CN111424268B - 表面处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供表面处理装置，减少浇流式的表面处理装置的处理液的飞散量。在各处理室的入口侧和出口侧具有膜形成机构(110)。膜形成机构(110)以流量5L/min～10L/min喷射不间断的0.01MPa程度的层流状的液体。该液体膜防止在飞散防止部件(60)的表面反弹的液滴弹起而进入处理室。即使板状工件(10)晃动，由于由膜形成机构(110)成的膜是液体，因此即使板状工件(10)与液体膜碰撞，液体也会沿板状工件(10)流动。由此，会减小板状工件(10)的晃动。减小各处理室内的空气向搬运方向的流入量。

Description

表面处理装置

技术领域

本发明涉及浇流式的表面处理装置，特别涉及防止液体向相邻的处理室的飞溅。

背景技术

在专利文献1的图10中公开有在工件的下部设置飞散防止件的浇流式的表面处理装置。

专利文献1：日本特开2014-88600号公报

作为专利文献1的飞散防止件，公开有海绵、过滤器、纤维状材料(东洋软垫公司(TOYO CUSHION)制作的化纤锁(商标))(专利文献1的段落0085)，但这样不能实现足够的飞散防止效果。这是因为，在这些材料之中，都是使与上述飞散防止件的表面碰撞的液滴直接反弹。在产生该反弹时，液体有可能混合到相邻的处理室中。

为了解决该问题，考虑了使处理室间的搬入口的大小为与搬入的基板大致相同的方式，但在该情况下，基板稍微晃动就会与搬入口碰撞，使搬入停止。

发明内容

本发明解决上述问题，其目的在于，提供不会使液体向相邻的处理室混合，并且能够可靠地搬入的浇流式的表面处理装置。

并且目的还在于，提供即使是容易接受气流的薄板，也能够防止基板的摇晃的浇流式的表面处理装置。

1)本发明的表面处理装置具有：第1处理室，其供片状的被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入；第1处理液浇流机构，其设置于所述第1处理室，使第1处理液从被搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流；第2处理室，其与所述第1处理室相邻，供所述被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入；第2处理液浇流机构，其设置于所述第2处理室，使第2处理液从被搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流；以及区分壁，其是设置于所述第1处理室与所述第2处理室之间的区分壁，具有能够使所述被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入的搬入开口部，在所述第1处理室的第1处理液浇流机构与所述第2处理室的第2处理液浇流机构之间设置有膜形成机构，该膜形成机构在与所述被处理物被搬入的方向垂直的面上沿重力方向形成薄层状的液体膜。

因此，能够提供液体不会向相邻的处理室混合并且能够小型化的浇流式的表面处理装置。

2)在本发明的表面处理装置中，所述膜形成机构在所述第1处理室内或所述第2处理室内设置于所述搬入开口部附近。

因此，能够提供液体不会向相邻的处理室混合并且能够小型化的浇流式的表面处理装置。

3)在本发明的表面处理装置中，该表面处理装置具有空气流量控制机构，该空气流量控制机构控制成使空气沿所述片状的被处理物的2个平面在铅垂方向上流动。所述膜形成机构减少与所述铅垂方向上的气流碰撞的从所述搬入开口部流入的空气。

4)在本发明的表面处理装置中，所述液体膜由如下液体构成，该液体是与在该处理室中向所述片状的被处理物浇流的液体相同的液体。

因此，在相同的处理室内中能够使用相同的回收机构进行回收。

5)在本发明的表面处理装置中，所述液体膜具有比所述搬入开口部窄的膜开口部。因此，能够减少与所述铅垂方向上的气流碰撞的从所述搬入开口部流入的空气。

6)在本发明的表面处理装置中，所述膜开口部比对所述片状的被处理物进行保持的保持部的宽度大。因此，能够避开对所述片状的被处理物进行保持的保持部来配置所述膜形成机构。

7)在本发明的表面处理装置中，所述片状的被处理物的厚度为40μm以下。即使是这种容易受到气流的影响的基板，也能够稳定地进行搬运。

8)在本发明的表面处理装置中，所述膜开口部由一对排出部分离配置而形成。因此，在以悬挂方式搬运所述片状的被处理物的情况下，能够空出用于搬运的空间。

9)在本发明的表面处理装置中，所述一对排出部朝着所述膜开口部沿倾斜方向排出所述液体。因此，能够防止因膜表面张力导致随着所述液体向下方行进，所述液体膜分离。

10)在本发明的表面处理装置中，该表面处理装置具有对所述液体膜进行引导的引导板，该引导板隔开了比搬入开口部大的间隔。

由此，容易形成所述液体膜。

11)在本发明的表面处理装置中，所述空气流量控制机构具有空气吸入口，并具有对所述空气吸入口与所述被处理物之间的距离进行调整的高度调整机构。因此，能够根据所述被处理物的大小对所述吸入口与所述被处理物的距离进行调整。

12)在本发明的表面处理装置中，隔着搬入开口部连续配置多个供片状的被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入的处理室，在所述各处理室中，针对被搬入的被处理物从沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域的上部浇流规定的处理液，由此，对所述被处理物的表面进行规定的表面处理，其特征在于，在所述处理室中的入口侧的处理室的搬入开口部的内侧和/或出口侧的处理室的搬入开口部的内侧设置有膜形成机构，该膜形成机构在与所述被处理物被搬入的方向垂直的面上沿重力方向形成薄层状的液体膜。因此，能够减少向所述各处理室的空气流入。由此，使所述片状的被处理物的姿态稳定。

13)在本发明的表面处理装置中，所述各处理室具有空气流量控制机构，该空气流量控制机构控制成使空气沿该所述片状的被处理物的2个平面在铅垂方向上流动。因此，容易使所述片状的被处理物的姿态稳定。

针对“从上部向下部浇流”，只要结果为成为从上部向下部的浇流状态即可，包含直接向所述被处理物浇流，直接或隔着对所述被处理物进行保持的保持部间接地浇流的情况。

通过实施方式和附图来明确本发明的特征、其他目的、用途、效果等。

附图说明

图1是从上方观察表面处理装置300的配置图。

图2是从α方向观察表面处理装置300的侧视图。

图3是构成表面处理装置300的一部分的无电解镀铜槽200的图1的β-β线剖视图。

图4是示出从上方观察无电解镀铜槽200的状态的图。

图5是示出液体喷出部4的结构的图。

图6是示出从液体喷出部4的喷出口6喷出的处理液Q的流动的图。

图7是示出将变流部件40设置于液体喷出部4的改良例的图。

图8是与变流部件40碰撞前后的处理液Q的液流的剖视图。

图9是示出用于对搬运机构18的移动动作进行控制的连接关系的图。

图10是示出第3水洗槽312与无电解镀铜槽200之间的导轨14的截面的图。

图11示出飞散防止部件60的详细情况(立体图、主要部位放大图)。

图12是对膜形成机构110的配置位置进行说明的图。

图13是膜形成机构110a的概要立体图。

图14是表面处理装置410的主视图。

图15是示出从图14箭头γ方向观察到的板状工件10与托盘80的位置关系的图。

图16是示出托盘80的详细情况的图。

图17是示出从图16的箭头δ1观察到的板状工件10与托盘80的位置关系的图。

图18是对设置有引导部120的实施方式进行说明的图。

图19是从上方观察表面处理装置400的配置图。

图20是示出设置于处理槽303、315的膜形成机构110的图。

图21是使膜形成机构110倾斜的实施方式。

图22是将膜形成机构110设置于处理室外的实施方式。

标号说明

8：缝隙；10：板状工件；110：膜形成机构；113a：液体膜；113b：液体膜。

具体实施方式

(1.第1实施方式)

1.1表面处理装置300的结构

首先，使用图1和图2，对本发明的表面处理装置300的结构进行说明。另外，图1是从上方观察表面处理装置300的配置图。图2是从α方向观察图1所示的表面处理装置300的侧视图。另外，在图1中，省略了图2所示的搬运用挂钩16和搬运机构18。

如图1所示，在表面处理装置300中，沿作为被处理物的板状工件10(图2)的搬运方向X依次设置有装载部302、第1水洗槽304、去污槽306、第2水洗槽308、前处理槽310、第3水洗槽312、无电解镀铜槽200、水洗槽314、卸载部316，按照该顺序进行无电解镀铜所需要的各工序。在各槽中，形成图2所示的搬运用挂钩16的通路的缝隙8(图1)设置为沿铅垂方向延伸。另外，后面对各工序的详细情况进行叙述。

表面处理装置300还具有：搬运用挂钩16，其通过夹具15(图2)进行把持，沿水平方向搬运被沿铅垂方向保持的板状工件10；以及搬运机构18，其将搬运用挂钩16向各槽内搬运。另外，图2示出板状工件10通过装载部302而被安装于搬运用挂钩16的状态。

在通过装载部302而安装好板状工件10之后，搬运机构18开始向水平方向X的移动，由此，板状工件10经过各槽内(无电解镀铜槽200等)。之后，搬运机构18最终在卸载部316停止，将实施电镀处理后的板状工件10从搬运用挂钩16卸下。

图3是构成表面处理装置300的一部分的无电解镀铜槽200(图1)的β-β剖视图。图4是示出从上方观察图3所示的无电解镀铜槽200的状态的图。另外，在图4中，省略搬运用挂钩16和搬运机构18。

图3所示的无电解镀铜槽200具有：槽体2，其载置于框架56之上；以及循环泵50，其向液体喷出部4提供贮留于槽体2内的底部的处理液Q(无电解镀铜液)，并使该处理液Q循环。

为了处理板状工件10，在无电解镀铜槽200等各槽的内部设置有具有喷出口6的液体喷出部4。如图3所示，从液体喷出部4的喷出口6朝向板状工件10使处理液Q相对于水平面向斜上方喷出。由此，在槽体2的内部，处理液Q(无电解镀铜液)与被搬运用挂钩16把持的板状工件10的上部碰撞。其结果为，当处理液Q在板状工件10上扩展而移动的期间，能够使处理液Q附着于板状工件10的表面。另外，在下文对液体喷出部4的详细的构造进行叙述。

这样，板状工件10未浸渍于贮留的处理液Q之中，采用了使循环的处理液Q在板状工件10上扩展的方式，从而相比于浸渍式的结构，能够减少表面处理装置300整体所使用的处理液Q的总量。

飞散防止部件60被由网状部件构成的支承部62保持。在后文中对飞散防止部件60的结构进行叙述。

搬运机构18由图3所示的导轨12、14、支承部件20以及搬运辊子22、24构成。在支承部件20的底部安装有用于使搬运机构18在导轨12、14上移动的搬运辊子22、24。搬运辊子22、24被电动机(未图示)驱动。另外，导轨12、14分别固定于框架52、54上。由于以此方式沿水平方向搬运，因此不需要板状工件的升降动作，能够使装置的高度较低，因此实现省空间化。

如图3所示，搬运用挂钩16固定于以横跨架设的方式安装在2条导轨12、14上的支承部件20的下方。由此，能够减小板状工件10的振动，并减小支承搬运机构18的构造体(导轨12、14、框架52、54等)的形变。

另外，在图4所示的导轨12、14上的规定位置埋入有多个磁铁21。搬运机构18具有用于对导轨12、14上的磁铁21进行检测的磁传感器19。磁传感器19设置于支承部件20的下方(导轨14侧的1个部位)。

由此，能够使在无电解镀铜槽200内移动的搬运用挂钩16停止于规定位置(例如，图4所示的无电解镀铜槽200的中央位置)。

如图3所示，设置于各槽的循环泵50与槽体2的底部连接，槽体2与液体喷出部4经由循环泵50连通(由虚线箭头示出)。由此，贮留于槽体2的底部的处理液Q通过循环泵50而再次向液体喷出部4供给。

槽体2由侧壁2a、2b和底部2c构成，该侧壁2a、2b和该底部2c是通过对PVC(聚氯乙烯)等材料进行加工、粘接等而进行组装，成型为一体的部件的。在槽体2中，下方的底部2c接受与板状工件10碰撞后的处理液。另外，在槽体2中，图1所示的无电解镀铜槽200以外的各槽也使用相同形状的构造。即，各槽的构造相同，只是各槽所使用的处理液(镀液、去污液、清洗水等)的种类不同。

另外，在图3所示的槽体2的侧壁2b上成型有沿铅垂方向延伸的缺口，即缝隙8。由此，在对搬运用挂钩16进行搬运时，能够使板状工件10通过缝隙8。另外，如果使缝隙8的下端8a过低，可能会使储存于槽体2的处理液Q溢出而向外部流出。

因此，需要将处理液Q的提供量调整为，使贮留于槽体2的处理液Q的液面H(图3)总是位于比缝隙8的下端8a靠下的位置。在该实施方式中，以使贮留于槽体2的处理液Q的液面H(图3)位于比缝隙8的下端8a靠下的位置的方式，决定使用的处理液Q的总量，并且经由循环泵50使槽体2与液体喷出部4连通。

[液体喷出部4的构造]

在图5中示出液体喷出部4的构造。图5是图3所示的液体喷出部4的放大图。

如图5所示，液体喷出部4被2个U字型的紧固件F2紧固安装在基座F1上，该基座F1是将方管件固定设置于侧壁2a上而得到的。另外，在该实施方式中，对液体喷出部4以能够手动进行旋转的适当的强度进行紧固。

如图4所示，液体喷出部4由在内部具有空间的作为管部件的圆管构成，其长度方向的两端被密闭。另外，通过隔着规定间隔沿长度方向配置的多个孔构成喷出口6。另外，在液体喷出部4上连结有贯通槽体的侧壁2a而连通的挠性管T1和配管T2。配管T2与泵50的排出口相连。由此，能够使从泵50接受的处理液Q从喷出口6喷出。

如图6的A所示，喷出口6的喷出角度θ相对于水平面L朝向斜上方向(例如，5°～85°的范围)设置。因此，从喷出口6喷出的处理液Q的液流沿抛物线移动。顶点Z的位置由处理液Q的喷出流速V和喷出角度θ决定。另外，处理液Q的喷出流速V取决于来自泵50的压力和喷出口6的大小。

在该实施方式中，将喷出角度θ设计为，在将液体喷出部4(半径r)配置于距板状工件10为规定距离D的位置的条件下，以喷出流速V喷出的处理液Q在抛物线的顶点Z与板状工件10碰撞。在图6的B所示的抛物线的顶点Z的位置，没有处理液Q的铅垂方向的速度成分Vy，仅留下喷出时的水平方向的速度成分Vx，因此能够减少气泡的产生。

此外，由于液流与板状工件10的表面垂直地碰撞，因此与板状工件10碰撞的处理液Q在表面上呈同心圆状均匀扩展。另外，也可以在顶点附近碰撞，即在顶点的前方或后方的规定距离的位置碰撞。

在不使处理液Q相对于水平面L向斜上方向喷出，而向水平方向或水平方的下方喷出的情况下，处理液Q的铅垂方向的速度成分Vy持续增加，在合成速度V中该沿垂直方向的速度成分Vy也相应增加。其结果为，与板状工件10碰撞的处理液Q会向y方向飞散而容易产生气泡。

像以上那样，通过相对于水平面L朝向斜上方向喷出处理液，抑制在与工件碰撞时发生的泡沫的产生，从而能够防止处理液Q中的溶解氧量的增加。

此外，如图7所示，也可以为，以覆盖喷出口6的方式，将用于改变喷出的处理液Q的流动朝向的变流部件40安装于液体喷出部4的外周。另外，将变流部件40与喷出口6隔开间隔设置。

图7是示出被变流部件40改变喷出的处理液Q的朝向的状态的放大图，图8的A是喷出的处理液Q(与变流部件40碰撞前)的γ1剖视图，图8的B是与变流部件40碰撞后的处理液Q的γ2剖视图。

如果使用变流部件40，则从各喷出口6喷出的液流(图8的A所示的截面积)与变流板碰撞，截面积变大(图8的B)。因此，在与板状工件10碰撞时，来自相邻的各喷出口6的液流连结(图8的B)，从而能够实现与板状工件10的表面碰撞的处理液Q的均匀化。

1.2表面处理装置300的各工序的内容

使用图9等，对在表面处理装置300中进行的各工序的内容进行说明。另外，在该实施方式中，通过各槽的循环泵50使在表面处理装置300的各槽内所使用的处理液Q一直进行循环。

图9是示出对搬运机构18的动作进行控制的控制部的连接关系的图。如图9所示，磁传感器19(图4)与PLC 30连接，其检测到达配置在检测导轨14上的磁铁的上部的情况。将磁传感器19所检测的信号提供给PLC 30。接收到信号的PLC 30使电动机28打开/关闭，对搬运辊子22、24的动作(前进、后退、停止等)进行控制。

首先，在图1所示的装载部302中，通过作业人员或安装装置(未图示)将作为镀膜处理对象的板状工件10安装于搬运用挂钩16(图2所示的状态)。

然后，在作业人员按下搬运开关(未图示)时，搬运用挂钩16沿导轨12、14在第1水洗槽304内移动。即，PLC 30使电动机28打开，对搬运辊子22、24进行前进驱动。

接下来，在第1水洗槽304中，通过使水与与板状工件10的正反两面碰撞来进行水洗处理。搬运用挂钩16在第1水洗槽304中停止规定时间，然后向去污槽306内移动。

例如，在PLC 30从磁传感器19接收表示已到达第1水洗槽304的中央的信号之后，使电动机28停止1分钟。然后，使电动机28打开，对搬运辊子22、24进行前进驱动。另外，在第2水洗槽308、第3水洗槽312、第4水洗槽314中也进行同样的控制。

在去污槽306中，搬运用挂钩16停止规定时间(例如，5分钟)，使去污处理液(溶胀液、树脂蚀刻液、中和液等)从正反两面与板状工件10碰撞。这里，去污处理是去除在板状工件10开孔等时留下的加工时的污迹(树脂)的处理。

例如，PLC 30在从磁传感器19接收到表示已到达去污槽306的中央的信号之后，使电动机28停止5分钟。然后，使电动机28打开，对搬运辊子22、24进行前进驱动。在以下的前处理槽310中也进行同样的控制。

接下来，在第2水洗槽308中，通过使水从正反两面与板状工件10碰撞来进行水洗处理。搬运用挂钩16在第2水洗槽308中停止规定时间(例如，1分钟)，然后，向前处理槽310内移动。

在前处理槽310中，搬运用挂钩16停止规定时间(例如，5分钟)，并使前处理液从正反两面与板状工件10碰撞。

接下来，在第3水洗槽312中，通过使水从正反两面与板状工件10碰撞来进行水洗处理。搬运用挂钩16在第3水洗槽312中停止规定时间(例如，1分钟)。

然后，在移动至无电解镀铜槽200(图3、图4)内之前，进行规定次数的以下所示的往复移动。这是因为，当在板状工件10进行通孔等孔的开设情况下，在该孔中存有空气(气泡)而有可能使使处理液Q无法附着在板状工件10上，因此在进行无电解镀铜处理之前，需要切实地去除空气(气泡)。在图10中示出第3水洗槽312与无电解镀铜槽200(图1)之间的导轨14的剖视图。如图10和图1所示，在导轨14上设置有1个作为冲击产生部的凸部26。能够利用搬运辊子24越过该凸部26时产生的冲击来去除处理液Q的水分。

例如，PLC 30在从磁传感器19接收到表示图10所示的磁铁21到达中央(即，搬运辊子24越过凸部26)的情况的信号之后，对电动机28进行控制以使得驱动搬运辊子22、24后退规定距离(图10所示的Y1方向)。然后，对搬运辊子22、24进行前进驱动直至再次检测到磁铁21(图10所示的Y2方向)。在重复进行规定次数(例如，3次往复)的上述前后移动之后，停止于无电解镀铜槽200内的中央位置(图4)。在无电解镀铜槽200中，搬运用挂钩16停止规定时间，使无电解镀铜液从正反两面与板状工件10碰撞。

例如，PLC 30在从磁传感器19接收到表示已到达无电解镀铜槽200的中央的信号之后，使电动机28停止5分钟。之后，使电动机28打开，对搬运辊子22、24进行前进驱动。

接下来，在第4水洗槽314中，通过使水从正反两面与板状工件10碰撞来进行水洗处理。搬运用挂钩16在第4水洗槽314中停止规定时间(例如，1分钟)，然后，向卸载部316移动。

最后，使移动至卸载部316的搬运用挂钩16停止。例如，PLC 30在从磁传感器19接收到表示已到达卸载部316的信号之后，使电动机28停止。然后，由作业人员等将板状工件10从搬运用挂钩拆下。由此，结束无电解镀膜处理的一系列工序。

另外，在上述实施方式中，表面处理装置300采用了具有多个槽(图1所示的第1水洗槽304、去污槽306、前处理槽310、无电解镀铜槽200等)的结构，但表面处理装置300也可以采用具有这些槽中的至少1个槽的结构。

另外，在上述实施方式中，通过表面处理装置300对板状工件10进行了无电解镀铜，但也可以对板状工件10进行其他的无电解镀膜(例如，无电解镀镍、无电解镀锡、无电解镀金等)。

另外，不限定搬运机构18的结构。

使用图11对飞散防止部件60进行说明。飞散防止部件60通过连结多个空出六边形的孔的筒状部件而构成。另外，飞散防止部件60的形状不限定于此，也可以采用通过像飞散防止部件60那样配置多个6边形以外的多边或圆形的筒状部件而成的蜂巢类似构造，即，也可以采用将多个纵长的个别筒状部件以使开口部朝向铅垂方向的方式配置而成的形状。像后述那样，只要使液滴顺畅地通过即可。

利用该蜂巢部件，能够减少在处理液Q的表面弹起的液滴的反弹。其理由如下。穿过飞散防止部件60的贯通孔(未图示)后的液滴的一部分被处理液Q的表面反弹。此时，被反弹的液滴的一部分向倾斜方向反弹，因此与飞散防止部件60的贯通孔的内壁碰撞。利用像这样的机构，进一步减少了反向穿过贯通孔的被反弹的液滴的量。

在采用以往的海绵或纤维状材料等的情况下，能够防止穿过飞散防止部件后的飞散，但存在在飞散防止部件表面上的飞散较多的问题。上述飞散防止部件60能减少该表面上的飞散。

另外，在飞散防止部件60的表面会产生稍许飞散。为了防止该飞散，也可以像图12那样在各处理室的入口侧和出口侧采用膜形成机构110。另外，在图12中，省略了板状工件10的悬挂机构。

对膜形成机构110进行说明。如图12的B所示，膜形成机构110由膜形成机构110a和膜形成机构110b构成。

对膜形成机构110a进行说明。在图12的A中，以长方形示出，但实际上，如图13(立体图)所示，在膜形成机构110a中，遍及长度方向的喷嘴111形成为凸部。从该喷嘴111以流量5L/min～10L/min喷射不间断的0.01MPa程度的压力的层流状的液体(水或处理液)。由此，形成图13所示的液体膜113a。膜形成机构110b也是同样。

如图12的B所示，膜形成机构110a与膜形成机构110b以彼此分开了距离d11的方式被配置。这是因为，在表面处理装置300中，板状工件10是以被悬挂的状态搬运至处理室内的，因此需要能够供该机构通过的宽度。

在图12的A中，在无电解镀铜槽200中喷射镀液，在水洗槽314中喷射水。在本实施方式中，作为膜形成机构110a和膜形成机构110b，采用株式会社共立合金制作所制造的水刀(Water Knife)WK型喷嘴，但不限定于此。

从膜形成机构110a和膜形成机构110b喷射的液体防止在飞散防止部件60的表面反弹并弹起的液滴进入相邻的处理室。

在本实施方式中，在各处理室的入口侧和出口侧分别采用了膜形成机构110，但也可以在其中任意一侧采用该膜形成机构110。

在本实施方式中，可以使距离d11比缝隙8的宽度d12小。

这是因为，即使在板状工件10晃动并且晃动得比距离d11大的情况下，由膜形成机构110形成的膜是液体，因此即使与板状工件10碰撞，也会沿板状工件10流动。由此，还具有减小板状工件10的晃动的功能。

另外，所述膜减小各处理室内的空气的向搬运方向的流动。

这是因为，开口部比缝隙的宽度d12窄，因此相应地能够阻止空气从外部向处理室内流入。

在本实施方式中，为了防止飞散防止部件60的表面的飞散，而采用膜形成机构110，对于膜形成机构110而言，在设置有其他的飞散防止部件的情况下当然能够采用该膜形成机构110，在不存在飞散防止机构的表面处理装置中也可以应用膜形成机构110。例如，在不存在飞散防止机构、液滴在板状工件10的下部所贮留的处理液Q的表面弹起的类型的表面处理装置，或者液滴的落下部位是地面的表面处理装置等中都能够应用该膜形成机构110。

2.(关于第2实施方式)

使用图14，对在处理室内具有使空气从上向下流动的机构的表面处理装置410进行说明。

在本实施方式中，在飞散防止部件60的下部设置像图14所示那样的形状的托盘80来对气流进行控制。图15是从图14的箭头γ方向观察的图。另外，在图15中，为了便于理解，省略框架54而进行图示。

如图15所示，在板状工件10的下部并且在缝隙8的附近的两个部位设置托盘80。这是为了减少在缝隙8的附近向相邻的处理室的飞溅。膜形成机构110a、b与第1实施方式相同，因此省略说明。

使用图16对托盘80的形状进行说明。在图16中，为了便于说明，针对飞散防止部件60以虚线示出相对位置。在框82的端部连续形成有平面82a。从平面82a的内端部沿x方向形成有斜面84。从斜面84的端部沿y方向形成有斜面85。另外，在纵管状部件81的上表面镶嵌有一对盖81b，该一堆盖81b形成沟槽81a。

在本实施方式中，2个斜面84之间的沟槽81a的距离d1为约2mm。对于该宽度的确定，只要使纵管状部件81每单位时间能吸入的允许量比托盘80每单位时间收集的液体的量多即可。但是，如果使距离d1过大，在抽吸空气的流量(流量(Q)＝开口面积(A)＊流速(V))恒定的状态下，流速会降低，因此优选为5mm以下。

在图17中示出从图14箭头δ1方向观察的箭头方向视图。托盘80配置为，在像这样从上方观察时，斜面84位于板状工件10的两侧，由2个斜面84的下端部形成的沟槽的方向与板状工件10平行。

在斜面85的端部连结有纵管状部件81。如图14所示，连接成横管状部件88与纵管状部件81的中途连通。

在本实施方式中，利用设置于管93的末端的泵92，将空间94抽吸为负压状态。

在处理室的上部设置有空气吸入口95。因此，通过上述抽吸从空气吸入口95吸入的空气从飞散防止部件60的贯通孔61经由斜面84、85而向纵管状部件81、横管状部件88流动。此外，与收集到的液体一同从横管状部件88向空间94排出。

另外，如图17所示，托盘80配置为，斜面84位于板状工件10的两侧，由2个斜面84的下端部形成的沟槽的方向与板状工件10平行。因此，在通过所述泵92进行抽吸时，产生图14的箭头δ2方向的气流。这样，通过在板状工件10的下部产生箭头δ2方向的气流，即使采用较薄的板状工件10也会实现使姿态稳定的效果。

在本实施方式中，在飞散防止部件60的下部设置了托盘80，但也可以是飞散防止部件60以外的部件。另外，也可以不设置飞散防止部件60而设置托盘80。

对于托盘80，只要采用使空气容易在板状工件10的侧面沿铅垂方向流动的形状即可，可以采用不同的形状。

在本实施方式中，由一对盖81b形成了沟槽81a，但也可以采用沟槽81a的形状的管等其他方式。

在图18A中示出设置了吸入空气的引导部120的实施方式。图18B、C分别示出图18A的A-A线剖视图、B-B线剖视图。引导部120由盖121a、b构成。图18D示出盖121a的立体图。盖121a具有侧面122、斜面部123以及半圆部125。在侧面122设置有多个贯通孔122a。盖121b和盖121a呈对称形状。

如果使盖121a、121b位于托盘80，则斜面84、85与斜面部123被贴合保持，纵管状部件81的一部分被半圆部125封闭。另外，将飞散防止部件60分为2个，从该飞散防止部件60之间到纵管部件81上形成隔有侧面122的距离为d1的间隙。由此，能够使吸入口靠近基板，因此能够提高抽吸力。另外，能够使吸入口较窄，因此能够提高板状工件10下部的空气的流速。由此，能够减少液滴的反弹。

另外，能够通过设置贯通孔122a来解决因盖121a、121b使液滴在托盘80内积存的问题。对于贯通孔122a的位置和个数，只要根据积存于托盘80的液体的量来设计即可。

在图18中，采用了具有侧面122的盖121a、b，但如果另外设置了进行保持的机构，则斜面部123不是必须的。此外，也可以没有侧面122。在该情况下，能够利用仅由半圆部125构成的盖使吸入口变窄，因此能够提高板状工件10下部的空气的流速。

另外，考虑板状工件10的形状会导致与托盘80之间的距离的变动。在该情况下，如图18B所示，只要将托盘80构成为沿高度方向滑动自如即可。对于该高度调整，可以在托盘80的下部设置具有与纵管部件81的内径大致相同的外径的管部83，也可以采用波纹构造。作为将托盘80的高度保持为滑动自如的机构，只要采用公知的机构即可。

在本实施方式中，通过泵92的抽吸，使处理室内的控制风速为0.2m/s～0.5m/s。通过设置成该程度，能够在使板状工件10的姿态稳定的同时，减少飞散防止部件60的表面的反弹。

另外，处理室内的控制风速不限定于上述范围。

另外，上述空气吸入口95和泵92只要设置于各处理室即可。由此，在处理室内几乎没有向图15箭头R方向的流动(向开口部8方向的流动)，气流几乎是沿铅垂方向，因此即使是薄板状工件，也可使姿态稳定。

另外，框架52的下端面位于比处理液Q靠下侧的位置。因此，空气向空间94的连通经由纵管状部件81和横管状部件88来进行。

另外，如果是比40μm薄的基板，则即使在处理室内存在从上向下方向的气流，如果存在与之垂直的方向的气流，则基板有时也会摇晃。特别是在不与在来自液体喷出部4的处理液碰撞的位置，更是存在该问题。但是，在本实施方式中，减少了处理室内的上述垂直的方向的流动，因此即使是像这样的较薄的基板，也能够稳定地进行搬运。

像该第2实施方式那样，当控制成空气在各处理室内几乎沿铅垂方向流动的情况下，通过采用膜形成机构110，能够减少与从缝隙8流入的基板行进方向平行的方向的空气的流动。因此，即使是较薄的板状工件，也能够在各处理室中稳定地搬运。

通过设置这种液体膜帘，开口部面积减小，提高铅垂方向的吹吸式排气的效果，从而不容易吸入外部气体，不容易被吹动。此外，还具有处理室内的尘雾不容易向外部泄漏的效果。

3.(关于第3实施方式)

在上述实施方式中，对在各处理室内设置膜形成机构110的情况进行了说明，但在第3实施方式中，如图19所示，在表面处理装置400的装载侧和卸载侧分别设置前槽303、后槽315，在该前槽303和该后槽315中采用膜形成机构110。膜形成机构110与上述实施方式相同，因此省略说明。另外，在该情况下，在前槽303、后槽315也可以采用水膜。

图20的A、B示出前槽303的膜形成机构110的配置位置。这样，在装载部302与第1水洗槽304之间的前槽303内设置膜形成机构110。由此，防止从装载部侧吸入外部气体。

图20的C、D示出后槽315的膜形成机构110的配置位置。这样，在卸载部316与第4水洗槽314之间的后槽315内设置膜形成机构110。由此，防止从卸载部侧吸入外部气体。

这样，在装载部302的内侧和卸载部316的内侧，在与板状工件10被搬入的方向垂直的面上沿重力方向形成薄层状的液体膜，从而能够防止外部气体的吸入。

4.(关于第4实施方式)

在上述各实施方式中，将膜形成机构110大致设置成水平，但在该情况下，形成的液体膜113a、113b受到自由落下的液体的表面张力的影响，随着向下方行进，它们(液体膜113a、113b)的宽度朝向它们的中心线而变窄(参照图21的A)。为了解决该问题，如图21的B所示，只要将膜形成机构110a、110b朝向中央倾斜配置即可。由此，形成的液体膜113a、113b的间隙变小。

在该情况下，与倾斜量对应，在液体膜113a、113b的外端部与槽体的侧壁之间相应地形成有间隙，因此也可以设置用于挡住该间隙的引导板121(图21的C、D参照)。该引导板121不仅挡住间隙，还使液体以在引导板121之上扩展的方式流动，因此实现使表面张力起作用而容易形成液体膜的效果。

5.(其他的实施方式)

在上述第1、第2实施方式中，膜形成机构110在各处理室内的入口和出口附近配置有两处，如图22所示，也可以在各处理室之间设置1个。由此，能够减少膜形成机构110的数量，并且全部膜形成机构都只要喷出水即可。另外，由于通过形成的液体膜能够可靠地防止液滴的混入，因此能够相应地缩短各处理室的长度。

另外，如果在处理室外设置膜形成机构110，则需要另外设置水的回收的结构，但例如只要使从全部膜形成机构喷出的水循环即可。

在上述各实施方式中，将膜形成机构110配置为与夹具15高度大致相同。优选使膜形成机构110比夹具15稍高，但设置成比夹具15高或低都可以。与液体喷出部4之间的关系也是如此。

例如，在上述各实施方式中，以隔开能够供对膜形成机构110进行把持的夹具15通过的宽度的方式来配置一对膜形成机构110a、b，但可以通过配置在避开夹具15的位置(高或低)，而使该宽度更窄。

以上，将本发明作为优选的实施方式进行了说明，但这不用于对本发明进行限定，仅用于进行说明，只要不脱离本发明的范围和精神，能够在附加的权利要求的范围内进行变更。

Claims (13)

1.一种表面处理装置，其特征在于，该表面处理装置具有：

第1处理室，其供片状的被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入；

第1处理液浇流机构，其设置于所述第1处理室，使第1处理液从被搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流；

第2处理室，其与所述第1处理室相邻，供所述被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入；

第2处理液浇流机构，其设置于所述第2处理室，使第2处理液从被搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流；以及

区分壁，其是设置于所述第1处理室与所述第2处理室之间的区分壁，具有能够使所述被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入的搬入开口部，

在所述第1处理室的第1处理液浇流机构与所述第2处理室的第2处理液浇流机构之间设置有膜形成机构，该膜形成机构在与所述被处理物被搬入的方向垂直的面上沿重力方向形成薄层状的液体膜。

2.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

所述膜形成机构在所述第1处理室内或所述第2处理室内设置于所述搬入开口部附近。

3.根据权利要求1或2所述的表面处理装置，其特征在于，

该表面处理装置具有空气流量控制机构，该空气流量控制机构控制成使空气沿所述片状的被处理物的2个平面在铅垂方向上流动。

4.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

所述液体膜由如下液体构成，该液体是与在该处理室中向所述片状的被处理物浇流的液体相同的液体。

5.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

所述液体膜具有比所述搬入开口部窄的膜开口部。

6.根据权利要求5所述的表面处理装置，其特征在于，

所述膜开口部的宽度比对所述片状的被处理物进行保持的保持部的宽度大。

7.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

所述片状的被处理物的厚度为40μm以下。

8.根据权利要求5所述的表面处理装置，其特征在于，

所述膜开口部由一对排出部分离配置而形成。

9.根据权利要求8所述的表面处理装置，其特征在于，

所述一对排出部以朝着所述膜开口部的方式沿倾斜方向排出液体。

10.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

该表面处理装置具有对所述液体膜进行引导的引导板，该引导板隔开了比搬入开口部大的间隔。

11.根据权利要求3所述的表面处理装置，其特征在于，

所述空气流量控制机构具有空气吸入口，并具有对所述空气吸入口与所述被处理物之间的距离进行调整的高度调整机构。

12.一种表面处理装置，

隔着搬入开口部连续配置多个供片状的被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入的处理室，在各所述处理室中，针对被搬入的被处理物从沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域的上部浇流规定的处理液，由此，对所述被处理物的表面进行规定的表面处理，其特征在于，

在所述处理室中的入口侧的处理室的搬入开口部的内侧和/或出口侧的处理室的搬入开口部的内侧设置有膜形成机构，该膜形成机构在与所述被处理物被搬入的方向垂直的面上沿重力方向形成薄层状的液体膜。

13.根据权利要求12所述的表面处理装置，其特征在于，

各所述处理室具有空气流量控制机构，该空气流量控制机构控制成使空气沿所述片状的被处理物的2个平面在铅垂方向上流动。