KR20200087069A - 표면 처리 장치 - Google Patents

Abstract

(과제) 푸어링식의 표면 처리 장치에 있어서의 처리액의 비산량을 감소시킨다.
(해결수단) 각 처리실의 입구측 및 출구측에 막형성 기구(110)를 갖는다. 막형성 기구(110)는 유량 5∼10L/min으로, 0.01MPa 정도의 끊어짐이 없는 라미나 형상의 액체를 분사한다. 이러한 액체막은 비산 방지 부재(60)의 표면에서 반사한 물방울이 튀어서 이웃의 처리실로 들어가는 것을 방지한다. 판 형상 워크(10)가 흔들려도 막형성 기구(110)에 의해 형성된 막은 액체므로, 판 형상 워크(10)가 액체막에 부딪쳐도 판 형상 워크(10)를 따라서 흐른다. 이것에 의해, 판 형상 워크(10)의 흔들림이 수렴된다. 각 처리실 내에 있어서의 반송 방향으로의 공기의 유입양을 저감시킨다.

Description

표면 처리 장치{SURFACE TREATMENT DEVICE}

본 발명은 푸어링식(pouring type)의 표면 처리 장치에 관한 것으로서, 특히 인접하는 처리실로의 액의 튀어오름 방지에 관한 것이다.

특허문헌 1의 도 10에는, 워크의 하부에 비산 방지재를 설치한 푸어링식의 표면 처리 장치가 개시되어 있다.

일본 특허공개 2014-88600호 공보

특허문헌 1의 비산 방지재로서는, 스펀지, 필터, 섬유상 소재(도요 쿠션사제의 화섬 록(상표))가 개시되어 있지만(특허문헌 1의 단락 0085), 이것으로는 충분한 비산 방지 효과를 이룰 수 없다. 이것은, 모두 상기 비산 방지재의 표면에 닿은 물방울이 그대로 반사되기 때문이다. 이러한 반사가 생기면, 인접하는 처리실로 액이 혼재할 우려가 있다.

이러한 문제를 해결하기 위해서, 처리실간의 반입구의 크기를, 반입되는 기판과 거의 같게 하는 것도 고려되지만, 그 경우, 조금 기판이 흔들리는 것만으로 반입구에 접촉하여 반입이 정지해 버린다.

본 발명은 상기 문제를 해결하여, 인접하는 처리실로 액이 혼재하지 않고, 또한, 확실하게 반입할 수 있는 푸어링식의 표면 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 공기의 흐름을 받기 쉬운 얇은 기판이여도, 기판의 흔들림을 방지할 수 있는 푸어링식의 표면 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

1) 본 발명에 따른 표면 처리 장치는, 시트 형상의 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제1의 처리실, 상기 제1의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제1의 처리액을 푸어링하는 제1의 처리액 푸어링 기구, 상기 제1의 처리실에 인접하고, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제2의 처리실, 상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제2의 처리액을 푸어링하는 제2의 처리액 푸어링 기구, 상기 제1의 처리실과 상기 제2의 처리실 사이에 설치된 구분벽으로서, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입 가능하게 하는 반입 가능 개구부를 갖는 구분벽을 구비하고, 상기 제1의 처리실의 제1의 처리액 푸어링 기구와 상기 제2의 처리실의 제2의 처리액 푸어링 기구 사이에, 상기 피처리물이 반입되는 방향에 직교하는 면 상을 중력 방향을 따라 얇은 층상의 액체막을 형성시키는 막형성 기구를 설치하고 있다.

따라서, 인접하는 처리실로 액이 혼재하지 않고, 또한, 소형화가 가능한 푸어링식의 표면 처리 장치를 제공할 수 있다.

2) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 막형성 기구는 상기 반입 가능 개구부 근방의 상기 제1의 처리실 또는 상기 제2의 처리실 내에 설치되어 있다. 따라서, 인접하는 처리실로 액이 혼재하지 않고, 또한, 소형화가 가능한 푸어링식의 표면 처리 장치를 제공할 수 있다.

3) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 시트 형상의 피처리물의 2개의 평면을 따라서 연직 방향으로 공기가 흐르도록 제어하는 공기 유량 제어 기구를 갖는다. 상기 막형성 기구는 상기 연직 방향으로의 공기의 흐름과 충돌하는 상기 반입 가능 개구부로부터 유입되는 공기를 줄인다.

4) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 액체막은 상기 처리실에 있어서 상기 시트 형상의 피처리물에 푸어링하는 것과 같은 액체로 구성되어 있다. 따라서, 같은 처리실 내에서는 같은 회수기구를 이용하여 회수가 가능해진다.

5) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 액체막은 상기 반입 가능 개구부보다 좁은 막 개구부를 갖는다. 따라서, 상기 연직 방향으로의 공기의 흐름과 충돌하는 상기 반입 가능 개구부로부터 유입되는 공기를 줄일 수 있다.

6) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 막 개구부는 상기 시트 형상의 피처리물을 유지하는 유지부의 폭보다 넓다. 따라서, 상기 시트 형상의 피처리물을 유지하는 유지부를 피해서 상기 막형성 기구를 배치할 수 있다.

7) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 시트 형상의 피처리물의 두께는 40㎛ 이하이다. 이러한 공기의 흐름의 영향을 받기 쉬운 기판에서도, 안정되게 반송할 수 있다.

8) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 막 개구부는 한쌍의 배출부가 떨어져서 배치됨으로써 형성되어 있다. 따라서, 매달림 방식으로 상기 시트 형상의 피처리물을 반송시킬 경우에, 반송을 위한 사이를 비워둘 수 있다.

9) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 한쌍의 배출부가 상기 막 개구부를 향하도록 경사 방향으로 상기 액을 배출한다. 따라서, 상기 액체막이 표면장력에 의해 하방으로 갈수록, 상기 액체막이 멀어져 가는 것을 방지할 수 있다.

10) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 반입 가능 개구부보다 넓게 간격이 빈 안내판으로서, 상기 액체막을 안내하는 안내판을 갖는다. 이것에 의해, 상기 액체막의 형성이 용이하게 된다.

11) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 공기 유량 제어 기구는 공기 흡입구를 갖고 있고, 상기 공기 흡입구와 상기 피처리물의 거리를 조정하는 높이 조정 기구를 갖는다. 따라서, 상기 피처리물의 크기에 따라서 상기 흡입구와 상기 피처리물의 거리를 조정할 수 있다.

12) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 시트 형상의 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 처리실이 반입 가능 개구부를 통해서 복수, 연속해서 배치되어 있고, 상기 각 처리실에서는 반입된 피처리물에 대하여, 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역의 상부로부터 소정의 처리액이 푸어링되고, 이것에 의해, 상기 피처리물의 표면에 소정의 표면 처리가 이루어지는 표면 처리 장치에 있어서, 상기 처리실 중, 입구측의 처리실의 반입 가능 개구부의 내측, 및/또는 출구측의 처리실의 반입 가능 개구부의 내측에, 상기 피처리물이 반입되는 방향에 직교하는 면 상을 중력 방향을 따라 얇은 층상의 액체막을 형성시키는 막형성 기구를 설치하고 있다. 따라서, 상기 각 처리실로의 공기 유입을 줄일 수 있다. 이것에 의해, 상기 시트 형상의 피처리물의 자세가 안정화된다.

13) 본 발명에 따른 표면 처리 장치에 있어서는, 상기 각 처리실은 상기 시트 형상의 피처리물의 2개의 평면을 따라서 연직 방향으로 공기가 흐르도록 제어하는 공기 유량 제어 기구를 갖는다. 따라서, 상기 시트 형상의 피처리물의 자세가 안정화시키기 쉽다.

본 명세서에 있어서 「상부로부터 하부로 푸어링하고」란, 결과적으로 상부로부터 하부로 푸어링 상태로 되면 좋고, 상기 피처리물에 직접 또는, 상기 피처리물을 유지하는 유지부를 통해서 간접적으로 푸어링하는 것을 포함한다.

본 발명의 특징, 다른 목적, 용도, 효과 등은, 실시형태 및 도면을 참작함으로서써 명백해질 것이다.

도 1은 표면 처리 장치(300)를 상방으로부터 본 배치도이다.
도 2는 표면 처리 장치(300)를 α방향으로부터 본 측면도이다.
도 3은 표면 처리 장치(300)의 일부를 구성하는 무전해 구리 도금조(200)의 β-β 단면도이다.
도 4는 무전해 구리 도금조(200)를 상방으로부터 본 상태를 나타내는 도면이다.
도 5는 액분출부(4)의 구성을 나타내는 도면이다.
도 6은 액분출부(4)의 분출구(6)로부터 분출된 처리액(Q)의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 7은 액분출부(4)에 변류 부재(40)를 설치한 개량예를 나타내는 도면이다.
도 8은 변류 부재(40)에 닿기 전후에 있어서의 처리액(Q)의 액류의 단면도이다.
도 9는 반송기구(18)의 이동 동작을 제어하기 위한 접속 관계를 나타내는 도면이다.
도 10은 제3수세조(312)와 무전해 구리 도금조(200) 사이에 있어서의 가이드 레일(14)의 단면을 나타내는 도면이다.
도 11은 비산 방지 부재(60)의 상세(사시도, 요부 확대도)를 나타낸다.
도 12는 막형성 기구(110)의 배치 위치를 설명하는 도면이다.
도 13은 막형성 기구(110a)의 개요 사시도이다.
도 14는 표면 처리 장치(410)의 정면도다.
도 15는 도 14의 화살표 γ방향으로부터 본 판 형상 워크(10)와 트레이(80)의 위치 관계를 나타내는 도면이다.
도 16은 트레이(80)의 상세를 나타내는 도면이다.
도 17은 도 16의 화살표 δ1로부터 본 판 형상 워크(10)와 트레이(80)의 위치 관계를 나타내는 도면이다.
도 18은 안내부(120)를 설치한 실시형태를 설명하는 도면이다.
도 19는 표면 처리 장치(400)을 상방으로부터 본 배치도다.
도 20은 처리조(303, 315)에 설치한 막형성 기구(110)를 나타내는 도면이다.
도 21은 막형성 기구(110)를 비스듬하게 한 실시형태이다.
도 22는 막형성 기구(110)를 처리실 밖에 설치한 실시형태이다.

(1. 제1실시형태)

1.1 표면 처리 장치(300)의 구성

우선, 도 1 및 도 2를 이용하여, 본 발명의 표면 처리 장치(300)의 구성에 대하여 설명한다. 또, 도 1은 표면 처리 장치(300)를 상방으로부터 본 배치도이다. 도 2는 도 1에 나타내는 표면 처리 장치(300)를 α방향으로부터 본 측면도이다. 또, 도 1에서는 도 2에 나타내는 반송용 행거(16) 및 반송기구(18)는 생략하고 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 표면 처리 장치(300)에는 피처리물인 판 형상 워크(10)(도 2)의 반송 방향(X)을 따라서 로드부(302), 제1수세조(304), 디스미어조(306), 제2수세조(308), 전처리조(310), 제3수세조(312), 무전해 구리 도금조(200), 수세조(314), 언로드부(316)가 순서대로 설치되어 있고, 그 순으로 무전해 구리 도금에 필요한 각 공정이 행하여진다. 각 조에는, 도 2에 나타내는 반송용 행거(16)의 통로를 형성하는 노치(8)(도 1)가 연직 방향으로 연신해서 형성되어 있다. 또, 각 공정의 상세에 대해서는 후술한다.

표면 처리 장치(300)는, 또한, 클램프(15)(도 2)로 파지하고, 연직 방향으로 유지한 판 형상 워크(10)를 수평 방향으로 반송하는 반송용 행거(16)와, 반송용 행거(16)를 각 조 내에 반송하는 반송기구(18)를 구비하고 있다. 또, 도 2는 판 형상 워크(10)가 로드부(302)에서 반송용 행거(16)에 부착된 상태를 나타내고 있다.

로드부(302)에서 판 형상 워크(10)가 부착된 후, 반송기구(18)는 수평 방향(X)으로의 이동을 개시하고, 그것에 의하여, 판 형상 워크(10)가 각 조 내(무전해 구리 도금조(200) 등)를 통과한다. 그 후, 반송기구(18)는 최종적으로, 언로드부(316)에 있어서 정지하고, 도금 처리가 실시된 판 형상 워크(10)가 반송용 행거(16)로부터 분리되게 된다.

도 3은 표면 처리 장치(300)의 일부를 구성하는 무전해 구리 도금조(200)(도 1)의 β-β 단면도이다. 도 4는 도 3에 나타내는 무전해 구리 도금조(200)를 상방으로부터 본 상태를 나타내는 도면이다. 또, 도 4에서는 반송용 행거(16) 및 반송기구(18)를 생략하고 있다.

도 3에 나타내는 무전해 구리 도금조(200)는 프레임(56) 위에 적재된 조체(2)와, 조체(2) 내의 저부에 저장된 처리액(Q)(무전해 구리 도금액)을 액분출부(4)에 공급해서 순환시키기 위한 순환 펌프(50)를 구비하고 있다.

판 형상 워크(10)에 대한 처리를 행하기 위해서, 무전해 구리 도금조(200) 등의 각 조의 내부에는 분출구(6)를 갖는 액분출부(4)가 형성되어 있다. 액분출부(4)의 분출구(6)로부터는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 판 형상 워크(10)를 향해서 처리액(Q)이 수평면에 대하여 비스듬하게 위쪽으로 분출된다. 이것에 의해, 조체(2)의 내부에 있어서 반송용 행거(16)에 의해 파지된 판 형상 워크(10)의 상부에 처리액(Q)(무전해 구리 도금액)이 접촉된다. 그 결과, 판 형상 워크(10)를 매개로 처리액(Q)이 이동하는 동안에, 판 형상 워크(10)의 표면에 처리액(Q)을 부착시킬 수 있다. 또, 액분출부(4)의 상세한 구조에 대해서는 후술한다.

이와 같이, 저류한 처리액(Q) 속에 판 형상 워크(10)를 침지시키지 않고, 순환시킨 처리액(Q)을 판 형상 워크(10)에 전달시키는 방식을 채용함으로써, 침지식의 것과 비교해서 표면 처리 장치(300) 전체에서 사용되는 처리액(Q)의 총량을 적게 할 수 있다.

비산 방지 부재(60)는 망재로 구성된 지지부(62)에 의해 유지되어 있다. 비산 방지 부재(60)의 구성에 대해서는 후술한다.

반송기구(18)는, 도 3에 나타내는 가이드 레일(12, 14), 지지 부재(20) 및 반송 롤러(22, 24)로 구성된다. 지지 부재(20)의 저부에는 반송기구(18)가 가이드 레일(12, 14) 위를 이동하기 위한 반송 롤러(22, 24)가 부착되어 있다. 반송 롤러(22, 24)는 모터(도시하지 않음)에 의해 구동된다. 또, 가이드 레일(12, 14)은 각각 프레임(52, 54) 위에 고정되어 있다. 이러한 수평 방향으로 반송하도록 했기 때문에, 판 형상 워크의 승강 동작이 불필요하게 되고, 장치의 높이를 낮게 할 수 있기 때문에 공간절약화가 도모된다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 반송용 행거(16)는 2개의 가이드 레일(12, 14)에 걸쳐서 현가하도록 부착된 지지 부재(20)의 하방에 고정되어 있다. 이것에 의해, 판 형상 워크(10)의 진동을 저감하고, 반송기구(18)를 지지하는 구조체(가이드 레일(12, 14), 프레임(52, 54) 등)의 변형을 저감할 수 있다.

또한, 도 4에 나타내는 가이드 레일(12, 14) 상의 소정 위치에는 복수의 자석(21)이 매입되어 있다. 반송기구(18)는 가이드 레일(12, 14) 상의 자석(21)을 검지하기 위한 자기센서(19)를 구비한다. 자기센서(19)는 지지 부재(20)의 하방(가이드 레일(14)측의 1개소)에 설치되어 있다.

이것에 의해, 무전해 구리 도금조(200) 내로 이동한 반송용 행거(16)를, 소정 위치(예를 들면, 도 4에 나타내는 무전해 구리 도금조(200)의 중앙 위치)에 정지시킬 수 있다.

각 조에 설치되는 순환 펌프(50)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 조체(2)의 저부에 접속되고, 조체(2)와 액분출부(4)는 순환 펌프(50)를 통해서 연통되어 있다(점선 화살표로 나타낸다). 이것에 의해, 조체(2)의 저부에 고인 처리액(Q)이 순환 펌프(50)에 의해서, 다시 액분출부(4)에 공급된다.

조체(2)는 측벽(2a, 2b)과 저부(2c)에 의해서 구성되어 있고, 이것들을 PVC(폴리염화비닐) 등의 소재를 가공, 접착하거나 해서 조립함으로써 일체의 부재로서 성형할 수 있다. 조체(2)는 판 형상 워크(10)에 접촉된 처리액을 하방의 저부(2c)에서 받는다. 또, 조체(2)는, 도 1에 나타내는 무전해 구리 도금조(200) 이외의 각 조에도 같은 형상의 것이 사용된다. 즉, 각 조의 구조는 같고, 각 조에서 사용되는 처리액(도금액, 디스미어액, 세정수 등)의 종류만이 다르다.

또한, 도 3에 나타내는 조체(2)의 측벽(2b)에는 연직 방향으로 연신되는 노치인 슬릿(8)이 성형되어 있다. 이것에 의해, 반송용 행거(16)가 반송되었을 때에 판 형상 워크(10)가 슬릿(8)을 통과할 수 있다. 또, 슬릿(8)의 하단(8a)을 지나치게 낮게 하면, 조체(2)에 고인 처리액(Q)이 넘쳐나서 외부로 유출될 우려가 있다.

이 때문에, 조체(2)에 고인 처리액(Q)의 액면(H)(도 3)이 항상 슬릿(8)의 하단(8a)보다 아래에 위치하도록, 처리액(Q)의 공급량을 조정할 필요가 있다. 이 실시형태에서는 조체(2)에 고인 처리액(Q)의 액면(H)(도 3)이 슬릿(8)의 하단(8a)보다 아래에 위치하도록, 사용하는 처리액(Q)의 총량을 결정하고, 또한, 순환 펌프(50)를 통해서 조체(2)와 액분출부(4)를 연통시키고 있다.

[액분출부(4)의 구조]

도 5에 액분출부(4)의 구조를 나타낸다. 도 5는 도 3에 나타내는 액분출부(4)의 확대도이다.

도 5에 나타내는 바와 같이, 액분출부(4)는 측벽(2a)에 각파이프재를 고정해서 설치한 베이스(F1) 상에, 2개의 U자형의 파스너(F2)에 의해 조여서 부착되어 있다. 또, 이 실시형태에서는 액분출부(4)를 수동으로 회전시킬 수 있는 적당한 강도로 조이고 있다.

액분출부(4)는 도 4에 나타내는 바와 같이, 내부에 공간을 갖는 관 부재인 둥근 파이프로 구성되어 있고, 길이 방향의 양단은 밀폐되어 있다. 또한, 소정 간격을 두고서 길이 방향으로 배치되는 복수의 구멍에 의해서 분출구(6)가 구성된다. 또한, 액분출부(4)에는 조체의 측벽(2a)을 관통해서 연통하는 가요성 파이프(T1) 및 배관(T2)이 연결되어 있다. 배관(T2)은 펌프(50)의 토출구에 연결되어 있다. 이것에 의해, 펌프(50)로부터 받은 처리액(Q)을 분출구(6)로부터 분출할 수 있다.

도 6A에 나타내는 바와 같이, 분출구(6)의 분출 각도(θ)는 수평면(L)에 대하여 비스듬하게 상방향(예를 들면, 5°∼85°의 범위)을 향해서 설치되어 있다. 이 때문에, 분출구(6)로부터 분출된 처리액(Q)의 액류는 포물선 상을 이동한다. 정점(Z)의 위치는 처리액(Q)의 분출 유속(V) 및 분출 각도(θ)에 의해 결정된다. 또, 처리액(Q)의 분출 유속(V)은 펌프(50)로부터의 압력과, 분출구(6)의 크기에 의존한다.

이 실시형태에서는 액분출부(4)(반경 r)를 판 형상 워크(10)로부터 소정 거리(D)만큼 떨어진 위치에 배치한 조건 하에서, 분출 유속(V)으로 분출된 처리액(Q)이 포물선의 정점(Z)에서 판 형상 워크(10)에 접촉하도록 분출 각도(θ)를 설계하고 있다. 도 6B에 나타내는 포물선의 정점(Z)의 위치에서는, 처리액(Q)의 연직 방향의 속도 성분(Vy)이 없어지고, 분출되었을 때의 수평 방향의 속도 성분(Vx)만이 남기 때문에, 거품이 읾의 발생을 저감할 수 있기 때문이다.

또한, 액류가 판 형상 워크(10)의 면에 대하여 수직으로 접촉하므로, 판 형상 워크(10)에 접촉한 처리액(Q)이 면 상을 동심원상으로 균일하게 퍼진다. 또, 정점 부근, 즉, 정점(Z)보다 소정 거리만큼 전방 또는 후방에서 닿도록 하여도 좋다.

처리액(Q)을 수평면(L)에 대하여 비스듬하게 상방향으로 분출시키지 않고, 수평 방향 또는 수평 방향보다 하방향으로 분출했을 경우, 처리액(Q)의 연직 방향의 속도 성분(Vy)은 계속해서 증가하고, 합성 속도(V)도 그만큼 증가한다. 그 결과, 판 형상 워크(10)에 닿은 처리액(Q)이 y방향으로 비산하여 거품이 읾이 발생하기 쉽다.

이상과 같이, 수평면(L)에 대하여 비스듬하게 상방향을 향해서 처리액을 분출함으로써, 워크에 충돌할 때에 생기는 거품이 읾의 발생을 억제하여 처리액(Q) 중의 용존산소량이 증가하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 도 7에 나타내는 바와 같이, 분출구(6)를 덮도록, 분출되는 처리액(Q)의 흐름의 방향을 바꾸기 위한 변류 부재(40)를 액분출부(4)의 외주에 부착하도록 하여도 좋다. 또, 변류 부재(40)는 분출구(6)로부터 간격을 두고서 설치된다.

도 7은 변류 부재(40)에 의해 분출된 처리액(Q)의 방향을 바꾼 상태를 나타내는 확대도, 도 8A는 분출된 처리액(Q)(변류 부재(40)에 닿기 전)의 γ1 단면도, 도 8B는 변류 부재(40)에 닿은 후의 처리액(Q)의 γ2 단면도이다.

변류 부재(40)를 사용하면, 각 분출구(6)로부터 나온 액류(도 8A에 나타내는 단면적)가 변류판에 닿아서 단면적이 커진다(도 8B). 이 때문에, 판 형상 워크(10)에 닿았을 때에 인접하는 각 분출구(6)로부터의 액류가 연결되어(도 8B), 판 형상 워크(10)의 표면에 닿는 처리액(Q)의 균일화를 도모할 수 있다.

1.2 표면 처리 장치(300)에 있어서의 각 공정의 내용

도 9 등을 이용하여, 표면 처리 장치(300)에 있어서 행하여지는 각 공정의 내용에 대하여 설명한다. 또, 이 실시형태에서는 표면 처리 장치(300)의 각 조 내에서 사용되는 처리액(Q)은 각 조의 순환 펌프(50)에 의해 항상 순환되고 있는 것으로 한다.

도 9는 반송기구(18)의 동작을 제어하는 제어부의 접속 관계를 나타내는 도면이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 자기센서(19)(도 4)는 PCL(30)에 접속되어 있고, 가이드 레일(14) 위에 배치된 자석의 상부에 도달한 것을 검지한다. 자기센서(19)가 검지한 신호는 PCL(30)에 주어진다. 신호를 받은 PCL(30)은 모터(28)를 온/오프하여 반송 롤러(22, 24)의 동작(전진, 후퇴, 정지 등)을 제어한다.

우선, 도 1에 나타내는 로드부(302)에 있어서, 작업자 또는 부착 장치(도시하지 않음)에 의해서 도금 처리의 대상인 판 형상 워크(10)가 반송용 행거(16)에 부착된다(도 2에 나타내는 상태).

그 후, 작업자가 반송 스위치(도시하지 않음)를 누르면, 반송용 행거(16)는 가이드 레일(12, 14)을 따라서 제1수세조(304) 내로 이동한다. 즉, PCL(30)이 모터(28)를 온해서 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다.

이어서, 제1수세조(304)에서는 판 형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 물을 접촉시킴으로써 수세 처리가 행하여진다. 반송용 행거(16)는 제1수세조(304)에서 소정 시간만큼 정지하고, 그 후, 디스미어조(306) 내로 이동한다.

예를 들면, PCL(30)은 자기센서(19)로부터 제1수세조(304)의 중앙에 도달한 것을 나타내는 신호를 받고나서, 모터(28)를 1분간만 정지시킨다. 그 후, 모터(28)를 온해서 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다. 또, 제2수세조(308), 제3수세조(312), 제4수세조(314)에서도 마찬가지의 제어가 행하여진다.

디스미어조(306)에서 반송용 행거(16)는 소정 시간(예를 들면, 5분간)만큼 정지하고, 판 형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 디스미어 처리액(팽윤액, 레진 에칭액, 중화액 등)이 접촉된다. 여기에서, 디스미어 처리란, 판 형상 워크(10)에 구멍을 형성하거나 할 때에 남은 가공시의 스미어(수지)를 제거하는 처리이다.

예를 들면, PCL(30)은 자기센서(19)로부터 디스미어조(306)의 중앙에 도달 한 것을 나타내는 신호를 받고나서, 모터(28)를 5분간만 정지시킨다. 그 후, 모터(28)를 온해서 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다. 이하의 전처리조(310)에서도 같은 제어가 행하여진다.

다음에, 제2수세조(308)에서는 판 형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 물을 접촉함으로써 수세 처리가 행하여진다. 반송용 행거(16)는 제2수세조(308)에서 소정 시간(예를 들면, 1분간)만큼 정지하고, 그 후에 전처리조(310) 내로 이동한다.

전처리조(310)에서 반송용 행거(16)는 소정 시간(예를 들면, 5분간)만큼 정지하고, 판 형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 전처리액이 접촉된다.

다음에, 제3수세조(312)에서는 판 형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 물을 접촉함으로써 수세 처리가 행하여진다. 반송용 행거(16)는 제3수세조(312)에서 소정 시간(예를 들면, 1분간)만큼 정지한다.

그 후, 무전해 구리 도금조(200)(도 3, 도 4) 내로 이동할 때까지, 이하에 나타내는 왕복 이동을 소정 횟수만큼 행한다. 판 형상 워크(10)에 스루홀 등의 구멍이 형성되어 있을 경우, 거기에 공기(기포)가 고여서 처리액(Q)이 판 형상 워크(10)에 부착되지 않을 우려가 있기 때문에, 무전해 구리 도금 처리를 행하기 전에 공기(기포)를 확실하게 제거할 필요가 있기 때문이다.

도 10에 제3수세조(312)와 무전해 구리 도금조(200)(도 1) 사이에 있어서의 가이드 레일(14)의 단면도를 나타낸다. 도 10 및 도 1에 나타내는 바와 같이, 가이드 레일(14)에는 충격 발생부인 볼록부(26)가 1개 형성되어 있다. 반송 롤러(24)가 이 볼록부(26)를 타고넘은 충격에 의해, 처리액(Q)의 물기제거를 할 수 있다.

예를 들면, PCL(30)은 자기센서(19)로부터 도 10에 나타내는 자석(21)이 중앙에 도달한 것(즉, 반송 롤러(24)가 볼록부(26)를 타고넘은 것)을 나타내는 신호를 받고나서, 반송 롤러(22, 24)를 소정 거리만큼 후퇴 구동시키도록 모터(28)를 제어한다(도 10에 나타내는 Y1 방향). 그 후, 다시 자석(21)을 검지할 때까지 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다(도 10에 나타내는 Y2 방향). 상기 전후 이동을 소정 횟수(예를 들면, 3회 왕복)만큼 반복한 후, 무전해 구리 도금조(200) 내의 중앙위치(도 4)에 정지한다. 무전해 구리 도금조(200)에서 반송용 행거(16)는 소정 시간만큼 정지하고, 판 형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 무전해 구리 도금액이 접촉된다.

예를 들면, PCL(30)은 자기센서(19)로부터 무전해 구리 도금조(200)의 중앙에 도달한 것을 나타내는 신호를 받고나서, 모터(28)를 5분간만큼 정지시킨다. 그 후, 모터(28)를 온해서 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다.

다음에, 제4수세조(314)에서는 판 형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 물을 접촉시킴으로써 수세 처리가 행하여진다. 반송용 행거(16)는 제4수세조(314)에서 소정 시간(예를 들면 1분간)만큼 정지하고, 그 후에 언로드부(316)로 이동한다.

최후에, 언로드부(316)로 이동한 반송용 행거(16)를 정지시킨다. 예를 들면, PCL(30)은 자기센서(19)로부터 언로드부(316)에 도달 한 것을 나타내는 신호를 받고나서 모터(28)를 정지시킨다. 그 후, 작업자 등에 의해 판 형상 워크(10)가 반송용 행거로부터 분리된다. 이것에 의해, 무전해 도금 처리의 일련의 공정이 종료된다.

또, 상기 실시형태에서는 복수의 조(도 1에 나타내는 제1수세조(304), 디스미어조(306), 전처리조(310), 무전해 구리 도금조(200) 등)를 표면 처리 장치(300)가 구비하는 구성으로 했지만, 표면 처리 장치(300)가 이들 중 적어도 1개의 조를 구비하는 구성으로 해도 된다.

또, 상기 실시형태에서는 표면 처리 장치(300)에 의해, 판 형상 워크(10)에 무전해 구리 도금을 행하는 것으로 했지만, 판 형상 워크(10)에 그 밖의 무전해 도금(예를 들면, 무전해 니켈 도금, 무전해 주석 도금, 무전해 금 도금 등)을 행하도록 하여도 좋다.

또한, 반송기구(18)의 구성에 대해서는 한정되지 않는다.

도 11을 이용하여 비산 방지 부재(60)에 대하여 설명한다. 비산 방지 부재(60)는 육각형의 구멍이 빈 통 형상 부재가 복수 연결되어서 구성되어 있다. 또, 비산 방지 부재(60)의 형상에 대해서는 이것에 한정되지 않고, 육각형 이외의 다각형이나 원형의 통 형상 부재가, 비산 방지 부재(60)와 같이 복수 배치된 허니콤 유사 구조, 즉, 개구부가 연직 방향을 향하도록 종장의 개별 통 형상 부재가 복수 배치된 형상이라도 된다. 후술하는 바와 같이, 물방울이 스무스하게 통과하면 되기 때문이다.

이러한 허니콤 부재에 의해, 처리액(Q)의 표면에서 튄 물방울의 반사를 저감할 수 있다. 이것은 이하의 이유에 의한다. 비산 방지 부재(60)의 관통구멍(도시하지 않음)을 통과한 물방울은, 처리액(Q)의 표면에서 일부가 반사된다. 그 때, 반사된 물방울의 일부는 경사 방향으로 반사되므로, 비산 방지 부재(60)의 관통구멍의 내벽에 충돌한다. 이러한 메커니즘에 의해 관통구멍을 역방향으로 통과하는 반사된 물방울의 양이 감소하기 때문이다.

종래의 스펀지 또는 섬유 형상 소재 등을 채용했을 경우에는, 비산 방지 부재를 통과한 후의 비산은 방지할 수 있지만, 비산 방지 부재 표면에서의 비산이 많다고 하는 문제가 있었다. 상기 비산 방지 부재(60)는 이러한 표면에 있어서의 비산을 저감시킬 수 있다.

또, 비산 방지 부재(60)의 표면에 있어서는 다소의 비산이 발생한다. 이러한 비산을 방지하기 위해서, 도 12와 같이, 각 처리실의 입구측 및 출구측에 막형성 기구(110)를 채용해도 좋다. 또, 도 12에서는 판 형상 워크(10)의 매달림 기구는 생략하고 있다.

막형성 기구(110)에 대하여 설명한다. 막형성 기구(110)는, 도 12B에 나타나 있는 바와 같이, 막형성 기구(110a)와, 막형성 기구(110b)로 구성되어 있다.

막형성 기구(110a)에 대하여 설명한다. 도 12A에서는 장방형으로 나타나고 있지만, 실제로는, 도 13(사시도)에 나타내는 바와 같이, 막형성 기구(110a)는 길이 방향에 걸치는 노즐(111)이 볼록부로서 형성되어 있다. 이러한 노즐(111)로부터 유량 5∼10L/min으로, 0.01MPa 정도의 압력의 끊어짐이 없는 라미나(lamina) 형상의 액체(물 또는 처리액)를 분사한다. 이것에 의해, 도 13에 나타내는 액체막(113a)이 형성된다. 막형성 기구(110b)에 대해서도 같다.

도 12B에 나타나 있는 바와 같이, 막형성 기구(110a)와 막형성 기구(110b)의 사이는 거리(d11) 만큼 이간해서 배치되어 있다. 이것은 표면 처리 장치(300)에서는, 판 형상 워크(10)는 매달린 상태로 처리실 내에 반송되기 때문에, 상기 기구를 통과할 수 있는 폭이 필요하기 때문이다.

도 12A에 있어서, 무전해 구리 도금조(200)에서는 도금액이, 수세조(314)에서는 물이 분사된다. 본 실시형태에 있어서는, 막형성 기구(110a) 및 막형성 기구(110b)로서, 가부시키가이샤 쿄리츠 고우킹 세이사쿠쇼제의 워터 나이프 WK형 노즐을 채용했지만, 이것에 한정되지 않는다.

막형성 기구(110a) 및 막형성 기구(110b)로부터 분사된 액체는 비산 방지 부재(60)의 표면에서 반사된 물방울이 튀어서 이웃의 처리실로 들어가는 것을 방지한다.

본 실시형태에 있어서는, 각 처리실의 입구측 및 출구측에 각각 막형성 기구(110)를 채용했지만, 어느 한쪽이어도 좋다.

본 실시형태에 있어서는, 거리(d11)는 슬릿(8)의 폭(d12)보다 작게 할 수 있다. 이것은 가령 판 형상 워크(10)가 흔들려서 거리(d11)보다 크게 흔들린 경우에도, 막형성 기구(110)에 의해 형성된 막은 액체이므로 판 형상 워크(10)가 부딪쳐도 판 형상 워크(10)를 따라서 흐르기 때문이다. 이것에 의해, 판 형상 워크(10)의 흔들림을 수렴시키는 효용도 있다.

또한, 상기 막은 각 처리실 내에 있어서의 반송 방향으로의 공기의 흐름을 저감시킨다. 왜냐하면, 슬릿의 폭(d12)보다 개구부를 좁게 하므로, 그 만큼 외부로부터 처리실 내로의 공기의 유입을 저지할 수 있기 때문이다.

본 실시형태에 있어서는, 비산 방지 부재(60)의 표면에 있어서의 비산을 방지하기 위해서 막형성 기구(110)를 채용했지만, 막형성 기구(110)는 별도의 비산 방지 부재를 설치할 경우에는 물론, 비산 방지 기구가 존재하지 않는 표면 처리 장치에도 막형성 기구(110)를 적용할 수도 있다. 예를 들면, 비산 방지 기구가 존재하지 않고, 판 형상 워크(10)에 하부에 고여 있는 처리액(Q)의 표면에서 물방울이 튀는 타입, 또한, 물방울의 낙하처가 바닥면으로 되어 있는 표면 처리 장치 등이다.

2. (제2실시형태에 대해서)

도 14를 이용하여, 처리실 내에서 공기를 위에서 아래로 흘려보내는 기구를 구비한 표면 처리 장치(410)에 대하여 설명한다.

본 실시형태에 있어서는, 비산 방지 부재(60)의 하부에, 도 14에 나타내는 바와 같은 형상의 트레이(80)를 설치하여 공기의 흐름을 제어하고 있다. 도 15는 도 14의 화살표 γ방향으로부터 본 도면이다. 또, 도 15에서는 알기 쉽게 하기 위해서, 프레임(54)이 없는 것으로서 도시하고 있다.

트레이(80)는, 도 15에 나타내는 바와 같이, 판 형상 워크(10)의 하부이고, 또한 슬릿(8)의 근방에 2개소 설치되어 있다. 이것은 슬릿(8)의 근방에서 인접하는 처리실로의 튀어오름을 감소하기 위해서이다. 막형성 기구(110a, 110b)에 대해서는 제1실시형태와 같으므로 설명은 생략한다.

트레이(80)의 형상에 대해서 도 16을 사용하여 설명한다. 도 16에서는 설명을 용이하게 하기 위해서, 비산 방지 부재(60)는 파선으로 상대 위치를 나타내고 있다. 프레임(82)의 단부에는 평면(82a)이 연속해서 형성되어 있다. 평면(82a)의 내단부로부터 x방향으로 사면(84)이 형성되어 있다. 사면(84)의 단부로부터는 y방향으로 사면(85)이 형성되어 있다. 또한, 종파이프 형상 부재(81)의 상면에는 홈(81a)이 형성되는 한쌍의 뚜껑(81b)이 끼워넣어져 있다.

본 실시형태에 있어서는, 2개의 사면(84)간의 홈(81a)의 거리(d1)는 약 2㎜로 했다. 이러한 폭의 결정은, 종파이프 형상 부재(81)가 단위시간당 빨아들일 수 있는 허용량이, 트레이(80)가 단위시간당 수집하는 액체의 양보다 많아지도록 하면 좋다. 단, 너무나 거리(d1)를 크게 하면 흡인 공기의 유량(유량(Q)=개구 면적(A）＊유속(V)) 일정의 상태에서는 유속이 저하하므로, 5㎜ 이하가 바람직하다.

도 17에, 도 14의 화살표 δ1방향으로부터의 화살표도를 나타낸다. 이와 같이 위에서 보면, 판 형상 워크(10)의 양측에 사면(84)이 위치하고, 2개의 사면(84)의 하단부로 형성되는 홈의 방향이 판 형상 워크(10)와 평행하게 되도록 트레이(80)가 배치되어 있다.

사면(85)의 단부에는 종파이프 형상 부재(81)가 연결되어 있다. 종파이프 형상 부재(81)의 도중에는 도 14에 나타내는 바와 같이, 횡파이프 형상 부재(88)가 연통하도록 접속되어 있다.

본 실시형태에 있어서는, 파이프(93)의 앞에 설치한 펌프(92)로, 방(94)이 부압 상태로 되도록 흡인하고 있다.

처리실의 상부에는 공기 도입구(95)가 형성되어 있다. 따라서, 상기 흡인에 의해, 공기 도입구(95)로부터 도입된 공기는 비산 방지 부재(60)의 관통구멍(61)으로부터 사면(84, 85)을 지나서 종파이프 형상 부재(81), 횡파이프 형상 부재(88)로 흐른다. 또한, 수집한 액도 합쳐서 횡파이프 형상 부재(88)로부터 방(94)으로 배출된다.

또한, 도 17에 나타내는 바와 같이, 판 형상 워크(10)의 양측에 사면(84)이 위치하고, 2개의 사면(84)의 하단부로 형성되는 홈의 방향이 판 형상 워크(10)와 평행하게 되도록 트레이(80)가 배치되어 있다. 따라서, 상기 펌프(92)에 의해 흡인되면, 도 14의 화살표 δ2방향의 공기의 흐름이 생긴다. 이와 같이, 판 형상 워크(10)의 하부에서 화살표 δ2방향의 공기의 흐름이 생김으로써 얇은 판 형상 워크(10)이여도 자세가 안정된다고 하는 효과도 이룬다.

본 실시형태에 있어서는, 비산 방지 부재(60)의 하부에 트레이(80)를 설치했지만, 비산 방지 부재(60) 이외의 부재라도 좋다. 또한, 비산 방지 부재(60) 없이 트레이(80)를 설치해도 좋다.

트레이(80)에 대해서는 판 형상 워크(10)의 측면을 연직 방향으로 공기가 흐르기 쉬운 형상이면, 다른 형상이어도 좋다.

본 실시형태에 있어서는, 한쌍의 뚜껑(81b)으로 홈(81a)을 형성했지만, 홈(81a) 형상의 파이프를 채용하는 등, 다른 방식이라도 좋다.

도 18A에 공기를 흡입하는 안내부(120)를 설치한 실시형태를 나타낸다. 도 18A의 A-A 단면도, B-B 단면도를, 각각 도 18B, 도 18C에 나타낸다. 안내부(120)는 뚜껑(121a, 121b)으로 구성되어 있다. 뚜껑(121a)의 사시도를 도 18D에 나타낸다. 뚜껑(121a)은 측면(122), 사면부(123) 및 반원부(125)를 갖고 있다. 측면(122)에는 복수의 관통구멍(122a)이 형성되어 있다. 뚜껑(121b)은 뚜껑(121a)과 대칭 형상이다.

뚜껑(121a, 121b)을 트레이(80)에 위치시키면, 사면(84, 85)과 사면부(123)가 합쳐져서 유지되고, 반원부(125)에 의해 종파이프 형상 부재(81)의 일부가 막아진다. 또한, 비산 방지 부재(60)를 2개로 나누고, 그 사이로부터 측면(122)으로 끼워진 거리(d1)의 간극이 종파이프 형상 부재(81) 상에 형성된다. 이것에 의해, 흡입구를 기판에 가까이 할 수 있으므로 흡인력을 높게 할 수 있다. 또한, 흡입구를 좁게 할 수 있으므로, 판 형상 워크(10) 하부의 공기의 유속을 높게 할 수 있다. 이것에 의해 물방울의 리바운드를 저감시킬 수 있다.

또, 뚜껑(121a, 121b)에 의해 트레이(80) 내에 물방울이 고인다는 문제는, 관통구멍(122a)을 형성함으로써 해소할 수 있다. 관통구멍(122a)의 위치 및 개수에 대해서는, 트레이(80)에 고이는 액체의 양에 따라 설계하면 좋다.

도 18에서는, 측면(122)을 갖는 뚜껑(121a, 121b)을 채용했지만, 별도 유지하는 기구를 설치하면 사면부(123)는 필수는 아니다. 또한, 측면(122)을 없애도 좋다. 이 경우에도, 반원부(125)만으로 구성된 뚜껑으로 흡입구를 좁게 할 수 있으므로, 판 형상 워크(10) 하부의 공기의 유속을 높게 할 수 있다.

또, 판 형상 워크(10)의 형상에 따라서는, 트레이(80)와의 거리가 변동하는 것도 고려된다. 이 경우에는, 도 18B에 나타내는 바와 같이, 트레이(80)를 높이 방향으로 슬라이드 가능하게 구성하면 좋다. 이러한 높이 조정은, 트레이(80)의 하부에 종파이프 형상 부재(81)의 내경과 거의 같은 외경의 파이프부(83)를 설치해도 되고, 주름상자 구조와 같이 하여도 좋다. 트레이(80)의 높이를 슬라이드 가능하게 유지하는 기구로서는 주지의 기구를 채용하면 좋다.

본 실시형태에 있어서는, 펌프(92)에 의한 흡인에 의해 처리실 내의 제어 풍속이 0.2∼0.5m/s로 되도록 했다. 이 정도로 함으로써 판 형상 워크(10)의 자세를 안정시키면서, 비산 방지 부재(60)의 표면에 의한 리바운드를 저감시킬 수 있다.

또, 처리실 내의 제어 풍속은 상기 범위에 한정되지 않는다.

또, 상기 공기 도입구(95) 및 펌프(92)는 각 처리실에 설치하면 좋다. 이것에 의해, 처리실 내에서 도 15의 화살표 R방향으로의 흐름(개구부(8) 방향으로의 흐름)은 거의 없어지고, 공기의 흐름은 거의 연직 방향으로 되므로, 얇은 판 형상 워크이여도 자세가 안정된다.

또한, 프레임(52)의 하단면이 처리액(Q)보다 하측에 위치하고 있다. 따라서, 방(94)으로의 공기의 연통은 종파이프 형상 부재(81)와 횡파이프 형상 부재(88)를 통해서 행해진다.

또, 40㎛보다 얇은 기판이면, 처리실 내에서 위로부터 하방향으로의 공기의 흐름이 존재해도, 이것에 직교하는 방향의 공기의 흐름이 있으면 기판이 흔들릴 경우가 있다. 특히, 액분출부(4)로부터의 처리액이 닿아 있지 않은 위치에서는, 이러한 문제가 있다. 그러나, 본 실시형태에 있어서는, 처리실 내의 상기 직교하는 방향의 흐름을 감소시켜지므로, 이러한 얇은 기판이여도 안정되게 반송할 수 있다.

이러한 제2실시형태와 같이, 각 처리실 내에서 거의 연직 방향의 공기의 흐름이 되도록 제어할 경우, 막형성 기구(110)를 채용함으로써 슬릿(8)으로부터 유입되는 기판 진행 방향에 평행한 방향에 있어서의 공기의 흐름을 줄일 수 있다. 따라서, 얇은 판 형상 워크이여도, 각 처리실에서 안정되게 반송할 수 있다.

이러한 일종의 액체막 커튼을 설치함으로써 개구부 면적은 적어지고, 연직 방향의 푸시풀 배기의 효과가 높아짐으로써 외기를 빨아들이기 어렵고, 부채질되기 어렵다. 또한, 처리실 내의 미스트가 외부로 새기 어렵다고 하는 효과도 있다.

3. (제3실시형태에 대해서)

상기 실시형태에서는 각 처리실 내에 막형성 기구(110)를 설치했을 경우에 대하여 설명했지만, 제3실시형태에서는 도 19에 나타내는 바와 같이, 막형성 기구(110)를 표면 처리 장치(400)의 로드측 및 언로드측에 각각 전조(303), 후조(315)를 설치하고, 거기에 막형성 기구(110)를 채용하고 있다. 막형성 기구(110)에 대해서는, 상기 실시형태와 같으므로 설명은 생략한다. 또, 이 경우에는 전조(303), 후조(315) 모두 수막을 채용하면 좋다.

전조(303)에 있어서의 막형성 기구(110)의 배치 위치를 도 20의 A, B에 나타낸다. 이와 같이, 로드부(302)와 제1수세조(304) 사이의 전조(303) 내에 막형성 기구(110)를 설치하고 있다. 이것에 의해, 로드부측으로부터의 외기 흡입을 방지하고 있다.

후조(315)에 있어서의 막형성 기구(110)의 배치 위치를 도 20의 C, D에 나타낸다. 이와 같이, 언로드부(316)와 제4수세조(314)의 사이의 후조(315) 내에 막형성 기구(110)를 설치하고 있다. 이것에 의해, 언로드부측으로부터의 외기 흡입을 방지하고 있다.

이와 같이, 로드부(302)의 내측, 및 언로드부(316)의 내측에, 판 형상 워크(10)가 반입되는 방향에 직교하는 면 상을 중력 방향을 따라 얇은 층상의 액체막을 형성함으로써 외기의 흡입을 방지할 수 있다.

4. (제4실시형태에 대해서)

상기 각 실시형태에서는 막형성 기구(110)를 거의 수평으로 설치했지만, 이 경우, 형성된 액체막(113a, 113b)은 자유 낙하한 액체의 표면장력의 영향에 의해, 하방으로 진행됨에 따라서 그것들(액체막(113a, 113b))의 중심선을 향해서, 그것들의 폭이 좁아져 간다(도 21A 참조). 이러한 문제를 해결하기 위해서, 도 21B에 나타내는 바와 같이, 중앙을 향해서 막형성 기구(110a, 110b)를 기울여서 배치하면 좋다. 이것에 의해, 형성된 액체막(113a, 113b)의 간극이 적어진다.

이 경우, 기울인 분만큼 액체막(113a, 113b) 의 외단부와 조체의 측벽 사이에 간극이 형성되므로, 이러한 간극을 메우기 위한 안내판(121)을 설치하도록 하여도 좋다(도 21의 C, D 참조). 이러한 안내판(121)은 간극을 메울 뿐만 아니라, 안내판(121)의 위를 따르도록 액체가 흐르므로, 표면장력이 작용해 액체막이 형성되기 쉽다고 하는 효과를 이룬다.

5.(기타의 실시형태에 대해서)

상기 제1, 제2실시형태에 있어서는, 막형성 기구(110)를 각 처리실 내의 입구와 출구 부근에 2개소 배치했지만, 도 22에 나타낸 바와 같이 각 처리실의 사이에 1개 설치하도록 하여도 좋다. 이것에 의해, 막형성 기구(110)의 수를 적게 할 수 있음과 아울러, 모든 막형성 기구로부터 물을 분출시키면 좋아진다. 또한, 형성된 액체막에 의해 물방울의 혼입을 확실하게 방지할 수 있으므로, 그 만큼, 각 처리실의 길이를 짧게 할 수 있다.

또, 처리실 밖에 막형성 기구(110)를 설치하면 물의 회수가 별도 필요하게 되지만, 이것은 예를 들면, 모든 막형성 기구로부터 분출시킨 물을 순환시키도록 하면 된다.

상기 각 실시형태에 있어서는 막형성 기구(110)를 클램프(15)와 거의 같은 높이에 배치했다. 그러나, 막형성 기구(110)는 클램프(15)보다 조금 높은 쪽이 바람직하지만, 이것보다 높아도 낮아도 좋다. 액분출부(4)와의 관계에 대해서도 같다.

예를 들면, 상기 각 실시형태에 있어서는 막형성 기구(110)를 파지한 클램프(15)를 통과시킬 수 있는 폭을 비우고 한쌍의 막형성 기구(110a, 110b)를 배치했지만, 클램프(15)의 위치를 피해서 배치함(높게 또는 낮게)으로써 이것보다 좁게 하는 것은 가능하다.

상기에 있어서는, 본 발명을 바람직한 실시형태로서 설명했지만, 한정을 위해서 사용한 것은 아니고, 설명을 위해서 사용한 것이며, 본 발명의 범위 및 정신을 일탈하지 않고, 첨부의 클레임의 범위에 있어서 변경할 수 있는 것이다.

8 : 슬릿
10 : 판 형상 워크
110 : 막형성 기구
113a : 액체막
113b : 액체막

Claims (13)

1. 시트 형상의 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제1의 처리실,
   상기 제1의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제1의 처리액을 푸어링하는 제1의 처리액 푸어링 기구,
   상기 제1의 처리실에 인접하고, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 제2의 처리실,
   상기 제2의 처리실에 설치되고, 상기 반입된 피처리물의 상부로부터 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역에 제2의 처리액을 푸어링하는 제2의 처리액 푸어링 기구,
   상기 제1의 처리실과 상기 제2의 처리실 사이에 설치된 구분벽으로서, 상기 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입 가능하게 하는 반입 가능 개구부를 갖는 구분벽을 구비하고,
   상기 제1의 처리실의 제1의 처리액 푸어링 기구와 상기 제2의 처리실의 제2의 처리액 푸어링 기구 사이에, 상기 피처리물이 반입되는 방향에 직교하는 면 상을 중력 방향을 따라 얇은 층상의 액체막을 형성시키는 막형성 기구를 설치한 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 막형성 기구는 상기 반입 가능 개구부 근방의 상기 제1의 처리실 또는 상기 제2의 처리실 내에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 시트 형상의 피처리물의 2개의 평면을 따라서 연직 방향으로 공기가 흐르도록 제어하는 공기 유량 제어 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 액체막은 상기 처리실에 있어서 상기 시트 형상의 피처리물에 푸어링하는 것과 같은 액체로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 액체막은 상기 반입 가능 개구부보다 좁은 막 개구부를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 막 개구부는 상기 시트 형상의 피처리물을 유지하는 유지부의 폭보다 넓은 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 시트 형상의 피처리물의 두께가 40㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 막 개구부는 한쌍의 배출부가 떨어져서 배치됨으로써 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 한쌍의 배출부가 상기 막 개구부를 향하도록 경사 방향으로 액을 배출하는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
10. 제 1 항에 있어서,
    반입 가능 개구부보다 넓게 간격이 빈 안내판으로서, 상기 액체막을 안내하는 안내판을 갖는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
11. 제 3 항에 있어서,
    상기 공기 유량 제어 기구는 공기 흡입구를 갖고 있고, 상기 공기 흡입구와 상기 피처리물의 거리를 조정하는 높이 조정 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
12. 시트 형상의 피처리물이 연직 방향으로 유지된 상태에서 반입되는 처리실이 반입 가능 개구부를 통해서 복수, 연속해서 배치되어 있고, 상기 각 처리실에서는 반입된 피처리물에 대하여 상기 연직 방향으로 유지된 피처리물의 표면 영역의 상부로부터 소정의 처리액이 푸어링되고, 이것에 의해, 상기 피처리물의 표면에 소정의 표면 처리가 이루어지는 표면 처리 장치에 있어서,
    상기 처리실 중, 입구측의 처리실의 반입 가능 개구부의 내측, 및/또는 출구측의 처리실의 반입 가능 개구부의 내측에, 상기 피처리물이 반입되는 방향에 직교하는 면 상을 중력 방향을 따라 얇은 층상의 액체막을 형성시키는 막형성 기구를 설치한 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치
13. 제 12 항에 있어서,
    상기 각 처리실은 상기 시트 형상의 피처리물의 2개의 평면을 따라서 연직 방향으로 공기가 흐르도록 제어하는 공기 유량 제어 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.

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