JP3765099B2 - めっき槽の液漏れ防止装置 - Google Patents

めっき槽の液漏れ防止装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3765099B2
JP3765099B2 JP2002184112A JP2002184112A JP3765099B2 JP 3765099 B2 JP3765099 B2 JP 3765099B2 JP 2002184112 A JP2002184112 A JP 2002184112A JP 2002184112 A JP2002184112 A JP 2002184112A JP 3765099 B2 JP3765099 B2 JP 3765099B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
seal
liquid
rollers
processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2002184112A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004027279A (ja
Inventor
和則 井久保
卓弥 水野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chuo Seisakusho KK
Original Assignee
Chuo Seisakusho KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chuo Seisakusho KK filed Critical Chuo Seisakusho KK
Priority to JP2002184112A priority Critical patent/JP3765099B2/ja
Publication of JP2004027279A publication Critical patent/JP2004027279A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3765099B2 publication Critical patent/JP3765099B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平板状のワークを垂直な姿勢で移送しながらめっきするめっき装置において、処理槽の入出口から処理液の漏出を防止するめっき槽の液漏れ防止装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
プリント基板のような平板状ワークをめっきする装置としては種々の方式のものが提供されている。これらの装置のなかでも、平板状ワークを垂直な姿勢で連続的に移送するめっき装置は、治具が不要であり、浴液の噴流機構を装備することにより高速のめっきができるというような特徴があることから多く使用されている。こうした平板状ワークを垂直な姿勢で連続的に移送するめっき装置においては、平板状ワークが処理液面より下方で処理槽に入出することから、入出口からの処理液の漏出が問題となり、その漏出を防止する装置を備えた例えば特表平9−505638のような処理装置が考えられている。
【0003】
この特表平9−505638の装置が備えるめっき槽の液漏れ防止装置は、処理槽の端壁に設けたワークを通過させるためのスリットに対応して垂直な向きでルーズに処理浴内に対をなして配置したローラー等をシールとして配置し、これらのローラー等が液圧により互いに又はその都度通過するワークと処理槽の端壁とに圧着されるようにしたものである。類似のめっき槽の液漏れ防止装置は他にも種々提案されているが、いずれもシールローラーは垂直に設けられたものであった。
【0004】
処理対象であるプリント基板のような平板状ワークは処理時には矩形形状とするのが普通であり、各ワークの前縁は垂直であることからワークがシールローラーの間に進入する際には、ワークの高さ方向の全長がシールローラーの間に一度に進入することとなっていた。そのためワークは大きな抵抗を受け、駆動装置に繋がったワーク上部のチャックからワークが外れることがあり、一度で外れない場合でもワークがチャックからずれてワークが傾き、ワークが処理槽を順次通過する間に各処理槽の入出の際に受けるシールローラーの抵抗によって傾きが蓄積してワークがチャックから外れるに至るという問題があった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記の問題点を解決し、シールローラーの間にワークが進入する際にワークがチャックから外れたりずれたりすることのないめっき槽の液漏れ防止装置を提供するためになされたものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の問題を解決するためになされた本発明のめっき槽の液漏れ防止装置は、平板状のワークを処理する処理槽のワークが入出する側壁にワーク入出用の垂直方向のスリットを設け、該スリットに近接してそれぞれ配設される2本1組のシールローラーにより液漏れを防止するめっき槽の液漏れ防止装置において、ワーク入側及び出側のシールローラーをともにワーク面に平行な面内で垂直方向に対してシールローラーの上端がワークの進行方向の後方寄りになる方向に傾斜させたことを特徴とするものである。このシールローラーのシール部分の外側に上部から液を落下させる液供給機構を設けることが好ましく、シールローラーは長さ方向に複数に分割したものとすることが好ましい。
【0007】
【発明の実施の形態】
次に、本発明のめっき槽の液漏れ防止装置の実施形態について、図を参照しながら具体的に説明する。
図1は平面図であって、処理槽本体1のワーク入口側の側壁にはスリット2が、対向するワーク出口側の側壁にはスリット3がそれぞれ垂直方向に設けてある。処理槽本体1の外側にはスリット2及び3の両側にそれぞれシールローラー収容室4、4及び5、5が設けてあり、該シールローラー収容室4、4及び5、5の内部にはそれぞれ円柱状のシールローラー6、6及び7、7を収容してワークの最大厚みを若干上回る程度の範囲内で水平方向に移動可能な状態としてある。
【0008】
ここで、入口側のシールローラー収容室4、4は上側が処理槽1の外側に、出口側のシールローラー収容室5、5は下側が処理槽1の外側にそれぞれ離れるように傾斜させ、シールローラー収容室4、4及び5、5に収容されるシールローラー6、6及び7、7を傾斜させてある。すなわちこの傾斜方向はシールローラー6、6及び7、7の上端をワークの進行方向の後方に傾斜させたものであり、傾斜角度は垂直線に対して1度ないし5度とするのが好ましい。また、シールローラー6、6及び7、7の表面はシール性能を増してワークを傷つけない耐薬品性に優れた弾性材とし、長さ方向に複数に分割したものとするのが好ましい。
【0009】
シールローラー収容室4、4及びシールローラー収容室5、5は図3に示すような成形したシールユニット8、8及び9、9とすることが好ましい。このように成形したシールユニット8、8及び9、9を処理槽本体1のワークの入口側及び出口側の側壁に大きく設けた開口10及び11に取り付け、シールローラー収容室4、4間の間隙及びシールローラー収容室5、5間の間隙をそれぞれスリット2及び3とするのである。図3は図1上で右上に位置するシールユニット8を示すものであって、組となるシールユニット8は対称な形に成形されるものであり、シールユニット9、9はシールローラー収容室5、5の傾斜方向を逆として成形される。
【0010】
シールローラー収容室4、4及び5、5の外側にはそれぞれ受液槽12及び13が設けてある。該受液槽12及び13ではシールローラー6、6及び7、7の間から漏出した処理液を受けて集め、図示しないポンプにより汲み上げて処理槽本体1に戻すようにしてある。なお、必要に応じ、処理槽本体1に補強リブ等を設けること、薬液槽では処理液の噴流装置、循環装置、攪拌装置等を、水洗槽ではシャワー装置等を設けることは言うまでもない。
【0011】
前記のように構成した処理槽本体1を処理工程にしたがって直線状に複数配置してめっきラインを構成し、ワークWを移送する図示しない移送装置を設ける。移送装置には従来知られる構成のものが使用可能である。処理槽本体1には処理工程にしたがって必要な処理液、洗浄水等がそれぞれ充填してある。ワークWは矢印で示すように入口側のスリット2から処理槽本体1内に入り、出口側のスリット3から出て行き、隣接する次の処理槽本体1の入口側のスリット2から次の処理槽本体1内に入っていく。
【0012】
ワークWが入ってくる前は、2個1組のシールローラー6、6及び7、7が処理槽本体1内の薬液の液圧によってシールローラー収容室4、4及び5、5の外側端面に押し付けられ、処理液の漏出を抑止している。ワークWがシールローラー6、6又は7、7の間に入ってくると、シールローラー6、6及び7、7はシールローラー収容室4、4及び5、5の中で移動できるので、ワークWはシールローラー6、6又は7、7の間に入ることができ、従来のめっき槽の液漏れ防止装置と同様に液漏れが抑止される。
【0013】
ワークWがシールローラー6、6又は7、7の間に入るとき、シールローラー6、6及び7、7が傾斜させてあるので、先ずワークWの上部がシールローラー6、6又は7、7の間に入り、徐々に高さ方向の全長がシールローラー6、6又は7、7の間に入ることとなる。したがって、ワークWの高さ方向の全長がシールローラー6、6又は7、7の間に一度に進入しないので大きな抵抗を受けることがなく、チャックからワークWが外れたり傾いたりすることがない。
【0014】
シールローラー6、6及び7、7はその上端をワークの進行方向の後方に傾斜させてあるので、ワークWのシールローラー6、6又は7、7の間への進入時、ワークWには下向きの力が、シールローラー6、6及び7、7には上向きの力がそれぞれ働くこととなる。シールローラー6、6及び7、7の傾斜角度を過度に大きくすると、ワークWの進入時にシールローラー6、6又は7、7が回転しながらせり上がる現象を生じるので好ましくない。
【0015】
シールローラー6、6及び7、7を長さ方向に複数に分割したものとした場合には、ワークWがシールローラー6、6又は7、7の間に入るときに分割されたシールローラー6、6又は7、7の間の一部分だけを離間させて進入するので、進入時にワークWが受ける抵抗がさらに小さくなる利点がある。また、シールローラー6、6又は7、7間のワークWが存在しない部分ではシールローラー6、6又は7、7が直接接することとなってその部分からの処理液の漏出をなくすることができる。
【0016】
前記実施の形態においては、シールローラー6、6及び7、7はその上端をワークの進行方向の後方に傾斜させたものとしていたが、この傾斜方向を逆にすることもできる。この傾斜方向を逆にした場合には、ワークWのシールローラー6、6又は7、7の間への進入時、ワークWには上向きの力が、シールローラー6、6及び7、7には下向きの力がそれぞれ働くこととなる。この種のめっきラインに使用される移送装置及び付属するチャックは、一般的にワークを吊るようにしたもので下向きの荷重に対応したものであり、シールローラー6、6及び7、7の傾斜方向を逆にする場合には上向きの荷重にも対応可能な移送装置及びチャックを使用することが必要である。
【0017】
図6乃至図10は別の実施の形態を示すものである。この別の実施の形態のものでは、シールローラー収容室4、4及び5、5の上部には処理液の導液樋14、14及び15、15が設けてあり、導液樋14、14及び15、15はそれぞれスリット2及び3の両側に位置する液取り入れ口16、16及び17、17からオーバーフローする処理液を導いてシールローラー収容室4、4及び5、5の外側にワークの進行方向と直角に落下させるようにしてある。この導液樋14、14及び15、15によりシールローラー6、6及び7、7の上部から液を落下させる液供給機構を構成している。
【0018】
導液樋14、14及び15、15は液取り入れ口16、16及び17、17ならびにシールローラー収容室4、4及び5、5とともに、図8に示すようにシールユニット8、8及び9、9として一体に成形し、このように成形したシールユニット8、8及び9、9を処理槽本体1のワークの入口側及び出口側の側壁に大きく設けた開口10及び11に取り付けてシールローラー収容室4、4間の間隙及びシールローラー収容室5、5間の間隙をそれぞれスリット2及び3とすることが好ましい。図8が図6上で右上に位置するシールユニット8を示すものであり、組となるシールユニット8をこれと対称な形に成形すること、シールユニット9、9はシールローラー収容室5、5の傾斜方向を逆として成形することは前記実施の形態のものと同様である。
【0019】
この別の実施の形態のものにおいては、導液樋14、14及び15、15を設けて液取り入れ口16、16及び17、17からオーバーフローする処理液を導いてシールローラー収容室4、4及び5、5の外側にワークの進行方向と直角に処理液を落下させるようにしてあり、この処理液はワークに当たって垂直に流下する。流下する処理液はワークとシールローラーの間からワーク面に沿って水平方向に噴出する処理槽本体1内の処理液に当たって処理液の方向を下向きに変えることになる。
【0020】
すなわち、シールローラー6、6及び7、7の間に平板状ワークが進入する際には、処理液の液面が高いためワークとシールローラーの間からワーク面に沿って処理槽内の処理液が水平方向に噴出するものであり、また、ワークの高さ方向の寸法は必ずシールローラーの長さより短いので、シールローラーの間にワークが挟まれている状態ではシールローラー間のワークが存在しない部分に隙間ができ、その隙間からも処理液が噴出することは避けられないものである。噴出した処理液は受液槽で受けてポンプにより処理槽に戻すわけであるが、処理液の噴出する距離が長い場合には隣接する処理槽の処理液が混合するのを防ぐために受液槽も長くする必要があり、装置全体の長さが長くなって大きな設置面積を要するという問題がある。
【0021】
流下する処理液により噴出する処理液の方向を下向きに変え、処理液の噴出する距離を短縮することができるので受液槽12及び13の長さを短縮することができ、装置全体の長さも短縮できることとなる。また、ワークが流下する処理液により確実に濡らされるので、次の処理槽に移送されるまでの間にワーク表面が乾燥して品質不良を起こすことがない。液供給機構として導液樋を使用した場合には、構成が簡単で動力も要しない利点がある。
【0022】
【発明の効果】
以上説明した本発明によれば、シールローラーが傾斜させてあるのでワークがシールローラーの間に進入する時に大きな抵抗を受けることがなく、ワークがチャックから外れたりずれたりすることがない利点がある。したがって、従来の問題を解決しためっき槽の液漏れ防止装置を提供するものとして業界に寄与するところ極めて大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示す平面図である。
【図2】本発明の実施の形態を示す縦断面図である。
【図3】シールユニットを示す斜視図である。
【図4】ワーク入口側のシール部分を拡大して示す平面図である。
【図5】ワーク出口側のシール部分を拡大して示す平面図である。
【図6】本発明の別の実施の形態を示す平面図である。
【図7】本発明の別の実施の形態を示す縦断面図である。
【図8】別の実施の形態におけるシールユニットを示す斜視図である。
【図9】別の実施の形態におけるワーク入口側のシール部分を拡大して示す平面図である。
【図10】別の実施の形態におけるワーク出口側のシール部分を拡大して示す平面図である。
【符号の説明】
1 処理槽本体
2、3 スリット
4、5 シールローラー収容室
6、7 シールローラー
8、9 シールユニット
10、11 開口
12、13 受液槽
14、15 導液樋
16、17 液取り入れ口
W ワーク

Claims (3)

  1. 平板状のワークを処理する処理槽のワークが入出する側壁にワーク入出用の垂直方向のスリットを設け、該スリットに近接してそれぞれ配設される2本1組のシールローラーにより液漏れを防止するめっき槽の液漏れ防止装置において、ワーク入側及び出側のシールローラーをともにワーク面に平行な面内で垂直方向に対してシールローラーの上端がワークの進行方向の後方寄りになる方向に傾斜させたことを特徴とするめっき槽の液漏れ防止装置。
  2. シールローラーのシール部分の外側に上部から液を落下させる液供給機構を設けたことを特徴とする請求項1に記載のめっき槽の液漏れ防止装置。
  3. シールローラーを長さ方向に複数に分割したものとしたことを特徴とする請求項1又は2に記載のめっき槽の液漏れ防止装置。
JP2002184112A 2002-06-25 2002-06-25 めっき槽の液漏れ防止装置 Expired - Fee Related JP3765099B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002184112A JP3765099B2 (ja) 2002-06-25 2002-06-25 めっき槽の液漏れ防止装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002184112A JP3765099B2 (ja) 2002-06-25 2002-06-25 めっき槽の液漏れ防止装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004027279A JP2004027279A (ja) 2004-01-29
JP3765099B2 true JP3765099B2 (ja) 2006-04-12

Family

ID=31180098

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002184112A Expired - Fee Related JP3765099B2 (ja) 2002-06-25 2002-06-25 めっき槽の液漏れ防止装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3765099B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4836628B2 (ja) * 2006-03-27 2011-12-14 株式会社中央製作所 長尺シートのめっき方法及び装置
CN112647115A (zh) * 2019-10-12 2021-04-13 昆山东威科技股份有限公司 一种密封装置、容器及工件的处理装置
CN112647116A (zh) * 2019-10-12 2021-04-13 昆山东威科技股份有限公司 一种工件处理生产系统

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004027279A (ja) 2004-01-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5512799B2 (ja) 平面的な被処理材料を処理するための方法、処理ステーションおよびアセンブリ
JP2006263996A (ja) 流路構造及び液滴吐出装置
TWI821450B (zh) 表面處理裝置及其方法
JP3765099B2 (ja) めっき槽の液漏れ防止装置
CN1148471C (zh) 电镀机
KR20060130174A (ko) 처리 매체로 처리 대상을 처리하는 노즐 장치 및 방법
JP4627681B2 (ja) 基板の処理装置及び処理方法
CN114405073A (zh) 沉淀板、沉淀模组以及沉淀模块
KR980012052A (ko) 반도체 웨이퍼 습식 처리장치
JP2003342788A (ja) 液漏れ防止装置
JP3992234B2 (ja) 連続式めっき装置における水洗装置
US8710391B2 (en) Pre-sealing unit for wire-cut electric discharge machine
KR101731751B1 (ko) 처리될 플랫 재료의 습식 화학 처리를 위한 기기 및 방법
KR100867301B1 (ko) 표면처리조
JP4905686B2 (ja) 基材処理装置
US9206514B2 (en) Liquid treatment apparatus
CN211284536U (zh) 水平喷射式化学镀装置
JPS6051594A (ja) 汚濁水の酸化等処理装置
JP3974314B2 (ja) 化学処理装置
KR100614798B1 (ko) 스크랩 배출장치
JP2001054766A (ja) 多段式洗浄槽
JP2568799Y2 (ja) ウエハー処理装置
JP2000087290A (ja) ウエーハめっき装置
KR100534366B1 (ko) 리드프레임 도금액 공급장치
WO2024046871A1 (en) Device and system for delivering a stream of liquid and apparatus and method for non-immersive wet-chemical treatment of a planar substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040602

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050829

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050927

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051013

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20051108

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060113

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060116

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees