CN211471596U - 密封装置、工件处理容器及具有其的工件处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的密封装置、工件处理容器及具有其的工件处理装置，属于电镀技术领域，其中密封装置包括：用于对设在容器的壁上沿第一方向延伸的密封通道密封，所述密封通道用于供若干个密封部件穿过，至少一个密封组件，为柔性材料，设在所述密封通道内和/或设置在所述密封部件上；所述密封组件的内侧壁与其相对的所述密封通道的一侧内壁之间形成供所述密封部件穿过的滑行通道；所述滑行通道的可密封地滑动连接于所述密封部件的外壁与所述密封通道的内壁之间；本实用新型的密封装置，可减少容器内腔中的溶液进入滑行通道内，并从滑行通道内向外流出，使容器内溶液的液面高度下降的速度变慢，对后续批量处理工件的影响小。

Description

密封装置、工件处理容器及具有其的工件处理装置

技术领域

本实用新型涉及电镀技术领域，具体涉及一种密封装置、工件处理容器及具有其的工件处理装置。

背景技术

目前在清洗、电镀、涂覆等领域中，一般以不同容器盛装不同液体以组成所需的工艺流程，来对工件完成清洗、电镀、涂覆等工序处理。例如：要依次对工件进行除油-水洗-酸洗-水洗-电镀-水洗的工序，就需要依次设置六个容器。在相邻两个容器之间，需要设置连通通道，以供工件以及承载工件的治具进行通过。

在现有技术中，由于用于通过工件以及治具的通道，与治具之间需要存在一定间隙，因此，在工件以及治具上从第一个容器内粘挂的清洗液、电镀液以及酸洗液等残留液体，容易通过上述通道大量地进入到第二个容器内，从而造成两不同容器之间的串液。

因此，在清洗、电镀、涂覆等工序处理过程中，应防止相邻两容器之间的串液。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的电镀过程中，相邻两容器之间容易串液的缺陷，从而提供一种密封装置。

本实用新型还提供一种工件处理容器和一种具有上述容器的工件处理装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种密封装置，用于对设在容器的壁上沿第一方向延伸的密封通道密封，所述密封通道用于供若干个密封部件穿过，其特征在于，包括：

至少一个密封组件，为柔性材料，设在所述密封通道内和/或设置在所述密封部件上；

所述密封组件的内侧壁与其相对的所述密封通道的一侧内壁之间形成供所述密封部件穿过的滑行通道；

所述滑行通道的可密封地滑动连接于所述密封部件的外壁与所述密封通道的内壁之间。

作为优选方案，所述密封组件为柔性刷,所述柔性刷固定设置在所述密封通道上。

作为优选方案，所述柔性刷沿着所述密封通道的通过方向间隔设置有多组，任意两组所述柔性刷之间的间隔为L2，所述密封部件的沿所述密封通道的方向的长度为L3；所述L2、L3之间满足：L2≤L3。

作为优选方案，所述柔性刷沿着所述密封通道的通过方向均匀间隔设置有多组；

相邻两组所述柔性刷之间的相互靠近的两边之间的间隔为L2；

任意两组所述柔性刷之间的相互远离的两边之间的间隔为L4_n；

任意相邻两组所述密封部件的相互靠近的两边之间的距离为L1_i；

所述密封部件的沿所述密封通道的方向的长度为L3；

任意相邻两组所述密封部件的相互远离的两边之间的距离为L5_i；

所述L1_i、L2、L3、L4_n和L5_i之间满足：

当L5_i≥L4_n时，L1_i+L3≤L4_n；

当L5_i≥L4_n，且L 5_i≤L4_n+L2时，L1_i≤L4_n；

所述n为大于或等于1的自然数中的一个。

作为优选方案，当L5_i≥L4_n，且L5_i≤L4_n+L2时，L1_i+L3≤L4_n。

作为优选方案，所述柔性刷在所述密封通道上布满设置。

作为优选方案，还包括：

治具，具有至少两组，用于承载工件；所述密封部件安装在所述治具的端部上。

作为优选方案，任一相邻两个所述密封部件之间的距离为L1_i，所述滑行通道的长度为L0_i，所述L1_i与L0_i之间满足：

L0_min≥L1_max，其中所述L0_min为所有L0_i中的最小值，L1_max为所有L1_i中的最大值，并且i为大于或等于1的自然数。

本实用新型提供的工件处理容器，包括：内腔、至少一侧壁设有与所述内腔连通且沿第一方向延伸的密封通道，所述密封通道内设有上述方案中任一项所述的密封装置。

本实用新型提供的工件处理装置，包括：

至少一个上述方案中所述的工件处理容器；

若干个密封部件，间隔设在所述工件处理容器的密封通道的滑行通道内；

所述密封部件和所述工件处理容器中的任一个受驱动机构的驱动，使任一所述密封部件适于密封地穿过任一所述滑行通道，以带动设在对应密封部件上的待处理工件穿过所述滑行通道；

在所述密封部件或工件处理容器的移动方向上，任一相邻两个所述密封部件之间的距离为L1_i，任一所述滑行通道的长度为L0_i，所述L1_i与L0_i之间满足：

L0_min≥L1_max，其中所述L1_max为所有L1_i中的最大值，L0_min为所有L0_i中的最小值，并且i为大于或等于1的自然数。

作为优选方案，还包括可穿过所述滑行通道的至少一个治具，所述治具设有供至少一个工件容纳的放置腔，且所述放置腔与该治具所在容器的内腔连通；

所述密封部件安装在所述治具的端部上或绕设在所述治具的外周壁上而安装于容纳在放置腔内的对应工件的端部或绕设在工件的外周壁上。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的密封装置，用于对设在容器的壁上沿第一方向延伸的密封通道密封，所述密封通道用于供若干个密封部件穿过，当若干个密封部件不断地在滑行通道内沿第一方向滑动穿过时，由于滑行通道的内壁可密封地滑动在密封部件的外壁面上，从而在密封组件的内侧壁与密封部件配合下将滑行通道滑动密封，减少容器内腔中的溶液进入滑行通道内，并从滑行通道内向外流出，使容器内溶液的液面高度下降的速度变慢，对后续批量处理工件的影响小；另外，由于柔性密封组件的阻隔，可使密封部件与密封通道之间形成滑动抵接，减少二者接触面之间的摩擦力，使二者的接触面形成的密封面的使用寿命长。另外，在其它类似密封通道机构中，密封通道与工件或治具上的密封件必须要求精密配合才能达到密封效果，本实用新型的密封装置，采用软性材料构成密封组件，可使密封通道与工件或治具上的密封件的配合精度要求大幅下降，降低实施的难度。

2.本实用新型提供的工件处理容器，在密封通道内设置上述的密封装置，使得在该容器内处理工件时，容器内腔的溶液大部分被密封装置阻挡在容器内腔中，而只有少量的溶液进入密封通道内向外排出，从而降低容器内溶液的液面高度下降的速度。

3.本实用新型提供的工件处理装置，在所述密封部件或容器的移动方向上，任一相邻两个所述密封部件之间的距离为L1_i，任一所述滑行通道的长度为L0_i，所述L1_i与L0_i之间满足：L0_min≥L1_max，其中所述L1_max为所有L1_i中的最大值，L0_min为所有L0_i中的最小值，并且i为大于或等于1的自然数。在对工件进行处理时，工件安装在密封部件上；当若干个密封部件不断地在容器内移动并进入密封通道中的滑行通道内，由于L1_i与L0_i之间满足上述关系，每个滑行通道内有至少一个密封部件在该滑行通道内密封地滑动，或者在该滑行通道的进口端面及出口端分别被一个密封部件密封，使滑行通道的内腔与该密封通道所在的容器的内腔密封隔断开，阻挡容器内腔中的溶液不断地进入滑行通道内，只是在相邻两个密封部件之间的间隙内存在少量溶液，被带出滑行通道外；同时，密封组件的外侧壁分别间隙配合或滑动地抵接在密封通道的另一侧内壁上，使密封组件的外侧壁与密封通道的内壁之间存在很小的间隙或者无间隙配合，能够对处于密封组件的外侧壁与密封通道的内壁之间的第一区域内的溶液起到阻挡作用，从而使该容器内腔中的溶液的液面高度降低的幅度变小，进而只需沿一个方向移动密封部件就能够连续地带动工件移动，实现在液面高度降低很小的同时，将工件从一个容器内转移出去并进入下一个容器内，对工件连续地进行不同工序的处理，简化工件处理过程和便于后续批量处理工件。

4.本发明提供的工件的处理装置，还包括可穿过所述滑行通道的至少一个治具，所述治具设有供至少一个工件容纳的放置腔，且所述放置腔与该治具所在容器的内腔连通；所述密封部件通过安装在所述治具的任一端部上或绕设在所述治具的外周壁上而安装于容纳在放置腔内的对应工件的端部或绕设在工件的外周壁上。

此结构的工件的处理装置，通过设置治具，可在治具的放置腔内一次性放置多个工件，对应地将治具直接固定在密封部件上，从而实现一次性对批量工件处理，提高该工件的处理装置的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1a为密封通道的主视结构示意图。

图1b为滑行通道的主视结构示意图。

图1c为滑行通道的一种实施方式的主视结构示意图。

图2a为滑行通道的另一种实施方式的主视结构示意图。

图2b为图2a中滑行通道与密封通道配合的主视图。

图3为本实用新型的工件处理容器的一种实施方式的主视结构示意图。

图4为本实用新型的工件处理装置的一种实施方式的主视结构示意图。

图5为本实用新型的密封装置中滑行通道的一种实施方式的俯视结构示意图。

图6为本实用新型的密封装置中滑行通道的另一种实施方式的俯视结构示意图。

图7为本实用新型的密封装置中滑行通道的又一种实施方式的俯视结构示意图。

图8为图7中的治具向前方移动后的示意图。

附图标记说明：

1、密封通道；2、滑行通道；3、侧壁；4、柔性刷；5、容器本体；6、储液槽；7、治具；8、密封部件。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供一种密封装置的具体实施方式，如图1a、1b和1c所示，包括：密封通道1和连接在密封通道1内的柔性刷4，所述柔性刷构成滑行通道2，其材料可采用毛刷或钢丝刷等，如采用柔性刷，不仅便于取材，且便于更换，在维护过程中，可进行较勤的更换，使其工作成本降低。

另外，作为一种可替换实施方式，如图2a所示，所述柔性刷4还可以设置在治具7上；或者，所述柔性刷4在所述密封通道1和所述治具7上均设置。其中，所述治具7的两端部上可设置密封部件，将所述柔性刷设置在治具7上时，可设置在密封部件8上。

所述密封通道1为槽形结构，具有底壁和相对的两侧壁3，两侧壁3之间的间隔为所述密封通道1的宽度，由于该宽度用于通过所述治具7，因此该宽度大于用于承载工件的治具7的厚度，从而便于治具7的通过。

所述柔性刷4为固定设置在所述密封通道1的内侧壁于所述治具7的外侧板之间，所述柔性刷的柔性丝的长度大于所述密封通道1与治具7之间的间隙，从而在治具7通过密封通道1上时，能够起到密封的效果；并且，通过柔性刷的阻隔，可杜绝密封通道1的侧壁3与治具7之间的硬摩擦，从而减小密封通道1和治具7的磨损，提高设备的使用寿命。

如图2b所示，为柔性刷4设置在治具7上，此时，当治具7通过密封通道1时，通过柔性刷4可对密封通道1进行密封。

当所述柔性刷设置在密封通道内时，可间隔设置多组，也可在所述密封通道1的侧壁上布满设置。

如图5所示，当所述柔性刷4在密封通道1内布满设置时，治具7在通过密封通道1的过程中，治具7的前后两端的端板上连接的密封部件8与柔性刷4接触，从而可对密封通道1进行密封。然而，当所述柔性刷4在密封通道1内为间隔设置使，当所述治具7在通过密封通道1时，为了始终保持密封通道1内处于被密封状态。这就要求对柔性刷4的长度L0_i、任意相邻两组所述密封部件的相互靠近的两边之间的距离为L1、相邻两组所述柔性刷之间的相互靠近的两边之间的间隔L2、密封部件的沿所述密封通道的方向的长度L3、任意两组所述柔性刷之间的相互远离的两边之间的间隔L4、任意相邻两组所述密封部件的相互远离的两边之间的距离L5_i等这些数值进行合理的设置。

如图6所示，在对上述数值进行设置时，还需要根据柔性刷4的设置方式进行考虑，当柔性刷4不是以均匀间隔的方式设置在密封通道1内时，需要使L2与L3之间始终满足：L2≤L3。

如图7所示，当柔性刷4在密封通道1内是采用均匀间隔设置时，在L2与L3之间,可必不满足上述L2≤L3的要求，但另需满足下列要求，即：

当L5_i≥L4_n，且L5_i≤L4_n+L2时，L1_i≤L4_n；

在上述条件下，工作时，治具7沿着图7中箭头方向向前移动的过程中，当位于治具7前端的密封部件8超出一个柔性刷4后，且在该密封部件8还没有抵达第二个柔性刷4之前，为了使密封通道保持密封状态，我们需要另一密封部件8与其他柔性刷4之间保持接触。因此，限定要求L1_i≤L4_n，这样，当位于前方的密封部件8在两个柔性刷4之间移动时，位于后方的密封部件8至少其靠前的边沿与其他柔性刷4开始保持接触，以此可保证密封通道的密封状态。

进一步优选地，当L5_i≥L4_n，且L5_i≤L4_n+L2时，使L1_i+L3≤L4_n。这样，在上述治具7进行移动的过程中，当位于前方的密封部件8在两个柔性刷4之间移动时，位于后方的密封部件8将全面地与其他柔性刷4保持着接触，这样，可更好地保证密封通道的密封状态。

所述n为大于或等于1的自然数中的一个。如图8所示，当治具7在图7中沿着图中所示的箭头方向，相对于密封通道1向前移动时，位于治具7后端的密封部件8开始不与柔性刷4接触，此时位于治具7前端的密封部件8开始与柔性刷4接触，从而保证至少一个所述密封部件8与所述柔性刷4之间保持接触。

实施例2

本实施例提供一种工件处理容器，如图3所示，包括容器本体5和设置在容器本体的进口以及出口的密封装置，所述密封装置为实施例1中所述的密封装置。

所述密封装置的密封通道1在通过治具7时，由于柔性刷4在治具7与密封通道1之间，导致从容器本体5内不可以流出大量液体，从而保证容器本体5内的液位稳定。

如图3所示，在容器本体5的一端，设有储液槽6，从容器本体5内流出的液体可进入到所述储液槽6内。所述储液槽6用于暂存相邻所述容器本体5内的处理液，然后通过循环泵可将储液槽6内的处理液循环返回至容器本体5内，以此减小容器本体5内的液体消耗。

实施例3

本实施例提供一种工件处理装置，如图4所示，包括至少两个实施例2中所述的工件处理容器，还包括至少两个治具7，多个治具7依次通过所述工件处理容器。多个治具7之间的间隔一定距离，在多个治具7依次通过密封通道1的过程中，为了使密封通道1始终处于被密封状态，因此，首先应使多个治具7之间的最小间隔应小于或等于密封通道1的长度。另外，如图3所示，所述治具7的前后两端上分别设置有密封部件8，所述柔性刷可以设置在所述密封部件8上和/或所述密封通道1内。

由于治具7为依次相连设置，无论在两个治具7上的，还是位于同一治具7上的，在所述密封部件或工件处理容器的移动方向上，任一相邻两个所述密封部件之间的距离为L1_i，任一所述滑行通道的长度为L0_i，所述L1_i与L0_i之间满足：

L0_min≥L1_max，其中所述L1_max为所有L1_i中的最大值，L0_min为所有L0_i中的最小值，并且i为大于或等于1的自然数。

在使用中，多个治具7依次通过工件处理容器的密封通道1，在治具7进入密封通道1内后，至少有一个密封部件8与密封通道1之间通过柔性刷4密封接触，以此保证密封通道1的密封。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (11)

1.密封装置，用于对设在容器的壁上沿第一方向延伸的密封通道(1)密封，所述密封通道用于供若干个密封部件穿过，其特征在于，包括：

至少一个密封组件，为柔性材料，设在所述密封通道(1)内和/或设置在所述密封部件上；

所述密封组件的内侧壁与其相对的所述密封通道(1)的一侧内壁之间形成供所述密封部件穿过的滑行通道；

所述滑行通道可密封地滑动连接于所述密封部件的外壁与所述密封通道(1)的内壁之间。

2.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述密封组件为柔性刷(4),所述柔性刷(4)固定设置在所述密封通道(1)上。

3.根据权利要求2所述的密封装置，其特征在于，所述柔性刷(4)沿着所述密封通道(1)的通过方向间隔设置有多组，任意相邻两组所述柔性刷(4)之间的间隔为L2，所述密封部件的沿所述密封通道的方向的长度为L3；所述L2、L3之间满足：L2≤L3。

4.根据权利要求2所述的密封装置，其特征在于，所述柔性刷(4)沿着所述密封通道(1)的通过方向均匀间隔设置有多组；

相邻两组所述柔性刷之间的相互靠近的两边之间的间隔为L2；

任意两组所述柔性刷之间的相互远离的两边之间的间隔为L4_n；

任意相邻两组所述密封部件的相互靠近的两边之间的距离为L1_i；

所述密封部件的沿所述密封通道的方向的长度为L3；

任意相邻两组所述密封部件的相互远离的两边之间的距离为L5_i；

所述L1_i、L2、L3、L4_n和L5_i之间满足：

当L5_i≥L4_n，且L5_i≤L4_n+L2时，L1_i≤L4_n；

所述n为大于或等于1的自然数中的一个。

5.根据权利要求4所述的密封装置，其特征在于，当L5_i≥L4_n，且L5_i≤L4_n+L2时，L1_i+L3≤L4_n。

6.根据权利要求2所述的密封装置，其特征在于，所述柔性刷(4)在所述密封通道(1)上布满设置。

7.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，还包括：

治具(7)，具有至少两组，用于承载工件；所述密封部件安装在所述治具的端部上。

8.根据权利要求7所述的密封装置，其特征在于，任一相邻两个所述密封部件之间的距离为L1_i，所述滑行通道的长度为L0_i，所述L1_i与L0_i之间满足：

L0_min≥L1_max，其中所述L0_min为所有L0_i中的最小值，L1_max为所有L1_i中的最大值，并且i为大于或等于1的自然数。

9.工件处理容器，其特征在于，包括：内腔、至少一侧壁设有与所述内腔连通且沿第一方向延伸的密封通道(1)，所述密封通道(1)内设有权利要求1-8中任一项所述的密封装置。

10.工件处理装置，其特征在于，包括：

至少一个权利要求9中所述的工件处理容器；

若干个密封部件，间隔设在所述工件处理容器的密封通道(1)的滑行通道内；

所述密封部件和所述工件处理容器中的任一个受驱动机构的驱动，使任一所述密封部件适于密封地穿过任一所述滑行通道，以带动设在对应密封部件上的待处理工件穿过所述滑行通道；

在所述密封部件或工件处理容器的移动方向上，任一相邻两个所述密封部件之间的距离为L1_i，任一所述滑行通道的长度为L0_i，所述L1_i与L0_i之间满足：

L0_min≥L1_max，其中所述L1_max为所有L1_i中的最大值，L0_min为所有L0_i中的最小值，并且i为大于或等于1的自然数。

11.根据权利要求10所述的工件处理装置，其特征在于，还包括可穿过所述滑行通道的至少一个治具(7)，所述治具(7)设有供至少一个工件容纳的放置腔，且所述放置腔与该治具(7)所在容器的内腔连通；

所述密封部件安装在所述治具的端部上或绕设在所述治具的外周壁上而安装于容纳在放置腔内的对应工件的端部或绕设在工件的外周壁上。

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