JP3992234B2 - 連続式めっき装置における水洗装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平板状のワークを垂直な姿勢で移送しながらめっきする連続式めっき装置においてワークを水洗処理する連続式めっき装置における水洗装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】
特表平９−５０５６３８号公報
【特許文献２】
特開平１０−２０４６９１号公報
【０００３】
プリント基板のような平板状ワークをめっきする装置としては、治具が不要であり、浴液の噴流機構を装備することにより高速のめっきができるというような利点があることから、平板状ワークを垂直な姿勢で連続的に移送する連続式めっき装置が使用されることが多い。こうした平板状ワークを垂直な姿勢で連続的に移送する連続式めっき装置では、処理液面より下方の処理槽側面から平板状ワークが出入りすることから、このワークの出入り口からの処理液の漏出が問題であり、例えば特表平９−５０５６３８号公報に示されるような処理液の漏出を防止する機構を備えた処理装置が考えられている。
【０００４】
この特表平９−５０５６３８号公報に開示されているのは、処理槽の端壁に設けたワークを通過させるためのスリットに対応して垂直な向きでルーズに処理浴内に対をなして配置したローラー等をシールとして配置し、これらのローラー等が液圧により互いに又はその都度通過するワークと処理槽の端壁とに圧着されるようにしたものである。また、特開平１０−２０４６９１号公報には一対のロールが密接されることにより製品通過溝が塞がれる類似の液漏れ防止機構が開示されている。
【０００５】
ところが、こうした液漏れ防止機構では、シールローラーの間に平板状ワークが進入する際に、ワークとシールローラーの間からワーク面に沿って処理槽内の処理液が水平方向に噴出することが避けられず、ワークの高さ方向の寸法は必ずシールローラーの長さより短いので、ワークのないシールローラー下部から処理液が漏出することを防ぐことができなかった。そのため、こうした連続式めっき装置では一定の液漏れは止むを得ないものとして漏出した液を受ける受液槽を設け、漏出した液をポンプにより処理槽に戻すようにしており、この噴出する処理液を受ける受液槽の長さは処理液の噴出する距離に合わせて定めていた。
【０００６】
めっき品質を保証するためには処理工程の間で充分な水洗を行うことが好ましく、充分な水洗を効率よく行うためには多段の水洗を行うことが有利であり、洗浄水の使用量を減らすことのできる浸漬水洗を２段とした向流水洗が多く用いられている。さらに水洗の効率を改善するためには、例えば、浸漬水洗の前後をシャワー水洗として水洗槽を３段とするようなことも行われるが、これらの水洗槽にも液漏れ防止装置と受液槽を設けた一般の処理槽と同じ構成のものが使用されており、このような水洗槽を多数設置すると装置全体の長さがさらに長くなって大きな設置面積を要するという問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記の問題点を解決し、長さ方向の寸法が短く、効率よく洗浄することができて排水の量を減らすことができる連続式めっき装置における水洗装置を提供するためになされたものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の問題を解決するためになされた本発明の連続式めっき装置における水洗装置は、シャワー、浸漬、シャワーの３段水洗を行う連続式めっき装置における水洗装置であって、水洗槽を隔壁により区切ってワークの入口側から第１のシャワー水洗槽、液切り槽、浸漬水洗槽、第２のシャワー水洗槽とするとともに水洗槽の両側の端壁及び各隔壁にワーク通過用の開口を設け、第１のシャワー水洗槽及び第２のシャワー水洗槽には噴射孔をワークに向けたシャワーを対向させて設け、浸漬水洗槽のワーク入口側及び出口側の開口に液漏れ防止能力が高く水洗水の水平方向への噴出距離の短い液漏れ防止装置を取り付けるとともに、水洗槽の両側の端壁及び第１のシャワー水洗槽と液切り槽の間の開口に簡易な液漏れ防止装置を取り付けたことを特徴とするものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の連続式めっき装置における水洗装置の実施形態について、図を参照しながら具体的に説明する。
図１及び図２に示すのは、基本的には浸漬水洗の前後をシャワー水洗として３段水洗を行うものであって、水洗槽１は隔壁により区切り、ワークの入口側から第１のシャワー水洗槽２、液切り槽３、浸漬水洗槽４及び第２のシャワー水洗槽５を配列して構成してある。図においてワークは図１に矢印で示すように右から左に移送されるものであり、以下の説明では平板状のワークの進行方向前方すなわち各図の左方を前方、ワークの面に対して直交する方向を側方として表現してある。
【００１０】
水洗槽１のワーク入口側端壁には開口６が、第１のシャワー水洗槽２と液切り槽３との間の隔壁には開口７が、液切り槽３と浸漬水洗槽４との間の隔壁には開口８が、浸漬水洗槽４と第２のシャワー水洗槽５との間の隔壁には開口９が、水洗槽１のワーク出口側端壁には開口１０がそれぞれ設けてあり、開口８及び９にはそれぞれ２本１組のシールローラーを備えた液漏れ防止装置１１及び１２が、開口６と開口７及び１０にはブラシと合成樹脂シートからなる液漏れ防止装置１３、１４及び１５がそれぞれ取り付けてある。
【００１１】
第１のシャワー水洗槽２と液切り槽３の合計の長さ並びに第２のシャワー水洗槽５の長さは、液漏れ防止装置１１及び１２から水平方向に噴出する距離に合わせて定められていた従来の受液槽の長さと同等としてある。第１のシャワー水洗槽２及び第２のシャワー水洗槽５には噴射孔をワークに直角に向けたシャワー１６、１６及び１７、１７がそれぞれ対向させて設けてあり、第１のシャワー水洗槽２、第２のシャワー水洗槽５及び液切り槽３の槽底にはそれぞれ排水口１８、１９及び２０がそれぞれ設けてある。
【００１２】
図３及び図４は液漏れ防止装置１１の一例を示すもので、開口８に取り付けられてワークの通過するスリットを形成する２個１組のシールローラーケース２１、２１を主体とするものである。シールローラーケース２１、２１の対向する面にはシールローラー収容部２２、２２が設けてあり、該シールローラー収容部２２、２２にはそれぞれ円柱状のシールローラー２３、２３を収容してワークの最大厚みを若干上回る程度の範囲内で水平方向に移動可能な状態としてある。シールローラーケース２１、２１の上部には導水樋２４、２４が設けてあり、シールローラー収容部２２、２２の側方から取り入れた洗浄水を導いてシールローラー収容部２２、２２の後方側にワーク面と直角に落下させるようにしてある。
【００１３】
シールローラーケース２１、２１の後方側端部にはブラシ２５、２５がその毛先をワーク側に向けて相互に対向するように設けてあり、該ブラシ２５、２５の毛先相互の間隔はワークが通過するに充分なものとしてある。ブラシ２５、２５の基盤部の後方側端面にはそれぞれ合成樹脂シート２６、２６の基端部が固定してあり、該合成樹脂シート２６、２６はその面がワークと直交する垂直面になるようにして平面の状態では先端が相互に重なるようにしてある。この相互に重なる長さは５〜２０ｍｍ程度とすることが好ましい。
【００１４】
この合成樹脂シート２６、２６は先端側を前方に向けて曲げてブラシ２５、２５の毛先を覆うようにしてあり、合成樹脂シート２６、２６の先端部分はその弾性とブラシ２５、２５の支持によりワークが存在しないときには相互に、ワークが存在する時にはワークに接触することになる。また、シールローラー収容部２２、２２の後端側にはワークガイド２７、２７が取り付けてあり、該ワークガイド２７、２７は後側の間隔が広くなる形状としてワークのシールローラー２３、２３間への進入を誘導するようにしてある。
【００１５】
図５及び図６は液漏れ防止装置１２の一例を示すもので、液漏れ防止装置１１と類似の構造の開口９に取り付けられた２個１組のシールローラーケース２８、２８を主体とするものである。シールローラーケース２８、２８にはシールローラー収容部２９、２９を設けてそれぞれにシールローラー３０、３０が収容してあり、上部に導水樋３１、３１を設けてシールローラー収容部２９、２９の側方から取り入れた洗浄水をシールローラー収容部２９、２９の前方側にワーク面と直角に落下させるようにしてある。
【００１６】
シールローラーケース２８、２８の前方側端部にはそれぞれ合成樹脂シート２６、２６と同様の合成樹脂シート３２、３２の基端部が固定してあり、さらにその前方にはブラシ３３、３３がその毛先をワーク側に向けて相互に対向するように設けてある。合成樹脂シート３２、３２は先端側を前方に向けて曲げてブラシ３３、３３の毛先を覆うようにしてあり、合成樹脂シート３２、３２の先端部分はその弾性とブラシ３３、３３の支持によりワークが存在しないときには相互に、ワークが存在する時にはワークに接触することになる。また、シールローラー収容部２９、２９の後端側にはワークガイド２７、２７と同様のワークガイド３４、３４が取り付けてあり、ワークのシールローラー３０、３０間への進入を誘導するようにしてある。
【００１７】
液漏れ防止装置１３、１４及び１５はブラシと合成樹脂シートとから構成したものであり、液漏れ防止装置１１におけるブラシ２５と合成樹脂シート２６の構成あるいは液漏れ防止装置１２におけるブラシ３３と合成樹脂シート３２の構成と同様としたものである。各液漏れ防止装置１３、１４及び１５はそれぞれ合成樹脂シートを後側、ブラシを前側として開口６、７及び１０に取り付けてあり、液漏れ防止装置１３及び１４はそれぞれ開口６及び７の第１のシャワー水洗槽２側に、液漏れ防止装置１５は開口１０の第２のシャワー水洗槽５側に取り付けることが好ましい。
【００１８】
なお、図において３５、３６、３７及び３８はそれぞれ第１のシャワー水洗槽２、液切り槽３、浸漬水洗槽４及び第２のシャワー水洗槽５にそれぞれ設けたリブであって、該リブ３５、３６及び３８の下端と槽底との間には間隙を持たせてある。シールローラー２３、２３及び３０、３０の表面はシール性能を増してワークを傷つけない耐薬品性に優れた弾性材とし、長さ方向に複数に分割したものとするのが好ましく、合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２並びに液漏れ防止装置１３、１４及び１５を構成する合成樹脂シートとしてはポリイミド樹脂等の耐薬品性に優れたものが好ましい。
【００１９】
図７は配管の系統を示すもので、排水口１９及び２０から排出される洗浄水は貯槽３９に導き、該貯槽３９に蓄積される洗浄水はポンプ４０により汲み出し、浸漬水洗槽４とシャワー１６に供給するようにしてある。浸漬水洗槽４に供給するポンプとシャワー１６に供給するポンプはそれぞれ別個の専用のものとしてもよい。シャワー１７には新水を供給するようにしてあり、排水口１８から排出される洗浄水は廃棄するものとしてある。廃棄するに先立ち、廃棄する洗浄水を図示しない廃水処理装置に導いて処理することは言うまでもなく、あるいは濃縮して前工程の処理槽に戻すことも可能である。
【００２０】
前記のように構成した水洗槽１を処理工程にしたがって直線状に複数配置される図示しない処理槽の間の所要の箇所に配置してめっきラインを構成し、ワークＷ移送用の図示しない移送装置を設ける。移送装置には従来知られる構成のものが使用可能である。各処理槽には処理工程にしたがって必要な処理液をそれぞれ充填し、必要に応じて循環、撹拌等してあり、電気めっき槽には給電してある。前工程の処理槽を通過したワークＷは矢印で示すように第１のシャワー水洗槽２から液切り槽３、浸漬水洗槽４及び第２のシャワー水洗槽５を通って水洗され、次工程の処理槽に移送される。
【００２１】
第１のシャワー水洗槽２ではシャワー１６から噴射される洗浄水がワークＷに付着した前工程の処理液を洗い流し、処理液を洗い流した洗浄水は排水口１８から排出される。第１のシャワー水洗槽２には洗浄水が充填されていないので水圧がなく、液漏れ防止装置１３、１４が簡単な構成であっても洗浄水が漏出することはない。第１のシャワー水洗槽２を通過したワークＷは液切り槽３を通って液漏れ防止装置１１から浸漬水洗槽４内に入り、液漏れ防止装置１２から第２のシャワー水洗槽５に入っていく。液漏れ防止装置１１及び１２を前記のような構成とした場合には、ワークＷがシールローラー２３、２３又は３０、３０の間に進入するときにそれぞれワークガイド２７、２７又は３４、３４に誘導されてスムースに移動する。
【００２２】
ワークＷが入ってくるまでの間、浸漬水洗槽４内の洗浄水の水圧によってシールローラー２３、２３はシールローラー収容部２２、２２の後側端面に、シールローラー３０、３０はシールローラー収容部２９、２９の前側端面にそれぞれ押し付けられ、相互に密着することにより洗浄水の漏出を抑止することは従来の液漏れ防止装置と同様である。ワークＷがシールローラー２３、２３又は３０、３０の間に存在するときに液漏れが抑止されること、シールローラー２３、２３又は３０、３０の間にワークＷが進入する際にワークＷとシールローラー２３、２３又は３０、３０との間からワークＷの面に沿って浸漬水洗槽４内の洗浄水が水平方向に噴出すること、ワークＷの進入後シールローラー２３、２３又は３０、３０の間のワークＷが存在しない部分の隙間から洗浄水が水平方向に噴出することも従来の液漏れ防止装置と同様である。
【００２３】
このとき、導水樋２４、２４からシールローラー収容部２２、２２の後方側に、導水樋３１、３１からシールローラー収容部２９、２９の前方側にそれぞれワーク面と直角に洗浄水が落下するので、この落下する洗浄水はワークに当たって垂直に流下する。水平方向に噴出する洗浄水はこの流下する洗浄水に当たって下向きに方向が変えられ、洗浄水の水平方向に噴出する距離が短縮されるのであるが、一部はワークＷを伝わってさらに水平方向に流れる。合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２は移動するワークＷに接しているので、少量の洗浄水がワークＷの表面を伝わってきた場合には表面張力によりワークＷに吸いつけられる状態となり、ワークＷを伝わって浸漬水洗槽４から漏出する洗浄水が抑制されることになる。
【００２４】
洗浄水の圧力が大きくなって多量の洗浄水がワークＷの表面を伝わってきた場合にはワークＷと合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２との間が離れ、洗浄水の流出抑制効果が薄れることになるが、ブラシ２５、２５及び３３、３３が合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２を背面から支え、ワークＷと合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２との隙間を小さく維持するので、浸漬水洗槽４から漏出する洗浄水が抑制される。ワークＷに接するのは合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２であり、ワークＷの表面を傷つけることはないものである。
【００２５】
合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２はブラシ２５、２５及び３３、３３により背面から支えられているので、全体を一体の弾性体で支えるのとは異なりワークＷのない部分では合成樹脂シート２６、２６又は３２、３２の先端部分が相互に接触する。これにより、シールローラー２３、２３の下部のワークのない部分から漏出する洗浄水は合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２により塞がれ、これも抑制されることになる。このようにして浸漬水洗槽４から漏出する洗浄水が抑制され、洗浄水の水平方向に噴出する距離が短縮することになる。この実施の形態においては、液切り槽３の長さは従来の受液槽に比べて短縮したものとなっているが、液漏れ防止装置１１から漏出した浸漬水洗槽４の洗浄水が第１のシャワー水洗槽２に浸入することは、液漏れ防止装置１３により抑止されるものである。
【００２６】
第２のシャワー水洗槽５ではシャワー１７から噴射される洗浄水がワークＷに付着した浸漬水洗槽４の洗浄水を洗い流し、その洗浄水は排水口２０から排出されて貯槽３９に導かれる。第１のシャワー水洗槽２で洗浄されたワークＷを浸漬水洗する浸漬水洗槽４の洗浄水の前工程の処理液成分は充分希薄であるが、シャワー１７から噴射される新水により洗浄されるので、ワークＷに付着する前工程の処理液成分は充分に除かれることになる。第２のシャワー水洗槽５にも洗浄水が充填されていないので水圧がなく、液漏れ防止装置１５が簡単な構成であってもシャワー１７から噴射される洗浄水が漏出することはない。また、第２のシャワー水洗槽５の長さが液漏れ防止装置１２から水平方向に噴出する距離に合わせて定められていた従来の受液槽の長さと同等としてあるので、液漏れ防止装置１２から漏出した洗浄水が液漏れ防止装置１５から漏出することはない。
【００２７】
前記のような配管系統として洗浄水の供給をした場合には、シャワー１６から噴射されてワークＷに付着した前工程の処理液を洗い流した処理液濃度の高い洗浄水のみが排水口１８から排出されて廃棄され、廃棄される洗浄水の量が少ない利点がある。シャワー１７にシャワー１６から噴射される洗浄水と同量の洗浄水を供給すれば貯槽３９の洗浄水量は一定に保たれる。ワークＷは最初の第１のシャワー水洗槽２におけるシャワー水洗、次の浸漬水洗槽４における浸漬水洗、最後の第２のシャワー水洗槽５における新水によるシャワー水洗の３段階の水洗によって効率よく洗浄される。
【００２８】
図８及び図９は液漏れ防止装置１１の別の例を示し、図１０及び図１１は液漏れ防止装置１２の別の例を示すものである。基本的には図３及び図４に示すもの並びに図５及び図６に示すものと同様であり、同一の符号が付してある。この図８乃至図１１に示すものは、図３乃至図６に示すもののシールローラー収容部２２、２２及び２９、２９、ブラシ２５、２５及び３３、３３、合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２を傾斜させ、シールローラー収容部２２、２２及び２９、２９にそれぞれシールローラー２３、２３及び３０、３０を収容したものである。傾斜方向はそれぞれの上端が後方になるようにし、傾斜角度は垂直線に対して１度ないし５度とするのが好ましい。また、ワークガイド２７、２７及び３４、３４も同様に傾斜させることができる。
【００２９】
このように構成したものにおいて、ワークＷが入ってくるまでの間シールローラー２３、２３及び３０、３０により処理液の漏出が抑止されること、ワークＷがシールローラー２３、２３又は３０、３０の間に存在するときに液漏れが抑止されることは、図４乃至図７に示すものと同様である。シールローラー２３、２３又は３０、３０の間にワークＷが進入するときには、先ずワークＷの上部がシールローラー２３、２３又は３０、３０の間に入り、徐々に高さ方向の全長がシールローラー２３、２３又は３０、３０の間に入ることとなる。したがって、ワークＷの高さ方向の全長がシールローラー２３、２３又は３０、３０の間に一度に進入しないので大きな抵抗を受けることがなく、チャックからワークＷが外れたり傾いたりすることがない利点がある。
【００３０】
【発明の効果】
以上説明した本発明によれば、従来の液漏れ防止装置を備えた１個の処理槽と同等の長さ方向の寸法の水洗槽でシャワー、浸漬、シャワーの３段水洗ができ、短い長さ方向の寸法で効率よく洗浄することができる利点がある。また、最終段のシャワー水洗を新水で行い、その最終段のシャワー水洗に使用した洗浄水と浸漬水洗槽から漏出及びオーバーフローした洗浄水を浸漬水洗槽に戻すとともに１段目のシャワー水洗に使用した場合には、新水の供給が少量でよく、排水の量を減らすことができる利点がある。したがって、従来の問題を全て解決した連続式めっき装置における水洗装置を提供するものとして業界に寄与するところ極めて大である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示す平面図である。
【図２】本発明の実施の形態を示す縦断面図である。
【図３】液漏れ防止装置部分の例を示す平面図である。
【図４】液漏れ防止装置部分の例を示す縦断面図である。
【図５】液漏れ防止装置部分の例を示す平面図である。
【図６】液漏れ防止装置部分の例を示す縦断面図である。
【図７】配管の系統を示す系統図である。
【図８】液漏れ防止装置部分の別の例を示す平面図である。
【図９】液漏れ防止装置部分の別の例を示す縦断面図である。
【図１０】液漏れ防止装置部分の別の例を示す平面図である。
【図１１】液漏れ防止装置部分の別の例を示す縦断面図である。
【符号の説明】
１ 水洗槽
２ 第１のシャワー水洗槽
３ 液切り槽
４ 浸漬水洗槽
５ 第２のシャワー水洗槽
６、７、８、９、１０ 開口
１１、１２ 液漏れ防止装置
１３、１４、１５ 液漏れ防止装置
１６、１７ シャワー
１８、１９、２０ 排水口
２１ シールローラーケース
２２ シールローラー収容部
２３ シールローラー
２４ 導水樋
２５ ブラシ
２６ 合成樹脂シート
２７ ワークガイド
２８ シールローラーケース
２９ シールローラー収容部
３０ シールローラー
３１ 導水樋
３２ 合成樹脂シート
３３ ブラシ
３４ ワークガイド
３５、３６、３７、３８ リブ
３９ 貯槽
４０ ポンプ
Ｗ ワーク
【発明の属する技術分野】
本発明は、平板状のワークを垂直な姿勢で移送しながらめっきする連続式めっき装置においてワークを水洗処理する連続式めっき装置における水洗装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】
特表平９−５０５６３８号公報
【特許文献２】
特開平１０−２０４６９１号公報
【０００３】
プリント基板のような平板状ワークをめっきする装置としては、治具が不要であり、浴液の噴流機構を装備することにより高速のめっきができるというような利点があることから、平板状ワークを垂直な姿勢で連続的に移送する連続式めっき装置が使用されることが多い。こうした平板状ワークを垂直な姿勢で連続的に移送する連続式めっき装置では、処理液面より下方の処理槽側面から平板状ワークが出入りすることから、このワークの出入り口からの処理液の漏出が問題であり、例えば特表平９−５０５６３８号公報に示されるような処理液の漏出を防止する機構を備えた処理装置が考えられている。
【０００４】
この特表平９−５０５６３８号公報に開示されているのは、処理槽の端壁に設けたワークを通過させるためのスリットに対応して垂直な向きでルーズに処理浴内に対をなして配置したローラー等をシールとして配置し、これらのローラー等が液圧により互いに又はその都度通過するワークと処理槽の端壁とに圧着されるようにしたものである。また、特開平１０−２０４６９１号公報には一対のロールが密接されることにより製品通過溝が塞がれる類似の液漏れ防止機構が開示されている。
【０００５】
ところが、こうした液漏れ防止機構では、シールローラーの間に平板状ワークが進入する際に、ワークとシールローラーの間からワーク面に沿って処理槽内の処理液が水平方向に噴出することが避けられず、ワークの高さ方向の寸法は必ずシールローラーの長さより短いので、ワークのないシールローラー下部から処理液が漏出することを防ぐことができなかった。そのため、こうした連続式めっき装置では一定の液漏れは止むを得ないものとして漏出した液を受ける受液槽を設け、漏出した液をポンプにより処理槽に戻すようにしており、この噴出する処理液を受ける受液槽の長さは処理液の噴出する距離に合わせて定めていた。
【０００６】
めっき品質を保証するためには処理工程の間で充分な水洗を行うことが好ましく、充分な水洗を効率よく行うためには多段の水洗を行うことが有利であり、洗浄水の使用量を減らすことのできる浸漬水洗を２段とした向流水洗が多く用いられている。さらに水洗の効率を改善するためには、例えば、浸漬水洗の前後をシャワー水洗として水洗槽を３段とするようなことも行われるが、これらの水洗槽にも液漏れ防止装置と受液槽を設けた一般の処理槽と同じ構成のものが使用されており、このような水洗槽を多数設置すると装置全体の長さがさらに長くなって大きな設置面積を要するという問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記の問題点を解決し、長さ方向の寸法が短く、効率よく洗浄することができて排水の量を減らすことができる連続式めっき装置における水洗装置を提供するためになされたものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の問題を解決するためになされた本発明の連続式めっき装置における水洗装置は、シャワー、浸漬、シャワーの３段水洗を行う連続式めっき装置における水洗装置であって、水洗槽を隔壁により区切ってワークの入口側から第１のシャワー水洗槽、液切り槽、浸漬水洗槽、第２のシャワー水洗槽とするとともに水洗槽の両側の端壁及び各隔壁にワーク通過用の開口を設け、第１のシャワー水洗槽及び第２のシャワー水洗槽には噴射孔をワークに向けたシャワーを対向させて設け、浸漬水洗槽のワーク入口側及び出口側の開口に液漏れ防止能力が高く水洗水の水平方向への噴出距離の短い液漏れ防止装置を取り付けるとともに、水洗槽の両側の端壁及び第１のシャワー水洗槽と液切り槽の間の開口に簡易な液漏れ防止装置を取り付けたことを特徴とするものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の連続式めっき装置における水洗装置の実施形態について、図を参照しながら具体的に説明する。
図１及び図２に示すのは、基本的には浸漬水洗の前後をシャワー水洗として３段水洗を行うものであって、水洗槽１は隔壁により区切り、ワークの入口側から第１のシャワー水洗槽２、液切り槽３、浸漬水洗槽４及び第２のシャワー水洗槽５を配列して構成してある。図においてワークは図１に矢印で示すように右から左に移送されるものであり、以下の説明では平板状のワークの進行方向前方すなわち各図の左方を前方、ワークの面に対して直交する方向を側方として表現してある。
【００１０】
水洗槽１のワーク入口側端壁には開口６が、第１のシャワー水洗槽２と液切り槽３との間の隔壁には開口７が、液切り槽３と浸漬水洗槽４との間の隔壁には開口８が、浸漬水洗槽４と第２のシャワー水洗槽５との間の隔壁には開口９が、水洗槽１のワーク出口側端壁には開口１０がそれぞれ設けてあり、開口８及び９にはそれぞれ２本１組のシールローラーを備えた液漏れ防止装置１１及び１２が、開口６と開口７及び１０にはブラシと合成樹脂シートからなる液漏れ防止装置１３、１４及び１５がそれぞれ取り付けてある。
【００１１】
第１のシャワー水洗槽２と液切り槽３の合計の長さ並びに第２のシャワー水洗槽５の長さは、液漏れ防止装置１１及び１２から水平方向に噴出する距離に合わせて定められていた従来の受液槽の長さと同等としてある。第１のシャワー水洗槽２及び第２のシャワー水洗槽５には噴射孔をワークに直角に向けたシャワー１６、１６及び１７、１７がそれぞれ対向させて設けてあり、第１のシャワー水洗槽２、第２のシャワー水洗槽５及び液切り槽３の槽底にはそれぞれ排水口１８、１９及び２０がそれぞれ設けてある。
【００１２】
図３及び図４は液漏れ防止装置１１の一例を示すもので、開口８に取り付けられてワークの通過するスリットを形成する２個１組のシールローラーケース２１、２１を主体とするものである。シールローラーケース２１、２１の対向する面にはシールローラー収容部２２、２２が設けてあり、該シールローラー収容部２２、２２にはそれぞれ円柱状のシールローラー２３、２３を収容してワークの最大厚みを若干上回る程度の範囲内で水平方向に移動可能な状態としてある。シールローラーケース２１、２１の上部には導水樋２４、２４が設けてあり、シールローラー収容部２２、２２の側方から取り入れた洗浄水を導いてシールローラー収容部２２、２２の後方側にワーク面と直角に落下させるようにしてある。
【００１３】
シールローラーケース２１、２１の後方側端部にはブラシ２５、２５がその毛先をワーク側に向けて相互に対向するように設けてあり、該ブラシ２５、２５の毛先相互の間隔はワークが通過するに充分なものとしてある。ブラシ２５、２５の基盤部の後方側端面にはそれぞれ合成樹脂シート２６、２６の基端部が固定してあり、該合成樹脂シート２６、２６はその面がワークと直交する垂直面になるようにして平面の状態では先端が相互に重なるようにしてある。この相互に重なる長さは５〜２０ｍｍ程度とすることが好ましい。
【００１４】
この合成樹脂シート２６、２６は先端側を前方に向けて曲げてブラシ２５、２５の毛先を覆うようにしてあり、合成樹脂シート２６、２６の先端部分はその弾性とブラシ２５、２５の支持によりワークが存在しないときには相互に、ワークが存在する時にはワークに接触することになる。また、シールローラー収容部２２、２２の後端側にはワークガイド２７、２７が取り付けてあり、該ワークガイド２７、２７は後側の間隔が広くなる形状としてワークのシールローラー２３、２３間への進入を誘導するようにしてある。
【００１５】
図５及び図６は液漏れ防止装置１２の一例を示すもので、液漏れ防止装置１１と類似の構造の開口９に取り付けられた２個１組のシールローラーケース２８、２８を主体とするものである。シールローラーケース２８、２８にはシールローラー収容部２９、２９を設けてそれぞれにシールローラー３０、３０が収容してあり、上部に導水樋３１、３１を設けてシールローラー収容部２９、２９の側方から取り入れた洗浄水をシールローラー収容部２９、２９の前方側にワーク面と直角に落下させるようにしてある。
【００１６】
シールローラーケース２８、２８の前方側端部にはそれぞれ合成樹脂シート２６、２６と同様の合成樹脂シート３２、３２の基端部が固定してあり、さらにその前方にはブラシ３３、３３がその毛先をワーク側に向けて相互に対向するように設けてある。合成樹脂シート３２、３２は先端側を前方に向けて曲げてブラシ３３、３３の毛先を覆うようにしてあり、合成樹脂シート３２、３２の先端部分はその弾性とブラシ３３、３３の支持によりワークが存在しないときには相互に、ワークが存在する時にはワークに接触することになる。また、シールローラー収容部２９、２９の後端側にはワークガイド２７、２７と同様のワークガイド３４、３４が取り付けてあり、ワークのシールローラー３０、３０間への進入を誘導するようにしてある。
【００１７】
液漏れ防止装置１３、１４及び１５はブラシと合成樹脂シートとから構成したものであり、液漏れ防止装置１１におけるブラシ２５と合成樹脂シート２６の構成あるいは液漏れ防止装置１２におけるブラシ３３と合成樹脂シート３２の構成と同様としたものである。各液漏れ防止装置１３、１４及び１５はそれぞれ合成樹脂シートを後側、ブラシを前側として開口６、７及び１０に取り付けてあり、液漏れ防止装置１３及び１４はそれぞれ開口６及び７の第１のシャワー水洗槽２側に、液漏れ防止装置１５は開口１０の第２のシャワー水洗槽５側に取り付けることが好ましい。
【００１８】
なお、図において３５、３６、３７及び３８はそれぞれ第１のシャワー水洗槽２、液切り槽３、浸漬水洗槽４及び第２のシャワー水洗槽５にそれぞれ設けたリブであって、該リブ３５、３６及び３８の下端と槽底との間には間隙を持たせてある。シールローラー２３、２３及び３０、３０の表面はシール性能を増してワークを傷つけない耐薬品性に優れた弾性材とし、長さ方向に複数に分割したものとするのが好ましく、合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２並びに液漏れ防止装置１３、１４及び１５を構成する合成樹脂シートとしてはポリイミド樹脂等の耐薬品性に優れたものが好ましい。
【００１９】
図７は配管の系統を示すもので、排水口１９及び２０から排出される洗浄水は貯槽３９に導き、該貯槽３９に蓄積される洗浄水はポンプ４０により汲み出し、浸漬水洗槽４とシャワー１６に供給するようにしてある。浸漬水洗槽４に供給するポンプとシャワー１６に供給するポンプはそれぞれ別個の専用のものとしてもよい。シャワー１７には新水を供給するようにしてあり、排水口１８から排出される洗浄水は廃棄するものとしてある。廃棄するに先立ち、廃棄する洗浄水を図示しない廃水処理装置に導いて処理することは言うまでもなく、あるいは濃縮して前工程の処理槽に戻すことも可能である。
【００２０】
前記のように構成した水洗槽１を処理工程にしたがって直線状に複数配置される図示しない処理槽の間の所要の箇所に配置してめっきラインを構成し、ワークＷ移送用の図示しない移送装置を設ける。移送装置には従来知られる構成のものが使用可能である。各処理槽には処理工程にしたがって必要な処理液をそれぞれ充填し、必要に応じて循環、撹拌等してあり、電気めっき槽には給電してある。前工程の処理槽を通過したワークＷは矢印で示すように第１のシャワー水洗槽２から液切り槽３、浸漬水洗槽４及び第２のシャワー水洗槽５を通って水洗され、次工程の処理槽に移送される。
【００２１】
第１のシャワー水洗槽２ではシャワー１６から噴射される洗浄水がワークＷに付着した前工程の処理液を洗い流し、処理液を洗い流した洗浄水は排水口１８から排出される。第１のシャワー水洗槽２には洗浄水が充填されていないので水圧がなく、液漏れ防止装置１３、１４が簡単な構成であっても洗浄水が漏出することはない。第１のシャワー水洗槽２を通過したワークＷは液切り槽３を通って液漏れ防止装置１１から浸漬水洗槽４内に入り、液漏れ防止装置１２から第２のシャワー水洗槽５に入っていく。液漏れ防止装置１１及び１２を前記のような構成とした場合には、ワークＷがシールローラー２３、２３又は３０、３０の間に進入するときにそれぞれワークガイド２７、２７又は３４、３４に誘導されてスムースに移動する。
【００２２】
ワークＷが入ってくるまでの間、浸漬水洗槽４内の洗浄水の水圧によってシールローラー２３、２３はシールローラー収容部２２、２２の後側端面に、シールローラー３０、３０はシールローラー収容部２９、２９の前側端面にそれぞれ押し付けられ、相互に密着することにより洗浄水の漏出を抑止することは従来の液漏れ防止装置と同様である。ワークＷがシールローラー２３、２３又は３０、３０の間に存在するときに液漏れが抑止されること、シールローラー２３、２３又は３０、３０の間にワークＷが進入する際にワークＷとシールローラー２３、２３又は３０、３０との間からワークＷの面に沿って浸漬水洗槽４内の洗浄水が水平方向に噴出すること、ワークＷの進入後シールローラー２３、２３又は３０、３０の間のワークＷが存在しない部分の隙間から洗浄水が水平方向に噴出することも従来の液漏れ防止装置と同様である。
【００２３】
このとき、導水樋２４、２４からシールローラー収容部２２、２２の後方側に、導水樋３１、３１からシールローラー収容部２９、２９の前方側にそれぞれワーク面と直角に洗浄水が落下するので、この落下する洗浄水はワークに当たって垂直に流下する。水平方向に噴出する洗浄水はこの流下する洗浄水に当たって下向きに方向が変えられ、洗浄水の水平方向に噴出する距離が短縮されるのであるが、一部はワークＷを伝わってさらに水平方向に流れる。合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２は移動するワークＷに接しているので、少量の洗浄水がワークＷの表面を伝わってきた場合には表面張力によりワークＷに吸いつけられる状態となり、ワークＷを伝わって浸漬水洗槽４から漏出する洗浄水が抑制されることになる。
【００２４】
洗浄水の圧力が大きくなって多量の洗浄水がワークＷの表面を伝わってきた場合にはワークＷと合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２との間が離れ、洗浄水の流出抑制効果が薄れることになるが、ブラシ２５、２５及び３３、３３が合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２を背面から支え、ワークＷと合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２との隙間を小さく維持するので、浸漬水洗槽４から漏出する洗浄水が抑制される。ワークＷに接するのは合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２であり、ワークＷの表面を傷つけることはないものである。
【００２５】
合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２はブラシ２５、２５及び３３、３３により背面から支えられているので、全体を一体の弾性体で支えるのとは異なりワークＷのない部分では合成樹脂シート２６、２６又は３２、３２の先端部分が相互に接触する。これにより、シールローラー２３、２３の下部のワークのない部分から漏出する洗浄水は合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２により塞がれ、これも抑制されることになる。このようにして浸漬水洗槽４から漏出する洗浄水が抑制され、洗浄水の水平方向に噴出する距離が短縮することになる。この実施の形態においては、液切り槽３の長さは従来の受液槽に比べて短縮したものとなっているが、液漏れ防止装置１１から漏出した浸漬水洗槽４の洗浄水が第１のシャワー水洗槽２に浸入することは、液漏れ防止装置１３により抑止されるものである。
【００２６】
第２のシャワー水洗槽５ではシャワー１７から噴射される洗浄水がワークＷに付着した浸漬水洗槽４の洗浄水を洗い流し、その洗浄水は排水口２０から排出されて貯槽３９に導かれる。第１のシャワー水洗槽２で洗浄されたワークＷを浸漬水洗する浸漬水洗槽４の洗浄水の前工程の処理液成分は充分希薄であるが、シャワー１７から噴射される新水により洗浄されるので、ワークＷに付着する前工程の処理液成分は充分に除かれることになる。第２のシャワー水洗槽５にも洗浄水が充填されていないので水圧がなく、液漏れ防止装置１５が簡単な構成であってもシャワー１７から噴射される洗浄水が漏出することはない。また、第２のシャワー水洗槽５の長さが液漏れ防止装置１２から水平方向に噴出する距離に合わせて定められていた従来の受液槽の長さと同等としてあるので、液漏れ防止装置１２から漏出した洗浄水が液漏れ防止装置１５から漏出することはない。
【００２７】
前記のような配管系統として洗浄水の供給をした場合には、シャワー１６から噴射されてワークＷに付着した前工程の処理液を洗い流した処理液濃度の高い洗浄水のみが排水口１８から排出されて廃棄され、廃棄される洗浄水の量が少ない利点がある。シャワー１７にシャワー１６から噴射される洗浄水と同量の洗浄水を供給すれば貯槽３９の洗浄水量は一定に保たれる。ワークＷは最初の第１のシャワー水洗槽２におけるシャワー水洗、次の浸漬水洗槽４における浸漬水洗、最後の第２のシャワー水洗槽５における新水によるシャワー水洗の３段階の水洗によって効率よく洗浄される。
【００２８】
図８及び図９は液漏れ防止装置１１の別の例を示し、図１０及び図１１は液漏れ防止装置１２の別の例を示すものである。基本的には図３及び図４に示すもの並びに図５及び図６に示すものと同様であり、同一の符号が付してある。この図８乃至図１１に示すものは、図３乃至図６に示すもののシールローラー収容部２２、２２及び２９、２９、ブラシ２５、２５及び３３、３３、合成樹脂シート２６、２６及び３２、３２を傾斜させ、シールローラー収容部２２、２２及び２９、２９にそれぞれシールローラー２３、２３及び３０、３０を収容したものである。傾斜方向はそれぞれの上端が後方になるようにし、傾斜角度は垂直線に対して１度ないし５度とするのが好ましい。また、ワークガイド２７、２７及び３４、３４も同様に傾斜させることができる。
【００２９】
このように構成したものにおいて、ワークＷが入ってくるまでの間シールローラー２３、２３及び３０、３０により処理液の漏出が抑止されること、ワークＷがシールローラー２３、２３又は３０、３０の間に存在するときに液漏れが抑止されることは、図４乃至図７に示すものと同様である。シールローラー２３、２３又は３０、３０の間にワークＷが進入するときには、先ずワークＷの上部がシールローラー２３、２３又は３０、３０の間に入り、徐々に高さ方向の全長がシールローラー２３、２３又は３０、３０の間に入ることとなる。したがって、ワークＷの高さ方向の全長がシールローラー２３、２３又は３０、３０の間に一度に進入しないので大きな抵抗を受けることがなく、チャックからワークＷが外れたり傾いたりすることがない利点がある。
【００３０】
【発明の効果】
以上説明した本発明によれば、従来の液漏れ防止装置を備えた１個の処理槽と同等の長さ方向の寸法の水洗槽でシャワー、浸漬、シャワーの３段水洗ができ、短い長さ方向の寸法で効率よく洗浄することができる利点がある。また、最終段のシャワー水洗を新水で行い、その最終段のシャワー水洗に使用した洗浄水と浸漬水洗槽から漏出及びオーバーフローした洗浄水を浸漬水洗槽に戻すとともに１段目のシャワー水洗に使用した場合には、新水の供給が少量でよく、排水の量を減らすことができる利点がある。したがって、従来の問題を全て解決した連続式めっき装置における水洗装置を提供するものとして業界に寄与するところ極めて大である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示す平面図である。
【図２】本発明の実施の形態を示す縦断面図である。
【図３】液漏れ防止装置部分の例を示す平面図である。
【図４】液漏れ防止装置部分の例を示す縦断面図である。
【図５】液漏れ防止装置部分の例を示す平面図である。
【図６】液漏れ防止装置部分の例を示す縦断面図である。
【図７】配管の系統を示す系統図である。
【図８】液漏れ防止装置部分の別の例を示す平面図である。
【図９】液漏れ防止装置部分の別の例を示す縦断面図である。
【図１０】液漏れ防止装置部分の別の例を示す平面図である。
【図１１】液漏れ防止装置部分の別の例を示す縦断面図である。
【符号の説明】
１ 水洗槽
２ 第１のシャワー水洗槽
３ 液切り槽
４ 浸漬水洗槽
５ 第２のシャワー水洗槽
６、７、８、９、１０ 開口
１１、１２ 液漏れ防止装置
１３、１４、１５ 液漏れ防止装置
１６、１７ シャワー
１８、１９、２０ 排水口
２１ シールローラーケース
２２ シールローラー収容部
２３ シールローラー
２４ 導水樋
２５ ブラシ
２６ 合成樹脂シート
２７ ワークガイド
２８ シールローラーケース
２９ シールローラー収容部
３０ シールローラー
３１ 導水樋
３２ 合成樹脂シート
３３ ブラシ
３４ ワークガイド
３５、３６、３７、３８ リブ
３９ 貯槽
４０ ポンプ
Ｗ ワーク
Claims (6)
- シャワー、浸漬、シャワーの３段水洗を行う連続式めっき装置における水洗装置であって、水洗槽を隔壁により区切ってワークの入口側から第１のシャワー水洗槽、液切り槽、浸漬水洗槽、第２のシャワー水洗槽とするとともに水洗槽の両側の端壁及び各隔壁にワーク通過用の開口を設け、第１のシャワー水洗槽及び第２のシャワー水洗槽には噴射孔をワークに向けたシャワーを対向させて設け、浸漬水洗槽のワーク入口側及び出口側の開口に液漏れ防止能力が高く水洗水の水平方向への噴出距離の短い液漏れ防止装置を取り付けるとともに、水洗槽の両側の端壁及び第１のシャワー水洗槽と液切り槽の間の開口に簡易な液漏れ防止装置を取り付けたことを特徴とする連続式めっき装置における水洗装置。
- 液漏れ防止能力の高い液漏れ防止装置が、ワークの通過する垂直方向のスリットに近接して配設した２本１組のシールローラーにより液漏れを防止するものであって、シールローラーによるシール部分の外側に各シールローラーと平行にそれぞれ毛先をワークに向けたブラシを設け、該各ブラシの基盤部のワークの進行方向後方側に基端部を固定した合成樹脂シートの先端部分をワークの進行方向前方側に曲げてブラシの毛先を覆い、合成樹脂シートの先端部分をワークに接触させることによりワークを伝わって漏出する処理液を抑制するものであることを特徴とする請求項１に記載の連続式めっき装置における水洗装置。
- シールローラー、ブラシの基盤部及び合成樹脂シートの基端部をワーク面に平行な面内で垂直方向から傾斜させたことを特徴とする請求項２に記載の連続式めっき装置における水洗装置。
- シールローラーのシール部分の外側に上部から液を落下させる液供給機構を設けたことを特徴とする請求項２又は３に記載の連続式めっき装置における水洗装置。
- 簡易な液漏れ防止装置が、毛先をワークに向けた２個１組のブラシと該各ブラシの基盤部のワークの進行方向後方側に基端部を固定した合成樹脂シートからなり、該合成樹脂シートの先端部分をワークの進行方向前方側に曲げてブラシの毛先を覆い、合成樹脂シートの先端部分をワークに接触させることによりワークを伝わって漏出する処理液を抑制するものであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の連続式めっき装置における水洗装置。
- 第２のシャワー水洗槽のシャワーに新水を供給し、第２のシャワー水洗槽のシャワーによる水洗に使用した洗浄水と浸漬水洗槽から漏出及びオーバーフローした洗浄水を浸漬水洗槽に戻すとともに第１のシャワー水洗槽のシャワーに供給し、第１のシャワー水洗槽のシャワーによる水洗に使用した洗浄水を廃棄する配管系統を設けたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の連続式めっき装置における水洗装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003065251A JP3992234B2 (ja) | 2003-03-11 | 2003-03-11 | 連続式めっき装置における水洗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003065251A JP3992234B2 (ja) | 2003-03-11 | 2003-03-11 | 連続式めっき装置における水洗装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004270003A JP2004270003A (ja) | 2004-09-30 |
| JP3992234B2 true JP3992234B2 (ja) | 2007-10-17 |
Family
ID=33126321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003065251A Expired - Fee Related JP3992234B2 (ja) | 2003-03-11 | 2003-03-11 | 連続式めっき装置における水洗装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3992234B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007314861A (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Ebara Udylite Kk | 連続めっき用水洗装置 |
| JP5238414B2 (ja) | 2007-09-06 | 2013-07-17 | 東レ株式会社 | ウェブの処理方法、処理槽、連続電解めっき装置およびめっき膜付きプラスチックフィルムの製造方法 |
| CN110783513B (zh) * | 2015-09-30 | 2022-03-29 | 住友化学株式会社 | 膜制造方法以及膜制造装置 |
| CN106087028B (zh) * | 2016-07-01 | 2018-02-09 | 广州明毅电子机械有限公司 | 一种电镀夹导电式卷对卷垂直连续电镀设备 |
| CN109837583A (zh) * | 2019-02-19 | 2019-06-04 | 昆山科比精工设备有限公司 | 一种柔性板卷对卷水平电镀线 |
-
2003
- 2003-03-11 JP JP2003065251A patent/JP3992234B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2004270003A (ja) | 2004-09-30 |
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|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051026 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070713 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |