KR20200087068A - 표면 처리 장치 및 그 방법 - Google Patents

Abstract

푸어링식의 표면 처리 장치에 있어서의 처리액(Q)의 비산량을 감소시킨다.
반송용 행거(16)의 연직 하방에는 허니콤 부재(60)가 설치되어 있다. 허니콤 부재(60)는 육각형의 구멍이 빈 통 형상 부재가 복수 연결되어 있다. 연직 방향(화살표 α방향)으로 처리액(Q)이 떨어지면, 이러한 처리액(Q)은 허니콤 부재의 관통구멍을 통과한다. 그리고 액면(H)에 부딪치면 그 일부가 반사된다. 반사된 처리액(Q)의 일부는 경사 방향으로 반사되므로, 허니콤 부재(60)의 관통구멍의 내벽에 충돌한다. 이것에 의해 관통구멍보다 상면에 다시 출현하는 처리액(Q)의 양이 감소한다. 이것에 의해 허니콤 부재(60)는 비산 방지 기능을 달성한다.

Description

표면 처리 장치 및 그 방법{SURFACE TREATMENT DEVICE AND METHOD THEREOF}

본 발명은 푸어링식(pouring type)의 표면 처리 장치에 관한 것으로서, 특히 인접하는 처리실로의 액의 튀어오름 방지에 관한 것이다.

특허문헌 1의 도 10에는, 워크의 하부에 비산 방지재를 설치한 푸어링식의 표면 처리 장치가 개시되어 있다.

일본 특허공개 2014-88600호 공보

특허문헌 1의 비산 방지재로서는, 스펀지, 필터, 섬유상 소재(도요 쿠션사제의 화섬 록(상표))가 개시되어 있지만(특허문헌 1의 단락 0085), 이것으로는 충분한 비산 방지 효과를 이룰 수 없다. 이것은, 모두 상기 비산 방지재의 표면에 닿은 물방울이 그대로 반사되기 때문이다. 이러한 반사가 생기면, 인접하는 처리실로 액이 혼재할 우려가 있다.

이러한 문제를 해결하기 위해서, 처리실간의 거리를 크게 하거나, 처리실의 사이에 설치하는 칸막이의 하면을, 물방울의 반사면보다 상당히 높게 하는 것도 고려되지만, 그 결과, 장치 전체가 대형화한다.

본 발명은 상기 문제를 해결하여, 인접하는 처리실로 액이 혼재하지 않고, 또한, 소형화가 가능한 푸어링식의 표면 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

1) 본 발명에 따른 표면 처리 장치는, 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제1의 처리실, 상기 제1의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제1의 처리액을 푸어링하는 제1의 처리액 푸어링 기구, 상기 제1의 처리실에 인접하고, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제2의 처리실, 상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제2의 처리액을 푸어링하는 제2의 처리액 푸어링 기구, 상기 제1의 처리실과 상기 제2의 처리실 사이에 설치된 구분벽으로서, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입 가능하게 하는 반입 가능 개구부를 갖는 구분벽, 상기 구분벽 근방의 상기 제1의 처리실 또는 상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 처리액이 착지면에서 튀어서 상기 반입 가능 개구부로부터 인접하는 처리실 내로 튄 처리액의 혼입을 감소시키는 혼입 감소 기구를 구비하고, 상기 혼입 감소 기구는 개구부가 연직 방향을 향하도록 종장의 개별 통 형상 부재가 복수 배치된 형상이다.

상기 개구부가 통과한 처리액이 착지면에서 반사되면, 종장의 개별 통 형상 부재의 내벽에서 상기 처리액이 충돌하여 상기 착지면의 쪽으로 낙하한다. 이것에 의해, 인접하는 처리실에 액이 혼재하지 않고, 또한, 소형화가 가능한 푸어링식의 표면 처리 장치를 제공할 수 있다.

2) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 종장의 개별 통 형상 부재가 복수 배치된 형상은 허니콤 유사 형상이다. 따라서, 상기 허니콤 유사 형상의 종장의 개별 통 형상 부재의 내벽에서 상기 처리액이 충돌하여 상기 착지면의 쪽으로 낙하한다.

3) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 허니콤 유사 형상은 허니콤 형상이다. 따라서, 상기 허니콤 형상의 종장의 개별 통 형상 부재의 내벽에서 상기 처리액이 충돌하여 상기 착지면의 쪽으로 낙하한다.

4) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 또한, 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 제1의 처리액을 회수하여 상기 제1의 처리액 푸어링 기구에 주는 제1의 처리액 회수 기구, 또는, 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 제2의 처리액을 회수하여 상기 제2의 처리액 푸어링 기구에 주는 제2의 처리액 회수 기구를 갖는다. 따라서, 회수해서 사용되는 처리액에 다른 처리액이 혼재하는 것을 줄일 수 있다.

5) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 제1의 처리실 내의 상기 피처리물의 하방에는 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 제1의 처리액을 모으는, 액 표면이 노출된 제1의 처리액 저장부를 갖고 있고, 상기 액 표면과 상기 혼입 감소 기구의 하면 사이에는 간극이 형성되어 있다. 상기 제1의 처리액의 표면으로부터의 비산량을 감소시킬 수 있다.

6) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 제1처리액 푸어링 기구는 상기 제1의 처리액 저장부에 고인 제1의 처리액을 퍼올려서 상기 제1의 처리액을 상기 피처리물에 푸어링한다. 따라서, 회수해서 사용되는 제1의 처리액에 상기 제2의 처리액이 혼재하는 것을 줄일 수 있다.

7) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 또한, 상기 착지면에서 튀는 처리액을 연직 방향으로 되돌리도록 공기의 흐름을 제어하는 공기 유량 제어 기구를 갖는다. 이것에 의해, 상기 착면으로부터의 리바운드를 감소시킬 수 있다.

8) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 피처리물은 시트 형상이며, 상기 공기 유량 제어 기구는 상기 시트 형상의 피처리물을 향해서 상기 반입되는 방향으로 횡장의 개구를 갖고 있고, 상기 개구로부터 공기가 흡인된다. 따라서, 공기의 흐름에 의해 상기 착지면으로부터의 리바운드를 감소시킬 수 있다.

9) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 시트 형상의 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제1의 처리실, 상기 제1의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제1의 처리액을 푸어링하는 제1의 처리액 푸어링 기구, 상기 제1의 처리실에 인접하고, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제2의 처리실, 상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제2의 처리액을 푸어링하는 제2의 처리액 푸어링 기구, 상기 제1의 처리실과 상기 제2의 처리실 사이에 설치된 구분벽으로서, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입 가능하게 하는 반입 가능 개구부를 갖는 구분벽, 상기 구분벽 근방의 상기 제1의 처리실 또는 상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 처리액이 착지면에서 튀어서 상기 반입 가능 개구부로부터 인접하는 처리실 내로 상기 튄 처리액의 혼입을 감소시키는 혼입 감소 기구를 구비하고, 상기 혼입 감소 기구는 상기 시트 형상의 피처리물의 2개의 평면을 따라서 연직 방향으로 공기가 흐르도록 제어함으로써, 상기 착지면에서 튀는 처리액의 양을 감소시킨다.

따라서, 상기 시트 형상의 피처리물의 2개의 평면을 따른 연직 방향으로의 공기의 흐름에 의해서, 상기 착지면에서 튀는 처리액의 양을 감소시킬 수 있다. 이것에 의해, 인접하는 처리실로 액이 혼재하지 않고, 또한, 소형화가 가능한 푸어링식의 표면 처리 장치를 제공할 수 있다.

10) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 공기 유량 제어 기구는 상기 시트 형상의 피처리물의 2개의 평면을 따라 상기 시트 형상의 피처리물의 하부 근방에 형성된 슬릿 형상의 안내부를 갖는다. 이러한 안내부에 의해 공기의 흡입 속도를 높일 수 있다.

11) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 혼입 감소 기구는 상기 시트 형상의 피처리물의 2개의 평면을 따라 상기 시트 형상의 피처리물의 하부 근방에 형성된 슬릿 형상의 안내부를 갖는다. 따라서, 상기 시트 형상의 피처리물의 2개의 평면을 따라서 연직 방향으로 흐르는 공기의 속도를 높게 할 수 있다.

12) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 혼입 감소 기구의 개구부와 상기 피처리물의 거리를 조정하는 높이 조정 기구를 갖는다. 따라서, 상기 피처리물의 크기에 따라, 상기 혼입 감소 기구의 개구부와 상기 피처리물의 거리를 조정할 수 있다.

13) 본 발명에 따른 표면 처리 장치는, 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제1의 처리실, 상기 제1의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제1의 처리액을 푸어링하는 제1의 처리액 푸어링 기구, 상기 제1의 처리실에 인접하고, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제2의 처리실, 상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제2의 처리액을 푸어링하는 제2의 처리액 푸어링 기구, 상기 제1의 처리실과 상기 제2의 처리실 사이에 설치된 구분벽으로서, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입 가능하게 하는 반입 가능 개구부를 갖는 구분벽, 상기 구분벽 근방의 상기 제1의 처리실 또는 상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 처리액이 착지면에서 튀어서 상기 반입 가능 개구부로부터 인접하는 처리실 내로 상기 튄 처리액의 혼입을 감소시키는 혼입 감소 기구를 구비하고, 상기 혼입 감소 기구는 상기 착지면의 형상이 상기 반입 가능 개구부에 가까워짐에 따라서 연직 방향으로 높아지는 리바운드 방향 변환부이다.

상기 리바운드 방향 변환부는 상기 착지면의 형상이 상기 반입 가능 개구부에 가까워짐에 따라서 연직 방향으로 높아진다. 따라서, 상기 리바운드의 방향을 상기 상기 반입 가능 개구부로부터 멀어지는 방향으로 할 수 있다. 이것에 의해, 인접하는 처리실에 액이 혼재하지 않고, 또한, 소형화가 가능한 푸어링식의 표면 처리 장치를 제공할 수 있다.

14) 본 발명에 따른 표면 처리 방법에 있어서는, 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 제1의 처리실에 반입되면, 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제1의 처리액을 푸어링하고, 상기 제1의 처리액이 푸어링된 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 상기 제1의 처리실에 인접하는 제2의 처리실에 반입되면, 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제2의 처리액을 푸어링하는 표면 처리 방법으로서, 상기 제1의 처리실과 상기 제2의 처리실 사이에는 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입 가능하게 하는 반입 가능 개구부가 형성되어 있고, 상기 구분벽 근방의 상기 제1의 처리실 또는 상기 제2의 처리실에는, 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 처리액이 착지면에서 튀어서 상기 반입 가능 개구부로부터 인접하는 처리실 내로 상기 튄 처리액의 혼입을 감소시키기 위해서, 개구부가 연직 방향을 향하도록 종장의 개별 통 형상 부재가 복수 배치되어 있다.

이것에 의해, 인접하는 처리실에 액이 혼재하지 않고, 또한, 소형화가 가능한 푸어링식의 표면 처리 장치를 제공할 수 있다.

15) 본 발명에 따른 표면 처리 장치는, 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 처리실, 상기 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 처리액을 푸어링하는 처리액 푸어링 기구, 상기 처리실에 설치된 구분벽으로서, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입 가능하게 하는 반입 가능 개구부를 갖는 구분벽, 상기 구분벽 근방의 상기 처리실에 설치되고, 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 처리액이 착지면에서 튀어서 상기 반입 가능 개구부로부터 처리실의 외부로 튄 처리액의 혼입을 감소시키는 혼입 감소 기구를 구비하고, 상기 혼입 감소 기구는 개구부가 연직 방향을 향하도록 종장의 개별 통 형상 부재가 복수 배치된 형상이다.

이것에 의해, 인접하는 처리실에 액이 혼재하지 않고, 또한, 소형화가 가능한 푸어링식의 표면 처리 장치를 제공할 수 있다.

본 명세서에 있어서 「허니콤 유사 형상」이란, 다각형이나 원형의 개별 통 형상 부재의 개구부가 연직 방향을 향하도록 복수 배치된 형상을 말한다. 또한 「허니콤 구조」란 상기 허니콤 유사 구조 중, 개별 통 형상 부재가 육각형인 것을 말한다.

「상부로부터 하부로 푸어링하고」란, 결과적으로 상부로부터 하부로 푸어링 상태로 되면 좋고, 상기 피처리물에 직접 또는, 상기 피처리물을 유지하는 유지부를 통해서 간접적으로 푸어링하는 것을 포함한다.

본 발명의 특징, 다른 목적, 용도, 효과 등은, 실시형태 및 도면을 참작함으로서써 명백해질 것이다.

도 1은 표면 처리 장치(300)를 상방으로부터 본 배치도이다.
도 2는 표면 처리 장치(300)를 α방향으로부터 본 측면도이다.
도 3은 표면 처리 장치(300)의 일부를 구성하는 무전해 구리 도금조(200)의, 도 1의 β-β 단면도이다.
도 4는 무전해 구리 도금조(200)를 상방으로부터 본 상태를 나타내는 도면이다.
도 5는 액분출부(4)의 구성을 나타내는 도면이다.
도 6은 액분출부(4)의 분출구(6)로부터 분출된 처리액(Q)의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 7은 액분출부(4)에 변류 부재(40)를 설치한 개량예를 나타내는 도면이다.
도 8은 변류 부재(40)에 닿기 전후에 있어서의 처리액(Q)의 액류의 단면도이다.
도 9는 반송기구(18)의 이동 동작을 제어하기 위한 접속 관계를 나타내는 도면이다.
도 10은 제3수세조(312)와 무전해 구리 도금조(200) 사이에 있어서의 가이드 레일(14)의 단면을 나타내는 도면이다.
도 11은 허니콤 부재(60)의 상세(사시도, 요부 확대도)를 나타낸다.
도 12는 물방울과 반사의 관계에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 13은 비산 방지 효과의 확인 실험의 조건을 나타내는 도면이다.
도 14는 비산 방지 효과의 확인 실험의 결과를 나타내는 도면이다.
도 15는 리바운드 방향 변환부의 일례를 나타내는 도면이다.
도 16은 제3실시형태의 정면도이다.
도 17은 도 16의 화살표 α방향으로부터 본 판 형상 워크(10)와 트레이(80)의 위치 관계를 나타내는 도면이다.
도 18은 트레이(80)의 상세를 나타내는 도면이다.
도 19는 도 16의 화살표 δ1로부터 본 판 형상 워크(10)와 트레이(80)의 위치 관계를 나타내는 도면이다.
도 20은 안내부(120)를 설치한 실시형태를 설명하는 도면이다.

(1. 제1실시형태)

1.1 표면 처리 장치(300)의 구성

우선, 도 1 및 도 2를 이용하여, 본 발명의 표면 처리 장치(300)의 구성에 대하여 설명한다. 또, 도 1은 표면 처리 장치(300)를 상방으로부터 본 배치도이다. 도 2는 도 1에 나타내는 표면 처리 장치(300)를 α방향으로부터 본 측면도이다. 또, 도 1에서는 도 2에 나타내는 반송용 행거(16) 및 반송기구(18)는 생략하고 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 표면 처리 장치(300)에는 피처리물인 판 형상 워크(10)(도 2)의 반송 방향(X)을 따라서 로드부(302), 제1수세조(304), 디스미어조(306), 제2수세조(308), 전처리조(310), 제3수세조(312), 무전해 구리 도금조(200), 수세조(314), 언로드부(316)가 순서대로 설치되어 있고, 그 순으로 무전해 구리 도금에 필요한 각 공정이 행하여진다. 각 조에는, 도 2에 나타내는 반송용 행거(16)의 통로를 형성하는 노치(8)(도 1)가 연직 방향으로 연신해서 형성되어 있다. 또, 각 공정의 상세에 대해서는 후술한다.

표면 처리 장치(300)는, 또한, 클램프(15)(도 2)로 파지하고, 연직 방향으로 유지한 판 형상 워크(10)를 수평 방향으로 반송하는 반송용 행거(16)와, 반송용 행거(16)를 각 조 내에 반송하는 반송기구(18)를 구비하고 있다. 또, 도 2는 판 형상 워크(10)가 로드부(302)에서 반송용 행거(16)에 부착된 상태를 나타내고 있다.

로드부(302)에서 판 형상 워크(10)가 부착된 후, 반송기구(18)는 수평 방향(X)으로의 이동을 개시하고, 그것에 의하여, 판 형상 워크(10)가 각 조 내(무전해 구리 도금조(200) 등)를 통과한다. 그 후, 반송기구(18)는 최종적으로, 언로드부(316)에 있어서 정지하고, 도금 처리가 실시된 판 형상 워크(10)가 반송용 행거(16)로부터 분리되게 된다.

도 3은 표면 처리 장치(300)의 일부를 구성하는 무전해 구리 도금조(200)(도 1)의 β-β 단면도이다. 도 4는 도 3에 나타내는 무전해 구리 도금조(200)를 상방으로부터 본 상태를 나타내는 도면이다. 또, 도 4에서는 반송용 행거(16) 및 반송기구(18)를 생략하고 있다.

도 3에 나타내는 무전해 구리 도금조(200)는 프레임(56) 위에 적재된 조체(2)와, 조체(2) 내의 저부에 저장된 처리액(Q)(무전해 구리 도금액)을 액분출부(4)에 공급해서 순환시키기 위한 순환 펌프(50)를 구비하고 있다.

판 형상 워크(10)에 대한 처리를 행하기 위해서, 무전해 구리 도금조(200) 등의 각 조의 내부에는 분출구(6)를 갖는 액분출부(4)가 형성되어 있다. 액분출부(4)의 분출구(6)로부터는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 판 형상 워크(10)를 향해서 처리액(Q)이 수평면에 대하여 비스듬하게 위쪽으로 분출된다. 이것에 의해, 조체(2)의 내부에 있어서 반송용 행거(16)에 의해 파지된 판 형상 워크(10)의 상부에 처리액(Q)(무전해 구리 도금액)이 접촉된다. 그 결과, 판 형상 워크(10)를 매개로 처리액(Q)이 이동하는 동안에, 판 형상 워크(10)의 표면에 처리액(Q)을 부착시킬 수 있다. 또, 액분출부(4)의 상세한 구조에 대해서는 후술한다.

이와 같이, 저류한 처리액(Q) 속에 판 형상 워크(10)를 침지시키지 않고, 순환시킨 처리액(Q)을 판 형상 워크(10)에 전달시키는 방식을 채용함으로써, 침지식의 것과 비교해서 표면 처리 장치(300) 전체에서 사용되는 처리액(Q)의 총량을 적게 할 수 있다.

반송기구(18)는, 도 3에 나타내는 가이드 레일(12, 14), 지지 부재(20) 및 반송 롤러(22, 24)로 구성된다. 지지 부재(20)의 저부에는 반송기구(18)가 가이드 레일(12, 14) 위를 이동하기 위한 반송 롤러(22, 24)가 부착되어 있다. 반송 롤러(22, 24)는 모터(도시하지 않음)에 의해 구동된다. 또, 가이드 레일(12, 14)은 각각 프레임(52, 54) 위에 고정되어 있다. 이러한 수평 방향으로 반송하도록 했기 때문에, 판 형상 워크의 승강 동작이 불필요하게 되고, 장치의 높이를 낮게 할 수 있기 때문에 공간절약화가 도모된다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 반송용 행거(16)는 2개의 가이드 레일(12, 14)에 걸쳐서 현가하도록 부착된 지지 부재(20)의 하방에 고정되어 있다. 이것에 의해, 판 형상 워크(10)의 진동을 저감하고, 반송기구(18)를 지지하는 구조체(가이드 레일(12, 14), 프레임(52, 54) 등)의 변형을 저감할 수 있다.

또한, 도 4에 나타내는 가이드 레일(12, 14) 상의 소정 위치에는 복수의 자석(21)이 매입되어 있다. 반송기구(18)는 가이드 레일(12, 14) 상의 자석(21)을 검지하기 위한 자기센서(19)를 구비한다. 자기센서(19)는 지지 부재(20)의 하방(가이드 레일(14)측의 1개소)에 설치되어 있다.

이것에 의해, 무전해 구리 도금조(200) 내로 이동한 반송용 행거(16)를, 소정 위치(예를 들면, 도 4에 나타내는 무전해 구리 도금조(200)의 중앙 위치)에 정지시킬 수 있다.

각 조에 설치되는 순환 펌프(50)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 조체(2)의 저부에 접속되고, 조체(2)와 액분출부(4)는 순환 펌프(50)를 통해서 연통되어 있다(점선 화살표로 나타낸다). 이것에 의해, 조체(2)의 저부에 고인 처리액(Q)이 순환 펌프(50)에 의해서, 다시 액분출부(4)에 공급된다.

조체(2)는 측벽(2a, 2b)과 저부(2c)에 의해서 구성되어 있고, 이것들을 PVC(폴리염화비닐) 등의 소재를 가공, 접착하거나 해서 조립함으로써 일체의 부재로서 성형할 수 있다. 조체(2)는 판 형상 워크(10)에 접촉된 처리액을 하방의 저부(2c)에서 받는다. 또, 조체(2)는, 도 1에 나타내는 무전해 구리 도금조(200) 이외의 각 조에도 같은 형상의 것이 사용된다. 즉, 각 조의 구조는 같고, 각 조에서 사용되는 처리액(도금액, 디스미어액, 세정수 등)의 종류만이 다르다.

또한, 도 3에 나타내는 조체(2)의 측벽(2b)에는 연직 방향으로 연신되는 노치인 슬릿(8)이 성형되어 있다. 이것에 의해, 반송용 행거(16)가 반송되었을 때에 판 형상 워크(10)가 슬릿(8)을 통과할 수 있다. 또, 슬릿(8)의 하단(8a)을 지나치게 낮게 하면, 조체(2)에 고인 처리액(Q)이 넘쳐나서 외부로 유출될 우려가 있다.

이 때문에, 조체(2)에 고인 처리액(Q)의 액면(H)(도 3)이 항상 슬릿(8)의 하단(8a)보다 아래에 위치하도록, 처리액(Q)의 공급량을 조정할 필요가 있다. 이 실시형태에서는 조체(2)에 고인 처리액(Q)의 액면(H)(도 3)이 슬릿(8)의 하단(8a)보다 아래에 위치하도록, 사용하는 처리액(Q)의 총량을 결정하고, 또한, 순환 펌프(50)를 통해서 조체(2)와 액분출부(4)를 연통시키고 있다.

[액분출부(4)의 구조]

도 5에 액분출부(4)의 구조를 나타낸다. 도 5는 도 3에 나타내는 액분출부(4)의 확대도이다.

도 5에 나타내는 바와 같이, 액분출부(4)는 측벽(2a)에 각파이프재를 고정해서 설치한 베이스(F1) 상에, 2개의 U자형의 파스너(F2)에 의해 조여서 부착되어 있다. 또, 이 실시형태에서는 액분출부(4)를 수동으로 회전시킬 수 있는 적당한 강도로 조이고 있다.

액분출부(4)는 도 4에 나타내는 바와 같이, 내부에 공간을 갖는 관 부재인 둥근 파이프로 구성되어 있고, 길이 방향의 양단은 밀폐되어 있다. 또한, 소정 간격을 두고서 길이 방향으로 배치되는 복수의 구멍에 의해서 분출구(6)가 구성된다. 또한, 액분출부(4)에는 조체의 측벽(2a)을 관통해서 연통하는 가요성 파이프(T1) 및 배관(T2)이 연결되어 있다. 배관(T2)은 펌프(50)의 토출구에 연결되어 있다. 이것에 의해, 펌프(50)로부터 받은 처리액(Q)을 분출구(6)로부터 분출할 수 있다.

도 6A에 나타내는 바와 같이, 분출구(6)의 분출 각도(θ)는 수평면(L)에 대하여 비스듬하게 상방향(예를 들면, 5°∼85°의 범위)을 향해서 설치되어 있다. 이 때문에, 분출구(6)로부터 분출된 처리액(Q)의 액류는 포물선 상을 이동한다. 정점(Z)의 위치는 처리액(Q)의 분출 유속(V) 및 분출 각도(θ)에 의해 결정된다. 또, 처리액(Q)의 분출 유속(V)은 펌프(50)로부터의 압력과, 분출구(6)의 크기에 의존한다.

이 실시형태에서는 액분출부(4)(반경 r)를 판 형상 워크(10)로부터 소정 거리(D)만큼 떨어진 위치에 배치한 조건 하에서, 분출 유속(V)으로 분출된 처리액(Q)이 포물선의 정점(Z)에서 판 형상 워크(10)에 접촉하도록 분출 각도(θ)를 설계하고 있다. 도 6B에 나타내는 포물선의 정점(Z)의 위치에서는, 처리액(Q)의 연직 방향의 속도 성분(Vy)이 없어지고, 분출되었을 때의 수평 방향의 속도 성분(Vx)만이 남기 때문에, 거품이 읾의 발생을 저감할 수 있기 때문이다.

또한, 액류가 판 형상 워크(10)의 면에 대하여 수직으로 접촉하므로, 판 형상 워크(10)에 접촉한 처리액(Q)이 면 상을 동심원상으로 균일하게 퍼진다. 또, 정점 부근, 즉, 정점(Z)보다 소정 거리만큼 전방 또는 후방에서 닿도록 하여도 좋다.

처리액(Q)을 수평면(L)에 대하여 비스듬하게 상방향으로 분출시키지 않고, 수평 방향 또는 수평 방향보다 하방향으로 분출했을 경우, 처리액(Q)의 연직 방향의 속도 성분(Vy)은 계속해서 증가하고, 합성 속도(V)도 그만큼 증가한다. 그 결과, 판 형상 워크(10)에 닿은 처리액(Q)이 y방향으로 비산하여 거품이 읾이 발생하기 쉽다.

이상과 같이, 수평면(L)에 대하여 비스듬하게 상방향을 향해서 처리액을 분출함으로써, 워크에 충돌할 때에 생기는 거품이 읾의 발생을 억제하여 처리액(Q) 중의 용존산소량이 증가하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 도 7에 나타내는 바와 같이, 분출구(6)를 덮도록, 분출되는 처리액(Q)의 흐름의 방향을 바꾸기 위한 변류 부재(40)를 액분출부(4)의 외주에 부착하도록 하여도 좋다. 또, 변류 부재(40)는 분출구(6)로부터 간격을 두고서 설치된다.

도 7은 변류 부재(40)에 의해 분출된 처리액(Q)의 방향을 바꾼 상태를 나타내는 확대도, 도 8A는 분출된 처리액(Q)(변류 부재(40)에 닿기 전)의 γ1 단면도, 도 8B는 변류 부재(40)에 닿은 후의 처리액(Q)의 γ2 단면도이다.

변류 부재(40)를 사용하면, 각 분출구(6)로부터 나온 액류(도 8A에 나타내는 단면적)가 변류판에 닿아서 단면적이 커진다(도 8B). 이 때문에, 판 형상 워크(10)에 닿았을 때에 인접하는 각 분출구(6)로부터의 액류가 연결되어(도 8B), 판 형상 워크(10)의 표면에 닿는 처리액(Q)의 균일화를 도모할 수 있다.

즉, 이상적으로는, 도 21에 나타내는 바와 같은 슬릿(긴구멍)로부터 나오는 액류와 같이 균일화를 도모할 수 있다. 또한, 슬릿(긴구멍)로부터 나오는 액류와 같은 포물선을 그리기 위해서는, 슬릿의 폭을 좁게 할 필요가 있고(분출시에 같은 유속을 얻기 위해서는, 슬릿의 면적을 구멍의 합계의 면적과 같게 할 필요가 있기 때문에), 먼지가 막히기 쉬운 결점이 있다. 이 때문에, 구멍을 이용하여 슬릿과 같은 효과를 내는 것으로 했다.

1.2 표면 처리 장치(300)에 있어서의 각 공정의 내용

도 9 등을 이용하여, 표면 처리 장치(300)에 있어서 행하여지는 각 공정의 내용에 대하여 설명한다. 또, 이 실시형태에서는 표면 처리 장치(300)의 각 조 내에서 사용되는 처리액(Q)은 각 조의 순환 펌프(50)에 의해 항상 순환되고 있는 것으로 한다.

도 9는 반송기구(18)의 동작을 제어하는 제어부의 접속 관계를 나타내는 도면이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 자기센서(19)(도 4)는 PCL(30)에 접속되어 있고, 가이드 레일(14) 위에 배치된 자석의 상부에 도달한 것을 검지한다. 자기센서(19)가 검지한 신호는 PCL(30)에 주어진다. 신호를 받은 PCL(30)은 모터(28)를 온/오프하여 반송 롤러(22, 24)의 동작(전진, 후퇴, 정지 등)을 제어한다.

우선, 도 1에 나타내는 로드부(302)에 있어서, 작업자 또는 부착 장치(도시하지 않음)에 의해서 도금 처리의 대상인 판 형상 워크(10)가 반송용 행거(16)에 부착된다(도 2에 나타내는 상태).

그 후, 작업자가 반송 스위치(도시하지 않음)를 누르면, 반송용 행거(16)는 가이드 레일(12, 14)을 따라서 제1수세조(304) 내로 이동한다. 즉, PCL(30)이 모터(28)를 온해서 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다.

이어서, 제1수세조(304)에서는 판 형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 물을 접촉시킴으로써 수세 처리가 행하여진다. 반송용 행거(16)는 제1수세조(304)에서 소정 시간만큼 정지하고, 그 후, 디스미어조(306) 내로 이동한다.

예를 들면, PCL(30)은 자기센서(19)로부터 제1수세조(304)의 중앙에 도달한 것을 나타내는 신호를 받고나서, 모터(28)를 1분간만 정지시킨다. 그 후, 모터(28)를 온해서 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다. 또, 제2수세조(308), 제3수세조(312), 제4수세조(314)에서도 마찬가지의 제어가 행하여진다.

디스미어조(306)에서 반송용 행거(16)는 소정 시간(예를 들면, 5분간)만큼 정지하고, 판 형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 디스미어 처리액(팽윤액, 레진 에칭액, 중화액 등)이 접촉된다. 여기에서, 디스미어 처리란, 판 형상 워크(10)에 구멍을 형성하거나 할 때에 남은 가공시의 스미어(수지)를 제거하는 처리이다.

예를 들면, PCL(30)은 자기센서(19)로부터 디스미어조(306)의 중앙에 도달 한 것을 나타내는 신호를 받고나서, 모터(28)를 5분간만 정지시킨다. 그 후, 모터(28)를 온해서 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다. 이하의 전처리조(310)에서도 같은 제어가 행하여진다.

다음에, 제2수세조(308)에서는 판 형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 물을 접촉함으로써 수세 처리가 행하여진다. 반송용 행거(16)는 제2수세조(308)에서 소정 시간(예를 들면, 1분간)만큼 정지하고, 그 후에 전처리조(310) 내로 이동한다.

전처리조(310)에서 반송용 행거(16)는 소정 시간(예를 들면, 5분간)만큼 정지하고, 판 형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 전처리액이 접촉된다.

다음에, 제3수세조(312)에서는 판 형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 물을 접촉함으로써 수세 처리가 행하여진다. 반송용 행거(16)는 제3수세조(312)에서 소정 시간(예를 들면, 1분간)만큼 정지한다.

그 후, 무전해 구리 도금조(200)(도 3, 도 4) 내로 이동할 때까지, 이하에 나타내는 왕복 이동을 소정 횟수만큼 행한다. 판 형상 워크(10)에 스루홀 등의 구멍이 형성되어 있을 경우, 거기에 공기(기포)가 고여서 처리액(Q)이 판 형상 워크(10)에 부착되지 않을 우려가 있기 때문에, 무전해 구리 도금 처리를 행하기 전에 공기(기포)를 확실하게 제거할 필요가 있기 때문이다. 도 10에 제3수세조(312)와 무전해 구리 도금조(200)(도 1) 사이에 있어서의 가이드 레일(14)의 단면도를 나타낸다. 도 10 및 도 1에 나타내는 바와 같이, 가이드 레일(14)에는 충격 발생부인 볼록부(26)가 1개 형성되어 있다. 반송 롤러(24)가 이 볼록부(26)를 타고넘은 충격에 의해, 처리액(Q)의 물기제거를 할 수 있다.

예를 들면, PCL(30)은 자기센서(19)로부터 도 10에 나타내는 자석(21)이 중앙에 도달한 것(즉, 반송 롤러(24)가 볼록부(26)를 타고넘은 것)을 나타내는 신호를 받고나서, 반송 롤러(22, 24)를 소정 거리만큼 후퇴 구동시키도록 모터(28)를 제어한다(도 10에 나타내는 Y1 방향). 그 후, 다시 자석(21)을 검지할 때까지 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다(도 10에 나타내는 Y2 방향). 상기 전후 이동을 소정 횟수(예를 들면, 3회 왕복)만큼 반복한 후, 무전해 구리 도금조(200) 내의 중앙위치(도 4)에 정지한다. 무전해 구리 도금조(200)에서 반송용 행거(16)는 소정 시간만큼 정지하고, 판 형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 무전해 구리 도금액이 접촉된다.

예를 들면, PCL(30)은 자기센서(19)로부터 무전해 구리 도금조(200)의 중앙에 도달한 것을 나타내는 신호를 받고나서, 모터(28)를 5분간만큼 정지시킨다. 그 후, 모터(28)를 온해서 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다.

다음에, 제4수세조(314)에서는 판 형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 물을 접촉시킴으로써 수세 처리가 행하여진다. 반송용 행거(16)는 제4수세조(314)에서 소정 시간(예를 들면 1분간)만큼 정지하고, 그 후에 언로드부(316)로 이동한다.

최후에, 언로드부(316)로 이동한 반송용 행거(16)를 정지시킨다. 예를 들면, PCL(30)은 자기센서(19)로부터 언로드부(316)에 도달 한 것을 나타내는 신호를 받고나서 모터(28)를 정지시킨다. 그 후, 작업자 등에 의해 판 형상 워크(10)가 반송용 행거로부터 분리된다. 이것에 의해, 무전해 도금 처리의 일련의 공정이 종료된다.

또, 상기 실시형태에서는 복수의 조(도 1에 나타내는 제1수세조(304), 디스미어조(306), 전처리조(310), 무전해 구리 도금조(200) 등)를 표면 처리 장치(300)가 구비하는 구성으로 했지만, 표면 처리 장치(300)가 이들 중 적어도 1개의 조를 구비하는 구성으로 해도 된다.

또, 상기 실시형태에서는 표면 처리 장치(300)에 의해, 판 형상 워크(10)에 무전해 구리 도금을 행하는 것으로 했지만, 판 형상 워크(10)에 그 밖의 무전해 도금(예를 들면, 무전해 니켈 도금, 무전해 주석 도금, 무전해 금 도금 등)을 행하도록 하여도 좋다.

또한, 반송기구(18)의 구성에 대해서는 한정되지 않는다.

1.3 허니콤 부재

반송용 행거(16)의 연직 하방에 설치한 허니콤 부재(60)에 대해서, 도 11을 사용하여 설명한다. 허니콤 부재(60)는 육각형의 구멍이 빈 통 형상 부재가 복수 연결되어 있다. 연직 방향(화살표 α방향)으로 처리액의 물방울이 떨어지므로, 물방울은 관통구멍(61)을 통과한다(도 12A 참조). 관통구멍(61)을 통과한 물방울은, 도 12B에 나타내는 바와 같이, 액면(H)에 부딪치므로, 물방울의 형상이 찌그러져서 일부가 반사된다. 그 때, 반사된 물방울의 일부는 경사 방향으로 반사하므로, 통 형상 부재의 내벽에 충돌한다. 이것에 의해 관통구멍(61)보다 상면으로 나오는 물방울의 양이 감소한다. 이러한 내벽에 의한 반사에 의해, 허니콤 부재(60)는 비산 방지 기능을 달성한다.

허니콤 부재(60)에 의한 비산 방지 효과의 확인 실험에 대해서, 도 13을 사용하여 설명한다. 도 13A에 나타내는 바와 같이, 제1실(74)과 제2실(75) 사이에 개구부(72)를 갖는 측벽(71)을 설치한다. 제1실(74)에서 측벽(71)보다 거리 M 떨어진 위치에서, 높이 750㎜로부터 0.3L/min/N으로 물을 제1실(74)의 저판을 향해서 공급한다.

제2실(75)의 측벽(71)에 인접시켜서 팰릿(76)을 설치하고, 제1실(74)로부터 제2실(75)로 튀어오른 물을 수집하여 양을 계측했다. 본 실시형태에 있어서는, 팰릿(76)은 길이(D): 180㎜, 폭(W): 125㎜, 높이(H): 60㎜로 했다.

도 14에 실험 조건을 여러가지 변경했을 경우의 계측 결과를 나타낸다. 실험 1∼3은 도 13A와 같이 저면에 아무것도 설치하지 않았다. 이 경우, 거리 M=180㎜, 개구부(72)의 하단의 높이 L1=60㎜, 160㎜, 260㎜로 바꾸면, 튀어오름양은 각각 330mL/30분, 36mL/30분, 7mL/30분으로, 높아질수록 튀어오름양이 감소했다.

또한, 실험 4, 5는 실험 1과 비교하여, 거리 M=100㎜, 측벽(71)에 가까운 위치로부터 물을 공급했을 경우이다. 이 경우, L1=60㎜, 160㎜에서 튀어오름양은 각각 330mL/30분, 32mL/30분이었다.

실험 1∼5에 의해, 측벽(71)으로부터의 거리를 다소 떼어 놓아도, 튀어오름양은 바뀌지 않지만, 칸막이 높이 L1을 높게 하면 튀어오름양은 감소하는 것을 알 수 잇다.

실험 6은 도 13B에 나타내는 바와 같이, 제1실(74)의 저면에 20㎜의 높이까지 물을 모았을 경우이며, 다른 것은 실험 1과 같다. 이 경우, 튀어오름양은 100mL/30분이었다. 이와 같이, 수면을 형성함으로써 칸막이 높이 L1을 높게 하지 않아도 튀어오름양은 1/3 이하로 감소한다. 이것은, 도 12B에 나타내는 바와 같이, 수면에서 반사되기 때문이라고 생각된다.

실험 7, 8은, 도 13C에 나타내는 바와 같이, 상면의 높이가 개구부(72)의 높이 L1과 같아지도록 허니콤 부재 HC1를 설치했을 경우이다. 본 실시형태에 있어서는, 허니콤 HC1로서, L: 530㎜(피치 P: 23㎜), W: 350㎜(셀 사이즈 CL: 12㎜)×높이 H: 55㎜×두께 t: 0.2㎜(도 11 참조)의 허니콤 부재를 채용했다. 실험 7, 8로부터 분명하게 나타나 있는 바와 같이, 칸막이 높이 L1: 60㎜에서도 거리 M: 180㎜, 100㎜의 어느 것에서나 튀어오름양은 15mL/30분으로, 실험 1의 약 1/20 이하로 감소한다.

실험 7, 8에서는 저면에서 물방울이 반사된다. 이 경우에는, 도 12C에 나타내는 바와 같이, 제1실(74)의 저면에서 반사된 물방울은 수면에서 반사되었을 경우와 마찬가지로, 붕괴되어 그 일부가 반사된다. 이 경우도, 반사된 물방울의 일부는 허니콤 부재(60)의 내벽에서 저지된다.

실험 9는 허니콤 부재 HC2를 설치했을 경우이다. 허니콤 HC2는 L: 530㎜(피치 P: 5.4㎜), W: 350㎜(셀 사이즈 CL: 3.3㎜), 높이 H 55㎜, 두께 t: 0.1㎜이다. 즉, 관통구멍(61)의 크기가 실험 7, 8과 비교하면 작아졌을 경우이다. 이와 같이 관통구멍(61)을 작게 해도, 튀어오름양은 실험 1과 비교하면 약 1/4 이하로 감소한다. 실험 9의 쪽이 튀어오름양이 많은 것은, 허니콤 부재 HC1과 비교하면 허니콤 부재 HC2의 쪽이, 관통구멍(61)의 노출면에 비해서 두께 t의 면적이 증가하기 때문에, 물방울이 관통구멍(61)에 들어가지 않고 상면에서 반사되기 때문이라고 발명자는 이해했다.

상기 허니콤 부재(60)를 설치함으로써, 측벽(2b)의 개구부까지의 높이를 낮게 해도 리바운드가 적은 표면 처리 장치를 제공할 수 있다. 이것에 의해 전체로서 콤팩트한 표면 처리 장치에서도, 인접하는 처리실로의 액의 혼입을 감소시킬 수 있다.

1.4 변형예에 대해서

상기 실시형태에 있어서는, 리바운드 저지부로서 허니콤 구조의 허니콤 부재(60)를 채용했지만, 이것에 한정되지 않고, 육각형 이외의 다각형이나 원형의 통 형상 부재가, 허니콤 부재(60)와 같이 복수 배치된 허니콤 유사 구조, 즉, 개구부가 연직 방향을 향하도록 종장의 개별 통 형상 부재가 복수 배치된 형상이라도 된다. 이러한 구조이면, 개별 통 형상 부재의 상면으로부터 들어간 물방울이 관통구멍을 통과하여 저면 등에 반사하고, 다시 개별 통 형상 부재의 하면으로부터 개별 통 형상 부재에 들어간 물방울은 개별 통 형상 부재의 내면에서 반사하여, 개별 통 형상 부재의 상면으로부터 물방울이 튀어나오는 것을 저지할 수 있기 때문이다.

실시형태에 있어서는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 액분출부(4)로부터 판 형상 워크(10)에 직접, 처리액(Q)을 분출하는 표면 처리 장치에 대하여 설명했지만, 판 형상 워크(10)에 간접적으로 처리액(Q)을 분출하는 표면 처리 장치라도 된다. 즉, 이하와 같은 표면 처리 장치이면, 본건 발명을 적용 가능하다.

피처리물을 반송하는 반송용 행거와,

내부에 있어서 상기 반송용 행거에 의해 반송된 상기 피처리물에 처리액을 부착시키기 위한 조체와,

상기 반송용 행거를 상기 조체 내에 반송하는 반송기구를 구비한 표면 처리 장치로서,

상기 조체가 상기 피처리물에 접촉된 처리액을 받기 위한 액수용부와, 상기액수용부보다 상방에 설치되고, 상기 피처리물에 닿으려고 하는 상기 처리액을 체류시키기 위한 액체류부와, 상기 액체류부에서 넘쳐나와서 유하한 상기 처리액을 피처리물을 향해서 유출시키기 위한 액유출부로서, 선단이 상기 액체류부 또는 상기 액수용부와의 연결부로부터 돌출하도록 구성된 액유출부를 구비한 표면 처리 장치.

또, 본 실시형태에 있어서는 각 처리실에 있어서 다른 처리액이 피처리물에 접촉된다. 예를 들면, 제1의 처리액이 도금액일 경우, 이것이 인접하는 제2의 처리액인 물과 혼합되면, 제2의 처리실에서는 특별히 문제는 없지만, 제2의 처리실에 혼입하는 분만큼 도금액이 줄어든다. 반대로, 제1의 처리액이 물일 경우, 이것이 인접하는 제2의 처리액인 도금액과 혼합되면, 제2의 처리실의 도금액 중에 물이 혼재한다. 물이 혼재한 도금액은 퍼올려져서 다시 피처리물에 분사되므로, 그 분량만큼 도금액의 기능이 저하한다.

이와 같이, 제1의 처리액이 제2의 처리액측에 혼입될 경우, 제2의 처리액이 제1의 처리액측에 혼입될 경우, 모두 문제가 된다.

또한, 본 실시형태에 있어서는, 판 형상 워크(10)의 하부에 처리액(Q)의 액조를 설치하도록 했지만, 이것에 대해서는 임의이다.

2. (제2실시형태)

도 15에 제2실시형태를 나타낸다. 상기 실시형태에서는 저면에서 튄 물방울을 인접하는 처리실로 튀어오르는 것을 저지하는 리바운드 저지부를 설치함으로써, 인접하는 처리실로의 혼입을 방지시키도록 했지만, 물방울이 튀어도 측벽(2b)의 개구부로부터 멀어지는 방향으로 리바운드되도록, 도 15에 나타나 있는 바와 같은 리바운드 방향 변환부(79)를 설치하도록 해도 좋다. 이와 같이 물방울이 리바운드되는 방향을 제어함으로써, 인접하는 처리실로의 리바운드량을 적게 할 수 있다. 이러한 리바운드 방향 변환부는, 도 15에서는 반입 가능 개구부(8)에 가까워짐에 따라서 연직 방향의 높이가 높아지는 곡선 형상으로 했지만, 직선 형상이라도 된다. 즉, 반입 가능 개구부(8)에 가까워짐에 따라서 연직 방향으로 높아지는 형상이면 어떤 것 이라도 된다.

3. (제3실시형태)

도 16에 제3실시형태를 나타낸다. 이 실시형태에서는 처리실 내의 공기를 위에서 아래로 흘려보냄으로써 허니콤 부재(60)의 표면에서 튄 물방울의 리바운드량을 저감하는 유량 제어 기구가 설치되어 있다. 유량 제어 기구는, 후술하는 바와 같이, 공기 및 액체를 하방으로 흡인함으로써 리바운드양을 줄인다.

본 실시형태에 있어서는 유량 제어 기구로서 허니콤 부재(60)의 하부에, 도 16에 나타내는 바와 같은 형상의 트레이(80)를 설치하여 공기의 흐름을 제어하도록 했다. 도 17은 도 16의 화살표 α방향으로부터 본 도면이다. 또, 도 17에서는 알기 쉽게 하기 위해서, 프레임(54)이 없는 것으로서 도시하고 있다. 트레이(80)는, 도 17에 나타내는 바와 같이, 판 형상 워크(10)의 하부이고, 또한 슬릿(8)의 근방에 2개소 설치되어 있다. 이것은 슬릿(8)의 근방에서 인접하는 처리실로의 튀어오름을 감소하기 위해서이다.

트레이(80)의 형상에 대해서 도 18을 사용하여 설명한다. 도 18에서는 설명을 용이하게 하기 위해서, 허니콤 부재(60)는 파선으로 상대 위치를 나타내고 있다. 프레임(82)의 단부에는 평면(82a)이 연속해서 형성되어 있다. 평면(82a)의 내단부로부터 x방향으로 사면(84)이 형성되어 있다. 사면(84)의 단부로부터는 y방향으로 사면(85)이 형성되어 있다. 또한, 종파이프 형상 부재(81)의 상면에는 홈(81a)이 형성되는 것 같은 한쌍의 뚜껑(81b)이 끼워넣어져 있다.

본 실시형태에 있어서는, 홈(81a)의 폭(d1)은 약 2㎜로 했다. 이러한 폭의 결정은, 종파이프 형상 부재(81)가 단위시간당 빨아들일 수 있는 허용량(내경으로 결정된다)이, 트레이(80)가 단위시간당 수집하는 액체의 양보다 많아지도록 하면 좋다. 단, 너무 거리(d1)를 크게 하면 흡인 공기의 유량(유량(Q)=개구면적(A)*유속(V)) 일정의 상태에서는 유속이 저하하므로, 5㎜ 이하가 바람직하다.

도 19에 도 16의 화살표 δ1방향으로부터의 화살도를 나타낸다. 이와 같이 위에서 보면, 판 형상 워크(10)의 양측에 사면(84)이 위치하고, 2개의 사면(84)의 하단부로 형성되는 홈의 방향이 판 형상 워크(10)와 평행하게 되도록, 트레이(80)가 배치되어 있다.

사면(85)의 단부에는 종파이프 형상 부재(81)가 연결되어 있다. 종파이프 형상 부재(81)의 도중에는 도 16에 나타내는 바와 같이, 횡파이프 형상 부재(88)가 연통하도록 접속되어 있다.

이것에 의해, 허니콤 부재(60)의 관통구멍(61)을 통과한 액은 사면(84, 85)을 통과하여 종파이프 형상 부재(81)에 모인다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, 파이프(93)의 앞에 설치한 펌프(92)로, 방(94)이 부압 상태로 되도록 흡인하고 있다.

처리실의 상부에는 공기 도입구(95)가 형성되어 있다. 따라서, 상기 흡인에 의해 공기 도입구(95)로부터 도입된 공기는, 허니콤 부재(60)의 관통구멍(61)으로부터 사면(84, 85)을 통과하여 종파이프 형상 부재(81), 횡파이프 형상 부재(88)로 흐른다. 또한, 수집한 액도 합쳐서 횡파이프 형상 부재(88)로부터 방(94)으로 배출된다.

또한, 도 19에 나타내는 바와 같이, 판 형상 워크(10)의 양측에 사면(84)이 위치하고, 2개의 사면(84)의 하단부로 형성되는 홈의 방향이, 판 형상 워크(10)와 평행하게 되도록 트레이(80)가 배치되어 있다. 따라서, 상기 펌프(92)에 의해 흡인되면, 도 16과 같은 화살표 δ2방향의 공기의 흐름이 생긴다. 이와 같이, 판 형상 워크(10)의 하부에서 화살표 δ2방향의 공기의 흐름이 생김으로써, 두께가 얇은 판 형상 워크(10)의 자세가 안정된다고 하는 효과도 이룬다.

본 실시형태에 있어서는, 허니콤 부재(60)의 하부에 트레이(80)를 설치했지만, 허니콤 부재(60) 이외의 부재라도 된다. 또한, 허니콤 부재(60) 없이 트레이(80)를 형성해도 된다. 이 경우에도, 상기 흡입에 의한 공기의 흐름이 물방울의 리바운드를 방지할 수 있다.

또한, 유량 제어 기구로서 트레이(80) 이외의 형상을 채용해도 좋다. 즉, 처리실 내의 공기를 위에서 아래로 흘려보냄으로써 허니콤 부재(60)의 표면에서 튄 물방울의 리바운드량을 저감할 수 있는 유량 제어 기구이면 어떤 것이라도 좋다.

본 실시형태에 있어서는, 펌프(92)에 의한 흡인에 의해 처리실 내의 제어 풍속이 0.2∼0.5m/s로 되도록 했다. 이 정도로 함으로써, 판 형상 워크(10)의 자세를 안정시키면서 허니콤 부재(60)의 표면에 의한 라바운드를 저감시킬 수 있다.

본 실시형태에 있어서는, 허니콤 부재(60)의 하부의 트레이(80)의 형상은 경사져 있다. 따라서, 허니콤 부재(60)를 통과한 물방울은 비스듬히 리바운드되므로, 리바운드된 물방울이 관통구멍(61)을 통과하는 것을 방지한다.

본 실시형태에 있어서는, 한쌍의 뚜껑(81b)으로 홈(81a)을 형성했지만, 그 일부가 홈(81a)의 형상으로 형성된 파이프를 채용하는 등, 다른 방식이라도 된다.

도 20A에 공기를 빨아들이는 안내부(120)를 설치한 실시형태를 나타낸다. 도 20A의 A-A 단면도, B-B 단면도를, 각각 도 20의 B, C에 나타낸다. 안내부(120)는 뚜껑(121a, 121b)으로 구성되어 있다. 뚜껑(121a)의 사시도를 도 20D에 나타낸다. 뚜껑(121a)은 측면(122), 사면부(123) 및 반원부(125)를 갖고 있다. 측면(122)에는 복수의 관통구멍(122a)이 형성되어 있다. 뚜껑(121b)은 뚜껑(121a)과 대칭형상이다.

뚜껑(121a, 121b)을 트레이(80)에 위치시키면, 사면(84, 85)과 사면부(123)가 합쳐져서 유지되고, 반원부(125)에 의해 종파이프 형상 부재(81)의 일부가 막아진다. 또한, 허니콤 부재(60)를 2개로 나누고, 그 사이로부터 측면(122)으로 끼워진 거리(d1)의 간극이 종파이프 형상 부재(81) 상에 형성된다. 이것에 의해, 흡입구를 판 형상 워크(10)에 가까이 할 수 있으므로 흡인력을 높게 할 수 있다. 또한 흡입구를 좁게 할 수 있으므로, 판 형상 워크(10) 하부의 공기의 유속을 높게 할 수 있다. 이것에 의해 물방울의 리바운드를 저하시킬 수 있다.

또, 뚜껑(121a, 121b)에 의해 트레이(80) 내에 물방울이 고인다는 문제는, 관통구멍(122a)을 형성함으로써 해소할 수 있다. 관통구멍(122a)의 위치 및 개수에 대해서는, 트레이(80)에 고이는 액체의 양에 따라 설계하면 좋다.

도 20에서는 측면(122)을 갖는 뚜껑(121a, 121b)을 채용했지만, 별도 유지하는 기구를 설치하면 사면부(123)는 필수는 아니다. 또한, 측면(122)을 없애도 좋다. 이 경우에도, 반원부(125)만으로 구성된 뚜껑으로 흡입구를 좁게 할 수 있으므로, 판 형상 워크(10) 하부의 공기의 유속을 높게 할 수 있다.

또, 판 형상 워크(10)의 형상에 따라서는, 트레이(80)와의 거리가 변동하는 것도 고려된다. 이 경우에는, 도 20B에 나타내는 바와 같이, 트레이(80)를 높이 방향으로 슬라이드 가능하게 구성하면 좋다. 이러한 높이 조정은, 트레이(80)의 하부에 종파이프 형상 부재(81)의 내경과 거의 같은 외경의 파이프부(83)를 설치해도 좋고, 주름상자 구조와 같이 하여도 좋다. 트레이(80)의 높이를 슬라이드 가능하게 유지하는 기구로서는 주지의 기구를 채용하면 좋다.

또, 처리실 내의 제어 풍속은 상기 범위에 한정되지 않는다.

또, 상기 공기 도입구(95) 및 펌프(92)는 각 처리실에 설치하면 좋다. 이것에 의해, 처리실 내에서 도 17의 화살표 R방향으로의 흐름(개구부(8) 방향으로의 흐름)은 거의 없어지고, 공기의 흐름은 거의 연직 방향으로 되므로, 판 형상 워크(10)의 자세가 안정된다.

또한, 프레임(52)의 하단면이 처리액(Q)보다 하측에 위치하고 있다. 따라서, 방(94)으로의 공기의 연통은 종파이프 형상 부재(81)와 횡파이프 형상 부재(88)를 개재해서 행해진다.

본 실시형태에 있어서는, 처리액(Q)일 경우에 대하여 설명했지만, 수세를 행하는 수세조(도 1 참조)에 대해서도 동일한 구성으로 할 수 있다.

또, 트레이(80)의 형상에 대해서는 상기에는 한정되지 않는다.

본 실시형태에 있어서는, 리바운드를 감소시키기 위해서 유량 제어 기구를 채용했지만, 자세 안정만을 위해서 유량 제어 기구를 채용해도 좋다.

이 경우, 실시형태 3의 장치를 이하와 같은 발명 사상을 갖는 장치로서 파악할 수 있다.

시트 형상의 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제1의 처리실,

상기 제1의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제1의 처리액을 푸어링하는 제1의 처리액 푸어링 기구,

상기 제1의 처리실에 인접하고, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제2의 처리실,

상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제2의 처리액을 푸어링하는 제2의 처리액 푸어링 기구,

상기 제1의 처리실과 상기 제2의 처리실 사이에 설치된 구분벽으로서, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입 가능하게 하는 반입 가능 개구부를 갖는 구분벽,

상기 구분벽 근방의 상기 제1의 처리실 또는 상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 처리액이 착지면에서 튀어서 상기 반입 가능 개구부로부터 인접하는 처리실 내로 튄 처리액의 혼입을 감소시키는 혼입 감소 기구를 구비하고,

상기 혼입 감소 기구는 상기 시트 형상의 피처리물의 2개의 평면을 따라서 연직 방향으로 공기가 흐르도록 제어하는 공기 유량 제어 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.

이러한 발명에 있어서도, 도 20과 같이, 안내부(120)를 설치함으로써 공기의 유속이 빨라지므로, 판 형상 워크(10)를 안정시킨다고 하는 효과도 갖는다.

상기에 있어서는, 본 발명을 바람직한 실시형태로서 설명했지만, 한정을 위해서 사용한 것은 아니고, 설명을 위해서 사용한 것이며, 본 발명의 범위 및 정신을 일탈하지 않고, 첨부의 클레임의 범위에 있어서 변경할 수 있는 것이다.

60 : 허니콤 부재
61 : 관통구멍
79 : 리바운드 방향 변환부
80 : 트레이

Claims (14)

1. 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 처리실,
   상기 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 처리액을 푸어링하는 처리액 푸어링 기구,
   상기 처리실에 설치된 구분벽으로서, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입 가능하게 하는 반입 가능 개구부를 갖는 구분벽,
   상기 구분벽 근방의 상기 처리실에 설치되고, 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 처리액이 착지면에서 튀어서 상기 반입 가능 개구부로부터 처리실의 외부로 튀는 처리액의 혼입을 감소시키는 혼입 감소 기구를 구비하고,
   상기 혼입 감소 기구는 개구부가 연직 방향을 향하도록 종장의 개별 통 형상 부재가 복수 배치된 형상인 것을 구비한 표면 처리 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 처리실은 제1의 처리실이고,
   상기 처리액 푸어링 기구는 제1의 처리액 푸어링 기구이며,
   또한,
   상기 제1의 처리실에 인접하고, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제2의 처리실과, 상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제2의 처리액을 푸어링하는 제2의 처리액 푸어링 기구를 구비하고,
   상기 구분벽은 상기 제1의 처리실과 상기 제2의 처리실 사이에 설치되어 있고, 상기 혼입 감소 기구는 상기 구분벽 근방의 상기 제1의 처리실 또는 상기 제2의 처리실에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 종장의 개별 통 형상 부재가 복수 배치된 형상은 허니콤 유사 형상인 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 허니콤 유사 형상은 허니콤 형상인 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
5. 제 2 항에 있어서,
   또한, 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 제1의 처리액을 회수하여 상기 제1의 처리액 푸어링 기구에 주는 제1의 처리액 회수 기구, 또는 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 제2의 처리액을 회수하여 상기 제2의 처리액 푸어링 기구에 주는 제2의 처리액 회수 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
6. 제 2 항에 있어서,
   상기 제1의 처리실 내의 상기 피처리물의 하방에는 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 제1의 처리액을 모으는, 액표면이 노출된 제1의 처리액 저장부를 갖고 있고,
   상기 액 표면과 상기 혼입 감소 기구의 하면 사이에는 간극이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 제1의 처리액 푸어링 기구는 상기 제1의 처리액 저장부에 고인 제1의 처리액을 퍼올려서 상기 제1의 처리액을 푸어링하는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
8. 제 7 항에 있어서,
   또한, 착지면에서 튀는 처리액을 상기 연직 방향으로 되돌리도록 공기의 흐름을 제어하는 공기 유량 제어 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 피처리물은 시트 형상이고,
   상기 공기 유량 제어 기구는,
   상기 시트 형상의 피처리물을 향해서 반입되는 방향으로 횡장의 개구를 갖고 있고,
   상기 개구로부터 공기를 흡인하는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 공기 유량 제어 기구는 상기 시트 형상의 피처리물의 2개의 평면을 따라서 상기 시트 형상의 피처리물의 하부 근방에 형성된 슬릿 형상의 안내부를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
11. 시트 형상의 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제1의 처리실,
    상기 제1의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제1의 처리액을 푸어링하는 제1의 처리액 푸어링 기구,
    상기 제1의 처리실에 인접하고, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제2의 처리실,
    상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제2의 처리액을 푸어링하는 제2의 처리액 푸어링 기구,
    상기 제1의 처리실과 상기 제2의 처리실 사이에 설치된 구분벽으로서, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입 가능하게 하는 반입 가능 개구부를 갖는 구분벽,
    상기 구분벽 근방의 상기 제1의 처리실 또는 상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 처리액이 착지면에서 튀어서 상기 반입 가능 개구부로부터 인접하는 처리실 내로 상기 튄 처리액의 혼입을 감소시키는 혼입 감소 기구를 구비하고,
    상기 혼입 감소 기구는 상기 시트 형상의 피처리물의 2개의 평면을 따라서 연직 방향으로 공기가 흐르도록 제어함으로써, 상기 착지면에서 튀는 처리액의 양을 감소시키는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
12. 제 11 항에 있어서,
    상기 혼입 감소 기구는 상기 시트 형상의 피처리물의 2개의 평면을 따라서 상기 시트 형상의 피처리물의 하부 근방에 형성된 슬릿 형상의 안내부를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
13. 제 11 항에 있어서,
    상기 혼입 감소 기구의 개구부와 상기 피처리물의 거리를 조정하는 높이 조정 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
14. 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제1의 처리실,
    상기 제1의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제1의 처리액을 푸어링하는 제1의 처리액 푸어링 기구,
    상기 제1의 처리실에 인접하고, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제2의 처리실,
    상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제2의 처리액을 푸어링하는 제2의 처리액 푸어링 기구,
    상기 제1의 처리실과 상기 제2의 처리실 사이에 설치된 구분벽으로서, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입 가능하게 하는 반입 가능 개구부를 갖는 구분벽,
    상기 구분벽 근방의 상기 제1의 처리실 또는 상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 피처리물의 하부로부터 낙하한 처리액이 착지면에서 튀어서 상기 반입 가능 개구부로부터 인접하는 처리실 내로 상기 튄 처리액의 혼입을 감소시키는 혼입 감소 기구를 구비하고,
    상기 혼입 감소 기구는 상기 착지면의 형상이 상기 반입 가능 개구부에 가까워짐에 따라서 연직 방향으로 높아지는 리바운드 방향 변환부인 것을 구비한 표면 처리 장치.

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