JP5419427B2 - 処理液装置の処理液制御方法 - Google Patents

Description

本発明は、電気めっき装置等のように、めっき液や洗浄液等の処理液を貯留する浸漬処理槽を備えた処理液装置の処理液制御方法に関し、特に、中間受け渡し槽が前記浸漬処理槽に隣接配置されている処理液装置の処理液御方法に関する。

電気めっき装置における浸漬処理槽としては、常時所定範囲量のめっき液を貯留して、ワークにめっきを施すめっき液槽や、常時所定範囲量の洗浄液を貯留して、ワーク表面を洗浄する浸漬洗浄槽等があり、それらの浸漬処理槽の前後には、たとえば、ワーク通過口を有する槽壁を介して前記中間受け渡し槽が配置されている。この中間受け渡し槽は、処理液が収納されている浸漬処理槽と空ステージの間のワーク移送の橋渡しのために、ワークの通過毎に、めっき液あるいは洗浄液等の供給および排出が交互に実施される。なお、中間受け渡し槽としては、一対のボックス部間にワーク搬送経路を形成しているボックス槽がある

たとえば、空ステージから入口側の中間受け渡し槽を経て浸漬洗浄槽にワークを搬送する場合、空ステージから入口側の中間受け渡し槽への移送の段階では、中間受け渡し槽を空の状態に維持し、ワークが中間受け渡し槽のワーク搬送経路内に収納された段階で、中間受け渡し槽のワーク搬送経路に洗浄液を供給して、浸漬洗浄槽内の液面と略同じ高さの液面とし、この状態で前記槽壁のワーク通過口を開き、中間受け渡し槽のワーク搬送経路中から浸漬洗浄槽にワークを移送する。そして、ワーク洗浄後、浸漬洗浄槽から出口側の中間受け渡し槽を経て空ステージへワークを搬送する場合、浸漬洗浄槽から出口側の中間受け渡し槽のワーク搬送経路への移送の段階では、中間受け渡し槽のワーク搬送経路に洗浄液を供給して、浸漬洗浄槽内の液面と略同じ高さの液面とし、中間受け渡し槽からステージに移送する段階では、中間受け渡し槽の洗浄液を排出する。

上記中間受け渡し槽のワーク搬送経路への給液作業並びにワーク搬送経路からの排液作業は、作業能率の観点から、ワークの搬送に合わせて迅速に行う必要がある。そのため、前述のように、ワーク搬送経路の両側にボックス部を配置してワーク搬送経路中の容量を小さくすると共に、給液口の面積を大きくすることにより、短時間でワーク搬送経路に洗浄液を供給し、また、排液管の断面積を大きくすることにより、短時間でワーク搬送経路から洗浄液を排出するようにしている（特許文献１等）。
特開２００７−１１３０６６号公報

ところが、短時間で給液及び排液するために、前記のように給液口の開口面積及び排液管の断面積を大きし、また、ワーク搬送経路内の処理液を完全に排出するようにしている場合には、次のような課題が発生する。

（１）中間受け渡し槽のワーク搬送経路の処理液を総て貯液槽へ排出し開閉弁を閉じた後、ワーク搬送経路に処理液を再度供給した時に、排液管内の、開閉弁と貯液槽液面との間の部分に空気が残留する。そのため、次の排液作業時には、処理液中に排液管内の空気が混入した状態で貯液槽に処理液が排出される。この排液作業は、短時間で行われるので、貯液槽内に多量の泡が発生することになる。特に、処理液として洗浄液が排出される場合には、泡の発生が顕著である。このように、貯液槽内に多量の泡が発生すると、貯液槽からポンプにより処理液を汲み上げる際に、空気かみ現象が生じ、正常な処理液の循環が困難になる。また、泡が貯液槽から溢れ出して周囲を汚染する。

（２）また、中間受け渡し槽内のワーク搬送経路を空にした状態で、給液口から搬送経路に処理液を短時間で供給すると、給液口から空気が混入し、中間受け渡し槽に多量の泡が発生することになる。また、泡が中間受け渡し槽から溢れ出して周囲を汚染する。

本発明の目的は、めっき液や洗浄液等の処理液を、中間受け渡し槽内に短時間で供給し、短時間で排出するための処理液制御方法において、給液時及び排液時のいずれの場合でも、殆ど泡を発生させることなく給排液を実施できる、処理液制御方法を提供することである。

本発明に係る処理液制御方法を実施する処理液装置は、所定範囲量の処理液を常時貯留してワークを浸漬処理する浸漬処理槽と、ワーク通過口を有する槽壁を介して前記浸漬処理槽に隣接配置される中間受け渡し槽であって、ワーク搬送経路と、該ワーク搬送経路内へ給液する給液口と、前記ワーク搬送経路の底面から排液する排液口とを有する中間受け渡し槽と、前記中間受け渡し槽の下方に配置された貯液槽と、前記排液口から前記貯液槽へ向けて下方に延びる排液管と、該排液管に設けられた開閉弁と、該開閉弁を制御する制御機構と、を備えている。このような処理液装置の処理液制御方法において、前記中間受け渡し槽では、ワーク通過時に、前記給液口から前記ワーク搬送経路への給液と前記排液口から前記貯液槽への排液が交互に実施され、前記排液時に、前記ワーク搬送経路内の残留処理液のレベルが、前記給液口の上端より上方位置で、かつ、搬送状態の前記ワークの下端より低い位置に保たれるように、前記開閉弁を開閉制御する。

上記構成によると、（１）中間受け渡し槽のワーク搬送経路から排液管を介して排液した時に、ワーク搬送経路の下部に処理液が残留するため、排液管には空気が入らず、次の処理液供給後、排出時には、処理液内に空気が混入することはなく、貯液槽で泡が発生するのを防止できる。

（２）中間受け渡し槽のワーク搬送経路に給液するための給液口が、常に処理液の液面下に位置するため、中間受け渡し槽のワーク搬送経路への給液時、給液口から空気が混入することはなく、給液時におけるワーク搬送経路内での泡の発生も防止できる。

前記処理液制御方法において、好ましくは、前記中間受け渡し槽は、前記ワーク搬送経路を挟んで配置された一対のボックス部を備え、前記給液口は、前記ボックス部から前記ワーク搬送経路へ給液するように開口している。
上記構成によると、中間受け渡し槽として、ワーク搬送経路の両側にボックス部を備えたボックス槽を備えているので、簡単な構成で、給液量及び排液量を少なくすることができ、給液作業及び排液作業を短くすることができる。

前記処理液制御方法において、好ましくは、前記排液管の下端が、前記貯液槽内の処理液に常時浸漬するように、貯液槽内の処理液のレベルを制御する。

上記構成によると、中間受け渡し槽のワーク搬送経路から貯液槽への排液時に、排液管の下端での空気の混入を防ぐことができ、貯液槽内での泡の発生を、更に効果的に防止できる。

前記制御方法において、好ましくは、前記給液口の上端が、ワーク搬送経路内のワークの下端よりも下方に位置している。

上記構成によると、給液口から供給される処理液が、ワークに直接衝突するのを防ぐことができる。ワーク搬送経路に幅は、両側のボックス部の存在により狭くなっており、給液口から供給される処理液がワークに直接当接すると、ワークが揺れて、中間受け渡し槽に衝突し、ワークの表面が傷付き、薄いワークであると折れ曲がる虞があるが、給液口をワークよりも下方に配置していることにより、上記不具合を防ぐことができる。

［本発明の実施の形態］
図１〜図９は、本発明に係る処理液制御方法を実施するための処理液装置に関する図であり、具体的には電気めっき装置内の洗浄工程部分を示している。なお、説明の都合上、ワーク搬送方向Ｆと直交する水平方向を「左右方向」として、以下説明する。

図１は、前記洗浄工程の後半部分であって、浸漬洗浄槽２２，出口側のボックス槽２３及び空ステージ２４等の縦断面拡大略図、図２は、図１のワーク搬送用の搬送ハンガー２８の断面拡大図、図３は、洗浄工程の全体の縦断面略図、図４は、図３の出口側のボックス槽２３の平面図、図５は、図４の出口側ボックス槽の縦断面図、図６は、図５のVI-VI断面図である。

図３において、電気めっき装置の洗浄工程では、ワーク搬送方向Ｆの上流側から順に、入口側空ステージ２０，入口側ボックス槽（入口側中間受け渡し槽）２１，浸漬洗浄槽２２，出口側ボックス槽（出口側中間受け渡し槽）２３，出口側空ステージ２４が配置されており、各空ステージ２０，２４及び各槽２１，２２，２３の上方には、搬送方向Ｆに沿ってワーク搬送用のレール２７が敷設されている。該ガイドレール２７には、多数の搬送ハンガー２８がレール長さ方向移動可能に支持されている。

図２は、搬送ハンガー２８の詳細を示しており、搬送ハンガー２８は、前記ガイドレール２７にガイドレール長さ方向移動自在に支持された移動基台６３と、該移動基台６３からガイドレール２７と略直角方向に水平に延びるアーム部６４と、該アーム部６４の先端部から下方に延びるワーク吊持部６５から構成されており、ワーク吊持部６５の下端部には、吊持ピン６６及びクランプ６７が設けられている。前記吊持ピン６６にワーク（たとえば回路用基板）Ｗの上端部の係合孔を係合し、クランプ６７により脱落不能に保持するようになっている。吊持されたワークＷは、吊持部６５及び図示しないが適宜の電導機構を介してガイドレール２７に電気的に接続されており、ガイドレール２７から電気が供給されるようになっている。移動基台６３の上面には、アーム部６４と反対方向に水平に延びる支軸７０が固着され、該支軸７０には、スプロケット７１がワンウエイクラッチ７２を介して一方向へのみ回転するように支持されている。前記スプロケット７１は、搬送チェーン７５に噛み合い、搬送チェーン７５の駆動により、スプロケット７１を介して搬送ハンガー２８がレール２７に沿って走行する。

（各槽等の構成）
図１において、洗浄工程の後半部を構成する浸漬洗浄槽２２、出口側ボックス槽２３、空ステージ２４及びシャワー槽２５は、一定高さの架台４２上に載置されており、上記各槽２２，２３，２４，２５の下方に、貯液槽４３が配置されている。出口側ボックス槽２３の上方には図示しない架台を介してカラム槽（給液機構）４７が配設されている。

貯液槽４３と浸漬洗浄槽２２の間には２つの配管５５、５６が並設されており、いずれの配管５５、５６にも貯液槽４３から浸漬洗浄槽２２へ洗浄液を供給するためのポンプ５７、５９及びフィルター５８、６０が設けられている。一方の配管５５はボックス槽２３のゲートが開閉した際に、浸漬洗浄槽２２の液面を所定高さに維持するためのものであり、他方の配管５６は洗浄液循環用である。また、空ステージ２４の底部には貯液槽４３へ洗浄液を排出するための排出管４４が設けられ、さらに浸漬洗浄槽２２には、オーバーフローする洗浄液を貯液槽４３に排出するためのオーバーフロー管６１が設けられている。

出口側ボックス槽２３の底面には排液口４６が形成され、該排液口４６には、下方に延びる排液管４５が設けられており、該排液管４５には、該排液管４５内を開閉する開閉弁５２が設けられている。該開閉弁５２を開閉駆動するための駆動部５３は、タイマー機能を有する制御機構５４に電気的に接続されている。

貯液槽４３とカラム槽４７との間には配管４８が配設され、該配管４８には、貯液槽４３からカラム槽４７へ洗浄液を導入するためのポンプ４９及びフィルター５０が設けられている。カラム槽４７の液出口は、開閉弁５１を介してボックス槽２３内に連通している。

図４において、出口側ボックス槽２３には、ワーク搬送方向Ｆと直交する方向に所定間隔を置いて、左右一対のボックス部２３ａが配置され、左右のボックス部２３ａ間に、ワークＷが通過するワーク搬送経路４１が形成されている。各ボックス部２３ａは、前述のように、前記カラム槽４７に前記開閉弁５１を介して接続されており、開閉弁５１の開閉により、カラム槽４７から所定量の洗浄液がボックス部２３ａに供給されるようになっている。さらに、各ボックス部２３ａのワーク搬送経路４１に面する側壁には、給液口６２が形成されると共に、該給液口６２を開閉する扉６８が設けられている。該扉６８には、制御機構５４に電気的に接続する駆動部６９が連結されており、前記駆動部６９により、扉６８を、実線で示す閉状態と、仮想線で示す開状態の間で切り換えるようになっている。上記のようにボックス槽２３にボックス部２３ａを備えることで、ボックス槽２３内のワーク搬送経路４１へ供給される液量が少なくなり、ボックス槽２３への洗浄液の供給時間及びボックス槽２３から洗浄液の排出時間を短縮することができる。

図５において、ボックス槽２３の底面に形成された前記排液口４６は、ワーク搬送経路４１に開口しており、前記排液口４６に接続された前記排液管４５は、貯液槽４３内へ向かって下方に延び、排液管４５の下端４５ａは、貯液槽４３内の洗浄液（最低レベルＬ１０）に常時浸漬する位置で、洗浄液内に開口している。排液管４５の内径は、２０ｍｍ〜２００ｍｍの範囲が好ましい。内径が２０ｍｍ未満では、排液時間が長くなり、一方、内径が２００ｍｍを越すと、排液管４５内の開閉弁５２の弁体に加わる液圧が大きくなり、開閉弁５２の開閉に時間がかかることになる。また、開閉弁５２の寿命も短くなるからである。

（ゲート装置）
図４において、浸漬洗浄槽２２と出口側のボックス槽２３との間の縦壁（槽壁）８２と、ボックス槽２３と空ステージ２４との間の縦壁８３とには、それぞれスライド式のゲート部材９３を有するゲート装置８４、８５が設けられている。また、図３の浸漬洗浄槽２２の入口側ボックス槽２１と浸漬洗浄槽２２との間並びに入口側ボックス槽２１と空ステージ２０との間にも、前記出口側と同様なゲート装置８４、８５がそれぞれ設けられている。

図７は、図４のVII-VII断面拡大図、図８は、図７のVIII-VIII断面図である。図７において、ボックス槽２３の縦壁（槽壁）８２の左右幅の中央部には、Ｕ字状のゲート装置取付用凹部８９が形成されており、該凹部８９に、ゴムチューブ製パッキン９０を介して、ゲート装置８４が装着されている。該ゲート装置８４は、左右幅の中央部に、略垂直なスリット状のワーク通過口８８を有している。該ワーク通過口８８の左右幅は、板状ワークＷの厚みよりも大きく、ワーク通過口８８の上端部には、搬送ハンガー２８の吊持部６５及びクランプ６７が通過しうるように、上向きに広がる逆三角形状の拡大部８８ａが形成されている。

ゲート装置８４は、縦長Ｕ字状のゲート装置本体９１と、該Ｕ字状ゲート装置本体９１の左側柱部９１ａに固定されたストッパー部材９２と、ワーク通過口８８のスリット状開口部分を開閉するためにゲート装置本体９１の右側柱部９１ｂに左右方向移動自在に支持された前記可動ゲート部材９３と、該可動ゲート部材９３を移動するための第１及び第２のチューブ部材１０１，１０２を有する駆動機構９４と、を備えている。

図８において、ストッパー部材９２の先端部には、上下方向の略全長に亘ってパッキン１０８が取り付けられている。ゲート装置本体９１の右側柱部９１ｂには、ワーク搬送方向Ｆ側の面に、前記可動ゲート部材９３をスライド自在にガイドするガイドプレート１１０が固定され、ガイドプレート１１０のワーク搬送方向Ｆ側と反対側の面には、前記第１及び第２のチューブ部材１０１，１０２を収納するためのＬ字形のガイドケース１１１が配置されている。

前記ガイドプレート１１０と、ガイドケースと１１１と、右側柱部９１ｂの左面で囲まれたチューブ収納室内には、水平断面矩形状のスライド部９３ａが、左右方向移動自在に収納されており、該スライド部材９３ａの左側の空間部に前記第１のチューブ部材１０１が収納され、右側の空間部に前記第２のチューブ部材１０２が収納されている。両チューブ部材１０１，１０２は弾性を有するゴム製チューブであり、内部に空気を圧入することにより膨張し、内部の空気を抜くことにより、収縮するようになっている。

前記スライド部９３ａは、チューブ収納室から左方に突出する前記可動ゲート部材９３に一体成形されており、これにより、可動ゲート９３とスライド部９３ａとが一体に左右方向に移動できるようになっている。

図７において、両チューブ部材１０１，１０２の下端部は常時密封状態に閉塞されており、両チューブ部材１０１，１０２の上端部は、金属製又は樹脂製の継手管１２１、１２２にそれぞれ接続されている。両継手管１２１，１２２は、エア管を介してコンプレッサ等の圧縮エア供給源１３２に接続されており、該圧縮エア供給源１３２は、制御機構２１３に電気的に接続されており、圧縮エアを各チューブ部材１０１，１０２に供給する状態と、チューブ部材１０１，１０２から圧縮エアをそれぞれ排出スロットル状態とに、切り換え自在となっている、すなわち、第１のチューブ部材１０１に圧縮エアを供給して第１のチューブ部材１０１を膨張させると同時に第２のチューブ部材１０２内のエアを排出して第２のチューブ部材１０２を収縮させる状態と、第２のチューブ部材１０２に圧縮エアを供給して第２のチューブ部材１０２を膨張させると同時に第１のチューブ部材１０１内のエアを排出して第１のチューブ部材１０１を収縮させる状態と、に切り換え自在となっている。

第１のチューブ部材１０１にエアを圧入して膨張させ、第２のチューブ部材１０２からエアを排出して収縮させることにより、スライド部９３ａ及び可動ゲート部材９３を一体に開方向（右方向）に移動させ、ワーク通過口８８を開くことができる。一方、第２のチューブ部材１０２にエアを圧入して膨張させ、第１のチューブ部材１０１からエアを排出して収縮させることにより、スライド部９３ａ及び可動ゲート部材９３を一体的に閉方向（左方向）に移動させ、ワーク通過口８８を閉じることができる。この閉状態では、可動ゲート部材９３の端縁は、ストッパー部材９２のパッキン１０８に圧接している。

（処理液制御内容）
図５により、出口側ボックス槽２３のワーク搬送経路４１内の洗浄液を排出する時の制御内容及び貯液槽４３内の洗浄液の制御内容を説明する。ワーク搬送経路４１内の洗浄液を排出する際には、排液管４５の開閉弁５２を開き、排液口４６および排液管４５を通して洗浄液を貯液槽４３内に排出するが、制御機構５４のタイマー機能で開閉弁５２の開時間を制御することにより（あるいは、レベルセンサーをワーク搬送経路４１内に設置することにより）、ボックス槽２３の底面より上方位置で、かつ、給液口６２の上端縁６２ａの上方近傍位置のレベルＬ１で、ワーク搬送経路４１内に洗浄液が残留するように排出する。また、前記洗浄液のレベルＬ１は、搬送状態のワークＷの下端より低い位置に設定されている。

上記ワーク搬送経路４１内の排液時の洗浄液レベルＬ１は、好ましくは、給液口６２の上端６２ａから５０ｍｍ以上の位置に設定される。これは、５０ｍｍ未満では、扉６８を開いてワーク搬送経路４１内に給液する際に、洗浄液面が波打ち、給液口６２から空気が混入する可能性が出てくるからである。

貯液槽４３内では、前記図１に示す各ポンプ４９，５７，５９等により、洗浄液が吸い出されると共に、浸漬洗浄槽２２及び空ステージ２４等から洗浄液が戻ることにより、洗浄液レベルは変動する。これに対し、貯液槽４３内にレベルセンサーを設置して洗浄液レベルの変動を検出し、少なくとも、常時、排液管４５の下端縁４５ａが洗浄液内に浸るレベルＬ１０を保つように、前記各ポンプ４９，５７，５９の駆動並びに別の洗浄液供給装置から貯液槽４３への洗浄液の補給量を制御する。前記貯液槽４３内の前記洗浄液レベルＬ１０は、好ましくは、排液管４５の下端縁４５ａから５０ｍｍ以上高い位置に設置する。５０ｍｍ未満では、排液時に、貯液槽４３内の洗浄液が波打つことにより、排液管４５内に空気が混入し、次の排液時に、排液管４５内に混入している前記空気により、泡が発生するからである。

（作用）
洗浄工程における作業の全体の流れを説明する。
（１）図３において、めっき処理前（又はめっき処理済み）のワークＷが、入口側の空ステージ２０まで搬送された状態では、浸漬洗浄槽２２と入口側ボックス槽２１との間のゲート装置８４を閉じ、入口側ボックス槽２１と空ステージ２０との間のゲート装置８５を開き、入口側ボックス槽２１内を空状態とし、空ステージ２０内のワークＷを、ゲート装置８５を介して入口側ボックス槽２１内まで搬送する。

（２）次に、ワークＷが入口側ボックス槽２１内に位置した状態において、入口側ボックス槽２１と空ステージ２０との間のゲート装置８５を閉じ、入口側ボックス槽２１内に洗浄液を供給する。この場合、浸漬洗浄槽２２内の洗浄液のレベルＬ２と略同程度のレベルまで供給する。

（３）入口側ボックス槽２１への給液後、入口側ボックス槽２１と浸漬洗浄槽２２との間のゲート装置８４を開き、ワークＷを入口側ボックス槽２１からゲート装置８４を通して浸漬洗浄槽２２内に搬送する。

（４）ワークＷを浸漬洗浄槽２２内に搬送した状態で、入口側ボックス槽２１と浸漬洗浄槽２２との間のゲート装置８４を閉じ、浸漬洗浄槽２２内において、所定時間、ワーク表面を洗浄する。

（５）ワーク洗浄後、出口側ボックス槽２３に洗浄液を供給した状態で、出口側のボックス槽２３と浸漬洗浄槽２２との間のゲート装置８４を開き、ワークＷを出口側ボックス槽２３内まで移送する。

（６）次に、出口側のボックス槽２３と浸漬洗浄槽２２との間のゲート装置８４を閉じ、出口側ボックス槽２３内の洗浄液を排出する。

（７）最後に、出口側ボックス槽２３と空ステージ２４との間のゲート装置８５を開き、ワークＷを出口側ボックス槽２３から空ステージ２４へ搬送する。

（作用効果）
洗浄処理後の後半の工程に基づいて、本実施の形態の効果を詳しく説明する。
（１）図５において、ワークＷを洗浄処理後、浸漬洗浄槽２２から縦壁８２のゲート装置８４を通して出口側ボックス槽２３のワーク搬送経路４１へ移送する際には、前段階として、出口側ボックス槽２３の搬送方向Ｆの両側のゲート装置８４、８５を閉じた状態とし、給液口６２の扉６８を開くことにより、ボックス部２３ａ内の洗浄液を給液口６２からワーク搬送経路４１内に供給する。そして、ワーク搬送経路４１内の洗浄液が浸漬洗浄槽２２内の洗浄液レベルＬ２と略一致する程度まで給液した時点で、自動的に扉６８を閉じる。次に、出口側ボックス槽２３と浸漬洗浄槽２２との間のゲート装置８４を開き、ワークＷを浸漬処理槽２２から出口側ボックス槽２３のワーク搬送経路４１内に搬送し、上記ゲート装置８４を閉じる。

（２）排液管４５の開閉弁５２を開くことにより、ワーク搬送経路４１内の洗浄液を、排液口４６及び排液管４５を通して貯液槽４３内に排出し、制御機構５４のタイマー制御によって、所定時間経過後に、開閉弁５２を閉じる。排液完了時には、ワーク搬送経路４１内の洗浄液は、レベルＬ１を維持した状態で残留する。すなわち、給液口６２の上端縁６２ａよりも、５０ｍｍ以上高い位置で、停止する。したがって、排液管４５内に空気が混入することはない。

（３）その後、出口側ボックス槽２３のワーク搬送経路４１内に洗浄液を供給する際には、洗浄液がレベルＬ１で残留している状態において、給液口６２を開いて新たな洗浄液を供給するので、給液口６２を介して空気が混入することなく、ワーク搬送経路４１内に洗浄液が供給される。

（４）そして、再度、出口側ボックス槽２３のワーク搬送経路４１から洗浄液を排出する際には、排液管４５内及びワーク搬送経路４１内のいずれにも空気が混入していないので、短時間で勢いよく貯液槽４３内に洗浄液を排出しても、貯液槽４３内で泡が発生することはない。

上記作用効果は、図３の浸漬洗浄槽２２の入口側に配置されたボックス槽２１の給排液作業の場合でも、同様の効果を得ることができ、また、洗浄工程の他に、めっき槽の前後のボックス槽における給排液作業の場合でも、同様の効果を得ることができる。

又、本実施の形態では、給液口６２の上端６２ａが、ワークＷの下端よりも下方に位置するように、給液口６２ａを形成しているので、給液口６２からワーク搬送経路４１内に給液する際に、洗浄液が直接ワークＷに衝突することはない。すなわち、給液時に、給液口６２から勢いよく吐出される洗浄液の圧力によってワークＷが揺れ動いたり、湾曲するのを防止でき、ワークＷの損傷や変形を防止できる。

［その他の実施の形態］
（１）図９は、中間受け渡し槽の変形例であり、一つのボックス部２３ａを有するボックス槽２３を示している。図９において、ボックス槽２３は、ワーク搬送経路の両側のうち、一方のみにボックス部２３ａを配置してあり、このボックス部２３ａの壁部に、給液口６２、扉６８及び駆動部６９を備えている。その他の構造は図４と同様であり、図４と同じ部品には同じ番号を附してある。かかるボックス槽２３を備えている場合でも、前記実施の形態と同様な効果を得ることができる。

（２）図１０は、ボックス部を有していない中間受け渡し槽１２３の例を示している。この図１０において、中間受け渡し槽２３は、槽壁面に給液口６２、扉６８及び駆動部６９を備えている。また、上方に配置されたカラム槽４７から、直接、処理液（洗浄液等）が中間受け渡し槽１２３内に供給される。その他の構造は、図６と同様であり、図６と同じ部品には同じ番号を附してある。排液時に、処理液が給液口６２の上端の上方近傍位置のレベル（Ｌ１）で残留する構成は、前記実施の形態と同様である。かかる中間受け渡し槽１２３を備えている場合でも、前記実施の形態と同様な効果を得ることができる。なお、図１０では、カラム槽４７から中間受け渡し槽１２３内に重力で処理液を供給する構造であるが、ポンプを使用して、貯液槽４３から中間受け渡し槽１２３に処理液を供給する構造とすることもできる。

（３）本発明にかかる制御方法は、めっき装置における浸漬洗浄槽あるいはめっき槽の前後のボックス槽のめっき液又は洗浄液の制御には限定されず、他の浸漬処理槽に関連するボックス槽の処理液の制御にも適用することは可能である。

本発明は、めっき装置の他に、クロメート処理装置、アルミニウムの陽極酸化処理装置、電解研磨装置又は電解酸洗装置等の処理装置にも適用可能である。

本発明に係る処理液制御方法を実施すための処理液装置の洗浄工程の後半部分の縦断面拡大図である。 図１のII-II断面拡大図である。 図１の処理液装置の洗浄工程全体の縦断面略図である。 図３の出口側のボックス槽の平面図である。 図４の出口側のボックス槽の縦断面拡大図である。 図５のVI-VI断面図である。 ゲート装置を示しており、図４のVII-VII断面図である。 図７のVIII-VIII断面図である。 中間受け渡し槽の変形例を示す図４と同様の平面図である。 中間受け渡し槽の別の変形例を示す図６と同様の断面図である。

符号の説明

１４ めっき槽（浸漬処理槽の一例）
２１ 入口側ボックス槽（中間受け渡し槽の一例）
２２ 浸漬洗浄槽（浸漬処理槽の一例）
２３ 出口側ボックス槽（中間受け渡し槽の一例）
２３ａ ボックス部
４１ ボックス槽内のワーク搬送経路
４５ 排液管
４６ 排液口
５２ 排液管の開閉弁
５４ タイマー機能を有する制御機構
６２ 給液口
６８ 給液口の扉
８２，８３ 縦壁（槽壁の一例）
８４，８５ ゲート装置
８８ ワーク通過口
１２３ 中間受け渡し槽の別の例

Claims (4)

1. 所定範囲量の処理液を常時貯留してワークを浸漬処理する浸漬処理槽と、
   ワーク通過口を有する槽壁を介して前記浸漬処理槽に隣接配置される中間受け渡し槽であって、ワーク搬送経路と、該ワーク搬送経路内へ給液する給液口と、前記ワーク搬送経路の底面から排液する排液口とを有する中間受け渡し槽と、
   前記中間受け渡し槽の下方に配置された貯液槽と、
   前記排液口から前記貯液槽へ向けて下方に延びる排液管と、
   該排液管に設けられた開閉弁と、
   該開閉弁を制御する制御機構と、を備えている、処理液装置の処理液制御方法において、
   前記中間受け渡し槽では、ワーク通過時に、前記給液口から前記ワーク搬送経路への給液と前記排液口から前記貯液槽への排液が交互に実施され、
   前記排液時に、前記ワーク搬送経路内の残留処理液のレベルが、前記給液口の上端より上方位置で、かつ、搬送状態の前記ワークの下端より低い位置に保たれるように、前記開閉弁を開閉制御する、ことを特徴とする処理液装置の処理液制御方法。
2. 請求項１に記載の処理液装置の処理液制御方法において、
   前記中間受け渡し槽は、前記ワーク搬送経路を挟んで配置された一対のボックス部を備え、前記給液口は、前記ボックス部から前記ワーク搬送経路へ給液するように開口している、処理液装置の処理液制御方法。
3. 請求項１又は２に記載の処理液装置の処理液制御方法において、
   前記排液管の下端が、前記貯液槽内の処理液に常時浸漬するように、貯液槽内の処理液のレベルを制御する、処理液装置の処理液制御方法。
4. 請求項１乃至３のいずれか一つに記載の処理液装置の処理液制御方法において、
   前記給液口の上端が、前記ワーク搬送経路内のワークの下端よりも下方に位置している、処理液装置の処理液制御方法。

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