性等加以決定。例如，使用於儲存酸性、鹼性之處理液之處理液槽的情形時，可採用EPDM、四氟乙烯樹脂、聚乙烯、聚丙烯、軟質氯化乙烯、及天然橡膠等。

再者，在圖6中，上述橡膠管製襯墊108亦透過接頭管140連接於氣泵141，藉由在橡膠管製襯墊108中壓入空氣，可使其發揮密封性能。

(運作之說明)

電鍍處理步驟及其後之吊具之剝離步驟等由於歷來眾所周知，故簡單以說明。在圖1中，以裝載部10將電鍍處理前之工件W吊持於搬送吊具28，並藉由推進裝置將搬送吊具28及工件W搬送至前處理槽11內，使搬送吊具28之鏈輪71扣合於前處理槽11之連續搬送裝置35之搬送鏈條75之始端部。

從上述連續搬送裝置35朝箭頭F方向依次藉由採集搬送裝置31、連續搬送裝置36、採集搬送裝置32及連續搬送裝置37而移動搬送吊具28，藉此，工件W通過前處理槽11、空台12、箱槽13、電鍍槽14、箱槽15、空台16及第1後處理槽17，或在特定之處理位置停止特定時間，而進行前處理、電鍍處理及清潔等之後處理。電鍍處理完成後之工件，藉由未圖示之推進裝置，透過第2後處理槽18搬送至卸載部19，從搬送吊具28卸下電鍍處理後之工件W。

將工件W卸下後之搬送吊具28接著在剝離步驟之空台20之連續搬送裝置38之鏈條輸送機75扣合鏈輪71，從該連續搬送裝置38朝箭頭F方向依次藉由採集搬送裝置33、連續搬送裝置39、採集搬送裝置34及連續搬送裝置40而使其移動，剝離附著物，清潔，並再次返回至裝載部10。

上述電鍍處理中，在將工件W例如從電鍍處理步驟之電鍍槽14水平移動至箱槽15時，又，從箱槽15水平移動至空台16時等，如圖12，藉由使第1管體構件101膨脹，且使第2管體構件102收縮，使可動閘門構件93在開啟方向O移動，而將工件通過口88開啟。藉此，工件W並非上升而是通過工件通過口88。若工件W完成通過工件通過口88，則如圖13，藉由使第2管體構件102膨脹，且使第1管體構件92收縮，而使可動閘門構件93在關閉方向(左方向)S移動，從而關閉工件通過口88。

[利用閘門裝置之啟閉之工件搬送之一例]

圖14~圖16，顯示於電鍍槽14、箱槽15、空台16之間之工件W之搬送(移送)與閘門裝置84、85之啟閉動作之關連。再者，閘門裝置84、85開啟狀態之情形施與網目線，且關閉狀態之情形以留白而表示。

(1)　在圖14中，預先向箱槽15自未圖示之圓柱槽供給電鍍液。將電鍍槽14與箱槽15之間之閘門裝置84打開，而關閉箱槽15與空台16之間之閘門裝置85，電鍍槽14內之搬送吊具28中，在位於最靠箱槽15側(箭頭F方向側)之搬送吊具(以假想線表示)28之支軸70上，將採集搬送裝置32之滑件77之採集爪79從箭頭F反方向側扣合。且，藉由在F方向移動滑件77，使搬送吊具28與工件W共同在箭頭F方向移動，且使其通過閘門裝置84之開口部88(圖6)，並搬送至箱槽15內，在箱槽15停止。

(2)　在圖15中，關閉電鍍槽14與箱槽15之間之閘門裝置84，將箱槽15內之電鍍液排出。

(3)　在圖16中，關閉箱槽15與空台16之間之閘門裝置85，在箭頭F方向移動滑件77，藉此，使搬送吊具28與工件W共同在箭頭F方向移動，且使其通過閘門裝置85之開口部88，並搬送至空台16內。其後，上述閘門裝置85被關閉。再者，向空台16內所搬送之搬送吊具28係以連續搬送裝置37而被搬送。

(4)　向空台16內搬送搬送吊具28後，滑件77在箭頭F反方向移動，返回至電鍍槽14之上方。此時，滑件77之採集爪79跨過電鍍槽14內之下一個搬送吊具28之支軸70，從箭頭F之反方向側扣合於上述支軸70。

[實施形態之效果]

(1)　具備阻擋構件92與可動閘門構件93，作為可動閘門構件93之驅動機構94，具備膨脹伸縮自如之一對第1及第2管體構件101、102，由於以藉由使第1管體構件101膨脹，且使第2管體構件102收縮，而使可動閘門構件93向開啟位置移動，使第1管體構件101收縮，且使第2管體構件102膨脹，而使可動閘門構件93向關閉位置移動的方式而構成，故相比具備馬達或減速齒輪機構等之機械的驅動機構之情形，可簡易化驅動機構94，從而可實現成本之減少。且，即使驅動機構94之管體構件101、102浸漬於處理液，亦無驅動機構功能下降之虞。以實際之裝置試驗後之結果，相對於專利文獻3中之閘門裝置為袋狀之閘門部件，其壽命為1週左右，本實施形態之驅動機構94達成1個月之壽命。

(2)　由於利用空壓等使彈性材料製成之兩管體構件101、102膨脹及收縮，故可敏捷快速地進行兩可動兩閘門構件93之移動，從而提高啟閉控制之應答性。又，由於某種原因，在啟閉之中途可動閘門構件93停止之情形，即使管體構件101或102之膨脹暫時繼續動作，亦可藉由管體構件自身之彈性，而防止管體構件之破損。

(3)　在縱壁82之凹部89具備裝拆自如之閘門裝置本體91，而在上述閘門裝置本體91之左右兩部，具備於上下方向延伸之條紋狀之嵌合槽106，將上述嵌合槽106扣合於上述凹部89之內端緣，並將閘門裝置本體91從上方插入凹部89，藉此，由於將閘門裝置本體安裝於縱壁82，故相對於處理液槽，可簡單地裝卸閘門裝置。

(4)　由於導箱111、導板110、及阻擋構件92在閘門裝置本體91上可裝卸，又左側柱部91a與右側柱部91b可分離，故可容易進行管體構件101、102、及襯墊108之交換，且亦可確實進行管體收納室124內等各部份之清潔，從而可提高電鍍槽14之維護性。

(5)　由於開啟可動閘門構件93時，藉由管體構件101之膨脹而將空間部124a內之處理液排出，且減少向空間部124a流入之處理液之體積，故作為下個動作可動閘門構件93關閉時，可減輕相對於滑動部93a之左面之空間部124a內之處理液之抵抗，從而可快速且順利地進行可動閘門構件93之關閉動作。同樣的，藉由使管體構件102膨脹，可快速且順利地進行可動閘門構件93之開啟動作。因此，由於啟閉動作變得快速，可縮短工件之移動時間，故可對電鍍處理裝置之工件生產量增加做出貢獻。

(6)　可動閘門構件93、管體構件102、及襯墊108在工件通過口88之上下方向之大致全長上予以配設，由於可動閘門構件93藉由管體構件102之膨脹，以向上下方向整體均等地施與力的狀態，與襯墊108壓接，故可提高閘門裝置84之液體密封性。因此，由於從電鍍槽14或箱槽15流出之電鍍液減少，故可降低流出之電鍍液返回至電鍍槽14之泵57之能力，且由於電鍍液循環引起之液溫變化變小，故可減輕溫度調節所需之負荷。

(7)　由於接頭管130以插通於管體構件101(或管體構件102)的狀態，嵌入固定部98之槽部98b，並壓於後引導部111b(或右側柱部91b)，將各管體構件之上端部以氣密狀態連接於接頭管130，且藉由接頭管130確保空氣之通路，故可確保空氣朝各管體構件之出入，並可使可動閘門構件93之動作順利。再者，作業者在固定管體構件時，可將接頭管130作為在管體構件所開之孔之標記，從而可簡單地進行管體構件之安裝作業。

[第2實施形態]

圖17係第2實施形態，其僅顯示有可動閘門構件93。可動閘門構件93，其一體形成之滑動部93a成為空洞。即，在滑動部93a之上下方向之大致全長上開孔並加工，將所加工之空洞部140之上端開口部藉蓋141而閉塞。再者，空洞部140之下端藉滑動部93a之下端部份而閉塞。

如此，藉由將滑動部93a空洞化，可謀求可動閘門構件93之重量減輕，且可更有效地利用浮力，藉此，可提高可動閘門構件93之啟閉移動之順利性。可提高可動閘門構件93之啟閉移動之順利性及應答性，從而可快速地進行啟閉移動。

[第3實施形態]

圖18係第3實施形態，其顯示有閘門裝置84之水平剖面圖。本實施形態之閘門裝置84代替導板110而具備有導箱113，代替可動閘門構件93而具備有可動閘門構件151。又，代替上述驅動機構94而具備有具第1管體構件101a、101b，第2管體構件102a、102b之合計4個管體構件之驅動機構941。上述之零件全部在工件通過口88之上下方向之大致全長上被配設。其其他之構成與上述之第1實施形態同樣，附於相同或相當部份相同之符號而省略說明。導箱113藉由正交於工件搬送方向F之板狀體之前引導部113a，與平行於工件搬送方向F之板狀體之左引導部113b形成為從上方看呈L字狀，前引導部113a之右側部份可裝卸地固定於右側柱部91b之前面，而前引導部113a之左側部份配置於與導箱111之左部份相同之左右位置。左引導部113b之前端與前引導部113a之左端一體形成，左引導部113b之後端在上述左引導部111b之前端之間隔以一定之間隙U而配置。

在由後引導部111a之前面、左引導部111b之右面、前導引部113a之後面、左引導部113b之右面、右側柱部91b之左面、及橋體91c之上面所圍成之管體收納室124內，以左右方向移動自如地收納有與上述可動閘門構件151一體形成之截面矩形狀之滑動部151a。

可動閘門構件151藉由滑動部151a與閘門部151b一體成形為從上方看呈T字狀。閘門部151b從滑動部151a之左面中央向左突出，閘門部151b之前後寬度比滑動部151a之前後寬度小。閘門部151b通過上述間隙U，並於管體收納室124向外突出。閘門部151b之前後寬度比上述間隙U之前後寬略小。滑動部151a之前後寬度比管子收納室124內之前後寬小若干。在由後引導部111a之前面、左引導部111b之右面、滑動部151a之左面、閘門部151b之後面、及橋體91c之上面所圍成之空間部124a中，收納有上述第1管體構件101a，在由前引導部113a之後面、左引導部113b之右面、滑動部151a之左面、閘門部151b之前面、及橋體91c之上面所圍成之空間部124b中，收納有上述第1管體構件101b，在由後引導部111a之前面、前引導部113a之後面、滑動部151a之右面、右側柱部91b之左面、及橋體91c之上面所圍成之空間部124c之後側，收納有上述第2管體構件102a，而在前側，收納有上述第2管體構件102b。管體構件101b藉由上側固定具98及下側固定具99固定於左引導部113b之右面，上述第2管體構件102a及102b分別藉由上側固定具98及下側固定具99，固定於右側柱部91b之左面。

在第1管體構件101a及101b中壓入空氣，使其膨脹從而擴大滑動部151a之左面、左引導部111b之右面及左引導部113b之右面之間之距離，且從第2管子構件102a及102b將空氣排出，使其收縮，藉此，使滑動部151a及閘門部151b一體在開啟方向(右方向)O移動，從而可開啟工件通過口88。此時，空間部124c內之電鍍液及空氣從空間部124c之上部、下部、滑動部151a與後引導部111a之間之間隙、及滑動部151a與前引導部113a之間隙而排出。另一方面，在第2管體構件102a及102b中壓入空氣使其膨脹，從而擴大右側柱部91b之左面與滑動部151a之右面之間的間隙，且從第1管體構件101a及101b將空氣排出使其收縮，藉此，使滑動部151a、閘門部151b一體在關閉方向(左方向)S移動，從而可關閉工件通過口88。此時，空間部124a內之電鍍液及空氣從空間部124a之上部、下部、滑動部151a與後引導部111a之間之間隙、及滑動部151b與左引導部111b之間隙而排出。在此關閉狀態中，閘門部151b之端緣壓接於阻擋構件92之襯墊108。在上述之本實施形態中，第1管體構件(101a及101b)與第2管體構件(102a及102b)分別配置於滑動部151a之移動方向之兩側，作為可膨脹收縮之一對管體構件而動作。

根據本實施形態，由於第1管體構件101與第2管體構件102分別配置一對，故使可動閘門構件93，以強力且在工件搬送方向之全寬上之大致均等之力移動。又，即使一對第1管體構件101之單方漏氣，一對第2管體構件102之單方亦漏氣，亦可確保可動閘門構件93之動作。再者，在圖18中，對於與上述第1實施形態相同之零件，附有相同符號。

[第4實施形態]

圖19係第4實施形態，其顯示閘門裝置84之水平剖面圖，係將可動閘門構件93及驅動機構94左右一對而設置之構造。即，將配置於上述第1實施形態之圖6等之右半部份之可動閘門構件93，與包含第1及第2管體構件101、102的驅動機構94以左右對稱而配置之構造。在圖19中，對與上述第1實施形態相同之零件附與相同符號。

根據該實施形態，由於從左右加壓各可動閘門構件93，故可確實關閉狹縫狀工件通過口88。

[第5實施形態]

圖20及圖21係本發明適用於將板狀工件W以水平狀態搬送之電鍍處理裝置之實例。圖20係顯示電鍍處理裝置整體，從工件搬送原側按序配置有工件裝載槽(工件裝載部)201、前處理槽(淋浴槽)202、箱槽203、電鍍槽204、箱槽205、後處理槽(淋浴槽)206、工件卸載槽(工件卸載部)207，在各槽之間之縱壁，配置有具水平之狹縫狀之工件通過口210(圖21)的閘門裝置G。在各槽201乃至207內，配置有將水平狀態之工件W以上下而夾持並搬送之上下之搬送輥211。再者，箱槽203、205在工件搬送路徑之下側，配置有箱槽203a、205a。

圖21係閘門G之一例，基本而言，係將具在上述圖6乃至圖9等顯示之縱向之工件通過口的閘門裝置90°旋轉並以橫向而配置之構造，因此，對具與第1實施形態相同功能之零件，附與相同符號，而省略詳細之說明。

在圖21中，閘門裝置本體91於上下方向隔以間隔而具上下柱構件(梁構件)91a、91b，兩者將其端部彼此以左右之垂直之柱構件91c、91d(僅91d未圖示)而連接，藉此，形成有具有向工件搬送方向F貫通之孔的長方體。在縱壁82之凹部89之端緣上，透過橡膠管製襯墊90嵌合有形成於閘門裝置本體91外周之安裝槽106。導板110為與工件搬送方向F正交之板狀體，下部份可裝卸地固定於下側柱構件91b之前面，而上部份配置於較下側柱構件91b更上側。導箱111藉由與搬送方向F正交之板狀體之後引導部111a及與工件搬送方向F平行之板狀體之上引導部111b，形成為從側方看呈L字狀，後引導部111a之下側部份可裝卸地固定於下側柱構件91b之後面，後引導部111a之上側部份配置於與上述導板110相同之上下位置。上引導部111b之後端與後引導部111a之上端一體形成，上引導部111b之前端在上述導板110之後端之間隔以一定之間隙V而配置。可動閘門構件93藉由截面矩形狀之滑動部93a與板狀之閘門部93b一體形成為從側方看呈L字狀。閘門部93b從滑動部93a之上面前側向上而突設。閘門部93b之前後寬度比滑動部93a之前後寬度小。在由後引導部111a之前面、上引導部111b之下面、導板110之後面、下側柱構件91b之上面、左側柱構件91c之右面、及右側柱構件91d之左面所圍成之管體收納室124內，以上下方向移動自如地收納有滑動部93a。滑動部93a之前後寬度比管體收納室124內之前後寬度略小。

閘門部93b通過上述間隙V於管體收納室124外突出。閘門部93b之前後寬地比上述間隙V之前後寬度略小。在由後引導部111a之前面、上引導部111b之下面、滑動部93a之上面、閘門部93b之後面、左側柱構件91c之右面、及右側柱構件91d之左面所圍成之空間部124a中，收納有上述第1管體構件101，在由後引導部111a之前面、導板110之後面、滑動部93a之下面、下側柱部91b之上面、左側柱構件91c之右面、及右側柱構件91d之左面所圍成之空間部124b中，收納有上述第2管體構件102。

在上側柱構件91a之下面，設置有朝下方突出之阻擋構件92，相對於該阻擋構件92之下面，可動閘門構件93之上端部透過水平狹縫狀之工件通過口210而與其對向。

阻擋構件92、可動閘門構件93、導板110、導箱111、管體構件101、及管體構件102全部在工件通過口210之左右方向之大致全長上被配設。

在該閘門裝置G中，在上側之第1管體構件101中壓入空氣使其膨脹，從而擴大上引導部111b之下面與滑動部93a之上面間之距離，且從第2管體構件102將空氣排出使其收縮，藉此，使滑動部93a及閘門部93b一體在開啟方向(下方向)移動，從而開啟工件通過口210。藉此，工件W無需上升，以水平之狀態通過工件通過口210。另一方面，在第2管體構件102中壓入空氣使其膨脹從而擴大下側柱部91b之上面與滑動部93a之下面間之距離，且從第1管體構件101將空氣排出使其收縮，藉此，使滑動部93a及閘門部93b一體在關閉方向(上方向)移動，從而關閉工件通過口210。

[其他實施形態]

(1)　上述各實施形態，係藉由連續水平移動搬送吊具，使各槽通過之所謂連續搬送方式的電鍍裝置，但本發明之閘門裝置亦可適用於例如，具有在中途使吊具上升並移動至下一個槽之前，在下一個槽使其下降之搬送區間的間歇性搬送方式之電鍍裝置等。

(2)　本發明之閘門裝置不僅限於電鍍裝置，亦可適用於例如藉由儲存於處理液槽內之處理液，清潔工件之剝離槽等之浸漬處理裝置。

[產業上之可利用性)

本發明除電鍍裝置外，亦可適用於鉻酸處理裝置、鋁之陽極氧化處理裝置、電解研磨裝置或電解酸洗裝置等之處理裝置。

14‧‧‧電鍍槽(處理液槽之一例)

15‧‧‧箱槽

28‧‧‧搬送吊具

84、85‧‧‧閘門裝置

88‧‧‧工件通過口

91‧‧‧袋狀閘門構架

92‧‧‧阻擋構件

93‧‧‧可動閘門構件

93a‧‧‧滑動部(滑動構件之一例)

94‧‧‧驅動機構

101、102‧‧‧第1及第2管體構件

132‧‧‧氣泵

圖1係本發明之第1實施形態，其係具備閘門裝置之電鍍裝置之整體平面圖；圖2係圖1之電鍍槽及箱槽附近之縱截面放大圖；圖3係圖2之III-III截面放大圖；圖4係圖2之IV-IV截面放大圖；圖5係圖2之箱槽之平面放大圖；圖6係圖5之VI-VI剖面圖；圖7係圖6之閘門裝置之立體圖；圖8係圖6之閘門裝置之分解立體圖；圖9係工件通過口呈開啟狀態之圖6之閘門裝置之IX-IX剖面圖；圖10係圖9之X-X剖面圖；圖11係圖10之XI-XI剖面圖；圖12係工件通過口呈開啟狀態之圖6之閘門裝置之IX-IX截面放大圖(圖9之重要部份之放大圖)；圖13係工件通過口呈關閉狀態之圖6之閘門裝置之IX-IX截面放大圖；圖14係顯示圖1之電鍍槽、箱槽、空台之間之工件之搬送、及閘門裝置之啟閉動作之關連的運作說明圖；圖15係顯示圖14之下一個步驟之與圖14同樣之運作說明圖；圖16係顯示圖15之下一個步驟之與圖14同樣之運作說明圖；圖17係本發明之第2實施形態，其係可動閘門構件之正視圖；圖18係本發明之第3實施形態，其係閘門裝置之水平剖面圖；圖19係本發明之第4實施形態，其係閘門裝置之水平剖面圖；圖20係本發明之第5實施形態，其係電鍍處理裝置之縱剖面圖；圖21係圖20之閘門裝置截面立體圖；圖22係顯示於圖8等中之上側固定具之縱截面放大圖；及圖23係圖22之上側固定具附近之分解立體圖。

15．．．箱槽

28．．．搬送吊具

65．．．工件吊持部

67．．．夾具

82．．．縱壁

84．．．閘門裝置

88．．．工件通過口

88a．．．放大部

89．．．閘門裝置安裝用凹部

90．．．襯墊

91．．．袋狀閘門構件

91a．．．左側柱部

91b．．．右側柱部

92．．．阻擋構件

93．．．可動閘門構件

94．．．驅動機構

101、102．．．管體構件

132、141．．．氣泵

140．．．接頭管

W．．．工件

Claims (4)

1. 一種處理液槽之閘門裝置，其具有可供板狀工件通過之狹縫狀工件通過口，且具備：可動閘門構件，其可在關閉上述工件通過口之關閉位置與開啟上述工件通過口之開啟位置之間變更位置；及驅動機構，其使上述可動閘門構件在關閉位置與開啟位置之間移動；在構成上，該驅動機構具備與上述可動閘門構件一體移動之滑動部、及在該滑動部之移動方向之兩側所配置之可膨脹收縮之一對管體構件；藉由使其中一者之管體構件膨脹，且使另一者之管體構件收縮，從而使可動閘門構件與上述滑動部一起向開啟位置移動，並藉由使其中一者之管體構件收縮，且另一者之管體構件膨脹，從而使可動閘門構件與上述滑動部一起向關閉位置移動。
2. 如請求項1之處理液槽之閘門裝置，其中上述管體構件係由彈性材料所構成。
3. 如請求項1或2之處理液槽之閘門裝置，其中支持上述閘門構件及上述驅動機構之閘門裝置本體，係可裝卸自如地安裝在上述處理液槽之縱壁上。
4. 如請求項3之處理液槽之閘門裝置，其中在上述縱壁上，形成閘門裝置本體安裝用之上開凹部，上述閘門裝置本體上，在與工件搬送方向正交之方向之兩端緣，具備於上下方向延伸之條紋狀之嵌合槽，將上述嵌合槽扣合於上述凹部之內端緣，並將閘門裝置本體從上方插入凹部，藉此，將閘門裝置本體安裝於縱壁上。