TWI821450B - 表面處理裝置及其方法 - Google Patents

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Abstract

本發明提供表面處理裝置，減少澆流式的表面處理裝置的處理液的飛散量。在搬運用掛鉤的鉛垂下方設置有蜂巢部件。蜂巢部件通過連結多個空出有六邊形的孔的筒狀部件而成。在處理液沿鉛垂方向(箭頭方向)落下時，該處理液穿過蜂巢部件的貫通孔。然後，在與液面碰撞時，該處理液的一部分被反彈。反彈的處理液的一部分向傾斜方向反彈，因此與蜂巢部件的貫通孔的內壁碰撞。由此，減少了在貫通孔的上表面再次出現的處理液的量。由此，蜂巢部件實現飛散防止功能。

Description

表面處理裝置及其方法 發明領域
本發明涉及澆流式的表面處理裝置，特別涉及防止液體向相鄰的處理室的飛濺。
發明背景
在專利文獻1的圖10中公開有在工件的下部設置飛散防止件的澆流式的表面處理裝置。
專利文獻1：日本特開2014-88600號公報
發明概要
作為專利文獻1的飛散防止件，公開有海綿、過濾器、纖維狀材料(東洋軟墊公司(TOYO CUSHION)製作的化纖鎖(商標))(專利文獻1的段落0085)，但這樣不能實現足夠的飛散防止效果。這是因為，在這些材料之中，都是使與上述飛散防止件的表面碰撞的液滴直接反彈。在產生該反彈時，液體有可能混合到相鄰的處理室中。
為了解決該問題，考慮有增大處理室間的距離或使設置於處理室之間的間隔件的下表面與液滴的反彈面相比足夠高的方式，但其結果會導致裝置整體大型化。
本發明解決上述問題，其目的在於，提供液體不會混合到相鄰的處理室中，並且可以實現小型化的澆流式的表面處理裝置。
1)本發明是表面處理裝置，其具有：第1處理室，其供被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入；第1處理液澆流機構，其設置於前述第1處理室，使第1處理液從被搬入的前述被處理物的上部向沿前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流；第2處理室，其與前述第1處理室相鄰，供前述被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入；第2處理液澆流機構，其設置於前述第2處理室，使第2處理液從被搬入的前述被處理物的上部向沿前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流；區分壁，其是設置於前述第1處理室與前述第2處理室之間的區分壁，具有能夠供前述被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入的搬入開口部；以及混入減少機構，其在第1處理室或前述第2處理室中設置於前述區分壁附近，減少從前述被處理物下部落下的處理液在著地面被反彈並且被反彈的前述處理液從前述搬入開口部混入相鄰的處理室內的情況，前述混入減少機構是由多個縱長的單獨筒狀部件以開口部朝向鉛垂方向的方式配置而成的形狀。
在穿過前述開口部的處理液被著地面反彈時，前述處理液與縱長的單獨筒狀部件的內壁碰撞，向前述著地面落下。由此，能夠提供液體不會向相鄰的處理室混入並且能夠小型化的澆流式的表面處理裝置。
2)在本發明的表面處理裝置中，由多個前述縱長的單獨筒狀部件配置而成的形狀是近似蜂巢形狀。因此，前述處理液與前述近似蜂巢形狀的縱長的單獨筒狀部件的內壁碰撞而向前述著地面落下。
3)在本發明的表面處理裝置中，前述近似蜂巢形狀是蜂巢形狀。因此，前述處理液與前述蜂巢形狀的縱長的單獨筒狀部件的內壁碰撞，向前述著地面落下。
4)在本發明的表面處理裝置中，該表面處理裝置還具有第1處理液回收機構，該第1處理液回收機構回收從前述被處理物的下部落下的第1處理液，並將該第1處理液提供給前述第1處理液澆流機構，此外，該表面處理裝置還具有第2處理液回收機構，該第2處理液 回收機構回收從前述被處理物的下部落下的第2處理液，並將該第2處理液提供給前述第2處理液澆流機構。因此，能夠減少在回收使用的處理液中混合有不同的處理液的情況。
5)在本發明的表面處理裝置中，該表面處理裝置在前述第1處理室內的前述被處理物的下方具有第1處理液貯留部，該第1處理液貯留部貯留從前述被處理物的下部落下的第1處理液，在該第1處理液貯留部中，液面是露出的，在前述液面與前述混入減少機構的下表面之間設置有間隙。能夠減少來自前述第1處理液的表面的飛散量。
6)在本發明的表面處理裝置中，前述第1處理液澆流機構抽吸貯留於前述第1處理液貯留部的第1處理液，而用前述第1處理液進行澆流。因此，能夠減少在回收使用的第1處理液中混合有前述第2處理液的情況。
7)在本發明的表面處理裝置中，該表面處理裝置還具有空氣流量控制機構，該空氣流量控制機構對氣流進行控制使得在著地面被反彈的處理液沿前述鉛垂方向返回。由此，能夠減少來自前述著面的反彈。
8)在本發明的表面處理裝置中，前述被處理物呈片狀，前述空氣流量控制機構朝向片狀的前述被處理物具有沿著搬入方向的橫長的開口，從前述開口抽吸空氣。因此，能夠利用氣流減少來自前述著地面的反彈。
9)本發明是表面處理裝置，其具有：第1處理室，其供片狀的被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入；第1處理液澆流機構，其設置於前述第1處理室，使第1處理液從被搬入的前述被處理物的上部向沿前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流；第2處理室，其與前述第1處理室相鄰，供前述被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入；第2處理液澆流機構，其設置於前述第2處理室，使第2處理液從被搬入的前述被處理物的上部向沿前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流；區分壁，其是設置於前述第1處理室與前述第2處理室之間的區分壁，具有能夠供前述被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬 入的搬入開口部；以及混入減少機構，其在前述第1處理室或前述第2處理室中設置於前述區分壁附近，減少從前述被處理物的下部落下的處理液在著地面被反彈並且被反彈的前述處理液從前述搬入開口部混入相鄰的處理室內的情況，前述混入減少機構通過將空氣控制為沿前述片狀的被處理物的2個平面在鉛垂方向上流動，來減少在前述著地面被反彈的處理液的量。
因此，能夠利用沿前述片狀的被處理物的2個平面的向鉛垂方向的氣流，減少在前述前述著地面跳起的處理液的量。由此，能夠提供液體不會向相鄰的處理室混合並且能夠小型化的澆流式的表面處理裝置。
10)在本發明的表面處理裝置中，前述空氣流量控制機構具有沿前述片狀的被處理物的2個平面而在前述片狀的被處理物的下部附近設置的縫隙狀的引導部。利用該引導部能夠提高空氣的吸入速度。
11)在本發明的表面處理裝置中，前述混入減少機構具有沿前述片狀的被處理物的2個平面而在前述片狀的被處理物的下部附近設置的縫隙狀的引導部。因此，能夠提高沿前述片狀的被處理物的2個平面在鉛垂方向上流動的空氣的速度。
12)在本發明的表面處理裝置中，該表面處理裝置具有對前述混入減少機構的開口部與前述被處理物之間的距離進行調整的高度調整機構。因此能夠根據前述被處理物的大小，對前述混入減少機構的開口部與前述被處理物之間的距離進行調整。
13)本發明是表面處理裝置，其特徵在於，該表面處理裝置具有：第1處理室，其供被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入；第1處理液澆流機構，其設置於前述第1處理室，使第1處理液從前述搬入的被處理物的上部向沿前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流；第2處理室，其與前述第1處理室相鄰，供前述被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入；第2處理液澆流機構，其設置於前述第2處理室，使第2處理液從被搬入的前述被處理物的上部向 沿前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流；區分壁，其是設置於前述第1處理室與前述第2處理室之間的區分壁，具有能夠供前述被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入的搬入開口部；以及混入減少機構，其在前述第1處理室或前述第2處理室中設置於前述區分壁附近，減少從前述被處理物的下部落下的處理液在著地面被反彈並且被反彈的前述處理液從前述搬入開口部混入相鄰的處理室內的情況，前述混入減少機構是前述著地面的形狀隨著靠近前述搬入開口部而在鉛垂方向上升高的反彈方向變換部。
前述反彈方向變換部的前述著地面的形狀隨著靠近前述搬入開口部而在鉛垂方向上變高。因此，能夠使前述反彈的方向為從前述前述搬入開口部遠離的方向。由此，能夠提供液體不會向相鄰的處理室混合並且能夠小型化的澆流式的表面處理裝置。
14)本發明是表面處理方法，在該方法中，當將被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入第1處理室時，使第1處理液從搬入的被處理物的上部向沿前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流，在被前述第1處理液澆流後的被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入到與前述第1處理室相鄰的第2處理室中時，使第2處理液從搬入的被處理物的上部向沿前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流，其中，在前述第1處理室與前述第2處理室之間設置有能夠使前述被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入的搬入開口部，在前述第1處理室或前述第2處理室中，在區分壁附近，以開口部朝向鉛垂方向的方式配置有多個縱長的單獨筒狀部件，以減少從前述被處理物的下部落下的處理液在著地面被反彈並且被反彈的前述處理液從前述搬入開口部混入相鄰的處理室內的情況。
因此，能夠提供液體不會向相鄰處理室混合並且能夠小型化的澆流式的表面處理裝置。
15)本發明的表面處理裝置具有：處理室，其供被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入；處理液澆流機構，其設置於前述處理室，使處理液從 被搬入的前述被處理物的上部向沿前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流；區分壁，其是設置於前述處理室的區分壁，具有能夠供前述被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入的搬入開口部；以及混入減少機構，其在前述處理室中設置於前述區分壁附近，減少處理液從前述搬入開口部向處理室的外部的混入，該處理液是，從前述被處理物的下部落下的處理液在著地面被反彈而從前述搬入開口部向處理室的外部反彈的處理液，前述混入減少機構是將多個縱長的單獨筒狀部件以開口部朝向鉛垂方向的方式配置而成的形狀。
由此，能夠提供液體不會向相鄰的處理室混合並且能夠小型化的澆流式的表面處理裝置。
在本說明書中，“近似蜂巢形狀”是指多個多邊或圓形的單獨筒狀部件以開口部朝向鉛垂方向的方式配置而成的形狀。另外，“蜂巢構造”是指上述近似蜂巢構造中的單獨筒狀部件為六邊形的結構。
對於“從上部向下部澆流”，只要結果為成為從上部向下部的澆流狀態即可，包含直接向前述被處理物、或隔著對前述被處理物進行保持的保持部間接地進行澆流的情況。
通過實施方式和附圖來明確本發明的特徵、其他目的、用途、效果等。
2:槽體
2a,2b:側壁
2c:底部
4:噴出部
6:噴出口
8:縫隙
8a:下端
10:板狀工件
12,14:導軌
15:夾具
16:掛鉤
18:搬運機構
19:磁感測器
20:支承部件
21:磁鐵
22,24:搬運輥子
26:凸部
28:電動機
30:PLC
40:變流部件
50:循環泵
52,54,56:框架
60:蜂巢部件
61:貫通孔
71:側壁
72:開口部
74:第1室
75:第2室
76:托板
79:反彈方向變換部
80:託盤
81:縱管狀部件
81a:溝槽
81b:對蓋
82:框
82a:平面
83:管部
84,85:斜面
88:橫管狀部件
92:泵
93:管
94:空間
95:空氣吸入口
120:引導部
121a,121b:蓋
122:側面
122a:貫通孔
123:斜面部
125:半圓部
200:無電解鍍銅槽
300:表面處理裝置
302:裝載部
304:第1水洗槽
306:去汙槽
308:第2水洗槽
310:前處理槽
312:第3水洗槽
314:水洗槽
316:卸載部
CL:單元尺寸
D:距離
F1:基座
F2:緊固件
H:液面，高度
L:水平面
L1,L2:高度
P:間距
Q:處理液
R:箭頭
T1:撓性管
T2:配管
t:厚度
V:流速
W:寬度
Z:頂點
δ 1,δ 2:箭頭
圖1是從上方觀察表面處理裝置300的配置圖。
圖2是從α方向觀察表面處理裝置300的側視圖。
圖3是構成表面處理裝置300的一部分的無電解鍍銅槽200的圖1的β-β線剖視圖。
圖4是示出從上方觀察無電解鍍銅槽200的狀態的圖。
圖5是示出液體噴出部4的結構的圖。
圖6是示出從液體噴出部4的噴出口6噴出的處理液Q的流動的圖。
圖7是示出將變流部件40設置於液體噴出部4的改良例的圖。
圖8是與變流部件40碰撞前後的處理液Q的液流的剖視圖。
圖9是示出用於對搬運機構18的移動動作進行控制的連接關係的圖。
圖10是示出第3水洗槽312與無電解鍍銅槽200之間的導軌14的截面的圖。
圖11示出蜂巢部件60的詳細情況(立體圖、主要部位放大圖)。
圖12是用於對液滴與反彈的關係進行說明的圖。
圖13是示出飛散防止效果的確認實驗的條件的圖。
圖14是示出飛散防止效果的確認實驗的結果的圖。
圖15是示出反彈方向變換部的一例的圖。
圖16是第3實施方式的主視圖。
圖17是示出從圖16箭頭α方向觀察到的板狀工件10與託盤80的位置關係的圖。
圖18是示出託盤80的詳細情況的圖。
圖19是示出從圖16的箭頭δ1觀察到的板狀工件10與託盤80的位置關係的圖。
圖20是對設置有引導部120的實施方式進行說明的圖。
較佳實施例之詳細說明 (1．第1實施方式)
1．1表面處理裝置300的結構
首先，使用圖1和圖2，對本發明的表面處理裝置300的結構進行說明。另外，圖1是從上方觀察表面處理裝置300的配置圖。圖2是從α方向觀察圖1所示的表面處理裝置300的側視圖。另外，在圖1中，省略了圖2所示的搬運用掛鉤16和搬運機構18。
如圖1所示，在表面處理裝置300中，沿作為被處理物的板狀工件10(圖2)的搬運方向X依次設置有裝載部302、第1水洗槽304、去汙槽306、第2水洗槽308、前處理槽310、第3水洗槽312、無電解鍍銅槽200、水洗槽314、卸載 部316，按照該順序進行無電解鍍銅所需要的各工序。在各槽中，形成圖2所示的搬運用掛鉤16的通路的缺口8(圖1)設置為沿鉛垂方向延伸。另外，後面對各工序的詳細情況進行敘述。
表面處理裝置300還具有：搬運用掛鉤16，其通過夾具15(圖2)進行把持，沿水平方向搬運被沿鉛垂方向保持的板狀工件10；以及搬運機構18，其將搬運用掛鉤16向各槽內搬運。另外，圖2示出板狀工件10通過裝載部302而被安裝於搬運用掛鉤16的狀態。
在通過裝載部302而安裝好板狀工件10之後，搬運機構18開始向水平方向X的移動，由此，板狀工件10經過各槽內(無電解鍍銅槽200等)。之後，搬運機構18最終在卸載部316停止，將實施電鍍處理後的板狀工件10從搬運用掛鉤16卸下。
圖3是構成表面處理裝置300的一部分的無電解鍍銅槽200(圖1)的β-β剖視圖。圖4是示出從上方觀察圖3所示的無電解鍍銅槽200的狀態的圖。另外，在圖4中，省略搬運用掛鉤16和搬運機構18。
圖3所示的無電解鍍銅槽200具有：槽體2，其載置於框架56之上；以及循環泵50，其向液體噴出部4提供貯留於槽體2內的底部的處理液Q(無電解鍍銅液)，並使該處理液Q循環。
為了處理板狀工件10，在無電解鍍銅槽200等各槽的內部設置有具有噴出口6的液體噴出部4。如圖3所示，從液體噴出部4的噴出口6朝向板狀工件10使處理液Q相對于水平面向斜上方噴出。由此，在槽體2的內部，處理液Q(無電解鍍銅液)與被搬運用掛鉤16把持的板狀工件10的上部碰撞。其結果為，當處理液Q在板狀工件10上擴展而移動的期間，能夠使處理液Q附著於板狀工件10的表面。另外，在下文對液體噴出部4的詳細的構造進行敘述。
這樣，板狀工件10未浸漬於貯留的處理液Q之中，採用了使循環的處理液Q在板狀工件10上擴展的方式，從而相比於浸漬式的結構，能夠減少表 面處理裝置300整體所使用的處理液Q的總量。
搬運機構18由圖3所示的導軌12、14、支承部件20以及搬運輥子22、24構成。在支承部件20的底部安裝有用於使搬運機構18在導軌12、14上移動的搬運輥子22、24。搬運輥子22、24被電動機(未圖示)驅動。另外，導軌12、14分別固定於框架52、54上。由於以此方式沿水平方向搬運，因此不需要板狀工件的升降動作，能夠使裝置的高度較低，因此實現省空間化。
如圖3所示，搬運用掛鉤16固定於以橫跨架設的方式安裝在2條導軌12、14上的支承部件20的下方。由此，能夠減小板狀工件10的振動，並減小支承搬運機構18的構造體(導軌12、14、框架52、54等)的形變。
另外，在圖4所示的導軌12、14上的規定位置埋入有多個磁鐵21。搬運機構18具有用於對導軌12、14上的磁鐵21進行檢測的磁感測器19。磁感測器19設置于支承部件20的下方(導軌14側的1個部位)。
由此，能夠使在無電解鍍銅槽200內移動的搬運用掛鉤16停止於規定位置(例如，圖4所示的無電解鍍銅槽200的中央位置)。
如圖3所示，設置於各槽的循環泵50與槽體2的底部連接，槽體2與液體噴出部4經由循環泵50連通(由虛線箭頭示出)。由此，貯留於槽體2的底部的處理液Q通過循環泵50而再次向液體噴出部4供給。
槽體2由側壁2a、2b和底部2c構成，該側壁2a、2b和該底部2c是通過對PVC(聚氯乙烯)等材料進行加工、黏接等而進行組裝，成型為一體的部件的。在槽體2中，下方的底部2c接受與板狀工件10碰撞後的處理液。另外，在槽體2中，圖1所示的無電解鍍銅槽200以外的各槽也使用相同形狀的構造。即，各槽的構造相同，只是各槽所使用的處理液(鍍液、去汙液、清洗水等)的種類不同。
另外，在圖3所示的槽體2的側壁2b上成型有沿鉛垂方向延伸的缺口，即縫隙8。由此，在對搬運用掛鉤16進行搬運時，能夠使板狀工件10通過縫隙8。另外，如果使縫隙8的下端8a過低，可能會使儲存於槽體2的處理液Q溢出 而向外部流出。
因此，需要將處理液Q的提供量調整為，使貯留於槽體2的處理液Q的液面H(圖3)總是位於比縫隙8的下端8a靠下的位置。在該實施方式中，以使貯留於槽體2的處理液Q的液面H(圖3)位於比縫隙8的下端8a靠下的位置的方式，決定使用的處理液Q的總量，並且經由循環泵50使槽體2與液體噴出部4連通。
〔液體噴出部4的構造〕
在圖5中示出液體噴出部4的構造。圖5是圖3所示的液體噴出部4的放大圖。
如圖5所示，液體噴出部4被2個U字型的緊固件F2緊固安裝在基座F1上，該基座F1是將方管件固定設置於側壁2a上而得到的。另外，在該實施方式中，對液體噴出部4以能夠手動進行旋轉的適當的強度進行緊固。
如圖4所示，液體噴出部4由在內部具有空間的作為管部件的圓管構成，其長度方向的兩端被密閉。另外，通過隔著規定間隔沿長度方向配置的多個孔構成噴出口6。另外，在液體噴出部4上連結有貫通槽體的側壁2a而連通的撓性管T1和配管T2。配管T2與泵50的排出口相連。由此，能夠使從泵50接受的處理液Q從噴出口6噴出。
如圖6的A所示，噴出口6的噴出角度θ相對於水平面L朝向斜上方向(例如，5°~85°的範圍)設置。因此，從噴出口6噴出的處理液Q的液流沿拋物線移動。頂點Z的位置由處理液Q的噴出流速V和噴出角度θ決定。另外，處理液Q的噴出流速V取決於來自泵50的壓力和噴出口6的大小。
在該實施方式中，將噴出角度θ設計為，在將液體噴出部4(半徑r)配置於距板狀工件10為規定距離D的位置的條件下，以噴出流速V噴出的處理液Q在拋物線的頂點Z與板狀工件10碰撞。在圖6的B所示的拋物線的頂點Z的位置，沒有處理液Q的鉛垂方向的速度成分Vy，僅留下噴出時的水平方向的速度成分Vx，因此能夠減少氣泡的產生。
此外，由於液流與板狀工件10的表面垂直地碰撞，因此與板狀工件10碰撞的處理液Q在表面上呈同心圓狀均勻擴展。另外，也可以在頂點附近碰撞，即在頂點的前方或後方的規定距離的位置碰撞。
在不使處理液Q相對于水平面L向斜上方向噴出，而向水平方向或水平方的下方噴出的情況下，處理液Q的鉛垂方向的速度成分Vy持續增加，在合成速度V中該沿垂直方向的速度成分Vy也相應增加。其結果為，與板狀工件10碰撞的處理液Q會向y方向飛散而容易產生氣泡。
像以上那樣，通過相對於水平面L朝向斜上方向噴出處理液，抑制在與工件碰撞時發生的泡沫的產生，從而能夠防止處理液Q中的溶解氧量的增加。
此外，如圖7所示，也可以為，以覆蓋噴出口6的方式，將用於改變噴出的處理液Q的流動朝向的變流部件40安裝於液體噴出部4的外周。另外，將變流部件40與噴出口6隔開間隔設置。
圖7是示出被變流部件40改變噴出的處理液Q的朝向的狀態的放大圖，圖8的A是噴出的處理液Q(與變流部件40碰撞前)的γ 1剖視圖，圖8的B是與變流部件40碰撞後的處理液Q的γ 2剖視圖。
如果使用變流部件40，則從各噴出口6噴出的液流(圖8的A所示的截面積)與變流板碰撞，截面積變大(圖8的B)。因此，在與板狀工件10碰撞時，來自相鄰的各噴出口6的液流連結(圖8的B)，從而能夠實現與板狀工件10的表面碰撞的處理液Q的均勻化。
即，理想情況下，能夠像從縫隙(長孔)噴出的液流那樣實現均勻化。另外，為了形成與從縫隙(長孔)噴出的液流相同的拋物線，需要使縫隙的寬度較細(為了在噴出時得到相同的流速，需要使縫隙的面積與孔的總面積相同)，因此有容易發生雜質堵塞的缺點。因此，使用孔來實現與縫隙相同的效果。
1．2表面處理裝置300的各工序的內容
使用圖9等，對在表面處理裝置300中進行的各工序的內容進行說 明。另外，在該實施方式中，通過各槽的循環泵50使在表面處理裝置300的各槽內所使用的處理液Q一直進行循環。
圖9是示出對搬運機構18的動作進行控制的控制部的連接關係的圖。如圖9所示，磁感測器19(圖4)與PLC 30連接，其檢測到達配置在檢測導軌14上的磁鐵的上部的情況。將磁感測器19所檢測的信號提供給PLC 30。接收到信號的PLC 30使電動機28打開/關閉，對搬運輥子22、24的動作(前進、後退、停止等)進行控制。
首先，在圖1所示的裝載部302中，通過作業人員或安裝裝置(未圖示)將作為鍍膜處理對象的板狀工件10安裝於搬運用掛鉤16(圖2所示的狀態)。
然後，在作業人員按下搬運開關(未圖示)時，搬運用掛鉤16沿導軌12、14在第1水洗槽304內移動。即，PLC 30使電動機28打開，對搬運輥子22、24進行前進驅動。
接下來，在第1水洗槽304中，通過使水與與板狀工件10的正反兩面碰撞來進行水洗處理。搬運用掛鉤16在第1水洗槽304中停止規定時間，然後向去汙槽306內移動。
例如，在PLC 30從磁感測器19接收表示已到達第1水洗槽304的中央的信號之後，使電動機28停止1分鐘。然後，使電動機28打開，對搬運輥子22、24進行前進驅動。另外，在第2水洗槽308、第3水洗槽312、第4水洗槽314中也進行同樣的控制。
在去汙槽306中，搬運用掛鉤16停止規定時間(例如，5分鐘)，使去汙處理液(溶脹液、樹脂蝕刻液、中和液等)從正反兩面與板狀工件10碰撞。這裡，去汙處理是去除在板狀工件10開孔等時留下的加工時的汙跡(樹脂)的處理。
例如，PLC 30在從磁感測器19接收到表示已到達去汙槽306的中央的信號之後，使電動機28停止5分鐘。然後，使電動機28打開，對搬運輥子22、24進行前進驅動。在以下的前處理槽310中也進行同樣的控制。
接下來，在第2水洗槽308中，通過使水從正反兩面與板狀工件10碰撞來進行水洗處理。搬運用掛鉤16在第2水洗槽308中停止規定時間(例如，1分鐘)，然後，向前處理槽310內移動。
在前處理槽310中，搬運用掛鉤16停止規定時間(例如，5分鐘)，並使前處理液從正反兩面與板狀工件10碰撞。
接下來，在第3水洗槽312中，通過使水從正反兩面與板狀工件10碰撞來進行水洗處理。搬運用掛鉤16在第3水洗槽312中停止規定時間(例如，1分鐘)。
然後，在移動至無電解鍍銅槽200(圖3、圖4)內之前，進行規定次數的以下所示的往復移動。這是因為，當在板狀工件10進行通孔等孔的開設情況下，在該孔中存有空氣(氣泡)而有可能使使處理液Q無法附著在板狀工件10上，因此在進行無電解鍍銅處理之前，需要切實地去除空氣(氣泡)。在圖10中示出第3水洗槽312與無電解鍍銅槽200(圖1)之間的導軌14的剖視圖。如圖10和圖1所示，在導軌14上設置有1個作為衝擊產生部的凸部26。能夠利用搬運輥子24越過該凸部26時產生的衝擊來去除處理液Q的水分。
例如，PLC 30在從磁感測器19接收到表示圖10所示的磁鐵21到達中央(即，搬運輥子24越過凸部26)的情況的信號之後，對電動機28進行控制以使得驅動搬運輥子22、24後退規定距離(圖10所示的Y1方向)。然後，對搬運輥子22、24進行前進驅動直至再次檢測到磁鐵21(圖10所示的Y2方向)。在重複進行規定次數(例如，3次往復)的上述前後移動之後，停止於無電解鍍銅槽200內的中央位置(圖4)。在無電解鍍銅槽200中，搬運用掛鉤16停止規定時間，使無電解鍍銅液從正反兩面與板狀工件10碰撞。
例如，PLC 30在從磁感測器19接收到表示已到達無電解鍍銅槽200的中央的信號之後，使電動機28停止5分鐘。之後，使電動機28打開，對搬運輥子22、24進行前進驅動。
接下來，在第4水洗槽314中，通過使水從正反兩面與板狀工件10碰撞來進行水洗處理。搬運用掛鉤16在第4水洗槽314中停止規定時間(例如，1分鐘)，然後，向卸載部316移動。
最後，使移動至卸載部316的搬運用掛鉤16停止。例如，PLC 30在從磁感測器19接收到表示已到達卸載部316的信號之後，使電動機28停止。然後，由作業人員等將板狀工件10從搬運用掛鉤拆下。由此，結束無電解鍍膜處理的一系列工序。
另外，在上述實施方式中，表面處理裝置300採用了具有多個槽(圖1所示的第1水洗槽304、去汙槽306、前處理槽310、無電解鍍銅槽200等)的結構，但表面處理裝置300也可以採用具有這些槽中的至少1個槽的結構。
另外，在上述實施方式中，通過表面處理裝置300對板狀工件10進行了無電解鍍銅，但也可以對板狀工件10進行其他的無電解鍍膜(例如，無電解鍍鎳、無電解鍍錫、無電解鍍金等)。
另外，不限定搬運機構18的結構。
1．3蜂巢部件
使用圖11，對設置於搬運用掛鉤16的鉛錘下方的蜂巢部件60進行說明。蜂巢部件60通過連結多個空出有六邊形的孔的筒狀部件而成。處理液的液滴沿鉛垂方向(箭頭α方向)落下，因此液滴通過貫通孔61(參照圖12的A)。如圖12的B所示，通過貫通孔61後的液滴與液面H碰撞，因此液滴的形狀被破壞，一部分被反彈。此時，反彈的液滴的一部分沿傾斜方向反彈，因此與筒狀部件的內壁碰撞。由此，減少了向貫通孔61上面噴出的液滴的量。利用該內壁的反彈，蜂巢部件60實現飛散防止功能。
使用圖13對蜂巢部件60的飛散防止效果的確認實驗進行說明。如圖13的A所示，在第1室74與第2室75之間設置具有開口部72的側壁71。在第1室74中，在距側壁71為距離M的位置，從高度750mm以0.3L/min/N朝向第1室74的 底板供給水。
與第2室75的側壁71相鄰而設置托板76，收集從第1室74向第2室75飛濺的水，並測量水量。在本實施方式中，托板76的長度D為180mm，寬度W為125mm，高度H為60mm。
在圖14中示出各種變更實驗條件後的情況下的測量結果。在實驗1~3中，像圖13A那樣在底面沒有設置任何部件。在該情況下，如果使距離M=180mm，並使開口部72的下端的高度變為L1=60mm、160mm、260mm，高度越高，飛濺量減少，飛濺量分別變為330mL/30分鐘、36mL/30分鐘、7mL/30分鐘左右。
另外，相比於實驗1，實驗4、5是從距離M=100mm，並靠近側壁71的位置提供水的情況。在該情況下，在L1=60mm、160mm時，飛濺量分別為330mL/30分鐘、32mL/30分鐘。
根據實驗1~5可知，雖然距側壁71的距離稍許不同，飛濺量不變，但如果使間隔件高度L1較高，則飛濺量減少。
如圖13B所示，實驗6是在第1室74的底面水被貯留至20mm的高度的情況，其他與實驗1相同。在該情況下，飛濺量為100mL/30分鐘。這樣，通過設置水面，即使不使間隔高度L1變高，飛濺量也會減少為1/3以下。如圖12的B所示，這考慮因為是被水面反彈。
如圖13C所示，實驗7、8是以上表面的高度與開口部72的高度L1相等的方式設置蜂巢部件HC1的情況。在本實施方式之中，作為蜂巢HC 1，採用L：530mm(間距P：23mm)、W：350mm(單元尺寸CL：12mm)x高度H：55mm x厚度t：0.2mm(參照圖11)的蜂巢部件。根據實：yrbr驗7、8可知，在間隔件高度L1：60mm時，距離M：180mm、100mm均會使飛濺量為15mL/30分，減少至實驗1的約1/20以下。
在實驗7、8中，液滴被底面反彈。在該情況下，如圖12C所示， 與被水面反彈的情況相同，被第1室74的底面反彈的液滴被破壞且該液滴的一部分被反彈。在該情況下，被反彈的液滴的一部分被蜂巢部件60的內壁擋住。
實驗9是設置了蜂巢部件HC2的情況。蜂巢HC2為，L：530mm(間距P：5.4mm)、W：350mm(單元尺寸CL：3.3mm)、高度H55mm、厚度t：0.1mm。即，是貫通孔61的大小比實驗7、8小的情況。即使像這樣使貫通孔61較小，相比於實驗1，飛濺量也減少為約1/4以下。根據發明者的理解，實驗9的飛濺量較多是因為，相比於蜂巢部件HC1，蜂巢部件HC2的厚度t的面積與貫通孔61的露出面的面積相比是增加的，因此水滴沒有進入貫通孔61而被上表面反彈。
通過設置上述的蜂巢部件60，能夠提供即使高度降低至側壁2b的開口部為止，反彈也較少的表面處理裝置。由此，即使是整體被小型化的表面處理裝置，也能夠減少液體向相鄰的處理室的混入。
1．4關於變形例
在上述實施方式中，採用蜂巢構造的蜂巢部件60來作為反彈阻止部，但不限定於此，也可以採用像蜂巢部件60那樣通過配置除多個6邊形以外的多邊或圓形的筒狀部件而成的蜂巢類似構造，即，可以採用以使開口部朝向鉛垂方向的方式配置多個縱長的單獨筒狀部件而得到的形狀。這是因為，如果採用該構造，從單獨筒狀部件的上表面進入的液滴穿過貫通孔而被底面等反彈而再一次從單獨筒狀部件的下表面進入單獨筒狀部件的液滴會被單獨筒狀部件的內表面反彈，從而能夠阻止液滴從單獨筒狀部件的上表面飛出。
在實施方式中，如圖3所示，對使處理液Q從液體噴出部4向板狀工件10直接噴出的表面處理裝置進行了說明，但也可以採用使處理液Q向板狀工件10間接噴出的表面處理裝置。即，只要是以下那樣的的表面處理裝置，則能夠應用本發明。
提供表面處理裝置，其具有：搬運用掛鉤，其對被處理物進行搬運； 槽體，其用於在內部使處理液附著於被前述搬運用掛鉤搬運的前述被處理物；以及搬運機構，其將前述搬運用掛鉤搬運到前述槽體內，其中，前述槽體具有：液體接受部，其用於接受與前述被處理物碰撞後的處理液；液體滯留部，其設置於比前述液體接受部靠上方的位置，使用來與前述被處理物碰撞的前述處理液滯留；以及液體流出部，其是用於使從前述液體滯留部溢出並流下的前述處理液朝向被處理物流出的液體流出部，構成為末端從前述液體滯留部或與前述液體接受部連結的連結部突出。
另外，在本實施方式中，在各處理室中不同的處理液與被處理物碰撞。例如，在第1處理液是鍍液的情況下，如果該鍍液與相鄰的作為第2處理液的水混合，則在第2處理室中沒有特別的問題，但鍍液相應地減少了混入第2處理室的量。反之，在第1處理液是水的情況下，如果該水混入相鄰的作為第2處理液的鍍液，則在第2處理室的鍍液中混合有水。混合有水的鍍液被抽出來再次向被處理物吹附，因此鍍液的功能相應的降低。
這樣，在第1處理液混入有第2處理液側的情況下和在第2處理液混入第1處理液側的情況下，都會出現問題。
另外，在本實施方式中，在板狀工件10的下部設置處理液Q的液槽，但對此可以採用任意方式。
2．(第2實施方式)
在圖15中示出第2實施方式。在上述實施方式中，通過設置阻止在底面被反彈的液滴向相鄰的處理室飛濺的反彈阻止部，來防止向相鄰的處理室的混入，但也可以設置像圖15所示那樣的反彈方向變換部79，以使得液滴即使 彈起，也向遠離側壁2b的開口部的方向反彈。通過像這樣對液滴的反彈方向進行控制，能夠減少向相鄰的處理室的反彈量。該反彈方向變換部在圖15中採用了隨著靠近搬入開口部8而鉛垂方向的高度變高的曲線形狀，但也可以採用直線形狀。即，只要是隨著靠近搬入開口部8而沿鉛垂方向變高的形狀即可，可以採用任意結構。
3．(第3實施方式)
在圖16中示出第3實施方式。在該實施方式中，設置有流量控制機構，該流量控制機構通過使處理室內的空氣從上向下流動，來減少在蜂巢部件60的表面反彈的液滴的反彈量。流量控制機構通過像後述那樣向下方吸引空氣和液體，來減少飛濺量。
在本實施方式中，作為流量控制機構，在蜂巢部件60的下部設置圖16所示那樣的形狀的託盤80，來對氣流進行控制。圖17是從圖16的箭頭α方向觀察的圖。另外，在圖17中，為了便於理解，圖示了沒有框架54的結構。如圖17所示，在板狀工件10的下部並且在縫隙8的附近，在兩個部位設置託盤80。這是為了減少在縫隙8的附近向相鄰的處理室的飛濺。
使用圖18對託盤80的形狀進行說明。在圖18中，為了便於說明，針對蜂巢部件60，以虛線示出相對位置。在框82的端部連續形成有平面82a。從平面82a的內端部沿x方向形成有斜面84。從斜面84的端部沿y方向形成有斜面85。另外，在縱管狀部件81的上表面鑲嵌有一對蓋81b，該一對蓋81B形成溝槽81a。
在本實施方式中，溝槽81a的寬度d1為約2mm。對於該寬度的確定，只要使縱管狀部件81每單位時間能吸入的允許量(由內徑決定)比託盤80每單位時間收集的液體的量多即可。但是，如果使距離d1過大，則在吸引空氣的流量(流量(Q)=開口面積(A)＊流速(V))恆定的狀態下，流速會降低，因此優選為5mm以下。
在圖19中示出從圖16箭頭δ 1方向觀察的箭頭方向視圖。託盤80配置為，在像這樣從上方觀察時，斜面84位於板狀工件10的兩側，由2個斜面84 的下端部形成的溝槽的方向與板狀工件10平行。
在斜面85的端部連結有縱管狀部件81。如圖16所示，連接成橫管狀部件88與縱管狀部件81的中途連通。
由此，穿過蜂巢部件60的貫通孔61後的液體經由斜面84、85，而彙集于縱管狀部件81。另外，在本實施方式中，利用設置于管93的末端的泵92，將空間94抽吸為負壓狀態。
在處理室的上部設置有空氣吸入口95。因此通過上述抽吸而從空氣吸入口95吸入的空氣從蜂巢部件60的貫通孔61經由斜面84、85而向縱管狀部件81、橫管狀部件88流動。並且，與收集到的液體一同從橫管狀部件88向空間94排出。
另外，如圖19所示，託盤80配置為，斜面84位於板狀工件10的兩側，由2個斜面84的下端部形成的溝槽的方向與板狀工件10平行。因此，在前述泵92進行抽吸時，產生像圖16那樣的箭頭δ 2方向的氣流。這樣，通過在板狀工件10的下部產生箭頭δ 2方向的氣流，會取得使厚度較薄的板狀工件10的姿態穩定的效果。
在本實施方式中，在蜂巢部件60的下部設置託盤80，但也可以是蜂巢部件60以外的部件。另外，也可以不設置蜂巢部件60而設置託盤80。在該情況下，通過前述吸入的氣流也能夠防止液滴的反彈。
另外，也可以採用託盤80以外的形狀來作為流量控制機構。即，只要是能夠通過使處理室內的空氣從上向下流動來減少在蜂巢部件60的表面跳起的液滴的反彈量的流量控制機構即可，可以採用任意結構。
在本實施方式中，利用泵92的抽吸，使處理室內的控制風速為0.2m/s~0.5m/s。通過採用這種程度的風速，能夠使板狀工件10的姿態穩定，並且能夠減少蜂巢部件60的表面的反彈。
在本實施方式中，蜂巢部件60的下部的託盤80的形狀傾斜。因此，穿過蜂巢部件60後的液滴傾斜著反彈，因此防止了反彈後的液滴穿過貫通孔61。
在本實施方式中，由一對蓋81b形成溝槽81a，但也可以採用一部分形成為溝槽81a的形狀的管等其他的方式。
在圖20的A中示出設置有吸入空氣的引導部120的實施方式。圖20的B、C分別示出圖20的A的A-A線剖視圖、B-B線剖視圖。引導部120由蓋121a、121b構成。圖20D示出蓋121a的立體圖。
蓋121a具有側面122、斜面部123以及半圓部125。在側面122上設置有多個貫通孔122a。蓋121b和蓋121a呈對稱形狀。
如果使蓋121a、121b位於託盤80，則斜面84、85與斜面部123被貼合保持，縱管狀部件81的一部分被半圓部125封閉。另外，將蜂巢部件60分為2個，從該蜂巢部件60之間到縱管部件81上形成隔有側面122的距離為d1的間隙。由此，能夠使吸入口靠近板狀工件10，因此能夠提高抽吸力。另外，能夠使吸入口較窄，因此能夠提高板狀工件10下部的空氣的流速。由此，能夠減小液滴的反彈。
另外，能夠通過設置貫通孔122a來解決因蓋121a、121b使液滴在託盤80內積存的問題。貫通孔122a的位置和個數只要根據積存於託盤80的液體的量來設計即可。
在圖20中，採用了具有側面122的蓋121a、121b，但如果另行設置進行保持的機構，斜面部123也不是必須的。此外，也可以沒有側面122。在該情況下，利用僅由半圓部125構成的蓋能夠使吸入口變窄，因此能夠提高板狀工件10下部的空氣的流速。
另外，還考慮因板狀工件10的形狀導致該板狀工件10與託盤80的距離變動的情況。在該情況下，如圖20B所示，只要將託盤80構成為沿高度方向滑動自如即可。對於該高度調整，可以在託盤80的下部設置具有與縱管部件81的內徑大致相同的外徑的管部83，也可以設置成波紋構造。作為將託盤80的高度保持為滑動自如的機構，只要採用公知的機構即可。
另外，處理室內的控制風速不限定於上述範圍。
另外，上述空氣吸入口95和泵92只要設置於各處理室即可。
由此，在處理室內幾乎沒有向圖17箭頭R方向的氣流(向開口部8方向的氣流)，從而氣流幾乎沿鉛垂方向，因此會使板狀工件10的姿態穩定。
另外，框架52的下端面位於比處理液Q靠下側的位置。因此，空氣向空間94的流通是經由縱管狀部件81和橫管狀部件88進行的。
在本實施方式中，對處理液Q的情況進行了說明，進行水洗的水洗槽(參照圖1)也能夠採用同樣的結構。
另外，託盤80的形狀不限定於上述情況。
在本實施方式中，為了減少反彈，採用流量控制機構，但也可以僅為了使姿態穩定而採用流量控制機構。
在該情況下，能夠將實施方式3的裝置作為具有像以下那樣的發明思想的裝置來把握。
表面處理裝置的特徵在於，該表面處理裝置具有：第1處理室，其供片狀的被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入；第1處理液澆流機構，其設置於前述第1處理室，使第1處理液從前述搬入的被處理物的上部向沿前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流；第2處理室，其與前述第1處理室相鄰，供前述被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入；第2處理液澆流機構，其設置於前述第2處理室，使第2處理液從前述搬入的被處理物的上部向沿著前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流；區分壁，其是設置於前述第1處理室與前述第2處理室之間的區分壁，具有使前述被處理物能夠以被沿鉛垂方向保持的狀態搬入的搬入開口部；以及混入減少機構，其在前述第1的處理室或前述第2處理室內設置於前述區分壁附近，減少從前述被處理物的下部落下的處理液在著地面被反彈，且前述反彈的處理液從前述搬入開口部混入相鄰的處理室內的情況， 前述混入減少機構具有空氣流量控制機構，該空氣流量控制機構將將空氣控制為沿著前述片狀的被處理物的2個平面在鉛垂方向上流動。
在該發明中，像圖20那樣，通過設置引導部120，使空氣的流速變快，因此還會實現使板狀工件10穩定的效果。
以上，將本發明作為優選的實施方式進行了說明，但其不對本發明進行限定，僅用於進行說明，只要不脫離本發明的範圍和主旨，則能夠在附加的權利要求的範圍內進行變更。
60:蜂巢部件
61:貫通孔
CL:單元尺寸
H:液面，高度
L:水平面
P:間距
t:厚度
W:寬度

Claims (11)

  1. 一種表面處理裝置，其特徵在於具有：處理室，其供被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入；處理液澆流機構，其設置於前述處理室，使處理液從搬入的前述被處理物的上部向沿前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流；區分壁，其是設置於前述處理室的區分壁，具有能夠使前述被處理物以沿鉛垂方向保持的狀態搬入的搬入開口部；以及混入減少機構，其在前述處理室中設置於前述區分壁附近，減少從前述被處理物的下部落下的處理液在著地面或著水面被反彈而從前述搬入開口部向處理室的外部反彈的處理液的混入，前述混入減少機構是將多個縱長的單獨筒狀部件以開口部朝向鉛垂方向的方式配置而成的形狀。
  2. 如請求項1之表面處理裝置，其中，前述處理室是第1處理室，前述處理液澆流機構是第1處理液澆流機構，該表面處理裝置還具有：第2處理室，其與前述第1處理室相鄰，供前述被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入；以及第2處理液澆流機構，其設置於前述第2處理室，使第2處理液從被搬入的前述被處理物的上部向沿前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流，前述區分壁設置於前述第1處理室與前述第2處理室之間，前述混入減少機構在前述第1處理室或前述第2處理室中設置於前述區分壁附近。
  3. 如請求項2之表面處理裝置，其中， 由多個縱長的前述單獨筒狀部件配置而成的形狀是近似蜂巢形狀。
  4. 如請求項3之表面處理裝置，其中，前述近似蜂巢形狀是蜂巢形狀。
  5. 如請求項2之表面處理裝置，其中，該表面處理裝置還具有第1處理液回收機構，該第1處理液回收機構回收從前述被處理物的下部落下的第1處理液，並將該第1處理液供給到前述第1處理液澆流機構，或者該表面處理裝置還具有第2處理液回收機構，該第2處理液回收機構回收從前述被處理物的下部落下的第2處理液，並將該第2處理液供給到前述第2處理液澆流機構。
  6. 如請求項2之表面處理裝置，其中，該表面處理裝置在前述第1處理室內的前述被處理物的下方具有第1處理液貯留部，該第1處理液貯留部貯留從前述被處理物的下部落下的第1處理液，在該第1處理液貯留部中，液面是露出的，在前述液面與前述混入減少機構的下表面之間設置有間隙。
  7. 如請求項6之表面處理裝置，其中，前述第1處理液澆流機構抽吸貯留於前述第1處理液貯留部的第1處理液，並用前述第1處理液進行澆流。
  8. 如請求項7之表面處理裝置，其中，該表面處理裝置還具有空氣流量控制機構，該空氣流量控制機構對空氣的流動進行控制使得在著地面或著水面被反彈的處理液沿前述鉛垂方向返回。
  9. 如請求項8之表面處理裝置，其中，前述被處理物呈片狀，前述空氣流量控制機構朝向片狀的前述被處理物具有沿著搬入方向的橫長 的開口，從前述開口吸引空氣。
  10. 如請求項9之表面處理裝置，其中，前述空氣流量控制機構具有沿著片狀的前述被處理物的2個平面而在前述片狀的被處理物的下部附近設置的縫隙狀的引導部。
  11. 一種表面處理方法，其是當將被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入第1處理室時，使第1處理液從搬入的被處理物的上部向沿前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流，在被前述第1處理液澆流後的被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入到與前述第1處理室相鄰的第2處理室中時，使第2處理液從搬入的被處理物的上部向沿前述鉛垂方向被保持的被處理物的表面區域澆流，前述表面處理方法之特徵在於：於前述第1處理室與前述第2處理室之間設置有能夠使前述被處理物以沿鉛垂方向被保持的狀態搬入的搬入開口部，在前述搬入開口部附近，為了減少從前述被處理物的下部落下的處理液在著地面或著水面被反彈而被反彈的前述處理液從前述搬入開口部混入相鄰的處理室內的情況，將多個縱長的單獨筒狀部件以開口部朝向鉛垂方向的方式配置。
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